DE112005002817T5

DE112005002817T5 - Disponierung der Materialaufnahme und Abgabe durch ein AMHS vor dem disponierten Zeitpunkt

Info

Publication number: DE112005002817T5
Application number: DE200511002817
Authority: DE
Inventors: Steven C. Johnson City Nettles; Achim Buda Felber; Marlin Buda Shopbell; Joerg Luebke; Tau Austin Lok
Original assignee: Advanced Micro Devices Inc
Current assignee: Advanced Micro Devices Inc
Priority date: 2004-11-19
Filing date: 2005-10-12
Publication date: 2007-09-13
Also published as: KR20120139842A; KR20070084399A; SG191567A1; WO2006055143A8; TW200619122A; WO2006055143A2; GB2437855A; KR101391419B1; JP5100393B2; JP2008521129A; CN101057192A; US20080275582A1; GB2437855B; KR101383824B1; CN101057192B; WO2006055143A3; GB0711586D0; SG157403A1; TWI361790B

Abstract

Verfahren zur Verwendung bei der Disponierung eines automatisierten Prozessablaufs (100), wobei das Verfahren umfasst:
Disponieren (203) eines Materialtransports (M₁ bis M₆) in dem Prozessablauf (100); und
Anfordern (206) einer Bereitstellung eines Transportmittels (106) für den Materialtransport (M₁ bis M₆) für eine vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport (M₁ bis M₆).

Description

Hintergrund der Erfindung
1. Gebiet der Erfindung
Diese Erfindung betrifft automatisierte Fertigungsumgebungen und betrifft insbesondere das Disponieren bzw. die zeitliche Ablaufsteuerung in einer automatisierten Fertigungsumgebung.
2. Beschreibung des Stands der Technik
Zunehmende technologische Erfordernisse und die weltweite Nachfrage nach modernen elektronischen Bauelementen haben zu einer noch nicht da gewesenen Nachfrage nach komplexen integrierten Schaltungen im großen Umfange geführt. Der Wettbewerb in der Halbleiterindustrie erfordert, dass Produkte in möglichst effizienter Weise gestaltet, hergestellt und vermarktet werden. Dies erfordert Verbesserungen in der Fertigungstechnologie, um mit den schnellen Entwicklungen in der elektronischen Industrie Schritt zu halten. Zur Erfüllung dieser Forderungen werden viele technologische Fortschritte im Hinblick auf Materialien und Verarbeitungsanlagen gemacht und es steigt auch die Anzahl der Gestaltungsformen integrierter Schaltungen deutlich an. Diese Verbesserungen erfordern auch eine effiziente Ausnutzung von Rechnerressourcen und anderen modernsten Anlagen, um nicht nur die Gestaltung und die Herstellung sondern auch das Disponieren, Steuern und Automatisieren des Fertigungsprozesses zu unterstützen.
Im Hinblick auf die Herstellung gilt, dass integrierte Schaltungen oder Mikrochips aus modernen Halbleiterbauelementen aufgebaut sind, die zahlreiche Strukturen oder Strukturelemente enthalten, die typischerweise einige Mikrometer groß sind. Die Strukturelemente werden in lokalen Bereichen eines Halbleitersubstrats angeordnet, und diese sind leitend, nicht leitend oder halbleitend (diese werden in definierten Bereichen mit Dotierstoffen leitend gemacht). Der Herstellungsprozess beinhaltet im Allgemeinen das Bearbeiten einer Anzahl an Scheiben mittels einer Reihe von Fertigungsanlagen. Jede Prozessanlage führt einen oder mehrere von vier grundlegenden Operationen aus, die nachfolgend detaillierter erläutert sind. Die vier grundlegenden Operationen werden entsprechend dem Gesamtprozess so durchgeführt, dass schließlich die fertiggestellten Halbleiterbauelemente erzeugt werden.
Integrierte Schaltungen werden aus Scheiben aus einem halbleitenden Substratmaterial hergestellt. Während des Fertigungsprozesses werden Materialschichten hinzugefügt, entfernt und/oder behandelt, um integrierte elektrische Schaltungen zu schaffen, die das Bauelement bilden. Die Fertigung umfasst im Wesentlichen die folgenden vier grundlegenden Operationen:
Beschichten oder Hinzufügen dünner Schichten diverser Materialien auf eine Scheibe, aus der ein Halbleiterbauelement erzeugt wird;
Strukturieren oder Entfernen ausgewählter Bereiche von hinzugefügten Schichten;
Dotieren oder das Anordnen spezieller Mengen an Dotierstoffen in ausgewählten Bereichen der Scheibe durch Öffnungen in den hinzugefügten Schichten; und
Wärmebehandeln oder Erwärmen und Abkühlen der Materialien, um gewünschte Wirkungen in der bearbeiteten Scheibe zu erzeugen.
Obwohl es nur vier grundlegende Operationen gibt, können diese auf sehr viele unterschiedliche Weisen kombiniert werden, abhängig von dem speziellen Fertigungsprozess. Siehe beispielsweise Peter Van Zant, Mikrochipherstellung, ein praktischer Führer für die Halbleiterbearbeitung (3. Ausgabe 1997, McGraw-Hill Companies, Inc.) (ISBN 0-07-067250-4).
Eine effiziente Verwaltung einer Fertigungsstätte zur Herstellung von Produkten, etwa von Halbleiterchips, erfordert das Überwachen diverser Aspekte des Fertigungsprozesses. Beispielsweise ist es typischerweise wünschenswert, die Menge des verfügbaren Rohmaterials zu überwachen, den Status der gerade bearbeiteten Produkte und den Status und die Verfügbarkeit von Maschinen und Anlagen in jedem Prozessschritt zu kennen. Eine der wichtigsten Entscheidungen besteht darin auszuwählen, welches Los in einer gewissen Anlage zu einer gewissen Zeit bearbeitet werden soll. Ferner erfordern die meisten Maschinen, die in dem Fertigungsprozess eingesetzt werden, eine Disponierung bzw. eine Zeiteinteilung für routinemäßige präventive Wartungsprozeduren („PM") und Anlagenqualifizierungsprozeduren („Qual"), sowie andere diagnostische Prozeduren und Wiederaufbereitungsprozeduren, die in regelmäßiger Weise ausgeführt werden müssen, so dass das Ausführen dieser Prozeduren den Fertigungsprozess selbst nicht negativ beeinflusst.
Eine Lösungsvariante in dieser Hinsicht ist ein automatisiertes „Fertigungsausführungssystem" („MES"). Zu Beispielen kommerziell erhältlicher MES-Systeme gehören WORKSTREAM, das von Applied Materials, Inc. verfügbar ist, und SIVIEW, das von International Business Machines, Inc. erhältlich ist. Ein automatisiertes MES ermöglicht es einem Anwender, den Status von Maschinen und Anlagen oder „Einheiten" in einer Fertigungsumgebung zu beobachten und zu einem gewissen Grade zu manipulieren. Ferner ermöglicht es das MES, dass Lose oder zu verarbeitende Werkstücke ausgegeben und überwacht werden, um damit eine Verwaltung der Ressourcen in höchst effizienter Weise zu ermöglichen.
Insbesondere in Reaktion auf MES-Anfragen hin gibt ein Anwender angeforderte Information in Bezug auf die gerade bearbeiteten Produkte und den Status der Einheit ein. Wenn beispielsweise ein Anwender eine PM an einer speziellen Einheit ausführt, zeichnet der Bediener das Ausführen der PM (ein „Ereignis") in einem MES-Bildschirm auf, um die in der MES-Datenbank abgelegte Information in Bezug auf den Status dieser Einheit zu aktualisieren. Wenn alternativ eine Einheit wegen Reparatur oder Wartung anzuhalten ist, gibt der Bediener diese Information in die MES-Datenbank ein, die dann eine Verwendung dieser Einheit verhindert, bis diese nachfolgend wieder als betriebsfähig erklärt ist.
MES-Systeme, die zum Verfolgen von Losen und Maschinen ausreichend sind, weisen jedoch einige Nachteile auf, wovon die gravierendsten die Passivität, der Mangel an einer vorausschauenden Zeitplanung und die Unfähigkeit zur Unterstützung hoch automatisierter Fertigungsoperationen sind. Aktuelle MES-Systeme hängen im Wesentlichen von dem Bedienungspersonal zur Überwachung des Fabrikzustandes und zum Initiieren von Aktivitäten zur richtigen Zeit ab. Beispielsweise beginnt ein Los seine Verarbeitung nicht, bevor ein Wafer-Fabriktechniker („WFT") den geeigneten MES-Befehl ausgibt. Vor der Bearbeitung muss ein WFT einen MES-Befehl ausgeben, um das Los von dem automatisierten Materialhandhabungssystem („AMHS") mit ausreichendem Vorlauf abzurufen, wobei dieser Vor lauf so geplant ist, dass das Los an der Maschine verfügbar ist, wenn die Maschine verfügbar ist. Wenn der WFT das Los nicht ausreichend frühzeitig abruft, oder die Initiierung der Bearbeitung zur frühesten verfügbaren Zeit nicht durchführt, steht die Maschine im Leerlauf und die Produktion wird nachteilig beeinflusst.
In einer weiteren Vorgehensweise für die Fabrikverwaltung wird ein AMHS, das zuvor kurz erwähnt ist, typischerweise in Verbindung mit einem MES eingesetzt. Ein AMHS transportiert während des Prozessablaufs Material von einem Punkt zu einem anderen. Beispielsweise ist es in einer Halbleiterfertigungsstätte („fab") wünschenswert, sobald ein Los das Scheiben die Bearbeitung in einer speziellen Prozessanlage durchlaufen hat, das Los von einer Ladestation der Prozessanlage bei der nächst möglichen Gelegenheit zu entfernen. Sobald der WFT eine Benachrichtigung erhält, dass das Los bearbeitet ist und in Wartestellung ist, gibt er einen Befehl an das AMHS aus, um ein leeres Fahrzeug zum Transport des Loses zum nächsten Ziel abzuschicken. Es kann einige Minuten dauern, bis die Benachrichtigung gesendet und empfangen wird, und bis der WFT den Befehl ausgibt und schließlich das Fahrzeug eintrifft. Obwohl dies nicht viel erscheint, kann sich die Verzögerung schnell im Laufe der Zeit aufaddieren. Beispielsweise wird in einem Prozessablauf mit 750 Prozessoperationen eine Verzögerung von 3 Minuten pro Operation zu einer gesamten Verzögerung von 37,5 Stunden.
Die vorliegende Erfindung zielt darauf ab, eines oder mehrere der zuvor genannten Probleme zu lösen oder zumindest zu reduzieren.
Überblick über die Erfindung
Die Erfindung ist in den diversen Aspekten und Ausführungsformen ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Anwendung bei der Disponierung bzw. Zeiteinteilung in einem automatischen Prozessablauf, derart, dass Fahrzeuge für einen Materialtransport vor dem Beginn eines Auftrags für den Transport bereitgestellt werden. Das Verfahren umfasst das Disponieren eines Materialtransports in dem Prozessablauf; und das Anfordern einer Bereitstellung eines Fahrzeuges für den Materialtransport für eine vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport. Die Vorrichtung umfasst in diversen Aspekten einen Computer und ein Computersystem das programmiert ist, das Verfahren in einem automatisierten Prozessab lauf auszuführen, und umfasst ein computerlesbares Programmspeichermedium, das mit Befehlen codiert ist, die bei der Ausführung eine derartiges Verfahren einrichten.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Die Erfindung kann durch Bezugnahme auf die folgende Beschreibung in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen verstanden werden, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche Elemente bezeichnen, und in denen:
1 schematisch einen Teil einer speziellen Ausführungsform eines Prozessablaufs zeigt, der gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebaut und ausgeführt wird;
2 eine spezielle Ausführungsform eines Verfahren zeigt, das gemäß der vorliegenden Erfindung praktiziert wird;
3 schematisch in einer Teilblockansicht ausgewählte Bereiche der Hardware und der Software der Computereinrichtungen aus 1 darstellt;
4 konzeptionell einen Zeitplan von festgelegten Terminen bzw. Aufträgen zeigt; und
5 schematisch eine Situation zeigt, in der ein festgelegter Termin bzw. Auftrag geändert wird, um eine unerwartet lange Zeitdauer für einen vorhergehenden zeitlich festgelegten Auftrag zu berücksichtigen; und
6 konzeptionell eine spezielle Ausführungsform der Vorrichtung aus 1 zeigt, d. h. einen Teil eines Prozessablaufs aus einer Halbleiterfertigungsstätte darstellt.
Obwohl die Erfindung diversen Modifizierungen und alternativen Formen unterliegen kann, sind dennoch spezielle Ausführungsformen hierin beispielhaft in den Zeichnungen gezeigt und detailliert beschrieben. Es sollte jedoch beachtet werden, dass die Beschreibung spezieller Ausführungsformen nicht dazu beabsichtigt ist, um die Erfindung auf die speziellen offenbarten Formen einzuschränken, sondern es ist vielmehr beabsichtigt, alle Modifizierungen, Äquivalente und Alternativen abzudecken, die innerhalb des Grundgedankens und Schutzbereichs der Erfindung liegen, wie sie durch die angefügten Patentansprüche definiert ist.
Detaillierte Beschreibung der Erfindung
Es werden nun anschauliche Ausführungsformen der Erfindung beschrieben. Der Klarheit halber werden nicht alle Merkmale einer tatsächlichen Ausführungsform in dieser Beschreibung dargelegt. Es ist jedoch zu beachten, dass bei der Entwicklung einer derartigen tatsächlichen Ausführungsform zahlreiche implementationsspezifische Entscheidungen getroffen werden müssen, um die speziellen Ziele der Entwickler zu erreichen, etwa die Verträglichkeit mit systemabhängigen und geschäftsabhängigen Rahmenbedingungen, die sich von einer Implementation zur anderen unterscheiden können. Ferner ist zu beachten, dass ein derartiger Entwicklungsaufwand eine Routinemaßnahme für den Fachmann im Besitze der vorliegenden Offenbarung darstellt, selbst wenn die Entwicklung komplex und zeitaufwendig ist.
1 zeigt konzeptionell einen Teil einer speziellen Ausführungsform eines Prozessablauf 100, der gemäß der vorliegenden Erfindung aufgebaut ist und abgearbeitet wird. Der Prozessablauf 100 erzeugt Halbleiterbauelemente. Die Erfindung kann jedoch auf andere Arten von Fertigungsprozessen angewendet werden. Somit können in dem zuvor erläuterten Prozessablauf 100 die Lose 130 aus Scheiben 135 in allgemeinerer Weise als „Material" in dem Prozessablauf 100 bezeichnet werden. Die Prozessanlagen 115 und darin ausgeführte Prozesse müssen jedoch nicht notwendigerweise mit der Herstellung von Halbleiterbauelementen in allen aufgeführten Ausführungsformen befasst sein. Der Einfachheit halber und für ein besseres Verständnis der Erfindung wird die Terminologie, die sich auf die Halbleiterherstellung bezieht, bei der Beschreibung der Erfindung im Zusammenhang mit den dargestellten Ausführungsformen beibehalten.
Der dargestellte Bereich des Prozessablaufs 100 umfasst zwei Stationen 105, wobei jede Station 105 eine Rechnereinrichtung 110 aufweist, die mit einer Prozessanlage 115 in Verbindung steht. Die Stationen 105 kommunizieren miteinander über entsprechende Kommunikationsverbindungen 120. In der dargestellten Ausführungsform bilden die Rechnereinrichtungen 110 und die Kommunikationsverbindung 120 einen Teil eines größeren Rechnersystems, beispielsweise eines Netzwerks 125. Die Prozessanlagen 115 sind in 1 so dargestellt, dass diese Lose 130 aus Schreiben 135 bearbeiten, die schließlich zu integrierten Schaltungsbauelementen werden. Die Prozessanlage 115 kann eine Fertigungsanlage sein, die zur Herstellung eines Teils der Scheiben 135 verwendet wird, d. h. um die Scheiben 135 zu beschichten, zu strukturieren, zu dotieren, oder mit Wärme zu behandeln. Oder aber die Prozessanlage 115 kann eine Messanlage sein, die zum Bewerten des Verhaltens diverser Teile des Prozessablaufs 100 verwendet wird.
