FR2793916A1

FR2793916A1 - Systeme et procede de gestion automatique d'unites de production de semiconducteurs

Info

Publication number: FR2793916A1
Application number: FR0006508A
Authority: FR
Inventors: Myung Seung Son; Won Soo Cho; Jin Ho Jang
Original assignee: Hyundai Electronics Industries Co Ltd
Current assignee: SK Hynix Inc
Priority date: 1999-05-20
Filing date: 2000-05-22
Publication date: 2000-11-24
Anticipated expiration: 2020-05-22
Also published as: ITMI20001128A0; JP2001035760A; ITMI20001128A1; TW482967B; NL1015251A1; DE10024735A1; GB2352058A; GB0012374D0; KR100303322B1; GB2352058B; NL1015251C2; CN1213367C; FR2793916B1; IT1317658B1; CN1278621A; KR20000074361A

Abstract

Système de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs, comportant : des matériels de traitement (700), dont chacun traite un lot de plaquettes en semiconducteur, et génère des données de traitement en temps réel associées à un processus en réponse à des données de lot; au moins un dispositif de gestion de production pour générer des commandes associées au processus se déroulant dans les unités de production et recevoir les données de traitement en temps réel de chaque matériel; un dispositif de commande de matériels (600) pour commander lesdits matériels de traitement (700) en réponse aux instructions de commande et transmettre les données de traitement en temps réel audit dispositif de gestion de production; un dispositif de stockage de données pour emmagasiner des données associées au processus et au lot dans les unités de production en réponse aux commandes dudit dispositif de gestion de production; et un dispositif de gestion d'historiques (400) pour gérer l'historique de chacun desdits matériels de traitement et desdites plaquettes en réponse aux commandes dudit dispositif de gestion de production.

Description

Domaine de l'invention La présente invention se rapporteà un système età un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs et, plus particulièrement,à un système età un procédé capables de gérer efficacement des données associéesà des procédés destinésà la fabrication de dispositifsà semiconducteurs.

Description de l'art antérieur Un système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs fait appel, en général,à une multiplicité d'unités de production automatique de semiconducteurs . Dans chacune des unités de production des semiconducteurs, il est prévu un certain nombre de instructions de commande d'élaboration, ou de traitement, spécifiques destinés au traitement de de plaquettes en semiconducteur, par exemple un matériel de gravure, ou d'attaque chimique, un matériel photolithographique, et instructions de commande analogues.

En outre, un dispositif de stockage est également utilisé dans l'unité de production automatique de semiconducteurs, le dispositif de stockage stockant temporairement des cassettes destinéesà être fourniesà l'unité de production, età être traitées dans l'unité de production. Chacune des cassettes est un récipient capable de stocker un nombre prédéterminé de plaquettes en semiconducteur, le nombre prédéterminé de plaquettes en semiconducteur étant désigné par le mot 'lot'.

Afin de gérer les données associées aux différents processus, un système de réseau est également utilisé dans un système classique d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs.

Le système de réseau classique comporte un ordinateur hôte, une multiplicité de terminaux et une base de données reliésà l'ordinateur hôte. Ce dernier traite toutes les données associéesà la fabrication des plaquettes en semiconducteur dans le système classique d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs. L'ordinateur hôte commande alors les matériels d'élaboration, ou de traitement. Grâceà l'utilisation du système de réseau, le nombre d'opérateurs nécessairesà la gestion des processus est réduit et, par conséquent, les impuretés associéesà la plaquette sont réduites au minimum. En outre, les données associéesà la fabrication des plaquettes en semiconducteur sont traitées rapidement.

Cependant, étant donné que le processeur classique ne dispose pas de dispositif de stockage classé ni d'une gestion globale des données, il est difficile de gérer efficacement l'ensemble des unités de production de semiconducteurs afin de permettreà un certain nombre d'opérateurs d'intervenir dans un processus effectué dans lesdites unités, ce qui a pour effet de nuireà la productivité des dispositifsà semiconducteurs.

Résumé de l'invention La présente invention a donc pour objet de proposer un système et un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs permettant de résoudre d'une manière efficace les problèmes de l'art antérieur.

Conformémentà un aspect de la présente invention, il est prévu un système de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs, comportant: une multiplicité de instructions de commande d'élaboration, ou de traitement, chaque matériel étant destinéà traiter un lot représentant un nombre prédéterminé de plaquettes en semiconducteur età générer des données de traitement en temps réel associéesà un processus en réponse à des données relativesà un lot; au moins un dispositif de gestion de production destinéà générer des instructions de commande associées au processus dans les unités de production de semiconducteurs età recevoir les données de traitement en temps réel en provenance de chaque dit matériel de traitement; un dispositif de commande de instructions de commande destinéà commander lesdites instructions de commande de traitement en réponseà des instructions de commande, età transmettre les données de traitement en temps réel audit dispositif de gestion de production; un dispositif de stockage de données destinéà emmagasiner des données associées aux processus et au lot dans les unités de production de semiconducteurs en réponse aux commandes émises par ledit dispositif de gestion de production; et un dispositif de gestion d'historiques destinéà gérer l'historique de chacun desdites instructions de commande de traitement et de chacune des plaquettes en semiconducteur en réponse aux instructions de commande émisesà partir dudit dispositif de gestion de production.

Selon un autre aspect de la présente invention, il est proposé un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs comportant les étapes consistant: à transmettre une commande de fourniture de cassetteà une multiplicité de instructions de commande de traitement età un moyen de transport automatique,à la suite de la génération de la commande de fourniture de cassette en utilisant de premières données de lot transmisesà partir d'un moyen de commande de production; à traiter un lot contenu dans une cassette en utilisant lesdites instructions de commande de traitement;à emmagasiner des données de traitement en temps réel, concernant lesdites instructions de commande de traitement au cours du traitement, dans un dispositif de stockage de données par l'intermédiaire d'un moyen de collecte de données; à stocker la cassette dans un moyen de stockage de cassette en faisant appel audit moyen de transport automatique; età emmagasiner les données de traitement en temps réel dans un dispositif de stockage d'historiques, les données de traitement en temps réel étant triées par un moyen de gestion d'historiques.

