TW475230B - Apparatus and method for automatically controlling semiconductor manufacturing process in semiconductor factory automation system - Google Patents

Apparatus and method for automatically controlling semiconductor manufacturing process in semiconductor factory automation system Download PDF

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TW475230B TW089109831A TW89109831A TW475230B TW 475230 B TW475230 B TW 475230B TW 089109831 A TW089109831 A TW 089109831A TW 89109831 A TW89109831 A TW 89109831A TW 475230 B TW475230 B TW 475230B
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Description

475230 Λ7
Λ7 M7 發明說明(2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .Yl S <專利説明不、正常製造區段之原因係設備 或私"·條件“功能,爲解決問題需停止相關設備之操 作T七止常製造區段主要會產生係因程序其本身。 Γ 由以上吁看出,即使當一區段不正常製造於區段 ’ Α屮 斤,随义程序將繼續,不考慮不正常製造區 段,直到整個區段程序完成。因此,製造效率將降低。 爹明 因 t發明 < 一目6勺係提供於半導體工處自動化系統 中自動控料⑽製造程序之㈣及方法,以能夠增進製 造半導體裝置之效率。 根據尽發明〈—内容,提供_於半導體工戚自動化系統 中自動控制半導體製造程序之裝置,包含:_公共通訊線 路;複數設備連接至公共通訊線路,每一設備處理一區 段;複數設備之控制裝置’每—裝置轉換來自外部裝置訊 息成爲可用指令以控制每一設備;複數測試設備,每一設 備測試處理過之區段以產生區段程序資料;複數測試設備 控制裝置,每一裝置接收到區段資料以轉換區段程序資 料;一記憶裝置用於分別儲存區段程序資料及一區段規格 資料;一比較裝置,連到公共通訊線路,比較區段程序資 料及區段規格資料,以決定是否程序區段資料及規格資料 之間之差異’超過或低於預定範圍,其中如差異超過或低 於預定範圍’比較裝置產生第一訊息表示一不正常之製造 區段出現:一處理產生裝置,連到公共通訊纜線,用於產 生第一處理以響應第一訊息,第一處理表示區段不正常製 -5- 本纸張瓦度達用中S國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項 —裝--- 本頁) 訂-- --線· A7 B7 五、發明說明(3 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 仏’在其中不正常製造區段之下-區段程序得以避免。 、如本發明〈另一内容,提供用以於一半導體工廒中自動 捡制一半導體製造程序之方法,包括之步驟爲:&)接收一 區&規格h料及區段程序資料;b)比較區段規袼資料與 區段程序資料,以決定是否區段規格資料及區段程序資料 間之差異万;預定〈範圍;c)如一差異於區段規袼資料及區 段程序資料超過或低於一預定範圍,產生一第一訊息以表 不一不正常製造區段之產生;d)產生第一處理表示區段 爲不正^製造;及e )儲存第一處理到記憶裝置,在其中避 免不正常製造區段之下一區段程序。 圖式簡單説明 本發明I其它目的及方面,從下面實施例之敘述及參考 附圖可將變得明瞭,其中: 圖1係一構圖描述一半導體工廠自動化系統;及 圖2 A及2 B之流程圖描述如本發明之用以於半導體工廠 自動化系統中自動控制半導體製造程序之方法之處理步 驟。 較佳實施例之詳細説明 爲了製造半導體裝置,複數半導體製造機台係典型安裝 於半導體工廠自動化系統,及半導體生產機台係經一公共 線路連接到一網路管理系統。爲了便利之緣故,本發明將 僅敘述一半導體生產機台。 參考圖1,其顯示一如本發明之半導體工廠自動化系 統0 -6 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公爱 (請先閱讀背面之注意事項 —裝i I 本頁) 訂_ · --線」 A7
