DE10024735A1

DE10024735A1 - System und Verfahren zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten

Info

Publication number: DE10024735A1
Application number: DE10024735A
Authority: DE
Inventors: Myung-Seung Son; Won-Soo Cho; Jin-Ho Jang
Original assignee: Hyundai Electronics Industries Co Ltd
Current assignee: SK Hynix Inc
Priority date: 1999-05-20
Filing date: 2000-05-19
Publication date: 2001-02-01
Also published as: KR100303322B1; KR20000074361A; TW482967B; NL1015251C2; FR2793916B1; NL1015251A1; FR2793916A1; CN1213367C; JP2001035760A; ITMI20001128A1; GB2352058A; ITMI20001128A0; GB2352058B; CN1278621A; IT1317658B1; GB0012374D0

Abstract

Ein System zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten umfasst: DOLLAR A mehrere Prozessanlagen, jeweils zum Verarbeiten eines Loses, das eine vorbestimmte Anzahl von Halbleiterwafern repräsentiert, und zum Erzeugen von mit einem Prozess verknüpften Echtzeitprozessdaten in Reaktion auf Losdaten; zumindest ein Produktionsmanagementgerät zum Erzeugen von mit dem Prozess in den Halbleiterproduktionsbuchten verknüpften Steuerbefehlen und zum Empfangen der Echtzeitprozessdaten aus jeder der Prozessanlagen; ein Anlagenkontrollgerät zum Steuern der Prozessanlagen in Reaktion auf die Steuerbefehle und zum Übermitteln der Echtzeitprozessdaten zu dem Produktionsmanagementgerät; ein Datenspeichergerät zum Speichern der mit dem Prozess und dem Los in den Halbleiterproduktionsbuchten verknüpften Daten in Reaktion auf die von dem Produktionsmanagementgerät erteilten Befehlen; und ein Historienmanagementgerät zum Verwalten der Geschichte jeder der Prozessanlage und Halbleiterwafer in Reaktion auf die von dem Produktionsmanagementgerät erteilten Steuerbefehle.

Description

Gebiet der Erfindung

Die vorlegende Erfindung betrifft ein System und ein Verfahren zum automatischen Verwaltungen von Halbleiterproduktionsbuchten, und insbesondere ein System und Verfahren, die in der Lage sind, mit Prozessen zur Herstellung von Halbleiterbauele menten verknüpfte Daten in effizienter Weise zu verwalten.

Beschreibung des Standes der Technik

Ein Halbleiterfabrikautomatisierungssystem verwendet im Allgemeinen mehrere auto matische Halbleiterproduktionsbuchten. In jeder der Halbleiterproduktionsbuchten ist ei ne Reihe spezieller Prozessanlagen zum Bearbeiten von Halbleiterwafern, beispielswei se eine Ätzanlage, eine Fotolithografieanlage und dergleichen, vorgesehen.

Ferner wird ebenfalls eine Vorrats- bzw. Stockereinheit in der automatischen Halbleiter produktionsbucht verwendet, wobei die Stockereinheit zwischenzeitlich für die Bearbei tungsbucht bereitzustellende und in der Bearbeitungsbucht zu bearbeitende Kassetten aufbewahrt. Jede der Kassetten ist ein Behälter, der in der Lage ist, eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern zu stapeln, wobei die vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwa fern als ein Los bezeichnet wird.

Um mit Prozessen assoziierte Daten zu verwalten, wird in einem herkömmlichen Halb leiterfabrikautomatisierungssystem ebenfalls ein Netzwerksystem verwendet.

Das konventionelle Netzwerksystem umfasst einen Hostcomputer, mehrere Terminals und eine Datenbank, die mit dem Hostcomputer verbunden ist. Der Hostcomputer ver arbeitet alle mit der Herstellung der Halbleiterwafer in dem konventionellen Halbleiter fabrikautomatisierungssystem verknüpften Daten. Anschließend steuert der Hostcom puter die Prozessanlagen.

Durch das Netzwerksystem wird die Anzahl der Beschäftigten zum Verwalten der Pro zesse verringert und somit werden die Verunreinigungen, die dem Wafer zugefügt wer den, minimiert. Ferner werden die mit der Herstellung der Halbleiterwafer verknüpften Daten rasch verarbeitet.

Da jedoch ein herkömmlicher Prozessor kein klassifiziertes Speichergerät und kein Ge samtmanagement für Daten aufweist, ist es schwierig, alle Halbleiterproduktionsbuchten in effizienter Weise zu verwalten, um es einer Anzahl von Beschäftigten zu ermöglichen, in den in der Halbleiterproduktionsbucht ausgeführten Prozess einzugreifen, wodurch die Produktivität für die Halbleiterbauelemente abnimmt.

Überblick über die Erfindung

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein System und ein Verfahren zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten bereitzustellen, die in der Lage sind, die Probleme des Standes der Technik in effizienter Weise zu lösen.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein System zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten bereitgestellt, mit: mehreren Prozessanla gen, jeweils zum Verarbeiten eines eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern rep räsentierendes Los und zum Erzeugen von mit einem Prozess verknüpften Echtzeitpro zessdaten in Reaktion auf Losdaten; zumindest einer Produktionsmanagementeinrich tung zum Erzeugen von mit dem Prozess in den Halbleiterproduktionsbuchten ver knüpften Steuerbefehlen und zum Empfangen der Echtzeitprozessdaten von jeder der Prozessanlagen; einer Anlagenkontrolleinrichtung zum Steuern der Prozessanlagen in Reaktion auf die Steuerbefehle und zum Übermitteln der Echtzeitprozessdaten zu der Produktionsmanagementeinrichtung; einer Datenspeichereinrichtung zum Speichern von mit dem Prozess und dem Los in den Halbleiterproduktionsbuchten verknüpften Daten in Reaktion auf die von der Produktionsmanagementeinrichtung ausgegebenen Befehle; und einer Historienmanagementeinrichtung zum Verwalten der geschichtlichen Entwicklung jedes der Prozessanlagen und Halbleiterwafer in Reaktion auf die von der Produktionsmanagementeinrichtung ausgegebenen Steuerbefehle.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum au tomatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten bereitgestellt, mit den Schrit ten: Übermitteln eines Kassettenzuführbefehls an mehrere Prozessanlagen und eine automatische Transporteinrichtung nach dem Erzeugen des Kassettenzuführbefehls unter Verwendung von ersten Losdaten, die von einer Produktionskontrolleinrichtung ü bermittelt werden; Verarbeiten eines in einer Kassette enthaltenen Loses unter Verwen dung der Prozessanlagen; Speichern von Echtzeitprozessdaten, die an den Prozess anlagen beim Verarbeiten entstehen, in einer Datenspeichereinrichtung über eine Da tensammeleinrichtung; Aufbewahren der Kassette in einer Kassettenstockereinrichtung unter Verwendung der automatischen Transporteinrichtung; und Speichern der Echt zeitprozessdaten in einer Historienspeichereinrichtung, wobei die Echtzeitprozessdaten durch eine Historienmanagementeinrichtung sortiert werden.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein computerlesbares, programmanweisungsspeicherndes Medium bereitgestellt, wobei die Programmanwei sungen auf einem Computer angeordnet ein Verfahren zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten ausführen mit den Schritten: a) Übermitteln eines Kassettenzuführbefehls an mehrere Prozessanlagen und eine automatische Transport einrichtung nach dem Erzeugen des Kassettenzuführbefehls unter Verwendung von ersten Losdaten, die von einer Produktionskontrolleinrichtung übermittelt werden, b) Verarbeiten eines in einer Kassette enthaltenen Loses unter Verwendung der Pro zessanlagen; c) Speichern von Echtzeitprozessdaten, die in den Prozessanlagen bei der Verarbeitung entstehen, in einer Datenspeichereinrichtung über eine Datensammelein richtung; d) Aufbewahren der Kassette in einer Kassettenstockereinrichtung unter Ver wendung der automatischen Transporteinrichtung; und e) Speichern der Echtzeitpro zessdaten in einer Historienspeichereinrichtung, wobei die Echtzeitprozessdaten durch eine Historienmanagementeinrichtung sortiert werden.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Die obigen und weitere Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform, die in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird, deutlich; es zeigen:

