TWI361790B - Scheduling amhs pickup and delivery ahead of schedule - Google Patents

Description

1361790 * » ' 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於自動化製造環境，尤指在自動化製造環 l 境中的排程。 ° 【先前技術】 不斷成長的技術要求以及精密電子裝置之全球接受度 已產生對大尺寸、複雜性、積體電路的空前需求。在半導 體產業的競爭中要求產品要儘可能以最有效率的方式設 計、製造、以及行銷。這需要製造技術上的改良以與電子 產業中的快速進步並駕齊驅。為了滿足這些需求，產生了 許夕在材料與製程設備上的技術提升，並顯著地增加積體 '電路設計的數目。這些改良也需要電腦資源的有效利用以 -及其他極精密的設備來協助，不只有設計與製造，而且也 包括製程的排程（scheduling，本文中稱為排程或排定）、控 制、以及自動化。 二 • 首先，在製造方面，積體電路、或微晶片係從包含一 奴為幾微米大小的許多結構或特徵圖樣之現代半導體元件 而製成。該特徵圖樣係置於半導體基板的局部區域，且為 導電、非導電、或半導電（亦即，在定義區域中以換雜物而 產生導電性）。該製程一般牽涉透過一系列的製造工具來處 理數個晶圓。各製造工具執行四個基本作業中之至少2 者，於下文中會做更;^整的纣論。該四個基本作業係根據 整體程序而執行以最終生產出該完成的半導體元件。 積體電路係從半導體基板材料的晶圓而製成。在製造 93267 5 1361790 期間添加、移除、及/或處理材料層以產生組成該元件的積 體電路。該製造實質上包含以下的四個基本作業： #疊層、或添加各種材料的薄層至產出半導體之晶圓； #圖樣化、或移除添加層之選定的部份； •透過添加層中的開口摻雜、或置入特定量的摻雜物 於選定的晶圓部份，以及 •熱處理、或加熱以及冷卻該材料以於所處理的晶圓 產生所需的效應。 雖然只有四個基本作業，該四個基本作業可以數百個 不同之方式結合，其乃取決於特定的製程。請參閱，例如， Peter Van Zant, Microchip Fabrication, A Practical Guide to Semiconductor Processing (3d Ed. 1997 McGraw-Hill Companies，Inc.)(ISBN 0-07-067250-4)。 用來製造如半導體晶片的產品之設備的有效管理需要 監視製程的各種方面。舉例來說，一般需要在製程中的每 個步驟追縱現有的原物料量、在製品（work-in-process)之狀 態以及機台與工具的狀態及可用性。最重要的決策之一係 選定在特定的時間各機台應進行哪個晶圓批（lot)。此外， 用於該製程的大部分機台需要進行例行的預防保養（“PM”， preventative maintenance)與設備合格測試（“Qual”， equipment qualification)程序、以及必須定期執行的其他診 斷及重建程序等之排程，俾使該程序本身的效能不會阻礙 該製程。 一種解決此問題的方式為實行自動化「製造執行系統 6 93267 1361790 (“MES”，Manufacturing Execution System)」。市售的 MES 系統之實例包括 Applied Material 公司的 WORKSTREAM™、以及 International Business Machine 公 司的SIVIEW™。自動化MES讓使用者能夠以有限的程度 觀看與操作在製造環境中的機台及工具的狀態或實體 (entities)。除此之外，MES使晶圓批或在製品能夠加以分 派與追蹤以使資源能夠以最有效率的方式管理。 具體而言，使用者係根據在製品與實體的狀態輸入要 求的資訊以反應MES的提示。舉例來說，使用者在特定的 實體上執行PM時，操作者將該PM(“事件”）的執行輸入 MES螢幕以更新儲存於有關該實體之狀態的MES資料 庫。或者，若某實體即將「停工（down)」以進行修理或維 修，操作者將此資訊輸入MES資料庫，於是直到接下來於 該MES資料庫再次輸入「正常操作（up)」之前，防止該實 體的使用。 雖然MES系統足以追蹤晶圓批或機台，此等系統具有 幾個缺陷，其中最明顯的缺陷是其被動的本質，缺乏先進 的排程，且不能支援高度自動化的工廠作業。目前的MES 系統大部分係仰賴製造人員來監視工廠狀態並在正確的時 間點開始動作。舉例來說，晶圓批不會開始處理直到晶圓 廠技術人員（“WFT”)發出適當的MES指令。以及在處理之 前，WFT必須具有當機台為可利用時晶圓批方可於該機台 進行操作之充分預先規劃，以發出MES指令由自動化物料 搬運系統（AMHS，automated material handling system)擷取 7 93267 =批。若該WFT龄該晶圓批不夠快，或疏忽了在最 衝擊到生產。 ㈣口會成為閒置狀態而不利地 另一種促進管理的方式_如 要地提及)結合MES。：處理二7用AMHS(上文有簡 個點輸送至另一個點二如二;=將物料從-一 J 在牛導體製造廠（“fab”）中， 批晶圓在特定的處理工具上完成處理， 第2間將該晶圓批由處理工具璋口（ρ〇η)移除。該術 至，晶圓批已完成且正在等待的通知，就發出指令 =趙HS以派遣空的搬運車運送該晶圓批至其下 :二？，會用掉幾分鐘的時間用以發送與接收通知、 發出指令、以及搬運車抵達。例如，就別個處理作 二:理：程而言，每個作業延遲3分鐘會造 的累計延遲。 J时 之其係為了解決或至少減少以上提到的問題 【發明内容】 本發明係以不同的態樣與實施例用於自動化處理 :=二法與裝置’使物料輸送的搬運車在預約輪二 輸送;且在含於處理流程中排定物料 輸送的搬運車定時間期間’要求用於該物料 瞀Μ Κ 在不㈣g樣中包括電腦與計 "…、，係程式化以在自動化處理流程進行該 及以指令編碼之雷腦可吃I 1 万法，Μ 之電知可續取程式儲存媒體，當被執行時進 93267 8 1361790 行此種方法。 【實施方式】 本發明的例示實施例係說明如下。 非所有的實際實行的特徵會在本說明書；見’並 何此種實際實施例之形成中，當然必須做出數個ί ::任 的決策以達成開發者的特定目標，例如遵從與 =及與商業有關的限制’此乃依實施方式之不同

同。此外’應該瞭解’此種開發的努力，是極複雜且耗= 的’本技術領域之通常技藝者必然將受益於本發明。 第1圖係概念地例示根據本發明所建構與操作之處理 流程_之-個具體實施例的—部份。該處理流程_製 成半導體元件。然而本發明可應用到其他類型的製程。因 此’在以上討論的處理流程100中，晶圓135之晶圓批us 於處理流程i 〇〇中可更普遍地稱為，，物料（materiai)，、在所 有的實施例中，處理卫具115及於其中執行的任何處理作 業不需必,然地與半導體s件之製造有關。然而為了清晰的 目的以及更進一步瞭解本發明，附屬於半導體製造的術語 將會保留在例示的實施例之上下文中以揭露本發明。 s玄處理流程10 0之例示部份包括2個工作站1 〇 5，而 各工作站105包括與處理工具115連通的計算裝置no。 該各工作站105經由通訊連結12〇而彼此連通。在該例示 實施例中’該計算裝置110與通訊連結120包含較大的計 算系統125之部份’例如，網路。該處理工具丨丨5係顯示 於第1圖中’ §亥處理工具115處理最終會成為積體電路元 93267 9 1361790 • 參 件之晶圓135之晶圓批i3〇。該處理工具115可以是用來 製成該晶圓135之某些部份的製造工具，亦即，疊層、圖 案化、摻雜、或熱處理該晶圓135。或者是，該處理工具 (115可以是用來評估該處理流程100之各種元件之效能的 量測工具。 該處理流程1〇0也包括MES 137、自動化物料搬運系 統（“AMHS，，，automated materials handling system)i38、處 籲理資源（例如’在製品倉儲（WIp st〇cker))15〇、以及其他整 合的工廠製造等部份。為了例示的目的，也顯示兩個處理 資源155a、155b。該MES 137與AMHS 138兩者個別包括 軟體元件141、142。該AMHS 138搬運（handles)該晶圓13〇 -且協助晶圓從一工作站1〇5輸送至另一工作站以及在處理 -流程1〇0中的其他位置。該MES 137與處理資源15〇、 155a、155b係操作與用於習知的方式。該處理資源15〇係 wip倉儲，且係用以儲存介於處理工具115上的諸處理作 鲁業之間的晶圓批13〇。請注意，在替代的實施例中，該處 理責源I50可以是如在製品倉儲（work-in_pr〇gress stocker)在‘OQ^(w〇rk_in_pr〇gressrack)、或執道下儲存 器（under-track storage)。 物料的輸送，例如晶圓批130，在處理流程1〇〇中從 至另』有時也稱為“移動（move)”。該例示的實施例 係關於從一點（或來源（source))至第二點（或至目的地 (destination))之“移動”。舉例來說，晶圓批π〇可從來源 的埠口 14〇(亦即，該埠口 140之處理工具115)“移動，，至如 93267 1361790 ，的物料輸送系統。—些實施例可運用已知為“整合式 於：:=系統一收'_)，，。整合式Α_允許物料 在某”介的 义疋在些貫施例令，在不同的處理工具 上的處理作業間有可能只有—種物料輸送系統。因 ’在替代的實施例t，有可能介於該處理流程100的處 =工具115之間不是處理資源15〇。一般而言，以下物料

