KR100211671B1 - 반도체 제조장비의 관리시스템 및 관리방법 - Google Patents
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Abstract
제조장비를 구성하는 각 구성요소별로 관리가 이루어지도록 개선시킨 반도체 제조장비의 관리시스템 및 관리방법에 관한 것이다.
본 발명은, 복수개의 챔버, 포트 및 이송부 등이 각 구성요소로 구비되는 반도체 제조장비에 있어서, 상기 구성요소들의 이력 및 상태 등을 데이터베이스화하여 관리 및 제어하는 장비제어부 및 상기 장비제어부로부터 입력받는 데이터베이스의 확인으로 상기 구성요소들의 점검주기인 피엠(P.M)주기를 판단하여 상기 장비제어부로 입력시킴으로써 상기 장비제어부가 상기 구성요소들을 제어할 수 있게 하는 종합제어부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 각 구성요소별로 이루어지는 효율적인 관리를 통하여 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조장비의 관리시스템 및 관리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 제조장비를 구성하는 각 구성요소별로 관리가 이루어지도록 개선시킨 반도체 제조장비의 관리시스템 및 관리방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조는 수많은 제조장비들을 이용하여 공정이 수행되고, 이러한 제조장비들은 세부적으로 챔버(Chamber), 포트(Port) 및 이송부 등과 같은 구성요소를 하나로 통합하여 구성된다.
그리고 이러한 제조장비들을 효율적으로 관리하기 위하여 장비제어기 및 종합제어기 등으로 구축되는 관리시스템을 이용하여 제조장비의 점검 및 유지보수와 같은 관리를 수행한다.
종래의 관리시스템은 제조장비의 점검 및 유지보수와 관리를 각 구성요소별로 수행한 것이 아니라 제조장비단위로 통합하여 수행하였다.
즉, 장비제어기에 제조장비의 이력 및 상태 등을 데이터베이스(Database)로 구축하여 종합제어기로 관리를 수행하는 것으로, 주로 제조장비의 계속적인 사용으로 인한 점검을 수행하기 위하여 작업자가 주기적으로 제조장비를 점검하는 주기인 피엠(Pre-Maintenance ; P.M)주기를 확인판단하는 관리를 수행하는 것이었다.
그러나 피엠주기를 제조장비단위로 관리하였기 때문에 제조장비를 구성하는 각 구성요소의 피엠주기는 무시되었다.
그래서 각 구성요소의 피엠주기가 되는 시점에서도 제조장비전체의 피엠주기가 아니면 계속적인 공정이 수행되었고 이로 인해 제조장비는 심각한 손상을 입었다.
또한 제조장비의 피엠주기가 된 시점에서는 각 구성요소의 피엠주기가 아니더라도 제조장비의 가동을 중단시켰기 때문에 제조장비의 가동효율을 저하시켰다.
즉, 종래의 관리시스템은 제조장비단위로 관리가 이루어졌기 때문에 각 구성요소의 이력 및 상태의 데이터베어스 구축은 이루어지지 않았고, 또한 각 구성요소마다 수행되는 단위공정의 진행확인은 더욱 어려웠다.
따라서, 종래의 제조장비 관리시스템은 각 구성요소별로 관리가 이루어지지않고 제조장비의 관리만 이루어져서 제조장비의 손상 및 가동효율저하로 인해 생산성이 감소되는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은, 효율적인 재조장비의 관리를 통하여 생산성의 극대화를 도모하기 위한 반도체 제조장비의 관리시스템 및 관리방법을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 관리시스템의 실시예를 나타내는 구성도이다.
도2는 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 관리방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 제조장비 10 : 챔버
12 : 포트 14 : 이송부
20 : 장비제어부 22 : 종합제어부
24 : 출력부
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 관리시스템은, 복수개의 챔버(Chamber), 포트(Port) 및 이송부 등이 각 구성요소로 구비되는 반도체 제조장비에 있어서, 상기 구성요소들의 이력 및 상태 등을 데이터베이스(Database)화하여 관리 및 제어하는 장비제어부 및 상기 장비제어부로부터 입력받는 데이터베이스의 확인으로 상기 구성요소들의 점검주기인 피엠(P.M)주기를 판단하여 상기 장비제어부로 입력시킴으로써 상기 장비제어부가 상기 구성요소들을 제어할 수 있게 하는 종합제어부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
그리고, 상기 피엠주기를 출력하기 위하여 모니터(Monitor)를 구비하고, 또한 작업자가 확인할 수 있는 오퍼레이터 인터페이스(Operator Interfaces)화면을 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 반도체 제조장비의 관리방법은, 반도체 제조장비를 구성하는 각 구성요소들의 이력 및 상태 등을 데이터베이스로 구축하는 단계, 상기 데이터베이스를 조회하여 상기 각 구성요소들의 점검주기인 피엠주기를 확인 및 출력하는 단계 및 상기 피엠주기가 확인된 각 구성요소의 이력 및 상태 등을 백업화일(Backup File)로 저장하고 조치를 취하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.
그리고, 상기 각 구성요소는 복수개의 챔버, 포트 및 이송부 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도1에서 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 관리시스템의 실시예를 나타내는 구성도이고, 도2는 본 발명에 따른 반도체 제조장비의 관리방법의 실시예를 나타내는 순서도이다.
먼저, 도1은 복수개의 챔버(10), 포트(12) 그리고 이송부(14) 등을 각 구성요소로 하여 이루어지는 제조장비(1)가 구비된다.
그리고 제조장비 피엠주기의 효율적인 관리를 위하여 각 구성요소(10, 12, 14)들의 이력 및 상태 등을 데이터베이스화하여 관리 및 제어하는 장비제어부(20) 및 장비제어부(20)에서 제공하는 데이터베이스를 입력받아 각 구성요소(10, 12, 14)들의 유지보수 및 크리닝(Cleaning) 등을 수행하기 위한 점검주기인 피엠주기를 확인판단하는 종합제어부(22)가 구비된다.