Selon un autre aspect de la présente invention, il est proposé un support exploitable par ordinateur emmagasinant des instructions de programmes, les instructions de programmes étant disposées dans un ordinateur pour permettre d'exécuter un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs, comportant les étapes consistant: a)à transmettre une commande de fourniture de cassetteà une multiplicité de instructions de commande de traitement età un moyen de transport automatique,à la suite de la génération de la commande de fourniture de cassette en faisant appelà de premières données de lot transmisesà partir d'un moyen de commande de production; b) à traiter un lot contenu dans une cassetteà l'aide desdites instructions de commande de traitement; c)à emmagasiner des données de traitement en temps réel, concernant lesdits matériels de traitement au cours du traitement, dans un dispositif de stockage de données par l'intermédiaire d'un moyen de collecte de données; d) à stocker la cassette dans un dispositif de stockage de cassette en utilisant ledit moyen de transport automatique; et e)à emmagasiner les données de traitement en temps réel dans un moyen de stockage d'historiques, les données de traitement en temps réel étant triées par un moyen de gestion d'historiques.

Description sommaire des dessins Les objets et caractéristiques susmentionnés de la présente invention, ainsi que d'autres, ressortiront clairement de la description suivante des modes de réalisation préférés, donnée en référence aux dessins annexés, dans lesquels: La figure1 est un schéma représentant un système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs faisant appelà un système destinéà gérer automatiquement une unité de production de semiconducteurs conformémentà un mode de réalisation préféré de la présente invention; La figure 2 représente une structure d'une base de données d'historiques du système de la figure1 , La figure3 illustre une structure de tables de données de lot associéesà un lot de la figure 2; La figure 4 illustre une structure tables de données de matériel associéesà un matériel de traitement représenté sur la figure 2; La figure5 représente une structure de tables de données de cassette et de réticule associéesà un réticule de chacune des plaquettes en semiconducteur contenues dans une cassette représentée sur la figure 2; La figure6 représente une structure de tables de données de traitement associéeà processus en cours représenté sur la figure 2; Les figures7A à 7C sont des organigrammes illustrant un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs selon la présente invention; La figure8 est un organigramme représentant des étapes selon lesquelles un serveur CMS transmet une commande de fourniture de cassetteà un matériel de traitement représenté sur la figure7A ; La figure9 est un organigramme représentant des étapes selon lesquelles un véhicule AGV de la figure7A fournit la cassette au matériel de traitement; La figure10 est un organigramme représentant des étapes d'enregistrement de données traitement de la figure7B dans une base de données temps réel; La figure11 est un organigramme représentant des étapes selon lesquelles les matériels de traitement de la figure7B demandent le retrait d'une cassette; La figure 12 est un organigramme représentant des étapes selon lesquelles un serveur CMS de la figure7B transmet une commande de retrait de cassette au matériel de traitement; et La figure13 est un organigramme représentant des étapes selon lésquelles un véhicule AGV retire la cassette du matériel de traitement et stocke la cassette dans un dispositif de stockage.

Description détaillée des modes de réalisation préférés Pour permettre la fabrication de dispositifsà semiconducteurs, une multiplicité d'unités de production de semiconducteurs est installée typiquement dans un système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs, et les unités de production de semiconducteurs sont reliéesà un système de gestion de production par l'intermédiaire d'une ligne de communication commune. Dans un souci de commodité, la présente invention sera décrite en référenceà une seule unité de production de semiconducteurs.

On se réfère maintenantà la figure1, qui est un schéma d'un système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs faisant appelà un système destinéà gérer automatiquement les unités de production de semiconducteurs conformémentà un mode de réalisation préféré de la présente invention.

Comme représenté, le système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs comprend au moins une cellule qui porte un nombre prédéterminé, par exemple 4, d'unités de production de semiconducteurs. Une unité de production de semiconducteurs est dotée d'un nombre prédéterminé de matériels de traitement700, d'un dispositif de stockage890 et d'un ou de plusieurs véhicules de guidage automatique (AGV) 880. Chacun des matériels de traitement700 traite des plaquettes en semiconducteur afin de produire des dispositifsà semiconducteurs. Le matériel de traitement comprend, par exemple, un matériel de gravure, ou d'attaque chimique, un matériel de photolithographie, et des dispositifs analogues. Le dispositif de stockage stocke temporairement un certain nombre de cassettes. Chacune des cassettes comporte un nombre prédéterminé de plaquettes en semiconducteur, ce nombre de plaquettes étant désigné par l'expression 'lot'. Les cassettes sont transportées sélectivement vers un matériel de traitementà l'aide du véhicule AGV 880. Une cassette traitée dans le matériel de traitement (appelée ci-après cassette ou lot traité(e) ) est alors transportée vers un autre matériel de traitement ou vers le dispositif de stockage890 à l'aide du véhicule AGV 880. La cassette traitée stockée dans le dispositif de stockage890 est acheminée vers une autre unité de production de semiconducteurs.

Chaque matériel de traitement est couplé, par l'intermédiaire d'une partie de commande de matériels600, à une ligne de communication commune10, par exemple un câble Ethernetm, fournie par la Xerox Corporation. Le dispositif de stockage890 et le véhicule AGV sont également couplésà la ligne de communication commune10.

Le système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs comprend également une partie de gestion de cellules 100, une base de données temps réel 200, reliéeà la partie de gestion de cellules100, une unité de stockage temporaire300, reliéeà la partie de gestion de cellules100, une partie de gestion d'historiques 400 reliéeà l'unité de stockage temporaire300 et une base de données d'historiques 500, reliéeà la partie de gestion de d'historiques 400. La partie de gestion de cellules100, la partie de gestion d'historiques 400 et la base de données d'historiques500 sont reliées, respectivement,à la ligne de communication commune10 pour permettre les communications entre celles-ci.

Par l'intermédiaire du câble Etherneem 10, la partie de gestion de cellules100 communique avec la partie de commande de matériel600 en vue de commander un matériel de traitement700, et avec la partie de commande de transport800 en vue de commander le dispositif de stockage 890 et le véhicule AGV 860.

En outre, la base de données d'historiques500 est coupléeà une partie d'établissement de rapports900 par l'intermédiaire de la ligne de communication commune10.

La partie de gestion de cellules100 comprend un serveur d'interface d'opérateur (désigné ci-après par les lettres OIS) 120, un serveur de gestion de cellules (désigné ci-après par les lettres CIVIS) 140, destinéà générer des instructions de commande, ainsi qu'un serveur de collecte de données (désigné ci-après par les lettres DGS) 160, destinéà emmagasiner des données de traitement associées au lot dans la base de données temps réel 200.

