DE69513877T2

DE69513877T2 - Verfahren und Gerät zur Steuerung und Planung von Bearbeitungsmaschinen

Info

Publication number: DE69513877T2
Application number: DE69513877T
Authority: DE
Inventors: Michael A. Kilgore; Paul J. Kline; Cynthia C. Martin
Original assignee: Texas Instruments Inc
Current assignee: Texas Instruments Inc
Priority date: 1994-04-28
Filing date: 1995-04-28
Publication date: 2000-05-18
Anticipated expiration: 2015-04-29
Also published as: JP3717967B2; EP0679972B1; US5444632A; EP0679972A1; JPH0883115A; DE69513877D1

Description

Technischer Bereich der Erfindung

Diese vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und auf ein Verfahren zum Modellieren durch Zeitplanung und zum Steuern von verteilten Fertigungsanlagen, die Herstellungsabfolgen aufweisen. Die Erfindung bezieht sich ferner auf ein rechnergestütztes Herstellungssystem (CIM), das ein Fertigungsanlagenmodell zum automatischen Steuern des CIM-Systems enthält.

Hintergrund der Erfindung

Die meisten Herstellungsanlagen oder Fertigungsanlagen sind dahingehend verteilt, daß sie heterogene, unverbundene Arbeitsstationen enthalten. Der Sinn dieses Aufbaus von Fertigungsanlagen besteht darin, daß eine Anpassungsfähigkeit an eine veränderliche Produktpalette geschaffen wird. Der Nachteil ist die resultierende Komplexität der Operationen, der Betriebsführung und der Qualitätskontrolle.
Eine verteilte Herstellungsanlage erzeugt mehrere Erzeugnisse durch eine Folge von Prozeßschritten. Jeder Prozeßschritt kann durch wenigstens einen Arbeitsplatz in der Fertigungsanlage durchgeführt werden. Verteilte Fertigungsanlagen sind bei der Herstellung moderner elektronischer Produkte gebräuchlich. Zum Beispiel können sechs Arten verteilter Fertigungsanlagen beteiligt sein: Waferschneiden, Waferherstellung, Montage der Halbleiterkomponenten, Leiterplattenherstellung, Leiterplattenmontage und Montage des elektronischen Produkts.
Der Urtyp einer verteilten Fertigungsanlage ist eine Wafer- Herstellungsanlage oder "Wafer-Fabrik", in der gemäß mehr als 1000 Prozessen, die jeweils durchschnittlich ungefähr 150 Schritte umfassen, viele Endprodukte gleichzeitig hergestellt werden. Es ist schwierig, eine derartig große Anzahl von Prozessen in einer Zeichnung wie in einem Fertigungsgraphen darzustellen. Eine solche Fertigungsanlage kann jedoch zweckmäßig durch ein Computersystem beschrieben werden.
Die Komplexität verteilter Fertigungsanlagen wird weiter durch das Vorhandensein zehntausender Herstellungsfolgen in einer allgemeinen Klasse verteilter Fertigungsanlagen unterstrichen, die Auftragsabteilung ("Job shop") genannt wird. Die Standardlösung zum Beschreiben der Zusammenfassung der Folgen in einer Auftragsabteilung besteht darin, gegenüber der Komplexität der Auftragsabteilung zu kapitulieren und den Produktpfad durch die Fertigungsanlage als zufällig zu beschreiben. Der Produktdurchlauf ist selbstverständlich nicht zufällig, aber erst seit kurzer Zeit besitzen Computer die praktische Rechenleistung, um hochkomplexe Fertigungsanlagen genau zu beschreiben.
Die Fertigungsanlage ist eine komplexe und daten- und informationsreiche Gesamtheit. Eine Datenstruktur mit zehntausenden Parametern kann erforderlich sein, um die Fertigungsanlage lediglich zu beschreiben. Ferner erzeugt eine dynamische Fertigungsanlage im Betrieb zur Beschreibung der Produktionsabläufe eine um eine Größenordnung größere Datenmenge als in der Parameterdatenstruktur enthalten ist. Das reine Informationsvolumen macht den Betrieb und die Steuerung einer verteilten Fertigungsanlage zu einem Hauptproblem.
Zeitplaner für Produktionsstätten haben eine sehr beschränkte Funktion. Sie versuchen, das nächste Los oder die nächsten Lose auszusuchen, die an einem Arbeitsplatz zu bearbeiten sind. Die Wahl hängt typischerweise stark vom Fälligkeitsdatum des Loses sowie von der verbleibenden Bearbeitungszeit, um das Los zu beenden, ab. Im allgemeinen wird Losen, die am meisten hinter dem Zeitplan zurückliegen, Priorität gegeben, wobei alle Lose in der Warteschlange gemäß dieser Prioritätsfunktion eingeordnet werden müssen. Der Standort von Losen und die Warteschlangen kommen vom Produktionsverfolgungssystem.
Es existieren auf der Welt zahlreiche wirkliche Fertigungsanlagen, die jedoch suboptimal arbeiten, weil überall da, wo es der Theorie nicht gelungen ist, exakte Lösungen bereitzustellen, tausende Augenblicksentscheidungen (Ad hoc- Entscheidungen) in der Fertigungsstätte getroffen werden. Es besteht somit ein wesentlicher Bedarf an Verbesserung durch Modellierungs- und Steuerungsverfahren, so daß diese Fertigungsanlagen von größerem praktischen Nutzen sind und effektiver betrieben werden können.
Sowohl die Zeitplantheorie als auch Auslastungspläne von Werkstätten besitzen zwei wesentliche strukturelle Fehler. Erstens sind sie unfähig, die Einzelheiten der individuellen Fertigungsanlagen zu erkennen, und als Konsequenz dessen sind sie unfähig, auf diese Einzelheiten zu reagieren. Bei tatsächlichen Zeitplanungsproblemen bestimmen Einzelheiten der Betriebsweise oftmals über Erfolg oder Mißerfolg in bezug auf die Effektivität. Zweitens vernachlässigen beide Methodologien den dynamischen Betrieb der Fertigungsanlage. Leider erzielen Personen als Manager der Fertigungsanlagen Zeitplanungslösungen gerade durch die Berücksichtigung der Betriebsdynamik.
Eine Lösung des Standes der Technik des obenbeschriebenen Problems besteht in der Verwendung eines Voraussage- Zeitplaners. Ein solcher Voraussage-Zeitplaner kann jedoch veralten, uneffektive oder ungenaue Ergebnisse erzielen, wenn Lose zurückgestellt werden oder Maschinen ausfallen. Unter solchen Umständen ist es notwendig, die Maschinen neu zu planen und die Lose an diese unerwarteten Ereignisse anzupassen. Ein Zugang zur Lösung dieser Probleme besteht darin, die betreffenden Lose einfach im Zeitplan zu löschen oder zu eliminieren und diese Lose zu einem späteren Zeitpunkt wieder neu einzuplanen.
Ein weiteres Verfahren zur zeitlichen Planung einer Wafer- Fabrikation besteht in der Verwendung von Abfertigungsregeln. Beispiele von Abfertigungsvorschriften sind die Zuerst eingeben/Zuerst-ausgeben-Vorschrift (FIFO-Vorschrift) und die Vorschrift der kürzesten Bearbeitungszeit. Ein Mangel dieser Zugänge besteht jedoch darin, daß diese Zugänge unter dem Mangel leiden, daß eine Maschine frei werden kann, bevor eine Entscheidung in bezug auf die nachfolgende Auslastung dieser Maschine getroffen wurde. Dies führt zur Ineffektivität, und bis eine Entscheidung in bezug auf diese Maschine getroffen werden kann, kann eine begrenzte Zeitperiode vergehen.
Ein weiterer Mangel von Abfertigungsregeln besteht darin, daß zwischen Prozeßschritten zeitliche Einschränkungen existieren können; z. B. dürfen zwischen einer Reinigungsoperation und einer nachfolgenden Ablagerungsoperation maximal 30 Minuten ablaufen.
Ein Lösungsweg für dieses Problem besteht darin, einen "Schauen-vor-dem-Springen-Zugang" (engl.: "look before you leap") vor der Ausführung des ersten Schritts des Prozesses zu übernehmen, indem überprüft wird, ob diese Einschränkungen im Zeitplan berücksichtigt sind. Dieser Schauen-vor-dem-Springen- Zugang ist jedoch keine Option für eine reine Abfertigungsregel.
Wie die folgenden US-Patente belegen, ist die automatische Zeitneuplanung für einen Voraussage-Zeitplaner ein aktives Gebiet der Zeitplanungsforschung.
Das US-Patent 4.796.194 an Atherton offenbart eine Modellierung von Steuerungsprozessen für verteilte Fertigungsanlagen mit Fabrikationsfolgen, die an Stelle der mathematischen Theorie, die letztlich zu der Definition der Anlagenoperationen führt, mit einer Definition beginnt, wie die Fertigungsanlage tatsächlich arbeitet.
Das US-Patent 4.956.784 an Hadavi offenbart ein Verfahren zur Steuerung der Freigabe von Jobs aus einem Vorrat von anhängigen Jobs in einer Fertigungsanlage, die mehrere Maschinen enthält, die laufende Jobs bearbeiten.
Das US-Patent 5.170.355 an Hadavi offenbart ein Verfahren zur Steuerung der Freigabe von Jobs aus einem Vorrat von anhängigen Jobs in einer Fertigungsanlage, die mehrere Maschinen enthält, die laufende Jobs bearbeiten.