여기서 장비제어부(20)는 종합제어부(22)에서 확인판단한 피엠주기를 입력받아 각 구성요소(10, 12, 14) 중 해당 구성요소를 제어할 수 있도록 구비된다.
그리고 종합제어부(22)에서 확인판단되는 피엠주기를 출력하는 출력부(24)가 더 구비된다.
본 발명의 출력부(24)는 모니터 또는 작업자가 종합제어부와의 통신(Communication)으로 출력이 이루어지는 오퍼레이터 인터페이스로 구비될 수 있고, 실시예는 모니터로 구비되어 작업자는 언제든지 각 구성요소(10, 12, 14)의 이력 및 상태를 확인할 수 있다.
그리고 도2는 단계 S2에서 장비제어부(20)에 제조장비(1)의 각 구성요소인 챔버(10), 포트(12) 및 이송부(14) 등의 이력 및 상태를 데이터베이스로 구축하고, 단계 S4에서 종합제어부(22)는 장비제어부(20)에 구축된 데이터베이스를 입력받아 각 구성요소(10, 12, 14)의 이력 및 상태를 조회하여, 단계 S6에서 조회가 이루어진 각 구성요소(10, 12, 14)의 이력 및 상태를 이용하여 각 구성요소(10, 12, 14)의 피엠주기를 확인 및 판단하여 장비제어부(20)에 입력시키고, 단계 S8에서 장비제어부(20)는 입력이 이루어진 피엠주기의 해당 구성요소의 이력 및 상태를 백업화일로 저장하고 동시에 해당 구성요소의 공정수행을 중단시키는 등의 제어를 실시하는 구성이다.
그리고 각 구성요소(10, 1, 14)의 이력 및 상태는 작업자가 언제든지 확인할 수 있으며, 또한 피엠의 출력이 이루어질 때 롱 메시지도 함께 출력이 이루어지도록 구성된다.
전술한 구성에 따라 본 발명의 실시예에 대한 작용 및 효과에 대하여 설명한다.
먼저, 단계 S2에서 제조장비(1)의 각 구성요소인 챔버(10), 포트(12), 이송부(14) 등의 이력 및 상태를 장비제어부(20)에 데이터베이스로 구축시킨다.
그리고 단계 S4에서 종합제어부(24)는 데이터베이스를 입력받아 제조장비(1)의 구성요소들인 챔버(10), 포트(12) 및 이송부(14) 등의 이력 및 상태 등을 조회하고, 단계 S6에서 조회한 결과로서 각 구성요소910, 12, 14)의 피엠주기를 확인 및 판단하고 장비제어부(20)에 입력시킨다.
여기서 출력부(24)는 피엠주기가 확인되는 해당 구성요소의 점검원인을 나타내는 롱 메시지를 함께 출력하고, 또한 작업자는 출력부(24)를 통하여 각 구성요소(10, 12, 14)의 이력 및 상태를 언제든지 파악할 수 있다.
그리고 단계 S8에서 장비제어부(20)는 입력이 이루어진 프레메이트주기의 해당 구성요소의 이력 및 상태를 백업화일로 저장하고, 또한 해당 구성요소의 공정을 중단시키는 등의 조치를 취하면 된다.
본 발명의 이러한 제조장비의 관리는 제조장비의 각 구성요소별로 이루어지기 때문에 효율적인 제조장비관리를 이룩할 수 있다.
즉, 제조장비(1)전체의 가동중단이 아닌 해당구성요소만의 가동을 중단시킴으로서 제조장비(1)는 계속적인 공정수행을 진행할 수 있어 제조장비(1)의 가동효율을 증대시킬 수 있기 때문이다.
또한 해당 구성요소 각각으로 피엠주기를 확인 및 점검하지만 전체적으로는 지속적인 제조장비(1)의 관리가 이루어지는 것이다.
따라서, 본 발명에 의하면 각 구성요소별로 이루어지는 효율적인 관리를 통하여 생산성을 극대화시키는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (6)
- 복수개의 챔버(Chamber), 포트(Port) 및 이송부 등이 각 구성요소로 구비되는 반도체 제조장비에 있어서,상기 구성요소들의 이력 및 상태 등을 데이터베이스(Database)화하여 관리 및 제어하는 장비제어부; 및상기 장비제어부로부터 입력받는 데이터베이스의 확인으로 상기 구성요소들의 점검주기인 피엠(P.M)주기를 판단하여 상기 장비제어부로 입력시킴으로써 상기 장비제어부가 상기 구성요소들을 제어할 수 있게 하는 종합제어부;를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 관리시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 피엠주기를 출력하는 출력부가 더 구비되어 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 제조장비의 관리시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 출력부는 모니터(Monitor)로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 제조장비의 관리시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 출력부는 작업자가 확인할 수 있는 오퍼레이터 인터페이스(Operator Interfaces)화면을 더 구비하여 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 제조장비의 관리시스템.
- 반도체 제조장비를 구성하는 각 구성요소들의 이력 및 상태 등을 데이터베이스로 구축하는 단계;상기 데이터베이스를 조회하여 상기 각 구성요소들의 피엠주기를 확인 및 출력하는 단계; 및상기 피엠주기가 확인된 각 구성요소의 이력 및 상태 등을 백업화일(Backup File)로 저장하고 조치를 취하는 단계;를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 관리방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 각 구성요소는 복수개의 챔버, 포트 및 이송부 등으로 이루어짐을 특징으로 하는 상기 반도체 제조장비의 관리방법.
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