JPH10326729A - 製造システム - Google Patents
製造システムInfo
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- JPH10326729A JPH10326729A JP9134839A JP13483997A JPH10326729A JP H10326729 A JPH10326729 A JP H10326729A JP 9134839 A JP9134839 A JP 9134839A JP 13483997 A JP13483997 A JP 13483997A JP H10326729 A JPH10326729 A JP H10326729A
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0267—Fault communication, e.g. human machine interface [HMI]
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B15/00—Systems controlled by a computer
- G05B15/02—Systems controlled by a computer electric
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各製造装置でのロットの処理待ち状況と、各
製造装置の稼働状態とを簡易かつ迅速に確認できる製造
システムを提供する。 【解決手段】 本発明の製造システムは、複数の製造装
置１と、各製造装置１にロット単位で搬送を行う搬送機
２と、各ロットの工程進度を管理するロット管理コンピ
ュータ３と、各製造装置１を制御する装置制御コンピュ
ータ４と、ロットの工程進度や各製造装置１の稼働状態
を検出する集中管理コンピュータ５とを備える。装置制
御コンピュータ４と集中管理コンピュータ５にはユーザ
インターフェース部６，７が接続され、ユーザインター
フェース部６，７はそれぞれ表示装置を有する。表示装
置７ａの画面には、各製造装置の稼働状態と、各製造装
置でのロットの工程進捗状況とが表示される。ユーザイ
ンターフェース部の表示装置の画面には、対応する製造
装置の稼働状態と、その製造装置でのロットの工程進捗
状況とが表示される。
製造装置の稼働状態とを簡易かつ迅速に確認できる製造
システムを提供する。 【解決手段】 本発明の製造システムは、複数の製造装
置１と、各製造装置１にロット単位で搬送を行う搬送機
２と、各ロットの工程進度を管理するロット管理コンピ
ュータ３と、各製造装置１を制御する装置制御コンピュ
ータ４と、ロットの工程進度や各製造装置１の稼働状態
を検出する集中管理コンピュータ５とを備える。装置制
御コンピュータ４と集中管理コンピュータ５にはユーザ
インターフェース部６，７が接続され、ユーザインター
フェース部６，７はそれぞれ表示装置を有する。表示装
置７ａの画面には、各製造装置の稼働状態と、各製造装
置でのロットの工程進捗状況とが表示される。ユーザイ
ンターフェース部の表示装置の画面には、対応する製造
装置の稼働状態と、その製造装置でのロットの工程進捗
状況とが表示される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばウエハなど
を複数枚ひとまとめにしたロットを単位として、半導体
装置などの対象物を製造する製造システムに関し、特
に、ロットの工程管理や製造装置の稼働状態を画面上で
確認できるようなシステムを対象とする。
を複数枚ひとまとめにしたロットを単位として、半導体
装置などの対象物を製造する製造システムに関し、特
に、ロットの工程管理や製造装置の稼働状態を画面上で
確認できるようなシステムを対象とする。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造ラインでは、複数のウエハを
ひとまとめにしたロットを単位として半導体装置の製造
を行うのが一般的である。ライン上には複数の製造装置
が設けられ、これら製造装置は各ロットごとに所定の工
程処理を行う。各製造装置が行う工程処理はロットの種
類に依存し、各製造装置での工程処理が終了すると、次
の工程を行う製造装置にロットを搬送して次工程を行
う。
ひとまとめにしたロットを単位として半導体装置の製造
を行うのが一般的である。ライン上には複数の製造装置
が設けられ、これら製造装置は各ロットごとに所定の工
程処理を行う。各製造装置が行う工程処理はロットの種
類に依存し、各製造装置での工程処理が終了すると、次
の工程を行う製造装置にロットを搬送して次工程を行
う。
【０００３】図１０はロットを単位として半導体装置の
製造を行う従来の半導体製造システムの概略ブロック図
である。図１０に示す半導体製造システムは、各ロット
を各製造装置１１に順に搬送する搬送機１０と、ライン
上に設置された製造装置１１を制御する装置制御コンピ
ュータ１２と、各ロットの工程管理を行うロット管理コ
ンピュータ１３とを備える。装置制御コンピュータ１２
は通常、各製造装置１１ごとに設けられるが、場合によ
っては図示のように、１台の装置制御コンピュータ１２
で複数台の製造装置１１を制御することもある。
製造を行う従来の半導体製造システムの概略ブロック図
である。図１０に示す半導体製造システムは、各ロット
を各製造装置１１に順に搬送する搬送機１０と、ライン
上に設置された製造装置１１を制御する装置制御コンピ
ュータ１２と、各ロットの工程管理を行うロット管理コ
ンピュータ１３とを備える。装置制御コンピュータ１２
は通常、各製造装置１１ごとに設けられるが、場合によ
っては図示のように、１台の装置制御コンピュータ１２
で複数台の製造装置１１を制御することもある。
【０００４】装置制御コンピュータ１２とロット管理コ
ンピュータ１３にはそれぞれユーザインターフェース部
１４，１５が接続され、これらユーザインターフェース
部１４，１５には不図示の表示装置や入力装置（キーボ
ード）などが設けられている。ユーザインターフェース
部１４は、各製造装置１１の稼働状態（処理中、保守
中、故障中など）の検出や、各製造装置１１でのレシピ
（処理内容）の読み込みや、処理パラメータの設定など
を行う。また、ユーザインターフェース部１５の表示装
置には各ロットの工程進捗状況が表示される。
ンピュータ１３にはそれぞれユーザインターフェース部
１４，１５が接続され、これらユーザインターフェース
部１４，１５には不図示の表示装置や入力装置（キーボ
ード）などが設けられている。ユーザインターフェース
部１４は、各製造装置１１の稼働状態（処理中、保守
中、故障中など）の検出や、各製造装置１１でのレシピ
（処理内容）の読み込みや、処理パラメータの設定など
を行う。また、ユーザインターフェース部１５の表示装
置には各ロットの工程進捗状況が表示される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図１１はユーザインタ
