KR102046795B1 - 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 동시에 원격으로 제어하기 위한 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치에 있어서, 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 대한 동작 상태를 디스플레이할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 동일 공간 내에서 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 연결되는 적어도 두 대의 제1 디스플레이부; 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 각각으로부터 전송되는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 동작 상태를 하나의 디스플레이로 출력할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 공간과 떨어진 공간에서 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부와 연결되는 제2 디스플레이부; 및 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 및 상기 제2 디스플레이부 사이를 연결하는 연결부를 포함하고, 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비는 실제의 반도체 제조 공정에 사용되거나 또는 가상의 반도체 제조 공정에 사용될 수 있다.
Description
본 발명은 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 동시에 원격으로 제어하기 위한 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조을 위한 제조 설비는 다수대가 구비될 수 있다. 아울러, 상기 반도체 제조를 위한 제조 설비는 항상 모니터링되어야 한다. 이에, 상기 반도체 제조 설비 각각에 대해서는 모니터링을 위한 부재 각각이 연결되도록 구비될 수 있다. 일예로, 상기 반도체 제조 설비 중 반도체 패키지를 검사하는 테스트 핸들러의 경우 반도체 패키지의 검사에 대한 결과를 모니터링하기 위한 부재가 테스트 핸들러 각각과 연결되도록 구비될 수 있다. 이때, 상기 모니터링을 위한 부재의 예로서는 경보 장치, 디스플레이부 등을 들 수 있다.
그리고 상기 모니터링을 위한 부재는 상기 반도체 제조 설비가 위치하는 동일 공간 내에서 상기 반도체 제조 설비와 연결되도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 반도체 제조 설비 각각에 대한 동작 상태의 모니터링은 상기 반도체 제조 설비가 위치하는 공간 내에서 이루어질 수 있다.
따라서 상기 반도체 제조 설비 각각의 동작 상태에 대한 이상이 발견될 경우 상기 반도체 제조 설비가 위치하는 공간까지 작업자가 이동하여야만 이상에 대한 조치가 가능한 것으로써, 상기 반도체 제조 설비가 적어도 두 대가 구비되고, 서로 다른 공간에 위치할 경우에는 이상 유무에 대한 실시간의 모니터링이 불가할 수 있는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 공간과 떨어진 공간에서도 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 모니터링을 원격으로 수행할 수 있는 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 동시에 원격으로 제어하기 위한 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치에 있어서, 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 대한 동작 상태를 디스플레이할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 동일 공간 내에서 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 연결되는 적어도 두 대의 제1 디스플레이부; 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 각각으로부터 전송되는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 동작 상태를 하나의 디스플레이로 출력할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 공간과 떨어진 공간에서 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부와 연결되는 제2 디스플레이부; 및 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 및 상기 제2 디스플레이부 사이를 연결하는 연결부를 포함하고, 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비는 실제의 반도체 제조 공정에 사용되거나 또는 가상의 반도체 제조 공정에 사용될 수 있다.
언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치에서, 상기 연결부는 랜(LAN), RS232, 무선 통신 및 메모리로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나를 사용함에 의해 구비될 수 있다.
언급한 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법에 따르면, 제1 디스플레이부 및 제2 디스플레이부를 구비함으로써 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 공간과 떨어진 공간에서도 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 모니터링을 원격으로 수행할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법은 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 모니터링을 원격으로 수행할 수 있기 때문에 이상 유무 발생시 보다 신속한 대체가 가능함으로써 반도체 제조에 따른 생산성이 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
아울러, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법은 실제 공정과 더불어 가상 공정의 시뮬레이션도에 적용이 가능하기 때문에 발생 가능한 이상 유무를 사전에 점검할 수 있음으로써 반도체 제조에 따른 신뢰도가 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치를 설명하기 위한 계략적인 구성도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치를 설명하기 위한 계략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 구비되는 것으로써, 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)의 예로서는 제조 공정 설비, 검사 설비 등을 들 수 있다. 여기서, 상기 제조 공정 설비는 식각 설비, 증착 설비 등을 포함할 수 있고, 검사 설비는 테스트 핸들러 등을 포함할 수 있다. 특히, 본 발명에서는 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 제1 디스플레이부(13), 제2 디스플레이부(21), 연결부(15a, 15b) 등을 포함할 수 있다.