Le serveur OIS 120 comprend une interface graphique d'utilisateur. L'opérateur peut introduire initialement des données de lot associées au lot à traiter, tel qu'un identificateur (I.D.) du lot, un identificateur I.D. de la cassette contenant le lot, et éléments analogues, dans le serveur OIS 120. Les données de lot introduites dans le serveur OIS 120 sont transmises au serveur CMS 140, puis elles sont acheminées, par l'intermédiaire du serveur DGS 160, vers la base de données temps réel 200. Dans ce cas, le serveur CIVIS 140 génère une commande de fourniture de cassette ou une commande de retrait de cassette, sous la forme d'une instruction de commande, sur la base d'un plan de traitement emmagasiné précédemment dans la base de données temps réel 200. La commande est fournie, par l'intermédiaire de la ligne de communication commune, c'est-à-dire par le câble Ethernet, à la partie de commande de transport800 sous la forme d'un message EthernetTM , et elle est affichée simultanément sur un écran du serveur OIS 120.

Le serveur CMS 140 reçoit des données de traitement en temps réel en provenance de la partie de commande de matériel600 sous la forme d'un message Ethernet et il emmagasine les données de matériel en temps réel dans l'unité de stockage temporaire300. Dans ce cas, l'unité de stockage temporaire300 emmagasine les données de traitement en temps réel pour une période prédéterminée.

La partie de gestion d'historiques 400 comprend un serveur d'informations d'historiques (désigné ci-après par les lettres HIS) 420, destinéà récupérer les données de traitement en temps réelà partir de l'unité de stockage temporaire300 età emmagasiner les données de traitement en temps réel récupérées dans la base de données d'historiques 500, sur la base d'une commande du serveur CMS 140.

La partie de commande de matériel600 comprend un serveur de matériels (désigné ci-après par les lettres EQS) 620, reliéà la ligne de communication commune10, et un serveur de mise en communication de matériels (désigné ci-après par les lettres ECS) 640, destinéà mettre les les matériels de traitement700 en communication avec le serveur EQS 620. Le serveur ECS 640 convertit les données de traitement émisesà partir des matériels de traitement700 en un message selon la norme relative aux communications entre matériels d'élaboration de semiconducteurs (désigné ci-après par les lettresSECS). La normeSECS est un protocole de communications prévue pour les communications entre les serveurs de ce système. Le serveur EQS 620 transmet les instructions de commande émisesà partir du serveur CMS 140 aux matériels de traitement700 par l'intermédiaire du serveur EQS 620 et du serveur ECS 640. En outre, le serveur EQS 620 reçoit les données de traitement émisesà partir des matériels de traitement700 par l'intermédiaire du serveur ECS 640 et transmet les données de traitement au serveur CMS 140. La partie de commande de transport800 comprend un serveur de commande de dispositif de stockage (désigné ci-après par les lettres SCS) 820, destinéà commander le dispositif de stockage890, un serveur de commande inter-unités (désigné ci-après par les lettres ICS) 840, relié au serveur SCS 820, et un contrôleur de véhicules de guidage automatique (désigné ci-après par les lettres AGVC) 860 relié au serveur ICS 440.

Le serveur ICS 840 reçoit les instructions de commande émisesà partir du serveur CMS 140 et transmet les instructions de commande aussi bien au serveur SCS 820 qu'au contrôleur AGVC 860. Le serveur SCS 820 commande le dispositif de stockage890 sur la base des instructions de commande reçues selon lesquelles le dispositif de stockage890 charge ou décharge des cassettes sélectionnées.

Le contrôleur AGVC 860 génère un signal de commande de transport sur la base des instructions de commande reçues et, par la suite, transmet le signal de commande de transport au véhicule AGV 880. Ensuite, le véhicule AGV 880 transporte les cassettes sélectionnées en réponse au signal de commande de transport.

La partie d'établissement de rapports900 comprend un serveur d'établissement de rapports920 destinéà récupérer les donnéesà partir de la base de données d'historiques500 età générer un rapport, ainsi qu'une base de données de rapports 940 destinéeà emmagasiner le rapport généré par le serveur d'établissement de rapports 920.

Il est possible de mettre en ceuvre une multiplicité des serveurs susmentionnés en faisant appelà une multiplicité de programmes logiciels, et chaque partie peut être mise en ceuvre en utilisant un ou plusieurs moyens, par exemple, des ordinateurs personnels, des postes de travail, des microprocesseurs et moyens analogues.

On se réfère maintenantà la figure 2, qui représente une structure d'une base de données d'historiques du système selon la présente invention.

Comme représenté sur la figure 2, la base de données d'historiques 500 comprend une table de données de lot510, une table de données de matériels520, une table de données de cassette et de réticule530, et une table de données de traitement 540.

On se réfère maintenantà la figure 2, qui représente une structure de la table de données de lot510 associéeà un lot de la figure 2.

Comme représenté, la table de données de lot510 comprend une table d'états de lot511, une table d'historiques de lot512, une table d'historiques de lot effacés513, une table de propriétés de lot 514, une table de commandes d'opérations515, une table de traitements516, une table de mises au rebut de lot517, une table de retraitements de lot518, et une table d'erreurs de lot519.

La table d'états de lot511 emmagasine des données représentant des processusà appliquerà un lot, le nombre de plaquettes contenues dans le lot, l'état des plaquettes dans le lot, et éléments analogues. La table d'historiques de lot512 emmagasine des données représentant des traitements appliqués au lot, la modification du nombre de plaquettes du lot, et éléments analogues. La table d'historiques de lot effacés513 emmagasine des données représentant un historique de lot effacé par une commande d'effacement d'historique et un moment d'effacement, l'opérateur correspondant, et éléments analogues. La table de propriétés de lot 514 emmagasine des données représentant une propriété d'un lot que définit l'opérateur. La table de commandes d'opération515 emmagasine des données représentant des commandes d'opération utilisées dans chaque processus. La table de traitements516 emmagasine des données produites au cours de chaque processus. La table de mises au rebut de lot517 emmagasine des données représentant un processus lors duquel se produit la mise au rebut d'un lot, une raison de la mise au rebut, un historique de gestion correspondantà la mise au rebut, et éléments analogues. La table de retraitements de lot518 emmagasine des données représentant une raison de la nécessité de retraitement du lot, ainsi que des éléments analogues. Lorsqu'ily a une erreur au niveau du lot, la table d'erreurs de lot 519 emmagasine des données représentant une raison expliquant l'erreur, un historique de gestion relatifà l'erreur, et ainsi de suite. On se réfère maintenantà la figure 4, qui représente une structure de la table de données de matériels520 associéeà un matériel de traitement de la figure 2.

