KR20100045142A - 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법 - Google Patents

반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법 Download PDF

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Abstract

알람 설정 모드가 이원화되는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법을 개시한다. 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치는 복수의 모듈, 모듈들을 실시간으로 모니터링하는 적어도 하나의 모듈 컨트롤러 및 모듈 컨트롤러를 제어하여 모듈들 중 어느 하나로부터 오류가 발생하면 알람 설정에 따라 알람을 발생시키고, 모듈 컨트롤러와의 네트워크 상태에 따라 알람 설정을 제1 모드와 제2 모드로 구분하여 처리하는 설비 제어부를 포함한다.

Description

반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법{APPARATUS FOR PROCESSING ALARM IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENTS AND METHOD FOR SETTING ALARM}
본 발명은 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 알람 설정 모드가 이원화되는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 설비는 반도체 소자를 제조하는 공정을 처리하기 위하여, 해당 공정을 처리하는 복수 개의 프로세스 모듈과, 프로세스 유닛들로 반도체 기판을 이송하는 적어도 하나의 트랜스퍼 모듈을 구비한다.
이러한 반도체 제조 설비는 공정 처리시, 작업의 효율성 향상 및 공정 사고를 미연에 방지하기 위하여, 각 모듈들의 동작 상태를 실시간으로 모니터링한다. 이를 위해 반도체 제조 설비는 프로세스 모듈들과 트랜스퍼 모듈들을 제어하는 컨트롤러를 구비한다. 컨트롤러는 프로세스 모듈들 및 트랜스터 모듈들에 구비되는 센서, 분석 장치 등과 전기적으로 연결되어, 실시간으로 공정 조건, 동작 상태 및 공정 결과 등을 판별하여 해당 모듈의 오류 상태를 인지하고, 반도체 제조 설비의 제반 동작으로 제어하는 설비 제어부로 알람 발생에 대한 정보를 제공한다. 따라서 설비 제어부는 공정 진행 중인 트랜스퍼 모듈 또는 프로세스 모듈에서 임의의 오류가 발생하면 사용자가 조치할 수 있도록 외부로 알람을 발생한다.
도 1을 참조하면, 일반적인 반도체 제조 설비는 설비 제어부의 표시부(10)를 통해 알람 발생 원인에 대한 알람 코드, 파라메터 등의 알람 정보들이 저장된 알람 리스트(13)를 표시한다. 또한, 표시부(10)는 알람 리스트(13)와 함께 해당 알람에 대한 권장 모드와 실제 정지 모드의 알람 처리 설정(15,17)을 표시한다. 사용자는 설비 제어부를 통해 실제 정지 모드의 알람 처리 설정(17)을 다양하게 변경할 수 있다.
사용자는 셋업과 테스트를 위해 실제 정지 모드의 알람 처리 설정(17)을 알람이 발생하지 않도록 변경하여 반도체 제조 설비를 구동시킨 후 권장 모드의 알람 처리 설정(15)으로 복구시켜야 한다. 그러나, 사용자가 권장 모드의 알람 처리 설정(15)으로 복구하지 않을 경우에는 공정 진행을 위해 반도체 제조 설비를 구동하면서 설비에 이상이 발생하여도 알람이 발생하지 않는 사고가 일어날 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 알람 설정의 변경에 따른 사고를 방지할 수 있는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법을 제공하는 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치는 복수의 모듈, 상기 모듈들을 실시간으로 모니터링하는 적어도 하나의 모듈 컨트롤러 및 상기 모듈 컨트롤러를 제어하여 상기 모듈들 중 어느 하나로부터 오류가 발생하면 알람 설정에 따라 알람을 발생시키고, 상기 모듈 컨트롤러와의 네트워크 상태에 따라 상기 알람 설정을 제1 모드와 제2 모드로 구분하여 처리하는 설비 제어부를 포함한다.
