JPH0883115A - プロセス機械の制御とスケジューリングを行う装置と方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 分散型工場における複数ロットの製造に対す
る最適スケジュールを発生させる方法および装置を提供
する。 【構成】 プロセス資源と当該プロセス資源によって処
理されるロットとを評価する時限を選択する。プロセス
資源による処理に使用できかつ選択したロットの処理に
使用できるように、ロットとプロセス資源とをそれぞれ
選択する。選択したプロセスと選択したロットの組合わ
せのそれぞれに対するツール点数およびロット点数を決
定するとともに、優勝点数を選択するために組み合わせ
る。優勝点数に従って、プロセス資源を介して工場を制
御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スケジューリングと制
御を介して複数の製造シーケンスを持つ分散型工場のモ
デルをつくる装置および方法に関する。さらに本発明
は、コンピュータ総合生産（ＣＩＭ）システム、即ちＣ
ＩＭシステムの自動制御に用いる工場モデルを含むコン
ピュータ総合生産システムに関する。

【０００２】

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】大多
数の製造プラントあるいは工場は、機種が異なり相互に
接続されていないワークステーションを含んでいるため
に、分散型である。この工場設計の長所は、各種の製品
の混在に対して適応性があるということである。欠点
は、作業（operation ）、管理および品質管理が複雑に
なることである。

【０００３】分散型製造プラントは、一連のプロセス手
順によって各種の製品を製造する。各プロセス手順は当
該工場の少なくとも１つのワークステーションによって
実行される。最新の電子製品の製造においては分散型工
場が普通である。たとえば、６つの種類の分散型工場が
含まれている。即ちウェハーのスライシング、ウェハー
の製造、半導体部品の組立、回路基板の製造、回路基板
の組立および電子製品の組立の６工場である。

【０００４】分散型工場の原型はウェハー製造プラント
あるいはウェハー工場であり、この中では、各プロセス
が平均して約１５０手順もある１０００以上のこれらの
プロセスに従って、多数の製品が同時に生産されてい
る。かかる多数のプロセスを１枚の製造図に表すことは
困難である。しかし、都合のよいことに、かかる工場は
コンピュータシステムに記述できるのである。

【０００５】分散型工場が複雑なことは、ジョブショッ
プと呼ばれる普通のクラスの分散型工場に何万という製
造シーケンスがあることによっても示されている。ジョ
ブショップにおけるシーケンスの集合を記述する標準的
な方法は、ジョブショップの複雑性に降伏して当該工場
の製品経路をランダムに記述することである。製品経路
はランダムでないことは明かであるが、ごく最近になっ
てコンピュータは、高度に複雑な工場を正確に記述する
実用的な計算力を備えるようになったのである。

【０００６】工場は、複雑でデータと情報が豊富にある
実在（entity）である。工場を単に記述するだけでも、
何万ものパラメータを持つデータ構造体が必要になる。
さらに、操業中の稼働工場（dynamic factory ）から
は、製品の流れを記述するパラメータデータ構造体より
１０倍も多いデータが生じる。分散型工場を操業し制御
すると、この巨大な量の情報が大きな問題となる。

【０００７】工場現場のスケジューラはごく限られた機
能しか持っていない。彼らスケジューラは、処理する次
の１つあるいは複数のロットをワークステーションで選
ぼうと試みる。この選択は、当該ロットの納期と、当該
ロットを完成するために残されているプロセス時間に高
度に依存するのが普通である。一般にスケジュールから
最も遅れているロットに優先権が与えられ、この優先権
関数（priority function ）に従って待ち合わせ中の全
ロットをランク付けしなければならない。ロットと待ち
合わせの位置は、製品追跡システムから生じる。世の中
には、理論が正確な解を与えることに失敗した場合の結
果として、工場現場で行われるその場限りの多くの決断
を介して、次善の条件で操業する工場がたくさんあるの
が現実である。したがって、これらの工場がもっと実用
的に使用されかつもっと能率的に操業されるように、モ
デル作成技術および制御技術によって改善しようという
大きなニーズ存在する。

【０００８】スケジューリングの理論と生産負荷投入計
画（shop loading scheme ）はともに２つの主要な構造
的欠陥を持っている。第１に、これらは個別工場の詳細
を認識することができないのでその結果として、あるい
はこれらの詳細に応答できないのである。実際のスケジ
ューリングの問題においては、能率という点から見た成
功あるいは失敗は作業の詳細によって決まることが多
い。第２に、双方の方法論は工場の動的な作業を無視し
ている。不幸なことに、人間である工場管理者は、稼働
用設備の状況（operational dynamics）を正確に検討し
て、スケジューリングの解を求めているのである。

【０００９】上述の問題点に対する従来の１つの方法
は、予測型スケジューラ（predictivescheduler）を使
用することである。しかし、多数のロットが一時停止に
なったり機械が故障した場合、非能率な結果あるいは不
正確な結果が生じる、そのような予測型スケジューラは
時代遅れで使用されなくなるであろう。かかる条件のも
とでは、これらの予期しない出来事を吸収する（accomm
odate ）ため機械およびロットを再スケジュールするこ
とが必要である。これらの問題に対処する１つの方法
は、影響を受けるロットを単にスケジュールから追い出
すか削除して、これらのロットは後で再スケジュールす
ることである。

【００１０】ウェハー工場のスケジューリングに対する
別の方法は、特急ルール（dispatchrules）を使用する
ことである。特急ルールの例は、先入れ先だし（ＦＩＦ
Ｏ）および最短処理時間である。しかし、これらの方法
の１つの欠点は、これらの方法は、機械の次の投入に関
するなんらかの決定がおこなわれる前に、当該機械が空
いてしまうという欠点を持っていることである。これは
非能率になり、この機械に関するなんらかの決定を下す
ことができる前に、一定の時間がたってしまうことにな
る。

【００１１】特急ルールの別の欠点はプロセス手順の間
に時間的制約があるかもしれないことである。たとえ
ば、洗浄作業と後に続く成長作業の間には３０分の時間
しかないというようなことである。

【００１２】この問題を解決する１つの方法は、プロセ
スの第１手順を実行する前に、これらの制約がスケジュ
ールを満足しているかチェックすることにより、「転ば
ぬ先の杖（look before you leap）」式方法をとること
である。しかし、この転ばぬ先の杖式方法は、純粋な特
急ルールのオプションではない。

【００１３】予測型スケジューラにとって、次の米国特
許が示すようにスケジュール自動再設定はスケジューリ
ング研究の活発な分野である。

【００１４】Ａｔｈｅｒｔｏｎに対する米国特許第４，
７９６，１９４号に開示されていることは、最終的にプ
ラントの操業の定義を導く数学的理論ではなく、いかに
して工場を実際に操業するかを定義することに始まる製
造シーケンスを持った分散型工場の制御プロセスであ
る。