Der Prozessablauf 100 umfasst ferner Bereiche eines MES 137, eines automatisierten Materialhandhabungssystems („AMHS") 128, einer Prozessressource (beispielsweise einer WIP-Bevorratungsstation) 150, und andere integrierte Fabriksteuerungseinheiten. Zum Zwecke der Darstellung sind zwei Prozessressourcen 155a, 155b ebenfalls dargestellt. Das MES 137 und das AMHS 128 enthalten entsprechend Softwarekomponenten 141 bzw. 142. Das AMHS 138 „handhabt" die Lose 130 und ermöglicht ihren Transport von einer Station 105 zu einer anderen, sowie zu anderen Positionen in dem Prozessablauf 100. Das MES 127 und die Prozessressourcen 150, 155a, 155b arbeiten in konventioneller Weise und werden in entsprechender Weise verwendet. Die Prozessressource 150 ist eine WIP-Bevorratungsstation und wird verwendet, die Lose 130 zwischen Prozessoperationen in den Prozessanlagen 115 aufzubewahren. Zu beachten ist, dass in alternativen Ausführungsformen die Prozessressource 150 beispielsweise eine „gerade in Arbeit"- (WIP)- Bevorratungsstation, ein „gerade in Arbeit"- Träger oder ein Zwischenspeicher sein kann.
Der Transport eines Materials z. B. eines Loses 120 von einem Punkt zu einem weiteren in den Prozessablauf 100 wird manchmal auch als eine „Bewegung bzw. Transport" bezeichnet. Die dargestellten Ausführungsformen sind in dem Zusammenhang eines „Transports" von einem Punkt oder einer Quelle zu einem zweiten Punkt oder einem Ziel dargestellt. Z. B. kann ein Los 130 von der Station 140 einer Quelle, d. h. der Prozessanlage 115 mit der Station 140, zu einem Ziel, beispielsweise der Prozesssressource 150 „bewegt bzw. transportiert" werden. In einem derartigen Falle wird das Los 130 typischersweise zu der Prozessressource 150 bewegt, die der Prozessanlage 115 am nächsten liegt, in der die nächste Prozessoperation für das Los 130 ausgeführt wird. Im Allgemeinen gibt es vier Arten an Bewegungen bzw. Transportaktivitäten, die auftreten: von einer ersten Prozessanlage 115 zu einer ersten Prozessressource 150, von einer ersten Prozessressource 150 zu einer zweiten Prozessanlage 115, von einer ersten Prozessressource 155a zu einer zweiten Pro zessressource 155b, von der zweiten Prozessressource 155b zu einer zweiten Prozessanlage 115 und von der ersten Prozessanlage 115 zu der zweiten Prozessanlage 115.
Genauer gesagt in einer Halbleiterfertigungsstätte gibt es typischerweise zwei Arten an Materialtransporten – einem Materialtransport innerhalb einer Produktionsbucht und einen Materialtransport zwischen Produktionsbuchten. Materialtransporte zwischen Produktionsbuchten transportieren Lose zwischen Buchten (nicht gezeigt) der Fertigungsstätte. Materialtransporte innerhalb von Produktionsbuchten transportieren Lose 130 zu unterschiedlichen Positionen innerhalb der gleichen Bucht. Somit beinhaltet ein typischer Materialtransport eines Loses 130 von einer Prozessanlage 115 zu einer weiteren Prozessanlage 115, die in einer anderen Bucht angeordnet ist, mindestens drei Materialtransporte: einen Materialtransport innerhalb der Bucht von der Station einer ersten Prozessanlage 115 zu einer Bevorratungsstation (nicht gezeigt) in der Bucht dieser Anlage; einen Materialtransport zwischen Buchten von der Bevorratungsstation zu einer weiteren Bevorratungsstation (ebenfalls nicht gezeigt), die in der gleichen Bucht wie die zweite Prozessanlage 115 liegt; und den abschließenden Materialtransport innerhalb der Bucht von dieser Bevorratungsstation zur Ladestation der zweiten Prozessanlage 115. Zu beachten ist, dass in diesen Ausführungsformen ein Materialtransport zwischen zwei Prozessanlagen 115 tatsächlich mindestens zwei Anteile von Materialtransporten aufweist, einen Materialtransport von einer Prozessanlage 115, beispielsweise einer Bevorratungsstation 150 oder zu einer anderen Prozessressource, und einen Materialtransport von der WIP-Ressource zu der nächsten Prozessanlage 115.
Jedoch ist die Erfindung nicht auf Materialtransporte zwischen einer Prozessressource 150 und einer Prozessanlage 115 beschränkt. In einigen Ausführungsformen wird ein sogenanntes „einheitliches AMHS" eingesetzt. Ein einheitliches AMHS ermöglicht Materialtransport direkt zwischen Prozessanlagen 115, ohne dass an einer dazwischenliegenden WIP-Ressource angehalten wird. Somit gibt es in einigen Ausführungsformen lediglich einen Materialtransport zwischen Prozessoperationen in unterschiedlichen Prozessanlagen 115. Folglich muss keine Prozesssressource 150 zwischen den Prozessanlagen 115 des Prozessablaufs 100 in diesen alternativen Ausführungsformen vorgesehen sein. Im Allgemeinen können folgende Arten an Materialtransporten in einem Prozessablauf, etwa dem Prozessablauf 100, vorgefunden werden:
von einer ersten Prozessanlage 115 zu einer zweiten Prozessanlage 115;
von einer ersten Prozessanlage 115 zu einer Prozessressource 150 und der Prozessressource 150 zu einer zweiten Prozessanlage 115; und
von einer ersten Prozessanlage 115 zu einer ersten Prozessressource 155a, von der ersten Prozessressource 155a zu einer zweiten Prozessressource 155b und von der zweiten Prozessressource 155b zu einer zweiten Prozessanlage 115.
Zu beachten ist, dass die zuletzt genannte Situation auf diverse Situationen ausgeweitet werden kann, in denen mehr als zwei Prozessressource beteiligt sind. Jedoch werden in der dargestellten Ausführungsform die Materialtransporte durch die beteiligten Bewegungen bzw. Transportaktivitäten disponiert. Somit kann in der dargestellten Ausführungsform ein Materialtransport ein Materialtransport sein von:
einer ersten Prozessanlage 115 zu einer Prozessressource 150;
einer ersten Prozessressource 155a zu einer zweiten Prozessressource 155b;
von der Prozessressource 150 zu der zweiten Prozessanlage 115;
der zweiten Prozessressource 155b zu einer zweiten Prozessanlage 115; und
der ersten Prozessanlage 115 zu der zweiten Prozessanlage 115.
Jedoch ist diese Liste nur anschaulicher Natur und ist in keiner Weise vollständig.
In 2 ist ein Verfahren 200 gemäß der vorliegenden Erfindung dargestellt. Im Allgemeinen beginnt das Verfahren 200 bei der Disponierung bzw. Zeiteinteilung (bei 203) eines Materialtransports (beispielsweise eine Bewegung der Lose 130 in 1) in dem Prozessablauf (beispielsweise dem Prozessablauf 100 in 1). In der dargestellten Ausführungsform beinhaltet dies, wie dies nachfolgend detailliert erläutert ist, dass insbesondere ein Auftrag bzw. ein Termin für den Materialtransport zu einem Zeitpunkt in der Zukunft im Voraus disponiert wird. Das Verfahren 200 fordert dann (bei 206) eine Bereitstellung eines Fahrzeugs 1 bzw. eines Transportmittels 160 (d. h. ein leeres Transportmittel an der Quellenposition für den Transport zum Zeitpunkt des Beginns des Transports) für den Materialtransport eine vorbestimmte Zeitdauer vor diesem Zeitpunkt an. Die Art und die Natur des Transportmittels 160 ist implementationsspezifisch und hängt von einer Reihe von Faktoren ab, etwa der Ausgestaltung des AMHS 138 und des zu transportierenden Materials.
Beispielsweise ist in der dargestellten Ausführungsform das Material ein Los 130 aus Scheiben 135, die jeweils in 1 gezeigt sind, und die in einem Frontseiten öffnenden einheitlichen Behälter („FOUP") oder Träger (nicht gezeigt) angeordnet sind. Somit ist das Transportmittel bzw. Fahrzeug 160 ein geführtes Transportmittel, das an der Decke befördert wird. Jedoch kann in einigen Ausführungsformen das Material beispielsweise ein Retikel sein. In einer derartigen Ausführungsform ist das Transportmittel 160 ein Teil eines Retikel-Handhabungsssytems, wie es im Stand der Technik bekannt ist. Das Material kann in noch anderen Arten in weiteren Ausführungsformen vorgesehen sein, und die Gestaltung des Transportmittels 160 kann entsprechend variieren. In nicht vollständig automatisierten Fertigungsstätten kann ein Techniker 165 stattdessen angewiesen werden, das Material zu transportieren, in welchem Falle der Techniker 165 als das Transportmittel betrachtet werden kann.
Um das Verständnis der vorliegenden Erfindung besser zu vertiefen, werden ausgewählte technische Details der dargestellten Ausführungsform im Weiteren erläutert. Es sei wieder auf 1 verwiesen; wie zuvor erwähnt ist, kann die Rechnereinrichtung 110 ein Teil eines größeren Computersystems 125 durch Anbindung über die Kommunikationsleitung 120 sein. Zu beispielhaften Computersystemen gehören Einrichtungen mit Nahbereichsnetzwerken („LAN"), Weitbereichsnetzwerken („WAN"), Systembereichsnetzwerken („SAN"), Intranetzwerken oder sogar das Internet. In dem Computersystem 125 ist eine Klieenten/Dienstleister-Architektur mit Netzwerk eingesetzt, und umfasst daher einen Server 145, während in alternativen Ausführungsformen eine Punkt-Punkt-Architektur eingesetzt ist. Somit kann in einigen alternativen Ausführungsformen die Rechnereinrichtung 110 direkt mit einer anderen Einrichtung kommunizieren.
Die Kommunikationsverbindungen 120 können kabellose Verbindungen sein, können Koaxialkabel, Glasfasern oder verdrillte Leitungspaare sein, um nur einige Beispiele zu nennen. Das Computersystem 125, wenn es in entsprechenden Ausführungsformen eingesetzt ist, und die Kommunikationsverbindungen 120 sind implementationsspezifisch und können in einer beliebigen bekannten Art und Weise verwendet werden. Das Computersystem 125 kann geeignete Kommunikationsprotokolle, die im Stand der Technik bekannt sind, verwenden, beispielsweise das Übertragungssteuerprotokoll/Internetprotokoll („TCP/IP").
3 zeigt ausgewählte Bereiche der Hardware bzw. des Softwareaufbaus der Rechnereinrichtung 110, die gemäß der vorliegenden Erfindung programmiert und betrieben wird. Das in 1 gezeigte Computersystem 125 ist ein verteiltes Computersystem, das ein hohes Maß an Flexibilität im Hinblick auf die Lage der einzelnen Softwarekomponenten ermöglicht. Zur einfacheren Darstellung zeigt 3 eine Reihe von Softwarekomponenten des Prozessablaufs 100, die in einer einzelnen Rechnereinrichtung 110 vorgesehen sind, die typischerweise jedoch in separaten Rechnereinrichtungen 110 in einer anderen Ausführungsform enthalten sind. Im Gegensatz dazu sind einige Aspekte der Hardware und der Softwarearchitektur (beispielsweise die einzelnen Karten, das Basiseingabe/Ausgabe-System („BIOS"), Eingangs/Ausgangs-Treiber etc.) nicht gezeigt. Diese Aspekte werden der Einfachheit halber weggelassen, um die vorliegende Erfindung nicht unnötig zu verdunkeln. Wie der Fachmann im Besitze der vorliegenden Offenbarung erkennt, enthalten die Software- und Hardwarearchitekturen der Rechnereinrichtung 110 jedoch viele derartiger Routinemerkmale.
In der dargestellten Ausführungsform ist die Rechnereinrichtung 110 ein Arbeitsplatzrechner, wobei ein Unix-gestütztes Betriebssystem 300 verwendet ist, wobei die Erfindung jedoch nicht darauf eingeschränkt ist. Die Rechnereinrichtung 110 kann in nahezu jeder Art an elektronischer Recheneinrichtung, etwa einem Notebook-Computer, einem Tischrechner, einem Minicomputer, einer Rechneranlage oder einem Supercomputer eingesetzt werden. Die Rechnereinrichtung 110 kann sogar in einigen alternativen Ausführungsformen ein Prozessor oder eine Steuerung sein, die in der Prozessanlage 115 eingebettet ist. Die Erfindung ist auch nicht auf Unix-gestützte Betriebssysteme beschränkt. Es können alternative Betriebssysteme (beispielsweise Windows-gestützte Betriebssysteme oder Diskettenbetriebssystem („DOS") gestützte Systeme verwendet werden. Die Erfindung ist nicht auf die spezielle Ausführungsart der Rechnereinrichtung 110 beschränkt.
Die Rechnereinrichtung 110 umfasst ferner einen Prozessor 305, der mit einem Speicher 310 über einen Systembus 315 in Verbindung steht. Der Speicher 310 enthält typischerwei se zumindest eine Festplatte (nicht gezeigt) und einen Speicher mit wahlfreiem Zugriff („RAM") (ebenfalls nicht gezeigt). Die Rechnereinrichtung 110 kann in einigen Ausführungsformen ferner einen mobilen Speicher, etwa eine optische Diskette 330 oder ein elektromagnetisches Diskettenlaufwerk 335 oder eine andere Form, etwa ein Magnetbandlaufwerk (nicht gezeigt) oder ein Zip-Diskettenlaufwerk (nicht gezeigt) aufweisen. Die Rechnereinrichtung 110 umfasst einen Bildschirm 340, eine Tastatur 345 und eine Maus 350, die zusammen mit der zugehörigen Anwenderschnittstellensoftware 355 eine Anwenderschnittstelle 360 bilden. Die Anwenderschnittstelle 360 ist in der dargestellten Ausführungsform eine graphische Anwenderschnittstelle („GUI"), obwohl dies für die Einrichtung der Erfindung nicht erforderlich ist.
Jede Rechnereinrichtung 110 umfasst in der dargestellten Ausführungsform ein Softwaremittel 365, das in dem Speicher 360 enthalten ist. Die spezielle in 3 gezeigte Rechnereinrichtung 110 umfasst ferner ein „Transporttermindisponiermittel" (MAS) 375 und einen „Stationsverwalter" 377, deren Funktionen nachfolgend vollständiger erläutert sind und in dem Speicher 310 enthalten sind. Zu beachten ist, dass die Softwaremittel 365, das MAS 375 und der Stationsverwalter 377 in dem Prozessablauf 100 in anderen Stelen als der Rechnereinrichtung 110 enthalten sein können. Die Lage der Softwaremittel 365, das MAS 375 und des Stationsverwalters 377 sind für die Umsetzung der Erfindung nicht wesentlich. Zu beachten ist ferner, dass andere Rechnereinrichtungen 110 keine derartigen Mittel aufweisen, oder diese in anderen Rechnereinrichtungen 110 als mehrere Softwaremittel 365, MAS 375 und Stationsverwalter 377, die darin enthalten sind, vorgesehen sind, da dies nicht wesentlich ist für die vorliegende Erfindung. Softwarekomponenten 141, 142 des Steuerungssystems für ein automatisches MES 137 und das AMHS 138 (zuerst in 1 dargestellt) sind ebenfalls in mindestens einer Rechnereinrichtung 110 enthalten. Wie bei den bzw. dem Softwaremittel(n) 365, das MAS 375 und dem Stationsverwalter 377 können die Softwarekomponenten 141, 142 irgendwo innerhalb des Prozessablaufs 100 enthalten sein.