、如圖所示,一半導體工廠自動化系統包括一網路管理部 份1 1 2用於管理一網路,此網路包括複數半導體生產機台 及一即時資料庫1 1 〇,以連接到網路管理部份1工4,爲儲 存一即時區段程序資料,一暫時記憶單元丨2 〇,連接到網 路處理部份1 1 4,爲接收資料及處理來自—外部裝置之訊 唬並以暫時檔案儲存,一歷史管理部份1 1 8,連接到暫時 圮憶單元1 2 0,爲接收資料及處理來自暫時記憶單元ι 2 〇 及將所接收之資料及處理儲存至歷史資料庫124,連接到 歷史管理部份1丨8。網路管理部份丨丨4,歷史管理部份 1 1 8及歷史貝料庫1 2 4係分別連接到公共通訊線路1 1 4用 於其間之通訊。Ethernet™係由Xerox公司所提供,可當作 公共通訊線路所使用。 半導體工處自動化系統另包括一比較部件1 2 6,用於比 較即時區段程序資料及區段規格資料,以決定其間之差異 疋否在使用者所設置之預定範圍。在這時候,區段規格資 料係事先儲存於即時資料庫1 1 0。 在此’半導體生產機台包括複數程序設備E Q,亦稱爲 工作站用以處理一區段,複數設備伺服器j 3 〇用於控制程 序設備E Q根據來自網路管理部份11 2之指令訊息,測試 設備1 5 0用於測試一處理過之區段以提供即時區段程序資 料,儲存器1 4 0用以儲放磁帶卡匣(未顯示出)其包含一預 走數目之區段,自動導引車1 4 2沿著一機台内移動,以傳 送一包含程序區段之磁帶卡匣,及車子從一半導體生產機 台到另一半導體生產機台傳送磁帶卡匣。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項 —裝--- 本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475230 A7 —---_--_____ 五、發明說明(5 ) 爲了簡便,雖然薄膜敷層機台當作半導體生產機台海示 於圖卜其它半導體生產機台,例如,一攝影刻印機台, 一蝕刻機台及一擴散機台具有與薄膜敷層機台相同之結 構。 網路管理部份112包括一網路管理伺服器114用以傳送 資料訊息及產生處理,及一操作介面伺服器丨〗6用於允許 一操作者與網路管理伺服器i 1 4之介面。 此後,如本發明之半導體工廠自動化系統之操作將詳加 敛述。 在程序設備E Q於一設備伺服器丨3 〇控制之下完成一區 段之處理之後,一處理過之區段,經使用自動導引車 A G V傳送到測試設備1 5 0,然後測試設備丨5 〇測試處理過 之區段以產生即時區段程序資料。測試設備伺服器i 3 2接 收及傳送即時區段程序資料從測試設備15〇到設備介面伺 服器1 2 8。另外,即時區段程序資料傳送即時資料庫i i 〇 透過網路管理系統伺服器1 i 4,因而儲存於即時資料庫 110° 設備介面伺服器1 2 8透過網路管理伺服器1 1 4,比較來 自測試設備伺服器1 5 0之即時區段程序資料與傳送來自即 時資料庫1 1 0之區段規格資料。在比較結果之後,如即時 區段程序資料及區段規格資料之間之差異係在預定之範 圍,處理過之區段視爲一正常製造區段,如此下一程序區 段係繼續於另一裎序設備。 在另一方面,如即時區段程序資料及區段規範資料之間 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 χ 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項 —裝— 本頁) . · 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於所铋取 < 動作之資料,亦透過網路管理伺服器1 1 4儲存 於即時資料庫110及歷史資料庫124。 势在這時後,如不正常製造區段之原因係區段本身,網路 管理伺服器1 1 4接收來自操作者介面伺服器丨丨6之資料, 在如取所需之動作之後,產生一第二處理允許相關區段得 以進行。 第二處理亦係透過網路管理伺服器1 1 4存到即時資料庫 1 1 〇。此外.,在與第一處理相似之情況,第二處理傳送到 暫時记憶單元1 2 〇 ,如此第二處理係以暫時檔案之形式儲 存於暫時記憶單元1 2 〇。然後,網路管理伺服器i i 4產生 一第三訊息通知歷史伺服器1 2 2第二處理已儲存在暫時記 憶單元1 2 0。而後,歷史介面伺服器1 2 2自暫時記憶單元 120中讀出第二處理,並將它輸入到歷史資料庫124以響 應第三訊息。最後,歷史資料庫124儲存第二處理爲一歷 史資料相對於其相關區段。 如上述,當不正常製造區段係於另一設備中處理下一程 序,相關設備之伺服器檢查與區段相關聯之區段資料。如 區段資料僅有第一處理,設備伺服器視本區段爲不正常製 造區段。如此,任何處理對於相關之區段得以避免。不 過,如區段資料具有第一及第二處理,換言之,所需之動 作已實行於不正常製造區段,本區段繼續處理於相關之程 序設備。 此後,本發明用以自動控制半導體製造程序之方法將描 述於圖2A及2B。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項本頁)