【００１５】Ｈａｄａｖｉに対する米国特許第４，９５
６，７８４号に開示されていることは、進行中の作業を
処理している複数の機械を含む工場へ、仕掛かり作業
（pending jobs）のプールから作業を開放する方法であ
る。

【００１６】Ｈａｄａｖｉに対する米国特許第５，１７
０，３５５号に開示されていることは、進行中の作業を
処理している複数の機械を含む工場へ、仕掛かり作業の
プールから作業を開放することを制御する方法である。

【００１７】

【課題を解決する手段】本発明は、一連の製造作業に従
って製造物のロットを製造するために必要なスケジュー
ルの選択をおこなうスケジューラを開示している。本発
明は、所定の量の時間を各ロットおよび各プロセス資源
（process resource）の将来に対してスケジュールす
る。各ロットに対して、所定の時間限界（time horizo
n）をカバーするように、次に來るプロセスシーケンス
の中で十分な作業がスケジュールされる。各プロセス資
源に対して、所定の時間限界をカバーするように、当該
資源で十分なロットが処理されるようにスケジュールさ
れる。時間限界内の時間は、資源に対する競争がロット
の処理あるいはプロセス資源を妨害するときにのみ、ス
ケジュールされずに残される。次にどのロットをプロセ
ス資源にスケジュールするかを決めるために、選択され
たロットの集合と選択されたプロセス資源の集合とから
の対のそれぞれを使って評価が行われる。選択されたロ
ットには、指定された時間窓の中の作業が必要であると
思われるロットだけでなく、特定の製造作業を待ってい
るであろうすべてのロットが含まれている。選択された
プロセス資源には、要求される作業を実行することがで
きるすべてのプロセス資源が含まれている。選択された
ロットと選択されたプロセス資源との組合わせは多くの
要因について評価される。１つのプロセス手順に対する
組み合わされた各対に対して、クリティカルパス法によ
る解析がおこなわれるが、この組み合わされた各対によ
って、この対にしたときに実現される手順のサイクルタ
イムと機械のアイドル時間を評価することが可能にな
る。この評価は、各要因に対して点数を割り当て、これ
らの点数を組合わせてロットとプロセス資源の各対の点
数を求める。最高点数を持った対により、工場のどのプ
ロセス資源でどのロットを処理するかが決定される。

【００１８】

【実施例】本発明とその利点は、添付図面の図１〜１４
を参照することにより理解される。なお同じ番号は各図
面の同じく該当する部分に使用されている。

【００１９】スケジューラ・モジュール１１０は、各種
要因、たとえば他のロットやプロセス資源および各プロ
セス資源上の各ロットのクリティカルパスを検討して、
処理すべきロットをスケジュールする。

【００２０】図１は、ロット条件がスケジューラ・モジ
ュール１１０に入力されることを示している。スケジュ
ーラ・モジュール１１０には、図２に示すようなワーク
ステーション、スケジューラ・モジュール１１０に入力
しスケジューラ・モジュール１１０から出力する入出力
（Ｉ／Ｏ）回路２４０、工場モジュー２０１と完成すべ
き命令リストのデータベース２２０、データを格納する
メモリ２６０およびソフトウエアからの回路を形成する
ＲＯＭ２７０、たとえばファームウエアが含まれてい
る。スケジューラ・モジュール１１０は、工場モジュー
ル２０１と完成すべきロットの命令リストとに接続され
ている。スケジューラ・モジュール１１０は、工場２０
１のプロセス資源２００を制御して、ロット２１０をス
ケジュールし、適切な時間間隔の間に、適切なプロセス
資源２００により処理されるように振り向ける。スケジ
ューラ・モジュール１１０は、別に開放データを命令リ
スト２２０に送るので、ロットは待ち合わせ行列から工
場２０１に開放される。さらに命令リスト２２０は、ロ
ットデータをスケジューラに送るので、スケジューラ１
１０はロットデータとスケジュールを評価して工場内の
各種ロット２１０を制御することができる。

【００２１】図２において、ユーザ２５６は、キーボー
ド２５８およびマウス２５２を介して、モノクロームモ
ニタあるいはカラーモニタ２５４の付いたワークステー
ション２５０においてスケジューリング情報を入力した
り受信したりする。ワークステーション２５０は、メモ
リ２６０に格納された情報を複数のユーザと共用するた
めネットワークを介してスケジューラ・モジュール１１
０に接続されている。

【００２２】図３は、スケジューラ・モジュール１１０
のスケジュール発生器モジュール１００およびスケジュ
ール・インタプリタ・モジュール１０２を示している。
スケジューラ・モジュール１１０は、工場２０１に入る
ロットの計画されたリリース時間を受信するためプラン
ナ・モジュール１０８に接続されている。さらに、スケ
ジューラ・モジュール１１０は、たとえば、未処理の生
ウェハーを完成ウェハーに変換するための各種プロセス
資源の観点から、工場内のロットに対するパターン、エ
ッチング、成長など手順シーケンスのデータを受信する
ため、ウェハー仕様書モジュール１０４に接続されてい
る。ロットが特定のプロセス資源に振り向けられるよう
に工場１０６と通信しかつ工場１０６を制御し、あるい
は、たとえば１つのプロセス資源が処理されるロットを
受けることができるという、プロセス資源に対応するデ
ータを提供するため、スケジューラ・モジュール１１０
は工場モジュール１０６に接続されている。スモールト
ーク８０言語などのオブジェクト指向プログラミング
は、相互にメッセージを送ることによって対話する動的
オブジェクト間の通信を容易にしている。これらのメッ
セージを、手続きの呼出（procedure call）に対応させ
ることができるであろう。スケジューラ・モジュール１
１０には、各ロットおよび各プロセス資源をスケジュー
ルため、複数のオブジェクトが含まれている。

【００２３】図４は、スケジュール発生器１００の各種
オブジェクトの間で送られる一連のメッセージを示して
いる。たとえば、スケジュール発生器モジュール１００
は、完成すべき命令リスト２２０からのメッセージを受
信する。命令リスト２２０から次作業識別器（upcoming
operation identifier ）オブジェクト３１０に送られ
る「スケジュールすべきロット」メッセージ４０２は、
新ロットを工場２０１に対してスケジュールしてもよい
ことを、スケジュール発生器モジュール１００に報告す
る。次作業識別器オブジェクト３１０は、「ロットの次
の作業」メッセージ４０４をウェハー仕様書モジュール
１０４に送りこのロットの処理作業を決定する。処理作
業は工場２０１のプロセス資源２００によって実行され
る。次作業識別器オブジェクト３１０は、「次の作業を
加えよ」メッセージ４０６をロット時間線オブジェクト
３００に送り、このロットの処理作業に対応する処理作
業イベントをこのロットの時間線に加える。ロット時間
線は図７に示されている。