본 발명의 일 실시 예에서, 상기 설비 제어부는 상기 모듈들의 오류에 따른 복수의 알람 정보가 저장된 알람 리스트, 상기 알람 리스트와 상기 알람의 처리 설정을 관리하는 알람 관리 프로그램 및 상기 알람 관리 프로그램을 표시하는 표시부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서, 상기 제1 모드는 상기 네트워크 상태가 자동화 온라인 상태일 때 적용되고, 상기 제2 모드는 상기 네트워크 상태가 로컬 리모트 상태와 오프라인 상태일 때 적용될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서, 상기 자동화 온라인 상태는 외부 장치로부터의 명령을 수신하고, 상기 외부 장치에 작동 현황을 보고할 수 있다. 상기 로컬 리모트 상태는 상기 외부 장치로부터의 명령을 수신하지 않고, 상기 외부 장치에 작동 현황을 보고할 수 있다. 상기 오프라인 상태는 상기 외부 장치로부터의 명령을 수신하지 않고, 상기 외부 장치에 작동 현황을 보고하지 않을 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서, 상기 제1 모드는 상기 알람의 처리 설정이 고정되고, 상기 제2 모드는 상기 알람의 처리 설정이 가변될 수 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치는 복수의 모듈 및 상기 모듈들 중 어느 하나로부터 오류가 발생하면 알람을 발생시키고, 공정을 위한 제1 모드와, 셋업 및 테스트를 위한 제2 모드 각각에 대응하도록 알람을 설정하여 상기 알람을 처리하는 설비 제어부를 포함한다.
본 발명의 다른 실시 예에서, 상기 모듈들을 실시간으로 모니터링하는 적어도 하나의 모듈 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에서, 상기 설비 제어부는 상기 모듈들의 오류에 따른 복수의 알람 정보가 저장된 알람 리스트, 상기 알람 리스트와 상기 알람의 처리 설정을 관리하는 알람 관리 프로그램 및 상기 알람 관리 프로그램을 표시하는 표시부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에서, 상기 설비 제어부는 상기 제1 모드에서 상기 알람의 처리 설정이 고정되고, 상기 제2 모드에서 상기 알람의 처리 설정이 가변될 수 있다.
상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 알람 설정 방법은 복수의 모듈을 포함하는 반도체 제조 설비에서 상기 모듈들과의 네트워크 상태에 따라 알람 모드를 변경하며, 상기 네트워크 상태가 자동화 온라인 상태일 때 상기 알람 모드를 제1 모드로 적용하고, 상기 네트워크 상태가 로컬 리모트 및 오프라인 중 어느 하나의 상태일 때 상기 알람 모드를 제2 모드로 적용한다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 자동화 온라인 상태에서는 상기 알람을 처리 하기 위한 알람 처리 설정이 고정되고, 상기 로컬 리모트 및 상기 오프라인 중 어느 하나의 상태에서는 상기 알람을 처리하기 위한 알람 처리 설정이 가변될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 로컬 리모트 상태 또는 상기 오프라인 상태에서 상기 자동화 온라인 상태로 변환시 상기 알람 설정은 상기 제2 모드에서 상기 제1 모드로 변환될 수 있다.
상술한 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법에 따르면, 설비 제어부가 반도체 제조 설비의 구동 목적 및 네트워크 상태에 따라 알람 설정을 이원화시켜 적용함으로써, 알람 처리 설정의 변경으로 인한 제조 사고를 방지할 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법에 대한 실시 예를 상세하게 설명한다. 상술한 본 발명이 해결하고자 하는 과제, 과제 해결 수단, 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시 예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 본 발명은 여기서 설명되는 실시 예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 아래의 실시 예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고, 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명의 범위가 후술될 실시 예들로 인해 한정되는 것으 로 해석되어서는 안 될 것이다. 한편, 도면은 명확한 설명을 위해 일부가 간략하거나 과장되게 표현되었다. 도면에 표현된 동일한 참조 번호는 동일한 구성 요소를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치를 나타내는 블럭도이다.