Gemäß der 1 und 3 repräsentieren die Softwaremittel 365 jeweils eine gewisse „Fertigungsbereichseinheit", beispielsweise ein Los 130, eine Prozessanlage 115 oder eine Prozessressource 150. Die Softwaremittel 365 disponieren Aktivitäten für Lose aus Scheiben 135 und steuern deren Verlauf im Fertigungsprozess. Zusätzlich zu diesen Aufgaben bilden die Softwaremittel 365 eine Schnittstelle zu den Softwarekomponenten 141, 142 des MES 137 und des AMHS 138 und den Prozessanlagen 115. Die Art und Weise, in der diese Schnittstellenbildung und Integration vonstatten geht, ist implementationsspezifisch und hängt vom Aufbau von der Konfiguration des MES 137, des AMHS 138 und der anderen Fabriksteuerungssysteme ab.
Gemeinsam disponieren die Softwaremittel 365 u. a. eine oder mehrere Bearbeitungsoperationen für jedes Los 130 in einer speziellen qualifizierten Prozessanlage 115 einschließlich von Transporten und erforderlichen Dienstleistungen im Voraus. Dies beinhaltet, dass Entscheidungen über die Optimierung getroffen werden, etwa das Bearbeiten eines nicht vollständigen Stapels, im Gegensatz zum Warten auf eintreffende Lose 130, und das Disponieren entsprechender präventiver Wartungsphasen („PM"), oder dass Qualifizierungsprüfungen („Qual") spezielle Vorgaben erfüllen. Die Softwaremittel 365 disponieren Aktivitäten. Bewirken das Ausführen disponierter bzw. geplanter Aktivitäten (etwa einen Lostransport und dessen Bearbeitung); Überwachen Fabrikzustände, den Zustand von Aufträgen bzw. Terminen und von Lärmzuständen in der Fabrik, die für die disponierten Aktivitäten relevant sind; und Reagieren auf Zustandsänderungen, die sich aus disponierten oder nicht disponierten Aktivitäten ergeben.
Die Softwaremittel 365 disponieren die Lose 130 für die Bearbeitung in den Prozessanlagen 115 und Materialtransporte, die für das rechtzeitige Eintreffen für die Bearbeitung erforderlich sind. Somit gibt es zumindest zwei Arten an Terminen bzw. Aufträgen, die zu disponieren sind: Beareitungsaufträge und Transportaufträge – obwohl in den meisten Ausführungsformen auch andere Arten an Aufträgen bzw. Terminen verwendet werden. Das Disponieren von Materialtransporten durch die Softwaremittel 365 bildet das „Disponieren eines Materialtransports in dem Prozessablauf" (203 in 2) in dieser speziellen Ausführungsform.
Die Softwaremittel 365 disponieren eine oder mehrere Prozessoperationen frühzeitig; d. h., sie warten nicht darauf, dass eine aktuelle Prozessoperation oder ein Materialtransport zu Ende ist, bevor der nächste Materialtransport oder die Prozessoperation disponiert wird. Typischerweise disponieren die Softwaremittel 365 eine gewisse Anzahl an Prozessoperationen im Voraus, und die Materialtransporte werden so disponiert, dass sie die Forderungen für die disponierten Prozessoperationen erfüllen. Jedoch kann die genaue Anzahl an Prozessoperationen, die im Voraus disponiert werden, von Faktoren abhängig sein, etwa der Priorität der gerade bearbeiteten Lose 130, die Berücksichtigung von fortschrittlichen Prozesssteuerungsstrategien und von Losgruppen in einem Vorbearbeitungszustand.
Ein „Termin bzw. Auftrag" ist eine Zeitdauer, in der eine gewisse Aktivität nach Zeitplan bzw. nach Disponierung auftritt, und ist durch eine Auftragsstartzeit („TS") und eine Auftragsendzeit („TE") definiert. Der Auftrag ist typischerweise innerhalb eines „Festlegungsfensters („CW") definiert. Ein Festlegungsfenster ist ein Zeitfenster, in welchem die Prozessanlage 115 vorgesehen ist, den „Auftrag", der durch eine früheste Startzeit für die Bearbeitung („EST") und eine späteste Auslieferungszeit („LDT") definiert ist, zu erfüllen. Zu beachten ist, dass, wie nachfolgend weiter erläutert ist, nicht alle Arten an Aufträgen entsprechende Festlegungsfenster besitzen. Nichts desto trotz beinhaltet der Kalender 670 sowohl den Auftrag [TS, TE], und dessen Festlegungsfenster CW [EST, LDT], falls anwendbar, und diese gespeicherte Information wird in der dargestellten Ausführungsform verwendet, um das „Angebot" zu formulieren.
4 zeigt konzeptionell einen Kalender 400 mit gespeicherter Information im Hinblick auf Bearbeitungsaufträge für ein Los 130 in mehreren Prozessanlagen 115. In 4 besitzt das Los 130 die gebuchten Bearbeitungsaufträge APP₁ bis APP₄ für die Prozessanlagen T₁ bis T₄. Diese Zeitinformation für das Los 130 ist wie folgt:
T₁: APT₁[t₄, t₅], CW₁[t₁, T₈]
T₂: APT₂[t₆, t₉], CW₂ [t₃, t₁₃]
T₃: APT₃[t₁₁, t₁₂], CW₃[t₇, t₁₅]
T4₂:APT₄[t₁₄, t₁₆], CW₄[t₁₀, t₁₉]
Zu beachten ist, dass einige der Festlegungsfenster überlappen, dass aber keine der Aufträge überlappen.
Wie zuvor erläutert ist, enthält nicht jede Art eines Auftrags ein „Festlegungsfenster". Z. B. enthalten in der dargestellten Ausführungsform Transportaufträge für Materialtransport zu und von Bearbeitungsaufträgen kein Befestigungsfenster, sondern lediglich Zeitdauern. Zu beachten ist jedoch, dass in alternativen Ausführungsformen Festlegungsfenster verwendet werden können, in denen die Transportaufträge ausgeführt werden. Der Kalender 400 umfasst ferner Transportaufträge M₁ bis M₆ für einen Materialtransport zu und von den Aufträ gen APT₁ bis APT₄. Ein Transportauftrag ist durch eine Zeitdauer und eine Transportstartzeit, eine Transportauslieferungszeit oder beides definiert. Typischerweise ist die vorbestimmte Zeit, bei der die Bereitstellung eines Transportmittels für einen gegebenen Transportauftrag erfolgt (beispielsweise der Transportauftrag M₁) relativ zu einer Auftragsendzeit definiert. Andererseits ist ein Transportauftrag (beispielsweise der Transportauftrag M₂) zum Entfernen eines Loses 130 von einer Ladestation 140 einer Prozessanlage 115 in Bezug auf eine Auftragsstartzeit definiert.
Wie nachfolgend weiter erläutert wird, besitzt ein Transportauftrag, der unmittelbar einem Bearbeitungsauftrag vorausgeht, eine disponierte Transportendzeit, die gleich ist der disponierten Startzeit des Bearbeitungsauftrags. Eine Ausnahme besteht für Pufferanlagen, die einen betriebsbereiten Träger erfordern, um die Prozessanlage 115 vor dem Bearbeitungsauftrag zu beladen. In diesem Falle besitzt der Transportauftrag eine Transportendzeit, die gleich ist der disponierten Startzeit für den Auftrag des Behältereingangs. Somit sind die Transportaufträge M₁ bis M₄ so disponiert, dass sie mit der Zeit der entsprechenden nachfolgenden Bearbeitungsaufträge APT₁ bis APT₄ nach Zeitplan beginnen (oder in einigen Fällen entsprechend den Aufträgen für den Behältereingang).
In ähnlicher Weise besitzt ein Transportauftrag, der unmittelbar auf einen Bearbeitungsauftrag folgt, eine Transportstartzeit, die entsprechend der geplanten Endzeit des Bearbeitungsauftrags disponiert ist. Wiederum besteht eine Ausnahme für Pufferanlagen, die einen Behältereingang erfordern, um die Prozessanlage 115 nach dem Bearbeitungsauftrag zu entladen. In diesem Falle besitzt der Transportauftrag eine disponierte Transportstartzeit, die gleich ist der disponierten Endzeit für den Transportbehältereingangsauftrag. Somit sind die Transportaufträge M₂ bis M₅ so disponiert, dass sie zeigen, wie die Bearbeitungsaufträge APT₁ bis APT₄ (oder in einigen Fällen die Transportbehältereingangsaufträge) entsprechend dem Zeitablaufplan enden. Jedoch können in einigen Ausführungsformen konfigurierbare Ankunftszeiten vor dem Bearbeitungsauftrag enthalten sein, der die Zeit definiert, bei der Materialien für eine gegebene Prozessanlage 115 zur Bearbeitung auszuliefern sind.
Es sind viele Techniken zum Disponieren von Aufträgen im Stand der Technik bekannt, und es kann jede dieser Techniken eingesetzt werden. In einer speziellen Ausführungsform werden jedoch Aufträge unter Anwendung eines Vertragsverhandlungsprotokolls entspre chend einem Modell mit freiem Markt disponiert. In dem Modell mit freiem Markt des Vertragsverhandlungsprotokolls ist das Disponieren von Aktionen, die durch die Softwaremittel 365 initiiert werden mit Budgets, Kosten und Verhältnissen, die mit der Bearbeitung in einem Vertragsverhandlungsprotokoll beteiligt sind, befasst. Um ein Vertragsverhandlungsprotokoll zum Zuordnen von Ressourcen weiter zu implementieren, wird eine Kombination aus Budgets, Kosten und Verhältnissen angewendet, um ein Lösungsmodell mit freiem Markt einzurichten.
Die Kombination aus Budgets, Kosten und Verhältnissen ist so aufgebaut, dass ein „gewünschtes" Verhalten erreicht wird, beispielsweise das Einhalten von Terminen, die effektive Auslastung von Maschinen, etc. Genauer gesagt, es wird den Losen 130 ein „Budget" zugewiesen, das ein Softwaremittel 365 verwendet, um die Bearbeitungsdienstleistungen zu erreichen. In ähnlicher Weise beaufschlagt die Prozessanlage 115 Verbraucher für die von der Prozessanlage repräsentierten Dienstleistungen, z. B. die Verarbeitungszeit. Der Betrag des Budgets, den das Los 130 aufbringen will, hängt davon ab, wie sehr das Los im Zeitplan bleiben muss, und der von der Prozessanlage 115 verlangte Betrag hängt davon ab, wie sehr diese ihren Zeitplan auffüllen muss. Das Los 130 fordert Dienstleistungen mehr oder minder aggressiv in Abhängigkeit von ausgewählten Faktoren ab, etwa der Priorität oder einer Verspätung. Die Prozessanlagen 115 stellen derartige Dienstleistungen mehr oder weniger aggressiv in Abhängigkeit von einer Reihe von Faktoren zur Verfügung, etwa dem Anteil an Freiraum in ihren Kalendern. Zusammen wirken die Softwaremittel 365 für die Verbraucher und Dienstleister von Prozessdienstleistungen derart, dass die Lose 130 den Prozessablauf 100 in einer zeitgerechten und effizienten Weise durchlaufen.
6 zeigt das Verhandeln und das Disponieren von Bearbeitungsaufträgen in dem Prozessablauf 100, wobei auch das Disponieren von Transportaktivitäten zur Erfüllung der Bearbeitungsaufgaben eingeschlossen ist. In der dargestellten Ausführungsform enthält der Prozessablauf 100 mindestens zwei Arten an Softwaremitteln 365:
ein Losdisponiermittel („LSA") 605, das das Los 130 für Disponierzwecke vertritt; und
ein Maschinendisponiermittel („MSA") 610, das die Prozessanlage 115 für Disponierzwecke vertritt.
Obwohl dies nicht gezeigt ist, sind in der dargestellten Ausführungsform auch andere Arten von Mitteln enthalten.
Beispielsweise beinhaltet die dargestellte Ausführungsform Ressourcendisponiermittel („RSA", nicht gezeigt), die gewisse Prozessressourcen repräsentieren (beispielsweise Retikel, Platzhalterscheiben, Trägerbehälter, WFT, Wartungstechniker). Die dargestellte Ausführungsform umfasst ferner PM-Disponiermittel („PMSA", ebenfalls nicht gezeigt), die Anlagen-PM und Qual für Disponierzwecke in entsprechenden Prozessanlagen 115 repräsentieren, wobei keine entsprechenden Mittel gezeigt sind. Die PMSA disponieren Wartungsprozeduren und bei Bedarf Qualifizierungsprozeduren, die regelmäßig ausgeführt werden, um eine Prozessanlage 115 in gutem Funktionszustand zu halten. Die Lose 130, die Prozessanlage 115, die Ressourcen und die PM's und Quals besitzen alle entsprechende „Bearbeitungsmittel", obwohl diese mit Ausnahme des Losbearbeitungsmittels („LPA") 695 nicht gezeigt sind, an die die Disponiermittel die Steuerung übergeben, wenn es Zeit ist, das Ausführen disponierter Aktivitäten zu initiieren.
Jedes Softwaremittel 365, das anstelle einer gewissen Einheit in dem Prozessablauf 100 disponiert, unterhält einen Kalender, beispielsweise den in 4 gezeigten Kalender mit Terminen bzw. Aufträgen, wie dies in der dargestellten Ausführungsform der Fall ist. Beispielsweise unterhält das LSA 605 einen Kalender 685 und das MSA 610 unterhält einen Kalender 670. In ähnlicher Weise besitzen PM's und Qual's ebenso entsprechende Disponiermittel (nicht gezeigt), um die PM's und Qual's für die Prozessanlagen 115 des Prozessablaufs 100 in einem PM- und Qual-Kalender (nicht gezeigt) zu disponieren. Die Art der disponierten Aufträge in einem gegebenen Kalender hängt wesentlich von der Art der Einheit ab, die das den Kalender unterhaltende Softwaremittel 365 repräsentiert. Somit unterhält das LSA 605 den Kalender 685 und speichert darin nicht nur Bearbeitungsaufträge, etwa die Bearbeitungsaufträge APP₁ bis APP₄ in 4 für sein entsprechendes Los 130, sondern auch Transportaufträge, etwa die Transportaufträge M₁ bis M₆, die ebenfalls in 4 gezeigt sind. Jedoch tauchen Aufträge für PM und Qual (nicht gezeigt), die in den Kalendern für PM, Qual auftauchen, und die Prozessanlagen 115 nicht in dem Kalender 685 auf, der von dem LSA 605 unterhalten wird. Insbesondere ist das LSA 605 zum Disponieren aktueller und künftiger Aufgaben für ein spezifiziertes Los 130 in dem Prozessablauf 100 verantwortlich. Zu diesen Aufgaben gehören Fertigungsprozesse und Materialhandhabungen, die erforderlich sind, um das Los 120 vom Rohstoff Silizium in ein spezielles Halblei terprodukt umzuwandeln. Ein LSA 605 verwendet einen Kalender 685, um die disponierten Aufgaben zu verfolgen. Der Kalender 685 enthält eine geordnete Ansammlung von Aufträgen, beispielsweise die Aufgabe 675, die aktive und künftige Aufgaben repräsentieren, die von dem LSE 605 zu disponieren sind, und die die Bearbeitungsdienstleistungen bereitstellen, die für die Aufgabe erforderlich sind. Der Kalender 685 des LSA 605 kann diverse Arten an Aufträgen einschließlich: Losbearbeitung, Eintreffen von Trägerbehältern, das Ausgeben von Trägerbehältern, Transportaktivitäten, Zuführen von Material und maximale Transportaufträge beinhalten. Die Arten der von dem LSA 605 disponierten Aufträge und eine kurze Beschreibung davon sind in Tabelle 1 zusammengefasst. Obwohl diese diversen Auftragsarten unterschiedliche Attribute enthalten können, gibt es einige gemeinsame Attribute, zu denen die geplante Startzeit, die geplante Endzeit und eine abgeschätzte Dauer für die Aufgabe und ein Auftragszustand gehören.