【００２４】次作業識別器オブジェクト３１０は、「計
画ロット（projected lot ）到着を加えよ」メッセージ
４０８をプロセス資源グループ時間線オブジェクト３３
０に送る。このメッセージは、プロセス資源のどれかが
この作業を実行できるプロセス資源グループを表すオブ
ジェクトの時間線に、このロットのロット到着イベント
を加える。ロットはその推定到着時間でそれぞれのプロ
セス資源グループの時間線に置かれる。たとえば、推定
到着時間は、第１の作業には現在時間であり、第２の作
業に対する到着時間は第１の作業を実行する推定時間で
ある。第３の作業に対する到着イベントは第１と第２の
作業を実行する時間の合計である。

【００２５】引き続いて、次作業識別器オブジェクト３
１０は、「延長スケジュールイベントを加えよ」メッセ
ージ４１０を主時間線オブジェクト３６０に送り、この
ロットのスケジュールを延長する。スケジュールを延長
するこの要求は、図７に示すように主時間線に加えられ
る。周期的に、スケジュール・インタプリタ・モジュー
ル１０２は、「次にスケジュールしたイベントを検索せ
よ」メッセージ４１２を主時間線オブジェクト３６０に
送る。主時間線オブジェクト３６０からの最も早い要求
が、工場のプロセス資源２００からロットを移動させる
ことか、ロットを工場のプロセス資源２００に振り当て
ることかのいずれかであるとき、スケジュール・インタ
プリタ・オブジェクト１０２は、工場にロットを物理的
に移動させるか、工場のプロセス資源２００からロット
を除去させる。スケジュール・インタプリタ・オブジェ
クト１０２が、主時間線にスケジュールを延長する要求
を見つけると、スケジュール・インタプリタ・オブジェ
クト１０２は、「ロットのスケジュールを延長せよ」メ
ッセージ４１４をスケジュール延長器オブジェクト３４
０に送り、イベントがロットを延長する場合の追加スケ
ジュールを実行するか、あるいはスケジュール・インタ
プリタ・オブジェクト１０２はメッセージ４１６をスケ
ジュール延長器オブジェクト３４０に送り、主時間線上
のイベントがプロセス資源に対するものである場合当該
プロセス資源のスケジュールを延長する。スケジュール
延長器オブジェクト３４０は、点数テーブルを生成して
スケジュールの選択を容易にする。「ロットのスケジュ
ールを延長せよ」メッセージ４１４がスケジュール延長
器オブジェクト３４０によって受信されると、スケジュ
ール延長器オブジェクト３４０はスケジュールすべき次
の処理作業を決定し、対応するプロセス資源グループを
見つけて、このプロセス資源グループを使用して、要求
された作業を実行できるプロセス資源を相互参照する辞
書の中のすべてのプロセス資源を調べ上げ、「プロセス
資源」メッセージ４１８を使用して潜在的に当該ロット
を処理できるように、これらのプロセス資源を点数テー
ブルの中に配置する。その上、いくつかのプロセス資源
が異なるプロセス資源グループの中にオーバーラップし
てメンバーシップを持っていると、点数テーブル３５０
に１グループ以上のプロセス資源を配置できる。

【００２６】スケジュール延長器オブジェクト３４０
は、「プロセス資源のスケジュールを延長せよ」メッセ
ージ４１６を受信して、上に説明したように辞書を調べ
上げることによりプロセス資源グループを決定する。

【００２７】「ロットのスケジュールを延長せよ」メッ
セージ４１４がスケジュール延長器オブジェクト３４０
によって受信されたと想定すると、「スケジュールを延
長せよ」メッセージに述べられているロットにより必要
とされる作業を実行できるプロセス資源グループの時間
線を調べることにより、点数テーブルのロットが決定さ
れなければならない。スケジュール延長器オブジェクト
３４０は、「ロット到着を受領せよ」メッセージ４２０
をプロセス資源グループ時間線３３０に送り、所定の時
限内に到着イベントを持つ全ロットを決定する。この所
定の時限には、ほぼ同じ時間に同じ作業を必要とする他
のロットだけでなく、「スケジュールを延長せよ」メッ
セージからのロットが含まれている。所定の時限内のこ
れらのロットは、「ロット」メッセージ４２２を使用し
て点数テーブルに含まれる。次に、スケジュール延長器
オブジェクト３４０は、点数テーブル・オブジェクト３
５０に「最良対」メッセージ４２４を送り、ロットとプ
ロセス資源のすべての組合わせを評価する。点数テーブ
ル・オブジェクト３５０は、最高点数を持つロットとプ
ロセス資源の組合わせを決定する。即ちこれが優勝対
（winning pair）である。スケジュール延長器オブジェ
クト３４０は、ロット時間線オブジェクト３００に「延
長せよ」メッセージ４２６を送り、プロセス資源上のプ
ロセス資源イベントを優勝ロットの時間線に加える。さ
らに、スケジュール延長器オブジェクト３４０は、プロ
セス資源時間線オブジェクト３２０に「延長せよ」メッ
セージ４２８を送り、当該ロットの処理作業イベントを
優勝プロセス資源時間線に加える。優勝ロットとプロセ
ス資源は、最初にスケジュールされるように要求された
ロットと同じである必要はないことに注意されたい。ス
ケジュール延長器オブジェクト３４０は、「更新せよ」
メッセージ４３０をプロセス資源グループ時間線オブジ
ェクトに送り、優勝ロットに対応するロット到着イベン
トをプロセス資源グループから除去するので、この優勝
ロットは再度スケジュールされない。スケジュール延長
器オブジェクト３４０は、「スケジュールされたイベン
トを加えよ」メッセージ４３２を主時間線オブジェクト
３６０に送り、優勝プロセス資源上の優勝ロットを処理
する工場イベントを加える。たとえば、工場は、優勝ロ
ットを優勝プロセス資源に移動させて優勝プロセス資源
を優勝ロットに振り向けるように制御される。主時間線
オブジェクト３６０は、スケジュール・インタプリタ１
０２が工場内のこれらのイベントを次に決まる時刻にス
ケジュールすることを保証する。さらに、主時間線オブ
ジェクト３６０は、スケジュール延長イベントを優勝ロ
ットと優勝プロセス資源の双方に対して加えるので、優
勝ロットはさらに処理され、優勝プロセス資源はさらに
将来のロットに対してスケジュールされる。スケジュー
ル延長器オブジェクト３４０は、「ロットにもっと多く
の次作業を」メッセージ４３４を次作業識別器オブジェ
クト３１０に送り、優勝ロットに対して１つの作業がス
ケジュールされたので、次作業識別器オブジェクト３１
０は優勝ロットに対する次の未スケジュール作業を取得
しなければならないことを示す。