Fig. 1 ein schematisches Diagramm eines Halbleiterfabrikautomatisierungssystems, das ein System zum automatischen Verwalten einer Halbleiterproduktionsbucht gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ver wendet;

Fig. 2 eine Struktur einer Historiendatenbank in dem System aus Fig. 1;

Fig. 3 eine Struktur einer Losdatentabelle, die mit einem Los aus Fig. 2 verknüpft ist;

Fig. 4 eine Struktur einer Anlagendatentabelle, die mit einer in Fig. 2 gezeigten Pro zessanlage verknüpft ist;

Fig. 5 eine Struktur von Retikel- und Kassettendatentabellen, die mit einem Retikel je des der Halbleiterwafer, die in einer in Fig. 2 gezeigten Kassette enthalten sind, verknüpft sind;

fig. 6 eine Struktur einer Prozessdatentabelle, die mit einem sich im Ablauf befindli chen Prozess verknüpft ist, der in Fig. 2 dargestellt ist;

Fig. 7A bis 7C Flussdiagramme, die ein Verfahren zum automatischen Verwalten von Halblei terproduktionsbuchten gemäß der vorliegenden Erfindung zeigen;

Fig. 8 ein Flussdiagramm, das Schritte repräsentiert, in denen ein CMS einen Kas settenzuführbefehl an eine in Fig. 7A gezeigte Prozessanlage übermittelt;

Fig. 9 ein Flussdiagramm, das Schritte repräsentiert, in denen ein AGV aus der Fig. 7A die Kassette der Prozessanlage zuführt;

Fig. 10 ein Flussdiagramm, das Schritte zum Aufzeichnen von Prozessdaten in Fig. 7B in einer Echtzeitdatenbank repräsentiert;

Fig. 11 ein Flussdiagramm, das Schritte repräsentiert, in denen die Prozessanlage in Fig. 7B das Zurückziehen der Kassette anfordert;

Fig. 12 ein Flussdiagramm, das Schritte repräsentiert, in denen ein CMS in der Fig. 7B einen Kassettenrücknahmebefehl zu der Prozessanlage übermittelt; und

Fig. 13 ein Flussdiagramm, das Schritte repräsentiert, in denen ein AGV die Kassette aus der Prozessanlage zurückzieht und die Kassette in einer Stockereinheit aufbewahrt.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Um Halbleiterbauelemente herzustellen, werden typischerweise mehrere Halbleiterpro duktionsbuchten in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem eingerichtet, und die Halbleiterproduktionsbuchten werden mit einem Produktionsmanagementsystem über eine gemeinsame Kommunikationsleitung verbunden. Der Einfachheit halber wird die vorliegende Erfindung lediglich mit einer Halbleiterproduktionsbucht beschrieben.

In Fig. 1 ist ein schematisches Diagramm eines Halbleiterfabrikautomatisierungssystems gezeigt, das ein System zum automatischen Verwalten der Halbleiterproduktionsbuch ten gemäß einer bevorzugen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet.

Wie gezeigt, umfasst das Halbleiterfabrikautomatisierungssystem zumindest eine Zelle, die eine vorbestimmte Anzahl, beispielsweise 4, von Halbleiterproduktionsbuchten auf weist. Eine Halbleiterproduktionsbucht ist mit einer vorbestimmten Anzahl von Prozess anlagen 700, einer Stockereinheit 890 und einem oder mehreren automatischen ge führten Fahrzeugen (AGV) 880 ausgestattet. Jede der Prozessanlagen 700 verarbeitet Halbleiterwafer, um die Halbleiterbauelemente zu erhalten. Die Prozessanlage umfasst beispielsweise eine Ätzanlage, eine Fotolithografieanlage und dergleichen. Die Stocke reinheit speichert zwischenzeitlich eine Reihe von Kassetten. Jede der Kassetten besitzt eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern, die als ein Los bezeichnet werden. Die Kassetten werden selektiv unter Verwendung des AGV 880 zu einer Prozessanlage transportiert. Eine in der Prozessanlage bearbeitete Kassette (im weiteren als "eine pro zessierte Kassette" oder "Los" bezeichnet) wird anschließend zu einer weiteren Pro zessanlage oder zu der Stockereinheit 890 unter Verwendung des AGV 880 transpor tiert. Die in der Stockereinheit 890 aufbewahrte prozessierte Kassette wird zu einer weiteren Halbleiterproduktionsbucht befördert.

Jede Prozessanlage ist über einen Anlagenkontrollbereich 600 mit einer gemeinsamen Kommunikationsleitung 10, beispielsweise ein von der Firma Xerox Corporation erhältli ches Ethernet, verbunden. Die Stockereinheit 890 und das AGV sind ebenfalls mit der gemeinsamen Kommunikationsleitung 10 verbunden.

Das Halbleiterfabrikautomatisierungssystem umfasst ebenfalls einen Zellenmanage mentbereich 100, eine Echtzeitdatenbank 200, die mit dem Zellenmanagementbereich 100 verbunden ist, eine mit dem Zellenmanagementbereich 100 verbundene Zwischen speichereinheit 300, einen mit der Zwischenspeichereinheit 300 verbundenen Histo rienmanagementbereich 400 und eine Historiendatenbank 500, die mit dem Historien managementbereich 400 verbunden ist. Der Zellenmanagementbereich 100, der Histo rienmanagementbereich 400 und die Historiendatenbank 500 sind jeweils mit der ge meinsamen Kommunikationsleitung 10 zur gemeinsamen Kommunikation untereinander verbunden.

Über das Ethernet-Kabel 10 kommuniziert der Zellenmanagementbereich 100 mit dem Anlagenkontrollbereich 600 zum Steuern einer Prozessanlage 700, und dem Transport kontrollbereich 800 zum Steuern der Stockereinheit 890 und des AGV 880.

Ferner ist die Historiendatenbank 500 an einen Berichterstattungsbereich 900 über die gemeinsame Kommunikationsleitung 10 gekoppelt.

Der Zellenmanagementbereich 100 umfasst einen Bedienerschnittstellenserver (im weiteren als OIS bezeichnet) 120, einen Zellenmanagementserver (im weiteren als CMS bezeichnet) 140 zum Erzeugen von Steuerbefehlen, und einen Datensammelserver (im weiteren als DGS bezeichnet) 160 zum Speichern von Prozessdaten, die mit dem Los in der Echtzeitdatenbank 200 verknüpft sind.