EP-A-0 400 789 offenbart ein iteratives zuweisungsabhängiges Verfahren der Zuordnung von Herstellungsbetriebsmitteln, um Operationen durchzuführen, die bei der Herstellung mehrerer Produkte notwendig sind, das einer verbesserten Anpassung an tatsächliche Herstellungssituationen und Lösungen dient, die sich einer optimalen Zuordnung annähern, während es lediglich eine maßvolle Rechenleistung und Zeit benötigt. Der erste Schritt beinhaltet das Zuschreiben komplexer Kosten zu möglichen Zuordnungen von Operationen zu Betriebsmitteln. Die komplexen Kosten enthalten zwei Komponenten, kombinierte Geldkosten und kombinierte Zeiten. Die kombinierten Kosten sind eine zuweisungsabhängige Variable, die in Abhängigkeit von den Zuweisungen, die bereits erfolgt sind, gleich den Betriebskosten oder gleich der Summe von Betriebskosten und Einrichtungskosten sein kann. Die kombinierte Zeit ist gleichfalls zuweisungsabhängig. In einem zweiten Schritt werden die kombinierten Kosten als ein Parameter gewählt, um jedes mögliche Paar Operation-Betriebsmittel zu bewerten. In einem dritten Schritt werden für jede nicht zugewiesene Operation ein Betriebsmittel mit den geringsten Kosten und ein Betriebsmittel mit den zweitgeringsten Kosten bestimmt. In einem vierten Schritt wird eine Operation mit maximalem Mehraufwand identifiziert, indem die Maximaldifferenz zwischen den geringsten und den zweitgeringsten Kosten gefunden wird. In einem fünften Schritt wird die Operation mit maximalem Mehraufwand ihrem Betriebsmittel mit den geringsten Kosten zugewiesen. In einem sechsten Schritt werden die kombinierten Kosten neu bewertet, um die neueste Zuweisung zu berücksichtigen. In einem siebten Schritt wird die Iteration fortgesetzt, indem zum dritten Schritt zugekehrt wird, bis alle Operationen Betriebsmitteln zugeordnet sind. Wenn alle Operationen zugewiesen sind, werden die Zuweisungen als eine Lösung des Zuordnungsproblems berichtet.
US-A-4.956.784 offenbart ein Verfahren zur Steuerung der Freigabe von Jobs aus einem Vorrat anhängiger Jobs in einer Fertigungsanlage, die mehrere Maschinen enthält, die laufende Jobs bearbeiten, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfaßt. Erstens, wird für einen Job in dem Jobvorrat ein Kontinuitätsindex (CI) berechnet, der sich auf den Gesamtbetrag der Bearbeitungszeit, die durch diesen Job benötigt wird, und auf die erwartete Zeit bezieht, um diesen Job zu beenden. Zweitens wird ein Hauptkontinuitätsindex (MCI) berechnet, der sich auf den CI aller Jobs bezieht, die durch die Fertigungsanlage in einer vorgegebenen Zeitperiode bearbeitet werden. Drittens werden ein unterer Bereich (r1) und ein oberer Bereich (r2) berechnet, die sich auf den Ausnutzungsgrad der Maschinen und auf den Anteil der Jobs beziehen, die pünktlich sind. Schließlich wird ein Job aus dem Jobvorrat in die Fertigungsanlage freigegeben, wenn:
MCI - r1 ≤ CI ≤ MCI + r2,
ist, andernfalls werden die Schritte für die weiteren im Jobvorrat verbleibenden Jobs wiederholt.
US-A-5.291.394 offenbart ein System und einen Prozeß zum Ermöglichen von virtuellen Zuordnungen von Betriebsmitteln an Lose, um die tatsächliche Zuordnung von Betriebsmittel an Lose eng zu simulieren. Virtuelle Zuordnungen stellen vorgesehene oder geplante Zuordnungen der Betriebsmittel einer Struktur zur Herstellung verschiedene Produkte dar. Tatsächliche Zuordnungen stellen den tatsächlichen Ablauf von Ereignissen dar, die während der Herstellung des Produkts auftreten. Ein Produktions-Interpretierer wirkt in einer Produktionsumgebung interaktiv mit einem Experten zusammen, um eine umfassende und genaue Definition von Betriebsmitteln, die in einer Produktionsumgebung verwendet werden, zu schaffen. Der Produktions- Interpretierer gestattet außerdem dem Experten, eine umfassen de und genaue Prozeßablaufbeschreibung für verschiedene Produkte zu definieren. Die Prozeßablaufbeschreibung spezifiziert die Betriebsmittel, die Attributmöglichkeiten der Betriebsmittel und die Reihenfolge der Anwendung der Betriebsmittel auf ein einzelnes Los, um ein vollständiges Produkt herzustellen. Ein Planer arbeitet auf der Grundlage dieser Prozeßablaufdaten, um einen Bearbeitungsplan zu erzeugen, der für die Organisation zu einem bestimmten Zeitpunkt speziell ausgelegt ist, und eine Ausführungssteuereinrichtung verwendet den Bearbeitungsplan, um die Herstellung von Produkten in der Produktionsumgebung zu steuern. Die Funktion der Ausführungssteuereinrichtung hält die Zuordnungsdaten aktuell. Somit hat der Planer die momentanen Zuordnungsdaten, die in die Prozeßablaufdaten für neue Produkte einfließen.
Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum. Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage, mit den folgenden Schritten:
Wählen einer vorgegebenen Zeitperiode zum Bewerten mehrerer Prozeßbetriebsmittel und der mehreren durch die mehreren Prozeßbetriebsmittel zu bearbeitenden Lose;
Wählen mehrerer gewählter Prozeßbetriebsmittel aus den mehreren Prozeßbetriebsmitteln, die für die Bearbeitung der Lose während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;
Wählen mehrerer gewählter Lose aus den mehreren Losen, die für die Bearbeitung durch die gewählten Betriebsmittel während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;
Bestimmen einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;
Bestimmen einer Los-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;
Kombinieren der Los-Bewertung und der Prozeßbetriebsmittel- Bewertung für jede der Kombinationen, um eine Kombinations- Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen zu bestimmen;
Bestimmen einer siegreichen Bewertung durch Vergleichen jeder der Kombinations-Bewertungen für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen; und
Steuern der Prozeßbetriebsmittel in der Fertigungsanlage, um die Lose entsprechend der siegreichen Bewertung zu bearbeiten. Die vorliegende Erfindung schafft außerdem eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage, mit:
Mitteln zum Wählen einer vorgegebenen Zeitperiode zum Bewerten mehrerer Prozeßbetriebsmittel und der mehreren durch die mehreren Prozeßbetriebsmittel zu bearbeitenden Lose;
Mitteln zum Wählen mehrerer gewählter Prozeßbetriebsmittel aus den mehreren Prozeßbetriebsmitteln, die für die Bearbeitung der Lose während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;
Mitteln zum Wählen mehrerer gewählter Lose aus den mehreren Losen, die für die Bearbeitung durch die gewählten Prozeßbetriebsmittel während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;
Mitteln zum Bestimmen einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede Kombination von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;
Mitteln zum Bestimmen einer Los-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;
Mitteln zum Kombinieren der Los-Bewertung und der Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede der Kombinationen, um eine kombinierte Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen zu bestimmen;
Mitteln zum Bestimmen einer siegreichen Bewertung durch Vergleichen aller kombinierten Bewertungen für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen; und
einer Steuereinrichtung zum Steuern der Prozeßbetriebsmittel in der Fertigungsanlage, um die Lose entsprechend der siegreichen Bewertung zu bearbeiten.
Eine Ausführung der vorliegenden Erfindung, die in der beigefügten Zeichnung gezeigt ist, enthält einen Zeitplaner zur Durchführung der Auswahlentscheidungen des Zeitplans, die notwendig sind, um Lose von Herstellungsgegenständen gemäß einer Folge von Fabrikationsoperationen herzustellen. Der Zeitplaner plant für jedes Los und für jedes Prozeßbetriebsmittel eine vordefinierte Zeitspanne in die Zukunft. Für jedes Los werden in seiner bevorstehenden Bearbeitungsabfolge eine ausreichende Menge von Operationen geplant, um den vorgegebenen Zeithorizont abzudecken. Für jedes Prozeßbetriebsmittel werden eine ausreichende Menge von Losen zur Bearbeitung durch dieses Betriebsmittel geplant, um den vorgegebenen Zeithorizont abzudecken. Zeit innerhalb des Zeithorizonts bleibt nur dann ungeplant, wenn eine Konkurrenz um Betriebsmittel die Bearbeitung für Lose oder Prozeßbetriebsmittel verhindert. Um zu bestimmen, welches Los für ein Prozeßbetriebsmittel als nächstes zu planen ist, erfolgt für jedes Paar aus einer Menge gewählter Lose und aus einer Menge gewählter Prozeßbetriebsmittel eine Bewertung. Die gewählten Lose enthalten alle Lose, die auf eine bestimmte Herstellungsoperation warten, sowie Lose, von denen erwartet wird, daß sie die Operation innerhalb eines bezeichneten Zeitfensters benötigen. Die gewählten Prozeßbetriebsmittel enthalten alle Prozeßbetriebsmittel, die die geforderten Operationen durchführen können. Eine Kombination von einem gewählten Los und einem gewählten Betriebsmittel wird in bezug auf eine Anzahl von Faktoren bewertet. Für jedes kombinierte Paar erfolgt für einen einzelnen Bearbeitungsschritt eine Analyse nach dem Verfahren des kritischen Pfades, was es möglich macht, die Schrittzykluszeit und die Folgen für den Maschinenleerlauf dieser Paarung zu bewerten. Das Bewerten weist jedem Faktor Bewertungen zu und kombiniert diese Bewertungen, um für jede Paarung aus einem Los mit Prozeßbetriebsmitteln eine Bewertung zu erhalten. Das Paar mit der besten Bewertung bestimmt, welches Los in der Fertigungsanlage auf welchem Betriebsmittel bearbeitet wird.

