DE10024749A1 - Vorrichtung und Verfahren zur automatischen Steuerung eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur automatischen Steuerung eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem

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Abstract

Ein Verfahren zur automatischen Steuerung eines Halbleiterherstellungsprozesses in einer Halbleiterfabrik umfasst die Schritte: a) Empfangen von Losspezifikationsdaten und Losprozessdaten; b) Vergleichen der Losspezifikationsdaten mit den Losprozessdaten, um zu bestimmen, ob eine Differenz zwischen den Losspezifikationsdaten und den Losprozessdaten innerhalb eines vorbestimmten Bereiches liegt; c) wenn eine Differenz zwischen den Losspezifikationsdaten und den Losprozessdaten einen vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, Erzeugen einer ersten Nachricht, die ein Auftreten eines irregulär hergestellten Loses repräsentiert; d) Erzeugen einer ersten Transaktion in Reaktion auf die erste Nachricht, wobei die erste Transaktion repräsentiert, dass das Los irregulär hergestellt ist; und e) Speichern der ersten Transaktion in einer Speichereinheit, so dass ein nächster Losprozess für das irregulär hergestellte Los verhindert wird.

Description

Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zum automatischen Steuern eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikautomatisierungs­ system mit der Fähigkeit, eine Herstellungseffizienz und Ausbeute zu verbessern.
Beschreibung des Standes der Technik
Im Allgemeinen wird ein Halbleiterbauelement auf einem Halbleiterwafer mittels diverser Verfahrensprozesse hergestellt, z. B. einem Fotolithographieprozess, einem Ätzprozess, ei­ nem Dünnfilmprozess und einem Diffusionsprozess. In jedem Prozessvorgang werden mehrere Prozessanlagen verwendet. Im Allgemeinen wird jeder Prozessvorgang typischer­ weise auf der Grundlage einer vorbestimmten Anzahl von Halbleiterwafern, die als ein Los bezeichnet wird, ausgeführt.
Bei der Herstellung des Halbleiterbauelementes kann jedoch ein nichtregulär hergestelltes Los auftreten, das Prozessergebnisdaten aufweist, die einen vorbestimmten, zur Losspezi­ fizierung benötigten Wert über- oder unterschreiten. Das nichtregulär hergestellte Los kann aufgrund eines Problems des Loses selbst, aus einem Problem in den Anlagebedingungen, einem Problem bei den Herstellungsschritten und dergleichen auftreten.
Ein Verfahren zum Steuern eines Halbleiterherstellungsprozesses durch Fehleranalyse­ rückkopplung ist in dem US Patent Nr. 5,923,553 von Yi, eingereicht am 5. Oktober 1996 offenbart. Das Verfahren umfasst die Schritte: a) das Etablieren einer Überwachungsdaten­ bank mit irregulären Prozessbedingungsdaten, wobei die irregulären Prozessbedingungs­ daten durch eine Korrelation zwischen einem Ertrag für jedes hergestellte Los und entspre­ chenden Prozessbedingungen für die Halbleiteranlage erhalten werden, wenn die Ausbeute geringer wird oder Halbleiteranlagenfehlfunktionen aufgetreten sind; b) Etablieren einer Anlagendatenbank durch Erhalten von Echtzeitprozessbedingungen für eine sich im Betrieb befindliche Halbleiteranlage; c) Vergleichen der Echtzeitprozessbedingungen für eine sich im Betrieb befindliche Halbleiteranlage mit den irregulären Prozessbedingungen der Über­ wachungsdaten; und d) Beenden des Betriebs der sich im Betrieb befindlichen Halbleiter­ anlage, wenn Differenzen zwischen den Echtzeit- und irregulären Prozessbedingungen unter einen vorbestimmten Pegel fallen.
Dabei offenbart das Patent von Yi, dass die Gründe für das irreguläre hergestellte Los in der Anlage- oder Prozessbedingungsfehlfunktion liegt. Zum Lösen des Problems wird der Betrieb der entsprechenden Anlage unterbrochen. Das irreguläre hergestellte Los kann je­ doch Hauptsächlich aufgrund des verarbeiteten Loses selbst auftreten.