도 2를 참조하면, 반도체 제조 설비(100)는 복수의 트랜스퍼 모듈(또는 유닛)(120)과 복수의 프로세스 모듈(122)을 구비한다. 예를 들어, 반도체 제조 설비(100)는 포토리소그라피 공정을 처리하는 스피너(spinner) 설비일 수 있고, 트랜스퍼 모듈들(120)로서 반도체 기판을 이송하는 복수의 웨이퍼 이송 장치, 프로세스 모듈들(122)로서 베이크, 도포 및 현상 등의 공정을 각각 처리하는 복수의 처리 유닛(또는 공정 챔버)들을 구비한다.
반도체 제조 설비(100)는 트랜스퍼 모듈들(120)을 제어하는 적어도 하나의 트랜스퍼 모듈 컨트롤러(110), 프로세스 모듈들(122)을 제어하는 적어도 하나의 프로세스 모듈 컨트롤러(112) 및 상기 트랜스퍼 모듈 컨트롤러(110)와 프로세스 모듈 컨트롤러(112)에 네트워크를 통하여 각각 연결되어 제반 동작을 제어하는 설비 제어부(102)를 포함한다. 이러한 컨트롤러들(110,112)과 설비 제어부(102)는 본 발명에 따른 반도체 제조 설비(100)의 알람 처리 장치로 상호 작용한다.
트랜스퍼 모듈들(120)과 프로세스 모듈들(122)은 예컨대, 센서, 분석 장치 등을 구비하고, 이들을 통해 공정 처리시, 모듈들(120,122)의 동작 상태, 공정 조건 및 공정 결과 등을 실시간으로 감지하여 각각 트랜스퍼 모듈 컨트롤러(110)와 프로세스 모듈 컨트롤러(112)로 제공한다.
트랜스퍼 모듈 컨트롤러(110)와 프로세스 모듈 컨트롤러(112)는 각각 트랜스퍼 모듈들(120)과 프로세스 모듈들(122)을 실시간으로 모니터링하여 트랜스퍼 모듈들(120)과 프로세스 모듈들(122)로부터 오류가 발생되면, 오류가 발생된 내용 예컨대, 오류가 발생된 모듈의 명칭, 알람 코드 및 증상 등을 네트워크를 통해 설비 제어부(102)로 제공한다.
설비 제어부(102)는 예컨대, 클러스터 툴 컨트롤러(Cluster Tool Controller: CTC)로 구비되고, 네트워크를 통해 트랜스퍼 모듈 컨트롤러(110)와 프로세스 모듈 컨트롤러(112)에 연결되어 반도체 제조 설비(100)의 제반 동작을 제어한다. 따라서, 설비 제어부(102)는 트랜스퍼 모듈 컨트롤러(110) 또는 프로세스 모듈 컨트롤러(112)로부터 어느 하나의 모듈에서 오류가 발생되었음을 알리는 정보가 수신되면, 정확한 알람 발생 원일을 나타내는 알람 정보를 나타내도록 처리한다.
구체적으로, 설비 제어부(102)는 다양한 알람 발생 원에 대한 복수의 알람 정보를 포함하는 알람 리스트(104), 알람이 발생하면 알람 리스트(104)로부터 알람 발생 원인에 대한 해당 알람 정보를 검색하고, 검색된 알람 정보의 파라메터들을 변수로 치환할 수 있도록 파싱(parsing)하고, 파싱된 알람 정보의 변수를 각종 파라메터들과 매칭시켜서 알람 데이터를 생성하는 알람 관리 프로그램(106) 및, 알람 관리 프로그램(106)의 제어를 받는 알람 처리 설정을 나타내는 표시부(108)를 구비한다.
알람 리스트(104)는 알람 발생 원인(예를 들어, 공정 조건, 동작 상태 및 공 정 결과 등)에 대응하여 복수 개의 알람 정보들을 포함한다. 예를 들어, 알람 정보들은 오류가 발생된 모듈과 알람 증상에 대응하는 알람 코드들에 의해 분류된다. 또 알람 리스트(104)는 오류가 발생된 유닛 명칭과, 알람 코드와, 공정 처리에 따른 설정값, 실시간으로 측정된 측정값 등을 포함하는 파라메터들과, 알람 코드에 대응되는 알람 명칭과, 오류가 발생된 알람 발생 증상 및, 알람 발생 원인을 제거하기 위한 조치 사항 등이 포함될 수 있다.
