TW475230B - Apparatus and method for automatically controlling semiconductor manufacturing process in semiconductor factory automation system - Google Patents

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Λ7 M7 發明說明（2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .Yl S <專利説明不、正常製造區段之原因係設備 或私"·條件“功能，爲解決問題需停止相關設備之操 作T七止常製造區段主要會產生係因程序其本身。 Γ 由以上吁看出，即使當一區段不正常製造於區段 ’ Α屮 斤，随义程序將繼續，不考慮不正常製造區 段，直到整個區段程序完成。因此，製造效率將降低。 爹明 因 t發明 < 一目6勺係提供於半導體工處自動化系統 中自動控料⑽製造程序之㈣及方法，以能夠增進製 造半導體裝置之效率。 根據尽發明〈—内容，提供_於半導體工戚自動化系統 中自動控制半導體製造程序之裝置，包含：_公共通訊線 路；複數設備連接至公共通訊線路，每一設備處理一區 段；複數設備之控制裝置’每—裝置轉換來自外部裝置訊 息成爲可用指令以控制每一設備；複數測試設備，每一設 備測試處理過之區段以產生區段程序資料；複數測試設備 控制裝置，每一裝置接收到區段資料以轉換區段程序資 料；一記憶裝置用於分別儲存區段程序資料及一區段規格 資料；一比較裝置，連到公共通訊線路，比較區段程序資 料及區段規格資料，以決定是否程序區段資料及規格資料 之間之差異’超過或低於預定範圍，其中如差異超過或低 於預定範圍’比較裝置產生第一訊息表示一不正常之製造 區段出現：一處理產生裝置，連到公共通訊纜線，用於產 生第一處理以響應第一訊息，第一處理表示區段不正常製 -5- 本纸張瓦度達用中S國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項 —裝--- 本頁) 訂-- --線· A7 B7 五、發明說明（3 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 仏’在其中不正常製造區段之下-區段程序得以避免。 、如本發明〈另一内容，提供用以於一半導體工廒中自動 捡制一半導體製造程序之方法，包括之步驟爲：&)接收一 區&規格h料及區段程序資料；b)比較區段規袼資料與 區段程序資料，以決定是否區段規格資料及區段程序資料 間之差異万;預定〈範圍；c)如一差異於區段規袼資料及區 段程序資料超過或低於一預定範圍，產生一第一訊息以表 不一不正常製造區段之產生；d)產生第一處理表示區段 爲不正^製造；及e )儲存第一處理到記憶裝置，在其中避 免不正常製造區段之下一區段程序。 圖式簡單説明 本發明I其它目的及方面，從下面實施例之敘述及參考 附圖可將變得明瞭，其中： 圖1係一構圖描述一半導體工廠自動化系統；及 圖2 A及2 B之流程圖描述如本發明之用以於半導體工廠 自動化系統中自動控制半導體製造程序之方法之處理步 驟。 較佳實施例之詳細説明 爲了製造半導體裝置，複數半導體製造機台係典型安裝 於半導體工廠自動化系統，及半導體生產機台係經一公共 線路連接到一網路管理系統。爲了便利之緣故，本發明將 僅敘述一半導體生產機台。 參考圖1，其顯示一如本發明之半導體工廠自動化系 統0 -6 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱 (請先閱讀背面之注意事項 —裝i I 本頁) 訂_ · --線」 A7