Beschreibung der Zeichnung

Es wird nun lediglich beispielhaft Bezug auf die beigefügte Zeichnung genommen, in der:
Fig. 1 ein Diagramm der Liste von zu bearbeitenden Aufträgen, des Zeitplaners und der Fertigungsanlage der vorliegenden Erfindung ist;
Fig. 2 einen Arbeitsplatz der vorliegenden Erfindung erläutert;
Fig. 3 ein Zeitplaner-Modul, ein Planer-Modul, ein Spezifikations-Modul und ein Fertigungsanlagen-Modul der vorliegenden Erfindung erläutert;
Fig. 4 die Zeitplanung und die Spezifikationsaufgaben der vorliegenden Erfindung erläutert;
Fig. 5 zusätzliche Aufgaben des Zeitplaner-, des Planer- und des Fertigungsanlagen-Moduls erläutert;
Fig. 6 unter Verwendung der vorliegenden Erfindung einen kritischen Pfad für ein Los erläutert;
Fig. 7 eine Hauptzeitzeile, eine Loszeitzeile und eine Prozeßbetriebsmittel-Zeitzeile der vorliegenden Erfindung erläutert;
Fig. 8 die Beziehung zwischen der Maschinenprozeßzeit und den Punkten, die Bewertungen entsprechen, erläutert;
Fig. 9 die Beziehung zwischen der Maschineneinrichtung pro Wafer und Punkten, die Bewertungen entsprechen, erläutert;
Fig. 10 die Beziehung zwischen der Maschineneinrichtungs- Rückschaltzeit und Punkten, die Bewertungen entsprechen, erläutert;
Fig. 11 die Beziehung zwischen dem Prozentsatz der Maschinenkapazität bei Stapelbearbeitung und den Punkten, die Bewertungen entsprechen, erläutert;
Fig. 12 die Beziehung zwischen der Träger-Warteschlangenzeit und den Punkten, die Bewertungen entsprechen, erläutert;
Fig. 13 die Beziehung zwischen der Träger-Fertigstellungszeit und den entsprechenden Punkten erläutert;
Fig. 14 die Beziehung zwischen der Maschinenleerlaufzeit und den Punkten, die Punkten entsprechen, erläutert.
Es werden nun Möglichkeiten zur Ausführung der Erfindung lediglich beispielhaft unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben, in der für entsprechende gleiche Teile der verschiedenen Zeichnungen gleiche Bezugszeichen verwendet sind.
Das Zeitplaner-Modul 110 plant Lose, die zu bearbeiten sind, unter Berücksichtigung von Faktoren, z. B. weiterer Lose und Prozeßbetriebsmittel oder Werkzeuge und der Analyse des kritischen Pfades jedes Loses bei jedem Prozeßbetriebsmittel.
Fig. 1 erläutert, daß Loskriterien in das Zeitplaner-Modul 110 eingegeben werden. Das Zeitplaner-Modul 110 enthält den Arbeitsplatz 250, wie er in Fig. 2 erläutert ist, die Eingabe-/Ausgabe-Schaltungsanordnung (E/A-Schaltungsanordung) 240, um vom Zeitplaner-Modul 110 aus ein- und auszugeben, das Fertigungsanlagen-Modul 201 und eine Datenbank 220 mit einer Liste von Aufträgen, die fertigzustellen sind, einen Speicher 260, um Daten zu speichern, und einen ROM 270, um aus der Software, z. B. aus der Firmware, Schaltungen zu bilden. Das Zeitplaner-Modul 110 ist mit der Fertigungsanlage 201 und mit der Liste von Aufträgen für Lose, die fertigzustellen sind, verbunden. Das Zeitplaner-Modul 110 steuert die Prozeßbetriebsmittel 200 der Fertigungsanlage 201, so daß Lose 210 geplant und festgeschrieben werden, damit sie während des geeigneten Zeitintervalls durch das geeignete Prozeßbetriebsmittel 200 bearbeitet werden. Das Zeitplaner-Modul 110 überträgt zusätzlich Freigabedaten zu der Liste der Aufträge 220, so daß Lose aus einer Warteschlange in die Fertigungsanlage 200 freigegeben werden können. Zusätzlich überträgt die Liste der Aufträge 220 Losdaten zum Zeitplaner, so daß der Zeitplaner 110 die Losdaten bewerten und die verschiedenen Lose 210 innerhalb der Fertigungsanlage zeitlich planen und steuern kann.
In Fig. 2 gibt der Anwender 256 Zeitplaninformationen an einem Arbeitsplatz 250 mit einem monochromen oder Farbmonitor 254 über eine Tastatur 258 und über eine Maus 252 ein und erhält Zeitplaninformationen von diesem. Der Arbeitsplatz 250 ist mit dem Zeitplaner-Modul 110 über ein Netz verbunden, um die Informationen, die im Speicher 260 gespeichert sind, mit mehreren Anwendern zu teilen.
Fig. 3 erläutert das Zeitplangenerator-Modul 100 und das Zeitplaninterpretierer-Modul 102 des Zeitplaners 110. Das Zeitplaner-Modul 110 ist mit einem Planer-Modul 108 verbunden, um die geplanten Freigabezeiten für die Lose zum Eintritt in die Fertigungsanlage 200 zu empfangen. Außerdem ist das Zeitplaner-Modul 110 mit dem Wafer-Spezifikations-Modul 104 verbunden, um Daten, z. B. die Folge der Schritte Musterausbildung, Ätzen, Abscheiden, usw. für das Los in der Fertigungsanlage in bezug auf verschiedene Prozeßbetriebsmittel, zu empfangen, um z. B. die rohen unbearbeiteten Wafer in fertige Wafer umzuwandeln. Das Zeitplaner-Modul 110 ist mit dem Fertigungsanlagen-Modul 106 verbunden, um mit ihm zu kommunizieren und um die Fertigungsanlage 106 zu steuern, so daß Lose auf bestimmte Prozeßbetriebsmittel festgelegt werden, oder um Daten zu liefern, die dem Prozeßbetriebsmittel entsprechen, wobei z. B. ein Prozeßbetriebsmittel bereit ist, Lose zur Bearbeitung aufzunehmen. Eine objektorientierte Programmierung, z. B. die Sprache Smalltalk-80, erleichtert die Kommunikation zwischen dynamischen Objekten, die zusammenwirken, indem sie sich gegenseitig Nachrichten senden. Diese Nachrichten können Verfahrensaufrufen entsprechen. Das Zeitplaner- Modul 110 enthält Objekte zum zeitlichen Planen jedes Loses und jedes Prozeßbetriebsmittels.
Fig. 4 erläutert eine Folge von Nachrichten, die zwischen verschiedenen Objekten des Zeitplangenerators 100 gesendet werden. Zum Beispiel empfängt das Zeitplangenerator-Modul 100 eine Nachricht von der Liste der Aufträge 220, die fertigzustellen sind. Die Nachrichten 402 "Zu planendes Los", die von der Liste der Aufträge 220 zum Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen" gesendet werden, informieren den Zeitplangenerator 100 darüber, daß ein neues Los für die Fertigungsanlage 201 zeitlich geplant werden kann. Das Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen" sendet die Nachricht 404 "Nächste Operation für das Los" zum Modul 104 "Waferherstellungs-Spezifikation", um die Bearbeitungsoperationen für dieses Los zu bestimmen. Die Bearbeitungsoperationen werden durch die Prozeßbetriebsmittel 200 oder durch die Werkzeuge der Fertigungsanlage 201 durchgeführt. Das Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen" sendet eine Nachricht 406 "Füge bevorstehende Operationen hinzu" zum Objekt 300 "Los-Zeitzeilen", um zu der Zeitzeile dieses Loses ein Bearbeitungsoperations-Ereignis hinzuzufügen, das der Bearbeitungsoperation dieses Loses entspricht. Die Los- Zeitzeile ist in Fig. 7 erläutert.
Das Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen" sendet eine Nachricht 408 "Füge Ankünfte des projektierten Loses hinzu" an das Objekt 330 "Zeitzeilen der Prozeßbetriebsmittelgruppe". Diese Nachricht fügt zu der Zeitzeile für das Objekt, das die Gruppe der Prozeßbetriebsmittel darstellt, von denen jedes diese Operation ausführen kann, ein Ereignis der Losankunft für dieses Los hinzu. Das Los wird in der Zeitzeile zu seiner geschätzten Ankunftszeit bei der entsprechenden Prozeßbetriebsmittelgruppe angeordnet, z. B. ist für die erste Operation der geschätzte Ankunftszeitpunkt der momentane Zeitpunkt, während für die zweite Operation der Ankunftszeitpunkt die geschätzte Zeitdauer zum Ausführen der ersten Operation ist. Für die dritte Operation ist das Ankunftsereignis die Summe der Zeitdauern für die Durchführung der ersten und zweiten Operation.