Tabelle 1: Aufträge, die von dem LSA gebucht sind
Das MSA 610 unterhält einen Kalender 670 mit Aufträgen, beispielsweise dem Auftrag 676, der entsprechende Zuweisungen der Prozessanlage 115 zur Bereitstellung von Prozessdienstleistungen, d. h. Prozesszeit, repräsentiert. Die von dem MSA 610 in dem Kalender 670 disponierten Arten an Aufträgen sind in der Tabelle 2 dargelegt. Zu beachten ist, dass es keinen Transportauftrag gibt. Wohingegen der Transportauftrag für einen Materialtrans port explizit den Disponiervorgang des LSA 605 beschränkt, wird das Disponieren des MSA 610 nur implizit, d. h. indirekt, durch Vorgang beeinflusst. Zu beachten ist jedoch, dass der von dem MSA 610 im dem Kalender 670 disponierte Losbearbeitungsauftrag 676 dem Bearbeitungsauftrag 675 entspricht, der von dem LSA 605 in dem Kalender 685 disponiert wird.
Tabelle 2: Aufträge, die von dem MSA gebucht sind
Das Disponieren eines LSA 605 Transportauftrags von z. B. der Station 145 oder den Prozessressourcen 150, 155 in 1 zu einer Maschinenstation (beispielsweise der Station 145 in 1) wird deutlich von dem MSA 610 beeinflusst, das so disponiert ist, um den Bearbeitungsauftrag im Anschluss an den Transportauftrag auszuführen. Das MSA 610 besitzt einen entsprechenden Bearbeitungsauftrag 676 in seinem Kalender. Das MAS 610 disponiert Stationsreservierungen in einer Weise, wie dies nachfolgend detaillierter beschrieben ist. Wenn eine Station für das LSA 605 disponiert wird, werden zwei Attribute des Bearbeitungsauftrags aktualisiert. Es werden die Stationszuordnungs- und die Stationsverfügbarkeits- Zeitattribute aktualisiert, wenn eine Station disponiert wird. Das Disponieren der Station wird anfänglich ausgeführt, wenn der Bearbeitungsauftrag disponiert wird, kann jedoch nachfolgend durch das MSA 610 revidiert werden. Der Transportauftrag wird so disponiert bzw. zeitlich festgelegt, dass das Los 130 zu dem Zeitpunkt an der Station ausgeliefert wird, wenn die Station verfügbar ist. Somit beeinflusst das MSA 610 das Disponieren der Transportaufträge durch die Verwaltung der Ladestationen für die Prozessanlage 115.
Das Disponieren von Ladestationen durch das MSA 610 wir durch die Art der Anlage, die das MSA 610 repräsentiert, beeinflusst. Eine konfigurierbare Eigenschaft mittels der Maschinenart spezifiziert die früheste Zeit, an der ein Los 130 an einer Ladestation vor seinem Bearbeitungsauftrag eintreffen kann. Für Maschinenarten, die Lose sehr schnell bearbeiten, kann dieser Wert auf einen größeren Wert festgelegt werden, um damit diese Anlagenart mit Losen versorgt zu halten. Für Anlagenarten, die Lose langsamer bearbeiten, kann dieser Wert auf einen kleineren Wert festgelegt werden, um damit die Disponierflexibilität zu verbessern und nicht unnötigerweise die Maschinenladestationen auszulasten. Ferner ist die Ladestationverfügbarkeitszeit in einem Rahmen konfigurierbar von „genau rechtzeitig" für einen Bearbeitungsauftrag bis zu einer deutlichen Zeitdauer vor dem Bearbeitungsauftrag. In Reaktion auf diese Eigenschaften und auf das nachfolgende Verändern dieser Eigenschaften disponiert/oder neu disponiert das LSA 605 die Transportauftragsstartzeit und den Zielort.
In der dargestellten Ausführungsform erzeugt und verwendet das LSA 605 „Helfer"-Disponierklassenobjekte, um unterschiedliche Arten an Aufträgen zu disponieren und zu manipulieren. Ein Beispiel eines derartigen Helferklassenobjekts ist das MAS 375, das zuerst in 3 gezeigt wurde. Das MAS 375 wird insbesondere verwendet, um Transportaufträge und maximale Transportaufträge zu disponieren und zu manipulieren. Ein Transportauftrag repräsentiert die Aufgabe, das Los 130 oder ein Transportmittel 160, das das Los 130 enthält, von einem speziellen „Quellenort oder Ursprungsort" zu einem speziellen „Zielort" zu bewegen oder zu transportieren. Spezielle Maschinenladestationen, wie WIP-Bevorratungsstationen, WIP-Einrichtungen, Scheibensortierer und bahninterne Vorratsbehälter („UTS", die manchmal auch als Speicher mit „Nullflächenbedarf" bezeichnet werden) sind Beispiele von Orten, die Quellen oder Ziele sein können.
Die Einrichtung des MAS 375 hängt von der Implementierung des AMHS 138 und seiner Darstellung in dem Datenspeicher 390 ab. Z. B. kann das AMHS 138 zwischen 190 Buchten oder innerhalb von Buchten vorgesehen sein, die unterschiedliche Mengen an Materialtransporten für das MAS 375 durch unterschiedliche Systemarten, wie sie zuvor beschrieben sind, repräsentieren. Die Art und Weise, in der das MAS 375 von der Implementierung abhängt im Vergleich zu der Implementierung des Prozessablaufs 100 und des AMHS 138, ist für den Fachmann im Besitze der vorliegenden Offenbarung ersichtlich. Z. B. können Materialtransporte als „zwischen Buchten" kategorisiert werden, was ein Transport von einer Bevorratungsstation zu einer anderen Bevorratungsstation sein kann, oder die Transporte können „buchteninterne Transporte" sein, was etwas anderes ist als eine Bewegung von einer Bevorratungsstation zu einer weiteren Bevorratungsstation. Zwischen-Buchten- und Buchten-interne Materialtransporte können daher in unterschiedlicher Weise eingerichtet werden. Jedoch beinhalten nicht alle Ausführungen eines AMHS 138 sowohl Zwischenbuchtentransporte und Buchten-interne Materialtransporte in Abhängigkeit von ihrem Grad der Automatisierung. Somit kann die Ausführungsart des MAS 375 auch von der Gestaltung des AMHS abhängen.
Transportaufträge sind aus der Sicht der Softwaremittel 365 in der dargestellten Ausführungsform relativ fein strukturiert, können aber in alternativen Ausführungsformen grob strukturiert sein. Wenn beispielsweise ein Los von einem Punkt A zu einem Punkt C transportiert werden muss, gibt es einen Auftrag vom Punkt A zum Punkt B und einen weiteren Auftrag vom Punkt B zum Punkt C (anstatt dass ein einzelner Auftrag von Punkt A zum Punkt C ausgeführt wird). Ein Transportauftrag kann einen Transport zwischen Buchten oder einen Buchten-internen Materialtransport in Abhängigkeit von den Werten der Quellen- und Zielorte repräsentieren. Wenn beide Orte WIP-Bevorratungsstationen sind, kann der Materialtransport als ein Transport zwischen Buchten betrachtet werden; ansonsten wird der Materialtransport als ein Buchten-interner Transport betrachtet.
Das LSA 605 verwendet das MAS 375 in der dargestellten Ausführungsform in mindestens drei Arten an Zusammenhängen. Der erste ist „allgemeines Disponieren", wobei das Disponieren von Transportaufträgen und Bearbeitungsaufträgen unter Gleichgewichtsbedingungen vonstatten geht. Der zweite ist das „Initialisierungsdisponieren", wobei das Disponieren während der Initialisierung des Prozessablaufs 100 geschieht. Der dritte ist „reaktives Disponieren", wobei das Disponieren in Reaktion auf ein gewisses Ereignis in dem Prozessablauf 100 auftritt.
Insbesondere wenn ein LSA 605 einen Losbearbeitungsauftrag disponiert, verwendet es das MAS 375, um Transportaufträge zu disponieren, um damit das Los 130 von einer aktuellen Position (oder wenn die aktuelle Position sich ändert, vom Ziel – wenn bekannt) zu der Prozessanlage 115 zu transportieren, in der der Losbearbeitungsauftrag disponiert ist. Dies wird hierin als „allgemeines Disponieren" bezeichnet. Im Wesentlichen ist der Zustand der Fertigungsstätte bekannt und das Disponieren geschieht auf der Grundlage dieser Kenntnis.
Ein LSA 605 und diverse Helferdisponierklassen reagieren ebenso auf eine Zustandsänderung in der Fertigungsstätte, die das Los beeinflusst, auf Auftragsänderungen, die durch Dienstleistungsanbietermittel hervorgerufen werden, und auf Alarmereignisse (etwa Alarmereignisse, die angeben, dass ein Auftrag über sein disponiertes Ende hinaus andauert). Das MAS 375 wird verwendet, um Transportaufträge in Reaktion auf diese Bedingungen zu manipulieren. Dies wird im Weiteren als „reaktives" Disponieren bezeichnet.
Wenn der gesamte Prozessablauf 100 oder ein Teil davon aus einem gewissen Grund zum Stillstand kommt, wird dieser initialisiert, wenn er wieder in Gang gesetzt wird. Ein Teil dieser Initialisierung enthält das Bestimmen des Zustand der Fertigungsstätte, beispielsweise wo diverse Lose 130 sind, wie der aktuelle Zustand der Prozessanlagen 115 ist. Eines oder mehrere der Lose 130 müssen transportiert werden und die entsprechenden Transportaufträge müssen disponiert werden. Dies wird hierin als „Initialisierungsdisponierung" bezeichnet.
In der dargestellten Ausführungsform beginnt das LSA 605 das Verhandeln in einer Sitzung für eine allgemeine Disponierung durch öffentliches Ausgeben einer Angebotsanforderung 625 an das MSA 610. Das MSA 610 gibt für jede qualifizierte Prozessanlage 115 ein oder mehrere Angebote 660 an das LSA 605 für die Bearbeitung des Loses 130 ab. Das LSA 605 akzeptiert eines der Angebote 660. Das LSA 605 bestätigt dann das ausgewählte Angebot 660 mit einer Nachricht 665 an das MSA 610. Das MSA 610 validisiert das ausgewählte Angebot 660 in seinem Kalender 670, d. h. es wird sichergestellt, dass das ausgewählte Angebot 660 noch eingerichtet werden kann. Das MSA 610 erkennt, dass das Zeitfenster für das ausgewählte Angebot 660 noch offen ist, disponiert den Auftrag 675 und sendet eine „angebotsbestätigte"-Nachricht 680 zu dem LSA 605. Das LSA 605 disponiert dann den Auftrag 675 in seinem eigenen Kalender 685. Wenn die Startzeit für den disponierten Bearbeitungsauftrag ermittelt wird, geben die Disponiermittel 605, 610 die Steuerung an entsprechende Bearbeitungsmittel, d. h. das LPA 695, ab. Wenn ein Auftrag beendet ist, beginnen das LSA 605 und das MSA 610 ihren nächsten Auftrag, wenn der ent sprechende Zeitpunkt erreicht ist. Wenn der Zeitpunkt nicht erreicht ist, geben das LSA 605, MSA 610 einen Alarm aus und warten auf die Ausgabe des Alarms, wodurch angegeben wird, dass der Zeitpunkt zum Beginnen des nächsten Auftrags erreicht ist.
Somit werden Bearbeitungsaufträge, beispielsweise die Bearbeitungsaufträge 675, 676 in Kalendern gebucht, beispielsweise den Kalendern 685, 670, die von jedem Disponiermittel unterhalten werden, beispielsweise dem Disponiermitteln 605, 610. Sobald der Bearbeitungsauftrag 675 gebucht ist, disponiert das LSA 605 Transportaufträge zum Transportieren der Lose 130 zu dem Ort der Prozessanlage 115, die dem neu gebuchten Bearbeitungsauftrag 675 entspricht. Es sei unter Bezugnahme auf 1 und 6 angenommen, dass die Lose 120, die in der ersten Prozessanlage 115 bearbeitet werden, durch eine Ladestation 140 ausgegeben werden und an der Ladestation 145 der zweiten Prozessanlage 115 für den disponierten Bearbeitungsauftrag 675 abgegeben werden müssen. Jedes LSA 605 besitzt ein entsprechendes MAS 375, das für diesen Zweck aufgerufen wird. Das MAS 375 disponiert die Aufträge für die Lose 130, so dass diese zwischen dem Quellen- und Zielort transportiert wird, beispielsweise der ersten und der zweiten Prozessanlage 115 und damit von der Ladestation 140 zu der Ladestation 145.
Wie der Fachmann im Besitze der vorliegenden Offenbarung erkennt, enthält der Prozessablauf eine Reihe von Handhabungskomponenten, wovon lediglich einige gezeigt sind, etwa Bevorratungsstationen, Scheibensortierer, Transportbahn-interne Speichereinrichtungen, in denen gerade Produkte bearbeitet werden („WIP"). Beispielsweise zeigt 1 drei Prozessressourcen 150, 155a, 155b. Das MAS 375 bestimmt die geeigneten Materialtransporte, die erforderlich sind, so dass das Los 130 einen bestätigten Bearbeitungsauftrag 675 erfüllen kann oder bei Bedarf wird ein vorhergehender Behältereingangsauftrag, der mit dem Bearbeitungsauftrag 675 verknüpft ist, bestimmt. Zu diesem Zweck erhält das MAS 375 die aktuelle Position (wenn der Bearbeitungsauftrag der nächste Auftrag ist) oder die künftige Position (wenn der Bearbeitungsauftrag mehr als einen Prozessschritt in der Zukunft liegt) des Loses 130 von einem Datenspeicher 690, der ein Teil des in 1 gezeigten Computersystems 125 ist. Der Datenspeicher 690 kann einen beliebigen geeigneten Aufbau aufweisen, und kann tatsächlich mehrere Datenstrukturen (nicht gezeigt) enthalten. Der Datenspeicher 690 wird verwendet, um eine Fülle von Informationen zu speichern, die bei der automatisierten Steuerung der Fertigungsstätte verwendetet werden können, und die enthält:
Verknüpfungen zwischen diversen Anlageneinheiten, beispielsweise die Zuordnung der nächstliegenden Bevorratungsstation für eine Prozessanlage;
die Dauer gewisser Ereignisse in der Fertigungsstätte, beispielsweise die Dauer von Prozessoperationen, die disponiert werden könnten oder die Dauer von Materialtransporten von einer Position zu einer weiteren;
die Lage gewisser Fertigungsbereichseinheiten, beispielsweise die Lage von Losen oder beweglichen Ressourcen; und
die Zustände der Fertigungsstätte.
Somit enthält der Datenspeicher 605 Daten, die die Definition und den Zustand des AMHS 138 und den Status der Fertigungsstätte als Ganzes angeben.
Der Datenspeicher 690 enthält folglich Information, etwa die aktuelle Position eines Behälters (nicht gezeigt), der das Los 130 enthält. Der Datenspeicher 690 enthält ferner Daten, die die Abhängigkeit zwischen diversen Prozessstationen 105 und dem AMHS 138 angeben, so dass die Materialtransporte, die zum Erreichen eines einzelnes Punktes in den Prozessablauf 100 erforderlich sind, bestimmt werden können. Basierend auf der Quellenposition oder Ursprungsposition, der Zielposition und der Startzeit des Auftrags bestimmt das MAS 375 die geeigneten Materialtransporte und disponiert Transportaufträge in dem Kalender 685 des LSA 605.