알람 관리 프로그램(106)은 알람 리스트(104)에 대응하는 알람 처리 설정을 제어한다.
표시부(108)는 도 3과 도 4를 더 참조하여 설명한다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 표시부를 예시적으로 나타내는 도면이다.
표시부(108)는 알람 리스트(104)와, 알람 관리 프로그램(106)이 제어하는 알람 처리 설정을 나타낸다. 그리고, 표시부(108)는 반도체 제조 설비(100)의 네트워크 상태와 현재 시간 및 설비 제어부(102)의 알람 모드 등을 나타낸다. 또한, 표시부(108)는 알람 처리 설정을 변경할 수 있는 입력 장치의 역할도 담당할 수도 있다. 예를 들어, 표시부(108)는 알람 리스트(104)에 대한 알람 처리 설정을 변경할 수 있는 터치스크린으로 이루어질 수 있다. 표시부(108)는 알람 처리 설정을 도 3과 도 4에 도시된 바와 같이 디폴트 정지 모드(160)와 셋업 정지 모드(170)로 구분하여 표시한다. 디폴트 정지 모드(160)는 설비 제어부(102)와 모듈 컨트롤러들(110,112)의 네트워크 연결이 자동화 온라인 상태일 때 적용된다. 셋업 정지 모드(170)는 설비 제어부(102)와 모듈 컨트롤러들(110,112)의 네트워크 연결 상태가 로컬 리모트 상태와 오프라인 상태일 때 적용된다.
설비 제어부(102)는 모듈 컨트롤러들(110,112)과 자동화 온라인으로 연결된 상태일 때 도 3에 도시된 바와 같이 제1 모드로 알람 모드가 세팅된다. 이때, 자동화 온라인 상태는 설비 제어부(102)가 외부 장치의 명령을 수신하고, 외부 장치에 작동 현황을 보고한다. 그리고, 자동화 온라인 상태는 표시부(108)의 상태 정보(180)에 커넥션(connection)으로 표시된다.
제1 모드는 예컨대, 상태 정보(180)에 알람 디폴트 모드(alarm default mode)로 표시되고, 디폴트 정지 모드(160)와 셋업 정지 모드(170) 모두 알람 처리 설정이 고정된다. 제1 모드는 예컨대, 표시부(108)의 디폴트 정지 모드(160)와 셋업 정지 모드(170)가 모두 비활성화되어 알람 처리 설정의 입력이 불가능하고, 디폴트 정지 모드(160)의 알람 처리 설정이 반도체 제조 설비(100)의 알람 처리 장치에 적용된다.
설비 제어부(102)는 모듈 컨트롤러들(110,112)과 로컬 리모트 및 오프라인으로 연결된 상태일 때 도 4에 도시된 바와 같이 제2 모드로 알람 처리 설정이 세팅된다. 이때, 로컬 리모트 상태는 설비 제어부(102)가 외부 장치의 명령을 수신하지 않고, 외부 장치에 작동 현황을 보고한다. 오프라인 상태는 외부 장치의 명령을 수신하지 않고, 외부 장치에 작동 현황을 보고하지 않는다. 로컬 리모트 및 오프라인 상태는 표시부(108)의 상태 정보(180)에 디스커넥션(disconnection)으로 표시된다.
제2 모드는 예컨대, 상태 정보(180)에 알람 셋업 모드(alarm default mode)로 표시되고, 셋업 정지 모드(170)의 알람 처리 설정을 변경할 수 있다. 제2 모드 는 셋업 정지 모드(170)의 알람 처리 설정을 셋업 및 테스트를 위해 표시만 되도록 변경할 수 있다. 이때, 셋업 정지 모드(170)는 활성화되어 알람 처리 설정의 입력이 가능하고, 디폴트 정지 모드(160)는 비활성화되어 알람 처리 설정을 입력할 수 없다.