Wie oben jedoch zu sehen ist, selbst wenn ein Los irregulär während des Prozesses herge­ stellt wurde, wird ein anschließender Prozess weitergeführt, ohne das irregulär hergestellte Los zu berücksichtigen, bis der gesamte Prozess für das Los abgeschlossen ist. Die Her­ stellungseffizienz ist daher verringert.
Überblick über die Erfindung
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum automatischen Steuern eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfab­ rikautomatisierungssystem bereitzustellen, mit der Fähigkeit eine Effizienz bei der Herstel­ lung von Halbleiterbauteilen zu verbessern.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung bereitgestellt zum automatischen Steuern eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikau­ tomatisierungssystem, mit: einer gemeinsamen Kommunikationsleitung; mehreren, mit der gemeinsamen Kommunikationsleitung verbundenen Anlagen, die jeweils ein Los bearbei­ ten; mehreren Anlagenkontrolleinrichtungen, die jeweils eine Befehlsnachricht von außen in einen Befehl zur Steuerung jeder Anlage umwandelt; mehreren Testanlagen, die jeweils das bearbeitete Los testen, um Losprozessdaten zu erzeugen; mehreren Testanlagenkon­ trolleinrichtungen, wobei jede die Losprozessdaten empfängt, um die Losprozessdaten zu übermitteln; eine Speichereinrichtung zum Speichern von jeweils den Losprozessdaten und Losspezifikationsdaten; eine an die gemeinsame Kommunikationsleitung gekoppelte Ver­ gleichseinrichtung zum Vergleichen der Losprozessdaten mit den Losspezifikationsdaten, um zu bestimmen, ob ein Unterschied zwischen den bearbeiteten Losprozessdaten und den Losspezifikationsdaten in dem vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, wobei, wenn die Differenz den vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, die Vergleichsein­ richtung eine erste, das Auftreten eines irregulär hergestellten Loses repräsentierenden Nachricht erzeugt; und einer Transaktionserzeugungseinrichtung, die an die gemeinsame Kommunikationsleitung gekoppelt ist, zum Erzeugen einer ersten Transaktion in Reaktion auf die erste Nachricht, wobei die erste Transaktion repräsentiert, dass das Los irregulär hergestellt wurde, wobei ein nächster Losprozess für das irregulär hergestellte Los verhin­ dert wird.
Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum auto­ matischen Steuern eines Halbleiterherstellungsprozesses in einer Halbleiterfabrik bereitge­ stellt mit den Schritten: a) Empfangen von Losspezifikationsdaten und Losprozessdaten; b) Vergleichen der Losspezifikationsdaten mit den Losprozessdaten, um zu bestimmen, ob ei­ ne Differenz zwischen den Losspezifikationsdaten und den Losprozessdaten innerhalb ei­ nes vorbestimmten Bereiches liegt; c) wenn eine Differenz zwischen den Losspezifikations­ daten und den Losprozessdaten einen vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, Erzeugen einer ersten Nachricht, die ein Auftreten eines irregulär hergestellten Loses rep­ räsentiert; d) Erzeugen einer ersten Transaktion in Reaktion auf die erste Nachricht, wobei die erste Transaktion repräsentiert, dass das Los irregulär hergestellt ist; und e) Speichern der ersten Transaktion in einer Speichereinrichtung, wobei ein nächster Losprozess für das irregulär hergestellte Los verhindert wird.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Weitere Aufgaben und Aspekte der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsformen mit Bezug zu den begleitenden Zeichnungen deutlich. Es zeigen:
Fig. 1 ein schematisches Diagramm, das ein Halbleiterfabrikautomatisierungssystem darstellt; und
Fig. 2A und 2B Flussdiagramme, die Prozessschritte eines Verfahrens zum automatischen Steuern eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikautoma­ tisierungssystem gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
Um Halbleiterbauelemente herzustellen, werden im Allgemeinen mehrere Halbleiterproduk­ tionsbuchten in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem installiert und die Halbleiter­ produktionsbuchten werden mit einem Zellenmanagementsystem über eine Kommunikati­ onsleitung verbunden. Der Bequemlichkeit halber wird die vorliegende Erfindung lediglich mit einer Halbleiterproduktionsbucht beschrieben.