상기 제1 디스플레이부(13)는 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)에 연결되는 것으로써, 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 동일 공간(10) 내에 구비될 수 있다. 즉, 상기 제1 디스플레이부(13)는 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)와 직접적으로 연결되도록 구비될 수 있는 것이다. 특히, 본 발명에서는 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 적어도 두 대가 구비될 수 있기 때문에 상기 제1 디스플레이부(13) 또한 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d) 각각에 구비될 수 있다.
이에, 본 발명에서의 상기 제1 디스플레이부(13)는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 동일 공간(10) 내에서 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d) 각각과 연결되도록 구비될 수 있다.
따라서 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 상기 제1 디스플레이부(13)를 구비함으로써 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d) 각각에 대한 동작 상태를 디스플레이할 수 있다. 이와 같이, 본 발명에서는 4대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)를 구비함으로써 상기 제1 디스플레이부(13) 또한 4대의 디스플레이부(13a, 13b, 13c, 13d)로 구비될 수 있다.
아울러, 상기 제1 디스플레이부(13)는 모니터와 더불어 경보를 제공할 수 있는 부재 등을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
상기 제2 디스플레이부(21)는 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 공간(10)과 떨어진 공간(20)에서 상기 제1 디스플레이부(13)와 연결되도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 제2 디스플레이부(21)는 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 공간(10)인 제조 라인이 아닌 상기 제조 라인을 모니터링하는 상황실 등과 같은 떨어진 공간(20)에 위치하도록 구비될 수 있는 것이다. 특히, 상기 제2 디스플레이부(21)는 단일 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 하나의 디스플레이로 출력할 수 있는 구성을 가질 수 있다.
이에, 본 발명에서의 상기 제2 디스플레이부(21)는 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부(13) 각각으로부터 전송되는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d) 각각에 대한 동작 상태를 하나의 디스플레이로 출력할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 공간(10)과 떨어진 공간(20)에서 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부(13)와 연결되게 구비될 수 있다. 아울러, 상기 제2 디스플레이부(21)는 모니터와 더불어 경보를 제공할 수 있는 부재 등을 포함하는 구성으로 이루어질 수 있다.
따라서 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)를 사용한 제조 공정시 어느 하나의 반도체 제조 설비(11a)에 이상이 발생할 경우 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 공간(10)에서는 상기 어느 하나의 반도체 제조 설비(11a)와 연결되는 어느 하나의 제1 디스플레이부(13a)를 통하여 이상 발생을 디스플레이함과 동시에 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)가 위치하는 공간(10)과 떨어진 공간(20)에 구비되는 상기 제2 디스플레이부(21)를 통하여 이상 발생을 디스플레이할 수 있다. 그리고 상기 제1 디스플레이부(13)를 통하여 이상 발생이 디스플레이될 경우 상기 제1 디스플레이부(13)를 통하여 상기 제2 디스플레이부(21)로 작업 지시를 전달함에 의해 상기 이상이 발생한 어느 하나의 반도체 제조 설비(11a)에 대한 조치를 원격으로 수행할 수 있다.
그러므로 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 상기 연결부(15a, 15b)에 의해 상기 제1 디스플레이부(13)와 상기 제2 디스플레이부(21)가 연결되는 구성을 가질 수 있다. 즉, 상기 연결부(15a, 15b)는 상기 제1 디스플레이부(13)와 상기 제2 디스플레이부(21)가 연결되도록 구비될 수 있는 것이다.
여기서, 상기 연결부(15a, 15b)는 상기 제1 디스플레이부(13) 및 상기 제2 디스플레이부(21) 사이를 통신 부재를 사용하여 연결할 수 있는 것으로써, 랜(LAN), RS232, 무선 통신, 메모리 등으로 구비될 수 있다. 이때, 상기 연결부(15a, 15b)는 상기 랜(LAN), RS232, 무선 통신, 메모리 등은 어느 하나를 사용함에 의해 구비되거나 또는 둘 이상을 사용함에 의해 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d) 각각에 대한 모니터링을 원격으로 수행할 수 있기 때문에 이상 유무 발생시 보다 신속한 대체가 가능함으로써 반도체 제조에 따른 생산성이 향상되는 효과를 기대할 수 있다.