Nachfolgend sendet das Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen" ein Nachricht 410 "Füge zusätzliches Zeitplanereignis hinzu" an das Objekt 360 "Hauptzeitzeile", um den Zeitplan für dieses Los zu erweitern. Diese Anforderung zum Erweitern des Zeitplans wird, wie in Fig. 7 gezeigt ist, zu der Hauptzeitzeile hinzugefügt. Das Zeitplaninterpretierer- Modul 102 sendet periodisch eine Nachricht 412 "Gewinne nächstes geplantes Ereignis wieder" an das Objekt 360 "Hauptzeitzeile". Wenn die früheste Anforderung vom Objekt 360 "Hauptzeitzeile" darin besteht, entweder ein Los von einem Prozeßbetriebsmittel 200 der Fertigungsanlage zu verschieben oder ein Los an ein Prozeßbetriebsmittel 200 der Fertigungsanlage zu übergeben, sendet das Zeitplaninterpretierer-Objekt 102 Nachrichten, die die Fertigungsanlage veranlassen, Lose physisch zu verschieben oder Lose von einem Prozeßbetriebsmittel 200 in der Fertigungsanlage zu entfernen. Wenn das Zeitplaninterpretierer-Objekt 102 eine Anforderung zum Erweitern eines Zeitplans an der Hauptzeitzeile findet, sendet das Zeitplaninterpretierer-Modul 102, wenn das Ereignis darin besteht, ein Los zeitlich zu planen, eine Nachricht 414 "Erweitere Zeitplan für das Los" zum Objekt 340 "Zeitplanerweiterer", um eine zusätzliche Zeitplanung durchzuführen, oder sendet das Zeitplaninterpretierer-Modul 102, wenn das Ereignis auf der Hauptzeitzeile ein Prozeßbetriebsmittel betrifft, eine Nachricht 416 an das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer", um den Zeitplan für das Prozeßbetriebsmittel zu erweitern. Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" erzeugt eine Bewertungstabelle 350, um die Auswahlvorgänge der Zeitplanung zu vereinfachen. Wenn die Nachricht 414 "Erweitere Zeitplan für das Los" vom Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" empfangen wird, bestimmt das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" die nächste Bearbeitungsoperation, die zeitlich zu planen ist, findet die entsprechende Prozeßbetriebsmittelgruppe und verwendet die Prozeßbetriebsmittelgruppe, um alle Prozeßbetriebsmittel im Querverweisverzeichnis der Prozeßbetriebsmittel nachzuschlagen, die die benötigten Operationen durchführen können, und ordnet diese Prozeßbetriebsmittel unter Verwendung der Nachricht 418 "Prozeßbetriebsmittel" in der Bewertungstabelle als potentiell fähig, das Los zu bearbeiten, an. Außerdem können mehr als eine Gruppe von Prozeßbetriebsmitteln in der Bewertungstabelle 350 angeordnet sein, wenn einige der Prozeßbetriebsmittel eine überlappende Mitgliedschaft in unterschiedlichen Prozeßbetriebsmittelgruppen aufweisen.
Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" empfängt die Nachricht 416 "Erweitere Zeitplan für Prozeßbetriebsmittel" und bestimmt eine Prozeßbetriebsmittelgruppe gemäß dem Verzeichnisnachschlagen, wie oben beschrieben ist.
Vorausgesetzt, daß die Nachricht 414 "Erweitere Zeitplan für das Los" vom Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" empfangen wurde, müssen die Lose für die Bewertungstabelle durch Überprüfen der Zeitzeile derjenigen Prozeßbetriebsmittelgruppe bestimmt werden, die die für das in der Nachricht "Erweitere Zeitplan" erwähnte Los benötigte Operation durchführen kann. Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" sendet eine Nachricht 420 "Erhalte Losankünfte" an die Prozeßbetriebsmittelgruppe-Zeitzeilen 330, um alle Lose zu bestimmen, die ein Ankunftsereignis innerhalb eines vorgegebene Zeitintervalls aufweisen. Dieses vorgegebene Zeitintervall enthält die Lose von der Nachricht "Erweitere Zeitplan" sowie weitere Lose, die ungefähr zum gleichen Zeitpunkt die gleiche Operation benötigen. Diese Lose innerhalb des vorgegebenen Zeitintervalls werden unter Verwendung der Nachricht 422 "Lose" in die Bewertungstabelle aufgenommen. Danach sendet das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" die Nachricht 424 "Bestes Paar" an das Objekt 350 "Bewertungstabelle", um alle Kombinationen aus Los und Prozeßbetriebsmittel zu bewerten. Das Objekt 350 "Bewertungstabelle" bestimmt diejenige Kombination aus einem Los und einem Prozeßbetriebsmittel, die die beste Bewertung aufweist; dies ist das siegreiche Paar. Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" sendet eine Nachricht 426 "Erweitere" an das Objekt 300 "Los-Zeitzeilen", um das Prozeßoperationsereignis am Prozeßbetriebsmittel zu der Zeitzeile des siegreichen Loses hinzuzufügen. Außerdem sendet das Los 340 "Zeitplanerweiterer" eine Nachricht 428 "Erweitere" an das Objekt 320 "Prozeßbetriebsmittel-Zeitzeilen", um das Bearbeitungsoperationsereignis für das Los zu der Zeitzeile des siegreichen Prozeßbetriebsmittels hinzuzufügen. Es wird angemerkt, daß das siegreiche Los und Prozeßbetriebsmittel nicht notwendigerweise das gleiche Los ist, das ursprünglich geplant werden sollte. Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" sendet eine Nachricht 430 "Aktualisiere" an das Objekt 330 "Prozeßbetriebsmittelgruppen-Zeitzeilen", um das Losankunftsereignis, das dem siegreichen Los entspricht, aus der Zeitzeile der Prozeßbetriebsmittelgruppen zu entfernen, damit dieses siegreiche Los nicht nochmals geplant wird. Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" sendet eine Nachricht 432 "Füge Zeitplanereignisse hinzu" an das Objekt 360 "Hauptzeitzeile", um die Fertigungsanlagenereignisse zur Bearbeitung des siegreichen Loses bei dem siegreichen Prozeßbetriebsmittel hinzuzufügen. Zum Beispiel wird die Fertigungsanlage in der Weise gesteuert, daß sie das siegreiche Los zu dem siegreichen Prozeßbetriebsmittel bewegt und das siegreichen Prozeßbetriebsmittel an das siegreiche Los übergibt. Das Objekt 360 "Hauptzeitzeile" stellt sicher, daß der Zeitplaninterpretierer 102 diese Ereignisse innerhalb der Fertigungsanlage zum nun definierten Zeitpunkt plant. Außerdem fügt das Objekt 360 "Hauptzeitzeile" Ereignisse "Erweitere Zeitplan" sowohl für das siegreiche Los als auch für das siegreiche Prozeßbetriebsmittel hinzu, so daß das siegreiche Los weiter bearbeitet und das siegreiche Prozeßbetriebsmittel weiter für zukünftige Lose geplant wird. Das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" sendet eine Nachricht "Weitere bevorstehende Operationen für das Los" an das Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen", um anzugeben, daß eine Operation für das siegreiche Los geplant wurde, und daß das Objekt 310 "Identifikator bevorstehender Operationen" die nächste ungeplante Operation für das siegreiche Los erhalten sollte. Um die Berechnungen der Bewertungstabelle durchzuführen, erläutert Fig. 5 die Nachrichtenabfolge zum Auffüllen dieser Bewertungstabellen mit Daten, so daß das siegreiche Prozeßbetriebsmittel und das siegreiche Los bestimmt werden können. Wenn das Objekt 110 "Zeitplaner" z. B. über das Objekt 340 "Zeitplanerweiterer" eine Nachricht 510 "Berechne Zellenwert" an das Objekt 350 "Bewertungstabelle" sendet, um Zellenwerte zu berechnen, berechnet das Objekt 350 "Bewertungstabelle" eine Bewertung für jede in der Bewertungstabelle gefundene Zelle, die durch ein Los und ein Prozeßbetriebsmittel dargestellt wird. Die in der Bewertungstabelle angeordneten Prozeßbetriebsmittel entsprechen den Prozeßbetriebsmitteln, die Alternativen für die Durchführung eines bestimmten Herstellungsschrittes sind. Das Objekt 350 "Bewertungstabelle" sendet eine Nachricht 512 "Finde letzte Einrichtung" an das Objekt 612 "PR-Betriebsmittel-Zeitzeile", um durch Überprüfen der Prozeßbetriebsmittel-Zeitzeile die Konfiguration oder Einrichtung der Prozeßbetriebsmittel vor dem Planen der Operation zu bestimmen. Das Objekt 350 "Bewertungstabelle" sendet eine Nachricht 514 "Sammle Daten für Zellenkombination" an das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle", um das Sammeln der Daten auszulösen, die benötigt werden, um eine Bewertung für eine Zelle in der Bewertungstabelle zu berechnen. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 516 "Ermittelter Träger" an das Objekt 628 "Richte Materialbearbeitung ein", um die Losbezeichnung von einer internen Bezeichnung des Zeitplaners in eine Losbezeichnung umzuwandeln, die das Prozeßbetriebsmittel erkennen wird. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 518 "Planungsfaktoren" an sich selbst, an das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle", um die Planungsfaktoren zu bestimmen, die eine Beschreibung der Prozeßbetriebsmittel, die diesen Schritt durchführen können, gemeinsam mit Abschätzungen der Bearbeitungszeit liefern. Da das Spezifikations-Modul 104 lediglich Werte liefert, die die momentanen Aufbaukriterien für das Prozeßbetriebsmittel widerspiegeln, können zusätzliche Daten notwendig sein, da das Prozeßbetriebsmittel nun möglicherweise nicht den Planungsfaktoren entsprechen kann, die als ein Ergebnis einer kürzlichen Modifikation des Prozeßbetriebsmittels z. B. in der Abteilung der Fertigungsanlage in der Spezifikation gefunden werden. Um vollständigere Informationen zu erhalten, sendet das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" eine Nachricht 520 "Erhalte Bestätigung der Maschinenleistungsfähigkeit mit MPS mit geplanten Faktoren zur Einstellung unter Verwendung von Kontakten" an das Objekt 632 "Prozeßbetriebsmittel-Sekundäragent", um die Zeit, die vom Prozeßbetriebsmittel zur Bearbeitung eines Loses benötigt wird, die Zeitperiode, die für die Umwandlung der momentanen Einstellung in die für das Los benötige Einstellung benötigt wird, die Einstellung, die für die Bearbeitung des Loses benötigt wird, und die Zeitperiode, die das Prozeßbetriebsmittel benötigt, um von der vorgesehenen Einstellung in die momentane Einstellung zurückzuschalten, zu bestimmen. Wenn das Prozeßbetriebsmittel 632 keine weiteren momentanen Informationen besitzt, als diejenigen, die von den Planungsfaktoren in dem Waferspezifikations- Modul 104 zur Verfügung stehen, werden diese Informationen aus den Nachrichten 522, 524, 526 und 528 erhalten. Das Objekt 632 "Prozeßbetriebsmittel-Sekundäragent" sendet eine Nachricht 522 "Richte Vorrichtung ein" an das Objekt 630 "Planungsfaktor", um die Prozeßbetriebsmittel zu bestimmen, die diesen Schritt ausführen können. Wenn z. B. ein Ätzschritt notwendig ist, identifiziert das Objekt 630 "Geplante Faktoren" alle Prozeßgeräte, die das Ätzen durchführen können. Das Objekt 632 "Sekundäre Prozeßbetriebsmittel" sendet eine Nachricht 524 "Prozeßbetriebsmittel für das Gerät" zum Objekt 410 "Zeitplaner", um die Bezeichnung, die für die Prozeßbetriebsmittel in der Wafer-Spezifikation verwendet wird, in Bezeichnungen umzuwandeln, die durch die Abteilungssteuersysteme der Fertigungsanlage erkannt werden. Das Objekt 632 "Prozeßbetriebsmittel-Sekundäragent" sendet eine Nachricht 526 "Anzahl der Wafer" an das Objekt 628 "Materialbearbeitung einrichten", um zu bestimmen, wie viele tatsächliche Wafer in diesem Los sind, wobei ein Los z. B. zehn Wafer enthalten kann. Das Objekt 632 "Prozeßbetriebsmittel-Sekundäragent" sendet eine Nachricht 528 "Zeitabschätzung für:" an das Objekt 630 "Planungsfaktoren", um Abschätzungen für die Bearbeitung eines bestimmten Loses auf einem bestimmten Betriebsmittel zu schaffen. Zum Beispiel kann ein Los mit zehn Wafern erfordern, daß eine Ätzvorrichtung zehn Minuten benötigt, um die zehn Wafer zu ätzen. Schließlich sendet das Objekt 632 "Prozeßbetriebsmittel- Sekundäragent" eine Nachricht 530 "Neu zur Prozeßzeit" an ein Objekt 634 "Neue Bestätigung der geplanten Maschinenleistungsfähigkeit", um die gewonnenen Ergebnisse, z. B. die Bezeichnungen, die Anzahl der Wafer und die Abschätzung zur Bearbeitung an einem bestimmten Prozeßbetriebsmittel zu halten. Somit werden die folgenden Schritte unabhängig davon ausgeführt, ob die geplanten Faktoren aus der Waferspezifikation bestimmt wurden.
Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 532 "Neu" an das Objekt 614 "CPM-Umgebungsvariable", um alle Daten zu speichern, die zum Erzeugen eines Aktivitätsnetzes nach dem Verfahren des kritischen Pfades benötigt werden, um alle zur Bearbeitung des Loses bei dem Prozeßbetriebsmittel notwendigen Aktivitäten zu beschreiben. (Siehe Fig. 6.) Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 534 "Richte Materialbearbeitung ein" an das Objekt 614 "CPM- Umgebungsvariable", um das Los zu spezifizieren, dessen Bearbeitung durch das CPM-Netz beschrieben wird. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 536 "Referenzpunkt" an das Objekt 614 "CPM-Umgebungsvariable", um einen gemeinsamen Referenzpunkt festzulegen, so daß die Zeitdauern aller Aktivitäten innerhalb des Netzes mit kritischem Pfad von diesem Referenzpunkt aus gemessen werden, und um einen gemeinsamen Referenzpunkt für alle Zellen in der Bewertungstabelle zu schaffen. Der Referenzpunkt kann der früheste Zeitpunkt sein, an dem ein neu geplantes Ereignis zu den verschiedenen Zeitzeilen für eines der Lose und der Prozeßbetriebsmittel hinzugefügt werden kann, um sicherzustellen, daß die Dauer dieser Ereignisse nur positive Zahlen sind.
Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 538 "Prozeßbetriebsmittel" an das Objekt 614 "CPM- Umgebungsvariable", um das Prozeßbetriebsmittel als eine Variable für die Umgebung des Verfahrens des kritischen Pfades zu spezifizieren. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 540 "Bestätigung der Maschinenleistungsfähigkeit" an das Objekt 614 "CPM-Umgebungsvariable", die das Objekt 634 "Bestätigung der geplanten Maschinenleistungsfähigkeit", das in vorangehenden Schritten erhalten wurde, enthält. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 542 "Neues CPM-Netz mit:" an das Objekt 620 "Netz nach dem Verfahren des kritischen Pfades", um alle genauen Aktivitäten des Netzes nach dem Verfahren des kritischen Pfades aufzubauen. Zum Beispiel zeigt Fig. 6 ein beispielhaftes Netz mit kritischem Pfad mit Aktivitäten zum Bewegen eines Loses, zum Abpumpen der Vakuumlastverriegelung der Maschine, zum Bearbeiten des Loses und zum Gewähren einer Kühlperiode für die Wafer. Der resultierende kritische Pfad ist in starken durch gezogenen Linien gezeigt. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 544 "Berechne Netz nach dem Verfahren des kritischen Pfades" an das Objekt 620 "Netz mit kritischem Pfad", um die Dauer jeder Aktivität im Netz zu berechnen; die in Fig. 6 unter den Bögen stehenden Zahlen zeigen beispielhafte Zeitdauern für die Aktivitäten. Das Objekt 620 "Netz nach dem Verfahren des kritischen Pfades" sendet eine Nachricht 546 "Berechne Dauer" an das Objekt 622 "Jede Aktivität nach dem Verfahren des kritischen Pfades", um die Zeitperiode jeder Aktivität im Netz nach dem Verfahren des kritischen Pfades zu berechnen, indem die Daten der momentanen Zeitpläne für das Los und für die Prozeßbetriebsmittel gelesen werden und das Objekt 614 "CPM-Umgebungsvariable" konsultiert wird. Das Objekt 422 "Aktivität nach dem Verfahren des kritischen Pfades" sendet eine Nachricht 548 "Exportiert: Finde Puffer für:" zum Objekt 201 "Fertigungsanlage", um zu bestimmen, welcher Speicherpuffer dem speziellen Prozeßbetriebsmittel entspricht. Dies ist notwendig, wenn eines der Lose in der Abteilung der Fertigungsanlage zu einem Speicherpuffer transportiert werden soll, um zwischen der Bearbeitung auf Prozeßbetriebsmittel zu warten. Das Objekt 350 "Bewertungstabelle" sendet eine Nachricht 550 "Analysiere Tabelle für Wafer, die ein Einrichten benötigen" an sich selbst, an das Objekt 350 "Bewertungstabelle"; die Bewertungstabellenzellen werden durchsucht, um alle Wafer zu finden, die die gleiche Einstellung verwenden könnten. Die Anzahl der gefundenen Wafer wird verwendet, um die Zellenwerte in Zellenbewertungen umzuwandeln (siehe Fig. 9). Weiterhin sendet das Objekt 350 "Bewertungstabelle" eine Nachricht 552 "Berechne minimale Zykluszeit" an sich selbst, an ein Objekt 350 "Bewertungstabelle", so daß jede Zelle in der Bewertungstabelle über das Netz mit kritischem Pfad und über den entsprechenden kritischen Pfad bestimmen kann, wie lange es dauern wird, bis die vollständige Bearbeitung des Loses bei dem Prozeßbetriebsmittel abgeschlossen ist. Die Zellen, die einem vorgegebenen Los entsprechen, werden untereinander verglichen, um den minimalen Zeitbedarf zum Bearbeiten des Loses an einem Prozeßbetriebsmittel zu finden, und dieses Minimum wird verwendet, um in der Nachricht 556 eine Zellenbewertung zu berechnen. Das Objekt 350 "Bewertungstabelle" sendet eine Nachricht 554 "Berechne Zellenbewertung" an das Objekt 426 "Bewertungstabellenzelle", um durch Ausgeben der Nachrichten 556, 558, 560 und 562 die Bewertungen für die Bewertungstabelle zu berechnen. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 556 "Berechne Unterzellenbewertung" an das Objekt 616 "MPS-Zelle", um die Losbewertung für eine vorgegebene Zelle zu berechnen, indem die Bewertungen für jeden Losfaktor berechnet werden und die Losfaktorbewertungen kombiniert werden. Losfaktoren können einfach addiert werden oder durch die Verwendung von Wichtungen kombiniert werden, um zu bestimmten Faktoren eine relative Wichtigkeit hinzuzufügen. Das Objekt 616 "MPS-Zelle" sendet eine Nachricht 558 "Gib kritischen Pfad zurück" an das Objekt 620 "Netz mit kritischem Pfad", um vom Netz mit kritischem Pfad die Länge des kritischen Pfades für jede Zelle zu erhalten, um die Bewertung der Länge des kritischen Pfades für jede Zelle zu berechnen. Die Bewertung der Länge des kritischen Pfades für Lose mit normaler Priorität wird gemäß minus der Länge des kritischen Pfades dividiert durch die minimale Länge des kritischen Pfades plus eins berechnet. (Siehe Fig. 13.) Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 560 "Berechne Unterzellenbewertung" an das Objekt 618 "Prozeßbetriebsmittelzelle", um die Werkzeugbewertung für jede Zelle zu berechnen, indem die Bewertungen für jeden Werkzeugfaktor berechnet und diese Bewertungen kombiniert werden. Die Werkzeugbewertung kann berechnet werden, indem die Werkzeugfaktoren addiert werden, oder es können zu den Werkzeugfaktoren verschiedene Wichtungen hinzugefügt werden, um einen speziellen Werkzeugfaktor hervorzuheben oder abzuschwächen. Das Objekt 618 "Prozeßbetriebsmittelzelle" sendet eine Nachricht 562 "Prozeßbetriebsmittelleerlauf" an das Objekt 620 "Netz mit kritischem Pfad", um das Netz mit kritischem Pfad zu überprüfen und um den freien Spielraum für Aktivitäten, die das Prozeßbetriebsmittel beinhalten, zu berechnen, wobei dieser die Zeit bestimmt, in der das Prozeßbetriebsmittel im Leerlauf ist, wenn ein gegebenes Los an diesem Prozeßbetriebsmittel bearbeitet wird. Das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle" sendet eine Nachricht 564 "Berechne Zellengesamtwert" an sich selbst, an das Objekt 626 "Bewertungstabellenzelle", um alle Zellengesamtwerte zu berechnen, indem die Unterzellengesamtwerte miteinander kombiniert werden. Die Kombination kann durch Addieren der Unterzellenteilwerte oder durch Wichtung jeder der Unterzellen des Loses und der Werkzeugbewertungen und nachfolgendes Addieren erreicht werden. Das Objekt 110 "Zeitplaner" bestimmt dann eine siegreiche Zelle, indem es eine Nachricht 566 "Bestimme siegreiche Zelle" an das Objekt 350 "Bewertungstabelle" sendet, um die Zelle mit der höchsten Bewertung zu bestimmen. Zu der Zeitzeile für das entsprechende Prozeßbetriebsmittel und für das entsprechende Los wird dann ein Eintrag hinzugefügt, dieses Los an diesem Prozeßbetriebsmittel zu bearbeiten.
Die Fig. 8-14 erläutern die Übersetzung von Bewertungstabellenzellenwerten in Bewertungstabellenzellenbewertungen für mehrere Los- und Werkzeugfaktoren. Obwohl verschiedene Typen von Los- und Werkzeugfaktoren erläutert sind, ist selbstverständlich, daß die vorliegende Erfindung nicht alle erläuterten Los- und Werkzeugbewertungen verwendete, um eine Gesamt- Werkzeugbewertung hervorzubringen, wobei zum Bestimmen der Bewertungen in einer gegebenen Bewertungstabelle 350 irgendeine Kombination von Los- und Werkzeugfaktoren oder alle Los- und Werkzeugfaktoren verwendet werden können.
Fig. 8 erläutert die Beziehung zwischen der Maschinenbearbeitungszeit/dem Los und den Werkzeugbewertungen, die sowohl für Maschinen ohne Engpaß als auch für Maschinen mit Engpaß gekennzeichnet sind. Die Bewertungspunkte beziehen sich auf das Verhältnis der Bearbeitungszeit für die in Frage kommende spezielle Maschine zur minimalen Bearbeitungszeit für dieses Los an irgendeiner Maschine. Obwohl für Erläuterungszwecke zwischen den Punkten und der Maschinenbearbeitungszeit/dem Los eine lineare Beziehung dargestellt ist, könnte für die Verwen dung mit der vorliegenden Erfindung jede Beziehung, z. B. eine quadratische, angepaßt werden.
Fig. 9 erläutert die Beziehung zwischen der Maschinenrüstzeit und den Punkten, die der Bewertung entsprechen. Die Rüstzeit für dieses Prozeßbetriebsmittel wird durch die Anzahl der Wafer in den Losen in der Bewertungstabelle, die ebenfalls diese gleiche Rüstzeit benötigen, dividiert.
Fig. 10 erläutert die Beziehung zwischen den Punkten, die der Bewertung entsprechen, und der Maschinenrüst-Rückschaltzeit. Die Rückschaltzeit ist die Zeit, um die Einstellung in die momentane Einstellung zurück zu ändern. Die Rückschaltzeit ist gleich der Zeit, um von einer vorgeschlagenen Einstellung zu der momentanen Einstellung zurückzuwechseln, dividiert durch die Wafer, die die momentane Einstellung benötigen.
Fig. 11 erläutert die Beziehung zwischen den Punkten, die der Bewertung entsprechen, und der prozentualen Kapazität der Maschine für die Stapelbearbeitung. Die Punkte werden durch das zweifache der Bearbeitungszeit, dividiert durch das 10- fache der prozentualen Kapazität des Prozeßbetriebsmittels, dividiert durch 100, minus der Bearbeitungszeit dividiert durch 10, berechnet.
Fig. 12 erläutert die Beziehung zwischen den Punkten und der Los-Warteschlangenzeit sowohl für ein Los mit hoher Priorität als auch für ein Los mit normaler Priorität.
Fig. 13 erläutert die Beziehung zwischen den Punkten und einem Verhältnis von Träger-Fertigstellungszeiten. Das Verhältnis vergleicht Längen des kritischen Pfades, indem die Zeit zur Fertigstellung dieser Operation an diesem Los an dem betrachteten Prozeßbetriebsmittel durch die minimale Zeit zur Fertigstellung dieser Operation an diesem Los an einem beliebigen Prozeßbetriebsmittel dividiert wird.
R = T(SERVICE COMPLETION)/ MIN T(SERVICE COMPLETION)
Fig. 14 erläutert die Beziehung zwischen den Punkten und der Maschinenleerlaufzeit, wobei die Maschinenleerlaufzeit die Zeitdauer ist, die die Maschine im Leerlauf warten muß, bis das Los an der Maschine zur Bearbeitung angekommen ist. (a) L3 an PR1