ーフェース部１５の表示装置に表示される内容の一例を
示す図である。画面には、ライン上に設置されたすべて
の製造装置１１の名称と、各製造装置１１で処理待ちし
ているロットの名称とが表示される。
ーフェース部１５の表示装置に表示される内容の一例を
示す図である。画面には、ライン上に設置されたすべて
の製造装置１１の名称と、各製造装置１１で処理待ちし
ているロットの名称とが表示される。
【０００６】一方、図１２はユーザインターフェース部
１４の表示装置に表示される内容の一例を示す図であ
る。画面には、対応する製造装置１１の稼働状態が表示
される。より具体的には、製造装置１１が現在処理を行
っているロットの情報が画面に表示される。
１４の表示装置に表示される内容の一例を示す図であ
る。画面には、対応する製造装置１１の稼働状態が表示
される。より具体的には、製造装置１１が現在処理を行
っているロットの情報が画面に表示される。
【０００７】このように、従来の半導体製造システムで
は、各ロットの工程進捗状況と各製造装置の稼働状態と
を別々のユーザインターフェース部で表示しており、こ
れら情報を同一画面上で確認することはできなかった。
ところが、半導体装置の製造を行うには、各ロットの製
造進捗状況と各製造装置の稼働状態の双方を常に把握し
ておく必要があり、これら情報が従来のように別々のユ
ーザインターフェース部で提供されると、作業者の負担
が大変に大きかった。
は、各ロットの工程進捗状況と各製造装置の稼働状態と
を別々のユーザインターフェース部で表示しており、こ
れら情報を同一画面上で確認することはできなかった。
ところが、半導体装置の製造を行うには、各ロットの製
造進捗状況と各製造装置の稼働状態の双方を常に把握し
ておく必要があり、これら情報が従来のように別々のユ
ーザインターフェース部で提供されると、作業者の負担
が大変に大きかった。
【０００８】本発明は、このような点に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、各製造装置でのロットの処理
待ち状況と、各製造装置の稼働状態とを同時に簡易かつ
迅速に確認できる製造システムを提供することにある。
ものであり、その目的は、各製造装置でのロットの処理
待ち状況と、各製造装置の稼働状態とを同時に簡易かつ
迅速に確認できる製造システムを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、請求項１の発明は、製造単位であるロットごと
に、各ロットに応じた工程処理をそれぞれ行う複数の製
造装置を備え、各ロットを前記製造装置のそれぞれに順
に搬送して対象物の製造を行う製造システムにおいて、
前記製造装置のそれぞれにおけるロットの処理待ち状況
に関する情報と、前記製造装置のそれぞれの稼働状態に
関する情報とを、表示装置の同一画面上に表示させる表
示制御装置を備える。
ために、請求項１の発明は、製造単位であるロットごと
に、各ロットに応じた工程処理をそれぞれ行う複数の製
造装置を備え、各ロットを前記製造装置のそれぞれに順
に搬送して対象物の製造を行う製造システムにおいて、
前記製造装置のそれぞれにおけるロットの処理待ち状況
に関する情報と、前記製造装置のそれぞれの稼働状態に
関する情報とを、表示装置の同一画面上に表示させる表
示制御装置を備える。
【００１０】請求項２の発明は、請求項１の製造システ
ムにおいて、前記表示制御装置は、ロットの処理待ち状
況に応じた絵文字と、前記製造装置の稼働状態に応じた
絵文字とを前記表示装置の同一画面上に表示させる。
ムにおいて、前記表示制御装置は、ロットの処理待ち状
況に応じた絵文字と、前記製造装置の稼働状態に応じた
絵文字とを前記表示装置の同一画面上に表示させる。
【００１１】請求項３の発明は、製造単位であるロット
ごとに、各ロットに応じた工程処理をそれぞれ行う複数
の製造装置を備え、各ロットを前記製造装置のそれぞれ
に順に搬送して対象物の製造を行う製造システムにおい
て、各ロットに応じた処理条件を、対応する前記製造装
置にそれぞれ設定する１つまたは複数の第１の制御装置
と、各ロットの工程の進み具合を管理する第２の制御装
置と、前記第１および第２の制御装置とデータ送受信を
行う第３の制御装置と、この第３の制御装置により表示
制御される第１の表示装置と、を備え、前記第１の制御
装置のそれぞれは、対応する前記製造装置の稼働状態に
関する情報を前記第３の制御装置に送出し、前記第２の
制御装置は、前記製造装置のそれぞれにおけるロットの
処理待ち状況に関する情報を前記第３の制御装置に送出
し、前記第３の制御装置は、前記第１および第２の制御
装置から送出された情報に基づいて、すべての前記製造
装置の稼働状態に関する情報と、すべての前記製造装置
におけるロットの処理待ち状況に関する情報とを、前記
第１の表示装置の同一画面上に表示させる。
ごとに、各ロットに応じた工程処理をそれぞれ行う複数
の製造装置を備え、各ロットを前記製造装置のそれぞれ
に順に搬送して対象物の製造を行う製造システムにおい
て、各ロットに応じた処理条件を、対応する前記製造装
置にそれぞれ設定する１つまたは複数の第１の制御装置
と、各ロットの工程の進み具合を管理する第２の制御装
置と、前記第１および第２の制御装置とデータ送受信を
行う第３の制御装置と、この第３の制御装置により表示
制御される第１の表示装置と、を備え、前記第１の制御
装置のそれぞれは、対応する前記製造装置の稼働状態に
関する情報を前記第３の制御装置に送出し、前記第２の
制御装置は、前記製造装置のそれぞれにおけるロットの
処理待ち状況に関する情報を前記第３の制御装置に送出
し、前記第３の制御装置は、前記第１および第２の制御
装置から送出された情報に基づいて、すべての前記製造
装置の稼働状態に関する情報と、すべての前記製造装置
におけるロットの処理待ち状況に関する情報とを、前記
第１の表示装置の同一画面上に表示させる。
【００１２】請求項４の発明は、請求項３の発明におい
て、前記第１の表示装置の画面内には、前記製造装置の
それぞれに対応して第１〜第４の表示領域が設けられ、
前記第３の制御装置は、各製造装置内にロットをロード
可能か否かを示す情報を前記第１の表示領域のそれぞれ
に表示させ、各製造装置の稼働状態を前記第２の表示領
域のそれぞれに表示させ、各製造装置からロットがアン
ロードされたか否かを示す情報を前記第３の表示領域の
それぞれに表示させ、各製造装置におけるロットの処理
待ち状況に関する情報を前記第４の表示領域のそれぞれ
に表示させる。
て、前記第１の表示装置の画面内には、前記製造装置の
それぞれに対応して第１〜第４の表示領域が設けられ、
前記第３の制御装置は、各製造装置内にロットをロード
可能か否かを示す情報を前記第１の表示領域のそれぞれ
に表示させ、各製造装置の稼働状態を前記第２の表示領
域のそれぞれに表示させ、各製造装置からロットがアン
ロードされたか否かを示す情報を前記第３の表示領域の