Der OIS 120 besitzt eine grafische Anwenderschnittstelle. Ein Bediener kann anfänglich mit dem zu verarbeitenden Los verknüpfte Losdaten, etwa eine Identifizierung (I. D.) des Loses, eine I. D. der das Los enthaltenden Kassette und dergleichen in den OIS 120 eingeben. Die in den OIS 120 eingespeisten Losdaten werden an den CMS 140 über mittel und anschließend über den DGS 160 der Echtzeitdatenbank 200 eingespeist. In diesem Falle erzeugt der CMS 140 einen Kassettenzuführbefehl oder einen Kassetten rückholbefehl als einen Steuerbefehl auf der Grundlage eines Prozessverzeichnisses, das zuvor in der Echtzeitdatenbank 200 gespeichert wurde. Der Befehl wird über die gemeinsame Kommunikationsleitung, d. h., dem Ethernet, dem Transportkontrollbereich 800 in Form einer Ethernet-Nachricht, zugeführt und gleichzeitig auf einem Bildschirm des OIS 120 angezeigt.

Der CMS 140 empfängt Echtzeitprozessdaten aus dem Anlagenkontrollbereich 700 in Form einer Ethernet-Nachricht und speichert die Echtzeitprozessdaten in der Zwischen speichereinheit 300. In diesem Falle speichert die Zwischenspeichereinheit 300 die Echtzeitprozessdaten für eine vorbestimmte Zeit.

Der Historienmanagementbereich 400 umfasst einen Historieninformationsserver (im weiteren als HIS bezeichnet) 420 zum Abrufen der Echtzeitprozessdaten aus der Zwi schenspeichereinheit 300 und zum Speichern der abgerufenen Echtzeitprozessdaten in der Historiendatenbank 500 auf der Grundlage eines Befehls des CMS 170.

Der Anlagenkontrollbereich 600 umfasst einen Anlagenserver (im weiteren als EQS be zeichnet) 620, der mit der gemeinsamen Kommunikationsleitung 10 verbunden ist, und einen Anlagenkommunikationsserver (im weiteren als ECS bezeichnet) 640 zur Kom munikation der Prozessanlagen 700 mit dem EQS 620. Der ECS 640 wandelt die von der Prozessanlage 700 ausgegeben Prozessdaten in eine Nachricht eines Halbleiter anlagenkommunikationsstandards (im weiteren als SECS bezeichnet) um. Der SECS ist ein Kommunikationsprotokoll zur Kommunikation zwischen den Servern in diesem Sys tem. Der EQS 620 übermittelt von dem CMS 140 ausgegebene Steuerbefehle an die Prozessanlagen 700 über den EQS 620 und den ECS 640. Ferner empfängt der EQS 620 die von den Prozessanlagen 700 ausgegebenen Prozessdaten über den ECS 640 und übermittelt die Prozessdaten an den CMS 140.

Der Transportkontrollbereich 800 umfasst einen Stockerkontrollserver (im weiteren als SCS bezeichnet) 820 zum Steuern der Stockereinheit 890, einen buchteninternen Kon trollserver (im weiteren als ICS bezeichnet) 840, der mit dem SCS 820 verbunden ist, und einen Kontroller für automatisch geführte Fahrzeuge (im weiteren als AGVC be zeichnet) 860, der mit dem ICS 840 verbunden ist.

Der ICS 840 empfängt die von dem CMS 140 erteilten Steuerbefehle und übermittelt die Steuerbefehle jeweils zu dem SCS 820 und AGVC 860. Der SCS 820 steuert die Sto ckereinheit 890 auf der Grundlage der empfangenen Steuerbefehle, so dass die Sto ckereinheit 890 ausgewählte Kassetten einlädt oder auslädt.

Der AGVC 860 erzeugt ein Transportkontrollsignal auf der Grundlage der empfangenen Steuerbefehle und übermittelt anschließend das Transportkontrollsignal zu dem AGV 880. Anschließend transportiert das AGV 880 die ausgewählten Kassetten in Reaktion auf das Transportkontrollsignal.

Der Berichterstattungsbereich 900 umfasst einen Berichtserver 920 zum Abrufen der Daten aus der Historiendatenbank 500 und zum Erzeugen eines Berichts, und eine Be richtsdatenbank 940 zum Speichern des von dem Berichtsserver 920 erzeugten Be richts.

Mehrere der obigen Server können durch Anwendung einer Vielzahl von Softwarepro grammen implementiert werden und jeder Bereich kann durch Verwendung z. B. eines oder mehrerer Personalcomputer, Arbeitsplatzrechner, Mikroprozessoren und derglei chen implementiert werden.

In Fig. 2 ist eine Struktur einer Historiendatenbank in dem erfindungsgemäßen System gezeigt.

Wie in Fig. 2 gezeigt ist, umfasst die Historiendatenbank 500 eine Losdatentabelle 510, eine Anlagendatentabelle 520, eine Retikel- und Kassettendatentabelle 530 und eine Prozessdatentabelle 540.

In Fig. 3 ist eine Struktur der Losdatentabelle 510 gezeigt, die mit einem Los aus Fig. 2 verknüpft ist.

Wie gezeigt, besitzt die Losdatentabelle 510 eine Loszustandstabelle 511, eine Losge schichtstabelle 512, eine Losgeschichtslöschtabelle 513, eine Loseigenschaftstabelle 514, eine Betriebsbefehlstabelle 515, eine Prozesstabelle 516, eine Loszurückwei sungstabelle 517, eine Loswiederbearbeitungstabelle 518 und eine Losfehlertabelle 519.

Die Loszustandstabelle 511 speichert Daten, die einen an einem Los auszuführenden Prozess, die Anzahl an Wafer in einem Los, einen Waferzustand in dem Los und der gleichen repräsentieren. Die Losgeschichtstabelle 512 speichert Daten, die an dem Los durchgeführte Prozesse, eine Änderung der Anzahl der Wafer in dem Los und derglei chen repräsentieren. Die Losgeschichtslöschtabelle 513 speichert Daten, die eine Los geschichte, die durch einen Geschichtslöschbefehl gelöscht wurde, und einen Lösch zeitpunkt, einen Bediener dafür und dergleichen repräsentieren. Die Loseigenschaftsta belle 514 speichert Daten, die eine Eigenschaft eines durch den Bediener definierten Loses repräsentieren. Die Betriebsbefehlstabelle 515 speichert Daten, die in jedem Pro zess verwendete Betriebsbefehle repräsentieren. Die Prozesstabelle 516 speichert Da ten, die während jedes Prozesses erzeugt werden. Die Loszurückweisungstabelle 517 speichert Daten, die einen Prozess, in welchem eine Zurückweisung eines Loses auftritt, einen Grund für die Zurückweisung, eine Managementgeschichte für die Zurückweisung und dergleichen repräsentieren. Die Loswiederbearbeitungstabelle 518 speichert Daten, die einen Grund repräsentieren, warum das Los erneut zu bearbeiten ist und derglei chen. Wenn das Los einen Fehler aufweist, speichert die Losfehlertabelle 519 Daten, die einen Grund für den Fehler, eine Managementgeschichte für den Fehler und derglei chen repräsentieren.