Beispiel 1

Das Beispiel 1 erläutert die Losfaktoren, z. B. die Länge des kritischen Pfades und die Warteschlangenzeit sowie die Werkzeugfaktoren, z. B. die Betriebsmittelleerlaufzeit und die Rüstzeit/Wafer für das Los 3 am Prozeßbetriebsmittel PR1. Fig. 6 zeigt das Netz für das Verfahren des kritischen Pfades für das Beispiel 1, wobei die Länge des kritischen Pfades und die Leerlaufwerte des Betriebsmittels aus diesem Netz erhalten werden. Die Beziehungen in den Fig. 8-14 werden verwendet, um aus den Werten für jeden Faktor Bewertungen zu bestimmen. Die Summe der Bewertungen von den Losfaktoren bestimmt eine Losbewertung, während die Summe der Bewertungen von den Werkzeugfaktoren eine Werkzeugbewertung bestimmt. Die Losbewertung und die Werkzeugbewertung werden kombiniert, um eine Gesamtbewertung für das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR1 zu schaffen. (a) L3 an PR2

Beispiel 2

Zum Vergleich erläutert das Beispiel 2 die Bestimmung dieser Bewertungen aus den Losfaktoren und aus den Werkzeugfaktoren, die für L3 am Prozeßbetriebsmittel PR2 aus den graphischen Darstellungen erhalten werden. Sowohl für die Losfaktoren als auch für die Werkzeugfaktoren wird eine Teilsumme erhalten, wobei in der Folge aus der Teilsumme der Losfaktoren und aus der Teilsumme der Werkzeugfaktoren ein Gesamtwert erhalten wird. Dieser Gesamtwert wird mit dem Gesamtwert von L3 an PR1 verglichen, wobei klar zu sehen ist, daß die Kombination aus Los 3 und Prozeßbetriebsmittel PR2 einen zusätzlichen Vorteil schafft. Dieser Vorteil wird durch die Tatsache klar erläutert, daß der Bewertungsbeitrag von der Länge des kritischen Pfades größer (stärker positiv) ist, wenn das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR2 statt am Prozeßbetriebsmittel PR1 bearbeitet wird. TABELLE II ANFÄNGLICHE BEWERTUNGSTABELLE

Beispiel 3

Das Beispiel 3 erläutert den Vergleich einer Kombination der Lose L1-L3 mit den Prozeßbetriebsmitteln PR1 und PR2. Die höchste Bewertung wird bei dem Los L1 am Prozeßbetriebsmittel PR1 erreicht, was in einer höheren (geringer negativen) Bewertung resultiert. Somit ist sehr klar, daß bei der Konkurrenz der Lose L1, L2 und L3 um die Prozeßbetriebsmittel PR1 und PR2 die vorteilhafteste Kombination aus dem Los L1 und aus dem Prozeßbetriebsmittel PR1 besteht. TABELLE III BEWERTUNGSTABELLE NACH DER PLANUNG EINES LOSES

Beispiel 4

Das Beispiel 4 erläutert die Bewertungstabelle, die als nächstes entwickelt wurde, wobei die Lose L2 und L3 mit den Prozeßbetriebsmitteln PR1 und PR2 bewertet werden. Es ist zu sehen, daß das Los L2 am Prozeßbetriebsmittel PR2 die höchste Bewertung, z. B. die am wenigsten negative Bewertung, liefert. TABELLE IV BEWERTUNGSTABELLE NACH ZWEI GEPLANTEN LOSEN

Beispiel 5

Wie in Beispiel 5 erläutert ist, wird weiter der gleiche Prozeß verwendet, um zu bestimmen, ob das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR1 oder am Prozeßbetriebsmittel PR2 bearbeitet werden sollte. Das Beispiel 5 erläutert, daß das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR2 die höhere (weniger negative) Bewertung als das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR1 erzielt. Das Beispiel 1 zeigt die Einzelheiten der Berechnung für das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR1, während das Beispiel 2 die Einzelheiten für das Los L3 am Prozeßbetriebsmittel PR2 zeigt.

Beispiel 6

Das Beispiel 6 zeigt die Bearbeitung von vier Losen mit Wafern C1 und C2, die eine erste Behandlung erfordern, und C4 und C5, die eine zweite Behandlung erfordern. C1 ist zur Bearbeitung bereit und hat darauf gewartet, bearbeitet zu werden, während C2 nicht bereit ist und noch 10 Minuten von dieser Operation entfernt ist. C4 ist 60 Minuten von dieser Operation entfernt, während C5 bereit ist und abgewartet hat. Dieses Beispiel zeigt die Auswirkungen von Stapeln, die zur Bearbeitung bereit sind, sowie von Stapeln, die nicht zur Bearbeitung bereit sind, sowie von zu bearbeitenden Stapeln mit einer unter schiedlichen Anzahl von Wafern, mit unterschiedlichen erforderlichen Behandlungen, mit unterschiedlichen Bearbeitungszeiten und mit unterschiedlichen Warteschlangenzeiten. Für die Erläuterung ist die Maschine weiterhin im Leerlauf und hat eine Kapazität von 48 Wafern. STAPELVERARBEITUNG

Beispiel 7

Das Beispiel 7 erläutert den Vergleich der vier Waferlose durch die Werkzeugbewertung, durch die Losbewertung und durch die Gesamtbewertung. Die Werkzeugbewertung beinhaltet die Bewertung des Maschinenleerlaufs, die Maschinenbearbeitungszeit und die Bewertung der Maschinenrüstzeit. Die Losbewertung beinhaltet die Bewertung der Länge des kritischen Pfades und die Bewertung der Warteschlangenzeit. Wie bei den vorangegangenen Beispielen wird die Teilsumme durch Summieren der Werkzeugbewertung und der Losbewertung für jedes Paar Los-Werkzeug erhalten, wobei die siegreiche Bewertung das Los C5 ist, da C5 eine Gesamtbewertung von +3 erzielt, die größer als die Gesamtbewertung von C1 mit 2,5, die von C2 mit -1,5 und die von C4 mit -9,0 ist.