輸送系統的類型可在例如處理流冑1〇〇之處理流程中 得： .從第一處理工具115至第二處理工具115; .從第一處理工具115至處理資源15〇與從該處理資 源150至苐二處理工具H5;以及 - ·從第一處理工具115至第一處理資源155a，從該第 一處理資源155a至第二處理資源155b，以及從該 第二處理資源155b至第二處理工具115。 •請注意，可將稍後的方案延伸至牵涉至少兩個處理資源的 方案。然而，在例示的實施例中，該物料輸送係由該構成 的移動來排程。因此，在例示的實施例中，物料輸送系統 可能來自於下列的物料輸送系統： •第一處理工具Π5至處理資源15〇 ; •第一處理資源155a至第二處理資源i55t); .該處理資源150至該第二處理工具115 ; •該第二處理資源155b至第二處理工具115;以及 .該第一處理工具115至該第二處理工具115。 93267 12 …、心第i;㈣…㈣，与m 根據本發明所例示的方法_ -般而 的移動)排定（在1ΤΓ物料輸送(例如，第1圖中晶圓批130 處理流程_中。在例示的實::程(例如，第1圖中的 討論，此尤指包括接Μ^ 以下會做更完整的 點的預約。方法20二二：料輪送在未來的某個時間 間，要求㈣2 V 料輪送之前的預定時間期 在移動於物料輪送的搬運車叫亦即， 搬運，之位於來他 且取型與本質將會依實施狀況而異 、於4個因素’例如該AMHS1 輸送的物料。 』文屐啟用以及要 ^如’在該例示的實施例中’該物料係置於前開式晶 ® ： (W 〇Pening unified P〇d, 135之晶圓批13〇,兩者皆顯示於第！圖中。因此， 運車160係執道式的架空搬運車。然％，在一 二：如’物料或許是光罩。在此種實施例中，；搬心 料是如在此技藝中已知的光罩搬運系統的一部份。 以還有其他的替代實施例之其他方式來實行，且 =搬運車⑽之實行將因此而改變。在較不完全自動 曰^薇中，可替代地指揮技術人員165執行輸送該物料， 在k則該技術人員可視為該搬運車。 為了更進一步瞭解本發明，該例示的實施例之所選— 的技術細節將會討論。請參閱第1圖，如以上所述，該^ 93267 13 1361790 本#1r輸出系統（basic哪加/⑽㈣wtem (“BI〇s”）、輸 入/輸出驅動程式等）之—些態樣並未示出。為了清晰的目 •.的’而將&些態#省略’且才不至於將本發明混淆。然而， 〆在此領域而受益於本發明之通常技藝者將會瞭解，該計算 裝置110之軟體與硬體架構將包括許多例行性的特徵。 、在例T的Λ %例中’該計算裝置11G係使用以UNIX 為基礎（UNIX-based)的作業系統3〇〇之工作站但本發明 不褐限於此。該計算裝置11〇可以安裝於如筆記型電腦、 裝上型電腦、迷你電腦、主機電腦（mainframe computer)、 或超級電腦之任何類型的實f (vinualIy)電子計算裳置。在 -些替代的實施例中，該計算裝置11()甚至可以是處理器 -或嵌入於處理工具115中的控制器。本發明亦不侷限於以 -麵X為基礎的作業系統。替代的作業系統(例如，以視窗 為基礎（Wind〇ws™_based)或以磁碟作業系統為基礎的 (chsk operating system (“D〇s”）如⑷）也可使用。本發明 ❿並不以該計算裝置11〇之特定安裝而侷限。 計算裝置110也包括經由匯流排系統315而與儲存裝 置310(st〇rage，本文中亦有稱為“儲存器，連通的處理器 =5。該儲存裝置310 一般包括至少一個硬碟（未圖示）以^ IW機存取記憶體（random access mem〇ry(“RAM，，))（亦未圖 示）。在一些實施例中，該計算裝置11〇也可包括如光碟 330、軟式磁碟（floppy eiectr〇magnetic disk)335、或如磁帶 (未圖示）、極碟（Zip disk)(未圖示）等一些其他形式之可移 除儲存裝置。該計算裝置110包括監視器34〇、鍵盤345、 93267 15 1361790 滑鼠350，此乃連同與其相關的使用者介面軟體355而構 成使用者介面360 〇該使用者介面36〇於例示的實施例中 •—係圖形使用者介面（graphic user Interface，“GUI”），雖然對 本發明的實作是沒有必要性的。 在例示的實施例中，各計算裝置11〇包括存在於儲存 裝置310之軟體代理者365(s〇ftware agent)。顯示於第3 圖中之特定計算裝置110也包括存在於儲存裝置31〇中的 移動預約排程器（move appointment scheduler, MAS)’’375，以及“埠口 管理員（p〇rt manager)” 377，其功能 將充分揭露如下《請注意’該軟體代理者365、mas 375、 以及“埠口管理員”377可存在於處理流程1〇〇中不在計算 裝置110之處。軟體代理者365、MAS 375以及埠口管理 -員377的位置對本發明的實作而言並不重要。請注意，因 為該位置不重要，所以某些計算裝置11〇可有多個存在於 其中的軟體代理者365、MAS 375、以及埠口 377，然而其 φ他的計算裝置110可能一個都沒有。用於自動化MEs丨37 與AMHS 138(如第1圖所示）之控制系統之軟體元件141、 142也分別存在於至少一個計算裝置丨丨〇。和軟體代理者 365、MAS 375以及埠口 377相同地，該軟體元件141、142 可存在於該處理流程1 〇 〇之内的任何地方。 請參考第1圖以及第3圖，軟體代理者365各代表某 些製造領域貫體（manufacturing domain entity)，，，例如， 晶圓批（lot)130、處理工具U5、或處理資源ι5〇。該軟體 代理者365係排程整體製程中晶圓135之晶圓批的活動表 93267 16 1361790 現及控制整體製程申晶圓135之晶圓批130之進度。在這 些目的的促進中，該軟體代理者365與該MES 137和 ** ' AMHS 138之軟體元件14卜142以及與該處理工具115之 ,間係形成介面。此介面以及整合存在的方式係依實施狀況 而異，而取決於該MES 137、AMHS 138、以及其他工廠 控制系統之構成與設定。 總而s之，該軟體代理者365在特定的合格處理工具 115上還提刖排程各晶圓批130之至少一個處理作業，包 括輸送以及必要的服務。此包括做出對執行不完整批量 (batch)時之最佳決定（例如相對地等待接近中的晶圓批 (l〇ts)130)以及適時地安插預防保養（“pM,，，prevent此π -maintenance)週期或合格測試“Quals”以符合規格 (specifications)的需要。軟體代理者365排程活動；開始已 排程之活動（例如晶圓批傳輸與處理）的執行；監視工廠狀 態、預約狀態、以及工廠中的警報狀態等 •有關的活動；以及由已排程之活動或未排程之== 狀態改變而做出反應。 該軟體代理者365係排定用於在該處理工具115上處 理且需要準時抵達處理點的物料輸送之該晶圓批⑽。因 此至少有兩種類型的排程預約-處理預約與移動預約-儘管 大多數實施例會採用其他類型的預約方式。在此特定的# 施例中，、經由該軟體代理者365排程之物料輸送係構成^ 處理流程中排定物料輪送的排程，，（第2圖中的步驟2的）。 該軟體代理者365將-或多個處理作業提前排程，亦 93267 1361790 即在排定下一個物料輸送或處理作業之排程 理者365不會等待目前的處理作業或該物料輪送的1代 一般而言’該軟體代理者365提前將一些數目的處=紫 且:送列入排程以符合該已排程的處理作 業之而朱。然而，提前做排程之處理作業的精確 晶圓批130的優先程度、先進的處理 =制考罝、以及預先形成之批量（batches),因素而有所不 “預約”係棑定某些活動要發生的某—時間 預約開始時間（APP〇intment start Time，“以及= ^^(Appointment End Time, 0 疋義於承諾視窗，，（“c〇mmitment wind〇 j 處理工具115承諾以符合 W)之内。該 間取Hiest Start T職，“最於日=；"最早開始時

Delivery Time，“LTD”）所 、达時間（Latest 心、*立 義之恰間視固就是承諾視窗。 "注思，以下將會做更進—步的討論，並麵有種類的預 約均有承諾視窗。然而對各約 入 ' 、 將同時儲存預_，TE]=二合二行事層㈣ 咖]，且在例示的實施例中，此及見w _， 投標(bid)。 此已儲存的-貝訊係用於規劃 400關於在複數個處理工 約所儲存的資訊。在第4 用於處理工具τ]至τ4之 將該晶圓批13 〇列入時間 第4圖係概念地例示行事層 具1 1 5上的晶圓批1 3 〇之處理預 圖中，該晶圓批130已分別預約 處理預約APT〗至APT4。因此， 93267 /yu 表的資訊如下所示： Τι： APT] [t4, t5], CW,[t,, t8] T2： APT2[t6, t9], CW2[t3, t13] T3： APT3[tn, tI2], CW3[t7, t]5] T4： APT4[t]4, tI6], CW4[tJ0, t]9] 請注個承諾視窗會重疊，但各預約不會重疊。 (. 母一類的預約皆包括“承諾視窗 (c〇mmitment wind〇w)” 〇例如，在例 右視商 物料輸送之移動預約移至二二，用於 窗，僅包括期間（⑽約不包括承諾視 例可採用移動預約可被執行之承笔；：；，、：：=代的實施 包括蒋動葙糾ΑΛ 取泛視固。該行事曆400也 約APT,至APT :=6預：以將物料輸送移至及移出該預 搬運車之移動丨‘ 疋義。一般來說，用以集結 τ-二 =:===係相 之埠口 140移除晶圓批13〇 a具115 M2)係相對於預約開始時間而定義動預約（例如，該移動預約 以下將進一步討論，堅 有之已排程的輸送終i時間將約之前的移動預約具 始時間相㈤。例外的是在處理；^\理腳的已排程之開 (C作業以載入該處理工之則需要置入晶圓盒 情況中，該移動預約具有之已排妒5之緩衝工具。在此 置入晶圓盒預約 ^的輪送終止時間將與該 已排私開始時間相同。因此，該移動預 93267 19 1361790 約至Μ4係排定終止於該個別隨後的處理預約Ap丁1至 八打4(或者是在某些情況中為置人晶圓盒預約）排定開始 時間。 ν 同樣地，緊接於處理預約之移動預約將以已排定的 ，開始時間來排定該處理預約之終止時間。再者，例外的 :在處理預約之後需要移出晶圓盒(瞻ier_〇ut)作業 ^處理工具115之緩衝工具。在此情況中，該移動預約 /、有之已排程輪送開始時間將與該移出晶圓盒預約之 程終止時間相同。因此，該移動預約仏至％之排 始於與該處理預約ΑρΤι至apt4(或者是在某此情況中、: 移出晶圓盒預約）排程結束為同一時間。然而，一些實於 例在該處理預約之前可包括可設定的抵達時間，該處：： 約係定義物料即將遞送至用以處理之特定處理預 時間點。 八115之 用以排程預約之許多技術為這領域所習知 然而’在一個特定的實施例中，二 帘#⑽她ng market model)方式使用合約淨議 contract net neg0tlati〇n pr〇t〇c〇I)將預約列入排、= :::價協定的浮動市場模型中’由理：：： 與在合約淨議價協定中的處理有關之周 =65考1 比例而初始動作之排程。為了更進-步實行：約=以及 定以分配資源，使用了預算、成本以及比價協 洋動市場模型方式。 j <、、且合以貫行 將預算、成本以及比例之組合結構化以促進“期待的 93267 20 /^υ (dtrable)”行為，例如，符合到期的日期、機台的有效使 用更具體而言，將“預算（budget)”指定給軟體代理者 365用來獲得處理服務之晶圓才比130。同樣的，該處理工具 115向4費者索取其代表之處理服務（例如：處理的 之費用。晶圓批130須當 、付之預异、，《額取決於該晶圓批13 〇 維持進度的需求有多嚴重，而由該處理工具ιΐ5所索取費 用的總額取決於該晶㈣13G填滿其排程的需求有多嚴 重。該晶圓批130所獲得之服務多少係積極地取決於選 的因素’例如優先程度歧遲程度。處理1具ιΐ5提供此 種服務多少係積極地取決於幾個因素，例如在他們的 曆中擁塞的程度。為了協調運作，軟體代理者奶將處理 服務之消費者及提供者聯合起來以促進整體處理流程刚 中該晶圓批130以準時及有效率的方式進行。 第6圖例示於處理流程1〇〇中的處理預約之協議與排 ::第6圖也包括排程移動以符合該處理預約。在例示的 只知例中，該處理流程_包括至少兩種類 者 365 : 晶圓批排程代理者（“LSA，，)6〇5代表用於排程的目 的之晶圓批130 ;以及 機台排程代理者（“MSA，，)6 i 0代表用於排程的目的 之處理工具115。 雖然未圖示，該例示的實施例也包括其他類型的代理者。 例如，該例示的實施例包括資源排程代理者（“rsAs” 未圖示）’其表示—些處理資源（例如，光罩、測試晶圓/ 93267 21 1361790 曰曰圓盒、WFTs、保養技術人員）。該例示的實施例也包括 PM排程代理者（“pMS As，亦未圖示），其表示在個別的處 八115上用於排程目的之PMs及Quals，其中兩者均 未圖不。必須定期執行PMS As排程保養以及合格程序（若 有需要）以維持處理工具U5處於良好之狀態。該晶圓批 130、處理工具115、資源、以及PMs與Quals均具有對應 處理（processing)”代理者，上述除了晶圓批處理代理者 (“LPA”)695之外均未圖示，而當要開始排程活動執行的時 候到時，該排程代理者轉讓控制給晶圓批處理代理者69弘 —在例示的實施例中，排定代表於處理流程100中的專 些貫體之各軟體代理者365維護預約的行事磨，例如，筹 4圖中的行事曆。例如’該LSA 605持有行事層685且驾 610持有行事曆67〇。同樣的，PMs以及Quals也虽 呈代理者（未圖示）用以在抱與㈣行事曆（未圖示