In Fig. 4 ist eine Struktur einer Anlagendatentabelle 520, die mit einer Prozessanlage aus Fig. 2 verknüpft ist, gezeigt.

Wie in Fig. 4 gezeigt ist, besitzt die Anlagendatentabelle 520 eine Anlagenzustandsta belle 521, eine Anlagengeschichtstabelle 522, eine Anlagenwartungstabelle 523, eine Anlagenbetriebstabelle 524 und eine Anlagenbefehlsgeschichtstabelle 525.

Die Anlagenzustandstabelle 521 speichert Daten, die den momentanen Zustand der Prozessanlage 700 während des Prozesses repräsentieren. Die Anlagengeschichtsta belle 522 speichert Daten, die einen in der Prozessanlage 700 auftretenden Fehler rep räsentieren. Die Anlagenwartungstabelle 523 speichert Informationen, die mit der War tung der Prozessanlage 700 verknüpft sind. Die Anlagenbetriebstabelle 524 speichert Daten, die mit dem in der Prozessanlage 700 durchgeführten Prozess verknüpft sind, und Daten, die mit der Prozessanlage 700 verknüpft sind. Wenn die Prozessanlage 700 nicht in Ordnung ist, speichert die Anlagenbefehlsgeschichtstabelle 525 die in der Pro zessanlage 700 bearbeiteten Befehle.

In Fig. 5 ist eine Struktur einer Retikel- und Kassettendatentabelle 530, die mit einem Retikel jedes der in einer Kassette aus Fig. 2 enthaltenen Halbleiterwafers verknüpft ist.

Wie in Fig. 5 gezeigt ist, besitzt die Retikel- und Kassettendatentabelle 530 eine Retikel geschichtstabelle 531 und eine Retikelbefehlsgeschichtstabelle 532.

Wenn zumindest eines der Retikel einen Fehler aufweist, speichert die Retikelge schichtstabelle 531 Daten, die einen in den Retikeln auftretenden Fehler repräsentieren. Wenn mindestens eines der Retikel fehlerhaft ist, speichert die Retikelbefehlsge schichtstabelle 532 Daten, die in der Prozessanlage 700 abgearbeitete Befehle reprä sentieren.

In Fig. 6 ist eine Struktur einer Prozessdatentabelle gezeigt, die mit einem sich im Gan ge befindlichen Prozess aus Fig. 2 verknüpft sind.

Wie in Fig. 6 gezeigt ist, besitzt die Prozessdatentabelle 540 eine Prozesszustandsta belle 541 und eine Prozessgeschichtstabelle 542.

Die Prozesszustandstabelle 541 speichert Zustandsinformationen für den Halbleiterwa fer oder das Los, die gerade bearbeitet werden. Die Prozessgeschichtstabelle 542 spei chert Daten, die die Anzahl der in der Prozessanlage 700 prozessierten Halbleiterwafer und die zur Bearbeitung benötigte Zeit repräsentieren.

Diese Ausführungsform beschreibt die vorliegende Erfindung mit einem Zellenmanage mentbereich 100, einem Historienmanagementbereich 400 und einer Echtzeitdatenbank 200, tatsächlich können zwei oder mehr Zellenmanagementbereiche 100, Historienma nagementbereiche 400 und Echtzeitdatenbanken 200 in dem Halbleiterfabrikautomati sierungssystem verwendet werden.

Ferner werden die in den obigen Tabelle gespeicherten Daten als eine Dateiform in der Zwischenspeichereinheit 300 gespeichert. Wenn die vorbestimmte Zeit verstrichen ist, wird die Datendatei in der Historiendatenbank 500 gespeichert. Der Zellenmanagement bereich 100 und die Historienmanagementbereiche 400 werden parallel betrieben.

Die Fig. 7A bis 7C sind Flussdiagramme, die ein Verfahren zum automatischen Verwal ten von Halbleiterproduktionsbuchten in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfin dung zeigen.

Wie in den Fig. 7A bis 7C gezeigt ist, bildet im Schritt S300 ein Bediener ein zu verar beitendes Los, indem mit dem Los verknüpfte Losdaten durch die Verwendung der gra fischen Anwenderschnittstelle des OIS 120 eingegeben werden. Die mit dem Los ver knüpften Losdaten umfassen eine Los-I. D., einen an dem Los auszuführenden Prozess, die Anzahl der Wafer in dem Los und eine Kassetten-I. D., die das Los enthält. Gleich zeitig empfängt im Schritt S310 der CMS 140 die ersten Losdaten und erzeugt anschlie ßend einen Kassettenzuführbefehl. In den Schritten S320 und S330 übermittelt der CMS 140 den Kassettenzuführbefehl in Form einer Nachricht an die Prozessanlagen 700 und den ICS 840.

In diesem Falle übermittelt im Schritt S340 der ICS 840 den Kassettenzuführbefehl an den SCS 820 und den AGVC 860. Der Kassettenzuführbefehl umfasst Kontrolldaten mit einer Kassetten-I. D., einer Position, an der die Kassette zugeführt wird, und eine Positi on zum Laden der Kassette.

In diesem Falle übermittelt im Schritt S350 der AGVC 860 ein AGV-Kontrollsignal an das AGV 880, und der SCS 820 übermittelt ein Stockerkontrollsignal an die Stockereinheit 890. Anschließend erlaubt die Stockereinheit 890 dem AGV 880, eine das zu verarbei tende Los enthaltende Kassette aufzusammeln.

Weiterhin transportiert im Schritt S360 das AGV 880 die von der Stockereinheit 890 ge lieferte Kassette an eine Zielprozessanlage.

Anschließend bearbeitet im Schritt S370 die Zielprozessanlage das Los, das in der durch das AGV 880 transportierten Kassette enthalten ist, und übermittelt die Echtzeit prozessdaten, die mit dem Prozess verknüpfte Prozessdaten und mit der Prozessanlage verknüpfte Anlagendaten enthalten, an den CMS 140. In diesem Falle zeichnet im Schritt S380 der CMS 140 die Echtzeitprozessdaten mittels des DGS 160 in der Echt zeitdatenbank 200 auf.

Wenn anschließend die Zielprozessanlage den Prozess abgeschlossen hat, erzeugt im Schritt S390 die Zielprozessanlage ein Anforderungssignal an den CMS 140 über den Anlagenkontrollbereich 600 um anzufordern, dass die fertig bearbeitete Kassette zu rückgeholt bzw. abgeholt wird.

Anschließend erzeugt in den Schritten S400 und S410 der CMS 140 einen Kassetten rückholbefehl und übermittelt den Kassettenrückholbefehl in Nachrichtenform an die Zielprozessanlage und den ICS 840. Der Kassettenrückholbefehl umfasst Kontrolldaten mit einer I. D. der zurückzuholenden Kassette, der Prozessanlage, von der die Kassette zurückzuholen ist, und einer weiteren Zielprozessanlage. Im Schritt S420 übermittelt der ICS 840 den Kassettenrückholbefehl an den AGVC 860. Gleichzeitig lädt die Prozess anlage 700 das prozessierte Los in die Kassette und wartet anschließend für den nächsten Verarbeitungsvorgang.