【００２８】点数テーブルの計算を実行するため、図５
は、優勝プロセス資源と優勝ロットとを決定することが
できるように、これらの点数テーブルをデータで満たす
ためのメッセージシーケンスを示している。たとえば、
セルの値を計算するため、スケジューラ・オブジェクト
１１０がスケジュール延長器オブジェクト３４０を介し
て「セルの値を計算せよ」メッセージ５１０を点数テー
ブル・オブジェクト３５０に送ると、点数テーブル・オ
ブジェクト３５０は、点数テーブルの中で見つかる或ロ
ットと或プロセス資源によって表されるセルそれぞれに
対する点数を計算する。点数テーブルに置かれた複数の
プロセス資源は、特定の製造手順を実行する選択肢（al
ternatives）としての複数のプロセス資源に対応する。
点数テーブル・オブジェクト３５０は、「最新のセット
アップを見つけよ」メッセージ５１２をＰＲ資源時間線
オブジェクト６１２に送り、当該作業がスケジュールさ
れる前にプロセス資源をチェックすることにより、スケ
ジュールされたプロセス資源の構成あるいはセットアッ
プを決定する。点数テーブル・オブジェクト３５０は、
点数テーブル内のセルの点数の計算に必要なデータの収
集を開始するため、「セル組合わせ用データを集めよ」
メッセージ５１４を点数テーブル・セル・オブジェクト
６２６に送る。点数テーブル・セル・オブジェクト６２
６は、「キャリアを推測した（deducted carrier）」メ
ッセージ５１６を材料処理セット・オブジェクト（mate
rial processing set object）６２８に送り、ロット名
をスケジューラ内部の名前からプロセス資源が認識でき
るロット名に変換する。点数テーブル・セル・オブジェ
クト６２６は、「要因を計画せよ（plan factor ）」メ
ッセージ５１８を点数テーブル・セル・オブジェクト６
２６自体に送り、処理時間の推定値と共に、この手順を
実行できるプロセス資源を記述する各種要因の計画を決
定する。仕様書モジュール１０４は、プロセス資源の現
在の設計基準に反映する値のみを提供するだけであるか
た、たとえば最近、工場現場においてプロセス資源を改
修した結果、プロセス資源は今現在、仕様書の中で見つ
かる計画要因に一致することができないので、追加デー
タが必要となるであろう。もっと完全な情報を取得する
ために、点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、
「接触を使用して（using contact ）計画された諸要因
でセットアップされたＭＰＳにより機械の能力を検証せ
よ」メッセージ５２０をプロセス資源２次エージェント
・オブジェクト（process resource secondary agent o
bject ）６３２に送り、プロセス資源がロットを処理す
るために必要な時限、現在のセットアップから当該ロッ
トに要求されるセットアップに変換するために必要な時
限、当該ロットを処理するために必要なセットアップお
よびプロセス資源が提案されたセットアップから現在の
セットアップにスイッチバックするために必要な時限を
決定する。

【００２９】プロセス資源６３２に、ウェハー仕様書モ
ジュール１０４の計画要因から入手できる情報よりも多
くの最新情報がなければ、この情報は、メッセージ５２
２、５２４、５２６、５２８から取得される。プロセス
資源２次エージェント・オブジェクト６３２は、「装置
セット」メッセージ５２２を計画要因オブジェクト６３
０に送り、この手順を実行できるプロセス資源を決定す
る。たとえば、エッチング手順が要求されると、計画要
因オブジェクト６３０は、エッチングを実行する全プロ
セス装置を識別する。プロセス資源２次エージェント・
オブジェクト６３２は、「装置用プロセス資源」メッセ
ージ５２４をスケジューラ・オブジェクト１１０に送
り、ウェハー仕様書内のプロセス資源に使用される名前
を工場現場の制御システムによって認識される名前に変
換する。プロセス資源２次エージェント・オブジェクト
６３２は、「ウェハー数」メッセージ５２６を材料処理
セット・オブジェクト６２８に送り、たとえば、１ロッ
トは１０枚のウェハーから構成されているというよう
に、このロットに何枚のウェハーがあるかを決定する。
プロセス資源２次エージェント・オブジェクト６３２
は、「推定時間」メッセージ５２８を計画要因オブジェ
クト６３０に送り、特定プロセス資源の上で疾くとのロ
ットを処理する時間を推定する。たとえば、１０枚のウ
ェハーのロットは、１台のエッチング装置は１０枚のウ
ェハーをエッチングするのに１０分必要とするというよ
うに要求できる。最後に、プロセス資源２次エージェン
ト・オブジェクト６３２は、たとえば、名前、ウェハー
数、特定プロセス資源上のプロセスに対する推定など、
得られた結果を保持するため、「処理時間を新しくせよ
（newfor process time）」メッセージ５３０を新しい
「スケジュール済み機械の能力検証（new schd machine
capability verification）」オブジェクト６３４に送
る。したがって、計画された要因がウェハー仕様書ある
いはそれ以外から決定されたかどうかによって、以下に
述べる手順が実行される。

【００３０】点数テーブル・セル・オブジェクト６２６
は、「新しくせよ」メッセージ５３２をＣＰＭ環境変数
オブジェクト６１４に送り、当該プロセス資源上のロッ
トを処理するのに必要な全アクティビティを記述するク
リティカルパスメソド・アクティビティ・ネットワーク
をつくるために必要な全データを格納する（図６を参
照）。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、
「材料プロセスセット」メッセージ５３４をＣＰＭ環境
変数オブジェクト６１４に送り、そのロットの処理をＣ
ＰＭネットワークで記述できるロットを指定する。点数
テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「基準点」メ
ッセージ５３６をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に
送り、クリティカルパス・ネットワークの中の全アクテ
ィビティの継続時間をこの基準点から測定できるように
共通基準点を確定し、さらに点数テーブル内の全セルの
共通基準点を確定する。基準点は、全ロットおよびプロ
セス資源の各種の時間線に新しくスケジュールしたイベ
ントを加えて、こういったイベントの継続時間がすべて
正の数であることを保証する最も早い時刻である。