그리고 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 실제 공정에 적용할 수 있을 뿐만 아니라 가상 공정에도 적용할 수 있다. 즉, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치를 컴퓨터 등과 같은 부재에 시뮬레이션이 가능하도록 구비하여 가상으로 발생 가능한 이상 유무를 사전에 점검할 수 있도록 구비될 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)에 대한 동작 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있을 뿐만 아니라 적어도 두 대의 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)에 대한 동작 상태를 한눈에 모티터링할 수 있다.
또한, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치는 가상으로 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)를 구동시켜 얻고자 하는 구동 결과를 도출할 수 있기 때문에 상기 반도체 제조 설비(11a, 11b, 11c, 11d)의 실제 공정 적용시 운영 방식 변경 등을 사전에 점검할 수 있고, 더불어 각종 데이터도 사전에 점검할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법은 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 모니터링을 원격으로 수행할 수 있기 때문에 이상 유무 발생시 보다 신속한 대체가 가능함으로써 반도체 제조에 따른 생산성의 향상을 통하여 가격 경쟁력의 향상을 기대할 수 있다.
아울러, 본 발명의 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치 및 방법은 실제 공정과 더불어 가상 공정의 시뮬레이션도에 적용이 가능하기 때문에 발생 가능한 이상 유무를 사전에 점검할 수 있음으로써 반도체 제조에 따른 신뢰도의 향상을 통하여 품질 경쟁력의 향상을 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
13 : 제1 디스플레이부 15a, 15b : 연결부
21 : 제2 디스플레이부
21 : 제2 디스플레이부
Claims (3)
- 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 동시에 원격으로 제어하기 위한 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치에 있어서,
상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 대한 동작 상태를 디스플레이할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 동일 공간 내에서 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 연결되는 적어도 두 대의 제1 디스플레이부;
상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 각각으로부터 전송되는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 동작 상태를 하나의 디스플레이로 출력할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 공간과 떨어진 공간에서 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부와 연결되는 한 대의 제2 디스플레이부; 및
상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 및 상기 제2 디스플레이부 사이를 연결하는 연결부를 포함하고,
실제의 반도체 제조 공정에 적용시에는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 실시간으로 모니터링함과 더불어 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 한눈에 모니터링하도록 구비되고, 가상의 반도체 제조 공정에 적용시에는 가상으로 상기 반도체 제조 설비를 구동시켜 얻고자 하는 구동 결과를 도출함에 따라 상기 반도체 제조 설비의 실제 공정 적용시 운영 방식 변경을 사전에 점검함과 더불어 각종 데이터도 사전에 점검하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치. - 제1 항에 있어서, 상기 연결부는 랜(LAN), RS232, 무선 통신 및 메모리로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 어느 하나를 사용함에 의해 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치.
- 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 동작 상태를 동시에 원격으로 제어하기 위한 반도체 제조 설비의 원격 제어 방법에 있어서,
상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 대한 동작 상태를 디스플레이할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 동일 공간 내에서 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각과 연결되는 적어도 두 대의 제1 디스플레이부를 통하여 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비를 모니터링하는 단계;
상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부 각각으로부터 전송되는 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비 각각에 대한 동작 상태를 하나의 디스플레이로 출력할 수 있도록 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비가 위치하는 공간과 떨어진 공간에서 상기 적어도 두 대의 제1 디스플레이부와 연결되는 한 대의 제2 디스플레이부를 통하여 상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비를 모니터링하는 단계; 및
상기 적어도 두 대의 반도체 제조 설비에 대한 모니터링 결과, 상기 제1 디스플레이부를 통하여 이상 발생이 디스플레이될 경우 상기 제1 디스플레이부를 통하여 상기 제2 디스플레이부로 작업 지시를 전달함에 의해 상기 이상이 발생한 어느 하나의 반도체 제조 설비에 대한 조치를 원격으로 수행하는 단계를 포함하고,
가상의 반도체 제조 공정에도 적용 가능하도록 가상으로 상기 반도체 제조 설비를 구동시켜 얻고자 하는 구동 결과를 도출함에 따라 상기 반도체 제조 설비의 실제 공정 적용시 운영 방식 변경을 사전에 점검함과 더불어 각종 데이터도 사전에 점검하도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 원격 제어 방법.
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| A201 | Request for examination | ||
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