Comme illustré sur la figure 4, la table de données de matériels520 comprend une table d'états de matériels521, une table d'historiques de matériels522, une table d'entretien de matériels523, une table d'opérations de matériels 524 et une table d'historiques de commandes de matériels525.

La table d'états de matériels521 emmagasine des données représentant l'état courant des matériels de traitement700 au cours du traitement. La table d'historiques de matériels522 emmagasine des données représentant des erreurs survenant dans les matériels de traitement700. La table de traitement de instructions de commande523 emmagasine des informations associéesà l'entretien des instructions de commande de traitement700. La table d'entretien de matériels523 emmagasine des données associéesà l'entretien des matériels de traitement700. La table d'opérations de matériels 524 emmagasine des données associées aux processus exécutés dans les matériels de traitement 700 et des données associées aux matériels de traitement700. Lorsque les matériels de traitement700 sont hors fonction, la table d'historiques de commandes de matériels525 emmagasine des commandes traitées dans les matériels de traitement700.

On se réfère maintenantà la figure5, qui représente une structure d'une table de données de casssette et de réticule530, associéeà un réticule de chacune des plaquettes en semiconducteur contenues dans une cassette, de la figure 2.

Comme représenté sur la figure5, la table de données de cassette et de réticule530 comporte une table d'historiques de réticule531 et une table d'historiques de commandes de réticule532.

Lorsqu'il existe une erreur au niveau d'au moins un des réticules, la table d'historiques de réticule531 emmagasine des données représentant l'erreur se produisant dans les réticules. Lorsqu'au moins l'un des réticules présente une erreur, la table d'historiques de commandes de réticules532 emmagasine des données représentant des commandes traitées dans les matériels de traitement700.

On se réfère maintenantà la figure6, qui représente une structure d'une table de données de traitement, associéeà un processus en cours, de la figure 2.

Comme représenté sur la figure6, la table de données de traitement 540 comprend une table d'états de traitement 541 et une table d'historiques de traitement 542.

La table d'états de traitement 541 emmagasine des informations d'états relativementà la plaquette en semiconducteur ou au lot en cours de traitement. La table d'historiques de traitement 542 emmagasine des données représentant le nombre de plaquettes en semiconducteur traitées dans les matériels de traitement700, ainsi que le temps nécessaire au processus.

Ce mode de réalisation décrit la présente invention en référenceà une partie de gestion de cellules100, à une partie de gestion d'historiques 400 età une base de données temps réel 200 mais, en réalité, deux ou plus de deux parties de gestion de cellules100, de parties de gestion d'historiques 400 et de bases de données temps réel 200 pourraient être utilisées dans le système d'automatisation d'usine de fabrication de semiconducteurs.

En outre, les données emmagasinées dans les tableaux susmentionnés sont emmagasinées sous la forme d'un fichier dans l'unité de stockage temporaire300. Si le temps prédéterminé s'est écoulé, le fichier de données est emmagasiné dans la base de données d'historiques500. La partie de gestion de cellules100 et les parties de gestion d'historiques 400 sont exploitées en parallèle.

Les figures7A à X sont des organigrammes illustrant un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs selon la présente invention.

Comme l'illustrent les figures7A à 7C, à l'étapeS300, l'opérateur forme un lotà traiter en introduisant des données de lot associées au lot grâceà l'utilisation de l'interface graphique d'utilisateur du serveur OIS 120. Les données de lots associées au lot comprennent un identificateur I.D. de lot, un processusà exécuter sur le lot, le nombre de plaquettes du lot et un identificateur I.D. de cassette contenant le lot. En même temps,à l'étape S310, le serveur CMS 140 reçoit les premières données de lot, puis il génère une commande de fourniture de cassette. Aux étapesS320 etS330, le serveur CMS 140 transmet la commande de fourniture de cassette sous la forme d'un message aux matériels de traitement700 et au serveur ICS 840.

Dans ce cas,à l'étape S340, le serveur ICS 840 transmet la commande de fourniture de cassette au serveur SCS 820 et au contrôleur AGVC 860. La commande de fourniture de cassette comprend des données de commande ayant un identificateur ID de cassette, un emplacement auquel la cassette est fournie et un emplacement destiné au chargement de la cassette.

Dans ce cas,à l'étapeS350, le contrôleur AGVC 860 transmet un signal de commande de véhicule AGV au véhicule AGV 880 et le serveur SCS 820 transmet un signal de commande de dispositif de stockage au dispositif de stockage890. Ensuite, le dispositif de stockage890 autorise le véhicule AGV 880 à prendre une cassette contenant le lotà traiter.

En outre,à l'étapeS360, le véhicule AGV 880 transporte la cassette fournie du dispositif de stockage890 à un matériel de traitement cible. Ensuite,à l'étapeS370, le matériel de traitement cible traite le lot contenu dans la cassette transportée par le véhicule AGV 880 et transmet les données de traitement en temps réel, contenant des données de traitement associées au processus et des données de matériels associées aux matériels de traitement, au serveur CMS 140. Dans ce cas,à l'étape S380, le serveur CMS 140 enregistre les données de traitement en temps réel dans la base de données temps réel 200 par l'intermédiaire du serveur DGS 160.

Ensuite, lorsque le matériel de traitement cible achève le processus,à l'étapeS390, il génère un signal de demande demandant le retrait de la cassette achevéeà destination du serveur CMS 140 par l'intermédiaire de la partie de commande de matériels600.

Ensuite, aux étapes S400 et S410, le serveur CMS 140 génère une commande de retrait de cassette et il la transmet, sous la forme d'un message, au matériel de traitement cible et au serveur ICS 840. La commande de retrait de cassette comprend des données de commande contenant un identificateur ID de la cassetteà retirer, du matériel de traitement dont la cassette doit être retirée, et du matériel de traitement cible suivant.A l'étape S420, le serveur ICS 840 transmet la commande de retrait de cassette au contrôleur AGVC 860. En même temps, les matériels de traitement700 chargent le lot traité dans la cassette, puis attendent un travail suivant.

A l'étape S430, le contrôleur AGVC 860 transmet un signal de commande de véhicule AGV au véhicule AGV 880 en faisant appelà un réseau de communications sans fil et,à l'étape S440, le véhicule AGV 880 retire la cassette des matériels de traitement700 pour la stocker dans le dispositif de stockage890.