、如圖所示，一半導體工廠自動化系統包括一網路管理部 份1 1 2用於管理一網路，此網路包括複數半導體生產機台 及一即時資料庫1 1 〇，以連接到網路管理部份1工4，爲儲 存一即時區段程序資料，一暫時記憶單元丨2 〇，連接到網 路處理部份1 1 4，爲接收資料及處理來自—外部裝置之訊 唬並以暫時檔案儲存，一歷史管理部份1 1 8，連接到暫時 圮憶單元1 2 0，爲接收資料及處理來自暫時記憶單元ι 2 〇 及將所接收之資料及處理儲存至歷史資料庫124，連接到 歷史管理部份1丨8。網路管理部份丨丨4，歷史管理部份 1 1 8及歷史貝料庫1 2 4係分別連接到公共通訊線路1 1 4用 於其間之通訊。Ethernet™係由Xerox公司所提供，可當作 公共通訊線路所使用。 半導體工處自動化系統另包括一比較部件1 2 6，用於比 較即時區段程序資料及區段規格資料，以決定其間之差異 疋否在使用者所設置之預定範圍。在這時候，區段規格資 料係事先儲存於即時資料庫1 1 0。 在此’半導體生產機台包括複數程序設備E Q，亦稱爲 工作站用以處理一區段，複數設備伺服器j 3 〇用於控制程 序設備E Q根據來自網路管理部份11 2之指令訊息，測試 設備1 5 0用於測試一處理過之區段以提供即時區段程序資 料，儲存器1 4 0用以儲放磁帶卡匣（未顯示出）其包含一預 走數目之區段，自動導引車1 4 2沿著一機台内移動，以傳 送一包含程序區段之磁帶卡匣，及車子從一半導體生產機 台到另一半導體生產機台傳送磁帶卡匣。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項 —裝--- 本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475230 A7 —---_--_____ 五、發明說明（5 ) 爲了簡便，雖然薄膜敷層機台當作半導體生產機台海示 於圖卜其它半導體生產機台，例如，一攝影刻印機台， 一蝕刻機台及一擴散機台具有與薄膜敷層機台相同之結 構。 網路管理部份112包括一網路管理伺服器114用以傳送 資料訊息及產生處理，及一操作介面伺服器丨〗6用於允許 一操作者與網路管理伺服器i 1 4之介面。 此後，如本發明之半導體工廠自動化系統之操作將詳加 敛述。 在程序設備E Q於一設備伺服器丨3 〇控制之下完成一區 段之處理之後，一處理過之區段，經使用自動導引車 A G V傳送到測試設備1 5 0，然後測試設備丨5 〇測試處理過 之區段以產生即時區段程序資料。測試設備伺服器i 3 2接 收及傳送即時區段程序資料從測試設備15〇到設備介面伺 服器1 2 8。另外，即時區段程序資料傳送即時資料庫i i 〇 透過網路管理系統伺服器1 i 4，因而儲存於即時資料庫 110° 設備介面伺服器1 2 8透過網路管理伺服器1 1 4，比較來 自測試設備伺服器1 5 0之即時區段程序資料與傳送來自即 時資料庫1 1 0之區段規格資料。在比較結果之後，如即時 區段程序資料及區段規格資料之間之差異係在預定之範 圍，處理過之區段視爲一正常製造區段，如此下一程序區 段係繼續於另一裎序設備。 在另一方面，如即時區段程序資料及區段規範資料之間 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項 —裝— 本頁) . · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於所铋取 < 動作之資料，亦透過網路管理伺服器1 1 4儲存 於即時資料庫110及歷史資料庫124。 势在這時後，如不正常製造區段之原因係區段本身，網路 管理伺服器1 1 4接收來自操作者介面伺服器丨丨6之資料， 在如取所需之動作之後，產生一第二處理允許相關區段得 以進行。 第二處理亦係透過網路管理伺服器1 1 4存到即時資料庫 1 1 〇。此外.，在與第一處理相似之情況，第二處理傳送到 暫時记憶單元1 2 〇 ,如此第二處理係以暫時檔案之形式儲 存於暫時記憶單元1 2 〇。然後，網路管理伺服器i i 4產生 一第三訊息通知歷史伺服器1 2 2第二處理已儲存在暫時記 憶單元1 2 0。而後，歷史介面伺服器1 2 2自暫時記憶單元 120中讀出第二處理，並將它輸入到歷史資料庫124以響 應第三訊息。最後，歷史資料庫124儲存第二處理爲一歷 史資料相對於其相關區段。 如上述，當不正常製造區段係於另一設備中處理下一程 序，相關設備之伺服器檢查與區段相關聯之區段資料。如 區段資料僅有第一處理，設備伺服器視本區段爲不正常製 造區段。如此，任何處理對於相關之區段得以避免。不 過，如區段資料具有第一及第二處理，換言之，所需之動 作已實行於不正常製造區段，本區段繼續處理於相關之程 序設備。 此後，本發明用以自動控制半導體製造程序之方法將描 述於圖2A及2B。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項本頁)