それぞれに表示させ、各製造装置におけるロットの処理
待ち状況に関する情報を前記第４の表示領域のそれぞれ
に表示させる。
【００１３】請求項５の発明は、請求項３または４に記
載の製造システムにおいて、前記第１の制御装置のそれ
ぞれに対応して設けられ、前記第１の制御装置のそれぞ
れにより表示制御される第２の表示装置を備え、前記第
１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装置の稼
働状態に関する情報と、その製造装置におけるロットの
処理待ち状況に関する情報とを、前記第２の表示装置に
表示させる。
載の製造システムにおいて、前記第１の制御装置のそれ
ぞれに対応して設けられ、前記第１の制御装置のそれぞ
れにより表示制御される第２の表示装置を備え、前記第
１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装置の稼
働状態に関する情報と、その製造装置におけるロットの
処理待ち状況に関する情報とを、前記第２の表示装置に
表示させる。
【００１４】請求項６の発明は、請求項５に記載の製造
システムにおいて、前記第２の表示装置の画面内には、
第５〜第７の表示領域が設けられ、前記第１の制御装置
のそれぞれは、対応する前記製造装置内にロットをロー
ド可能か否かを示す情報を前記第５の表示領域に表示さ
せ、その製造装置の稼働状態を前記第６の表示領域に表
示させ、その製造装置からロットがアンロードされたか
否かを示す情報を第７の表示領域に表示させる。
システムにおいて、前記第２の表示装置の画面内には、
第５〜第７の表示領域が設けられ、前記第１の制御装置
のそれぞれは、対応する前記製造装置内にロットをロー
ド可能か否かを示す情報を前記第５の表示領域に表示さ
せ、その製造装置の稼働状態を前記第６の表示領域に表
示させ、その製造装置からロットがアンロードされたか
否かを示す情報を第７の表示領域に表示させる。
【００１５】請求項７の発明は、請求項５または６に記
載の製造システムにおいて、前記第２の表示装置の画面
内には、第８の表示領域が設けられ、前記第１の制御装
置のそれぞれは、対応する前記製造装置が現在処理中の
ロットに関する詳細情報を前記第８の表示領域に表示さ
せる。
載の製造システムにおいて、前記第２の表示装置の画面
内には、第８の表示領域が設けられ、前記第１の制御装
置のそれぞれは、対応する前記製造装置が現在処理中の
ロットに関する詳細情報を前記第８の表示領域に表示さ
せる。
【００１６】請求項８の発明は、請求項５〜７のいずれ
かに記載の製造システムにおいて、前記第２の表示装置
の画面内には、第９の表示領域が設けられ、前記第１の
制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装置における
ロットの処理待ち状況に関する情報を前記第９の表示領
域に表示させる。
かに記載の製造システムにおいて、前記第２の表示装置
の画面内には、第９の表示領域が設けられ、前記第１の
制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装置における
ロットの処理待ち状況に関する情報を前記第９の表示領
域に表示させる。
【００１７】請求項９の発明は、請求項３〜８のいずれ
かに記載の製造システムにおいて、前記第１の表示装置
の画面内には、前記製造装置のそれぞれに対応して第１
０の表示領域が設けられ、前記第３の制御装置は、前記
製造装置のいずれかにおいて作業者に報知すべき事情が
生じたときに、その製造装置に対応する前記第１０の表
示領域に所定の情報を表示させる。
かに記載の製造システムにおいて、前記第１の表示装置
の画面内には、前記製造装置のそれぞれに対応して第１
０の表示領域が設けられ、前記第３の制御装置は、前記
製造装置のいずれかにおいて作業者に報知すべき事情が
生じたときに、その製造装置に対応する前記第１０の表
示領域に所定の情報を表示させる。
【００１８】請求項１０の発明は、請求項５〜９のいず
れかに記載の製造システムにおいて、前記第２の表示装
置の画面内には、第１１の表示領域が設けられ、前記第
１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装置にお
いて作業者に報知すべき事情が生じたときに所定の情報
を前記第１１の表示領域に表示させる。
れかに記載の製造システムにおいて、前記第２の表示装
置の画面内には、第１１の表示領域が設けられ、前記第
１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装置にお
いて作業者に報知すべき事情が生じたときに所定の情報
を前記第１１の表示領域に表示させる。
【００１９】請求項１１の発明は、請求項１〜１０のい
ずれかに記載の製造システムにおいて、前記ロットは複
数枚のウエハにより構成され、前記複数の製造装置は、
前記ロットごとに定められた処理条件で前記ウエハのそ
れぞれに半導体回路を形成する。
ずれかに記載の製造システムにおいて、前記ロットは複
数枚のウエハにより構成され、前記複数の製造装置は、
前記ロットごとに定められた処理条件で前記ウエハのそ
れぞれに半導体回路を形成する。
【００２０】請求項１の発明を、図１に対応づけて説明
すると、「表示制御装置」は装置制御コンピュータ４や
集中管理コンピュータ５に対応する。
すると、「表示制御装置」は装置制御コンピュータ４や
集中管理コンピュータ５に対応する。
【００２１】請求項３の発明を、図１に対応づけて説明
すると、「第１の制御装置」は装置制御コンピュータ４
に、「第２の制御装置」はロット管理コンピュータ３
に、「第３の制御装置」は集中管理コンピュータ５に、
「第１の表示装置」はユーザインターフェース部７の表
示装置７ａに、それぞれ対応する。
すると、「第１の制御装置」は装置制御コンピュータ４
に、「第２の制御装置」はロット管理コンピュータ３
に、「第３の制御装置」は集中管理コンピュータ５に、
「第１の表示装置」はユーザインターフェース部７の表
示装置７ａに、それぞれ対応する。
【００２２】請求項４の発明を、図２，３に対応づけて
説明すると、「第１〜第３の表示領域」は図２の表示領
域Ｄ３（図３のＤ６〜Ｄ８）に、「第４の表示領域」は
表示領域Ｄ５に、それぞれ対応する。
説明すると、「第１〜第３の表示領域」は図２の表示領
域Ｄ３（図３のＤ６〜Ｄ８）に、「第４の表示領域」は
表示領域Ｄ５に、それぞれ対応する。
【００２３】請求項５の発明を、図１に対応づけて説明
すると、「第２の表示装置」はユーザインターフェース
部６の表示装置に対応する。
すると、「第２の表示装置」はユーザインターフェース
部６の表示装置に対応する。
【００２４】請求項６の発明を、図６に対応づけて説明
すると、「第５〜第７の表示領域」は表示領域Ｄ11に対
応する。
すると、「第５〜第７の表示領域」は表示領域Ｄ11に対
応する。
【００２５】請求項７の発明を、図６に対応づけて説明
すると、「第８の表示領域」は表示領域Ｄ12に対応す
る。