In Fig. 1 ist ein Halbleiterfabrikautomatisierungssystem gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt.
Wie gezeigt, umfasst ein Halbleiterfabrikautomatisierungssystem einen Zellenmanage­ mentbereich 112 zum Verwalten einer Zelle, wobei die Zelle mehrere Halbleiterprodukti­ onsbuchten, eine an einen Zellenmanagementbereich 114 gekoppelte Echtzeitdatenbank 110 zum Speichern von Echtzeitlosprozessdaten, eine an den Zellenmanagementbereich 114 gekoppelte Zwischenspeichereinheit 120 zum Empfangen von Daten und einer Trans­ aktion von außen, um diese in Form einer temporären Datei zu speichern, einen mit der Zwischenspeichereinheit 120 verbundenen Historienmanagementbereich 118 zum Emp­ fangen der Daten und Transaktion von der Zwischenspeichereinheit 120 und zum Spei­ chern der empfangenen Daten und Transaktion in der Historiendatenbank 124, die an den Historienmanagementbereich 118 gekoppelt ist. Der Zellenmanagementbereich 114, der Historienmanagementbereich 118 und die Historiendatenbank 124 sind jeweils zur gegen­ seitigen Kommunikation an die gemeinsam Kommunikationsleitung 144 gekoppelt. Als die gemeinsame Kommunikationsleitung kann ein EthernetTM, von der Firma Xerox Corporation lieferbar, verwendet werden.
Das Halbleiterfabrikautomatisierungssystem umfasst ferner einen Vergleichsbereich 126 zum Vergleichen von Echtzeitlosprozessdaten mit Losspezifikationsdaten, um zu bestim­ men, ob eine Differenz zwischen diesen innerhalb eines vorbestimmten Bereiches, der von einem Anwender festgelegt wird, liegt. Zu dieser Zeit sind die Losspezifikationsdaten zuvor in der Echtzeitdatenbank 110 gespeichert.
In diesem Falle umfasst die Hableiterbearbeitungsbucht mehrere Prozessanlagen EQ, e­ benfalls als Station bezeichnet, zum Prozessieren eines Loses, mehrere Anlagenserver 130 zum Steuern der Prozessanlagen EQ gemäß der Befehlsnachricht von dem Zellenmana­ gementbereich 112, Testanlagen 150 zum Testen eines prozessierten Loses, um die Echt­ zeitlosprozessdaten zu liefern, Stockereinheiten 140 zum Aufbewahren von Kassetten (nicht gezeigt), die eine vorbestimmte Anzahl an Losen enthalten, automatisch geführte Fahrzeuge 142, die sich entlang innerhalb der Bucht bewegen, um die Kassette mit dem prozessierten Los zu befördern, und Fahrzeuge, die sich entlang den Buchten bewegen, um die Kassette von einer Halbleiterproduktionsbucht zu einer weiteren Halbleiterprodukti­ onsbucht zu transportieren.
Obwohl der Einfachheit halber eine Dünnfilmbucht als die Halbleiterproduktionsbucht in Fig. 1 gezeigt ist, können weitere Halbleiterproduktionsbuchten, beispielsweise eine Fotolitho­ graphiebucht, eine Ätzbucht, eine Diffusionsbucht den gleichen Aufbau wie die Dünnfilm­ bucht aufweisen.
Der Zellenmanagementbereich 112 umfasst einen Zellenmanagementserver 114 zum Ü­ bertragen von Datennachrichten und zum Erzeugen einer Transaktion, und einen Bedie­ nerschnittstellenserver 116, um einem Anwender eine Schnittstelle mit dem Zellenmana­ gementserver 114 bereitzustellen.
Im Folgenden wird der Betrieb des Halbleiterfabrikautomatisierungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung detailliert beschrieben.