. •線· 475230 A7 B7 五、發明說明（8 ) 首先，在步驟S200，設備介面词服器1 2 8從測試設備 150透過測試設備伺服器132接收即時區段程序资料，及 透過管理伺服器〖14傳送來自即時資料庫11〇之區段规格 資料。 在步驟S202，設備伺服器128比較即時區段程序資料及 區段規格資料，以決定即時區段程序資料與區段規格資料 間之差異是否在操作者所設之預定範圍内。 在步孤S204，參肤比較之結果，如即時區段程序資料與 區段規格資料間之差異在預定之範圍，相關區段係视爲： 常製造，如此本區段之下一程序將繼續而不會有任何區段 程序之停留。 在步驟S206，如即時區段程序資料與區段規格資料間之 差異超過或低於預定之範圍，設備介面伺服器13〇產生第 一訊息表示不正常製造區段出現。 在步驟S208，網路管理伺服器丨丨4響應於第一訊息，產 生弟處理表示相關區段不正常製造。 在步驟S 2 1 0，第一處理係透過網路管理伺服器丨丨4傳 运到即時資料庫1丨〇，如此，第一處理儲存在即時資料庫 1 1 0 〇 在步躁S212，網路管理伺服器n i 4傳送第一處理到暫 圮憶單元1 2 0，然後產生一第二訊息通知歷史介面伺服 1 1 ό ’而第一處理係儲存於暫時記憶單元$ 2 〇。歷史介 词服器1 2 2由暫時記憶單元〗2 〇中讀取所儲存之第一處理 以響應第二訊息，及輸出第一處理到歷史資料庫工2 4。如 -11 - 石氏張尺度· γ關冢辟（CNS)A4規格⑽

頁 訂 時 器 面 X 297公釐） 475230 A7

475230 第89109831號申請專利案 中文說明書修正頁(9&年jog) 五、發明説明（10 ) 技者將可以瞭解的是不同之修正，增添及替換之可能，而 不偏離本發明如申請專利範圍附加項所說明之主旨與精 神。 元件符號說明 110 即時資料庫 112 網路管理部份 114 ,公共通訊線路（CMS) 116 操作介面伺服器 118 歷史管理部份 120 暫時記憶單元 122 歷史介面伺服器（HIS) 124 歷史資料庫 1 2 6 比較部份 128 設備介面伺服器（E I S ) 130 設備伺服器（E Q S ) 132 測試設備伺服器（T E Q S ) 140 儲存器 142 自動導引車（AGV) 150 測試設備（TEQ) -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

Claims (1)

1. 475230 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第891〇9831號申請專利案 g 主文步諸#·制節同倏π：木 QA、申請專利範圍 1·「種用以於半導體工廒自動化系統中自動控制半導體製 造程序之裝置，包括： 一公用通訊線路； 複數程序設備，連接到公共通訊線路，每一設備處理 一區段； 複數設備控制裝置，各裝置控制程序設備，根據來自 外部裝置之指令； 複數測試設備，各設備測試處理過之區段以產生區段 程序資料； 複數測試设備控制裝置，各裝置接收區段程序資料以 轉換程序資料； 5己ί思裝置用於儲存區段程序資料，其中記憶裝置分 別預先儲存一區段規格資料； 比較裝置’連接於公共通訊線路，用以比較區段程 序資料與區段規格資料，以決定是否處理過之區段資料 及區段規格資料間之差異，超過或低於預定範圍，比較 裝置產生一第一訊息表示一不正常製造區段之出現；及 一處理產生裝置，連接到公共通訊線路，用於產生— 第一處理以響應第一訊息，第一處理表示區段係不正常 製造， 其中對於不正常製造區段之下一區段程序將得以避 免。 2.如申請專利範圍第1項之裝置，進一步包括一歷史管理 裝置以管理區段歷史。

   本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 x 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ 線- 申請 專利範