すると、「第８の表示領域」は表示領域Ｄ12に対応す
る。
【００２６】請求項８の発明を、図６に対応づけて説明
すると、「第９の表示領域」は表示領域Ｄ13に対応す
る。
すると、「第９の表示領域」は表示領域Ｄ13に対応す
る。
【００２７】請求項９の発明を、図８に対応づけて説明
すると、「第１０の表示領域」は指示ウインドウＷ１に
対応する。
すると、「第１０の表示領域」は指示ウインドウＷ１に
対応する。
【００２８】請求項１０の発明を、図９に対応づけて説
明すると、「第１１の表示領域」は指示ウインドウＷ２
に対応する。
明すると、「第１１の表示領域」は指示ウインドウＷ２
に対応する。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した製造シス
テムについて、図面を参照しながら具体的に説明する。
以下では、複数のウエハをひとまとめにしたロットを単
位として、各ウエハ上に半導体回路を形成する例を説明
する。
テムについて、図面を参照しながら具体的に説明する。
以下では、複数のウエハをひとまとめにしたロットを単
位として、各ウエハ上に半導体回路を形成する例を説明
する。
【００３０】図１は本発明による製造システムの一実施
形態の概略ブロック図である。図１に示す製造システム
は、各ロットに応じてそれぞれ決められた工程を行う複
数の製造装置１と、各ロットを各製造装置１に順に搬送
する搬送機２と、各ロットの工程の進み具合（工程進
度）を管理するロット管理コンピュータ３と、各製造装
置１の処理動作を制御する装置制御コンピュータ４と、
ロットの工程進度や各製造装置１の稼働状態を検出する
集中管理コンピュータ５とを備える。装置制御コンピュ
ータ４は複数設けられ、１台の装置制御コンピュータ４
で１台の製造装置１を制御する場合と、１台の装置制御
コンピュータ４で複数台の製造装置１を制御する場合が
ある。
形態の概略ブロック図である。図１に示す製造システム
は、各ロットに応じてそれぞれ決められた工程を行う複
数の製造装置１と、各ロットを各製造装置１に順に搬送
する搬送機２と、各ロットの工程の進み具合（工程進
度）を管理するロット管理コンピュータ３と、各製造装
置１の処理動作を制御する装置制御コンピュータ４と、
ロットの工程進度や各製造装置１の稼働状態を検出する
集中管理コンピュータ５とを備える。装置制御コンピュ
ータ４は複数設けられ、１台の装置制御コンピュータ４
で１台の製造装置１を制御する場合と、１台の装置制御
コンピュータ４で複数台の製造装置１を制御する場合が
ある。
【００３１】装置制御コンピュータ４と集中管理コンピ
ュータ５の脇にはそれぞれユーザインターフェース部
６，７が設けられ、これらユーザインターフェース部
６，７はいずれも表示装置を備えている。各表示装置に
は、各コンピュータの管理情報が表示される。表示され
る内容の詳細については後述する。
ュータ５の脇にはそれぞれユーザインターフェース部
６，７が設けられ、これらユーザインターフェース部
６，７はいずれも表示装置を備えている。各表示装置に
は、各コンピュータの管理情報が表示される。表示され
る内容の詳細については後述する。
【００３２】搬送機２は搬送管理コンピュータ８により
無線制御され、また、ロット管理コンピュータ３、装置
制御コンピュータ４、集中管理コンピュータ５、ユーザ
インターフェース部６，７、および搬送管理コンピュー
タ８は、互いにＬＡＮ接続されている。
無線制御され、また、ロット管理コンピュータ３、装置
制御コンピュータ４、集中管理コンピュータ５、ユーザ
インターフェース部６，７、および搬送管理コンピュー
タ８は、互いにＬＡＮ接続されている。
【００３３】ロット管理コンピュータ３、装置制御コン
ピュータ４および集中管理コンピュータ５は、例えば同
一のＯＳ（例えばUNIX）上で動作し、ユーザインターフ
ェース部６，７は異なるＯＳ（例えばWINDOWS ）上で動
作する。これらコンピュータは共通のプロトコルである
TCP/IPとORB(Object Request Broker)等に基づいて互い
にデータの送受信を行う。
ピュータ４および集中管理コンピュータ５は、例えば同
一のＯＳ（例えばUNIX）上で動作し、ユーザインターフ
ェース部６，７は異なるＯＳ（例えばWINDOWS ）上で動
作する。これらコンピュータは共通のプロトコルである
TCP/IPとORB(Object Request Broker)等に基づいて互い
にデータの送受信を行う。
【００３４】ロット管理コンピュータ３は、各ロットの
処理待ち状況（待ち行列）と、各ロットの詳細情報（例
えば、ロットの品種名、ロット番号、ロットを構成する
ウエハ数、処理条件、待ち時間など）とを管理する。ま
た、この情報の中には、あるロットがある制御装置１で
の処理を終了したという情報も含まれる。
処理待ち状況（待ち行列）と、各ロットの詳細情報（例
えば、ロットの品種名、ロット番号、ロットを構成する
ウエハ数、処理条件、待ち時間など）とを管理する。ま
た、この情報の中には、あるロットがある制御装置１で
の処理を終了したという情報も含まれる。
【００３５】装置制御コンピュータ４は、対応する製造
装置１の稼働状態（例えば、処理中、保守中、故障中な
どの状態）を管理する。集中管理コンピュータ５は、ロ
ット管理コンピュータ３や装置制御コンピュータ４で管
理されている情報をORB 等により定められた手順で読み
出し、読み出した情報を必要に応じて加工してユーザイ
ンターフェース部７の表示装置７ａに表示する。
装置１の稼働状態（例えば、処理中、保守中、故障中な
どの状態）を管理する。集中管理コンピュータ５は、ロ
ット管理コンピュータ３や装置制御コンピュータ４で管
理されている情報をORB 等により定められた手順で読み
出し、読み出した情報を必要に応じて加工してユーザイ
ンターフェース部７の表示装置７ａに表示する。
【００３６】図２はユーザインターフェース部７の表示
装置７ａの画面表示例を示す図である。画面上の表示領
域は左右に大きく２つに分かれており、右側の表示領域
Ｄ１にはロットの工程進捗状況と製造装置１の稼働状態
とが表示される。この表示領域Ｄ１には、すべての製造
装置１の稼働状態が表示されるため、製造装置１の数が
多い場合には、表示文字のサイズが小さくなって見づら
くなる。このため、右側の表示領域Ｄ１の少なくとも一
部が左側の表示領域Ｄ２に拡大表示される。
装置７ａの画面表示例を示す図である。画面上の表示領
域は左右に大きく２つに分かれており、右側の表示領域
Ｄ１にはロットの工程進捗状況と製造装置１の稼働状態
とが表示される。この表示領域Ｄ１には、すべての製造
装置１の稼働状態が表示されるため、製造装置１の数が
多い場合には、表示文字のサイズが小さくなって見づら
くなる。このため、右側の表示領域Ｄ１の少なくとも一
部が左側の表示領域Ｄ２に拡大表示される。
【００３７】表示領域Ｄ２の下側にはスクロールボタン
１０１が設けられ、このスクロールボタン１０１をマウ
ス等でクリックすると、表示内容を上下にスクロールす