Im Schritt S430 übermittelt der AGVC 860 ein AGV-Kontrollsignal an das AGV 880 unter Verwendung eines drahtlosen Kommunikationsnetzwerkes und, im Schritt S440, holt das AGV 880 die Kassette aus der Prozessanlage 700 zurück, um die Kassette in der Stockereinheit 890 abzulegen.

Im Schritt S450 übermittelt der SCS 820 neue Positionsinformationen für die eben ge stapelte Kassette an den CMS 140, und im Schritt S460 aktualisiert der CMS 140 vor hergehende Positionsinformationen für die eben gestapelte Kassette, die in der Echt zeitdatenbank 200 gespeichert sind, unter Verwendung der neuen Positionsinformatio nen.

Anschließend ruft der CMS 140 die in der Echtzeitdatenbank 200 gespeicherten Pro zessdaten ab und zeichnet im Schritt S470 die abgerufenen Prozessdaten als eine Pro zessdatendatei in der Zwischenspeichereinheit 300 auf. Anschließend übermittelt der CMS 140 Dateiinformationen, die die Tatsache repräsentieren, dass die Zwischenspei chereinheit 300 die Prozessdaten speichert, an den HIS 420. Anschließend ruft im Schritt S480 der HIS 420 die Prozessdatendatei aus der Zwischenspeichereinheit 300 ab und zeichnet die Prozessdaten in der Historiendatenbank 500 auf.

In diesem Falle bestätigt im Schritt S490 der Bediener dem CMS 140 mittels des OIS 120, ob ein weiterer Arbeitsschritt notwendig ist oder nicht. Wenn dann ein weiterer Ar beitsschritt notwendig ist, kehrt der CMS 140 zum Schritt S310 zum Erzeugen eines Kassettenzuführbefehls zurück. Wenn andererseits kein weiterer Arbeitsschritt notwen dig ist, bestimmt im Schritt S500 der Berichterstattungsbereich 900, ob ein Bericht für die abgeschlossenen Prozesse gefordert wird oder nicht.

Wenn der Bericht gefordert wird, ruft im Schritt S910 der Berichtsserver 920 die in der Historiendatenbank 500 gespeicherten Daten ab, und gibt im Schritt S520 einen Bericht aus. Anschließend speichert der Berichtsserver 920 Berichtsdaten des Berichts in der Berichtdatenbank 940.

Wenn andererseits kein Bereicht gefordert wird, kehrt der Prozessablauf zum Schritt S490 zurück.

In Fig. 8 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das die Schritte repräsentiert, in denen der in Fig. 7A gezeigte CMS 140 einen Kassettenzuführbefehl an die Zielprozessanlage 700 übermittelt.

Im Schritt S321 übermittelt der CMS 140 den Kassettenzuführbefehl in einer Nachrich tenform an den EQS 620. Anschließend übermittelt im Schritt S322 der EQS 620 den Kassettenzuführbefehl an den ECS 640, und der ECS 640 wandelt den Kassettenzu führbefehl in ein Kontrollsignal zum Steuern der Prozessanlage 700 um. Anschließend übermittelt im Schritt S323 der ECS 640 das Kontrollsignal entsprechend dem Kasset tenzuführbefehl an die Prozessanlage 700. In diesem Fall ist die Prozessanlage 700 in einem Bereitschaftszustand zum Erwarten der Kassette.

In Fig. 9 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das Schritte repräsentiert, wobei das AGV 880 die Kassette an die Zielprozessanlage liefert.

Im Schritt S361 übermittelt der SCS 820 das Stockerkontrollsignal an die Stockereinheit 890 und im Schritt S362 trifft die Stockereinheit 890 Vorbereitungen zum Zuführen einer Zielkassette in Reaktion auf das Kontrollsignal.

Im Schritt S363 empfängt dann das AGV 880 das AGV-Kontrollsignal entsprechend dem Kassettenzuführbefehl von dem AGVC 860 und bewegt sich im Schritt S364 in Richtung der Stockereinheit 890, um die Zielkassette herauszunehmen. Anschließend bewegt sich im Schritt S365 das AGV 880 in Richtung der Zielprozessanlage 700, die zu ver sorgen ist, und führt im Schritt S366 die Zielkassette der Zielprozessanlage 700 zu.

In Fig. 10 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das Schritte zum Aufzeichnen der Prozessda ten in der Echtzeitdatenbank repräsentiert.

Im Schritt S381 übermittelt die Prozessanlage 700 Echtzeitprozessdaten über den ECS 640. Anschließend wandelt im Schritt S382 der ECS 640 die Echtzeitprozessdaten in ei ne SECS-Nachricht um und übermittelt anschließend die umgewandelten Echtzeitpro zessdaten an den EQS 620.

In diesem Fall übermittelt im Schritt S383 der EQS 620 die umgewandelten Echtzeitpro zessdaten über die gemeinsame Kommunikationsleitung 10 an den CMS 140. Anschlie ßend übermittelt der CMS 140 die Echtzeitprozessdaten an den DGS 160, und im Schritt S384 zeichnet der DGS 160 die Echtzeitprozessdaten in der Echtzeitdatenbank 200 auf.

In Fig. 11 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das Schritte repräsentiert, in denen die Pro zessanlage das Zurückholen der Kassette fordert. Im Schritt S391 vervollständigt die Prozessanlage 700 den Prozess und fordert im Schritt S392 den ECS 640 auf, eine Kassette zurückzuholen.

Abschließend wandelt im Schritt S393 der ECS 640 die Kassettenrückholforderung in die SECS-Nachricht um und übermittelt die umgewandelte Kassettenrückholforderung an den EQS 620. Anschließend übermittelt im Schritt S394 der EQS 620 die Kassetten rückholforderung über die gemeinsame Kommunikationsleitung 10 an den CMS 140. In Reaktion auf die Kassettenrückholforderung erzeugt im Schritt S395 der CMS 140 einen Kassettenrückholbefehl.

In Fig. 12 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das die Schritte repräsentiert, in denen der CMS den Kassettenrückholbefehl an die Prozessanlage übermittelt.

Im Schritt S401 übermittelt der CMS 140 den Kassettenrückholbefehl an den EQS 620, und im Schritt S402 übermittelt der EQS 620 den Kassettenrückholbefehl an den ECS 640.

Anschließend wandelt im Schritt S403 der ECS 640 den Kassettenrückholbefehl in Form einer SECS-Nachricht in ein Anlagenkontrollsignal um und übermittelt im Schritt S404 das Anlagenkontrollsignal an die Prozessanlage 700.

Anschließend lädt im Schritt S405 die Prozessanlage 700 das prozessierte Los in die Kassette und wartet auf einen nächsten Befehl.

In Fig. 13 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das Schritte repräsentiert, in denen das AGV die Kassette aus der Prozessanlage zurückholt und die Kassette in der Stockereinheit ablegt.

Im Schritt S441 empfängt das AGV 880 ein AGV-Kontrollsignal entsprechend dem Kas settenrückholbefehl und bewegt sich in Richtung der Prozessanlage 700. Anschließend holt im Schritt S442 das AGV 880 die prozessierte Kassette aus der Prozessanlage 700 zurück. Anschließend bewegt sich im Schritt S443 das AGV 880 in Richtung der Stocke reinheit 890 und legt die Kassette in der Stockereinheit 890 ab. In diesem Fall kann eine Vorrichtung als Ziel eine weitere Prozessanlage sein.