士將處理流程_之處理工具出的pMs以及卩她列入 =。料在任何料的行事曆上之預約之類型將大部分 取決於持有該行事層的軟體代理I3 質。因此，LSA 605將样^ ^ . 將持有心事曆685且儲存於其中， I:::，頁约，例如第4圖，用於其個別晶圓㈣。 4 :中至谓4,但也有移動預約，例如亦在第 二圖中的移動預約MdM6。然而，出現在用 第

QuaIs、以及處理工具1ί5之行事層之pM^Q ^ 不）的預約將不會出現在由LSA 6〇5持有 圖 更具體而言，：LSA 6〇5係負定、丁 685上。 貝貝排疋目前與未來代表於 93267 22 1361790 處理流程100中的指定晶圓批13〇的作業。這些作業包括 將晶圓批130從未加工的石夕轉換成指定的半導體成品所需 要之製程以及物料搬運。LSA 605利用行事層685以追縱 已排定的作業。該行事曆685包含有順序的預約之集合， =該預約675乃代表由該LSA6〇5所排定之現行中以及 :作業，而1亥^ 6〇5將提供該作業所要求的處理服 = LSA 6〇5的行事㈣可包括各種類型的預約，： 已日日0批處理、置入晶圓盒（cardeMn)、移出晶圓盒 ΓΓδΤ (feeder) * A # ί, ^ ^ 0 i中。儘管:::=類型以及其簡短說明係總結於表 -些共同的屬性’但還是有 該作括I㈣料間、排定的終止時間、 業將化用多久的預估期間以及預約狀態。

送料器 去一^ -----—叫如 ISi 介。〇 ----- fe‘之處理作業間之作業 Γ所代表之執行處理作業 最大移動 93267 23 1361790 $ 隐610也持有預約行事層670,例如，該預約 ^表處理工|115之承諾以提供處理服務·亦即處理時 :中二之㈣？由MSA 610所排定的預約類型係於表 月’主思又有移動預'約。雖然對於物料輸送之 移動預約明確地限制該LSA6〇5之馳，但僅以暗示地， ^即間接地限制該MSA610之排程。請注意，然而在行事 曆670上以MSA610所排定的晶圓批處理預⑽6係對應 於在行事層685上以LSA 605所排定的處理預約675。 約 表2.以MSA所登記的預 預約類型 晶圓批處理 設置 合格測試（Qual) 機台批量 非排定之停機期 預約說明 全塵理工具上處理晶圓妣 —預先调好或“設置（setup)，，處理工具 查處理工具上執行預防保養。 在個別具上 試（Qual)。 將多個晶圓批組合成一批量且同時處 理 機台在未預期的停機的期㈤，以及設定 預估的期間 從如埠口 145或第1圖中的處理資源150、155至機台 痒口（例如，第1圖中的埠口 145)之LSA 605移動資源的 排程顯著地受MSA 610所影響，該MSA 610係排定以便 執仃接在移動預約之後的處理預約。該MSA 610於其行事 層上具有對應的處理預約676。該MSA 610在下文中會以 24 93267 Ϊ361790 更完整的方式說明將埠口保留區列人排程。當題 LSA 605排定埠口時，該Ms 田 … 屬性。當排定璋口時，將更新缚二=預約的兩個 = ::Γ間之屬性。當排定該處理預約時，執行痒 約係：定 =，但後續可由MSA 610加以修改。該移動預 谭口因:口有空的時間點傳送該晶圓批130至該 埠口因此，該MSA610透過對處理工具115 理來影響該移動預約的排程。 、吕 漳口 m610代表的機台之機台類型會影響隐610對 在盆虛/。機台類型可設定的屬性具體指定晶圓批130 可抵達&之最早的時間。對處理晶圓 寺=類型而言，此值可設成較大的值以便維 ，此=機器的送料。對處理晶圓批非常慢的機器類型而 _用=设成較小的值以便提升排程彈性以及非不必要 定於之卑口。在功效上’璋口之可利用時間係可設 二處=預約之“即時(just_in七me)”至處理預約之前之 對、里的任何地方。在對這些屬性的反應以及接下來 之修改中’該lsa6g5㈣/重新敎該移動預 、，]開始時間以及目的位置。 在例示的實施例中，LSA 605建立並利用“助手 e Per)排程類別物件以排定與操作不同類型的預約。此 ^助:類別物件為MAS 375,首先顯示於第3圖中。更具 動子§ Z MAS 375係用來排定與操作移動預約以及最大移 、、私動預約代表將晶圓批130(或含有晶圓批13〇之 93267 25 1361790 搬運車160)從特定的“來源”位置移動或輪送至特定的“目 的”位置之作業。可以是來源或目的位置之實例諸如特定的 機台埠口、WIP 倉儲（WIP stockers)、WIP 架（WIp racks)、 晶圓分類機（wafer sorter)、執道下儲存器（under_ti^k storage)(‘‘UTS”，有時也稱為“零佔用空間儲^ 4子器 (zero-footprint storage)’’）° MAS 375之實行將取決於AMHS 138之實行以及其於 資料儲存裝置690中之表現方式。例如，AMHS 138、 δ可以 是區間（interbay)或區内（intrabay)，可以如以上說明夕> 類型的系統而呈現對MAS 375之不同組的物料輸送。| + 該MAS 375相對於該處理流程100及AMHS 138之實施乃 依實施狀況而異，此方式對於此領域中受益於本發明 藝者將是顯而易見的。例如，物料輸送可分類為“區Μ (interbay)”，即倉儲至倉儲；或“區内（intrabay)”，即除了 倉儲至倉儲外之任何方面。因此，區間與區内物料輪; 以不同的方式實行。然而，並非所有之AMHS 138之魯h 方式包括區内與區間物料輸送，·而完全取決於其自動彳匕& 度。因此該MAS 375之實行亦根據AMHS 138之實施而& 從軟體代理者365的觀點來看，移動預約於例示的$

施例中是相當精細的，但替代的實施例可以是粗略的。I 舉

例來說，若需要輸送晶圓批從點A至點C，從點A至點B 有一預約，而從點B至點C有另一預約（而非從點a § 芝點 C有一預約）。移動預約可代表任一區間或區内物料輪$， 其乃取決於來源及目的位置之值。若兩者之位置皆為％Ip 93267 26 丄g◦丄/yu 倉儲將視物料輪运為區間；否則將視物料輸送為區内。 在例不的實施例Φ，T Q； Α γ Λ ^ ，w m A, LSA 605以至少3種類型之關係 1 1 由 AS 375。第·'種是“―般排程（general scheduling)”， 下=移ί預約以及處理預約之排程係在穩定狀態的條 /現弟一種是“初始排程（initial scheduling)，，，其中 =系出現在處理流程刚之初始化期間。第三種是％應 ==e_Ve scheduling)，，’其中排程係出現在對處理流 ❿耘100中的某些事件做出反應。 更具體而言’當LSA6G5排定晶圓批處理預約時，該 Λ利用MAS 375排定移動預約以便從其目前之位置 目剛的位置在傳輸中，若已知該目的地)輸送晶 至具有已排定晶圓批處理預約之處理工具115。 本文中將此稱為“一般排程（general scheduling)，，。本質上， 工廠的狀態為已知的，且以該已知狀態的基礎上進行該排 程。 S A 605以及各種助手排程類別亦反應於影響晶圓批 之工廠狀態改變、由服務提供代理者所初始的預約改變以 及警告事件(例如提示預約已執行超過其預約終止時間之 警告事件）。MAS 375係用來操作移動預約以反應這些情 本文中將此稱為‘反應式排程（fe⑽_ SGheduling)，，。 右所有或份之處理流程i 〇〇因某些原因而停止運 則返回原狀態時進行初始化。此初始化的部份包括決 定工廠狀態，例如各種晶圓批丨3〇現在哪裡、處理工星11 $ 目前在做什麼。可能需要輸送至少—個晶圓批13卜且需 93267 Λ 27 1361790 » * 要排定適當的移動預約。本文中將此稱為“初始排輕（inltl scheduling)’’。 ， 在例示的實施例中，LSA 605在一般排程期間藉由發 入 佈投標請求625至MSA 610而開始協議。對於各合格的處

- "n $ LSA 理工具115之MSA 610提交至少一個投標價多

605以便處理晶圓批130。該LSA 605接受該等投標償660 之其中一個。該LSA 605然後將訊息665傳送炱該1^SA

6 7 Q 610以確認該選定的投標價。該MSA 610以其行事磨 ®驗證該選定的投標價660，亦即確認該選定的投標價660 依然可實行。該MSA 610看到該選定的投標價660之1 仍舊是空的，於是排定預約675且送出投標價確認訊息680 至LSA 605。該LSA 605然後在其本身的行事曆685上排 定該預約675。當該已排程之處理預約之開始時間抵達 時，該排程代理者605、610轉讓控制給個別的處理代理 者，即LPA 695。當完成一個預約時，若是到了下一個預 鲁約應進行的時候，該LSA 605與MSA 610則開始他們的下 一個預約。若不是時候，該LSA 605、MSA 610設定警報 並等待該警報的觸發，從而指示開始下次預約的時間。 因此，處理預約（例如處理預約675、676)係登記在行 事曆上（例如行事曆685、670)而由各排程代理者（例如排程 代理者605至610)加以維護。每當登記該處理預約675時， 該LSA 605排定移動預約用以移動該晶圓批130至與該新 登記的處理預約675有關之處理工具11 5的位置。例如， 同時參考第1圖與第6圖，假設已排定的處理預約675為 28 93267 1361790 在第一處理工具115處理之晶圓批130經由琿口 14〇出去 且需要停置在第二處理工具115之琿口 145上。各LSA 605 具有請求此目的的個別的MAS 375。該MAS 375排定該預 約以將晶圓批130於該來源及目的位置之間進行輸送，例 如第一與第二處理工具115從埠口 140至埠口 145。 在這技術領域而受益於本發明之具有通常技藝者將會 瞭解，處理流程1 〇〇將包括數個搬運元件，但僅有圖示一 些處理元件，例如倉儲、晶圓分類機（wafer sorter)、軌道 下儲存器（under-track storage)、在製品（w〇rk in pr〇gress， WIP )架。例如，第J圖繪出3個處理資源15〇、1仏、 咖。該MAS 375決定該晶圓批13㈣以符合確認的處理 ，約675所需要的適當物料傳輸，或若需要的話，符合盘 處理預約675有關的先前之置入晶圓盒（earder_in)預約Γ 巧為了完成上述作業，MAS 375從資料儲存裝置㈣獲 若處理預約係下一個預約)或預計的(若處理預約 ^先夕f 一個處理作業）晶圓批130之位置，該資料儲存 裝置690是計算系統125之一 料儲存梦署Μη 4伤，如第1圖所示。該資 構，並上可可勺1 是此技广領域已知的任何適當的結 存穿置69::用丈數種資料結構(未圖示)。該資料儲 子裝置69G係用來儲存廣泛 的自動化控制，包含下列各項^㈣^可用於工庭 工 間的結合’例如，最近之倉儲至處理 例如，可能排定的處 .在晶圓廠t的某些事件期間 93267 29 /yu —位置之物料輸送期 理作業期間或從一位置至 間； •某些製造領域實體之位置，例如，晶圓批或可動的 資源之位置；以及 •工廠之狀態。 二，該資料錯存裝置含指示Α_ 138之定義與 狀九、以及整個工廠的狀況的資拜。 資料儲存裝置議因此包括如存有晶圓批⑽之晶圓 二，圖不)之目前位置的資訊。該資料儲存裝置_也包 =示^體細SI38中之各種處理卫作㈣5之關係的 貝抖’使仔於處理流程1()()中從另—點必須抵達一 料輸送得以決定。根據來源位 _ PB D* Ba 置H的位置、以及預約之