ることができる。
１０１が設けられ、このスクロールボタン１０１をマウ
ス等でクリックすると、表示内容を上下にスクロールす
ることができる。
【００３８】表示領域Ｄ１，Ｄ２には、各製造装置１の
稼働状態を示す情報がそれぞれ１行にまとめられて表示
される。例えば、図２の１行目には、「AB11」という名
称の製造装置１に関する情報が表示されている。これら
各行の情報はそれぞれ３つの表示領域Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５
に分かれている。
稼働状態を示す情報がそれぞれ１行にまとめられて表示
される。例えば、図２の１行目には、「AB11」という名
称の製造装置１に関する情報が表示されている。これら
各行の情報はそれぞれ３つの表示領域Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５
に分かれている。
【００３９】表示領域Ｄ３には後述するように製造装置
１の稼働状態等が表示され、表示領域Ｄ４には個々の製
造装置１の名称が表示され、表示領域Ｄ５にはロットの
待ち行列が表示される。図示の「◎」は処理待ちをして
いるロットを示し、「△」は保守の処理を行うことを示
す。「◎」は処理待ちしているロットごとに表示される
ため、この記号の数によって、処理待ちしているロット
の数を把握することができる。
１の稼働状態等が表示され、表示領域Ｄ４には個々の製
造装置１の名称が表示され、表示領域Ｄ５にはロットの
待ち行列が表示される。図示の「◎」は処理待ちをして
いるロットを示し、「△」は保守の処理を行うことを示
す。「◎」は処理待ちしているロットごとに表示される
ため、この記号の数によって、処理待ちしているロット
の数を把握することができる。
【００４０】図３は上述した表示領域Ｄ３の表示内容を
説明する図である。図示のように、表示領域Ｄ３はさら
に表示領域Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８に分かれており、表示領域
Ｄ６には製造装置１内にロットを収納（ロード）できる
か否かを示す情報が表示され、表示領域Ｄ７には製造装
置１の稼働状態が表示され、表示領域Ｄ８には製造装置
１からロットが取り出された（アンロードされた）か否
かを示す情報が表示される。例えば、アンロードされた
場合には表示領域Ｄ７はピンク等の作業者の注意を喚起
する色で表示され、その他の場合は何も表示されない。
説明する図である。図示のように、表示領域Ｄ３はさら
に表示領域Ｄ６，Ｄ７，Ｄ８に分かれており、表示領域
Ｄ６には製造装置１内にロットを収納（ロード）できる
か否かを示す情報が表示され、表示領域Ｄ７には製造装
置１の稼働状態が表示され、表示領域Ｄ８には製造装置
１からロットが取り出された（アンロードされた）か否
かを示す情報が表示される。例えば、アンロードされた
場合には表示領域Ｄ７はピンク等の作業者の注意を喚起
する色で表示され、その他の場合は何も表示されない。
【００４１】図４は表示領域Ｄ３の具体的表示例を示す
図である。表示領域Ｄ６にはロットをロード可能な状態
のときに矢印が表示され、ロードできない場合は何も表
示されない。また、表示領域Ｄ７には製造装置１の稼働
状態によって図示の（ａ）〜（ｈ）の８種類のいずれか
が表示される。「稼働」は稼働中を意味し、「待ち」は
ロットの搬送中などで製造装置１が稼働していない状態
を意味し、「段取」は準備中を意味し、「故障」は何か
トラブルが発生したことを意味する。また、「保守」は
メンテナンス中を意味し、「立上げ」は製造装置１の電
源を立ち上げている最中を意味し、「立下げ」は製造装
置１の電源をシャットダウンしている最中を意味し、
「貸出」は製造装置１を実験等のために貸出中であるこ
とを意味する。
図である。表示領域Ｄ６にはロットをロード可能な状態
のときに矢印が表示され、ロードできない場合は何も表
示されない。また、表示領域Ｄ７には製造装置１の稼働
状態によって図示の（ａ）〜（ｈ）の８種類のいずれか
が表示される。「稼働」は稼働中を意味し、「待ち」は
ロットの搬送中などで製造装置１が稼働していない状態
を意味し、「段取」は準備中を意味し、「故障」は何か
トラブルが発生したことを意味する。また、「保守」は
メンテナンス中を意味し、「立上げ」は製造装置１の電
源を立ち上げている最中を意味し、「立下げ」は製造装
置１の電源をシャットダウンしている最中を意味し、
「貸出」は製造装置１を実験等のために貸出中であるこ
とを意味する。
【００４２】例えば、図５に示すように、工程ｎと工程
（ｎ＋１）を行う例について説明する。図５は、工程ｎ
を行う製造装置１と工程（ｎ＋１）を行う製造装置１の
各表示装置７ａの表示例を示している。
（ｎ＋１）を行う例について説明する。図５は、工程ｎ
を行う製造装置１と工程（ｎ＋１）を行う製造装置１の
各表示装置７ａの表示例を示している。
【００４３】ロットが工程ｎを行う製造装置１まで搬送
され、その製造装置１にロードできる状態になると、表
示領域Ｄ６に矢印が表示される。次に、ロットがロード
されてから、製造装置１での処理を開始する準備が整う
までは、表示領域には「段取」が表示される。その後、
製造装置１での処理が終了するまでは「稼働」が表示さ
れる。次に、ロットを製造装置１から取り出す（アンロ
ードする）と、表示領域Ｄ８がピンクに変わってアンロ
ードしたことを知らせる。次に、そのロットを次の工程
（ｎ＋１）を行う製造装置１まで搬送している最中は、
工程（ｎ＋１）の表示装置の表示領域には「待ち」と表
示される。
され、その製造装置１にロードできる状態になると、表
示領域Ｄ６に矢印が表示される。次に、ロットがロード
されてから、製造装置１での処理を開始する準備が整う
までは、表示領域には「段取」が表示される。その後、
製造装置１での処理が終了するまでは「稼働」が表示さ
れる。次に、ロットを製造装置１から取り出す（アンロ
ードする）と、表示領域Ｄ８がピンクに変わってアンロ
ードしたことを知らせる。次に、そのロットを次の工程
（ｎ＋１）を行う製造装置１まで搬送している最中は、
工程（ｎ＋１）の表示装置の表示領域には「待ち」と表
示される。
【００４４】このように、表示装置７ａの画面の表示領
域Ｄ５には処理待ちしているロットが「◎」や「△」に
よって表示され、表示領域Ｄ３には各製造装置１の詳細
な稼働状態が表示される。したがって、作業者は、これ
ら表示領域Ｄ３〜Ｄ５を見るだけで、ロットの処理待ち
状況と各製造装置１の稼働状態を正確に把握することが
できる。
域Ｄ５には処理待ちしているロットが「◎」や「△」に
よって表示され、表示領域Ｄ３には各製造装置１の詳細
な稼働状態が表示される。したがって、作業者は、これ
ら表示領域Ｄ３〜Ｄ５を見るだけで、ロットの処理待ち
状況と各製造装置１の稼働状態を正確に把握することが
できる。
【００４５】ところで集中管理コンピュータ５は、ロッ
トを搬送する搬送機２にキャリア認識センサが取り付け
られている場合には、このセンサからの信号によってロ