Nachdem eine Prozessanlage EQ eine Verarbeitung eines Loses unter einer Steuerung des Anlagenservers 130 beendet hat, wird ein bearbeitetes Los unter Verwendung des au­ tomatisch geführten Fahrzeugs AGV zu der Testanlage 150 überführt und anschließend testet die Testanlage 150 das prozessierte Los, um Echtzeitlosprozessdaten zu erzeugen. Der Testanlagenserver 130 empfängt und übermittelt die Echtzeitlosprozessdaten von der Testanlage 150 zum Anlagenschnittstellenserver 128. Zusätzlich werden die Echtzeitlos­ prozessdaten über den Zellenmanagementserver 114 zu der Echtzeitdatenbank 110 über­ tragen und werden dabei in der Echtzeitdatenbank 110 gespeichert.
Der Anlagenschnittstellenserver 128 vergleicht die Echtzeitlosprozessdaten von dem Test­ anlagenserver 150 mit den Losspezifikationsdaten, die aus der Echtzeitdatenbank 110 über den Zellenmanagementserver 114 übertragen werden. Wenn bezüglich des Ergebnisses des Vergleichs eine Differenz zwischen den Echtzeitlosprozessdaten und den Losspezifika­ tionsdaten innerhalb des vorbestimmten Bereiches ist, wird das prozessierte Los als ein normal hergestelltes Los betrachtet, so dass ein folgender Prozess für das Los in einer weiteren Prozessanlage fortgesetzt wird.
Wenn andererseits die Differenz zwischen den Echtzeitlosprozessdaten und den Losspezi­ fikationsdaten den vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, wird das prozessierte Los als ein irregulär hergestelltes Los betrachtet. Daher wird hinsichtlich der Verarbeitung des Loses in einer weiteren Anlage, diese Anlage das Los nicht weiterbearbeiten, bis eine gewünschte Aktion an dem Los vorgenommen wird.
Für den Fall, dass bestimmt wird, dass die Differenz zwischen den Echtzeitlosprozessdaten und den Losspezifikationsdaten den vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, er­ zeugt der Anlagenschnittstellenserver 128 eine erste Nachricht, die ein Auftreten eines irre­ gulär hergestellten Loses repräsentiert. Anschließend erzeugt der Zellenmanagementserver 114 in Reaktion auf die erste Nachricht eine erste Transaktion, die repräsentiert, dass das augenblickliche Los irregulär hergestellt wurde.
Die erste Transaktion wird zu der Echtzeitdatenbank 110 übermittelt, so dass die mit dem entsprechenden Los verknüpfte erste Transaktion in der Echtzeitdatenbank 110 gespei­ chert wird.
Ferner wird die erste Transaktion ebenfalls zu der Zwischenspeichereinheit 120 übertragen, so dass die erste Transaktion in Form einer temporären Datei gespeichert wird. Anschlie­ ßend erzeugt der Zellenmanagementserver 114 eine zweite Nachricht, die den Historien­ schnittstellenserver 122 informiert, dass die erste Transaktion in der Zwischenspeicherein­ heit 120 gespeichert ist. Der erste Historienschnittstellenserver 122 liest die in der Zwi­ schenspeichereinheit 120 gespeicherte erste Transaktion in Reaktion auf die zweite Nach­ richt aus, um diese in der Historiendatenbank 124 zu speichern. Daher wird die erste Transaktion in der Historiendatenbank 124 als mit dem Los verknüpfte Geschichtsdaten gespeichert.
Wenn das irregulär hergestellte Los auftritt, unternimmt ein Bediener eine notwendige Akti­ on und gibt der Aktion entsprechende Daten über den Bedienerschnittstellenserver 116 ein. Wenn beispielsweise der Grund für das irregulär hergestellte Los eine Anlagenbedingung ist, ändert der Bediener die Anlagenbedingungen über den Bedienerschnittstellenserver 116 oder beendet die Funktion der entsprechenden Anlage. Wenn der Grund für das irre­ gulär hergestellte Los das Los selbst ist, wird ein zusätzlicher Prozess ausgeführt oder das Los selbst oder einige Wafer werden aus dem Prozess genommen. Anschließend gibt ein Bediener Daten durch den Bedienerschnittstellenserver 116 ein, die sich auf die angewen­ dete Aktion beziehen. Die sich auf die angewendete Aktion beziehenden Daten werden e­ benfalls in der Echtzeitdatenbank 110 und der Historiendatenbank 124 mittels des Zellen­ managementservers 114 gespeichert.