1 ^間’ MAM75決定適當的物料輸送以及排定在LSA 05之订事曆685上的移動預約。 在例示的實施例中，MAS 375“即時(細& time)”排定 ^動預約。當目前處理的預約接近完成時，lsa 6〇5通常 二:=二5:該广6°5提前排定“下-個(η，，，處 ^ °說明），而該MAS 375排定需要做出此 下：個處理預約675之物料輸送(或，若需要的話，盘下_ 個處理預約675有關的置入晶圓盒之預約)。 MAS 375在目前處理的預約完成後，排定要立即開始 的或至少儘快可合理實行 圓批u〇離開料口二使已處理過的晶 批m輸送離該處理工具】：一=理完Γ將晶圓 、U5之埠口 14〇以使其他晶圓批 93267 30 1361790 二能夠利用該處理工具115之埠口 ΐ4〇而不會延遲一 β 於：’就需要載出⑽。ad)的緩衝處理工具u5而言； 於處理預約之移出晶圓盒之預&士 十 開始該物料輸送。 預〜成後，該购375排定 然而’在—些實_中’可延遲其餘的物料輸送 的地以避免可能被後來的事件所取消的錯誤輸送。例如， 可取消與移動預約有關的處理預約，在上述例子 理 預=能不適合在最早可能時間來啟動物料輸送。延遲也 可此疋需要用以保留埠π指派作業的彈性，例>，在較古 優先位置馬上需要埠口的事件中。更進一步，璋口可能： 當繁：、’：以可能需要延遲以等候該埠口清空(cl—。 請注意，如上所述，一些類型的處理工具ιΐ5需要“載 入⑽_)”以及“載出（福。ading)，，。這些處理亦稱為“置入 晶圓盒（carder-in)，，以及“移出晶圓盒㈣如韻)，，。亦即在 晶圓批no抵達時且尚未處理前，該晶圓批13〇將需要載 入至處理工具115。-般而言，在該晶圓批13〇處理完成 後，亦需要載出。在這情況中的MAS 375因而排定物料輸 达使得該晶圓批130抵達處理工具115處而在處理之前“即 0T (just in time)載入。置入晶圓盒與移出晶圓盒之預約係 與投標價確認訊息665中之處理預約一起從MSA 61〇退回 至LSA 605。在MSA 610退回這些預約之前該msa 可能需要與代表工具載入資源之RSA(未圖示）協議。這些 協議係類似於上述第6圖中所描述的該LSA 6〇5及該msA 610間之方式進行。 93267 31 1361790 t 因此，在LSA 605與MSA 61 〇之間的協議中，該MSA ㈣不僅包括處理預约675，而且包括可能需要的任何有關 么的置^入晶圓盒（carrieMn)/移出曰曰曰圓盒（ca出㈣叫之預 約。實際上，該LSA 605肖RSA在他們個別的行事八 :::該晶圓批!3。以及工具載入資源(亦未圖示)：置二 移出晶圓盒之預約(未圖示)。因此，若處理工且 以即^氏載查入’該^ Μ對該晶㈣130排定移動㈣ 以即時抵達用以載入而不是處理。 ，這特定的實施财，移動預約之精細度係相對 根據實施方式，㈣2圖中的第一處理工具ιΐ5 接近二包括從埠，至最 155a至目二 之來源倉儲咖、從來源倉儲 工且m 儲⑽、以及從目的倉儲155b至第二處理 155b 皐口 145。凊注意，該來源與目的倉儲155a、 接近节/儲存裝置_中的資料所定，通常分別為最 例中，移勤箱〜 £之了用倉儲°然而’在例示的實施 的位置_ 排定為從來源位置（例如，埠口 140)至目 (例如::下最接近該目的位置之處理 約係直接至目沾°。 r七ack st〇rage))。不論該移動預 特定因音〜士勺位置或最接近目的的處理資源，將依一些 間)、傳輸二間(例如’目前時間、下-個處理預約啟動時 在此上'"間、以及埠口之可利用性等實施方式而定。 口 14〇視t=，可將該晶圓批·13。需要輸送的起始痒 '、置（source location)’’而該晶圓批 13〇 需 93267 32 1361790 要到達該埠口 145視A “曰沾办要η . 符合已登記的處理預^ Λ / _ 1咖Μ”以 置與目的位置可以是該 9 =MHS138或處理流程⑽之任何元件。因此，舉 Π能以未圖示之如倉儲、晶圓分類機、軌道下儲存哭、 呈二(：1)4架等任何數目的處理元件，以替代該處理工 ;; 精細的程度取決於資料儲存裝置690中 的纖s138之說明來提供MAS 375的任何特定的實施。 要求(第旦2 =1物料輪送(第2圖的步驟2〇3)，該LSA 6。5 :=，用驟2。6)搬運車集結，例如第1圖中的搬運 於- 4以在抵達那裡以前於預定的時間期間進行物料 輸：。假設顯示於第5圖之行事曆5〇”的預=: 目别於第1圖中的第—處理工具115進行處理 ^ APP1具有已排定的終止g夺間 理作業將終止的保證。如圖所闕於所代表的處 M2所排定的開始時問 .μ接下來的移動預約 相同的時間點/以將S已Β Α Ρ Ρ1所排定的結束時間為 于匕疋成的晶圓批130¾雜# , 亦顯示於第1圖中。 離埠口 140 ’ 當登記該預約APPl時，LSa y老 束前之預定的時間期間内广理預約ΑΡί>ι結 約脚】的結束係與移動預約的7時該處理預 的實施例中所定義之該預定 同。於例示 量，亦即分與秒。該預定時間係從存在於知的時間 之工廠衡量基準（咖ic)計算出或摘取出貝^館存裝置_ 中，存在於資料儲# # 出。在一些實施例 储存裝置_之-衡量基準為在處理流程 93267 33 丄3〇丄/yu

100中將搬運車i 6〇隼结至I 時間。 术至各设數個特定點所花費估計的 請注意，存在於儲存690之衡量 間的實際測量。舉例來說，在處理 疋預騎 衡量基準係集結搬運車160至特定目 叚叹的該 -番认。士0日 王将疋目的之處理工具115所 j h間的度量基準（mea瞻e)。若特定的實 達已排定的物料輸送，則將該預定二間 量基準。然而，—些實施例可能希望安 排運車160在物料輸送開始前的時間點上抵達。假設實 望搬運車16G特35㈣開始物料輸送。於是，該 預疋時間係設定成已擷取的衡量基準+35秒。 義二Ϊ: 一些實施例可能以較不傳統的度量基準來定 了咖。例如，例示的實施例指派給諸預約 各㈣4。處理預約，例如該預約術】包括從“活 (active)的狀態至“接近完 盘，+ 作業開始時H 15 舉例來說，當處理 (·、 而要15刀1里處理作業轉換至“活動中 ac:lve)”’並且可能在該作業之13分鐘標記點上 近完成（near completeV，。兮姑从 ^ 數。然而，對目前的目的而 是該處理作業之函 為該處理作業從“活動中r '，可將該預定時間期間定義 completer + # # ^ ^ ^ ^ ^ ^ar r動二二tf 697觸發時，該警報促使該LSA6G5開始進行 、:、”、2。該 LSA 605 送出訊息 699 至 AMHS 138 以 、口 AMHS 138該移動預約μ〗將開始的時間點。要求移 93267 34 1361790 $的訊息699不僅包括移動預约的啟動時間，也包括欲移 動之物料、輸送的來源位置以及輸送的目的位置的確認。 一接收該訊息699,言亥AMHS i38gp集結該搬運車16〇。 9 因此，如上所述在預定的時間期間送出之該訊息_，也 =求^搬運車16G的作用。換種方式說，該麵8138 = =99推論該集結的要求且該訊息699構成暗示的 要求以集結該搬運車160。 於是，在此實施例中’ LSA6〇5藉由透過該信息_ 通知AMHS138,要求搬運車之集結（第2圖中的步驟206) 以開始物料輸送。此特定的實施例因而將搬運車的集结 (第2圖中的步驟206)視為物料輪送的一部份。缺而，含主 注意’本發明並非如此侷限。在替代的實施例中，舉例2 該LSA 605可早獨設定警報以對該搬運車的集結 圖中的步驟綱)發送立即的要求（未圖示）。此結果可由該 AMHS 138理解成為開始該物料輪送之通知。或 方式’該LSA 605可送出通知該amhs 138之訊自_ 以要未該集結（第2圖中的步驟2〇6)，以及個別的要求（未 圖：)以開始該物料輸送。注意’後面的兩種情形 -者中’用以集結搬運車(第2圖中的步 與該警報697觸發的時間點—致。亦即，該LSA 695 = 警報075設定於該物料輪送所 』將 間之前觸發。 Μ排疋發生的預定的時間期 如上所述，例示的實施例集結搬運車（第2圖 )以“即時(一蝴㈣用以進行物料輪送，心 93267 35 1361790 晶圓批130準備好實際的運輸時，撤運車正在進 替代的實施例可提料間均相餘裕，使得搬運車抵達 用以實際的運輸並等待該晶圓批13G。對彌補在集結期間 不可預期的延遲而言，可能f要此種餘裕（耐㈣。同時， 晶圓130 _下個處理作業而言係隸屬於最大仔列時間 (maximuin queue time)，此額外的餘裕對幫助防止最大佇列 時間的違反規定可能係需要的。物料輸送 式執行。 在例示的實施例中，排程的預約包括管理登記的預 =。如上所述’ LSA 605也呼叫⑽3乃用以“反應式排 程（reactive scheduling)，，。登記的預約需經修改以符合新預 -約的排程並調整成無法預期的新情況，而該mas仍於是 -對這些事件做出反應。所登記的處理預約可經移動、取代、 取^、以及重新排程…些導致這些這些情況發生的事件 係無法預期的。例如，以晶圓為基礎的機台可能會在沒有 φ排定要做停機的動作之狀況下停機。此處理工具lb在處 理複數個晶圓130當中，可能會故障，留下一些已處理= 晶圓、一些未處理的晶圓，並且全部晶圓都在處理工具lb 上。用於該晶圓批130之MAS 375必須能夠在接受個別 LSA 605的請求之後立即排定適當的物料輸送。 如另一貫例，可將已登記的處理預約移動，此乃可能 造成已登記的移動預約移動。如上所述，各處理預約包括 “承諾視窗（commitment window)，，。該承諾視窗提 性之…。，因而允許該MSA61。“最佳二二 93267 36 丄的mo 該排程，以對在工廠之狀態中的改變或各種預約中做出反 應處理預約係視為“一連串珠子（beads on a string)，，。現 行的處理預約依需求允許在其個別的承諾視窗内，將時間 向後或向月il凋動以產生更有效率的排程。在例示的實施例 為了簡化邏輯’不允許移動預約以任一方向移動超越 牛例來說，若先前的處理預約提早完成，可在其承諾 :里=處理預約的時間向前移動。同樣地，若先前的處 '、、、仃太久，可將處理預約的時間向後移動。在任一 情況中’ MSA 61 〇通知該受影響之晶圓批！ 30之LSA 6〇5 该已登記之處理預约p对料 時m該已登記之處理預約之啟動 稱為“社去主、有稱為“開始時間，，)與終止時間（本文中亦有 〖生’V: /寺間”)之差異可改變已排定物料輪送之適當 r舉例來說’若將已排定之處理預約移動二 時間’該晶圓批130必須比由目……孕乂早之啟動 供的砗Η#旦4 4 、由目則已排疋之物料輸送所提 仪的枯間更早抵達。相 批⑽該較晚輸送。在任間意指該晶圓 適當達成該晶圓批13〇之正讀=不：的物料輸送可 移動預約可相對於相關的# 4這些情況下’ 立 子對於相關的處理預約的移動作移動 -’可將該晶圓批13〇排定多 4 置。因此，在某此Ή由 ㈣頂相抵達其目的位 心。5在:==能有幾個移動預約要移動。 且將已改變之二=;變之後’還啤叫_375 將改變之處理預約處理 S 375。右即