【００３１】点数テーブル・セル・オブジェクト６２６
は、「プロセス資源」メッセージ５３８をＣＰＭ環境変
数オブジェクト６１４に送り、プロセス資源をクリティ
カルパスメソド環境の変数として指定する。点数テーブ
ル・セル・オブジェクト６２６は、「機械能力検証」メ
ッセージ５４２をＣＰＭ環境変数オブジェクト６１４に
送り、前の手順でつくられた「スケジュール済み機械の
能力検証」オブジェクト６３４を含める。点数テーブル
・セル・オブジェクト６２６は、「ＣＰＭネットワーク
を更新せよ（new CPM netwrok with）」メッセージ５４
２をＣＰＭネットワーク・オブジェクト６２０に送り、
ＣＰＭネットワークのすべての詳細なアクティビティを
作り上げる。たとえば、図６は、「ロットを移動させ
よ」、「機械のロードロック（load lock ）の真空度を
上げよ（pump down vacuum load lock of the machine
）」、「ロットを処理せよ」および「ウェハーの冷却
期間を容易せよ」のアクティビティを備えた典型的なク
リティカルパスメソド・ネットワークを示している。で
きあがったクリティカルパスは太い実線で示されてい
る。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「ク
リティカルパスメソド・ネットワークを計算せよ」メッ
セージ５４４をクリティカルパス・ネットワーク・オブ
ジェクト６２０に送り、ネットワークの各アクティビテ
ィの継続時間を計算するが、このアクティビティの典型
的な継続時間は図６のアークの下の数字で表されてい
る。クリティカルパス・ネットワーク・オブジェクト６
２０は、「継続時間を計算せよ」メッセージ５４６を各
クリティカルパスメソド・アクティビティ・オブジェク
ト６２２に送り、当該ロットおよびプロセス資源の現在
のスケジュールのデータを読み、ＣＰＭ環境変数オブジ
ェクト６１４を調べることによって、クリティカルパス
・ネットワークの各アクティビティの時間を計算する。
クリティカルパスメソド・アクティビティ・オブジェク
ト６２２は、「見つけたバッファを送った（exported f
ind buffer for）」メッセージ５４８を工場オブジェク
ト２０１に送り、どの記憶バッファが特定のプロセス資
源に対応するかを決定する。このことが要求されるの
は、複数のプロセス資源上のプロセスの間で待つため、
工場現場におけるロットの１つが記憶バッファに移送さ
れなければならないときである。点数テーブル・オブジ
ェクト３５０は、「セットアップが必要なウェハーのテ
ーブルを解析せよ」メッセージ５５０を自身に送り、点
数テーブル・セルを探索して、同じセットアップを使用
する全ウェハーを見つける。見つけられたウェハーの数
は、セルの値をセルの点数に変換するために使用される
（図９を参照）。その上、点数テーブル・オブジェクト
３５０は、点数テーブルの中の各セルが、クリティカル
パス・ネットワークと対応するクリティカルパスを介し
て、当該ロットがプロセス資源上のプロセスを完了する
のにどれだけの時間が掛かるか決定することができるよ
うに「最小のサイクル時間を計算せよ」メッセージ５５
２を点数テーブル・オブジェクト３５０自身に送る。所
定のロットに対応する各種セルが相互に比較されて、ど
れかのプロセス資源上のロットを処理するために必要な
最短時間を見つけると、この最短時間は、メッセージ５
５６でセル点数を計算するのに使用される。点数テーブ
ル・オブジェクト３５０は、「セル点数を計算せよ」メ
ッセージ５５４を点数テーブル・セル・オブジェクト６
２６に送り、メッセージ５５６、５５８、５６０、５６
２を発行することにより点数テーブルの点数を計算す
る。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「サ
ブセル点数を計算せよ」メッセージ５５６をＭＰＳセル
・オブジェクト６１６に送り、各ロット要因の点数を計
算しかつロット要因点数を組合わせることにより、所定
のセルのロット点数を計算する。ロット要因を単純に相
互に加えてもよいし、あるいは特定の要因に相対的重要
度を加えるため重みを使用して結合してもよい。各セル
のクリティカルパスの長さの点数を計算するため、ＭＰ
Ｓセル・オブジェクト６１６は、「クリティカルパスに
戻れ（return critical path）」メッセージ５５８をク
リティカルパス・ネットワーク・オブジェクト６２０に
送り、各クリティカルパスの長さの点数を計算するた
め、各セルのクリティカルパス・ネットワークからクリ
ティカルパスの長さを求める。普通の優先順位のロット
のクリティカルパスの長さの点数は、マイナス・クリテ
ィカルパスの長さ割る最小クリティカルパスの長さプラ
ス１、によって計算される（図１３を参照）。点数テー
ブル・セル・オブジェクト６２６は、「サブセルの点数
を計算せよ」メッセージ５６０をプロセス資源セル・オ
ブジェクト６１８に送り、各ツール要因の点数を計算し
かつこれらを組み合わせることにより、各セルのツール
点数を計算する。ツール点数は、ツール要因を加算する
ことにより計算してもよいし、あるいは特定のツール要
因に重点を置いたり重点を置かないため、ツール要因に
異なる重みをつけてもよい。プロセス資源セル・オブジ
ェクト６１８は、「プロセス資源アイドル」メッセージ
５６２をクリティカルパス・ネットワーク・オブジェク
ト６２０に送り、クリティカルパス・ネットワークを調
査してアクティビティのスラック時間（free slack）、
即ち、所与のロットがこのプロセス資源上で処理されて
いるときプロセス資源がアイドルでいられる時間を決定
するプロセス資源を含んでいるスラック時間を計算す
る。点数テーブル・セル・オブジェクト６２６は、「セ
ルの総和を計算せよ」メッセージ５６４を点数テーブル
・セル・オブジェクト６２６自身に送り、サブセルの総
計を結合することにより、各セルの総計を計算する。こ
の結合は、ロット点数とツール点数とのサブセルのそれ
ぞれに重み付けした後加算することにより、求められ
る。つぎにスケジューラ・オブジェクト１１０は、「優
勝セルを決定せよ」メッセージ５６６を点数テーブル・
オブジェクト３５０に送り、最高点数のセルを決定す
る。ついでこのプロセス資源上でこのロットを処理する
エントリは、それぞれのプロセス資源とロットの時間線
に加えられる。

【００３２】図８〜１４は、点数テーブル・セルの値か
ら各種のロット要因およびツール要因の点数テーブル・
セルの点数への翻訳を示している。いろいろなタイプの
ロットとツール要因が示されているが、総ツール点数に
するため、本発明は説明したしたツール点数のすべてを
使用しなかったことを理解すべきであり、所与の点数テ
ーブル・オブジェクト３５０の中で点数を決定するため
には、あらゆる組合わせあるいはロット要因とツール要
因のすべてを使用してもよい。

【００３３】図８は、ロット当たりの機械の処理時間と
ツール点数との間の関係を示しているが、ツール点数
は、ボトルネックにならない機械とボトルネックになる
機械との双方に対して特性が示されている。点数を表す
ポイントは、問題の特定の機械の処理時間の、あらゆる
機械上のロットの最短処理時間に対する比率を表してい
る。説明のためにポイントとロット当たりの機械の処理
時間との間の直線関係が示されているが、本発明を使用
するためには、２次曲線など、どんな関係を使用しても
よい。

【００３４】図９は、機械セットアップ時間と点数に対
応するポイントとの間の関係を示している。このプロセ
ス資源のセットアップ時間の比率は、この同じセットア
ップ時間を必要とする点数テーブル内のロットのウェハ
ー数で除算されている。