Wenn zu dieser Zeit der Grund des irregulär hergestellten Loses das Los selbst ist, emp­ fängt der Zellenmanagementserver 114 die Daten von dem Bedienerschnittstellenserver 116, nachdem die notwendige Aktion angewendet worden ist, und erzeugt eine zweite Transaktion, die es gestattet, das entsprechende Los zu prozessieren.
Die zweite Transaktion wird ebenfalls in der Echtzeitdatenbank 110 über den Zellenmana­ gementserver 114 gespeichert. Ferner wird in ähnlicher Weise wie bei der ersten Transak­ tion die zweite Transaktion zur Zwischenspeichereinheit 120 übertragen, so dass die zweite Transaktion in der Zwischenspeichereinheit 120 in Form einer temporären Datei gespei­ chert ist. Anschließend erzeugt der Zellenmanagementserver 114 eine dritte Nachricht, die den Historienschnittstellenserver 122 informiert, dass die zweite Transaktion in der Zwi­ schenspeichereinheit 120 gespeichert ist. Anschließend liest der Historienschnittstellenser­ ver 122 die in der Zwischenspeichereinheit 120 gespeicherte zweite Transaktion aus, um diese in Reaktion auf die dritte Nachricht an die Historiendatenbank 124 auszugeben. Folg­ lich speichert die Historiendatenbank 124 die zweite Transaktion als Geschichtsdaten mit Bezug zu dem entsprechenden Los.
Wie oben beschrieben wurde, überprüft, wenn das irregulär hergestellte Los in einer weite­ ren Anlage für einen folgenden Prozess zu prozessieren ist, ein entsprechender Anlagen­ server die mit dem Los verknüpften Losdaten. Wenn die Losdaten lediglich die erste Trans­ aktion aufweisen, betrachtet der Anlagenserver das Los als ein irregulär hergestelltes Los. Daher wird jegliche Verarbeitung für das entsprechende Los verhindert. Wenn jedoch die Losdaten die erste und zweite Transaktion aufweisen, d. h., die notwendige Aktion wurde auf das irregulär hergestellte Los angewendet, wird das Los weiterhin in der entsprechen­ den Prozessanlage prozessiert.
Im Weiteren wird ein Verfahren zum automatischen Steuern eines Halbleiterherstellungs­ prozesses gemäß der vorliegenden Erfindung mit Bezug zu den Fig. 2A und 2B beschrie­ ben.
Zunächst empfängt im Schritt S200 der Anlagenschnittstellenserver 128 die Echtzeitlospro­ zessdaten von der Testanlage 150 über den Testanlagenserver 132 und die Losspezifikati­ onsdaten, die von der Echtzeitdatenbank 110 über den Zellenmanagementserver 114 ü­ bertragen werden.
Im Schritt S202 vergleicht der Anlagenserver 128 die Echtzeitlosprozessdaten mit den Los­ spezifikationsdaten, um zu bestimmen, ob eine Differenz zwischen den Echtzeitlosprozess­ daten und den Losspezifikationsdaten innerhalb eines von einem Bediener festgelegten vorbestimmten Bereiches liegt.
Im Schritt S204 wird als Folge des Vergleichs, wenn die Differenz zwischen den Echtzeit­ losprozessdaten und den Losspezifikationsdaten innerhalb eines vorbestimmten Bereiches liegt, das entsprechende Los als normal hergestellt betrachtet, so dass ein folgender Pro­ zess an dem Los ohne Unterbrechung des Losprozesses fortgeführt wird.
Im Schritt S206 erzeugt, wenn der Unterschied zwischen den Echtzeitlosprozessdaten und den Losspezifikationsdaten den vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, der Anla­ genschnittstellenserver 130 eine erste Nachricht, die ein Auftreten eines irregulär herge­ stellten Loses repräsentiert.