여기서, 제2 모드는 설비 제어부(102)와 모듈 컨트롤러들(110,112)의 네트워크 상태가 자동화 온라인 상태로 변경될 때 제1 모드로 강제로 전환된다. 즉, 변경된 셋업 정지 모드(170)의 알람 처리 설정은 무시되고, 디폴트 정지 모드(160)의 알람 처리 설정이 반도체 제조 설비(100)의 알람 처리 장치에 적용된다. 이를 통해, 알람 처리 장치는 공정 진행을 위해 반도체 제조 설비(100)가 구동될 때 변경된 알람 처리 설정에 의한 제조 사고의 발생을 방지할 수 있다.
도 5는 도 2에 도시된 반도체 제조 설비의 알람을 설정하기 위한 처리 수순을 나타내는 흐름도이다. 이 수순은 설비 제어부에서 표시부를 통해 알람 리스트와 알람 관리 프로그램을 설정하여 진행된다. 여기서는 도 2 내지 도 4에 도시된 참조번호를 차용하여 설명한다.
도 5를 참조하면, 우선, 반도체 제조 설비의 네트워크 상태를 확인한다(S10). 구체적으로, 반도체 제조 설비(100)가 공정 진행을 위해 자동화 온라인 상태인지, 셋업 및 테스트를 위해 로컬 리모트 및 오프라인 중 어느 하나의 상태인지 확인한다. 예컨대, 네트워크 상태는 표시부(108)에 자동화 온라인 상태인 커넥션(connection) 또는 로컬 리모트 및 오프라인인 중 어느 하나의 상태인 디스커넥션(disconnection)으로 표시됨으로써 확인할 수 있다.
반도체 제조 설비(100)가 자동화 온라인 상태일 경우 알람 모드로 제1 모드를 적용한다(S20). 표시부(108)에 네트워크 상태가 커넥션(connection)으로 표시되면, 알람 디폴트 모드인 제1 모드가 설비 제어부(102)에 적용된다. 이에 따라, 알람 관리 프로그램(106)의 제어를 받는 알람 처리 설정이 고정된다(S25). 즉, 디폴트 정지 모드(160)와 셋업 정지 모드(170)의 설정 입력이 불가능해진다. 그리고, 알람 처리 설정이 알람 처리 장치에 적용된다(S40). 이때, 디폴트 정지 모드(160)의 알람 처리 설정이 적용된다.
반도체 제조 설비(100)가 로컬 리모트 및 오프라인 중 어느 하나의 상태일 경우 알람 모드로 제2 모드를 적용한다(S30). 표시부(108)에 네트워크 상태가 디스커넥션(disconnection)으로 표시되면, 알람 셋업 모드인 제2 모드가 설비 제어부(102)에 적용된다. 이에 따라, 알람 관리 프로그램(106)의 제어를 받는 알람 처리 설정이 가변된다(S35). 즉, 셋업 정지 모드(170)의 설정 입력이 가능해진다. 그리고, 알람 처리 설정이 알람 처리 장치에 적용된다(S40). 이때는 셋업 정지 모드(170)의 알람 처리 설정이 적용된다.
여기서, 반도체 제조 설비(100)의 네트워크 상태가 로컬 리모트 상태 또는 오프라인 상태에서 자동화 온라인 상태로 변환될 때 알람 모드는 제2 모드에서 제1 모드로 변환된다.
이와 같이 반도체 제조 설비(100)의 구동 목적 및 네트워크 상태에 따라 알람 설정을 이원화시켜 적용함으로써, 알람 처리 설정의 변경으로 인한 제조 사고를 방지할 수 있다.