【００３５】図１０は、点数に対応するポイントと機械
セットアップのスイッチバック時間との間の関係を示し
ている。スイッチバック時間は、セットアップを変更し
て現在のセットアップに戻す時間である。スイッチバッ
ク時間は、提案されたセットアップから現在のセットア
ップに変更して戻すための時間を、現在のセットアップ
を必要とするウェハー数によって除算したものに等し
い。

【００３６】図１１は、点数に対応するポイントとバッ
チ機械のパーセント容量との間の関係を示している。処
理時間の２倍を１０で除しそれにパーセント容量を１０
０で除したものを乗算し、それから１０で除した処理時
間をマイナスすることによりポイントが計算される。

【００３７】図１２は、ポイントと、高い優先順位のロ
ットと普通の優先順位のロットとの双方に対するロット
待ち合わせ時間との間の関係を示している。

【００３８】図１３は、ポイントとキャリア完成時間の
比率との間の関係を示している。この比率は、考慮中の
プロセス資源上でこのロットの作業を完了する時間を、
あらゆるプロセス資源上でこのロットの作業を完了する
最短時間で除算することにより、クリティカルパスの長
さを比較している。

【数１】

【００３９】図１４は、ポイントと機械のアイドル時間
（Ｍ−ＩＤＬＥ）との間の関係を示しているが、機械の
アイドル時間とは、処理する次のロットが機械に到着す
るまで、その機械が無稼働でいなくてはならない時間の
ことである。

【表１】

【００４０】例１は、プロセス資源ＰＲ１上のロットＬ
３に対する、たとえばクリティカルパスの長さと待ち時
間などのロット要因および、たとえば資源のアイドル時
間やロット当たりセットアップ時間などのツール要因を
示している。図６は、例１に対するクリティカルパスメ
ソド・ネットワークを示しており、クリティカルパスの
長さと資源のアイドル時間の値がこのネットワークから
求められる。図８〜１４の関係は各要因の値から点数を
決定するために使用される。ロット要因からの点数の合
計によりロット点数が決定され、ツール要因からの点数
の合計によりツール点数が決定される。ロット点数とツ
ール点数は組み合わされてプロセス資源ＰＲ１上のロッ
トＬ３の総計点数になる。

【表２】

【００４１】比較すると、例２には、プロセス資源ＰＲ
２上のロットＬ３のグラフから得られたロット要因とツ
ール要因からこれらの点数の決定が示されている。ロッ
ト要因とツール要因の双方に対して小計が求められ、つ
ぎにロット要因の小計とツール要因の小計とから総計が
求められる。この総計を、ＰＲ１上のＬ３からの総計と
比較すると、プロセス資源ＰＲ２上のロット３の組合わ
せに利点が追加されていることがわかることは明瞭であ
る。この利点は、ロットＬ３がプロセス資源ＰＲ１のか
わりにＰＲ２の上で処理された場合、クリティカルパス
の長さからの点数の寄与がより大きい（より正である）
ということにより明瞭に示されている。

【表３】

【００４２】例３は、ロットＬ１〜Ｌ３とプロセス資源
ＰＲ１、ＰＲ２との組合わせの比較を示している。最高
点数はプロセスＰＲ１上のロットＬ１で得られ、より高
い（最低の負の）点数になっている。したがって、ロッ
トＬ１、Ｌ２、Ｌ３がプロセス資源ＰＲ１、ＰＲ２と競
合状態にある場合、最も有利な組合わせは、ロット１と
プロセス資源ＰＲ１の組合わせで得られることはきわめ
て明瞭である。

【表４】

【００４３】例４は、次に完成する点数テーブルを示し
ているが、ここではロットＬ２とロットＬ３がプロセス
資源ＰＲ１とＰＲ２によって評価されている。プロセス
資源ＰＲ１上のロットＬ２が最高点数、即ち負の最低点
数になることがわかる。

【表５】

【００４４】さらに例５に示されているように、ロット
Ｌ３をプロセス資源ＰＲ１上あるいはプロセス資源ＰＲ
２上で処理すべきかを決定するために同じ方法が使用さ
れている。例５は、プロセス資源ＰＲ２上のロットＬ３
が、プロセス資源ＰＲ１上のロットＬ３よりも高い（よ
り小さい負の）点数になっていることを示している。例
１はプロセス資源ＰＲ１上のロットＬ３の詳細な計算を
示しており、例２はプロセス資源ＰＲ２上のロットＬ３
の詳細な計算を示している。

【表６】

【００４５】例６は、第１の処理方法（recipe）を必要
とするウェハーＣ１、Ｃ２と第２の処理方法を必要とす
るウェハーＣ４、Ｃ５の４ロットの処理を示している。
Ｃ１は処理される準備ができて処理されるのを待ってい
る。一方Ｃ２は準備ができておらずこの作業から１０分
遅れている。Ｃ４はこの作業から６０分遅れており、Ｃ
５は準備ができて処理されるのを待っている。本例は、
処理すべきウェハーの数が異なり、必要とする処理の方
法が異なり、さらに待ち合わせ時間（queue time：Ｑ）
が異なるバッチと同様、準備できているバッチと準備が
できていないバッチの効果を示している。その上、説明
のため、機械はアイドルでありかつ４８枚のウェハー容
量を持っているものとする。

【表７】

【００４６】例７は、ツール点数、ロット点数および総
合計点数によって４つのウェハーロットの比較を示して
いる。ツール点数には、機械アイドル（Ｍ−ＩＤＬＥ）
点数、、機械処理時間（ＰＴ）および機械セットアップ
時間（ＳＵ）の点数が含まれている。キャリア点数に
は、クリティカルパスの長さの点数および待ち時間点数
が含まれている。前の例と同様に、各ロット・ツール対
に対するツール点数とロット点数を加算することにより
小計を求めると、優勝点数はロットＣ５である。即ち、
Ｃ５では、＋３の総合計点数が求められ、これはＣ１の
２．５、Ｃ２の−１．５およびＣ４の−９．０という総
合計点数よりも大きい。

【表８】

【００４７】例８は、（例７に示す）それ自体で最高等
級のロットＣ５と、最高等級のロットＣ５と同じ処理方
法で次に最高等級のロットＣ４とを一緒にしたロットと
の比較を示している。同様に、第２の最高等級のロット
Ｃ１自体と、ロットＣ１と次に同じ方法の最高等級のロ
ットＣ２を一緒にしたロットが比較されている。この比
較が示していることは、最良組合わせはＣ１とＣ２のロ
ットだということである。Ｃ１とＣ２については、Ｃ５
とＣ４の組合わせよりも機械アイドル時間の点数が非常
に大きいので、Ｃ１とＣ２の組合わせはＣ５とＣ４より
も大きいツール点数を受ける。したがって、複数のサブ
ツール点数で見るツール点数と複数のサブロット点数で
見るロット点数とを評価するとともに、これらの点数を
加算し優勝点数を拾い上げることにより、本発明は、工
場内のより能率的なスケジューリングとロット管理を提
供することができる。