Im Schritt S208 erzeugt der Zellenmanagementserver 114 in Reaktion auf die erste Nach­ richt eine erste Transaktion, die repräsentiert, dass das entsprechende Los irregulär herge­ stellt ist.
Im Schritt S210 wird die erste Transaktion über den Zellenmanagementserver 114 der Echtzeitdatenbank 110 übermittel, und daher wird die erste Transaktion in der Echtzeitda­ tenbank 110 gespeichert.
Im Schritt S212 übermittelt der Zellenmanagementserver 114 die erste Transaktion an die Zwischenspeichereinheit 120 und erzeugt anschließend eine zweite Nachricht, die den Historienschnittstellenserver 116 informiert, dass die erste Transaktion in der Zwischen­ speichereinheit 120 gespeichert ist. Der Historienschnittstellenserver 122 liest die in der Zwischenspeichereinheit 120 gespeicherte erste Transaktion in Reaktion auf die zweite Nachricht aus, und gibt die erste Transaktion an die Historiendatenbank 124 aus. Daher wird die erste Transaktion in der Historiendatenbank 124 gespeichert.
Im Schritt S214 wird eine notwendige Aktion angewendet und sich auf die Aktion beziehen­ de Daten werden durch den Bedienerschnittstellenserver 116 eingespeist. Die sich auf die angewendete Aktion beziehenden Daten werden in der Echtzeitdatenbank 110 und der Historiendatenbank 124 mittels des Zellenmanagementservers 114 gespeichert.
Im Schritt S216 empfängt der Zellenmanagementserver 114 die Daten von dem Bediener­ schnittstellenserver 116 und erzeugt anschließend eine zweite Transaktion, die es gestat­ tet, dass das entsprechende Los prozessiert wird.
Im Schritt S218 wird die zweite Transaktion zu der Echtzeitdatenbank 110 über den Zel­ lenmanagement 114 übertragen, und daher wird die zweite Transaktion in der Echtzeitda­ tenbank 110 gespeichert.
Im Schritt S220 übermittelt der Zellenmanagementserver 114 die zweite Transaktion an die Zwischenspeichereinheit 120 und erzeugt anschließend eine dritte Nachricht, die den Histo­ rienschnittstellenserver 116 informiert, dass die zweite Transaktion in der Zwischenspei­ chereinheit 120 gespeichert ist. Der Historienschnittstellenserver 122 liest die in der Zwi­ schenspeichereinheit 120 gespeicherte zweite Transaktion in Reaktion auf die dritte Nach­ richt aus und gibt die zweite Transaktion an die Historiendatenbank 124 aus. Daher ist die zweite Transaktion in der Historiendatenbank 124 gespeichert.
Im Schritt S222 wird ein nächster Prozess an dem entsprechenden Los in einer weiteren Prozessanlage unter einer Steuerung eines entsprechenden Anlagenservers ausgeführt. Das heißt, wenn der Anlagenserver die in der Echtzeitdatenbank 110 gespeicherten Daten des entsprechenden Loses überprüft und wenn die Losdaten lediglich die erste Transaktion aufweisen, betrachtet der Anlagenserver das Los als ein irregulär hergestelltes Los. Daher wird ein weiteres Verarbeiten des entsprechenden Loses verhindert. Wenn jedoch die Los­ daten die erste und die zweite Transaktion aufweisen, d. h., die notwendige Aktion wurde auf das irregulär hergestellte Los angewendet, wird das entsprechende Los in der Prozess­ anlage prozessiert.
Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung für illustrative Zwecke offenbart wurden, erkennt der Fachmann leicht, dass diverse Modifikationen, Hinzufügungen und Substitutionen möglich sind, ohne vom Schutzbereich und Grundgedanken der Erfindung, wie sie in den begleitenden Ansprüchen definiert ist, abzuweichen.