A l'étape S450, le serveur SCS 820 transmet de nouvelles informations d'emplacement concernant la cassette nouvellement stockée au serveur CMS 140 et,à l'étape S460, le serveur CMS 140 metà jour les informations d'emplacement précédentes concernant la cassette nouvellement stockée emmagasinées dans la base de données temps réel 200 en utilisant les nouvelles informations d'emplacement.

Ensuite, le serveur CMS 140 récupère les données de traitement emmagasinées dans la base de données temps réel 200 et,à l'étapeS470, enregistre les données de traitement récupérées sous la forme d'un fichier de données de traitement dans l'unité de stockage temporaire300. Ensuite, le serveur CMS 140 transmet ds informations de fichier, représentant le fait que l'unité de stockage temporaire300 emmagasine les données de traitement, au serveur HIS 420. Ensuite,à l'étapeS480, le serveur HIS 420 récupère le fichier de données de traitement de l'unité de stockage temporaire300 et enregistre les données de traitement dans la base de données d'historiques500.

Dans ce cas,à l'étape S490, l'opérateur confirme au serveur CMS 140 si un autre travail est requis ou non, par l'intermédiaire du serveur OIS 120. Ensuite, si un autre travail doit être entrepris, le serveur CMS 140 retourneà l'étapeS310 de génération d'une commande de fourniture de cassette. Par contre, si aucun autre travail n'est nécessaire,à l'étapeS500, la partie d'établissement de rapports900 détermine si un rapport correspondant aux processus achevés est demandé ou non.

Lorsque le rapport est demandé,à l'étapeS510, le serveur d'établissement de rapports920 récupère des données emmagasinées dans la base de données d'historiques500 et,à l'étapeS520, délivre un rapport. Ensuite, le serveur d'établissement de rapports920 emmagasine des données de rapport concernant le rapport dans la base de données de rapports 940.

Par contre, lorsque le rapport n'est pas demandé, le processus retourneà l'étape S490.

On se réfère maintenantà la figure8, qui est un organigramme représentant des étapes suivant lesquelles le serveur CMS 140, représenté sur la figure7A, transmet une commande de fourniture de cassette au matériel de traitement700 cible.

A l'étapeS321, le serveur CMS 140 transmet la commande de fourniture de cassette sous la forme d'un message au serveur EQS 620. Ensuite,à l'étapeS322, le serveur EQS 620 transmet la commande de fourniture de cassette au serveur ECS 640, et ce dernier convertit la commande de fourniture de cassette en un signal de commande destinéà commander les matériels de traitement700. Ensuite,à l'étapeS323, le serveur ECS 640 transmet le signal de commande correspondantà la commande de fourniture de cassette aux matériels de traitement700. Dans ce cas, les matériels de traitement700 sontà l'état d'attente de la cassette. On se réfère maintenantà la figure9, qui est un organigramme représentant des étapes selon lesquelles le véhicule AGV 880 fournit la cassette aux matériels de traitement cible.

A l'étapeS361, le serveur SCS 820 transmet le signal de commande de dispositif de stockage au dispositif de stockage890 et,à l'étapeS362, le dispositif de stockage890 se prépareà fournir une cassette cible en réponse au signal de commande.

Ensuite,à l'étapeS363, le véhicule AGV 880 reçoit le signal de commande de véhicule AGV correspondantà la commande de fourniture de cassette en provenance du contrôleur AGVC 860 et,à l'étapeS364, s'avance vers le dispositif de stockage890 pour extraire la cassette cible. Ensuite,à l'étapeS365, le véhicule AGV 880 s'avance vers le matériel de traitement cible700 à alimenter et,à l'étapeS366, il fournit la cassette cible au matériel de traitement700 cible.

On se réfère maintenantà la figure10, qui est un organigramme représentant les étapes d'enregistrement des données de traitement dans la base de données temps réel.

A l'étapeS381, les matériels de traitement700 transmettent des données de traitement en temps réel, par l'intermédiaire du serveur ECS 640. Ensuite,à l'étapeS382, le serveur ECS 640 convertit les données de traitement en temps réel en un message SCS et, ensuite, il transmet les données de traitement en temps réel converties au serveur EQS 620.

Dans ce cas,à l'étapeS383, le serveur EQS 620 transmet les données de traitement en temps réel converties, par l'intermédiaire de la ligne de communication commune10, au serveur CMS 140. Ensuite, le serveur CMS 140 transmet les données de traitement en temps réel au serveur DGS 160 et,à l'étapeS384, ce dernier enregistre les données de traitement en temps réel dans la base de données temps réel 200.

On se réfère maintenantà la figure11, qui est un organigramme représentant les étapes suivant lesquelles le matériel de traitement demande le retrait de la cassette. A l'étapeS391, le matériel de traitement700 termine le processus et, à l'étapeS392, il demande au serveur ECS 640 un retrait de cassette.

Ensuite,à l'étapeS393, le serveur ECS 640 convertit la demande de retrait de cassette en un messageSECS et transmet la demande de retrait de cassette convertie au serveur EQS 620. Ensuite,à l'étapeS394, le serveur EQS 620 transmet la demande de retrait de cassette, par l'intermédiaire de la ligne de communication commune10, au serveur CMS 140. En réponseà la demande de retrait de cassette,à l'étapeS395, le serveur CMS 140 génère une commande de retrait de cassette.

On se réfère maintenantà la figure 12, qui est un organigramme représentant les étapes suivant lesquelles le serveur CMS transmet la commande de retrait de cassette au matériel de traitement.

A l'étape S401, le serveur CMS 140 transmet la commande de retrait de cassette au serveur EQS 620 et,à l'étape S402, le serveur EQS 620 transmet la commande de retrait de cassette au serveur ECS 640.

Ensuite,à l'étape S403, le serveur ECS 640 convertit la commande de retrait de cassette de type messageSECS en un signal de commande de matériel et,à l'étape S404, il transmet le signal de commande de matériel au matériel de traitement700.

Ensuite,à l'étape S405, le matériel de traitement700 charge le lot traité dans la cassette et attend la commande suivante.

On se réfère maintenantà la figure13, qui est un organigramme représentant les étapes suivant lesquelles le véhicule AGV retire la cassette du matériel de traitement et emmagasine la cassette dans le dispositif de stockage.