預約係下一個處理預約，則MAS 93267 37 /yu 375從資料儲存裝置69〇操取晶圓批i3〇之目前位置 2將改變之處理預約係在未來中之至少—個處理作章，則 AS 375擷取該晶圓批13〇在處理移動預約之前之預計的 例如，此絲包括對任何活動中的移動預約之目的 ”抵達時間之操取。言亥MAS 375檢查Lsa 6〇5之行事層 Μ以決定什麼樣的移動預約係已登記、以及哪些已登記 活動中的。該MAS 375然後根據任何移動預約是 =中’以及若任何移動預約係活動中，該移動是否 已開始荨判斷來進行反應。 的，ιΓ二而要做出改變’若已登記之移動預約為非活動中 ' S 375可移動或取消移動預約以及排定另一移動 身尚未2已登記之移動預約係活動中的，但物料傳輸本 的:更^貝1J可取消該已登記之移動預約’且可排定新 中的之移動預約。若該已登記之移動預約係或活動 幾個方式：：Γ輸本身已實際開始，則LSA 605可採取 ”待= 。該LSA 605可在活動中的移動預約 登記新的移動：：：成’然後在新的處理預約啟動時間點 通知AMHS 目的地°或是’ LSA 605可藉由 移動預約。^新了的目的地與新的抵達時間而修改目前之 目前之移動ί Γ 5可通知該AMHS138中途中斷 新的預約至雜 然後在新的處理預約啟動時間之前登記 '斤的目的地。就某種程度而言，在這此種類之 當:;:Γ㈣於該顯⑽之特定實蝴 、d間或,緊接先前期間之預約的期間比所預期的 93267 38 1361790 長時，預約也通常改變。當LSA 605以及MSA6i〇所做的 預約成為活動中時，該LSA 605與MSA 61〇設定“警報 • (alams)’’(未圖示）以於排定的預約即將$成時通知該心 *' 〇5及MSA 610。當完成任務時，通知排程代理者6〇5、 610並且關掉這些警報。若警報停止，則該排程代理者 ，、61G知道該預約沒有準時完成，因而在排程中需要做 調整。第5圖例示一此種情形。更具體而言，第5圖中， 移動預約％具有比預期更長的期間，因此移動預約吣和 預勺APP!在時間上會往後移動以調適此較長的期間。在 任一例子中，比預期更長的期間意指LSA 605呼叫MAS 375以擴大該移動預約％。若需要，則ΜΑ§奶開始移 動取/肖、以及重新排定其他之移動預約。 如以上所述 -可完全取消已登記的預約。舉例來說， 右处理工具115不再能夠在已排定之承諾視窗内符合已穴

:=你則W 605可從指示已取消處理預約二 收到狀態改變的訊息etLSA6Q5接收到狀態改 H 該LSA 6()5將從其行事層奶移除已取消 約’且開始重新排程。MAS 375也移除有關之移動預約， 且在=取消之處理預約的重新排程中開始其角色。 談改：’移動、取消、以及重新排定已登記之預約時， 在整個處理流程中呈現波狀起伏 改變係由單-軟體代理者365設立，心改變之; ，約類型以在數個行事暦上登記。舉例來說，在例干的又 貝施例中’處理預、約675係同時登記於由lsα 6〇5所維護 93267 39 1361790 復作業時，軟體代理者365需要作自身定位以決定1制生 =域實體係在何處（是否為可用的）、製造領域實體= u及需要排定什麼。所有的資訊係 置690中，且藉由以上描述= = 最新的狀態。例如’ LSA 605可存取資料儲 = 決定其晶圓批在處理流程中的哪裡。在初 = 605探索某些活動是否在進展中以及要完成該活： 排定如™於—二==該_ 芒曰HIM> 杈徘耘之期望的物料輸送。 右日日圓批130在初始期間正在輸送，MAS 375可 進行中的移動，以使該晶圓批13〇可完成。 了排^上㈣論係與軟體代理者365排程的能力有關。除 之外，軟體代理者365也初始已排定活動的執行

St說，當即將執行已耕程的作業時，排程代理者(如 广 及/或MSA 61G)㈣並監視H態改變事件。 除此之外，由於且右斟庙猫从k 預約狀態改變的原因之；理者實際上可能是初始 厂“ t/ #'_如同時用於排程中之以上所描述 =知二與傾聽器之網路來執行此監視。以下提出一個實 :及L 動預約、如何監視進度、如何轉變預約狀態 及對排疋的作業如何初始處理。 舉例來說，若即將勃杆卢 由職㈣所初始的預二以6〇5藉由接收 ⑽監視工絲態事件(亦:二，變預約狀態。腹 于（兀即，“不處理已開始或完成的事 93267 41 Μ 件）以便轉變該預約狀態。當 定的任務時，排代理者制到已完成該排 的預約狀態以及執行其他的功 更新有關 將f叙Γ ^之預約狀態改變之事件，it 將更=對應的處理預約為“已完成（co响ed)”事件並 約。兴:Γ程代理者確認已排定於行事層令的下一個預 行移動預::况’ LSA 605應具有排定在處理預約後立即進 矛夕動預約。假設在此例子中 為執行處理哕曰 、夕動預，·々具有之來源位置 H0以；：Γ 〇上之處理工具115之工… 理工具的地位置為與用於下一個處理預約之處 户孫一 阜口 145最接近的處理資源150。請注音， 處理貧源150盥第-虛搜丁目"c 心 存裝置690日阳 結合係儲存於資料儲 ...〇 因此旎立即由605及其他者所確定。 下一伽王代理者將取得下一個預約之啟動時間。若已到達 所述勺、1之啟動時間’排程代理者將執行數個功能（如下 ^括减該預約。在所舉的實 約的時間已刭揸。认3 「们移動預 態為“活動;疋’ MAS 375將改變該移動預約的狀 2', (actlve)”’且將通知其個別的晶圓批處理代理 作紫夕r〇cessing agent，“LPA”）以初始與移動預約有關的 ，、、、处理。根據本發明，在移動預約啟動時間之前，如 域述，代表LSA6G5之MAS 375亦要求用以移動預約之 搬運車的集結（第2圖的步驟206)。在此例子中，LpA 695 將以適當的指令和彳AMHS 138用以開始適當的傳輸。 LSA 605下-步將建立在移動預約之已排定的結束時 93267 42 1361790 間點觸發之警報“終止時間警報（end time alarm)”。此警報 將加到系統的警報鐘（未圖示）以指示何時應該完成該物料 輸送。LSA 605利用訂閱者以監視如上所述之工廠狀態改 '變事件。在監視移動預約的例子中，晶圓批位置的改變指 示了已排定之物料輸送任務之進度。最初，LS A 605應接 收到指示該晶圓批位置已經從工具埠口 140改變成在輸送 位置中的工廠改變事件。該改變係由從工具埠口 140移除 含有晶圓批130之晶圓盒（未圖示）的AMHS 138(或WFT ❿165)所初始。在此點上，LSA 605請求MAS 375將移動預 約從活動中的狀態轉變成“處理（processing)’’狀態，指示物 料輸送係在進展中。若與此狀態改變有關的作業需要動作 以初始之，則通知該對應的LPA 695。 接著，LSA 605應接收到工廠改變事件，該工廠改變 狀態事件指示晶圓批位置已經從輸送位置改變成與已處理 該晶圓批130之處理工具115之最接近的處理資源150的 鲁位置。當AMHS 138偵測到已抵達WIP倉儲之輸入埠口（未 圖示）的晶圓盒時，由AMHS 138初始此改變事件。在此點 上，當晶圓批135已抵達其目的位置時，MAS 375將移動 預約從“處理（processing)’’狀態轉變成“已完成（completed)” 的狀態。除此之外，若由於此事件而應該執行處理以及若 物料輸送比預定的更早完成而移除終止時間警報（較早的 設定）時，則通知LPA 695。 當移動預約完成時，LSA 605會設法於其行事曆685 上找出下一個預約。假設移動預約是下一個預約。此預約 43 93267 1361790 » · 的來源位置係處理資源15〇之位置且該目的位置係盘將執 行接下來的處理預約之該處理工具115之最接近的WIP倉 .儲155。在此實例中，此移動預約的啟動時間會在未來發 •生。結果’LSA 6〇5將警報（“開始時間警報，，）建立在用以^ •始該移動預約的時間點觸發。請注意，警報係設定在實際 上在已排定的移動預約啟動時間之前的時間。此警報係加 入至該系統的警報鐘。 #觸發警報時，該警報將會召回LSA 605 〇LSA 6〇5 •將呼叫MAS 375以改變移動預約狀態為“活動中 (active)”。除此之外’ LSA 6〇5將通知其個別的LpA奶 以開始該預約的處理。根據本發明，LpA 695將送出適各 -的指令、給amhs m以開始搬運該晶圓13〇之晶圓盒^ 動，此乃包含第2圖中該方法200之使用。該LSA 6〇5也 建立終止時間警報。職’ LSA 6G5接收到工廢改變事件， 該事件指示晶圓批的位置已從來源處理資源15〇改變成輸 #送中的位置。此事件起因於該AMHS 138仙到離開處理 資源150之晶圓批的晶圓盒。 LSA 605將呼叫MAS 375以將移動預約從“活動中 ㈣㈣”狀態改變成，，處理狀態（pr〇cessing state)”，且假使 在此階段需要處理，則將呼叫LPA 695。假設在以_ 接收到後續的晶圓批位置改變事件之前，觸#終止時間警 報：此指示移動預約已執行超過整個已排定的期間，類办； 於第5圖中所顯示的情況。題375將計算該預約新的終 止時間’假如需要的話將接下來預約向後移動、修改移動 93267 44 1361790 預約之終止時間並設定新的終止時間警報以反應該擴充的 移動預約。 / 然後，LSA 605接收到工廠改變事件，該事件指示晶 圓批的位置已從輸送中改變成目的WIP倉儲1 55。此事件 起因於AMHS 138偵測到晶圓盒到達目的WIP倉儲155之 輸入埠口（未圖示）。MAS 375將移動預約轉變成“已完成 (completed)”狀態並初始LPA 695用於可能的處理。重複此 循環以反應工廠狀態改變、警報觸發、以及後續的已約定 •之預約之預約狀態改變。 先前未討論之本發明的一個態樣係埠口管理。茲參考 第1圖，晶圓批130經由埠口（如埠口 140、145)進入並離 - 開處理工具115,如先前所述。示於第6圖中的MSA 610 . 呼叫顯示於第3圖及第6圖中稱為“埠口管理員（PtM, port manager)”377之助手類別物件以協助管理其埠口。除了所 述事件外，PtM 377追蹤個別的處理工具115之埠口的使 •用以及可利用性。PtM 377在先前所述的排程處理期間也 提供此資訊至MS A 610。以此方式，MS A 610通常設定埠 口作為LSA 605所反應之目的地及埠口可利用時機（port availability times)。因此，可對晶圓批130排定移動予員約（例 如，顯示於第4圖的移動預約Μι至M6)以移入並離開顯示 於第1圖中之個別的埠口 140、145。 透過此埠口管理，MSA 610影響LSA 605之排程。具 體而言，PtM 377判定特定的埠口何時可用。MSA 610從 PtM 377得到此資訊並將此資訊建立成為投標價660，而該 45 93267 1361790