Da diverse Prozesse und Kontrolldaten, die in Halbleiterproduktionsbuchten auftreten, automatisch in einer Echtzeitdatenbank in Echtzeit und einer Historiendatenbank ge speichert werden, kann erfindungsgemäß die gesamte Verwaltung für die Halbleiterpro duktionsbuchten in effizienter Weise erreicht werden, um damit die Produktivität für die Halbleiterbauelemente signifikant zu verbessern.

Obwohl die vorliegende Erfindung lediglich mit Bezug zu gewissen zu gewissen bevor zugten Ausführungsformen beschrieben wurde, können weitere Modifikationen und Än derungen vorgenommen werden, ohne vom Grundgedanken und Schutzbereich der vorliegenden Erfindung, wie sie in den folgenden Patentansprüchen dargestellt ist, ab zuweichen.

Claims

1. System zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten, mit:
mehreren Prozessanlagen jeweils zum Verarbeiten eines Loses, das eine vorbe stimmte Anzahl an Halbleiterwafern repräsentiert, und zum Erzeugen von mit ei nem Prozess assoziierten Echtzeitprozessdaten in Reaktion auf Losdaten;
mindestens einer Produktionsmanagementeinrichtung zum Erzeugen von Steuer befehlen, die mit dem Prozess in den Halbleiterproduktionsbuchten verknüpft sind, und zum Empfangen der Echtzeitprozessdaten aus den Prozessanlagen;
einer Anlagenkontrolleinrichtung zum Steuern der Prozessanlagen in Reaktion auf die Steuerbefehle und zum Übermitteln der Echtzeitprozessdaten an die Produkti onsmanagementeinrichtung;
einer Datenspeichereinrichtung zum Speichern von mit dem Prozess und dem Los in den Halbleiterproduktionsbuchten assoziierten Daten in Reaktion auf die von der Produktionsmanagementeinrichtung ausgegebenen Befehlen; und
einer Historienmanagementeinrichtung zum Verwalten der Geschichte jeder der Prozessanlagen und Halbleiterwafer in Reaktion auf die von der Produktionsma nagementeinrichtung erteilten Steuerbefehle.

2. Das System nach Anspruch 1, das weiterhin eine Kassettentransporteinrichtung zum Transportieren einer das Los enthaltenden Kassette zu einer Zielprozessan lage in Reaktion auf die von der Produktionsmanagementeinrichtung erteilten Steuerbefehle umfasst.

3. Das System nach Anspruch 2, das weiterhin eine Berichterstattungseinrichtung zum Abrufen der in der Datenspeichereinrichtung gespeicherten Daten und zum Erzeugen eines Berichts umfasst.

4. Das System nach Anspruch 3, weiterhin umfassend:
eine Kassettenaufbewahreinrichtung zum Aufbewahren der Kassette, die ein ver arbeitetes Los und ein zu verarbeitendes Los enthält, in Reaktion auf die von der Produktionseinrichtung ausgegebenen Steuerbefehlen.

5. Das System nach Anspruch 4, wobei die Produktionsmanagementeinrichtung eine Schnittstelleneinrichtung mit einer grafischen Anwenderschnittstelle zum Einspei sen der Losdaten;
eine Produktionskontrolleinrichtung zum Erzeugen eines Kassettenzuführbefehls auf der Grundlage der Losdaten, und zum Erzeugen eines Kassettenrückholbe fehls in Reaktion auf die Forderung der Anlagenkontrolleinrichtung, und zum Empfangen der von den Stationen ausgegebenen Echtzeitprozessdaten; und
eine Datensammeleinrichtung zum Speichern der Echtzeitprozessdaten in dem Datenspeichergerät umfasst.

6. Das System nach Anspruch 5, wobei die Anlagenkontrolleinrichtung eine Prozess anlagenkontrolleinrichtung zum Steuern der Prozessanlagen in Reaktion auf die von der Produktionskontrolleinrichtung erteilten Befehle; und
eine Anlagenkommunikationseinrichtung zum Empfangen des Kassettenzuführ befehls und des Kassettenrückholbefehls, der von der Produktionskontrolleinrich tung ausgegeben wird, um die Befehle in ein Anlagenkontrollsignal umzuwandeln, und zum Umwandeln der von den Prozessanlagen ausgegebenen Echtzeitpro zessdaten in Halbleiteranlagenkommunikationsstandard-(SECS)-Nachrichten und zum anschließenden Übermitteln der Echtzeitprozessdaten zu der Anlagenkon trolleinrichtung umfasst.

7. Das System nach Anspruch 6, wobei das Kassettentransportgerät umfasst: eine buchteninterne Steuereinrichtung zum Empfangen des Kassettenzuführbefehls und des Kassettenabholbefehls, die von der Produktionssteuereinrichtung erteilt werden;
eine Stockerkontrolleinrichtung zum Erzeugen eines Stockerkontrollsignals zur Verwendung beim Steuern der Kassettenstockereinrichtung in Reaktion auf den Kassettenzuführbefehl und den Kassettenabholbefehl durch die buchteninterne Kontrolleinrichtung;
eine Kassettentransportkontrolleinrichtung zum Erzeugen eines Transportkontroll signals entsprechend dem Kassettenzuführbefehl und dem Kassettenabholbefehl;
eine Transporteinrichtung zum Herauslösen einer Zielkassette aus der Kassetten stockereinrichtung, um die Zielkassette an eine Zielprozessanlage zu liefern, und zum Herauslösen der Zielkassette aus der Zielprozessanlage, um die Zielkassette zu der Kassettenstockereinrichtung zu liefern, in Reaktion auf das Transportkon trollsignal jeweils entsprechend dem Kassettenzuführbefehl und dem Kassetten abholbefehl.

8. Das System nach Anspruch 7, wobei das Datenspeichergerät umfasst: eine Echt zeitdatenspeichereinrichtung zum Speichern der Echtzeitprozessdaten;
eine Zwischenspeichereinrichtung zum zeitweiligen Speichern der Echtzeitpro zessdaten als eine Datei;
eine Historienspeichereinrichtung zum Sortieren der Echtzeitprozessdaten, die in der Zwischenspeichereinrichtung unter der Kontrolle der Historienmanagementein richtung nach einer vorbestimmten Zeit gespeichert sind; und
eine Berichtsspeichereinrichtung zum Speichern des von der Berichterstattungs einrichtung erzeugten Berichts.

9. Das System nach Anspruch 8, wobei die Losdaten eine Losidentifizierung (I. D.), einen an dem Los auszuführenden Prozess, die Anzahl der Halbleiterwafer in dem Los und eine Kassetten-I. D. für eine das Los enthaltende Kassette umfassen.

10. Das System nach Anspruch 9, wobei die Echtzeitprozessdaten einen Zustand des Loses, mit dem Los verknüpfte Befehle, mit dem Los verknüpfte Prozessdaten, ei nen Zustand der Prozessanlagen, mit den Prozessanlagen verknüpfte Operations daten, mit den Prozessanlagen verknüpfte Befehle und einen ausgeführten Zu stand eines Prozesses umfassen.