. •線· 475230 A7 B7 五、發明說明(8 ) 首先,在步驟S200,設備介面词服器1 2 8從測試設備 150透過測試設備伺服器132接收即時區段程序资料,及 透過管理伺服器〖14傳送來自即時資料庫11〇之區段规格 資料。 在步驟S202,設備伺服器128比較即時區段程序資料及 區段規格資料,以決定即時區段程序資料與區段規格資料 間之差異是否在操作者所設之預定範圍内。 在步孤S204,參肤比較之結果,如即時區段程序資料與 區段規格資料間之差異在預定之範圍,相關區段係视爲: 常製造,如此本區段之下一程序將繼續而不會有任何區段 程序之停留。 在步驟S206,如即時區段程序資料與區段規格資料間之 差異超過或低於預定之範圍,設備介面伺服器13〇產生第 一訊息表示不正常製造區段出現。 在步驟S208,網路管理伺服器丨丨4響應於第一訊息,產 生弟處理表示相關區段不正常製造。 在步驟S 2 1 0,第一處理係透過網路管理伺服器丨丨4傳 运到即時資料庫1丨〇,如此,第一處理儲存在即時資料庫 1 1 0 〇 在步躁S212,網路管理伺服器n i 4傳送第一處理到暫 圮憶單元1 2 0,然後產生一第二訊息通知歷史介面伺服 1 1 ό ’而第一處理係儲存於暫時記憶單元$ 2 〇。歷史介 词服器1 2 2由暫時記憶單元〗2 〇中讀取所儲存之第一處理 以響應第二訊息,及輸出第一處理到歷史資料庫工2 4。如 -11 - 石氏張尺度· γ關冢辟(CNS)A4規格⑽
頁 訂 時 器 面 X 297公釐) 475230 A7
475230 第89109831號申請專利案 中文說明書修正頁(9&年jog) 五、發明説明(10 ) 技者將可以瞭解的是不同之修正,增添及替換之可能,而 不偏離本發明如申請專利範圍附加項所說明之主旨與精 神。 元件符號說明 110 即時資料庫 112 網路管理部份 114 ,公共通訊線路(CMS) 116 操作介面伺服器 118 歷史管理部份 120 暫時記憶單元 122 歷史介面伺服器(HIS) 124 歷史資料庫 1 2 6 比較部份 128 設備介面伺服器(E I S ) 130 設備伺服器(E Q S ) 132 測試設備伺服器(T E Q S ) 140 儲存器 142 自動導引車(AGV) 150 測試設備(TEQ) -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

Claims (1)

  1. 475230 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第891〇9831號申請專利案 g 主文步諸#·制節同倏π:木 QA、申請專利範圍 1·「種用以於半導體工廒自動化系統中自動控制半導體製 造程序之裝置,包括: 一公用通訊線路; 複數程序設備,連接到公共通訊線路,每一設備處理 一區段; 複數設備控制裝置,各裝置控制程序設備,根據來自 外部裝置之指令; 複數測試設備,各設備測試處理過之區段以產生區段 程序資料; 複數測試设備控制裝置,各裝置接收區段程序資料以 轉換程序資料; 5己ί思裝置用於儲存區段程序資料,其中記憶裝置分 別預先儲存一區段規格資料; 比較裝置’連接於公共通訊線路,用以比較區段程 序資料與區段規格資料,以決定是否處理過之區段資料 及區段規格資料間之差異,超過或低於預定範圍,比較 裝置產生一第一訊息表示一不正常製造區段之出現;及 一處理產生裝置,連接到公共通訊線路,用於產生— 第一處理以響應第一訊息,第一處理表示區段係不正常 製造, 其中對於不正常製造區段之下一區段程序將得以避 免。 2.如申請專利範圍第1項之裝置,進一步包括一歷史管理 裝置以管理區段歷史。
    本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(21〇 x 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ¾ 線- 申請 專利範