貝訊在有關於第6圖所討論的投標處理期間呈交至LSA .r 5因此，各投標價660包括由PtM 377所決定的埠口指 /氏及埠口可利用時間。當 町门田6U5接叉投標價060時，該 6:5也透過輪375在可用的時間點或儘可能接近可 ，㈠間點排定需要使晶圓批130送至指定❸阜口之移動 ，約。因此’雖然MAS 375沒有為晶圓批13〇做排程，但 ，PtM 377的操作，MAS 375會強烈影響代表晶圓批⑽ 之排程。

第3圖及第6圖所示經由已知為AMHS 138的一部份 的物料控制系統“(MCS，Matedal c〇ntr〇1㈣叫”删開 σ :、執行已排疋的移動預約。在先前的實施例中，3 相對於蜂口 —次執行—個移動而不會留意已排定或在進度 中的其他订動。因此，在一些情況中，當即將執行移動至 槔口時，因蟑口被佔據或其他原因而無法使用 產生。 雙尺f 例如在McS 380執行離開埠口之另一個晶圓批13〇 之移動之前就執行一個晶圓批13〇至璋口的移動時，由於 ^車口仍然被佔據’有時候問題便會產生。言亥MCS 380不會 考慮執仃兩個移動的順序。該Mcs 38〇僅執行下一個移動 預，勺而不會留思彼此間的干擾。若此情況發生，例如可主 知MCS 38G循環—次以察看埠口是否成為可用或輸送: 圓批130 S UTS 〇任—種方式，可延遲或取消相關的處理 預約，此乃會影響其他已排定之預約並增加需要處理晶圓 批130之排程活動的程度。 93267 46 1361790 τ藉由在介於與特定埠口有關之已排 些取小延遲而減少這些情況的發生。 耖勃間加入某 投標價、處理預約、以及移動預 =用以處理預約之 用時間屬性，所以在以上述之移動口以及埠口可利 入延遲。此延遲應有足夠的一段期間 γ間可以加 以讓埠口能用於進至埠口的移動。 2 口的移動足 實例可能相當小，但在處理流程中4延遲對特定的 ㈣。 W累積的延射能會相當 I Τ的實施例可㈣—個“個機制^理這此情 / 1先，MCS 380可追縱特料σ之移動的“順序㈤ =得在進人該埠口的移動之前，先執行離開埠口的移動。 第一，假設有—個璋口是滿的而有另_個可用的埠口 可做動態的重新配置至另一個可用的璋口㈠車口管理員 377可做重新配置’並發訊號至鳩耶i %。或該施則… 在，解該指定的埠口係滿的之後，可透過msa㈣啤叫璋 口官理員377以確認可用的痒口’然後將發送重新配置之 訊號至埠口管理員377。藉由存取資料儲存裝置_，該 AMHS 138係能夠判定埠σ是否是有空的，此顯示於第6 Θ中而弟6圖包含工薇之狀態。或，AMHS 13 8及埠口 官理員377可以某種其他方式交互作用以動態重新配置該 埠口指派為可用的埠口。萬一因為缺乏可用的埠口而導致 動悲重新配置失敗’則可通知MCS 380循環一次察看埠口 是否成為可用或輸送晶圓批13〇至UTS。 在例示的實施例中，本發明係使用物件導向程式設計 47 93267 1361790 的技術（“OOP，，，〇bjectorientedpr〇g_ 本發明可使用非物件導向程4> + τ… 卜干等向耘式设计的技術來實行。軟體代 理者365係實行如同物件及有智慧的、知曉狀態、以及灌 ^以該軟體代理者365自動開始行為以達成特定的目 心其彳τ為可以疋以指令碼為基礎（sedpt_based)或以規則 為基礎（rules-based)。設計該行為以達成選定的目標，例如 達成指定的晶圓批到期曰期、達成預先定義之品質的程 度:機台使用的最佳化、排定機會性預防保養。MAS 375 也只订如同物件，但為不同類別的物件-稱為“助手 (helper)”類別。助手類別係一種物件的類別’係為軟體代 理者365所委任各種責任的許多物件或在處理流程_中 提供某種有用的服務的許多物件。上面提到的通知哭盘傾 聽器亦是助手類別物件。 〃、 因為例示的實施例是在OOP的環境中實行， 透過呼叫各種“方法（method)”來實行該排程功能性。該

MAS 375呼叫不同的方法乃取決於該MAS 375被呼叫S 用於般排私、反應式排程、或初始的排程。然而，本; 明不文限於此實施。在替代的實施例中，可將歸屬於 375之功能性結合至LSA 6〇5而非委任助手物件。甚至，

該功能性可使用替代00P的技術來實行。本發明不為本每 行之態樣而受限。 ‘' R 因此，由以上討論，顯而易見地，在本文的詳細敘水 ^某些部份，係以軟體實行絲加^現，該過程牽= 計算系統或計算裝置中之記憶體内的資料位元上之作業= 93267 48 1361790 符號代表。這些說明與代表為此技術領域之人 ，作之主旨傳達予此領域其他技術人士的最有效方：將此 处理與作業需要物理量之實體操作。通常，雖然非必要地， 這些數量採取能夠被儲存、轉移、結合、比較、以及並他 方面的操作之電氣、磁性或光學信號的形式。主要因為旅 較用㈣因，將提到的㈣訊_如位元、數值、元7 付號、字元、數字等來表示。 然而，須知’所有的這些以及類似的術語係與適當的 物理量有關且只是應用到這些數量之便利的符號。除非呈 體陳述或用其财式陳述，_易見地，本發財所有^ 些說明係參照電子裝置之動作與處理，將在某些電子裝置 的儲存裝置内以物理量（電子、磁性、或光學）表示之資料 操作與轉換成為在儲存裝置内、或傳輸中、或顯示裝置以 物理量表示的其他類似的資料。表示此種說明的術語之實 例係/又有限制，該術語如“處理、“吁算 (computing)”、“計算（calculating)”、“判定（determin㈣”、 “顯示（displaying)” 等。 然而，在此技術領域受益於本發明之具有通常技蓺者 將會瞭解，並非以上說明之所有本系統之軟體元件有必要 可直接彼此溝通。例如’軟體代理者365、工廠控制系統(例 如，AMHS 138)、以及處理工具115彼此間可能無法直接 溝通。在此種類型的系統中，這不是不常見的事件。於是， 減習知的實施，本發明之各種實施例―般將採用解譯 器、轉接器、以及介面以促進此種溝通。例如，在例示的 93267 49 1361790 實施例中，與AMHS之溝通係、透過AMHS轉接 而與處理工具115之溝通係透過“設備介面，，來進彳_。: ’ 是已實行的軟體，且作為“翻譯者（translatQr)，,^d些 軟體元件之語言翻譯成為另一軟體元件的語言。 固 請注葸 令货听又貫行態樣的軟通一瑕於裎式 介之某種形式上編碼或在某些類型的傳輸媒介上實一。子媒 程式儲存裝置可以是磁性的(例如，軟式磁碟或硬：或： 學（例如，唯讀光碟記憶器（c〇mpact咖咖一〇 _町’或“CD R〇M，，)），且只能讀取或隨機存取。同檨 的，傳輸媒介可以是雙絞線、_電魔、光纖、或習 此業界之某些其他適當的傳輸媒介^發明不受限於此 任何特定的實施之態樣。 、二 在此技術領域受益於本發明之具有通常技藝者將 解’本發明在不同的態樣與實施财將提供數個超越二業 界的目前情況之優點。例如，在—些實施例中，因為在士 成移動的時間點上’該埠口將會空出，所以即使該目的: 目月"皮佔有’但仍可在期望的啟動時間點上開始移動。習 知的系統在啟動移動或甚至集結搬運車之前必須等待直到 清：該目的地。在OOP實行的實施例中，可藉由如機台類 型寻由外部設定在移動前送出集結的要求的預定的時間。 此外’可由外部設定相對於處理預約之埠口可利用性。例 如’處理晶圓批130非常快速之處理工具，115之蜂口的可 利用性可由外部設定’使得槔口的可利雜與開始處理預 約之間僅有短暫的時間。相反地，處理晶圓批13()慢的處 93267 50 1361790 理工具】】5在痒口沾 可能具有相丄的啟動時間之間 派也提供了較大的彈柯月的—些貫施例在埠口的指 處整體而言係減少了〜本=而言’這些類型的優點與好 汽订本發明的處理延遲。 本發明不僅在實行上容許 Β , „ , 丁續之的的變化，在庳用 疋如此。例如，物科可以是除了晶圓批之外的東：二: 来Μ-之盧理咨,、s η 的果西’例如 尤卓之處理貝源。晶圓製造 幾個處理工且品丄JIL ^瓜已括採用光罩的 處理工具’而光罩係同時由數個處理工具共 官理系統控制光罩的使用'位置、以及管理 4月末達成然而，AMHS管理許多類 如測試晶11、晶圓盒# H ⑥^原例 而/、輸达可採用本發明。甚至， 如上所述，本發明甚至可谨 處理流程中。 了運用在非生產半導晶圓之產品的 綜上所述。以上揭露的特定實施例僅做例示之用， 發明可以不同但同等的方式作修改與實作，這些方式對在 籲於此技術領域而受益於本文之教導之具有通常技藝者係顯 而易見的明主思，未时論之進一步的變化在其他的實施 例中仍可運用。此外，本發明不是要侷限此文中所示出的 結構或設計之細節，除了如以下申請專利範圍中的說明。 因此很明顯地’以上所揭露的特定實施例可改變或修改並 y斤有此種變化係視為涵蓋於本發明之範嘴與精神内。於 是，本文尋求的保護係如以下之申請專利範圍。 【圖式簡單說明】 藉由參考以下結合附圖之說明，可瞭解本發明，其中 93267 51 1361790 且其中： 所建構與操作的處理 相似的元件符號係代表相似的元件， 第1圖係概念地緣出根據本發明 流程之一特定實施例之一部份； 例 第2圖係例示根據本發明而實行的 方法之一特定實施 -第3圖係以部份的方塊圖概念地綠出於第ι圖中的電 腦兀件的個別選定的硬體與軟體架構之部份； ^ 第4圖係概念地繪出已登記的預約的行事曆； 第5圖係概念地例示將已登記的預約改變以符合先前 登記預約所發生的不可預期的長期間之狀況；以及 第6圖係概念地繪出第丨圖的裝置之一特定實施例， 亦即，從半導體製造薇的處理流程之一部份。 雖然本發明谷許各種修改與替代形式，然而本發明的 具體實施例係藉由圖中的實例顯示且於本文中以細節描 述。然而應該療解，本文中具體實施例的說明並非要侷限 鲁本發明所揭露的特定形式，相反地，本發明是要涵蓋所有 洛於本發明申清專利範圍所定義之精神與範疇下之修改、 等同物、以及替代物。 【主要元件符號說明】 100 處理流程 105 工作站 110 計算裝置 115 處理工具 120 通訊連結 125 計鼻糸統 130 晶圓批 135 晶圓 137 製造執行系 統（MES) 52 93267 1.361790 138 自動化物料搬運系統（AMHS) 140、 145 埠口 141、 142 軟體元件 143 伺服器 150、 155a ' 155b 處理資; 160 搬運車 165 技術人員（WFT) 200 方法 203 ' 206 步驟 300 作業系統 305 處理器 310 儲存裝置 315 匯流排糸統 330 光碟 335 軟式磁碟 340 監視器 345 鍵盤 350 滑氣 355 使用者介面軟體 360 使用者介面 365 軟體代理者 375 移動預約排程器（MAS) 377 埠口管理員（PtM) 380 物料控制系統（MCS) 400 ' 500 ' 670 ' 685 行事曆 605 晶圓批排程代理者（LSA) 610 機台排程代理者（MSA) 625 投標請求 660 投標價 665、680、699 訊息 675 > 676 預約 690 資料儲存裝置 695 晶圓批處理代理者（LPA) 697 警報 53 93267