Beispiel 8

Das Beispiel 8 erläutert einen Vergleich des Loses mit der höchsten Rate (das in Beispiel 7 gezeigt ist), d. h. von C5, das allein das Los mit der höchsten Rate ist, mit dem Los mit der nächsthöchsten Rate, d. h. mit C4, mit der gleichen Be handlung. Ähnlich wird das Los mit der zweithöchsten Rate C1 mit sich allein sowie mit dem Los mit der nächsthöchsten Rate mit der gleichen Behandlung C2 verglichen. Der Vergleich erläutert, daß die beste Kombination das Los C1 und das Los C2 ist; es wird angemerkt, daß diese Kombination eine höhere Werkzeugbewertung als C5 und C4 erhält, da die Bewertung von der Maschinenleerlaufzeit für die Kombination C5 und C4 in bezug auf C1 und C2 wesentlich höher ist. Somit ist die vorliegende Erfindung durch das Bewerten der Werkzeugbewertung in Form von Teil-Werkzeugbewertungen und der Losbewertung in Form von Teil-Losbewertungen und durch deren Aufsummieren und durch das Heraussuchen des Siegers in der Lage, eine effektivere Zeitplanung und Steuerung von Losen in einer Fertigungsanlage zu schaffen.
Die letzte Gruppe von Beispielen erläutert das vorteilhafte Wesen der vorliegenden Erfindung dadurch, daß die vorliegende Erfindung mit einem Zuerst-eingeben/Zuerst-ausgeben-System (FIFO-System) verglichen wird.
M2: Leerlauf IN 6 MIN Momentan Einstellung A 1 min/Wafer
M3: LEERLAUFZUSTAND Momentan Einstellung B 2 min/Wafer

Beispiel 9

Das Beispiel 9 erläutert die Waferlose C6, C7 und C8 und den Status der Maschinen M2 und M3, wobei beide Maschinen Wafer gemäß einer Einstellung A und einer Einstellung B bearbeiten können. Das Wechseln der Einstellung an einer Maschine dauert in diesem Beispiel 12 Minuten.

Beispiel 10

Das Beispiel 10 erläutert den Vergleich zwischen C6, C7 und C8 in bezug auf Maschinenbewertungen und Losbewertungen, der in einer Gesamtbewertung resultiert. Die Maschinenbewertungen berücksichtigen die Leerlaufzeit, die Bearbeitungszeit, die Rüstzeit und die Rückschaltzeit, während die Losbewertungen das Warten auf die Leerlaufzeit, das Warten auf die Rückschaltzeit, die Bearbeitungszeit und die Warteschlangenzeit beinhalten. Wie im Beispiel 10 erläutert ist, ist der Sieger C6 auf Maschine 2.

Beispiel 11

Wie im Beispiel 11 erläutert ist, werden die verbleibenden zwei Lose C7 und C8 für Maschine 2 und Maschine 3 bewertet. Das Ergebnis ist, daß C7 durch Bearbeitung auf M2 siegt.

Beispiel 12

Wie in Beispiel 12 erläutert, wird das Los C8 in bezug auf Maschine 1 und Maschine 2 verglichen, wobei in diesem Fall Maschine 3 siegt, da die Bewertung höher als bei diesem Los mit Maschine 2 ist.
FIFO:
M3(B) → C6(A)
} 3 Einstellungsänderungen
M2(A) → C8(B) → C7(A)

Vorliegende Erfindung:

M3(B) → C08(B)
Keine Einstellungsänderungen
M2(A) → C6(A) → C7(A)

Beispiel 13

Das Beispiel 13 erläutert den Vergleich zwischen der vorliegenden Erfindung und einem FIFO-System, wobei das FIFO-System drei Einstellungsänderungen zur Folge hat; und zwar wird Maschine 3 für C6 von der Einstellung B zur Einstellung A geändert; Maschine 2 wird für die Lose C8 von der Einstellung A zur Einstellung B geändert und dann wieder für die Lose C7 zur Einstellung A geändert.
Im Gegensatz dazu gibt es bei der vorliegenden Erfindung keine Einstellungsänderungen. C8 wird auf Maschine 3 bearbeitet, was keine Einstellungsänderungen erfordert, und beide Lose C6 und C7 werden ohne Änderung der Einstellung auf Maschine 2 bearbeitet. Somit kann der Zeitplaner der vorliegenden Erfindung die Fertigungsanlage mit dem Ergebnis eines effektiveren Zeitplanungsschemas steuern.

Claims

1. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage, mit den folgenden Schritten:

Wählen einer vorgegebenen Zeitperiode zum Bewerten mehrerer Prozeßbetriebsmittel und der mehreren durch die mehreren Prozeßbetriebsmittel zu bearbeitenden Lose;

Wählen mehrerer gewählter Prozeßbetriebsmittel aus den mehreren Prozeßbetriebsmitteln, die für die Bearbeitung der Lose während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;

Wählen mehrerer gewählter Lose aus den mehreren Losen, die für die Bearbeitung durch die gewählten Betriebsmittel während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;

Bestimmen einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;

Bestimmen einer Los-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;

Kombinieren der Los-Bewertung und der Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede der Kombinationen, um eine Kombinations-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen zu bestimmen;

Bestimmen einer siegreichen Bewertung durch Vergleichen jeder der Kombinations-Bewertungen für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen; und

Steuern der Prozeßbetriebsmittel in der Fertigungsanlage, um die Lose entsprechend der siegreichen Bewertung zu bearbeiten.

2. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach Anspruch 1, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens der Prozeßbetriebsmit tel-Bewertung anhand einer Leerlaufzeit jedes der Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

3. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens der Prozeßbetriebsmittel-Bewertung anhand einer Maschinen-Rüstzeit für jeder der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

4. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens der Prozeßbetriebsmittel-Bewertung anhand der Prozeßzeit des Prozeßbetriebsmittels für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

5. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens der Los-Bewertung anhand der Zeit, während der die Lose auf die Prozeßbetriebsmittel warten müssen, für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

6. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 5, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens einer Los Bewertung anhand einer Warteschlangenzeit der Lose für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

7. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 6, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens der Los-Bewertung anhand der Zeit, die für das Einrichten der Prozeßbetriebsmittel erforderlich ist, für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

8. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens der Los-Bewertung anhand eines kritischen Pfades der Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

9. Verfahren zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 8, wobei das Verfahren ferner den Schritt des Bestimmens einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung anhand des Wartens auf eine Rückschaltzeit für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

10. Vorrichtung (110) zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose (210) einer Fertigungsanlage, mit:

Mitteln (340) zum Wählen einer vorgegebenen Zeitperiode zum Bewerten mehrerer Prozeßbetriebsmittel (200) und der mehreren durch die mehreren Prozeßbetriebsmittel zu bearbeitenden Lose (210);

Mitteln (418) zum Wählen mehrerer gewählter Prozeßbetriebsmittel aus den mehreren Prozeßbetriebsmitteln, die für die Bearbeitung der Lose während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;

Mitteln (422) zum Wählen mehrerer gewählter Lose aus den mehreren Losen, die für die Bearbeitung durch die gewählten Prozeßbetriebsmittel während der vorgegebenen Zeitperiode verfügbar sind;

Mitteln (350) zum Bestimmen einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede Kombination von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;

Mitteln (350) zum Bestimmen einer Los-Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen;

Mitteln (424) zum Kombinieren der Los-Bewertung und der Prozeßbetriebsmittel-Bewertung für jede der Kombinationen, um eine kombinierte Bewertung für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen zu bestimmen;

Mitteln (350) zum Bestimmen einer siegreichen Bewertung durch Vergleichen aller kombinierten Bewertungen für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen; und

einer Steuereinrichtung (340) zum Steuern der Prozeßbetriebsmittel in der Fertigungsanlage, um die Lose entsprechend der siegreichen Bewertung zu bearbeiten.

11. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach Anspruch 10, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen der Prozeßbetriebsmittel- Bewertung anhand der Leerlaufzeit der gewählten Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

12. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach Anspruch 10 oder Anspruch 11, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen der Prozeßbetriebsmittel-Bewertung anhand einer Maschinen-Rüstzeit der gewählten Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen der gewählten Prozeßbetriebsmittel und der gewählten Lose umfaßt.

13. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 12, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung anhand der Prozeßzeit der Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

14. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 13, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen einer Los-Bewertung anhand eines kritischen Pfades der Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

15. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 14, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen einer Los-Bewertung anhand der Zeit, die zum Warten auf die gewählten Prozeßbetriebsmittel erforderlich ist, für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

16. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 15, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen einer Los-Bewertung anhand einer Warteschlangenzeit der gewählten Lose für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

17. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 16, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen einer Los-Bewertung anhand des Wartens auf ein Einrichten der gewählten Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.

18. Vorrichtung zum Erzeugen eines Zeitplans für mehrere Lose einer Fertigungsanlage nach irgendeinem der Ansprüche 10 bis 17, wobei die Vorrichtung ferner Mittel zum Bestimmen einer Prozeßbetriebsmittel-Bewertung anhand des Wartens auf eine Rückschaltzeit jener gewählten Prozeßbetriebsmittel für jede der Kombinationen von gewählten Prozeßbetriebsmitteln und gewählten Losen umfaßt.