In der dargestellten Ausführungsform disponiert das MAS 375 den bzw. die Transportaufträge „genau rechtzeitig". Das LSA 605 ruft typischerweise das MAS 375 auf, wenn ein aktueller Bearbeitungsauftrag nahezu abgeschlossen ist. Das LSA 605 disponiert im Voraus einen „nächsten" Bearbeitungsauftrag 675, wie dies zuvor beschrieben ist, und das MAS 375 disponiert Materialtransporte, die für diesen nächsten Bearbeitungsauftrag 675 erforderlich sind (oder bei Bedarf einen Trägereingangauftrag, der mit dem nächsten Bearbeitungsauftrag 675 verknüpft ist).
Das MAS 375 disponiert einen Materialtransport, der unmittelbar beginnt, oder zumindest so bald wie dies vernünftigerweise praktikabel ist, nachdem der aktuelle Bearbeitungsauftrag abgeschlossen ist, um das bearbeitete Los 130 aus der Ladestation 140 herauszubringen. Es ist wünschenswert, das Los 130 aus der Station 140 der Prozessanlage 115 wegzutransportieren, sobald die Bearbeitung abgeschlossen ist, um zu ermöglichen, dass andere Lose 130 die Ladestation 130 der Prozessanlage 115 ohne Verzögerung benutzen können. Zu beachten ist, dass im Falle von Pufferprozessanlagen 115, die ein Ausladen benötigen, das MAS 375 den Materialtransport so disponiert, dass dieser nach dem Behälterabgangauftrag beginnt, anstatt bei Ende des Bearbeitungsauftrags.
Jedoch kann in gewissen Fällen der Rest der Materialtransporte zu der Zielposition verzögert werden, um störende Transportaktivitäten zu vermeiden, die durch nachfolgende Ereignisse unnötig sein können. Beispielsweise kann der mit dem Transportauftrag verknüpften Bearbeitungsauftrag zurückgezogen werden, so dass es nicht wünschenswert ist, den Materialtransport zu der frühestmöglichen Zeit zu beginnen. Eine Verzögerung kann auch vorteilhaft sein, um die Flexibilität bei der Ladestationszuordnung beizubehalten, beispielsweise wenn ein Los mit höherer Priorität rasch eine Ladestation benötigt. Ferner kann eine Station besetzt sein und es kann eine Verzögerung wünschenswert sein, um abzuwarten, bis die Ladestation frei ist.
Zu beachten ist, wie zuvor dargelegt ist, dass gewisse Arten von Prozessanlagen 115 ein „Einladen" und „Ausladen" benötigen. Diese Prozesse werden auch als „Behältereingang" und „Behälterabgang" bezeichnet. D. h., die Lose 130 müssen in die Prozessanlage 115 eingeladen werden, wenn sie dort eintreffen und bevor sie bearbeitet werden. Typischerweise müssen sie auch nach dem Ende der Bearbeitung ausgeladen werden. Das MAS 375 disponiert in diesem Falle Materialtransporte so, dass die Lose 130 an der Prozessanlage 115 „gerade rechtzeitig" eintreffen, um vor der Bearbeitung eingeladen zu werden. Es werden Behältereingang- und Behälterabgang-Aufträge zusammen mit einem Bearbeitungsauftrag in der „Angebot bestätigt"-Nachricht 665 von einem MSA 615 zu dem LSA 605 zurückgegeben. Bevor das MSA 610 diese Aufträge zurückgibt, muss das MSA 615 unter Umständen mit einem RSA (nicht gezeigt), das eine Anlageneinladeressource repräsentiert, verhandeln. Diese Verhandlungen werden in ähnlicher Weise zwischen dem LSA 605 und dem MSA 610 ausgeführt, wie dies in 6 zuvor beschrieben ist.
Somit enthält in den Verhandlungen zwischen dem LSA 605 und dem MSA 610 dieses nicht nur den Bearbeitungsauftrag 675, sondern auch zugeordnete Behältereingangs/Behälterabgangs-Aufträge, die erforderlich sind. Das LSA 605 und das RSA disponieren tatsächlich Behältereingangs-/Behälterabgangs-Aufträge (nicht gezeigt) für das Los 130 und der Anlagenladeressource (ebenfalls nicht gezeigt) in den entsprechenden Kalendern. Wenn daher die Prozessanlage 115 ein Einladen erfordert, disponiert das MAS 375 Transportaufträge für das Los 130, so dass dieses zeitgerecht zum Einladen anstatt zum Bearbeiten eintrifft.
Die zeitliche Auflösung der Transportaufträge ist in dieser speziellen Ausführungsform relativ fein. Abhängig von der Ausführungsart kann beispielsweise der Materialtransport von der ersten Prozessanlage 115 in 1 zu der zweiten Prozessanlage 115 Materialtransporte von der Ladestation 140 zu einer Quellenbevorratungsstation 155a, die der ersten Prozessanlage 115 am nächsten liegt, von der Quellenbevorratungsstation 155a zu einer Zielbevorratungsstation 115b und von der Zielbevorratungsstation 155b zu der Ladestation 145 der zweiten Prozessanlage 115 enthalten. Zu beachten ist, dass die Quellen- und Zielbevorratungsstationen 155a, 155b typischerweise die nächstliegenden verfügbaren Ladestationen für die Quellen- und Zielposition sind, wie sie durch die Information in dem Datenspeicher 690 festgelegt ist. In der dargestellten Ausführungsform werden jedoch Transportaufträge von der Quellenposition (beispielsweise der Station 140) zu der Zielposition (beispielsweise der Station 145) oder zu einer Prozessressource (beispielsweise einem transportinternen Speicher), der der Zielposition am nächsten liegt, disponiert. Ob der Transportauftrag direkt zu der Zielposition oder zu der Prozessressource, die dem Ziel am nächsten liegt, stattfindet, hängt von einer Reihe von implementationsspezifischen Faktoren ab, etwa der Zeit (beispielsweise der aktuellen Zeit, der nächsten Bearbeitungsauftragsstartzeit), der Transportdauer und der Stationsverfügbarkeit ab.
In diesem Zusammenhang kann die Station 140 als eine „Quellenposition" und die Station 145 als eine „Zielposition" betrachtet werden, von bzw. zu denen die Lose 130 transportiert werden müssen, um einen gebuchten Bearbeitungsauftrag zu erfüllen. Die Quellenposition und die Zielposition können eine beliebige Komponente des AMHS 138 oder des Prozessablaufs 100 sein. Somit kann anstelle der Prozessanlagenstationen 140, 145 eine Reihe von Handhabungskomponenten vorgesehen sein, die nicht gezeigt sind, etwa Bevorratungsstationen, Scheibensortierter, transportinterne Speicher, Einrichtungen für gerade be arbeitende Produkte („WIP"), um nur einige Beispiele zu nennen. Dieser Grad an Unterteilung führt zu einer Abhängigkeit der Implementierung des MAS 375 von der Beschreibung des AMHS 138 in dem Datenspeicher 690.
Sobald der Materialtransport disponiert ist (in 2 bei 203), fordert das LSA 605 (in 2 bei 206) das Bereitstellen eines Transportmittels, beispielsweise des Transportmittels 160 in 1, für den entsprechenden Materialtransport an, wobei dies eine vorbestimmte Zeitdauer zuvor geschieht. Man nehme an, dass der Auftrag APP₁ in dem Kalender 500, der in 5 gezeigt ist, aktuell in der ersten Prozessanlage 115 abgearbeitet wird, die in 1 gezeigt ist. Der Auftrag APP₁ besitzt eine disponierte Endzeit, die eine gewisse Sicherheit bietet, in welcher Zeit die vorliegende Prozessoperation beendet ist. Wie gezeigt wird der nachfolgende Transportauftrag M₂ so disponiert, dass dieser zur gleichen Zeit beginnt, wenn das Ende des Auftrags APP₁ disponiert ist, um das fertiggestellte Los 130 aus der Station 140 abzutransportieren, wie dies auch in 1 gezeigt ist.
Wenn der Auftrag APP₁ gebucht wird, setzt das LSA 605 einen Alarm 697 für die vorbestimmte Zeitdauer vor dem Ende des Bearbeitungsauftrags APP₁. Zu beachten ist, dass das Ende des Bearbeitungsauftrags APP₁ gleich ist dem Beginn des Transportauftrags M₂. Die vorbestimmte Zeitdauer ist in der dargestellten Ausführungsform in üblichen Einheiten der Zeit, d. h. in Minuten und Sekunden, definiert. Die vorbestimmte Zeitdauer wird aus fabrikinternen Maßeinheiten, die in dem Datenspeicher 690 abgelegt sind, berechnet oder abgerufen. In einigen Ausführungsformen ist ein Maß, das in dem Datenspeicher 690 abgelegt ist, die abgeschätzte Zeit, die benötigt wird, um ein Transportmittel 160 an jedem von mehreren gegebenen Punkten in dem Prozessablauf 100 bereitzustellen.
Zu beachten ist, dass das in dem Speicher 690 abgelegte Maß nicht das eigentliche Maß der vorbestimmten Zeit sein muss. Man nehme beispielsweise an, dass das Maß ein Zeitmaß ist, das für das Bereistellen eines Transportmittels 160 an einer speziellen Zielprozessanlage 115 in einem Prozessablauf 100 erforderlich ist. Wenn in einer gegebenen Ausführungsform ein Transportmittel 160 so bereitgestellt wird, dass es gerade rechtzeitig für einen disponierten Materialtransport eintrifft, dann wird die vorbestimmte Zeit auf das abgerufene Maß festgelegt. In einigen Ausführungsformen kann es jedoch wünschenswert sein, das Transportmittel 160 so bereitzustellen, dass es vor dem Beginn des Materialtransports eintrifft. Man nehme an, dass in einer Ausführungsform gewünscht ist, dass ein Transport mittel 160 35 Sekunden auf den Beginn des Materialtransports wartet. Dann wird die vorbestimmte Zeit auf das abgerufene Maß plus 35 Sekunden festgelegt.
Zu beachten ist, dass in einigen Ausführungsformen die vorbestimmte Zeitdauer in weniger üblichen Maßeinheiten definiert sein kann. Z. B. wird in der dargestellten Ausführungsform eine Reihe von „Zuständen" den Aufträgen zugewiesen. Ein Bearbeitungsauftrag, der Auftrag APP₁, enthält einen Übergang von einem „aktiven" Zustand zu einem „nahezu abgeschlossenen" Zustand. Beispielsweise geht eine 15 Minutige Prozessoperation in „aktiv" über, wenn diese beginnt und kann in einen „nahezu abgeschlossen" Zustand bei 13 Minuten des Vorgangs übergehen. Der Übergangspunkt ist eine Funktion des Prozessvorgangs. Jedoch kann für die vorliegenden Zwecke die vorbestimmte Zeitdauer als die Zeit definiert werden, bei der der Prozessvorgang von „aktiv" in „nahezu abgeschlossen" übergeht.
Wenn der Alarm 697 ausgelöst wird, wird das LSA 605 aufgefordert, den Transportauftrag M₂ in Gang zu setzen. Das LSA 605 sendet eine Nachricht 699 an das AMHS 138, um das AMHS 138 über den Zeitpunkt in Kenntnis zu setzen, an dem der Transportauftrag M₂ beginnt. Die Nachricht 699, die den Transport anfordert, enthält nicht nur die Startzeit für den Transportauftrag, sondern auch eine Kennung für das zu transportierende Material, die Quellenposition für den Transport und die Zielposition für den Transport. Bei Empfang der Nachricht 699 stellt das AMHS 138 das Transportmittel 160 bereit. Somit dient die Nachricht 699, die zu der vorbestimmten Zeitdauer gesendet wird, wie dies zuvor beschrieben ist, auch als eine Anforderung, um das Transportmittel 160 bereitzustellen. Anders gesagt, das AMHS 138 leitet die Bereitstellungsanforderung aus der Nachricht 699 ab und die Nachricht 699 bildet eine implizierte Anforderung, um das Transportmittel 160 bereitzustellen.
Somit fordert in dieser Ausführungsform das LSA 605 das Bereitstellen des Transportmittels an (in 2 bei 206), indem das AMHS 138 durch die Nachricht 699 benachrichtigt wird, den Materialtransport zu initiieren. In dieser speziellen Ausführungsform wird daher das Bereitstellen des Transportmittels (in 2 bei 206) als ein Teil des Materialtransports betrachtet. Zu beachten ist jedoch, dass die Erfindung nicht darauf eingeschränkt ist. In alternativen Ausführungsformen kann das LSE 605 beispielsweise einen Alarm lediglich für den Zweck erzeugen, dass eine Expressanforderung (nicht gezeigt) für das Bereitstellen des Transportmittels (in 2 bei 206) gesendet wird. Dies kann wiederum von dem AMHS 138 als eine Benachrichtigung aufgefasst werden, den Materialtransport zu initiieren. Oder alternativ kann das LSA 605 die Nachricht 699 senden, um das AMHS 638 zu benachrichtigen, das Bereistellen (in 2 bei 206) anzufordern und es kann eine separate Anforderung (nicht gezeigt) zum Initiieren des Materialtransports erfolgen. Zu beachten ist, dass in jeder der beiden Möglichkeiten die Zeit zum Bereistellen des Transportmittels (in 2 bei 206) gleich sein kann zu der Zeit, in der der Alarm 697 gesetzt wird. D. h., das LSA 605 kann den Alarm 697 so festlegen, dass dieser mit der vorbestimmten Zeitdauer vor dem Materialtransport ausgegeben wird.
Wie zuvor erläutert ist, wird in der dargestellten Ausführungsform das Transportmittel (in 2 bei 206) so bereitgestellt, dass es „gerade rechtzeitig" für den Materialtransport eintrifft, so dass das Transportmittel bereits wartet, wenn das Los 130 für den eigentlichen Transport bereit ist. In alternativen Ausführungsformen wird eine zusätzliche Zeitdauer bereitgestellt, so dass das Transportmittel für den eigentlichen Transport eintrifft und auf das Los 130 wartet. Eine derartige zusätzliche Zeitdauer kann wünschenswert sein, um unterwartete Verzögerungen während des Bereitstellens zu kompensieren. Auch wenn ein Los 130 einer maximalen Wartezeit für den nächsten Prozessvorgang unterliegt, kann die zusätzliche Zeitdauer wünschenswert sein, um beim Vermeiden von maximalen Wartezeitverletzungen zu helfen. Der Materialtransport kann dann in konventioneller Weise ausgeführt werden.
In der dargestellten Ausführungsform beinhaltet das Disponieren von Aufträgen das Verwalten gebuchter Aufträge. Wie zuvor erläutert ist, ruft das LSA 605 auch das MAS 375 für „reaktives Disponieren" auf. Gebuchte Aufträge unterliegen einer Modifizierung, um damit das Disponieren neuer Aufträge zu berücksichtigen und um unerwartete Entwicklungen mit einzubeziehen, und das MAS 375 reagiert auf diese Ereignisse in entsprechender Weise. Gebuchte Bearbeitungsaufträge können verschoben, kurzzeitig versetzt, gelöscht und neu disponiert werden. Einige Ereignisse, die diese Änderungen hervorrufen, treten unerwartet auf. Eine Maschine mit Verarbeitung auf Scheibenbasis kann stillstehen, ohne dass dies so zeitlich geplant ist. Diese Prozessanlage 115 kann in der Mitte der Bearbeitung von mehreren Scheiben 130 eine Störung aufweisen, wobei einige bearbeitet sind, und einige unbearbeitet bleiben, wobei alle diese Scheiben der Prozessanlage 115 enthalten sind. Das MAS 375 für das Los 130 muss in der Lage sein, geeignete Materialtransporte bei Aufruf durch die entsprechenden LSA 605 zu disponieren.