ットがアンロードされたか否かを検出する。キャリア認
識センサは通常、搬送機２の架台の下部に取り付けら
れ、架台にロットが載置されているか否かを示す信号を
装置制御コンピュータ４に送っている。この信号によ
り、ロットが搬送機２上にあることがわかると、装置制
御コンピュータ４はロットがアンロードされたと判断す
る。
トを搬送する搬送機２にキャリア認識センサが取り付け
られている場合には、このセンサからの信号によってロ
ットがアンロードされたか否かを検出する。キャリア認
識センサは通常、搬送機２の架台の下部に取り付けら
れ、架台にロットが載置されているか否かを示す信号を
装置制御コンピュータ４に送っている。この信号によ
り、ロットが搬送機２上にあることがわかると、装置制
御コンピュータ４はロットがアンロードされたと判断す
る。
【００４６】一方、搬送機２にキャリア認識センサが取
り付けられていない場合には、製造装置１から装置制御
コンピュータ４に処理の終了を知らせる信号が送られた
ときに、その信号を集中管理コンピュータ５にも送るよ
うにして、集中管理コンピュータ５にロットのアンロー
ドを知らせる。
り付けられていない場合には、製造装置１から装置制御
コンピュータ４に処理の終了を知らせる信号が送られた
ときに、その信号を集中管理コンピュータ５にも送るよ
うにして、集中管理コンピュータ５にロットのアンロー
ドを知らせる。
【００４７】一方、図６，７は各製造装置１に接続され
たユーザインターフェース部６の表示装置の画面表示例
を示す図である。画面上の表示領域は上下に大きく３つ
に分かれている。表示領域Ｄ11には製造装置１の稼働状
態が図３と同じような表示形態で表示される。ただし、
この領域には、各装置制御コンピュータ４が管理してい
る製造装置１の情報しか表示されない。例えば、装置制
御コンピュータ４が１台の製造装置１のみを管理してい
る場合には図６の表示領域Ｄ11には１台分の製造装置１
の稼働状態のみが表示され、装置制御コンピュータ４が
複数台の制御装置を管理している場合には、図７に示す
ようにその複数台分の製造装置１の稼働状態が表示され
る。
たユーザインターフェース部６の表示装置の画面表示例
を示す図である。画面上の表示領域は上下に大きく３つ
に分かれている。表示領域Ｄ11には製造装置１の稼働状
態が図３と同じような表示形態で表示される。ただし、
この領域には、各装置制御コンピュータ４が管理してい
る製造装置１の情報しか表示されない。例えば、装置制
御コンピュータ４が１台の製造装置１のみを管理してい
る場合には図６の表示領域Ｄ11には１台分の製造装置１
の稼働状態のみが表示され、装置制御コンピュータ４が
複数台の制御装置を管理している場合には、図７に示す
ようにその複数台分の製造装置１の稼働状態が表示され
る。
【００４８】図６，７の表示領域Ｄ12には、製造装置１
が現在処理しているロットの情報が表示される。表示さ
れる情報は、例えば、ロットの品名、ロット番号、ウエ
ハ枚数、ロットの工程位置（ロケーション）情報、工程
名、処理名、待ち時間などである。なお、装置制御コン
ピュータ４が複数台の製造装置１を制御している場合に
は、図７の表示領域Ｄ11に表示された複数の情報のいず
れかをマウス等でクリックすることにより、そのクリッ
クした製造装置１の処理中のロット情報が図７の表示領
域Ｄ12に表示される。
が現在処理しているロットの情報が表示される。表示さ
れる情報は、例えば、ロットの品名、ロット番号、ウエ
ハ枚数、ロットの工程位置（ロケーション）情報、工程
名、処理名、待ち時間などである。なお、装置制御コン
ピュータ４が複数台の製造装置１を制御している場合に
は、図７の表示領域Ｄ11に表示された複数の情報のいず
れかをマウス等でクリックすることにより、そのクリッ
クした製造装置１の処理中のロット情報が図７の表示領
域Ｄ12に表示される。
【００４９】図６，７の表示領域Ｄ13には、処理待ちを
しているロットの情報が表示される。表示される情報の
内容は表示領域Ｄ12とほとんど同じであるが、処理の内
容を示すマークが各行の先頭に表示される。星印のマー
クはロットが処理待ちしていることを示し、「＋」印の
マークはメンテナンスのジョブが処理待ちしていること
を示す。
しているロットの情報が表示される。表示される情報の
内容は表示領域Ｄ12とほとんど同じであるが、処理の内
容を示すマークが各行の先頭に表示される。星印のマー
クはロットが処理待ちしていることを示し、「＋」印の
マークはメンテナンスのジョブが処理待ちしていること
を示す。
【００５０】なお、ロットの搬送をすべて自動化するの
ではなく、手動で行えるようにした製造システムも考え
られる。このような場合、作業者が、各製造装置１にロ
ットをロードするタイミングを正確かつ簡易にわかるよ
うなシステムが望ましい。
ではなく、手動で行えるようにした製造システムも考え
られる。このような場合、作業者が、各製造装置１にロ
ットをロードするタイミングを正確かつ簡易にわかるよ
うなシステムが望ましい。
【００５１】このため、本システムでは、１つのロット
の処理が終了して次のロットをロード可能な状態が整う
と、ユーザインターフェース部６，７の各表示装置の画
面上に図８，９のような指示ウインドウＷ１，Ｗ２を表
示して、作業者の注意を喚起するようにしている。な
お、図８はユーザインターフェース部７の表示装置７ａ
の画面表示例、図９はユーザインターフェース部６の表
示装置の画面表示例を示している。図８の表示領域Ｄ３
の左脇には、指示ウインドウＷ１を表示するための表示
領域Ｄ６が設けられており、この領域Ｄ６に必要に応じ
て指示ウインドウＷ１が表示される。
の処理が終了して次のロットをロード可能な状態が整う
と、ユーザインターフェース部６，７の各表示装置の画
面上に図８，９のような指示ウインドウＷ１，Ｗ２を表
示して、作業者の注意を喚起するようにしている。な
お、図８はユーザインターフェース部７の表示装置７ａ
の画面表示例、図９はユーザインターフェース部６の表
示装置の画面表示例を示している。図８の表示領域Ｄ３
の左脇には、指示ウインドウＷ１を表示するための表示
領域Ｄ６が設けられており、この領域Ｄ６に必要に応じ
て指示ウインドウＷ１が表示される。
【００５２】図８，９のような指示ウインドウは、ロッ
トをロード可能な場合だけでなく、製造装置１に何か異
常が起こった場合など、作業者に緊急に知らせる事情が
生じたときに表示される。また、図８では表示領域Ｄ３
の左脇に、図９では表示領域Ｄ11の上側に、それぞれ指
示ウインドウＷ１，Ｗ２を表示しているが、指示ウイン
ドウＷ１，Ｗ２の表示箇所は特に限定されない。
トをロード可能な場合だけでなく、製造装置１に何か異
常が起こった場合など、作業者に緊急に知らせる事情が
生じたときに表示される。また、図８では表示領域Ｄ３
の左脇に、図９では表示領域Ｄ11の上側に、それぞれ指
示ウインドウＷ１，Ｗ２を表示しているが、指示ウイン
ドウＷ１，Ｗ２の表示箇所は特に限定されない。
【００５３】上述した実施形態では、ロット管理コンピ
