KR20090054242A - 모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템 - Google Patents

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KR20090054242A KR1020070121004A KR20070121004A KR20090054242A KR 20090054242 A KR20090054242 A KR 20090054242A KR 1020070121004 A KR1020070121004 A KR 1020070121004A KR 20070121004 A KR20070121004 A KR 20070121004A KR 20090054242 A KR20090054242 A KR 20090054242A
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Abstract

모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템이 제공된다. 원격 제어 시스템은 다수의 반도체 제조 설비와, 각 반도체 제조 설비를 원격으로 제어하는 원격 제어 장치로서, 반도체 제조 설비의 상태 정보를 입력받는 원격 제어 모듈과, 각 반도체 제조 설비의 원격 제어를 위한 원격 제어 정보를 제공하는 원격 모니터링 모듈을 포함하는 원격 제어 장치와, 각 반도체 제조 설비와 대응되어 각 반도체 제조 설비를 제어하는 다수의 모니터링 장치로서, 각 모니터링 장치는 상기 반도체 제조 설비를 제어하는 설비 제어 모듈과, 상기 원격 제어 모듈로 상기 상태 정보를 제공하는 원격 제어 인터페이스 모듈과, 상기 원격 모니터링 장치로부터 상기 원격 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 원격 모니터링 인터페이스 모듈을 구비하는 다수의 모니터링 장치를 포함한다.
Figure P1020070121004
원격 제어 시스템, 모니터링 장치