Als weiteres Beispiel können gebuchte Bearbeitungsaufträge verschoben werden, wodurch gebuchte Transportaufträge ebenso verschoben werden. Wie zuvor erwähnt ist, beinhaltet jeder Bearbeitungsauftrag ein „Festlegungsfenster". Das Festlegungsfenster verleiht dem MSA 610 Flexibilität, die wiederum ermöglicht, dass das MSA 610 den Zeitablauf bei Reaktion auf Änderungen im Zustand der Fertigungsstätte oder in diversen Aufträgen „optimiert". Bearbeitungsaufträge werden als „Perlen auf einer Schnur" betrachtet. Bestehende Bearbeitungsaufträge dürfen nach hinten oder nach vorne innerhalb ihrer entsprechenden Festlegungsfenster nach Bedarf gleiten, um einen effizienteren Zeitablaufplan zu erzeugen. In der dargestellten Ausführungsform dürfen zur Vereinfachung der Logik Aufträge nicht über den nächsten Auftrag hinaus, unabhängig von der Richtung, verschoben werden.
Beispielsweise kann ein Bearbeitungsauftrag innerhalb seines Festlegungsfensters zeitlich vorverlegt werden, wenn ein vorhergehender Bearbeitungsauftrag früher abgeschlossen ist. In ähnlicher Weise kann ein Bearbeitungsauftrag zeitlich nach hinten verschoben werden, wenn der vorhergehende Bearbeitungsauftrag solange dauert. In jedem Falle werden die LSA's 605 der betroffenen Lose 130 von den MSA's 610 benachrichtigt, dass sich der gebuchte Bearbeitungsauftrag geändert hat. Die Differenz in den Startzeiten und Endzeiten für den gebuchten Bearbeitungsauftrag können die Eignung der disponierten Materialtransporte ändern. Wenn beispielsweise ein gebuchter Bearbeitungsauftrag auf eine frühere Startzeit verschoben wird, muss das Los 130 früher eintreffen als dies für die aktuell disponierten Materialtransporte der Fall ist. Umgekehrt bedeutet eine spätere Startzeit, dass das Los 130 zu einem späteren Zeitpunkt transportiert werden soll. In jedem Falle können unterschiedliche Materialtransporte geeignet sein, um die korrekte Ankunftszeit für das Los 130 zu erzielen. In diesen Situationen können die Transportaufträge in Reaktion auf das Verschieben des zugeordneten Bearbeitungsauftrags verschoben werden. Zu beachten ist, dass mehrere Transportaufträge für ein Los 130 zum Erreichen seines Bestimmungsortes disponiert sein können. Somit können einige Transportträger in gewissen Situationen entsprechend verschoben werden.
Das LSA 605 ruft bei Empfang einer Änderung des Auftragsstatus u. a. das MAS 375 auf und gibt die neue Information über den geänderten Bearbeitungsauftrag weiter. Das MAS 375 ruft die aktuelle Position für das Los 130 von dem Datenspeicher 600 ab, wenn der zu ändernde Bearbeitungsauftrag der nächste Bearbeitungsauftrag ist. Wenn der Bearbei tungsauftrag, der geändert wird, ein oder mehrerer Prozessoperationen in der Zukunft repräsentiert, dann ruft das MAS 375 die geplante Position des Loses 130 vor dem bzw. den vorhergehenden Transportaufträgen ab. Dieses Abrufen beinhaltet beispielsweise das Abrufen des Ziels und der Ankunftszeit für einen aktiven Transportauftrag. Das MAS 375 überprüft den Kalender 385 für das-LSA 605, um zu bestimmen, welche Transportaufträge gebucht sind und welche der gebuchten Aufträge aktiv sind. Das MAS 375 agiert dann in Abhängigkeit davon, ob Transportaufträge aktiv sind und, wenn welche aktiv sind, ob der Transport begonnen hat.
Es sei angenommen, dass eine Änderung erforderlich ist, wenn der gebuchte Transportauftrag nicht aktiv ist, und das MAS 375 kann dann den Auftrag verschieben oder stornieren oder einen weiteren Auftrag disponieren. Wenn der gebuchte Transportauftrag aktiv ist, aber der Materialtransport selbst noch nicht begonnen hat, kann der gebuchte Transportauftrag storniert werden und ein neuer besser geeigneter Transportauftrag wird disponiert. Wenn der gebuchte Transportauftrag aktiv ist und der Materialtransport selbst bereits begonnen hat, kann das LSA 605 von mehreren Lösungen wählen. Das LSA 605 kann auf das Ende des Materialtransports in dem aktiven Transportauftrag warten, und kann dann neue Transportaufträge zu dem neuen Ziel bei der neuen Bearbeitungsauftragsstartzeit buchen. Oder das LSA 605 kann den aktuellen Transportauftrag modifizieren, indem das AMHS 138 über das neue Ziel und die neue Ankunftszeit informiert wird. Oder das LSA 605 kann das AMHS 138 benachrichtigen, den aktuellen Transportauftrag abzubrechen und kann neue Aufträge zu dem neuen Ziel mit der neuen Bearbeitungsauftragsstartzeit buchen. In gewissem Maße kann die Auswahl dieser Optionen von den Eigenschaften der speziellen Implementierung des AMHS 138 abhängen.
Aufträge werden ferner üblicherweise geändert, wenn ihre Dauer oder die Dauer eines Auftrags, der unmittelbar vorhergeht, länger als erwartet ist. Wenn Aufträge von dem LSA 605 erteilt werden und das MSA 610 aktiv wird, setzen das LSA 605 und das MSA 610 „Alarme" (nicht gezeigt), die sie benachrichtigen, wenn der Auftrag nach Zeitplan abgeschlossen ist. Wenn die Aufgabe abgeschlossen ist, werden die Disponiermittel 605, 610 benachrichtigt und diese Alarme werden ausgeschaltet. Wenn der Alarm stattfindet, dann wissen die Disponiermittel 605, 610, dass der Auftrag nicht zeitgerecht abgeschlossen wurde, und dass entsprechende Anpassungen im Zeitablaufplan erforderlich sind. 5 zeigt eine derartige Situation. Insbesondere war in 5 die Zeitdauer des Transportauftrags M₁ länger als er wartet und daher wurden der Transportauftrag M₂ und der Auftrag APP₁ zeitlich nach hinten verschoben, um dieser längeren Zeitdauer Rechnung zu tragen. In jedem Falle bedeutet die Zeitdauer, die länger als erwartet ist, dass das LSA 605 das MAS 375 aufruft, um den Transportauftrag M₁ zu erweitern. Bei Bedarf beginnt das MAS 375, zu verschieben, zu stornieren und andere Transportaufträge neu zu disponieren.
Wie unmittelbar zuvor beschrieben ist, können gebuchte Aufträge vollständig storniert werden. Ein LSA 605 kann eine Zustandsänderungsnachricht von einem MSA 610 erhalten, wobei die Nachricht angibt, dass ein Bearbeitungsauftrag storniert wurde, beispielsweise wenn die Prozessanlage 115 nicht mehr in der Lage ist, den gebuchten Auftrag innerhalb des disponierten Festlegungsfensters auszuführen. Wenn das LSA 605 die Zustandsänderungsnachricht empfängt, entfernt es den stornierten Auftrag von seinem Kalender 685 und beginnt mit einer Neudisponierung. Das MAS 375 entfernt auch zugeordnete Transportaufträge und beginnt mit der Neudisponierung des stornierten Bearbeitungsauftrags.
Zu beachten ist, dass wenn gebuchte Aufträge verschoben, storniert und neu disponiert werden, die Änderungen entsprechende Veränderungen in dem Prozessablauf und insbesondere in den Kalendern hervorrufen können. Änderungen werden durch ein einzelnes Softwaremittel 365 festgelegt, aber ein geänderter Auftrag kann in vielen Kalendern in Abhängigkeit von der Auftragsart gebucht werden. Z. B. wird in der dargestellten Ausführungsform ein Bearbeitungsauftrag 675 sowohl in dem Kalender 685, der von dem LSA 605 unterhalten wird, als auch in dem Kalender 670, der von dem MSA 610 unterhalten wird, gebucht. Jedoch treten Transportaufträge lediglich in den Kalender 685 auf, der von dem LSA 605 unterhalten wird. Für Aufträge, die in mehreren Kalender gebucht sind, müssen die Änderungen folglich an die anderen Softwaremittel übermittelt werden, so dass diese entsprechende Kalender aktualisieren können. Dies gilt auch für andere Arten von Ereignissen in den Prozessablauf.
Dazu verwenden die Softwaremittel zusätzliche Softwarekomponenten (nicht gezeigt), die als „Benachrichtigungsmittel" und „Zuhörermittel" bekannt sind. Dies Softwaremittel verwenden Zuhörermittel, um Ereignisse in dem Prozessablauf, die ihre Disponierung beeinflussen können, zu verfolgen. Die Zuhörermittel „abbonieren" Themen oder Ereignisse in der Fertigungsstätte. Benachrichtigungsmittel „veröffentlichen" Ereignisse, wenn Änderungen innerhalb der Fertigungsstätte auftreten. Zuhörermittel benachrichtigen wiederum jedes zugehörige Softwaremittel 365, wenn ein interessierendes Ereignis von einem Benachrichtigungsmittel veröffentlicht wird. Die Intensität der ausgewählten Ereignisse ist implementationsspezifisch, wobei Auftragsänderungen 365 ein offensichtliches Beispiel sind, das in den meisten Ausführungsformen angewendet wird. Die diversen Softwaremittel 365 können ihre Kalender aktualisiert halten, wenn Änderungen durch andere Softwaremittel 365 hervorgerufen werden. Der Datenspeicher 690 verwendet ebenso eine Reihe von Zuhörermitteln, um im Hinblick auf Ereignisse in der Fertigungsstätte informiert zu bleiben, die deren Zustand ändern. Die Benachrichtigungsmittel und Zuhörermittel aktualisieren daher auch den Datenspeicher 690, so dass der Zustand der Fertigungsstätte und der Fertigungssteuerungssysteme in genauer Weise wiedergegeben wird, wenn das MAS 375 darauf zugreift, um die Position und geeignete Materialtransporte für ein Los 130 zu bestimmen, das zu transportieren ist.
Zusätzlich zur Nutzung von Benachrichtigungsmitteln und Zuhörermitteln bei der „reaktiven Disponierung" ist insbesondere die Fähigkeit des Datenspeichers 690, den Zustand der Fertigungsstätte mittels der Benachrichtigungsmittel und Zuhörermittel zu bewahren und aktuell zu halten, bei der „Initialisierungsdisponierung" vorteilhaft. Wenn der Prozessablauf 100 nach einem Stillstand wieder initialisiert wird, müssen sich die Softwaremittel 365 selbst orientieren, bestimmen, wo ihre Fertigungsbereichseinheit ist (wenn anwendbar), den Zustand ihrer Fertigungsbereichseinheit bestimmen und festlegen, was zu disponieren ist. Diese gesamte Information wird in dem Datenspeicher 690 bewahrt und wird durch das Netzwerk aus Benachrichtigungsmitteln und Zuhörermitteln, wie dies unmittelbar zuvor beschrieben ist, aktuell gehalten. Das LSA 605 kann beispielsweise auf den Datenspeicher 690 zugreifen, um zu bestimmen, wo in dem Prozessablauf sein zugehöriges Los 130 ist. Während der Initialisierungsdisponierung erkennt das LSA 605, ob eine gewisse Aktivität in Gange ist und disponiert Aufträge, die für den Abschluss dieser Aktivität erforderlich sind. Wenn das Los 130 transportiert werden muss, kann das LSA 605 das MAS 375 aufrufen, um die gewünschte Materialtransporte zu disponieren, wie dies zuvor bei der allgemeinen Disponierung erläutert ist. Wenn das Los 130 während der Initialisierung in Bewegung war, kann das MAS 375 den Transport disponieren, der gerade andauert, so dass dieser abgeschlossen werden kann.
Die vorhergehende Erläuterung betrifft die Disponierfähigkeiten der Softwaremittel 365. Zusätzlich zur Disponierung initiieren die Softwaremittel 365 auch das Ausführen disponierter Aktivitäten. Wenn beispielsweise eine disponierte Aufgabe gerade ausgeführt wird, übernimmt das disponierende Mittel, beispielsweise das LSA 605 und/oder das LSA 610, die Verantwortung für Ereignisse, die den Fertigungsstättenzustand verändern, und überwacht diese Ereignisse. Ferner überwacht das disponierende Mittel Auftragszustandsänderungsereignisse auf Grund der Tatsache, dass ein Mittel mit einem entsprechenden Auftrag eigentlich für das Initiieren einer Auftragszustandsänderung verantwortlich ist. Diese Überwachung wird durch das Netz aus Benachrichtigungsmitteln und Zuhörermitteln, wie dies zuvor beschrieben ist und die auch für das Disponieren verwendet werden, ausgeführt. Ein Beispiel zur Darstellung, wie Aufträge aktiviert werden, wie der Fortschritt überwacht wird, wie Auftragszustände übergeben werden und wie die Bearbeitung für die disponierte Aufgabe initiiert wird, ist nachfolgend angegeben.
Wenn beispielsweise ein Bearbeitungsauftrag gerade ausgeführt wird, ändert das LSA 605 Auftragszustände, indem Auftragszustandsänderungen, die durch das MSA 610 bewirkt werden, empfangen werden. Das MSA 610 überwacht Fertigungsstättenzustandsänderungsereignisse (d. h. Ereignisse, die angeben, dass die Bearbeitung begonnen hat oder abgeschlossen ist), um die Auftragszustände zu ändern. Wenn das disponierende Mittel erkennt, dass die disponierte Aufgabe abgeschlossen ist, aktualisiert das disponierende Mittel den Zustand des zugeordneten Auftrags in dem Kalender des Mittels und führt andere Funktionen aus. In dem aktuellen Beispiel empfängt das LSA 605 ein Auftragszustandsänderungsereignis, das angibt, dass der Bearbeitungsauftrag abgeschlossen ist und aktualisiert den Zustand seines entsprechenden Bearbeitungsauftrags auf „abgeschlossen".
Als nächstes erkennt das disponierende Mittel den nächsten Auftrag, der in seinem Kalender disponiert ist. Beispielsweise soll das LSA 605 einen Transportauftrag besitzen, der unmittelbar nach dem Bearbeitungsauftrag verwendet wird. Es sei angenommen, dass der Transportauftrag in diesem Beispiel in Bezug auf den nächsten Bearbeitungsauftrag einen Ursprungsort einer Anlagenladestation 140 der Prozessanlage 115 hat, die die Bearbeitung des Loses 130 durchführt, und einen Zielort entsprechend der Prozesssressource 150 besitzt, die die Ladestation 145 der Prozessanlage 115 am nächsten liegt. Zu beachten ist, dass die Zuordnung der Prozessressource 150 zu der zweiten Prozessanlage 115 in dem Datenspeicher 690 gespeichert ist, und somit von dem LSA 605 und anderen Mitteln einfach erkannt werden kann.
Das Disponiermittel erhält die Startzeit des nächsten Auftrags. Wenn die Startzeit des nächsten Auftrags erreicht ist, führt das Disponiermittel eine Reihe von Funktionen (die nachfolgend beschrieben sind) aus, wozu das Initiieren des Auftrags gehört. In unserem Beispiel ist der Zeitpunkt für den nächsten Transportauftrag eingetreten. Folglich ändert das MAS 375 den Zustand des Transportauftrags in „aktiv" und benachrichtigt sein entsprechendes Losbearbeitungsmittel („LPA") 695, um die Bearbeitung der mit dem Transportauftrag verknüpften Aufgabe zu initiieren. Das MAS 375 fordert für das LSA 605 die Bereitstellung eines Transportmittels (in 2 bei 206) für den Transportauftrag gemäß der Erfindung, wie zuvor beschrieben ist, vor der Transportauftragsstartzeit an. In diesem Beispiel ruft das LPA 695 das AMHS 138 mit einem geeigneten Befehl zum Initiieren des entsprechenden Transports auf.