Claims (1)

1361790 第94!p83 /號專利 補充本 申請專利範圍： , ^ ^ ---•側兀 i•一種在自動域黯程中用在触之方法，^^ 以下步驟： 乃古巴括 在該處理流程中排定物料輸送；以及 輸送Sr::前的預㈣間期間’要求用於該物料 2. 圍第1項之方法，其中’該物料輸送之排 疋包括鐽别排定用於該物料輸送的預約。 3. 如申請專利範圍第μ之方法，其中，該物料輸送之排 cm處理工具至第一處理資源、從該第- 播：欠篇叫咕^攸該弟—處理資源至第二處 -*理$源、從第二處理資源至第-處理I目 -處理工具至該第二卢冑：具、以及從該第 .,.±* μ 一处理工具之物料輪送之1中一者。 4_如申言月專利範圍第3項之 、者· 與該第二處理資源之至少—者包括二該弟一處理賢源 類機、在Ρ加在製品倉儲、晶圓分 微在衣口口木、執道下儲存器之t中一者 5·如申請專利範圍第1項.之方法，其中，物祖。 送之排宗句扭Μ〜 '、 物料之該物料輸 达之排疋包括排定以矽為基 輸送。 雙的日日圓批或光罩之物料 < I:申請專利範圍第4項.之方法，其中 與該第二處理工具之皇少一生 处理八 之其中一者。 ··' 者係衣化工具與量測工具 7.如申請專利範圍第丨項之 定包括設定用以要求該物料輪k㈣該物料輸送之排 93267修正本 54 8.:t:專利範圍第1項之方法，其中，要求nr:: 間。 ’ 系統該物料輸送之開始時 9. 如申請專利範圍第丨項之 定包細應在該處理“巾’、’ 送之排 的預約。 甲諸If况而修改該物料輪送 10. 如申請專利範圍第9項之 括將該物料輸送移至較早的瞎^該預約之修改包 晚的時間、延展該預約:短: = 移至較 改該預約而在預約期間右J細短該預約的時間、修 -者、中斷哕㈣…有新目的地或抵達時間之其中 •該預約。並排定新預約、以及取消並重新排定 如申4專利範圍第i項 物料輪送之步驟。 &復匕括執付已排定之 2.如申睛專利範圍第U 13·如申-專：新配置該目的地之埠口指派。 理作*之::圍第1項之方法’復包括排定該物料之處 第1項之方法，其中，該物料輸送之排 移動預約排程哭之軟體排程代理者呼叫軟體應用 15.H=:=:r:::r= 應式排裎之其中一者。 裎、以及反 93267修正本 55 16. 如申請專利範圍第 （97年ίο月2〇日、) 的預定時間期間隹二方法，其中，在該物料輸送前 驟，包括集結上、=該物料輪送之搬運車的步 時抿it，、°枓輪迗之搬運車，使該搬運車即 枯抵達，以便進行該物料輪送。 早P 17. 如申請專利範圍第〗項之 的預定時間期間集# J ’在該物料輪送前 ㈣括集結用於;;::::=了運車的步 時抵達，以便等待進行該物料輸送。彳該搬運車及 18.如申請專利範圍第2項之 驟包括隱含地要求該集結。-’要求該集結之步 Ο·如申請專利範圍第1項之方法甘士 騾包括明確地要求該集結。，、中’要求該集結之步 • 20.如申請專利範圍第】項 W使得在..輸送第二物:=== 弟一物料轉出埠口。 钔可將 修2】.如申請專利範圍第J項之方 定包括排定傳送至由處理工星：該物料輸送之排 22.如宇請專利…由處理工具所指派之處理工具埠口。. J:專利4圍第21項之方法，其中， 之排定包括排定該傳送於工 、該車 傳送至該埠口。 〃所4曰派的時間 23.:申請專利範圍第21項之方法，其中 / 處理工且透讲嬙厶扭 ’、 阜口係由該 24H 機排程代理者而指派。 •请專利範圍第23項之方法n 包括呼叫埠口管理員。 〃甲該埠口之指派 93267修正本 56 1^61790 25 ‘ * & * 第9413_號專利申請案 .如申凊專利範園第I項之方法甘+ (97年1〇月2〇曰） 定包括排定該傳'、，該物料輸送之排 至該埠口。运於由該處理工具所指派的時間傳送 26. 如申凊專利範圍 .定係受到輪送之目的地的影響。其中，該物料輸送之排 27. 如申請相範圍.第％項之方法， 排定包括排定傳送至由處理工且所、：該物料輸送之 〇 . 蜒工具所指派的處理工具埠 28. 如申請專利範圍第27項之方法， 口之排定包括排定該傳送於由該卢 该傳运至該琿 間傳送至該埠口。 工具所指派的時 29. 如申請專利範圍第％項之方法， 排定包括排定該傳送於由該處理工、:所；之 送至該埠口。... 一所“派的間時傳 3〇·—種以指令編碼之 時，執行用在白當由計算裝置執行 仃用在自動化處理流程中之排 的方法包括下列步驟： 、，^編碼 在該處理流程中排定物料輸送；以及 在該物料輸送前的預定時間期 輸送之搬運車集纟士。 用於該物料 31:申請相範圍第3G項之㈣ 工具至第=理:Γ輸送之排定包括排定從第一處理 具、從”二從該第一處理資源至第二處理工 4-處理賁源至第二處理資源、從第二 93267修正本 57 ^61790 第94136837號專利申請索 源至第二虚 （97年】〇月20日] 乐處理工具、以及從該第一處理 ） 理工具之物料輪送之其中一者。 ”至該第-處 Ή請專利範圍第3〇項之程式儲存媒體，其中，在今 、為碼的方法中， 在該 搬運季秘兮必射/ &木…之乂騾包括通知自動化物科 系統該物科輸送之開始時間。 'Π請專利範圍第3〇項之程式儲存媒體，其争，在該 中物料輸送之排定包括反應該處理流： 連If况而修改該物料輸送之預約。 34.2Γ專利範圍第30項之程式储存媒體，其中，在, ^碼的方法t，於該物㈣補之預 4 送之椒.蛋由 乂鄉包括集結以於該物料輸 送。運車，使該搬運車即時抵達，以便進行該物料輪 3==利範圍第30項之程式儲存媒體，.其中，在該 =的方法中，於該物料輸送前之預定 於該物料輸送之搬運車的步驟，包二用 ，送之搬運車，使兮搬運|月“用於該物料輸 料輸送達’以便等待進行該物 36·如申請專利範圍第30項之程式儲存媒體，其 =石馬的方法中要求該集結的步驟，包括隱含地要求該= I如申請專利範圍第3〇項之程式儲存媒體，1中. 1碼的方法中要求該集結的步驟，包括明確地要求該= 結0 93267修正本 58 1361790 S 94136837號專利申請棄 38.—種計算系統，包括： （97年W月20日) 計算裝置； 匯流排系統； 透過該匯流排系統*與處理器連通的儲存裳置；以 及 .存在於該儲存|置之軟體應用程式，當由 置觸發時，執行用在自動化處理流程中之排 、 該方法包括以下步驟： 去’ 在該處理流程中排定物料輸送，以及 在該物料輸送前的預定時間期間，要求用於該物粗 輸送之搬運車集結。 . ^ 39·如申請專利範圍第38項之計算系統，其中，於該方法 令該物料輸送之排定包括排定從第一處理工呈至第一 處理資源、從該第-處理資源至第二處理工具、'從該^ 一處理資源至第二處理資源、從第二處理資源至第2處 理工具、以及從該第一處理工具至該第二處: 料輸送之其中一者。 〜理工具之物 4〇.如申言奢專利範圍第38項之計算系統，其中，在該方法 中要求該集結之步驟包括通知自動化物料搬却 物料輸送之開始時間。.該 4】.如申請專利範圍第38項之計算系統，其中，在該方法 中該物料輸送之排定包括回應在該處理流程令之諸情 况而修改該物料輸送之預約。 月 42.如申請專利範圍第38項之計算系統，其中，在該方法 93267 修 JL 本 59 ，中於該物料輪送前之預定時間期間集結用月^ 运之搬運車的步驟，包括集結轸:：’:輸 車，使該播運車即時抵達，以㈣,物科輸达之搌運 n“達便進行該物料輸送。 ·.如申明專利範圍第38項之計算系統，其中 中於該物料輪送前之預定時間期 ：= 送之搬運車的步帮，包括集結用於該=輪 車，使哕詉$ * 、邊物科輸达之搬運 44如申^利 時抵達’以便等待進行該物料輸送。 如U利乾圍第邛項之計算系統 中要求該集沾之牛鄘 .、Τ 在該方法 45如由-奎 隱含地要求該集結。 .如申句專利範圍第38項之計算系統，其中， 46=:集結之步驟，包括明確地要求該集結/ 動化處理流程中用在排程之方法，該方法包括 制數個製造領域實體的第一部份而排定由該 p項域貫體之第二部份所提供之處理服務之消耗；以 定 透過該製造領域實體之第二部份的管理影響該排 47.如申請專利範圍第46項之方法， 排定包括排定物料輸送與排定處理少:卩 1申請專利範圍第46項之方法，其中，代表該第一部 心！ί包括代表以石夕為基礎的晶圓批或光罩之排定。 申"專利範圍第46項之方法，其中，排定由該製造領 93267修正本 60 丄此i/州 步號辱利申請案 域實體的第二部怜鉍扭 （97年10月2〇日） 括排定由光軍座=仏供之處理服務之消耗的步驟包 務之消耗。 工“之至少-者所提供之處理服 50.如申請專利範圍第46項之方法 服 •務之消耗的步驟勺红 拼疋这處理服 修改該消耗之預回應在該處理流程中之諸情況而 5^申請專利範圍第46項之方法，復 務之已排定之消耗之步I m處理服 52. 如申請專利範圍第 務之已排定的消耗之步H法’其中’執行該處理服 之目的地的埠π指派。^ L動態重新配置物料輸送 53. 