11. Das System nach Anspruch 10, wobei die Historienspeichereinrichtung eine mit dem prozessierten Los verknüpfte Losdatentabelle, ein mit den Prozessanlagen verknüpfte Anlagendatentabelle, eine mit den Retikeln jeder der Halbleiterwafer, die in der Kassette enthalten sind, verknüpfte Retikel- und Kassettendatentabelle und eine Prozessdatentabelle, die mit sich im Gange befindlichen durchgeführten Prozess verknüpft ist, umfasst.

12. Das System nach Anspruch 11, wobei die Losdatentabelle umfasst: eine Loszu standstabelle zum Speichern der an dem Los durchgeführten Prozess, die Anzahl der Wafer in dem Los, und einen Waferzustand in dem Los repräsentierenden Daten;
eine Losgeschichtstabelle zum Speichern von Daten, die eine Änderung in der An zahl der Halbleiterwafer in dem Los repräsentieren;
eine Losgeschichtslöschtabelle zum Speichern einer gelöschten Losgeschichte;
eine Loseigenschaftstabelle zum Speichern von Loseigenschaften, die durch einen Bediener definiert sind;
eine Betriebsbefehlstabelle zum Speichern von Betriebsbefehlen zum Fortführen des Prozesses;
eine Prozesstabelle zum Speichern von Daten, die während des Prozesses er zeugt sind;
eine Loszurückweistabelle zum Speichern von Daten, die einen Prozess, in dem das Los zurückgewiesen wird, einen Grund für die Zurückweisung, und eine Ma nagementgeschichte für die Zurückweisung repräsentieren;
eine Loswiederverarbeitungstabelle zum Speichern von Daten, die einen Grund repräsentieren, dass das Los erneut bearbeitet wird; und
eine Losfehlertabelle zum Speichern von Daten, die einen Grund für den Fehler und eine Managementgeschichte für den Fehler repräsentieren, wenn das Los fehlerhaft ist.

13. Das System nach Anspruch 12, wobei die Anlagendatentabelle umfasst: einen momentanen Zustand der sich im Gang befindlichen Prozessanlagen;
eine Anlagengeschichtstabelle zum Speichern von Daten, die einen in den Pro zessanlagen auftretenden Fehler repräsentieren;
eine Anlagenwartungstabelle zum Speichern von Informationen, die mit der War tung der Prozessanlagen verknüpft sind;
eine Anlagenoperationstabelle zum Speichern von Daten, die mit den durchge führten Prozessen verknüpft sind, und von Daten, die mit den Prozessanlagen verknüpft sind; und
eine Anlagenbefehlsgeschichtstabelle zum Speichern von in der Prozessanlage verarbeiteten Befehlen, wenn eine Anlage nicht in Ordnung ist.

14. Das System nach Anspruch 13, wobei die Retikel- und Kassettendatentabelle eine Retikelgeschichtstabelle zum Speichern von Daten umfasst, die einen in der Kas sette oder den Retikel auftretenden Fehler repräsentieren, wenn zumindest die Kassette oder die Retikel fehlerhaft sind.

15. Das System nach Anspruch 14, wobei die mit den Prozessen verknüpfte Prozess datentabelle eine Prozesszustandstabelle zum Speichern von Zustandsinformatio nen für die sich im Prozess befindlichen Halbleiterwafer oder das Los; und eine Prozessgeschichtstabelle zum Speichern von Daten, die die Anzahl der in den Prozessanlagen verarbeiteten Halbleiterwafer und die für den Prozess benö tigte Zeit repräsentieren, umfasst.

16. Verfahren zum automatischen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten mit den Schritten:

a) Übermitteln eines Kassettenzuführbefehls an mehrere Prozessanlagen und an eine automatische Transporteinrichtung nach Erzeugen des Kassetten zuführbefehls unter Verwendung von ersten Losdaten, die von einer Produk tionskontrolleinrichtung übermittelt werden;
b) Verarbeiten eines in einer Kassetten enthaltenen Loses unter Verwendung der Prozessanlagen;
c) Speichern von Echtzeitprozessdaten, die in den Prozessanlagen während des Prozesses auftreten, in einer Datenspeichereinrichtung mittels einer Datensammeleinrichtung;
d) Aufbewahren der Kassette in einer Kassettenstockereinrichtung unter Ver wendung der automatischen Transporteinrichtung; und
e) Speichern der Echtzeitprozessdaten in einer Historienspeichereinrichtung, wobei die Echtzeitprozessdaten mittels einer Historienmanagementeinrich tung sortiert werden.

17. Das Verfahren nach Anspruch 16, das weiterhin die Schritte umfasst:

a) Bereitstellen eines Berichts, der mit den in der Geschichtsspeichereinrich tung gespeicherten Daten verknüpft ist, in Reaktion auf eine Berichtsanforde rung, die von außen übermittelt wird; und
b) Speichern des Berichts in einer Berichtsspeichereinrichtung.

18. Das Verfahren nach Anspruch 17, wobei der Schritt a) die Schritte umfasst:

1. Einspeisen der ersten Losdaten in eine Schnittstelleneinrichtung;
2. Erzeugen des Kassettenzuführbefehls von der Produktionskontrolleinrich tung, die die ersten Losdaten empfängt;
3. Übermitteln des Kassettenzuführbefehls an die Prozessanlagen und an eine buchteninterne Kontrolleinrichtung;
4. Übermitteln des Kassettenzuführbefehls und zweiter Losdaten zu einer Transportkontrolleinrichtung zur Steuerung der automatischen Transportein richtung und einer Stockerkontrolleinrichtung zum Steuern der Kassetten stockereinrichtung; und
5. Übermitteln des Kassettenzuführbefehls von der Transportkontrolleinrichtung zur Kassettentransporteinrichtung mittels drahtloser Kommunikation.

19. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei der Schritt a2) die Schritte umfasst:

1. Übermitteln des Kassettenzuführbefehls aus der Produktionskontrolleinrich tung zu den Anlagenkontrolleinrichtungen;
2. Übermitteln des Kassettenzuführbefehls von der Anlagenkontrolleinrichtung zu einer Anlagenkommunikationseinrichtung;
3. Umwandeln des Kassettenzuführbefehls in Maschinensprache in der Anla genkommunikationseinrichtung;
4. nach dem Schritt a22) Übermitteln des Kassettenzuführbefehls, der in eine Maschinensprache umgewandelt ist, an die Prozessanlagen mittels Zwi schenverbindungen; und
5. Warten der Prozessanlagen.

20. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei die ersten Losdaten eine Los-I. D., einen Prozess, der zuerst an dem Los auszuführen ist, die Anzahl der Halbleiterwafer in dem Los und eine I. D. der das Los enthaltenden Kassette umfassen.

21. Das Verfahren nach Anspruch 18, wobei die zweiten Losdaten eine Kassetten identifizierung (I. D.), eine Position, an der die Kassette zuzuführen ist, und eine Position zum Laden der Kassette umfassen.