Claims (18)

1. Vorrichtung zur automatischen Steuerung eines Halbleiterherstellungsprozesses in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem, mit:
einer gemeinsamen Kommunikationsleitung;
mehreren, an die gemeinsame Kommunikationsleitung gekoppelte Prozessanlagen, wovon jede ein Los bearbeitet;
mehreren Anlagenkontrolleinrichtungen, wobei jede die Prozessanlage gemäß Be­ fehlen von außen steuert;
mehreren Testanlagen, wobei jede das verarbeitete Los testet, um Losprozessdaten zu erzeugen;
mehreren Testanlagenkontrolleinrichtungen, wobei jede die Losprozessdaten emp­ fängt, um die Losprozessdaten zu übermitteln;
einer Speichereinrichtung zum Speichern der Losprozessdaten, wobei die Spei­ chereinrichtung jeweils zuvor Losspezifikationsdaten speichert;
eine an die gemeinsame Kommunikationsleitung gekoppelte Vergleichseinrichtung zum Vergleichen der Losprozessdaten mit den Losspezifikationsdaten zur Bestim­ mung, ob eine Differenz zwischen den Losprozessdaten und den Losspezifikations­ daten einen vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, wobei, wenn die Diffe­ renz den vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, die Vergleichseinrichtung eine das Auftreten eines irregulär hergestellten Loses repräsentierende erste Nach­ richt erzeugt; und
einer an die gemeinsame Kommunikationsleitung gekoppelte Transaktionserzeu­ gungseinrichtung zum Erzeugen einer ersten Transaktion in Reaktion auf die erste Nachricht, wobei die erste Transaktion repräsentiert, dass das Los irregulär herge­ stellt ist,
wobei ein nächster Losprozess für das irregulär hergestellte Los verhindert wird.
2. Die Vorrichtung nach Anspruch 1, die weiterhin eine Historienmanagementeinrichtung zum Verwalten einer Losgeschichte umfasst.
3. Die Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die erste Transaktion zu der Historienmana­ gementeinrichtung übermittel wird, und wobei die Transaktionserzeugungseinrichtung eine zweite Nachricht erzeugt, um zu informieren, dass die erste Transaktion zu der Historienmanagementeinrichtung übermittelt ist.
4. Die Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei die Historienmanagementeinrichtung um­ fasst:
eine Zwischenspeichereinrichtung zum Speichern der von der Transaktionserzeu­ gungseinrichtung übermittelten ersten Transaktion in Form einer temporären Datei;
eine Historienschnittstelleneinrichtung zum Auslesen der in der Zwischenspeicherein­ richtung gespeicherten ersten Transaktion in Reaktion auf die zweite Nachricht, um die erste Transaktion nach außen auszugeben; und
eine Historienspeichereinrichtung zum Speichern der von der Historienschnittstellen­ einrichtung ausgegebenen ersten Transaktion.
5. Die Vorrichtung nach Anspruch 2, weiterhin umfassend: eine Bedienerschnittstelleneinrichtung zum Empfangen von Daten, die sich auf eine auf das irregulär hergestellte Los angewendete Aktion beziehen.
6. Die Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei die Transaktionserzeugungseinrichtung die Daten von der Bedienerschnittstelleneinrichtung empfängt, um diese an die Spei­ chereinrichtung zu übertragen.
7. Die Vorrichtung nach Anspruch 6, wobei die Transaktionserzeugungseinrichtung eine zweite Transaktion erzeugt, die ein Bearbeiten des irregulär hergestellten Loses zu­ lässt.
8. Die Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die zweite Transaktion über die Anlagen­ schnittstelleneinrichtung zu der Anlagenkontrolleinrichtung übermittelt wird, so dass ein nächster Prozess für das irregulär hergestellte Los fortgesetzt wird.
9. Die Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die Transaktionserzeugungseinrichtung eine dritte Nachricht erzeugt,
wobei die Zwischenspeichereinheit die von der Transaktionserzeugungseinrichtung übermittelte zweite Transaktion in Form einer temporären Datei speichert,
wobei die Historienschnittstelleneinrichtung die in der Zwischenspeichereinrichtung gespeicherte zweite Transaktion in Reaktion auf die dritte Nachricht ausliest, um die zweite Transaktion auszugeben, und
wobei die Historienspeichereinrichtung die von der Historienschnittstelleneinheit aus­ gegebene zweite Transaktion speichert.
10. Die Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die gemeinsame Kommunikationsleitung ein von der Firma Xerox Corporation erhältliches EthernetTM umfasst.