如申請專利範圍第5ι 之消耗之步驟包括在物料輸、，，义，八中，執行該已排定 求用於已排定之物料幹:.,二_定的時間期間，要 54如卜…, 輪达之搬運車集結。 54·如申睛專利範圍第5 務之已排定的消耗之步驟，方包二其中，執行該處理服 使得在輪送第二物料進入蜂口^縱物料輪送的順序’ 口。 别，第一物料可轉出埠 55.如申請專利範圍第邨項之方 包括由代表製造領域實體之拼、尹’該消耗之排定. 應用移動預約排程器。-私代理者呼叫敕體 56.如t請專㈣㈣46項之 包括排定該消耗於初始排程、一般排:，該消耗之排定 耘之其中一者。 私、以及反應式排 93267修正本 61 步外號專利申請案 57.如申§月專利範圍第46項之 （97年ίο月2〇曰) 步騾包括： * ’其中’影響該排定之 決定所建議之物料輪送 時間；以及 旱口心派及埠口可利用 提供該埠口指派及該埠口 定。 了利用吩間以用於該排 58·如申請專利範圍第57項之方 包括排定在該# /、中，該诮耗之排定 認之埠口的物料輸送。傳^至該埠口指派所確 59. 如申請專利範圍第46項之 步驟包含诘炉札1丨& 一中，影響該排定之 π邵匕3這蹤物料輸送的順序 入埠口前，可蔣 使仵在輸送第二物料進 了將第一物料轉出埠口。 60. 如申請專利範圍第％項之方法， / 步驟包含動1 ’影響該排定之 步二項之方法，，影響該排定之 m指tU之傳^中的物料輪送之移動預約。 钿？編碼之程式儲存媒 時，執行用於自動化處理流程中之‘由之^裝置執行 的方法包括下列步驟··.排％之方法，該編喝 代表複數個製造領域實體； 透過該制f 提供之處理服務之消耗’ ·以及 63.如申,利：二領域貫體之第二部份的管理影響該排定。 I,專利乾圍第62項之程式儲存媒體， 〜法中代表該第一部份的排定，包括排定物= 93267修正本 62 /9〇 , < · 第94136837號專利申請案 送及排定處理作業之至少一者。 料H)月叫 64.如申請專利範圍第62項之程式儲存媒體，盆中，在該 ==方法巾喊職務y耗之排定，包括回.應在該 慝机程中之諸情況而修改該消耗的預約。 申請專利範圍第62項之程式儲存媒體，其中，在該 =碼的方法中該消耗之排定，包括排定該消耗於初始排 “—般排程、以及反應式排程之其中-者。 第62項之程式儲存媒體，其中，在該 、·扁褐的方法中影響該敎之步驟包括： 時間決=建議之物料輪送之璋。指派及蜂口可利用 定。&供該埠口指派及該蜂口可利用時間以用於該排 67. 如申S青專利範圜第f ρ + 編瑪的方法令影塑式儲存媒體，其中’在該 順序，使得在轸、驟包括追蹤物料輸送的 轉出痒口。 物抖進入埠口刚’可將第一物料 68. 如申請專利範圍 編碼的方法t影座二之程式健存媒體’”，在該 輸中的物料輪二Γ口 4之步驟包括動態重新配置傳 69. —種計算系統，包括： 計算裝置； 匯流排系統； 透過該匯流抽& β τ μ '、、、〃該計算裝置連通的儲存裝 93267修正本 63 1361790 置；以及 第94136837號專利申請案 (97年1〇月20日） 存在於該儲存裝置之軟體應用程式，當由計算裝置 觸發％，執行用在自動化處理流程中之排程的方法，該 方法包括下列步驟： 代表複數個製造領域貫體的第一部份而排定由該製 把領域貝體之第二部份所提供之處理服務之消耗；以及 透過該製造領域實體之第二部份的管理影響該排 定。 70. 如申請專利範圍第69項之計算系統，其中，在該方法 中代表該第-部份之排定包括排定物料輸送及 理作業之至少一者。 < 71. 如申請專利範圍第69項之計算㈣，其中，在該方法 中該處理服務之消耗之排定包括回應在該處㈣程中 之諸情況而修改該消耗的預約。 72·如申請專69項之計算“，其中.談法 中該消耗之排定包括排定該消耗.於初始排程、一X 程、以及反應式排程之其中一者。 敢掷 73.如申請專圍第69項之計算系、统， 方 中影響該排定之步驟包括： 社琢方法 決定所建議之_料之#1派 時間；以及 W用 定。提供該璋口指派及料口可利用時間以用於該拼 74.如申請專利範圍第69項之外管备絲廿 項之冲异系統’其中，在該方法 93267修正本 64 第94136837號專利申請案 中影塑贫扯— （97年10月20曰) k之步驟包括追縱物料輸送的順序，使得在 75 ^弟二物料進人埠口前，可將第—物料轉出埠口。 =請專利範㈣69項之計算純，其中，在該方法 :::排定之步驟包括動態重新配置傳輸中 翰迗之埠口指派。 76:=動化處理流程中用在排程之方法，該方法包括 在該處理流程中排定物料輪送； 執行該已排定之物料輪送；以及 璋：已排定的物料輸送之執行期間，動態重新配置 專利範圍第76項之方法，復包含排定處理作業 78·如申晴專利範圍第 排定包括代表_為基罩該:料輪送之 79. 如申請專利範圍第.76項之;法圓批^ 排定包括修改嗲已排’ /、中，該物料輸送之 80. 如申請專利輪送之預約。 月寻判靶圍第76項之方法甘山 ，送之執行包括在物料輸送前的預定的物 a如申請專利集結。 .料:送之執行包括追蹤物料輸送的11:=:定的物 心可將第-物二=在輸送第 申―第76項之方法，其 93267修正本 65 第94136837號專利.申請案 Μ金白紅丄，、 （97年】0月20⑸ 、表製造領域實體之軟體排程代理者呼叫 τ人體應用移動預約排程器。 δ3.= =7圍第76項之方m祕㈣κ 之二卜疋於初始排程、-般排程、以及反應式排程 之八t 一者。 从如申請士利範圍第76項之方法，復包含： 時間決ΓΓ建議之物料輪送之璋口指派及璋口可利用 定。Ί痒口心派及該埠口可利用時間以用於該排 85.如申請專利範圍第討項之方 包括排定在該遠口 法，其中，該消耗之排定 認之埠口的物料輪送/用8^傳达至該埠口指派所確 86·如申請專利範圍第76項之方法 的順序之步驟，使得在輸送第;^含^物料輸送 物料可轉出埠口。 物科進入埠口前，苐一 R-種在自動化處理⑲ 以下步驟： 排耘之方法，該方法包括 決定所建議之物料輪送之 時間； 早“派及埠口可利用 提供該埠口指派及該埠口 物料輸送；以及 利用時間以用於排定 在該處理流程中排定該物料 利用時間傳送至該指派的埠口 .。用以在該埠口可 93267修正本 66 1361790 • * βδ ,, 第94136837號專利申請案 &如申請專利範圍第87項之方法，复 （97年1〇月2〇w 排定包括提前排定料該物 ’該物料輪送之 89.如t請專利範圍第87項之方法輪”預約。 排定包括排定從第一處理工具至二該物料輸送之 -處理資源至第二處理工具:從1理資源、從該第 處理資源、從第二處理資源至第：：處理資源至第二 第-處理工具至該第二處理工弟二^ 者。 <物枓輪送之其中一.. 9〇,如申請專利範圍第89項之方法 结 源與該第二處理資源之至少-者包括在；第一處理資 分類機、在製品架、執道下儲存器之倉儲、晶圓 91. 如申請專利範圍第87項之方法，其中、 輪送之排定包括排定以#為& 料之該物料 料輪送。 .，基礎的晶圓抵或光罩之物 92. 如申請專利範圍第9〇項之方 今笛 =第二處理工具之至少一者係製造==工 具之其中一者。 丹興I測工 93. 如申請專利範圍第87項之方法，复 排定包括設定用以要求該物料輪送之警報丨料輸廷之 94. 如申請專利範圍第87項之方法，i中 排定包括回應在該處理流程中諸^料輪送之 輸送的預約。 之諸清况而修改該物料 5.如申4專利範圍第94項之方法，其中，誃 包括將該物料輸送移至較早 93267修正本 67 ^01790 步琥导利申請案 勒0多η古SB (97年10月20日） 、時間、延展該預約的時間、，縮短該預約的時間、 預約而在該預約期間有新目的地或抵達時間之 排定^約帽該㈣並排定新㈣、以及取消並重新 I::::::87項之方法’復包含執行_定 .97執 ==置r法，，該物料輸送之 • 98如…也重新配置該目的地之埠口指派。 申味專利範圍第87項之方 料之處理作業之㈣.。、’後“排定用於該物 9.如申4專利範圍第87項之方 排定包括由代 、去，其中，該物料輸送之 用移動預約排程器。Μ軟體排程代理者啤叫軟體應 = ===:7广方法'其+，該物料輸送之 及反應式#程之其中一者。 般排私、以 .如申清專利範圍第 的順序之步驟，私、，復包含追蹤物料輸送 -物料可轉出埠:第二物料進入埠口前，第 2’如申請專利範圍第87項之方— 傳輪中的物料包含動態重新配置 1〇3.如申請專利“之步驟。 排定包括法’其中該物料輸送之 傳輸中的物料輪送之移動預約。 93267修正本 68 1361790 辱月 9,7. 1〇, 2 0

165 第1圖 200

110 1361790

400 第3圖

Τ2

^12^13^14 ^15 ^16 ^17 ^18 ^19 1^61790

500 第5圖 100 130. 697、 685 675

625 ΣΙ LSA

69i LPA 605 ΣΙ $ AMHS MAS 138 699 iX存裝置

660 665

380 680 第6圖 690