    4· 如申請專利範 史管理裝置, 知第一處理係 如申請專利範 括: 園赛1項之裝置,其中第一處理傳送到歷 及其中處理產生裝置產生一第二, ^ α 毗息,通 已傳送到歷史管理裝置。 圍第3項之裝置,其中歷史管理裝置包 ,、办 ,乃 m ^ 案之形式所傳送之第一處理; -歷史介面裝置,響應第二訊息,用於讀出 時記憶裝置之第一處理,以輸出第一處理到—外部; 置,及 一歷史記憶裝置,用於儲存從歷史介面裝置輸出之 一處理。 5·如申請專利範圍第2項之裝置,進一步包含·· 一一操作者介面裝置,用於接收對於不正常製造區段所 採取相關動作之資料。 6·如申請專利範圍第5項之裝置,其中處理產生裝置接收 來自操作者介面裝置之資料,並將其傳送至記憶裝置。 7·如申請專利範圍第6項之裝置,其中處理產生裝置產生 一第二處理允許不正常製造區段得以進行。 8. 如申請專利範圍第7項之裝置’其中第二處理經設備介 面裝置傳送到設備控制裝置’如此不正常製造區段之下 一程序得以繼續。 9. 如申請專利範圍第7項之裝置,其中處理產生裝置產生 一第三訊息’ -2- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) 475230 A8 B8 C8
    其中暫時記憶裝置儲存自處理產生裝置以暫時樓案形 式傳送之第二處理, 其中歷史介面裝置由暫時記憶裝置讀出所儲存之第二 處理’以響應第三訊息並輸出第二處理,及 ~ 其中歷史記憶裝置儲存由歷史介面單元輸出之第二 理。 — ίο.如申請專利範圍第!項之裝置,其中公共通訊線路包括 由Xerox公司所提供之Ethernet™。 11· 一種用以於半導體工廠自動化系統中自動控制半導體製 造程序之方法,包括以下步驟i a)接收一區段規格資料及一區段程序資料; b )比較區段規格資料及區段程序資料,以決定是否 區段規格資料及區段程序資料之間之差異在預定之範 圍; c) 如區段規格資料及區段程序資料之間之差異超過 或低於預定範圍,產生一第一訊息表示不正常製造區段 之出現; d) 產生一第一處理以響應第一訊息,第一處理表示 區段係不正常製造;及 e) 將第一處理儲存至記憶裝置, 其中對於此不正常製造區段之下一區段程序得以避 免。 12.如申请專利範圍第1 1項之方法,其中步驟a)包括以下步 驟: -3 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂·- 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公髮) 、申請專利範圍 a 1)於一設備中處理一區段; a2)測試處理過之區段以產生區段程序資料; a 3 )傳送區段程序資料到比較裝置;及 a4 )傳送區段規格資料到比較裝置,其中區段規格資 料係儲存於記憶裝置。 13.如申請專利範圍第12項之方法,進一步包括儲存區段程 序資料到記憶裝置之步驟。 •如申μ專利範圍第丨丨項之方法,進一步包括以下步驟: f)傳送第一處理到一歷史管理裝置;及 8)產生一第二訊息通知第一處理已傳送至歷史管理 裝置。 15.如申請專利範圍第丨4項之方法,其中歷史管理裝置包 括: 一暫時記憶裝置,用於儲存第一處理於暫時檔案之形 式; 一歷史介面裝置,響應第二訊息,用於讀出儲存於暫 時記憶裝置之第一訊息,以輸出第一處理至外部裝置; 及 , 一歷史1己憶裝置用於儲存由歷史介面裝置輸出之第一 處理。 16·如申請專利範圍第丨丨項之方法,進一步包括以下步驟: h )接收對於不正常製造區段相關於採取之動作之次 料; $ i)產生一第二處理允許不正常區段進行處理; 、申凊專利範圍 j)儲存第二處理到記憶裝置。 17·如申請專利範圍丨6項之 扁…〜 進步包括以下步驟: 專运罘二處理到歷史管理裝置;及 1)產生一罘三訊息通知第二處理傳送至歷史 裝 罝。 18.如申請專利範 .,^ ^ ^ 矛/貝又万法,其中暫時記憶裝置儲存 罘二處理以一暫時檔案之形式, 其中歷史介面裝置由暫時記憶裝置中讀取所儲存之第 一處理,響應第三訊息以輸出第二處理到外部裝置,及 /、中歷史$己憶裝置儲存由歷史介面裝置輸出之第二處 理。 . 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 f蠊 本^ 頁 訂 -線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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