11. Verfahren zur automatischen Steuerung eines Halbleiterherstellungsprozesses in ei­ ner Halbleiterfabrik, mit den Schritten:
  • a) Empfangen von Losspezifikationsdaten und Losprozessdaten;
  • b) Vergleichen der Losspezifikationsdaten mit den Losprozessdaten, um zu bestimmen, ob eine Differenz zwischen den Losspezifikationsdaten und den Losprozessdaten innerhalb eines vorbestimmten Bereiches liegt;
  • c) wenn eine Differenz zwischen den Losspezifikationsdaten und den Losprozess­ daten einen vorbestimmten Bereich über- oder unterschreitet, Erzeugen einer ersten Nachricht, die ein Auftreten eines irregulär hergestellten Loses repräsen­ tiert;
  • d) Erzeugen einer ersten Transaktion in Reaktion auf die erste Nachricht, wobei die erste Transaktion repräsentiert, dass das Los irregulär hergestellt ist; und
  • e) Speichern der ersten Transaktion in einer Speichereinrichtung, wobei ein nächster Losprozess für das irregulär hergestellte Los verhindert wird.
12. Das Verfahren nach Anspruch 11, wobei der Schritt a) die Schritte umfasst:
  • 1. Verarbeiten eines Loses in einer Anlage;
  • 2. Testen des verarbeiteten Loses, um Losprozessdaten zu erzeugen;
  • 3. Übertragen der Losprozessdaten zu einer Vergleichseinrichtung; und
  • 4. Übertragen der Losspezifikationsdaten zu der Vergleichseinrichtung, wobei die Losspezifikationsdaten in der Speichereinrichtung gespeichert werden.
13. Das Verfahren nach Anspruch 12, das weiterhin den Schritt des Speicherns der Los­ prozessdaten in der Speichereinrichtung umfasst.
14. Das Verfahren nach Anspruch 11, das weiterhin die Schritte umfasst:
  • a) Übermitteln der ersten Transaktion an eine Historienmanagementeinrichtung; und
  • b) Erzeugen einer zweiten Nachricht, die informiert, dass die erste Transaktion an die Historienmanagementeinrichtung übermittelt ist.
15. Das Verfahren nach Anspruch 14, wobei die Historienmanagementeinrichtung um­ fasst:
eine Zwischenspeichereinheit zum Speichern der ersten Transaktion in Form einer temporären Datei;
eine Historienschnittstelleneinrichtung zum Auslesen der in der Zwischenspeicherein­ heit gespeicherten ersten Transaktion in Reaktion auf die zweite Nachricht, um die erste Transaktion nach außen auszugeben; und
eine Historienspeichereinrichtung zum Speichern der von der Historienschnittstellen­ einrichtung ausgegebenen ersten Transaktion.
16. Das Verfahren nach Anspruch 11, das weiterhin die Schritte umfasst:
  • a) Empfangen von Daten, die sich auf eine auf das irregulär hergestellte Los an­ gewendete Aktion beziehen;
  • b) Erzeugen einer zweiten Transaktion, die eine Verarbeitung des irregulär herge­ stellten Loses erlaubt; und
  • c) Speichern der zweiten Transaktion in der Speichereinrichtung.
17. Das Verfahren nach Anspruch 16, das weiterhin die Schritte umfasst:
  • a) Übermitteln der zweiten Transaktion an die Historienmanagementeinrichtung; und
  • b) Erzeugen einer dritten Nachricht, die informiert, dass die zweite Transaktion an die Historienmanagementeinrichtung übertragen ist.
18. Das Verfahren nach Anspruch 17, wobei die Zwischenspeichereinheit die zweite Transaktion in Form einer temporären Datei speichert,
wobei die Historienschnittstelleneinrichtung die in der Zwischenspeichereinheit ge­ speicherte zweite Transaktion in Reaktion auf die dritte Nachricht ausliest, um die zweite Transaktion nach außen auszugeben, und
wobei die Historienspeichereinrichtung die von der Historienschnittstelleneinrichtung ausgegebene zweite Transaktion speichert.
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