22. Das Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt b) die Schritte umfasst:

1. Übermitteln der zweiten Losdaten von der Stockerkontrolleinrichtung zur Kassettenaufbewahreinrichtung über die Befehlsübermittelungseinrichtung;
2. Vorbereiten zum Ausliefern der Kassette auf der Grundlage der zweiten Los daten;
3. Übermitteln des Kassettenzuführbefehls und der zweiten Losdaten von der Transportkontrolleinrichtung an die automatische Transporteinrichtung;
4. in Bewegung setzen der automatischen Transporteinrichtung, die die Kas sette aus der Kassettenstockereinrichtung herauslöst, zu der Prozessanlage, an die die Kassette auszuliefern ist;
5. Bereitstellen der Kassette für die Prozessanlage; und
6. Weiterführen des Prozesses an dem in der Kassette enthaltenen Loses.

23. Das Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt c) die Schritte umfasst:

1. Übermitteln der Echtzeitprozessdaten zu der Anlagenkommunikationsein richtung über die Befehlsübermittelungseinrichtung;
2. nach Umwandlung der Echtzeitprozessdaten in eine Nachricht des Halblei teranlagenkommunikationsstandardtyps, Übermitteln der umgewandelten Echtzeitprozessdaten von der Anlagenkommunikationseinrichtung zu der Anlagenkontrolleinrichtung;
3. Übermitteln der umgewandelten Echtzeitprozessdaten von der Anlagenkon trolleinrichtung zu der Produktionskontrolleinrichtung; und
4. Übermitteln der umgewandelten Echtzeitprozessdaten von der Produktions kontrolleinrichtung zu der Datensammeleinrichtung und anschließend Spei chern der umgewandelten Echtzeitprozessdaten in der Datenspeicherein richtung unter Verwendung der Datensammeleinrichtung.

24. Das Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt d) die Schritte umfasst:

1. wenn die Prozessanlage den Prozess abschließt, Anfordern einer Kasset tenabholung von der Produktionskontrolleinrichtung;
2. Erzeugen eines Kassettenabholbefehls einschließlich dritter Losdaten von der Produktionskontrolleinrichtung und anschließend Übermitteln des Kas settenabholbefehls an die Prozessanlage und die buchteninterne Kontrollein richtung;
3. Übermitteln der dritten Losdaten an die Transportkontrolleinrichtung unter Verwendung der buchteninternen Kontrolleinrichtung;
4. Stapeln des Loses, das prozessiert worden ist, in der Kassette durch Steuern der Prozessanlage, und anschließend Warten der Prozessanlage;
5. Übermitteln des Kassettenabholbefehls von der Transportkontrolleinrichtung an die automatische Transporteinrichtung; und
6. Entnehmen der Kassette aus der Prozessanlage durch die automatische Transporteinrichtung und anschließend Aufbewahren der Kassette in der Kassettenstockereinrichtung.

25. Das Verfahren nach Anspruch 24, wobei der Schritt d1) die Schritte umfasst:

1. wenn die Prozessanlage den Prozess beendet, Anfordern der Kassettenab holung bei der Anlagenkommunikationseinrichtung über die Befehlsübermit telungseinrichtung;
2. Umwandeln der Anforderung für die Kassettenabholung in eine Nachricht des Halbleiteranlagenkommunikationsstandardtyps, und anschließend Übermitteln der umgewandelten Anforderung von der Anlagenkommunikati onseinrichtung an die Anlagenkontrolleinrichtung; und
3. Übermitteln der umgewandelten Anforderung von der Anlagenkontrollein richtung zu der Produktionskontrolleinrichtung.

26. Das Verfahren nach Anspruch 24, wobei der Schritt d2) die Schritte umfasst:

1. Erzeugen des Kassettenabholbefehls von der Produktionseinrichtung und anschließend Übermitteln des Kassettenabholbefehls zur Anlagenkontrollein richtung;
2. Übermitteln des Kassettenabholbefehls von der Anlagenkontrolleinrichtung zu der Anlagenkommunikationseinrichtung;
3. nach Umwandeln des Kassettenabholbefehls in Maschinensprache, Über mitteln des Kassettenabholbefehls an die Prozessanlage über die Befehls übermittelungseinrichtung; und
4. Übermitteln des Kassettenabholbefehls an die buchteninterne Kontrollein richtung.

27. Das Verfahren nach Anspruch 26, wobei die dritten Losdaten eine I. D. der abzu holenden Kassette, eine Prozessanlage, von der die Kassette abgeholt, und eine Prozessanlage, zu der die Kassette geliefert wird, umfasst.

28. Das Verfahren nach Anspruch 24, wobei der Schritt d6) die Schritte umfasst:

1. Übermitteln des Kassettenabholbefehls einschließlich der dritten Losdaten von der Transportkontrolleinrichtung an die automatische Transporteinrich tung;
2. Abholen der Kassette von der Prozessanlage auf der Grundlage der dritten Losdaten;
3. Aufbewahren der Kassette in der Kassettenstockereinrichtung;
4. Übermitteln der Positionsinformation der in der Kassettenstockereinrichtung aufbewahrten Kassette von der Kassettenstockereinrichtung zu der Produkti onskontrolleinrichtung; und
5. Aktualisieren vorhergehender, in der Speichereinrichtung gespeicherten Po sitionsinformationen der Kassette in die Positionsinformation der Kassette, die in der Kassettenstockereinrichtung aufbewahrt ist.

29. Das Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt e) die Schritte umfasst:

1. Abrufen der Echtzeitprozessdaten, die in der Datenspeichereinrichtung zu speichern waren, und anschließend Speichern der Echtzeitprozessdaten in einer Zwischenspeichereinrichtung;
2. Übermitteln eines stattgefundenen Speicherns der Echtzeitprozessdaten in der Zwischenspeichereinrichtung von der Produktionskontrolleinrichtung zu der Historienmanagementeinrichtung; und
3. Abrufen der Echtzeitprozessdaten aus der Zwischenspeichereinrichtung und anschließend Aufzeichnen der Echtzeitprozessdaten in der Historienspei chereinrichtung.

30. Computerlesbares Programmanweisungen speicherndes Medium, wobei die Pro grammanweisungen in einem Computer angeordnet ein Verfahren zum automati schen Verwalten von Halbleiterproduktionsbuchten ausführen mit den Schritten:

a) Übermitteln eines Kassettenzuführbefehls an mehrere Prozessanlagen und eine automatische Transporteinrichtung nach der Erzeugung des Kassetten zuführbefehls unter Verwendung erster Losdaten, die von einer Produktions kontrolleinrichtung übermittelt werden;
b) Verarbeiten eines in einer Kassette enthaltenen Loses unter Verwendung der Prozessanlagen;
c) Speichern von Echtzeitprozessdaten, die den Prozessanlagen beim Verar beiten auftreten, in einer Speichereinrichtung mittels einer Datensammelein richtung;
d) Aufbewahren der Kassette in einer Kassettenstockereinrichtung durch Ver wendung der automatischen Transporteinrichtung; und
e) Speichern der Echtzeitprozessdaten in einer Historienspeichereinrichtung, wobei die Echtzeitprozessdaten durch eine Historienmanagementeinrichtung sortiert werden.

31. Das computerlesbare Medium nach Anspruch 30, weiterhin die Schritte umfas send:

a) Bereitstellen eines Berichts, der mit in der Historienspeichereinrichtung ge speicherten Daten verknüpft ist, in Reaktion auf eine Berichtsanforderung, die von außen übermittelt wird; und
b) Speichern des Berichts in einer Berichtsspeichereinrichtung.