【００４８】最後に示す１群の例は、本発明が先入れ先
出し（ＦＩＦＯシステム）と比較された場合における本
発明の優れた特徴を示している。

【表９】

【００４９】例９は、ウェハーのロットＣ６、Ｃ７、Ｃ
８と機械Ｍ２、Ｍ３の状態とを示しているが、この機械
のどちらかはセットアップＡとセットアップＢにしたが
ってウェハーを処理することができる。この例では機械
のセットアップの変更に１２分かかる。

【表１０】

【００５０】例１０は、総合計点数になる機械点数とロ
ット点数について、Ｃ６、Ｃ７、Ｃ８間の比較を示して
いる。機械点数は、アイドル時間（Ｍ−ＩＤＬＥ）、処
理時間（ＰＴ）、セットアップ時間（ＳＵ）およびスイ
ッチバック時間（ＳＷＢ）が考慮され、一方ロット点数
は、アイドルに対する待ち時間、スイッチバックに対す
る待ち時間、処理時間および待ち合わせ時間が考慮され
る。例１０に示すように、優勝対は機械２の上のＣ６で
ある。

【表１１】

【００５１】例１１に示すように、残りの２つのロッ
ト、即ちＣ７、Ｃ８が機械３および機械２について評価
されている。結果はＭ２上の処理によりＣ７が優勝す
る。

【表１２】

【００５２】例１２に示すように、機械３および機械２
についてロットＣ８を比較すると、この場合、機械２に
よるこのロットよりも点数が高いので、機械３が優勝す
る。

【表１３】

【００５３】例１３は本発明とＦＩＦＯシステムとの間
の比較を示しているが、ＦＩＦＯシステムでは３回のセ
ットアップ変更が生じる、即ち機械３は、Ｃ６に対して
セットアップＢからセットアップＡに変更され、機械２
は、ロットＣ８に対してセットアップＡからセットアッ
プＢに変更された後、ロットＣ７に対して再びセットア
ップＡに変更される。

【００５４】対象的に、本発明によればセットアップの
変更がない。ロットＣ８はセットアップを変更する必要
がない機械３で処理され、Ｃ６、Ｃ７の両ロットは、セ
ットアップを変更せずに機械２で処理される。このよう
に、本発明のスケジューラは、より能率的なスケジュー
リングを計画できるように工場を制御することができ
る。

【００５５】本発明とその利点を詳細に説明してきた
が、請求の範囲に定義されている本発明の精神と範囲か
ら逸脱することなく、この中で各種変更、置換および修
正ができることを理解されたい。

【００５６】以上の説明に関して更に以下の項を開示す
る。 １．工場の複数のロットのスケジュールを発生させる方
法であって、複数の資源と、前記複数の資源によって処
理される前記複数のロットとを評価する所定の時限を選
択する手順と、前記所定の時限中に前記ロットの処理に
使用できる複数の選択されたプロセス資源を、前記複数
の資源から選択する手順と、前記所定の時限中に前記選
択されたプロセス資源によって処理できる複数の選択さ
れたロットを、前記複数のロットから選択する手順と、
選択されたプロセス資源と選択されたロットとの組合わ
せのそれぞれに対してツール点数を決定する手順と、前
記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの
前記組合わせのそれぞれに対してロット点数を決定する
手順と、前記組合わせのそれぞれに対する前記ロット点
数と前記ツール点数とを組合わせて、選択されたプロセ
ス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせに対す
る組合わせ点数を決定する手順と、選択されたプロセス
資源と前記選択されたロットとの前記組合わせのそれぞ
れに対する前記組合わせ点数のそれぞれを比較すること
により優勝点数を決定する手順と、工場内のプロセス資
源を制御し、優勝点数に従ってロットを処理する手順
と、を含むことを特徴とする方法。

【００５７】２．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、選択されたプ
ロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせの
それぞれに対する各プロセス資源のアイドル時間に基づ
いて、前記ツール点数を決定する手順をさらに含むこと
を特徴とする方法。

【００５８】３．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、選択されたプ
ロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせの
それぞれに対するセットアップ時間に基づいて、前記ツ
ール点数を決定する手順をさらに含むことを特徴とする
方法。

【００５９】４．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、選択されたプ
ロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせの
それぞれに対する処理時間に基づいて、前記ツール点数
を決定する手順をさらに含むことを特徴とする方法。

【００６０】５．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、選択されたプ
ロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わせの
それぞれに対するプロセス資源を待つ前記ロットに対し
て要求される時間に基づいて、前記ロット点数を決定す
る手順をさらに含むことを特徴とする方法。

【００６１】６．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、前記選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対する前記ロットの待ち合わせ時間に基
づいて、ロット点数を決定する手順をさらに含むことを
特徴とする方法。

【００６２】７．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、選択されたプ
ロセス資源と選択されたロットとの前記組合わせのそれ
ぞれに対するプロセス資源のセットアップの待ちに基づ
いて、前記ロット点数を決定する手順をさらに含むこと
を特徴とする方法。

【００６３】８．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、選択されたプ
ロセス資源と選択されたロットとの前記組合わせのそれ
ぞれに対してプロセス資源のクリティカルパスに基づい
て、前記ロット点数を決定する手順をさらに含むことを
特徴とする方法。

【００６４】９．第１項記載の、工場の複数のロットの
スケジュールを発生させる方法であって、前記選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対するスイッチバック時間の待ちに基づ
いて、ツール点数を決定する手順をさらに含むことを特
徴とする方法。

【００６５】１０．工場の複数のロットのスケジュール
を発生させる装置であって、複数の資源と、前記複数の
資源によって処理される前記複数のロットを評価する所
定の時限を選択する手段と、前記所定の時限中に前記ロ
ットの処理に使用できる複数の選択されたプロセス資源
を、前記複数の資源から選択する手段と、前記所定の時
限中に前記選択されたプロセス資源によって処理できる
複数の選択されたロットを、前記複数のロットから選択
する手段と、前記選択されたプロセス資源と前記選択さ
れたロットとの組合わせのそれぞれに対するツール点数
を決定する手段と、選択されたプロセス資源と前記選択
されたロットとの前記組合わせのそれぞれに対してロッ
ト点数を決定する手段と、前記組合わせのそれぞれに対
する前記ロット点数と前記ツール点数とを組合わせて、
選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前
記組合わせに対する組合わせ点数を決定する手段と、選
択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記
組合わせのそれぞれに対する各組合わせ点数を比較する
ことにより優勝点数を決定する手段と、優勝点数に従っ
てロットを処理するように工場内のプロセス資源を制御
するコントローラと、を含むことを特徴とする装置。