A l'étape S441, le véhicule AGV 880 reçoit un signal de commande de véhicule AGV correspondantà la commande de retrait de cassette et il s'avance vers le matériel de traitement700. Puis,à l'étape S442, le véhicule AGV 880 retire la cassette traitée du matériel de traitement700. Ensuite,à l'étape S443, le véhicule AGV 880 s'avance vers le dispositif de stockage 890 et stocke la cassette dans le dispositif de stockage890. Dans ce cas, l'appareil cible peut être un autre matériel de traitement. Conformémentà la présente invention, étant donné que divers processus et diverses données de commande présents dans les unités de production de semiconducteurs sont emmagasinés automatiquement dans une base de données temps réel en temps réel et dans une base de données d'historiques, la gestion globale des unités de production de semiconducteurs peut être assurée de façon efficace, ce qui permet d'améliorer considérablement la productivité en termes de dispositifs à semiconducteurs.

Si la présente invention a été décrite en référenceà certains modes de réalisation préférés seulement, d'autres modifications et variantes pourront être apportées sans s'éloigner de l'esprit et de la portée de la présente invention, telle qu'énoncée dans les revendications annexées.

Claims

REVENDICATIONS 1. Système de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte: une multiplicité de matériels de traitement(700), chacun d'entre eux étant destinéà traiter un lot représentant un nombre prédéterminé de plaquettes en semiconducteur, età générer des données de traitement en temps réel associéesà un processus en réponse a des données de lot au moins un dispositif de gestion de production destinéà générer des instructions de commande associées au processus se déroulant dans les unités de production de semiconducteurs età recevoir les données de traitement en temps réel en provenance de chaque dit matériel de traitement; un dispositif de commande de matériels(600) destinéà commander lesdits matériels de traitement(700) en réponse aux instructions de commande età transmettre les données de traitement en temps réel audit dispositif de gestion de production; un dispositif de stockage de données destinéà emmagasiner des données associées au processus et au lot dans les unités de production de semiconducteurs en réponse aux commandes émisesà partir dudit dispositif de gestion de production; et un dispositif de gestion d'historiques (400) destinéà gérer l'historique de chacun desdits matériels de traitement(700) et desdites plaquettes en semiconducteur en réponse aux instructions de commande émisesà partir dudit dispositif de gestion de production. 2. Système selon la revendication1, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, un dispositif de transport de cassette(800) destinéà transporter une cassette contenant le lot vers un matériel de traitement cible en réponse aux instructions de commande émisesà partir dudit dispositif de gestion de production. 3. Système selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, un dispositif d'établissement de rapport(900) destinéà récupérer les données emmagasinés dans ledit dispositif de stockage de données età générer un rapport. 4. Système selon la revendication3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: un moyen de stockage de cassette destinéà stocker la cassette contenant le lot traité et le lotà traiter en réponse aux instructions de commande émisesà partir dudit dispositif de production. 5. Système selon la revendication 4, caractérisé en ce que ledit dispositif de gestion de production comprend un moyen d'interface (120) comportant une interface graphique d'utilisateur destinéeà l'introduction des données de lot; un moyen de commande de production destinéà générer une commande de fourniture de cassette sur la base des données de lot, età générer une commande de retrait de cassette en réponseà une demande dudit dispositif de commande de matériels(600), età recevoir les données de traitement en temps réel émisesà partir desdits matériels(700); et un moyen de collecte de données(160) destinéà emmagasiner les données de traitement en temps réel dans ledit dispositif de stockage de données. 6. Système selon la revendication5, caractérisé en ce que ledit dispositif de commande de matériels(600) comprend un moyen de commande de matériels de traitement destinéà commander lesdits matériels de traitement(700) en réponse aux commandes émises a partir dudit moyen de commande de production; et un moyen de communication entre matériels destinéà recevoir la commande de fourniture de cassette et la commande de retrait de cassette émisesà partir dudit moyen de commande de production pour convertir les commandes en un signal de commande de matériel, età convertir les donnes de traitement en temps réel émisesà partir desdits matériels de traitement(700) en un message selon la norme relative aux communications entre matériels d'élaboration de semiconducteurs (SECS), puisà transmettre les données de traitement en temps réel audit moyen de commande de matériels. 7. Système selon la revendication6, caractérisé en ce que le dispositif de transport de cassette(800) comprend un moyen de commande inter- unités (840) destinéà recevoir la commande de fourniture de cassette et la commande de retrait de cassette émisesà partir dudit moyen de commande de production; un moyen de commande de dispositif de stockage(860) destinéà générer un signal de commande de dispositif de stockageà utiliser pour commander ledit moyen de stockage de cassette en réponseà la commande de fourniture de cassette età la commande de retrait de cassette par l'intermédiaire dudit moyen de commande inter-unités (840); un moyen de commande de transport de cassette destinéà générer des signaux de commande de transport correspondantà la commande de fourniture de cassette età la commande de retrait de cassette-, et un moyen de transport(880) destinéà extraire une cassette cible dudit moyen de stockage de cassette pour fournir la cassette cibleà un matériel de traitement cible età extraire la cassette cible du matériel de traitement cible pour fournir la cassette cible audit moyen de stockage de cassette, en réponse au signal de commande de transport correspondantà la commande de fourniture de cassette età la commande de retrait de cassette, respectivement. 8. Système selon la revendication7, caractérisé en ce que ledit dispositif de stockage de données comprend un moyen de stockage de données de traitement en temps réel destinéà emmagasiner celles-ci; un moyen de stockage temporaire(300) destinéà emmagasiner temporairement les données de traitement en temps réel sous la forme d'un fichier; un moyen de stockage d'historiques destinéà trier les données de traitement en temps réel emmagasinées dans le moyen de stockage temporaire(300) sous le contrôle dudit dispositif de gestion d'historiques (400) au bout d'un temps prédéterminé, et un moyen de stockage de rapports destinéà emmagasiner le rapport établi par ledit dispositif d'établissement de rapport(900). 9. Système selon la revendication8, caractérisé en ce que les données de lot comprennent un identificateur (I.D.) de lot, un processusà exécuter sur le lot, le nombre de plaquettes en semiconducteur se trouvant dans le lot et un identificateur correspondantà une cassette contenant le lot. 10. Système selon la revendication9, caractérisé en ce que les données de traitement en temps réel comprennent un état du lot, des commandes associées au lot, des données de traitement associées au lot, un état relatif auxdits matériels de traitement(700), des données d'opération associées auxdits matériels de traitement, des commandes associées auxdits matériels de traitement et un état d'exécution d'un processus. 