   4· 如申請專利範 史管理裝置， 知第一處理係 如申請專利範 括： 園赛1項之裝置，其中第一處理傳送到歷 及其中處理產生裝置產生一第二， ^ α 毗息，通 已傳送到歷史管理裝置。 圍第3項之裝置，其中歷史管理裝置包 ，、办 ，乃 m ^ 案之形式所傳送之第一處理； -歷史介面裝置，響應第二訊息，用於讀出 時記憶裝置之第一處理，以輸出第一處理到—外部; 置，及 一歷史記憶裝置，用於儲存從歷史介面裝置輸出之 一處理。 5·如申請專利範圍第2項之裝置，進一步包含·· 一一操作者介面裝置，用於接收對於不正常製造區段所 採取相關動作之資料。 6·如申請專利範圍第5項之裝置，其中處理產生裝置接收 來自操作者介面裝置之資料，並將其傳送至記憶裝置。 7·如申請專利範圍第6項之裝置，其中處理產生裝置產生 一第二處理允許不正常製造區段得以進行。 8. 如申請專利範圍第7項之裝置’其中第二處理經設備介 面裝置傳送到設備控制裝置’如此不正常製造區段之下 一程序得以繼續。 9. 如申請專利範圍第7項之裝置，其中處理產生裝置產生 一第三訊息’ -2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 475230 A8 B8 C8

   其中暫時記憶裝置儲存自處理產生裝置以暫時樓案形 式傳送之第二處理， 其中歷史介面裝置由暫時記憶裝置讀出所儲存之第二 處理’以響應第三訊息並輸出第二處理，及 ~ 其中歷史記憶裝置儲存由歷史介面單元輸出之第二 理。 — ίο.如申請專利範圍第！項之裝置，其中公共通訊線路包括 由Xerox公司所提供之Ethernet™。 11· 一種用以於半導體工廠自動化系統中自動控制半導體製 造程序之方法，包括以下步驟i a)接收一區段規格資料及一區段程序資料； b )比較區段規格資料及區段程序資料，以決定是否 區段規格資料及區段程序資料之間之差異在預定之範 圍； c) 如區段規格資料及區段程序資料之間之差異超過 或低於預定範圍，產生一第一訊息表示不正常製造區段 之出現； d) 產生一第一處理以響應第一訊息，第一處理表示 區段係不正常製造；及 e) 將第一處理儲存至記憶裝置， 其中對於此不正常製造區段之下一區段程序得以避 免。 12.如申请專利範圍第1 1項之方法，其中步驟a)包括以下步 驟： -3 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·- 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公髮） 、申請專利範圍 a 1)於一設備中處理一區段； a2)測試處理過之區段以產生區段程序資料； a 3 )傳送區段程序資料到比較裝置；及 a4 )傳送區段規格資料到比較裝置，其中區段規格資 料係儲存於記憶裝置。 13.如申請專利範圍第12項之方法，進一步包括儲存區段程 序資料到記憶裝置之步驟。 •如申μ專利範圍第丨丨項之方法，進一步包括以下步驟： f)傳送第一處理到一歷史管理裝置；及 8)產生一第二訊息通知第一處理已傳送至歷史管理 裝置。 15.如申請專利範圍第丨4項之方法，其中歷史管理裝置包 括： 一暫時記憶裝置，用於儲存第一處理於暫時檔案之形 式； 一歷史介面裝置，響應第二訊息，用於讀出儲存於暫 時記憶裝置之第一訊息，以輸出第一處理至外部裝置； 及 ， 一歷史1己憶裝置用於儲存由歷史介面裝置輸出之第一 處理。 16·如申請專利範圍第丨丨項之方法，進一步包括以下步驟： h )接收對於不正常製造區段相關於採取之動作之次 料； $ i)產生一第二處理允許不正常區段進行處理； 、申凊專利範圍 j)儲存第二處理到記憶裝置。 17·如申請專利範圍丨6項之 扁…〜 進步包括以下步驟： 專运罘二處理到歷史管理裝置；及 1)產生一罘三訊息通知第二處理傳送至歷史 裝 罝。 18.如申請專利範 .,^ ^ ^ 矛/貝又万法，其中暫時記憶裝置儲存 罘二處理以一暫時檔案之形式， 其中歷史介面裝置由暫時記憶裝置中讀取所儲存之第 一處理，響應第三訊息以輸出第二處理到外部裝置，及 /、中歷史$己憶裝置儲存由歷史介面裝置輸出之第二處 理。 . 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 f蠊 本^ 頁 訂 -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）