JP2005512221A - ロットおよび装置の健全性量(ヘルスメトリック)に基づく生産ロットスケジュールのための方法および装置 - Google Patents
ロットおよび装置の健全性量(ヘルスメトリック)に基づく生産ロットスケジュールのための方法および装置 Download PDFInfo
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Abstract
製造システム(10)は、処理フローにおいて複数の製造物品を処理するための複数の装置(30−80)、物品健全性監視装置(130)、装置健全性監視装置(150)およびスケジュールサーバ(90)を含む。物品健全性監視装置(130)は、複数の製造物品の少なくとも一部について物品健全性量を決定するように構成されている。装置健全性監視装置(150)は、複数の装置(30−80)の少なくとも一部について装置健全性量を決定するように構成されている。スケジュールサーバ(90)は、物品健全性量および装置健全性量に基づいて、製造物品の装置(30−80)による処理のためのスケジュールを立てるように構成されている。
Description
本発明は様々な変形および代替の形態をとりうるが、その特定の実施形態を例示のために図面に示し、本明細書において詳細に説明する。しかしながら、特定の実施形態についての本明細書中の説明は、開示された特定の形態に本発明を限定しようとするものではなく、むしろ反対に、添付の特許請求の範囲に規定される本発明の精神および範囲の範疇に入る、すべての変形物、均等物および代替物を含むことを意図している、ことを理解してもらいたい。
しかしながら、これらの用語のすべてまたは類似の用語は適切な物理量に関連付けられるべきであり、それらの量に適用される単なる便利なラベルである、ことを念頭に置く必要がある。特に断らない限り、またはこれまでの議論から明らかなように、「プロセス(処理)」、「コンピューティング」、「計算」、「決定」、「表示」などの用語は、コンピュータシステムまたは類似の電子情報処理装置の処理または動作を意味する。ここで、コンピュータシステムまたは類似の電子情報処理装置の処理または動作とは、コンピュータシステムのレジスタおよびメモリのなかの物理的、電気的な量として表されるデータを操作して、コンピュータシステムのレジスタおよびメモリまたはその他の情報記憶装置、転送装置または表示装置のなかの物理的な量として同様に表される他のデータに変換することである。
Claims (10)
- 製造フローのスケジュール作成方法であって、
処理フローにおいて、複数の製造物品を処理するステップと、
前記複数の製造物品の少なくとも一部について、物品健全性量を決定するステップと、
前記処理フロー中の複数の装置(30−80)について装置健全性量を決定するステップと、
前記物品健全性量および前記装置健全性量に基づいて、製造物品の前記装置(30−80)による処理のためのスケジュールを作成するステップとを含む方法。 - 前記物品健全性量を決定するステップはさらに、
前記処理フロー中の複数の製造物品の特性を測定するステップと、
前記測定された特性に基づいて、前記複数の製造物品について物品健全性量を推定するステップとを含む、請求項1の方法。 - 前記製造物品の前記装置(30−80)による処理のためのスケジュールを作成するステップはさらに、選択された装置(30−80)による処理のために類似した物品健全性量を持つ製造物品をグループ分けするステップを含む、請求項1の方法。
- 前記装置健全性量を決定するステップはさらに、
選択された製造物品の処理の際に、選択された装置(30−80)のパラメータを測定することで前記選択された装置(30−80)内の前記選択された製造物品の処理に関する装置状態トレースを生成するステップと、
前記装置状態トレースと、前記選択された装置(30−80)に関する装置健全性モデルとを比較するステップと、
前記装置状態トレースと前記装置健全性モデルとの比較に基づいて、装置健全性量を生成するステップとを含む、請求項1の方法。 - 前記製造物品の前記装置(30−80)による処理のためのスケジュールを作成するステップはさらに、
前記装置健全性量に基づいて、性能の順番に前記装置(30−80)を格付けするステップと、
前記物品健全性量に基づいて、健全性の順番に製造物品を格付けするステップと、
前記性能格付けおよび前記健全性格付けに基づいて、前記装置(30−80)に前記製造物品を割り当てるステップとを含む、請求項1の方法。 - 処理フローにおいて、複数の製造物品を処理する複数の装置(30−80)と、
前記複数の製造物品の少なくとも一部について、物品健全性量を決定するように構成された物品健全性監視装置(130)と、
前記複数の装置(30−80)の少なくとも一部について装置健全性量を決定するように構成された装置健全性監視装置(150)と、
前記物品健全性量および前記装置健全性量に基づいて、前記製造物品の前記装置(30−80)による処理のためのスケジュールを作成するように構成されたスケジュールサーバ(90)とを備える、製造システム(10)。 - 前記物品健全性監視装置(130)はさらに、前記処理フロー中の複数の製造物品の特性の測定値にアクセスして、前記測定値に基づいて前記複数の製造物品についての前記物品健全性量を推定するように構成されている、請求項6のシステム(10)。
- 前記スケジュールサーバ(90)はさらに、選択された装置(30−80)による処理のために、類似した物品健全性量を持つ物品をグループ分けするように構成されている、請求項6のシステム(10)。
- 前記装置健全性監視装置(150)はさらに、
選択された製造物品の処理の際に、少なくとも一つの測定されたパラメータを含む選択された装置(30−80)についての装置状態トレースにアクセスして、前記装置状態トレースと、前記選択された装置(30−80)に関する装置健全性モデルとを比較し、前記装置状態トレースと前記装置健全性モデルとの比較に基づいて、前記装置健全性量を生成するように構成されている、請求項6のシステム(10)。 - 前記スケジュールサーバ(90)はさらに、前記装置健全性量に基づいて、性能の順番に前記装置(30−80)を格付けし、前記物品健全性量に基づいて、健全性の順番に前記製造物品を格付けし、前記性能格付けおよび前記健全性格付けに基づいて、前記装置(30−80)に前記製造物品を割り当てるように構成されている、請求項6のシステム(10)。
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