Das LSA 605 bildet als nächstes einen Alarm („Endzeitalarm"), der zu der geplanten Endzeit des Transportauftrags auszulösen ist. Dieser Alarm wird der Alarmuhr (nicht gezeigt) des Systems hinzugefügt, um anzugeben, wann der Materialtransport abgeschlossen sein sollte. Das LSA 605 verwendet entsprechende Teilnehmermittel, um Fertigungsstättenzustandsänderungsereignisse in der zuvor erläuterten Weise zu überwachen. Im Falle der Überwachung von Transportaufträgen gibt eine Änderung in der Position des Loses ein Fortschreiten der Materialtransportaufgabe, die disponiert wurde, an. Zu Beginn sollte das LSA 605 ein Fertigungsstättenänderungsereignis empfangen, das angibt, dass die Position des Loses sich von einer Anlagenladestation 140 zu einer Zwischenstation geändert hat. Diese Änderung wird von dem AMHS 138 (oder einem WFT 165) initiiert, indem der Behälter (nicht gezeigt) mit dem Los 130 von der Anlagenladestation 140 entfernt wird. Zu diesem Zeitpunkt ruft das LSA 605 das MAS 175 auf, um den Transportauftrag von einem aktiven Zustand in einen Zustand „in Bearbeitung" überzuführen, der angibt, dass der Materialtransport gerade abläuft. Das entsprechende LPA 695 wird in dem Falle benachrichtigt, dass mit dieser Zustandsänderung verknüpfte Aufgaben erfordern, dass Aktionen initiiert werden.
Nachfolgend sollte das LSA 605 ein Fertigungsstättenänderungsereignis empfangen, das angibt, dass die Position des Loses sich von einer Zwischenposition zu einer Position der Prozessressource 150, die der Prozessanlage 115, die das Los 135 bearbeitet hat, am nächsten liegt, geändert hat. Dieses Änderungsereignis stammt von dem AMHS 138, wenn es erkennt, dass ein Behälter in der Eingangsstation der WIP-Bevorratungsstation (nicht gezeigt) eingetroffen ist. Zu diesem Zeitpunkt ändert das MAS 375 den Transportauftrag von einem „Bearbeitungszustand" in einen Zustand „abgeschlossen", wenn das Los 135 an seiner Zielposition eingetroffen ist. Ferner wird das LPA 695 benachrichtigt, wenn die Bearbeitung auf Grund dieses Ereignisses ausgeführt werden sollte, und der Endzeitalarm (der zuvor gesetzt wurde) wird storniert, wenn der Materialtarnsport früher als geplant abgeschlossen ist.
Mit dem Abschluss der Transportaufgabe versucht das LSA 695 den nächsten Auftrag in seinem Kalender 685 zu finden. Es sei angenommen, dass der nächste Auftrag ein Transportauftrag ist. Der Ursprungsort für diesen Auftrag ist die Prozessressource 150 und der Zielort ist die WIP-Bevorratungsstation 155, die der Prozessanlage 115 am nächsten liegt, die einen nachfolgenden Bearbeitungsauftrag ausführt. In diesem Beispiel liegt die Startzeit dieses Transportauftrags in der Zukunft. Als Folge bildet das LSA 605 einen Alarm (Startzeitalarm), der zum Zeitpunkt des Initiieren des Transportauftrags ausgelöst wird. Zu beachten ist, dass der Alarm für einen Zeitpunkt festgelegt wird, der tatsächlich vor der disponierten Transportauftragsstartzeit liegt. Dieser Alarm wird der Alarmuhr des Systems hinzugefügt.
Wenn der Alarm ausgelöst wird, ruft der Alarm das LSA 695 erneut auf. Das LSA 695 ruft u. a. das MAS 375 auf, um den Zustand des Transportauftrags auf „aktiv" zu ändern. Ferner benachrichtigt das LSE 695 sein entsprechendes LPA 695, um die Bearbeitung des Auftrags in Gang zu setzen. Das LPA 695 sendet geeignete Befehle an das AMHS 138, um den Transport des Behälters zu initiieren, in welchem das Los 130 gehandhabt wird, einschließlich der Verwendung des Verfahrens 200 in 2 gemäß der vorliegenden Erfindung. Das LSA 605 erzeugt auch einen Endzeitalarm. Nachfolgend empfängt das LSA 605 ein Fertigungsstättenänderungsereignis, das angibt, dass die Position des Loses sich von der Quellenprozessressource 150 zu einem Übergangsort geändert hat. Dieses Ereignis stammt von dem AMHS 138, das erkennt, dass der Behälter für das Los die Prozessressource 150 verlassen hat.
Das LSA 605 ruft das MAS 375, um den Transportauftrag von einem „aktiven" Zustand in einen „Bearbeitungszustand" zu ändern und ruft das LPA 695 in dem Falle, dass eine Bearbeitung in dieser Phase erforderlich ist. Es sei angenommen, dass der Endzeitalarm ausgelöst wird, bevor das LSA 695 ein nachfolgendes Ereignis für die Änderung der Lospositi on empfängt. Dies gibt an, dass der Transportauftrag über die geplante Zeitdauer in einer Situation ähnlich zu jener, die in 5 gezeigt ist, hinaus andauert. Das MAS 375 berechnet eine neue Endzeit für den Auftrag, verschiebt nachfolgende Aufträge zeitlich nach hinten, wenn dies erforderlich ist, modifiziert die Endzeit des Transportauftrags und setzt einen neuen Endzeitalarm, um dem ausgedehnten Transportauftrag Rechnung zu tragen.
Nachfolgend empfängt das LSA 605 ein Fertigungsstättenänderungsereignis, das angibt, dass die Position des Loses sich von einer Zwischenposition auf die Zielposition, d. h. die WIP-Bevorratungsstation 155, geändert hat. Dieses Ereignis rührt von dem AMHS 138 her, das die Ankunft des Behälters an der Eingangsstation (nicht gezeigt) der Ziel-WIP-Bevorratungsstation 155 erkennt. Das MAS 375 bringt den Transportauftrag in einen Zustand „abgeschlossen" und initiiert das LPA 695 für die mögliche Bearbeitung. Dieser Zyklus wird in Reaktion auf Fertigungsstättenzustandsänderungen, Alarmauslösungen und Auftragszustandsänderungen für nachfolgende disponierte Aufträge wiederholt.
Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung, der zuvor nicht erläutert wurde, ist die Ladestationsverwaltung. Es sei nun auf 1 verwiesen; die Lose 130 treffen in den Prozessanlagen 115 über Stationen, beispielsweise die Stationen 140, 145 ein und verlassen diese über diese Stationen, wie dies zuvor erläutert ist. Das in 6 gezeigte MSA 610 ruft ein Helferklassenobjekt auf, das als ein „Stationsverwalter" („PtM") 377 bezeichnet wird, das sowohl in 3 und 6 gezeigt ist, um die Verwaltung der Stationen zu unterstützten. Der PtM 377 verfolgt u. a. die Verwendung und die Verfügbarkeit von Ladestationen für die entsprechenden Prozessanlage 115. Der PtM 377 stellt ferner diese Information dem MSA 610 während des zuvor beschriebenen Disponiervorganges zur Verfügung. Auf diese Weise legt das MSA 610 in allgemeiner Weise Ladestationen als Ziele und die Verfügbarkeitszeiten der Stationen, auf die das LSA 605 reagiert, fest. Somit können Transportaufträge (beispielsweise die Transportaufträge M₁ bis M₆, die in 4 gezeigt sind) für die Lose 130 disponiert werden, die zu einzelnen Stationen 140, 145, die in 1 gezeigt sind, hintransportiert und abtransportiert werden sollen.
Auf Grund dieser Stationsverwaltung beeinflusst das MSA 610 das Disponieren des LSA 605. Insbesondere bestimmt der PTM 377, wenn eine spezielle Station verfügbar ist. Das MSA 610 erhält diese Information von dem PtM 377 und integriert diese in die Angebote 660, die es an das LSA 605 während der Angebotsphase, die zuvor mit Bezug zu 6 erläutert ist, ausgibt. Somit erhält jedes Angebot 660 eine Stationszuordnung und eine Stationsverfügbarkeitszeit, die durch den PtM 377 bestimmt sind. Wenn das LSA 605 das Angebot 660 akzeptiert, disponiert es über das MAS 375 auch die Transportaufträge, die erforderlich sind, um das Los 130 zu der zugeordneten Station innerhalb der verfügbaren Zeit zu bringen oder möglichst innerhalb dieser Zeit. Obwohl das MAS 375 das Los 130 nicht disponiert, beeinflusst es folglich dennoch intensiv das Disponieren des Loses 130 mittels der Funktion des PtM 377.
Die disponierten Transportaufträge werden initiiert und ausgeführt als Teil des AMHS 138, das als das Materialsteuerungssystem („MCS") 380 bekannt ist und in den 3 und 6 gezeigt ist. In früheren Implementierungen führt das MCS 380 jeweils einen Transport in Bezug auf eine Station aus, ohne zu berücksichtigen, welche anderen Transporte disponiert sind oder gerade in Bearbeitung sind. Somit treten bei einigen Gelegenheiten Probleme auf, da eine Station besetzt ist oder anderweitig nicht verfügbar ist, wenn ein Transport zu der Station gerade ausgeführt wird.
Beispielsweise tritt ein Problem manchmal auf, wenn das MCS 380 einen Transport für ein Los 130 zu einer Station ausführt, bevor ein Transport für ein weiteres Los 130 von der Station weg ausgeführt wird, da die Station noch besetzt ist. Das MCS 380 berücksichtigt nicht die Reihenfolge, in der die Transporte ausgeführt werden. Das MCS 380 führt nur denjenigen Transportauftrag aus, der als nächstes dran ist, unabhängig davon, ob dadurch der andere Transportauftrag gestört wird. Wenn dies geschieht, kann das MCS 380 beauftragt werden, um beispielsweise einmalig eine Schleife zu durchlaufen, um zu erkennen, ob die Station verfügbar ist oder um das Los 130 zu einer UTS zu transportieren. In jedem Falle kann der zugehörige Bearbeitungsauftrag verzögert oder storniert werden, wodurch andere disponierte Aufträge beeinflusst werden können und wodurch das Maß an Disponieraktivität erhöht wird, das zum Bearbeiten der Lose 130 erforderlich ist.
Das Auftreten dieser Gelegenheiten kann verringert werden, indem eine gewisse minimale Verzögerung zwischen disponierten Transportaktivitäten, die mit einer speziellen Ladestation verknüpft sind, vorgesehen wird. Diese Verzögerung kann während des Disponierens der Transportaufträge eingefügt werden, wie dies zuvor beschrieben ist, da Angebote für Bearbeitungsträge und Transportaufträge Attribute für die Ladestationen und Verfügbarkeitszeiten der Stationen enthalten. Die Verzögerung sollte von ausreichender Dauer sein, so dass der Abtransport von der Ladestation diese für einen Transport zur Ladestation verfügbar macht. Obwohl eine derartige Verzögerung für einen gegebenen Fall relativ klein sein kann, kann die gesamte Verzögerung in dem Prozessablauf relativ groß sein.
In den dargestellten Ausführungsformen werden ein oder mehrere Mechanismen eingesetzt, um mit diesen Situationen fertig zu werden. Zunächst kann das MCS 380 die „Reihenfolge" von Transporten für eine gegebene Station überwachen, so dass die Transporte von der Station weg ausgeführt werden, bevor Transporte zur Ladestation erfolgen. Zweitens, eine dynamische Neuzuweisung kann ausgeführt werden, wenn eine Station voll ist und wenn es eine verfügbare andere Station gibt. Die dynamische Neuzuweisung kann durch den Stationsverwalter 377 ausgeführt werden und kann dem AMHS 138 mitgeteilt werden. Oder das AMHS 138 kann, wenn es erkennt, dass die zugewiesene Station voll ist, dem Stationsverwalter 377 über das MSA 610 aufrufen, um eine verfügbare Station zu bestimmen und kann dann die Neuzuweisung dem Stationsverwalter 377 bekanntgeben. Das AHMS 138 ist in der Lage, zu bestimmen, ob eine Station verfügbar ist, indem auf den Datenspeicher 690, der in 6 gezeigt ist, zugegriffen wird, der den Zustand der Fertigungsstätte enthält. Oder das AMHS 138 und der Stationsverwalter 377 können in irgendeiner anderen Weise miteinander in Wechselwirkung treten, um dynamisch die Stationszuordnung auf eine verfügbare Station neu zu erstellen. Sollte die dynamische Neuzuweisung auf Grund einer fehlenden verfügbaren Station fehlschlagen, dann kann das MCS 380 angewiesen werden, beispielsweise einmalig eine Schleife zu durchlaufen, um zu erkennen, ob die Station verfügbar ist oder um das Los 130 zu einer UTS zu transportieren.
In der dargestellten Ausführungsform wird die Erfindung unter Anwendung von objektorientierten Programmierverfahren („OOP") eingerichtet, obwohl die Erfindung auch unter Anwendung von Techniken eingerichtet werden kann, die nicht objektorientiert sind. Die Softwaremittel 365 werden als Objekte eingerichtet und sind intelligent, berücksichtigen den Zustand und sind mit speziellen Zielen versehen, für die sie autonome Verhaltensweisen zur deren Erreichung besitzen. Ihr Verhalten kann skriptbasiert oder regelbasiert sein. Das Verhalten ist so gestaltet, dass ausgewählte Ziele, etwa das Erreichen des zugewiesenen Zeitpunkts für ein Los, das Erreichen einer vordefinierten Qualitätsstufe, die maximale Anlagenauslastung, und das Disponieren entsprechender präventiver Wartungsmaßnahmen erreicht werden. Das MAS 375 ist ebenfalls als ein Objekt eingerichtet, aber als eine andere Klasse – die als „Helferklasse" bezeichnet wird. Die Helferklasse ist eine Objektklasse, der die diversen Objekte, die Softwaremittel 365 sind, diverse Verantwortlichkeiten übertragen oder die einige nützliche Dienstleistungen in dem Prozessablauf 100 bereitstellen. Benachrichtigungsmittel und Zuhörermittel, die zuvor dargestellt sind, sind ebenfalls Helferklassenobjekte.
Da die dargestellte Ausführungsform in einer OOP-Umgebung eingerichtet ist, wird die Disponierfunktion des MAS 375 durch Aufrufe von diversen „Verfahren" eingerichtet. Das MAS 375 ruft unterschiedliche Verfahren in Abhängigkeit davon auf, ob eine allgemeine Disponierung, eine reaktive Disponierung oder eine Initialisierungsdisponierung erforderlich ist. Jedoch ist die Erfindung nicht darauf eingeschränkt. Die Funktion, die das MAS 375 aufweist, kann in alternativen Ausführungsformen in dem LSA 605 eingerichtet werden, anstatt dass diese auf ein Helferobjekt übertragen wird. In der Tat kann die Funktion unter Anwendung alternativer Verfahren im Vergleich zu OOP eingerichtet werden. Die Erfindung ist nicht auf diesen Aspekt der Gestaltung beschränkt.
Wie aus der obigen Erläuterung hervorgeht, sind einige Bereiche der detaillierten Beschreibung hierin in Form durch Software eingerichteten Prozessen dargestellt, wobei symbolische Darstellungen von Operationen auf Datenbits innerhalb eines Speichers in einem Computersystem oder einer Computereinrichtung beteiligt sind. Diese Beschreibungen und Darstellungen sind Mittel, die vom Fachmann verwendet werden, um in äußerst effizienter Weise den Inhalt seiner Arbeit anderen Fachleuten zu vermitteln. Die Prozesse und Operationen erfordern physikalische Manipulationen physikalischer Größen. Für gewöhnlich nehmen diese Größe, obwohl dies nicht erforderlich ist, die Form elektrischer, magnetischer oder optischer Signale an, die gespeichert, übertragen, kombiniert, verglichen oder anderweitig manipuliert werden können. Es hat sich zu gegebenen Zeiten als vorteilhaft erwiesen, insbesondere aus Gründen der gemeinsamen Benutzung, diese Signale als Bits, Werte, Elemente, Symbole, Zeichen, Terme, Zahlen oder dergleichen zu bezeichnen.