ュータ３と装置制御コンピュータ４と集中管理コンピュ
ータ５とに分けて、製造システムの制御を行っている
が、制御を行うコンピュータの種類や数には特に制限が
ない。例えば、別途にホストコンピュータを設けてもよ
く、あるいは１つのコンピュータで全体の制御を行って
もよい。
ュータ３と装置制御コンピュータ４と集中管理コンピュ
ータ５とに分けて、製造システムの制御を行っている
が、制御を行うコンピュータの種類や数には特に制限が
ない。例えば、別途にホストコンピュータを設けてもよ
く、あるいは１つのコンピュータで全体の制御を行って
もよい。
【００５４】また、ユーザインターフェース部６，７の
表示装置の画面に表示される表示内容や表示形態は図２
等に示したものに限定されない。各製造装置１の稼働状
態とロットの工程進捗状況とが同一画面で確認できるの
であれば、具体的な表示形態等は問わない。
表示装置の画面に表示される表示内容や表示形態は図２
等に示したものに限定されない。各製造装置１の稼働状
態とロットの工程進捗状況とが同一画面で確認できるの
であれば、具体的な表示形態等は問わない。
【００５５】上述した実施形態では、複数枚のウエハを
ひとまとめにしてロットを構成する例を説明したが、１
枚のウエハをロットして扱ってもよい。また、本発明
は、ウエハ以外の材料にも幅広く適用できる。例えば、
複数のプリント基板でロットを構成して、各プリント基
板に部品の取り付け等を行う場合にも本発明は適用でき
る。
ひとまとめにしてロットを構成する例を説明したが、１
枚のウエハをロットして扱ってもよい。また、本発明
は、ウエハ以外の材料にも幅広く適用できる。例えば、
複数のプリント基板でロットを構成して、各プリント基
板に部品の取り付け等を行う場合にも本発明は適用でき
る。
【００５６】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、各製造装置でのロットの処理待ち状況に関する情
報と、各製造装置の稼働状態に関する情報とを同一画面
で確認できるため、作業者は離れた場所にある複数のモ
ニタ画面を確認する必要がなくなり、作業性が向上す
る。また、作業者は、現時点の製造状況をリアルタイム
で把握できるため、種々の事態にすばやく対応でき、製
品の工期を短縮できるとともに、故障などの予期せぬ事
態が生じても、即座に対処できるようになる。したがっ
て、事故等を未然に防止できる。また、ロットの処理待
ち状況と製造装置の稼働状態とを絵文字で表示すれば、
これら状況を作業者は視覚的に認識でき、作業者の見落
としや勘違いをなくすことができる。
れば、各製造装置でのロットの処理待ち状況に関する情
報と、各製造装置の稼働状態に関する情報とを同一画面
で確認できるため、作業者は離れた場所にある複数のモ
ニタ画面を確認する必要がなくなり、作業性が向上す
る。また、作業者は、現時点の製造状況をリアルタイム
で把握できるため、種々の事態にすばやく対応でき、製
品の工期を短縮できるとともに、故障などの予期せぬ事
態が生じても、即座に対処できるようになる。したがっ
て、事故等を未然に防止できる。また、ロットの処理待
ち状況と製造装置の稼働状態とを絵文字で表示すれば、
これら状況を作業者は視覚的に認識でき、作業者の見落
としや勘違いをなくすことができる。
【図１】本発明による製造システムの一実施形態の概略
ブロック図。
ブロック図。
【図２】ユーザインターフェース部７の表示装置７ａの
画面表示例を示す図。
画面表示例を示す図。
【図３】図２に示す表示領域Ｄ３の表示内容を説明する
図
図
【図４】図２に示す表示領域Ｄ３の具体的表示例を示す
図
図
【図５】工程ｎと工程（ｎ＋１）を行う例を説明する
図。
図。
【図６】ユーザインターフェース部６の画面表示例を示
す図。
す図。
【図７】ユーザインターフェース部６の他の画面表示例
を示す図。
を示す図。
【図８】ユーザインターフェース部７における指示ウイ
ンドウの表示例を示す図。
ンドウの表示例を示す図。
【図９】ユーザインターフェース部６における指示ウイ
ンドウの表示例を示す図。
ンドウの表示例を示す図。
【図１０】ロットを単位として半導体装置の製造を行う
従来の半導体製造システムの概略ブロック図。
従来の半導体製造システムの概略ブロック図。
【図１１】ユーザインターフェース部１５の表示装置に
表示される内容の一例を示す図。
表示される内容の一例を示す図。
【図１２】ユーザインターフェース部１４の表示装置に
表示される内容の一例を示す図。
表示される内容の一例を示す図。
１ 製造装置 ２ 搬送機 ３ ロット管理コンピュータ ４ 装置制御コンピュータ ５ 集中管理コンピュータ ６，７ ユーザインターフェース部
Claims (11)
- 【請求項１】製造単位であるロットごとに、各ロットに
応じた工程処理をそれぞれ行う複数の製造装置を備え、
各ロットを前記製造装置のそれぞれに順に搬送して対象
物の製造を行う製造システムにおいて、 前記製造装置のそれぞれにおけるロットの処理待ち状況
に関する情報と、前記製造装置のそれぞれの稼働状態に
関する情報とを、表示装置の同一画面上に表示させる表
示制御装置を備えたことを特徴とする製造システム。 - 【請求項２】前記表示制御装置は、ロットの処理待ち状
況に応じた絵文字と、前記製造装置の稼働状態に応じた
絵文字とを前記表示装置の同一画面上に表示させること
を特徴とする請求項１に記載の製造システム。 - 【請求項３】製造単位であるロットごとに、各ロットに
応じた工程処理をそれぞれ行う複数の製造装置を備え、
各ロットを前記製造装置のそれぞれに順に搬送して対象
物の製造を行う製造システムにおいて、 各ロットに応じた処理条件を、対応する前記製造装置に
それぞれ設定する１つまたは複数の第１の制御装置と、 各ロットの工程の進み具合を管理する第２の制御装置
と、 前記第１および第２の制御装置とデータ送受信を行う第
３の制御装置と、 この第３の制御装置により表示制御される第１の表示装
置と、を備え、 前記第１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装
置の稼働状態に関する情報を前記第３の制御装置に送出
し、 前記第２の制御装置は、前記製造装置のそれぞれにおけ
るロットの処理待ち状況に関する情報を前記第３の制御
装置に送出し、 前記第３の制御装置は、前記第１および第２の制御装置
から送出された情報に基づいて、すべての前記製造装置
の稼働状態に関する情報と、すべての前記製造装置にお
けるロットの処理待ち状況に関する情報とを、前記第１
の表示装置の同一画面上に表示させることを特徴とする
製造システム。 - 【請求項４】前記第１の表示装置の画面内には、前記製
造装置のそれぞれに対応して第１〜第４の表示領域が設
けられ、 前記第３の制御装置は、各製造装置内にロットをロード
可能か否かを示す情報を前記第１の表示領域のそれぞれ
に表示させ、各製造装置の稼働状態を前記第２の表示領
域のそれぞれに表示させ、各製造装置からロットがアン