【００６６】１１．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、前記選択
されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組
合わせのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源
のアイドル時間に基づいて、前記ツール点数を決定する
手段をさらに含むことを特徴とする装置。

【００６７】１２．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、前記選択
されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組
合わせのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源
の機械セットアップに基づいて、前記ツール点数を決定
する手段をさらに含むことを特徴とする装置。

【００６８】１３．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、前記選択
されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組
合わせのそれぞれに対する前記プロセス資源の処理時間
に基づいて、ツール点数を決定する手段をさらに含むこ
とを特徴とする装置。

【００６９】１４．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対する前記プロセス資源のクリティカル
パスに基づいて、ツール点数を決定する手段をさらに含
むことを特徴とする装置。

【００７０】１５．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源を待
つために必要な時間に基づいてロット点数を決定する手
段をさらに含むことを特徴とする装置。

【００７１】１６．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対する選択されたロットの待ち合わせ時
間に基づいて、ロット点数を決定する手段をさらに含む
ことを特徴とする装置。

【００７２】１７．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対する前記選択されたプロセス資源のセ
ットアップの待ちに基づいて、ロット点数を決定する手
段をさらに含むことを特徴とする装置。

【００７３】１８．第１０項記載の、工場の複数のロッ
トのスケジュールを発生させる装置であって、選択され
たプロセス資源と前記選択されたロットとの前記組合わ
せのそれぞれに対するそれらの選択されたプロセス資源
のスイッチバック時間の待ちに基づいて、ツール点数を
決定する手段をさらに含むことを特徴とする装置。

【００７４】１９．１つの方法と装置が、プロセス資源
と当該プロセス資源によって処理されるロットとを評価
する時限を選択する。プロセス資源による処理に使用で
きかつ選択されたロットの処理に使用できるように、ロ
ットとプロセス資源とがそれぞれ選択される。選択され
たプロセスと選択されたロットの組合わせのそれぞれに
対するツール点数およびロット点数が決定されるととも
に、優勝点数を選択するために組み合わされる。工場
は、優勝点数に従ってプロセス資源を介して制御され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による処理すべき命令のリスト、スケジ
ューラおよび工場を示す図。

【図２】本発明によるワークステーションを示す図。

【図３】本発明のスケジューラ・モジュール、プランナ
・モジュール、仕様書モジュールおよび工場モジュール
を示す図。

【図４】本発明のスケジューリング・オブジェクトおよ
び仕様書オブジェクトを示す図。

【図５】本発明のスケジューラ・モジュール、プランナ
・モジュールおよび工場モジュールに対する追加オブジ
ェクトを示す図。

【図６】本発明を使用して、あるロットのクリティカル
パスを示す図。

【図７】本発明の主時間線、ロット時間線およびプロセ
ス資源時間線を示す図。

【図８】機械処理時間と点数に対応するポイントとの間
の関係を示す図。

【図９】ウェハー当たりの機械セットアップと点数に対
応するポイントとの間の関係を示す図。

【図１０】機械セットアップスイッチバック時間と点数
に対応するポイントとの間の関係を示す図。

【図１１】バッチ機械容量率（batch machine percent
of capacity ）と点数に対応するポイントとの間の関係
を示す図。

【図１２】キャリア待ち合わせ時間と点数に対応するポ
イントとの間の関係を示す図。

【図１３】キャリア完了時間と対応するポイントとの間
の関係を示す図。

【図１４】機械アイドル時間と点数に対応するポイント
との間の関係を示す図。

【符号の説明】 １００ スケジュール発生器モジュール １０２ スケジュール・インタプリタ・モジュ
ール １０４ ウェハー仕様書モジュール １０６ 工場モジュール １０８ プランナ・モジュール １１０ スケジューラ・オブジェクト ２００ プロセス資源 ２０１ 工場モジュール ２１０ ロット ２２０ 命令リスト ２３０ ＣＰＵ ２４０ 入出力回路 ２５０ ワークステーション ２６０ メモリ ２５０ ワークステーション ２５２ マウス ２５４ モニタ ２５６ ユーザ ２５８ キーボード ２７０ ＲＯＭ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０５Ｂ 19/02 Ｔ Ｇ０６Ｆ 17/60 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｚ (72)発明者 マイクル エイ．キルゴアー アメリカ合衆国テキサス州リチャードソ ン，グリーンリーフ ドライブ 704

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 工場の複数のロットのスケジュールを発
   生させる方法であって、 複数の資源と、前記複数の資源によって処理される前記
   複数のロットとを評価する所定の時限を選択する手順
   と、 前記所定の時限中に前記ロットの処理に使用できる複数
   の選択されたプロセス資源を、前記複数の資源から選択
   する手順と、 前記所定の時限中に前記選択されたプロセス資源によっ
   て処理できる複数の選択されたロットを、前記複数のロ
   ットから選択する手順と、 選択されたプロセス資源と選択されたロットとの組合わ
   せのそれぞれに対してツール点数を決定する手順と、 前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットと
   の前記組合わせのそれぞれに対してロット点数を決定す
   る手順と、 前記組合わせのそれぞれに対する前記ロット点数と前記
   ツール点数とを組合わせて、選択されたプロセス資源と
   前記選択されたロットとの前記組合わせに対する組合わ
   せ点数を決定する手順と、 選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前
   記組合わせのそれぞれに対する前記組合わせ点数のそれ
   ぞれを比較することにより優勝点数を決定する手順と、 工場内のプロセス資源を制御し、優勝点数に従ってロッ
   トを処理する手順と、を含むことを特徴とする方法。
2. 【請求項２】 工場の複数のロットのスケジュールを発
   生させる装置であって、 複数の資源と、前記複数の資源によって処理される前記
   複数のロットを評価する所定の時限を選択する手段と、 前記所定の時限中に前記ロットの処理に使用できる複数
   の選択されたプロセス資源を、前記複数の資源から選択
   する手段と、 前記所定の時限中に前記選択されたプロセス資源によっ
   て処理できる複数の選択されたロットを、前記複数のロ
   ットから選択する手段と、 前記選択されたプロセス資源と前記選択されたロットと
   の組合わせのそれぞれに対するツール点数を決定する手
   段と、 選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前
   記組合わせのそれぞれに対してロット点数を決定する手
   段と、 前記組合わせのそれぞれに対する前記ロット点数と前記
   ツール点数とを組合わせて、選択されたプロセス資源と
   前記選択されたロットとの前記組合わせに対する組合わ
   せ点数を決定する手段と、 選択されたプロセス資源と前記選択されたロットとの前
   記組合わせのそれぞれに対する各組合わせ点数を比較す
   ることにより優勝点数を決定する手段と、 優勝点数に従ってロットを処理するように工場内のプロ
   セス資源を制御するコントローラと、を含むことを特徴
   とする装置。