Es sollte jedoch beachtet werden, dass all diese und ähnliche Begriffe mit den geeigneten physikalischen Größen verknüpft sind und lediglich bequeme Namen darstellen, die diesen Größen zugeordnet sind. Sofern dies nicht anderweitig dargestellt ist oder sonst aus der vorliegenden Offenbarung hervorgeht, bezeichnen diese Beschreibungen die Aktionen und die Prozesse elektronischer Einrichtungen, die Daten manipulieren, die als physikalische (elektronische, magnetische oder optische) Größen innerhalb des Speichers der elektroni schen Vorrichtung vorhanden sind, und in andere Daten transformieren, die in ähnlicher Weise als physikalische Größen innerhalb des Speichers oder in Übertragungseinrichtungen und Anzeigeeinrichtungen dargestellt sind. Beispielhafte Begriffe, die in einer derartigen Beschreibung verwendet werden, sind ohne Einschränkung die Begriffe „Verarbeiten", „Berechnen", „Ausrechnen", „Bestimmen", „Darstellen", und dergleichen.
Wie der Fachmann im Besitz der vorliegenden Offenbarung leicht erkennt, müssen nicht alle zuvor beschriebenen Softwarekomponenten des Systems direkt miteinander kommunizieren. Beispielsweise sind unter Umständen die Softwaremittel 365, die Fertigungssteuerungssyteme (das AMHS 138) und die Prozessanlagen 115 nicht in der Lage, direkt miteinander zu kommunizieren. Dies ist nicht ungewöhnlich in Systemen dieser Art. Folglich werden in diversen Ausführungsformen der Erfindung typischerweise Interpreter, Adapter und Schnittstellen entsprechend konventionellen Vorgehensweisen eingesetzt, um derartige Kommunikationsverbindungen zu ermöglichen. Beispielsweise wird in der dargestellten Ausführungsform die Kommunikationsverbindung mit dem AMHS über einen AMHS-Adapter ausgeführt, und die Kommunikation mit den Prozessanlagen 115 wird über „Anlagenschnittstellen" ausgeführt. Diese sind als Software ausgeführt und arbeiten als ein „Übersetzer" von der Sprache der Softwarekomponente in die Sprache einer weiteren Komponente.
Zu beachten ist, dass in Software eingerichtete Aspekte der Erfindung typischerweise in einer gewissen Form eines Programmspeichermediums vorgesehen sind oder über eine gewisse Art an Übertragungsmedium eingerichtet werden. Das Programmspeichermedium kann magnetisch sein (beispielsweise ein Diskettenlaufwerk oder eine Festplatte) oder kann optisch sein (beispielsweise ein Nur-Lesespeicher einer Kompaktdiskette, oder eine „CD-ROM"), und kann einen wahlfreien Zugriff erlauben oder ein Nur-Lese-Speicher sein. In ähnlicher Weise kann das Übertragungsmedium als verdrillte Leitungspaare, ein Koaxialkabel, eine Glasfaser oder ein anderes geeignetes Übertragungsmedium, wie es im Stand der Technik bekannt ist, vorgesehen sein. Die Erfindung ist nicht auf diese Aspekte einer vorgegebenen Implementierung beschränkt.
Wie der Fachmann im Besitze der vorliegenden Offenbarung erkennt, bietet die vorliegende Erfindung in diversen Aspekten und Ausführungsformen eine Reihe von Vorteilen gegenüber dem Stand der Technik. Beispielsweise wird in einigen Ausführungsformen ein Trans port zu einer gewünschten Startzeit initiiert, selbst wenn das Ziel aktuell besetzt ist, da die Station erst verfügbar ist, wenn der Transport abgeschlossen ist. Konventionelle Systeme warten, bis das Ziel frei ist, bevor ein Transport initiiert wird, oder bevor selbst ein Transportmittel bereitgestellt wird. In OOP-implementierten Ausführungsformen wird die vorbestimmte Zeit, mit der die Bereitstellungsanforderung vor dem Transport gesendet wird, extern eingestellt werden, durch beispielsweise die Art der Maschine, etc. Ferner kann die Stationsverfügbarkeit in Bezug auf einen Bearbeitungsauftrag extern konfiguriert werden. Z. B. kann die Stationsverfügbarkeit für eine Prozessanlage 115, die Lose 130 sehr rasch bearbeitet, extern so konfiguriert werden, dass es nur eine kurze Zeit zwischen der Stationsverfügbarkeit und dem Beginn des Bearbeitungsauftrags gibt. Andererseits kann eine Prozessanlage 115, die Lose 130 langsam bearbeitet, eine relativ längere Zeitdauer zwischen der Stationsverfügbarkeit und der Startzeit des Bearbeitungsauftrags besitzen. Einige Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung bieten auch eine größere Flexibilität bei der Zuweisung von Ladestationen. Im Allgemeinen reduzieren diese Arten von Vorteilen und Verbesserungen die gesamten Bearbeitungsverzögerungen, wenn die vorliegende Erfindung eingesetzt ist.
Die vorliegende Erfindung ermöglicht eine weite Bandbreite nicht nur hinsichtlich der Ausgestaltung sondern auch in der Anwendung. Beispielsweise kann das Material etwas anders sein als Lose, z. B. eine Prozessressource, etwa ein Retikel. Der Scheibenherstellungsprozessablauf enthält normalerweise Prozessanlagen, die Retikel verwenden, die von mehreren Prozessanlagen gemeinsam benutzt werden. Ein Retikel-Verwaltungssystem steuert die Verwendung, die Lage und die Verwaltung der Retikal und kann die vorliegende Erfindung in dieser Hinsicht anwenden. Jedoch verwaltet ein AMHS viele Arten von Prozessressourcen, etwa Platzhalterscheiben, Behälter, etc., bei deren Transport die vorliegende Erfindung eingesetzt werden kann. Wie zuvor dargestellt ist, kann die vorliegende Erfindung auch in Prozessabläufen eingesetzt werden, die andere Produkte als Halbleiterscheiben erzeugen.
Damit ist die detaillierte Beschreibung abgeschlossen. Die offenbarten speziellen Ausführungsformen sind lediglich anschaulicher Natur, da die Erfindung auf unterschiedliche aber äquivalente Weisen modifiziert und praktiziert werden kann, wie dies dem Fachmann im Besitze der vorliegenden Lehre klar ist. Zu beachten ist, dass weitere Variationen, die nicht erläutert sind, dennoch in anderen Ausführungsformen eingesetzt werden können. Ferner sind keine Einschränkungen im Hinblick auf die Details des Aufbaus oder der Gestaltung, wie sie hierin gezeigt sind, beabsichtigt, sofern diese nicht in den folgenden Ansprüchen dargelegt sind. Es ist daher klar, dass die speziellen offenbarten Ausführungsformen geändert und modifiziert werden können und dass alle derartigen Änderungen als innerhalb des Grundgedankens und Schutzbereichs der vorliegenden Erfindung liegend betrachtet werden. Daher ist der angestrebte Schutzbereich in den nachfolgenden Patentansprüchen beschrieben.
Zusammenfassung
Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verwendung beim Disponieren in einem automatisierten Prozessablauf, so dass Transportmittel für einen Materialtransport vor dem Beginn eines Auftrags für den Transport bereitgestellt werden, offenbart. Das Verfahren umfasst das Disponieren eines Materialtransports in dem Prozessablauf; und das Anfordern des Bereitstellens eines Transportmittels für den Materialtransport für eine vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport. Die Vorrichtung umfasst in diversen Aspekten einen Computer und ein Computersystem, die programmiert sind, das Verfahren in einem automatisierten Prozessablauf auszuführen, sowie ein computerlesbares Programmspeichermedium, das mit Befehlen versehen ist, die beim Ausführen ein derartiges Verfahren einrichten.
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Claims

Verfahren zur Verwendung bei der Disponierung eines automatisierten Prozessablaufs (100), wobei das Verfahren umfasst: Disponieren (203) eines Materialtransports (M₁ bis M₆) in dem Prozessablauf (100); und Anfordern (206) einer Bereitstellung eines Transportmittels (106) für den Materialtransport (M₁ bis M₆) für eine vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport (M₁ bis M₆).
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Disponieren (203) des Materialtransports (M₁ bis M₆) Disponieren im Voraus eines Auftrags für den Materialtransport (M₁ bis M₆) umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Anfordern (206) des Bereitstellens umfasst: Benachrichtigen eines automatisierten Materialhandhabungssystems (138) über die Startzeit für den Materialtransport (M₁ bis M₆).
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Disponieren (203) des Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Modifizieren eines Auftrags für den Materialtransport (M₁ bis M₆) in Reaktion auf Bedingungen in dem Prozessablauf (100).
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Bereitstellen des Transportmittels (160) für den Materialtransport (M₁ bis M₆) für die vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport (M₁ bis Ms) umfasst: Bereitstellen des Transportmittels (160) derart, dass es für den Materialtransport (M₁ bis M₆) genau rechtzeitig für den Materialtransport (M₁ bis M₆) eintrifft.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Bereitstellen des Transportmittels (160) für den Materialtransport (M₁ bis M₆) für die vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport (M₁ bis M6) umfasst: Bereitstellen des Transportmittels (160) derart, dass es für den Materialtransport (M₁ bis M₆) rechtzeitig eintrifft, um darauf zu warten.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Anfordern (206) des Bereitstellens impliziertes Anfordern des Bereitstellens umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Anfordern (206) des Bereitstellens explizites Anfordern des Bereitstellens umfasst.
Verfahren nach Anspruch 1, das ferner umfasst: Verfolgen der Reihenfolge von Materialtransporten (M₁ bis M₆) derart, dass ein erstes Material (130) von einer Ladestation (145) abtransportiert wird, bevor ein zweites Material (130) zu der Ladestation (145) transportiert wird.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Disponieren (203) des Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Disponieren einer Auslieferung zu einer Ladestation (145) einer Prozessanlage (115), die der Prozessanlage (115) zugeordnet ist.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Disponieren (203) des Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Disponieren der Auslieferung zu der Ladestation (145) zu einem Zeitpunkt, der von der Prozessanlage (115) zugewiesen ist.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei Disponieren (203) des Materialtransports (M₁ bis M₆) durch das Ziel des Transports beeinflusst ist.
Verfahren zur Verwendung beim Disponieren in einem automatisierten Prozessablauf (100), wobei das Verfahren umfasst: Disponieren für einen ersten Bereich mehrerer Fertigungsbereichseinheiten (130), um den Konsum von Bearbeitungsdienstleistungen, die von einem zweiten Bereich der Fertigungsbereichseinheiten (115, 159, 165) bereitgestellt werden; und Beeinflussen des Disponierens durch Verwalten des zweiten Bereichs der Fertigungsbereichseinheiten (115, 159, 165).
Verfahren nach Anspruch 13, wobei Disponieren für den ersten Bereich (120) das Disponieren eines Materialtransports (M₁ bis M₆) und/oder das Disponieren einer Prozessoperation umfasst.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei Disponieren des Konsums von Bearbeitungsdienstleistungen umfasst: Modifizieren eines Auftrags (APT₁ bis APT₄) für den Konsum in Reaktion auf Bedingungen in dem Prozessablauf (100).
Verfahren nach Anspruch 13, wobei Beeinflussen des Disponierens umfasst: Bestimmen einer Ladestationszuordnung und einer Verfügbarkeitsdauer der Ladestationen für einen vorgeschlagenen Materialtransport (M₁ bis M₆); und Bereitstellen der Ladestationszuordnung und der Verfügbarkeitszeitdauer für Ladestationen zur Verwendung beim Disponieren.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei Beeinflussen des Disponierens umfasst: Verfolgen der Reihenfolge von Materialtransporten (M₁ bis M₆) derart, dass ein erstes Material (130) von einer Ladestation (145) abtransportiert wird, bevor ein zweites Material (130) zu der Ladestation (145) transportiert wird.
Verfahren nach Anspruch 13, wobei Beeinflussen des Disponierens umfasst: dynamisches Herstellen einer Ladestationszuweisung für einen Materialtransport (M₁ bis M₆), der gerade abläuft.
Verfahren zur Verwendung beim Disponieren in einem automatisierten Prozessablauf (100), wobei das Verfahren umfasst: Disponieren eines Materialtransports (M₁ bis M₆) in dem Prozessablauf (100); Ausführen des disponierten Materialtransports (M₁ bis M₆); und dynamisches Neuerstellen einer Ladestationszuordnung während des Ausführens des disponierten Materialtransports (M₁ bis M₆).
Verfahren nach Anspruch 19, wobei Disponieren (203) des Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Modifizieren eines Auftrags für den disponierten Materialtransport (M₁ bis M₆).
Verfahren nach Anspruch 19, wobei Ausführen des disponierten Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Anfordern des Bereitstellens eines Transportmittels (160) für einen disponierten Materialtransport (M₁ bis M₆) für eine vorbestimmte Zeitdauer vor dem Materialtransport (M₁ bis M₆).
Verfahren nach Anspruch 19, wobei Ausführen des disponierten Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Verfolgen der Reihenfolge von Materialtransporten (M₁ bis M₆) derart, dass ein erstes Material (130) von einer Ladestation (145) abtransportiert wird, bevor ein zweites Material (130) zu der Ladestation (145) transportiert wird.
Verfahren nach Anspruch 19, das ferner umfasst: Bestimmen einer Stationszuordnung und einer Verfügbarkeitszeitdauer für Ladestationen für einen vorgeschlagenen Materialtransport (M₁, bis M₆); und Bereitstellen der Stationszuordnung und der Verfügbarkeitszeitdauer für Ladestationen zur Verwendung beim Disponieren.
Verfahren nach Anspruch 19, das ferner umfasst: Verfolgen der Reihenfolge von Materialtransporten (M₁ bis M₆) derart, dass ein erstes Material (130) von einer Ladestation (145) abtransportiert wird, bevor ein zweites Material (130) zu der Ladestation (145) transportiert wird.
Verfahren zur Verwendung zum Disponieren in einem automatisierten Prozessablauf (100), wobei das Verfahren umfasst: Bestimmen einer Ladestationszuordnung und einer Verfügbarkeitszeitdauer für Ladestationen für einen vorgeschlagenen Materialtransport (M₁ bis M₆); und Bereistellen der Ladestationszuordnung und der Vertügbarkeitszeitdauer für Ladestationen zur Verwendung beim Disponieren eines Materialtransports (M₁ bis M₆); und Disponieren des Materialtransports (M₁ bis M₆) in dem Prozessablauf (100) zur Auslieferung zu der zugeordneten Ladestation (145) während der Verfügbarkeitszeitdauer der Ladestation.
Verfahren nach Anspruch 25, wobei Disponieren des Materialtransports (M₁, bis M₆) umfasst: Disponieren im Voraus eines Auftrags für den Materialtransport (M₁ bis M₆).
Verfahren nach Anspruch 25, wobei das Disponieren des Materialtransports (M₁ bis M₆) umfasst: Modifizieren eines Auftrags für den Materialtransport (M₁ bis M₆) in Abhängigkeit von Bedingungen in dem Prozessablauf (100).
Verfahren nach Anspruch 25, das ferner umfasst: Verfolgen der Reihenfolge von Materialtransporten (M₁ bis M₆) derart, dass ein erstes Material (130) von einer Ladestation (145) abtransportiert wird, bevor ein zweites Material (130) zu der Ladestation (145) transportiert wird.
Verfahren nach Anspruch 25, das ferner umfasst: dynamisches Neuerstellen einer Ladestationszuordnung für einen Materialtransport (M₁ bis M₆), der gerade abläuft.