ロードされたか否かを示す情報を前記第３の表示領域の
それぞれに表示させ、各製造装置におけるロットの処理
待ち状況に関する情報を前記第４の表示領域のそれぞれ
に表示させることを特徴とする請求項３に記載の製造シ
ステム。 - 【請求項５】前記第１の制御装置のそれぞれに対応して
設けられ、前記第１の制御装置のそれぞれにより表示制
御される第２の表示装置を備え、 前記第１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装
置の稼働状態に関する情報と、その製造装置におけるロ
ットの処理待ち状況に関する情報とを、前記第２の表示
装置に表示させることを特徴とする請求項３または４に
記載の製造システム。 - 【請求項６】前記第２の表示装置の画面内には、第５〜
第７の表示領域が設けられ、 前記第１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装
置内にロットをロード可能か否かを示す情報を前記第５
の表示領域に表示させ、その製造装置の稼働状態を前記
第６の表示領域に表示させ、その製造装置からロットが
アンロードされたか否かを示す情報を第７の表示領域に
表示させることを特徴とする請求項５に記載の製造シス
テム。 - 【請求項７】前記第２の表示装置の画面内には、第８の
表示領域が設けられ、 前記第１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装
置が現在処理中のロットに関する詳細情報を前記第８の
表示領域に表示させることを特徴とする請求項５または
６に記載の製造システム。 - 【請求項８】前記第２の表示装置の画面内には、第９の
表示領域が設けられ、 前記第１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装
置におけるロットの処理待ち状況に関する情報を前記第
９の表示領域に表示させることを特徴とする請求項５〜
７のいずれかに記載の製造システム。 - 【請求項９】前記第１の表示装置の画面内には、前記製
造装置のそれぞれに対応して第１０の表示領域が設けら
れ、 前記第３の制御装置は、前記製造装置のいずれかにおい
て作業者に報知すべき事情が生じたときに、その製造装
置に対応する前記第１０の表示領域に所定の情報を表示
させることを特徴とする請求項３〜８のいずれかに記載
の製造システム。 - 【請求項１０】前記第２の表示装置の画面内には、第１
１の表示領域が設けられ、 前記第１の制御装置のそれぞれは、対応する前記製造装
置において作業者に報知すべき事情が生じたときに所定
の情報を前記第１１の表示領域に表示させることを特徴
とする請求項５〜９のいずれかに記載の製造システム。 - 【請求項１１】前記ロットは複数枚のウエハにより構成
され、 前記複数の製造装置は、前記ロットごとに定められた処
理条件で前記ウエハのそれぞれに半導体回路を形成する
ことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の製
造システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9134839A JPH10326729A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 製造システム |
| US09/084,308 US6463350B2 (en) | 1997-05-26 | 1998-05-26 | Production system for manufacturing semiconductor devices by lot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9134839A JPH10326729A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 製造システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326729A true JPH10326729A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15137678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9134839A Pending JPH10326729A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 製造システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6463350B2 (ja) |
| JP (1) | JPH10326729A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6694202B2 (en) | 2000-04-04 | 2004-02-17 | Fujitsu Limited | Production management network system, production management method and recording medium having recorded production management program |
| JP2017157858A (ja) * | 2017-05-22 | 2017-09-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、編集方法及び記憶媒体 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001257141A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Mitsubishi Electric Corp | プロセス制御装置およびプロセス制御方法 |
| US6856848B2 (en) * | 2000-04-24 | 2005-02-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method and apparatus for controlling progress of product processing |
| JP2002041115A (ja) * | 2000-07-25 | 2002-02-08 | Fuji Photo Film Co Ltd | 工程管理システムおよび工程管理プログラム記憶媒体 |
| KR100848225B1 (ko) * | 2001-09-21 | 2008-07-24 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 일괄 관리 장치 |
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