11. Système selon la revendication10, caractérisé en ce que ledit moyen de stockage d'historiques comprend une table de données de lot (510) associée au lot traité, une table de données de matériels(520) associée auxdits matériels de traitement(700), une table de données de réticules et de cassette(530) associée aux réticules de chacune des plaquettes en semiconducteur contenues dans la cassette et une table de données de processus associée (540)à un processus dont l'exécution est en cours. 12. Système selon la revendication11, caractérisé en ce que ladite table de données de lot(510) comprend une table d'états de lot(511) destinéeà emmagasiner des données représentant un processus exécuté sur le lot, le nombre de plaquettes contenues dans le lot, et un état relatif aux plaquettes du lot; une table d'historiques de lot(512) destinéeà emmagasiner des données représentant une modification du nombre des plaquettes en semiconducteur du lot; une table d'historiques de lot effacés(513) destinéeà emmagasiner un historique de lot effacé; une table de propriétés de lot (514) destinéeà emmagasiner des propriétés de lot définies par un opérateur; une table de commandes d'opération(515) destinéeà emmagasiner des commandes d'opération pour faire progresser le processus; une table de traitements(516) destinéeà emmagasiner des données produites au cours de la progression du processus; une table de mises au rebut de lot(517) destinéeà emmagasiner des données représentant un processus lors duquel un lot est mis au rebut, une raison de la mise au rebut, et un historique de gestion correspondantà la mise au rebut; une table de retraitements(518) destinéeà emmagasiner des données représentant une raison du retraitement du lot; et une table d'erreurs de lot(519) destinée, lorsque le lot comporte une erreur,à emmagasiner des données représentant une raison de l'erreur, et un historique de gestion correspondantà l'erreur. 13. Système selon la revendication 12, caractérisé en ce que ladite table de données de matériels(520) comprend un état courant desdits matériels de traitement(700) inclus au cours du traitement; une table d'historiques de matériels(522) destinéeà emmagasiner des données représentant une erreur apparaissant dans lesdits matériels de traitement; une table d'entretien de matériels(523) destinéeà emmagasiner des informations associéesà l'entretien desdits matériels de traitement; une table d'opérations de matériels (524) destinéeà emmagasiner des données associées au processus exécuté et des données associées auxdits matériels de traitement(700); et une table d'historiques de commandes(525) de matériels destinée, lorsqu'un matériel de traitement est défaillant,à emmagasiner des commandes traitées dans lesdits matériels de traitement. 14. Système selon la revendication13, caractérisé en ce que ladite table de données de réticule et de cassette(530) comprend une table d'historiques destinée, lorsqu'au moins l'un des éléments,à savoir la cassette et les réticules, présente une erreur,à emmagasiner des données représentant une erreur se produisant dans la cassette ou dans les réticules. 15. Système selon la revendication 14, caractérisé en ce que ladite table de données de traitement associée aux processus comprend une table d'états de traitement (541) destinéeà emmagasiner des informations d'état correspondant aux plaquettes en semiconducteur ou au lot impliqués en cours de traitement; et une table d'historiques de traitement (542) destinéeà emmagasiner des données représentant le nombre de plaquettes en semiconducteur traitées dans lesdits matériels de traitement(700) et le temps nécessaireà l'exécution du processus. 16. Procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant: a)à transmettre(S300 à S360) une commande de fourniture de cassetteà une multiplicité de matériels de traitement(700) età un moyen de transport automatique, après la génération de la commande de fourniture de cassette en utilisant de premières données de lot transmisesà partir d'un moyen de commande de production; b) à traiter(S370) un lot contenu dans une cassette en utilisant lesdits matériels de traitement; c)à emmagasiner(S380) des données de traitement en temps réel, concernant lesdits matériels de traitement au cours du traitement, dans un moyen de stockage de données par l'intermédiaire d'un moyen de collecte de données(160) ; d) à stocker (S440) la cassette dans un moyen de stockage de cassetteà l'aide dudit moyen de transport automatique; et e)à emmagasiner les données de traitement en temps réel dans un moyen de stockage d'historiques, les données de traitement en temps réel étant triées par un moyen de gestion d'historiques. 17. Procédé selon la revendication16, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, les étapes consistant: f) à fournir un rapport associéà des données emmagasinées dans ledit moyen de stockage d'historiques en réponseà une demande de rapport transmise de l'extérieur; et g) à emmagasiner le rapport dans un moyen de stockage de rapports. 18. Procédé selon la revendication17, caractérisé en ce que l'étape a) comprend les étapes consistant: al)à introduire les premières données de lot dans un moyen d'interface (120); a2)à générer la commande de fourniture de cassette en provenance dudit moyen de commande de production recevant les premières données de lot; a3)à transmettre la commande de fourniture de cassette auxdits matériels de traitement(700) età un moyen de commande inter-unités (840); a4)à transmettre la commande de fourniture de cassette et de secondes données de lotà un moyen de commande de transport pour commander ledit moyen de transport automatique età un moyen de commande de dispositif de stockage(860) pour commander ledit moyen de stockage de cassette; et a5)à transmettre la commande de fourniture de cassette dudit moyen de commande de transport audit moyen de transport de cassette(880) par communication sansfil. 19. Procédé selon la revendication18, caractérisé en ce que l'étape a2) comprend les étapes consistant: a2l) à transmettre la commande de fourniture de cassette dudit moyen de commande de production audit moyen de commande de matériels; a22)à transmettre la commande de fourniture de cassette dudit moyen de commande de matérielsà un moyen de communication entre matériels a23)à convertir la commande de fourniture de cassette en langage machine au niveau dudit moyen de communication entre matériels; a24), après l'étape a23),à transmettre la commande de fourniture de cassette convertie en langage machine auxdits matériels de traitement (S700) via un moyen intermédiaire; et a25)à attendre lesdits matériaux de traitement. 20. Procédé selon la revendication18, caractérisé en ce que les premières données de lot comprennent un identificateur de lot, un procédéà exécuter en premier sur le lot, le nombre de plaquettes en semiconducteur du lot et l'identificateur de cassette contenant le lot. 21. Procédé selon la revendication18, caractérisé en ce que les secondes données de lot comprennent un identificateur de cassette, un emplacement auquel la cassette est fournie et un emplacement prévu pour le chargement de la cassette. 