도 1은 일반적인 반도체 제조 설비의 알람 설정을 나타내는 표시부를 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치를 나타내는 블럭도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 표시부를 예시적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 도 2에 도시된 반도체 제조 설비의 알람을 설정하기 위한 처리 수순을 나타내는 흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
100 : 반도체 제조 설비 102 : 설비 제어부
104 : 알람 리스트 106 : 알람 관리 프로그램
108 : 표시부 110 : 트랜스퍼 모듈 컨트롤러
112 : 프로세스 모듈 컨트롤러 120 : 트랜스퍼 모듈
122 : 프로세스 모듈 160 : 디폴트 정지 모드
170 : 셋업 정지 모드 180 : 상태 정보

Claims (12)

  1. 반도체 제조 설비의 알람을 처리하는 알람 처리 장치에 있어서,
    복수의 모듈;
    상기 모듈들을 실시간으로 모니터링하는 적어도 하나의 모듈 컨트롤러; 및
    상기 모듈 컨트롤러를 제어하여 상기 모듈들 중 어느 하나로부터 오류가 발생하면 알람 설정에 따라 알람을 발생시키고, 상기 모듈 컨트롤러와의 네트워크 상태에 따라 상기 알람 설정을 제1 모드와 제2 모드로 구분하여 처리하는 설비 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 설비 제어부는,
    상기 모듈들의 오류에 따른 복수의 알람 정보가 저장된 알람 리스트;
    상기 알람 리스트와 상기 알람의 처리 설정을 관리하는 알람 관리 프로그램; 및
    상기 알람 관리 프로그램을 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 모드는 상기 네트워크 상태가 자동화 온라인 상태일 때 적용되고, 상기 제2 모드는 상기 네트워크 상태가 로컬 리모트 상태와 오프라인 상태일 때 적용되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 자동화 온라인 상태는 외부 장치로부터의 명령을 수신하고, 상기 외부 장치에 작동 현황을 보고하며, 상기 로컬 리모트 상태는 상기 외부 장치로부터의 명령을 수신하지 않고, 상기 외부 장치에 작동 현황을 보고하며, 상기 오프라인 상태는 상기 외부 장치로부터의 명령을 수신하지 않고, 상기 외부 장치에 작동 현황을 보고하지 않는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치.
  5. 제3 항에 있어서,
    사기 제1 모드는 상기 알람의 처리 설정이 고정되고, 상기 제2 모드는 상기 알람의 처리 설정이 가변되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치.
  6. 반도체 제조 설비의 알람을 처리하는 알람 처리 장치에 있어서,
    복수의 모듈; 및
    상기 모듈들 중 어느 하나로부터 오류가 발생하면 알람을 발생시키고, 공정을 위한 제1 모드와, 셋업 및 테스트를 위한 제2 모드 각각에 대응하도록 알람을 설정하여 상기 알람을 처리하는 설비 제어부를 포함하는 알람 처리 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 모듈들을 실시간으로 모니터링하는 적어도 하나의 모듈 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 알람 처리 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 설비 제어부는,
    상기 모듈들의 오류에 따른 복수의 알람 정보가 저장된 알람 리스트;
    상기 알람 리스트와 상기 알람의 처리 설정을 관리하는 알람 관리 프로그램; 및
    상기 알람 관리 프로그램을 표시하는 표시부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치.
  9. 제6 항에 있어서,
    상기 설비 제어부는 상기 제1 모드에서 상기 알람의 처리 설정이 고정되고, 상기 제2 모드에서 상기 알람의 처리 설정이 가변되는 것을 특징으로 하는 알람 처리 장치.
  10. 복수의 모듈을 포함하는 반도체 제조 설비에서 상기 모듈들과의 네트워크 상태에 따라 알람 모드를 변경하는 알람의 설정 방법에 있어서,
    상기 네트워크 상태가 자동화 온라인 상태일 때 상기 알람 모드를 제1 모드로 적용하고, 상기 네트워크 상태가 로컬 리모트 및 오프라인 중 어느 하나의 상태일 때 상기 알람 모드를 제2 모드로 적용하는 것을 특징으로 하는 알람 설정 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 자동화 온라인 상태에서는 상기 알람을 처리하기 위한 알람 처리 설정이 고정되고, 상기 로컬 리모트 및 상기 오프라인 중 어느 하나의 상태에서는 상기 알람을 처리하기 위한 알람 처리 설정이 가변되는 것을 특징으로 하는 알람 설정 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 로컬 리모트 상태 또는 상기 오프라인 상태에서 상기 자동화 온라인 상태로 변환시 상기 알람 설정은 상기 제2 모드에서 상기 제1 모드로 변환되는 것을 특징으로 하는 알람 설정 방법.
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