22. Procédé selon la revendication16, caractérisé en ce que l'étape b) comprend les étapes consistant: bl) à transmettre les secondes données de lot dudit moyen de commande de moyen de stockage audit moyen de stockage de cassette via ledit moyen intermédiaire de commande; b2) à préparer la fourniture de la cassette sur la base des secondes données de lot; b3) à transmettre la commande de fourniture de cassette et les secondes données lot dudit moyen de commande de transport audit moyen de transport automatique; b4)) déplacer ledit moyen de transport automatique, extrayant la cassette dudit moyen de stockage de cassette, audit matériel de traitement auquel la cassette doit être fournie; b5) à fournir la cassette destinée audit matériel de traitement; et b6) à faire progresser le processus correspondant au lot contenu dans la cassette. 23. Procédé selon la revendication16, caractérisé en ce que l'étape c) comprend les étapes consistant: cl)à transmettre les données de traitement en temps réel audit moyen de communication entre matériels via ledit moyen intermédiaire de commande; c2) après la conversion des données de traitement en temps réel en un message du type norme relative aux communications entre matériels d'élaboration de semiconducteurs, à transmettre les données de traitement en temps réel converties dudit moyen de communication entre matériels audit moyen de commande de materiéls; c3)à transmettre les données de traitement en temps réel converties dudit moyen de commande de matériels audit moyen de commande de production; et c4)à transmettre les données de traitement en temps réel converties dudit moyen de commande de production audit moyen de collecte de données(160), puisà emmagasiner les données de traitement en temps réel converties dans ledit moyen de stockage de données en utilisant ledit moyen de collecte de données. 24. Procédé selon la revendication16, caractérisé en ce que l'étape d) comprend les étapes consistant: dl) si ledit matériel de traitement termine le processus,à demander un retrait de cassette audit moyen de commande de production, d2) à générer une commande de retrait de cassette comprenant de troisièmes données lot en provenance dudit moyen de commande de production, puisà transmettre la commande de retrait de cassette audit matériel de traitement et audit moyen de commande inter-unités (840); d3) à transmettre les troisièmes données de lot audit moyen de commande de transport en utilisant ledit moyen de commande inter- unités (840); d4)à stocker le lotà traiter dans la cassette en commandant ledit matériel de traitement, puisà attendre ledit matériel de traitement; d5) à transmettre la commande de retrait de cassette dudit moyen de commande de transport audit moyen de transport automatique; et d6) au moyen dudit moyen de transport automatique,à retirer la cassette dudit matériel de traitement, puisà stocker la cassette dans ledit moyen de stockage de cassette. 25. Procédé selon la revendication 24, caractérisé en ce que l'étape dl) comprend les étapes consistant: dl 1), si ledit matériel de traitement termine le processus,à demander le retrait de cassette audit moyen de communication entre matériels via ledit moyen intermédiaire de commande; d12) à convertir la demande de retrait de cassette en message du type norme relative aux communications entre matériels d'élaboration de semiconducteurs, puisà transmettre la demande convertie du moyen de communication entre matériels audit moyen de commande de matériels; et d13) à transmettre la demande convertie dudit moyen de commande de matériels audit moyen de commande de production. 26. Procédé selon la revendication 24, caractérisé en ce que l'étape d2) comprend les étapes consistant: d2l) à générer la commande de retrait de cassette en provenance dudit moyen de production, puisà transmettre la commande de retrait de cassette audit moyen de commande de matériels; d22) à transmettre la commande de retrait de cassette dudit moyen de commande de matériels audit moyen de communication entre matériels; d23) après la conversion de la commande de retrait de cassette en langage machine,à transmettre la commande de retrait de cassette audit matériel de traitement via ledit moyen intermédiaire de commande; et d24)à transmettre la commande de retrait de cassette audit moyen de commande inter-unités (840). 27. Procédé selon la revendication26, caractérisé en ce que les troisièmes données de lot comprennent un identificateur de la cassetteà retirer, un matériel de traitement dont la cassette est retirée et un matériel de traitement auquel la cassette est fournie. 28. Procédé selon la revendication 24, caractérisé en ce que l'étape d6) comprend les étapes consistant: d6l) à transmettre la commande de retrait de cassette comprenant les troisièmes données de lot dudit moyen de commande de transport audit moyen de transport automatique; d62) à retirer la cassette dudit matériel de traitement sur la base des troisièmes données troisième lot; d63) à stocker la cassette dans ledit moyen de stockage de cassette; d64)à transmettre les informations d'emplacement de la cassette stockée dans ledit moyen de stockage de cassette dudit moyen de stockage de cassette audit moyen de commande de production; et d65) à mettreà jour des informations précédentes d'emplacement de la cassette emmagasinée dans ledit moyen de stockage de données pour en faire les informations d'emplacement de la cassette emmagasinée dans ledit moyen de stockage de cassette. 29. Procédé selon la revendication16, caractérisé en ce que l'étape e) comprend les étapes consistant: el) à récupérer les données de traitement en temps réelà emmagasiner dans ledit moyen de stockage de données, puisà emmagasiner les données de traitement en temps réel dans un moyen de stockage temporaire(300) ; e2)à transmettre une résultante emmagasinant les données de traitement en temps réel dans ledit moyen de stockage temporaire(300) dudit moyen de commande de production audit moyen de gestion d'historiques; et e3)à récupérer les données de traitement en temps réel dudit moyen de stockage temporaire(300), puisà enregistrer les données de traitement en temps réel dans ledit moyen de stockage d'historiques. 30. Support exploitable par ordinateur emmagasinant des instructions de programmes, ces dernières étant placées dans un ordinateur pour exécuter un procédé de gestion automatique d'unités de production de semiconducteurs, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant: a)à transmettre une commande de fourniture de cassetteà une multiplicité de matériels de traitement(700) età un moyen de transport automatique, après la génération de la commande de fourniture de cassette en utilisant de premières données de lot transmisesà partir d'un moyen de commande de production; b) à traiter un lot contenu dans une cassette en utilisant lesdits matériels de traitement; c)à emmagasiner des données de traitement en temps réel, concernant lesdits matériels de traitement au cours du traitement, dans un moyen de stockage de données par l'intermédiaire d'un moyen de collecte de données(160), d) à stocker la cassette dans un moyen de stockage de cassette en utilisant ledit moyen de transport automatique; et e)à emmagasiner les données de traitement en temps réel dans un moyen de stockage d'historiques, les données de traitement en temps réel étant triées par un moyen de gestion d'historiques. 31. Support exploitable par ordinateur selon la revendication30, caractérisé en ce qu'il comporte, en outre, les étapes consistant: f) à fournir un rapport associéà des données emmagasinées dans ledit moyen de stockage d'historiques en réponseà une demande de rapport transmise de l'extérieur; et g) à emmagasiner le rapport dans un moyen de stockage de rapport.