Description

모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템{Monitoring device and remote control system comprising the same}
본 발명은 모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템에 관한 것이다.
반도체 제조 설비의 모니터링 장치는 각 반도체 제조 설비마다 반도체 제조 설비와 인접하여 설치된다. 모니터링 장치는 반도체 제조 설비의 동작(run)되는 동안에 설비의 이상 유무를 모니터링하고, 모니터링 결과에 따라 반도체 제조 설비를 제어한다. 이러한 일련의 과정을 다시 말하면, 먼저, 반도체 제조 설비를 동작시킨다. 반도체 제조 설비의 동작 중에, 반도체 제조 설비를 모니터링하여 이상이 발생되는지를 판별한다. 판별 결과, 반도체 제조 설비가 정상이면, 반도체 제조 설비를 계속해서 동작시킨다. 그리고 하나의 공정이 완료되면 그에 따른 이벤트 정보를 저장한다. 판별 결과, 반도체 제조 설비에 이상이 발생되면, 알람을 발생하고, 반도체 제조 설비를 셧다운시킨다. 동시에 이상 발생된 것에 대한 알람 정보를 저장한다. 이어서 공정 진행에 대한 이벤트 정보를 저장한다.
이와 같이, 일반적인 모니터링 장치는 반도체 제조 설비와 인접하여 설치되 며, 반도체 제조 설비를 동작시킨 후 실시간으로 모니터링한다. 만약 반도체 제조 설비에 이상이 발생되면, 알람을 발생하고 이에 대한 알람 정보 및 이벤트 정보를 저장한다. 그 결과, 오퍼레이터는 알람 정보 및 이벤트 정보를 이용하여 반도체 제조 설비의 장애에 대한 원인을 분석하고 반도체 제조 설비를 제어한다.
그러나 다수의 반도체 제조 설비를 제어하기 위해서 오퍼레이터는 각 반도체 제조 설비에 접근하여 이를 제어하여야 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 원격으로 다수의 반도체 제조 설비를 제어할 수 있는 모니터링 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 원격으로 다수의 반도체 제조 설비를 제어할 수 있는 원격 제어 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 모니터링 장치는, 내부 제어 정보를 제공하는 설비 모니터링 모듈과, 상기 내부 제어 정보 및 원격 제어 정보에 따라 제조 설비를 제어하는 설비 제어 모듈과, 상기 설비 모니터링 모듈로부터 상기 내부 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 설비 모니터링 인터페이스 모듈과, 원격의 외부로부터 제공된 상기 원격 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 원격 모니터링 인터페이스 모듈 및 상기 제조 설비의 상태를 원격의 외부로 제공하는 원격 제어 인터페이스 모듈을 포함한다.
여기서 원격 모니터링 인터페이스 모듈은 상기 원격 제어 정보가 제공될 때 인에이블되어 상기 원격 제어 정보를 상기 설비 제어 모듈로 제공할 수 있다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 태양에 따른 원격 제어 시스템은, 다수의 반도체 제조 설비와, 상기 각 반도체 제조 설비를 원격으로 제어하는 원격 제어 장치로서, 상기 반도체 제조 설비의 상태 정보를 입력받는 원격 제어 모듈과, 상기 각 반도체 제조 설비의 원격 제어를 위한 원격 제어 정보를 제공하는 원격 모니터링 모듈을 포함하는 원격 제어 장치와, 상기 각 반도체 제조 설비와 대응되어 상기 각 반도체 제조 설비를 제어하는 다수의 모니터링 장치로서, 각 모니터링 장치는 상기 반도체 제조 설비를 제어하는 설비 제어 모듈과, 상기 원격 제어 모듈로 상기 상태 정보를 제공하는 원격 제어 인터페이스 모듈과, 상기 원격 모니터링 장치로부터 상기 원격 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 원격 모니터링 인터페이스 모듈을 구비하는 다수의 모니터링 장치를 포함한다.
여기서 원격 제어를 위해 상기 원격 모니터링 모듈을 통하여 상기 각 반도체 제조 설비가 선택될 때, 상기 원격 모니터링 모듈은 상기 선택된 반도체 제조 설비에 대응하는 상기 원격 모니터링 인터페이스 모듈과 인터페이스할 수 있다.
또한 모니터링 장치는 내부 제어 정보를 제공하는 설비 모니터링 모듈과, 상기 설비 모니터링 모듈로부터 상기 내부 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 설비 모니터링 인터페이스 모듈을 더 포함하되, 상기 설비 제어 모듈은 상기 원격 제어 정보 또는 상기 설비 제어 정보에 따라 상기 반도체 제조 설비를 제어할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있 다.
상기한 바와 같은 본 발명의 모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템에 의하면, 다수의 반도체 제조 설비를 간편하게 원격으로 제어할 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸 다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템을 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 원격 제어 시스템을 설명하기 위한 블록도이고, 도 2는 도 1의 설비 모니터링 모듈을 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 도 1의 원격 제어 장치를 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 1을 참조하면, 원격 제어 시스템(10)은 다수의 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)와, 모니터링 장치(200_1, 200_n) 및 원격 제어 장치(100)를 포함한다. 모니터링 장치(200_1, 200_n)는 설비 모니터링 모듈(210_1, 210_n), 설비 모니터링 인터페이스 모듈(220_1, 220_n), 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n), 원격 제어 인터페이스 모듈(240_1, 240_n), 메모리(250_1, 250_n), 설비 제어 모듈(260_1, 260_n)을 포함한다.
모니터링 장치(200_1, 200_n)는 각 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)와 대응되어 각 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)와 인접하여 설치된다. 오퍼레이터는 모니터링 장치(200_1, 200_n)에 직접 접근하여 모니터링 장치(200_1, 200_n)를 통해 각 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어할 수 있으며, 원격 제어 장치(100) 및 모니터링 장치(200_1, 200_n)를 이용하여 원격으로 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어할 수있다.
먼저 오퍼레이터가 반도체 제조 설비(300_1, 300_n) 및 모니터링 장치(200_1, 200_n)에 직접 접근하여 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어하는 경우를 설명한다.
설비 모니터링 모듈(210_1, 210_n)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 각 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 나타낸다. 오퍼레이터는 직접 반도체 제조 설 비(300_1, 300_n)에 접근하여, 설비 모니터링 모듈(210_1, 210_n)을 통하여 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태에 따라 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어하기 위한 설비 제어 정보를 입력한다.
설비 모니터링 인터페이스 모듈(220_1, 220_n)은 오퍼레이터가 입력한 설비 제어 정보를 입력받아 설비 제어 모듈(260_1, 260_n)로 제공할 수 있다. 도 1과 같이 모니터링 장치(200_1, 200_n)가 메모리(250_1, 250_n)를 포함하는 경우, 설비 모니터링 인터페이스 모듈(220_1, 220_n)은 설비 제어 정보를 메모리(250_1, 250_n)로 제공할 수 있다. 메모리(250_1, 250_n)는 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태, 설비 제어 정보 등을 저장할 수 있다.
설비 제어 모듈(260_1, 260_n)은 설비 제어 정보에 따라 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어한다.
다음으로, 오퍼레이터가 원격 제어 장치(100) 및 모니터링 장치(200_1, 200_n)를 이용하여 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 원격으로 제어하는 경우를 설명한다.
오퍼레이터는 원격 제어 장치(100)를 통하여 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 파악하고, 상태에 따라 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어할 수 있다. 이러한 원격 제어 장치(100)는 원격 모니터링 모듈(110)과 원격 제어 모듈(120)을 포함한다.
원격 제어 모듈(120)은 다수의 모니터링 장치(200_1, 200_n)의 원격 제어 인터페이스 모듈(240_1, 240_n)과 연결된다. 원격 제어 인터페이스 모듈(240_1, 240_n)은 메모리(250_1, 250_n)에 억세스(access)하여 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태 정보 등을 원격 제어 모듈(120)로 제공한다. 원격 제어 모듈(120)은 이러한 다수의 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태 정보 등을 원격 모니터링 모듈(110)로 제공한다.
원격 모니터링 모듈(110)은, 도 3의 상부에 도시된 바와 같이, 각 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 간략히 표시한다. 도 3에는 하나의 원격 모니터링 모듈(110)이 15개의 작은 창(window)을 통해 15개의 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태 정보를 나타내는 경우가 예로 도시되어 있다. 이와 같이 오퍼레이터는 원격에서 다수의 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 파악할 수 있다.
또한 오퍼레이터는, 설비 모니터링 모듈(210_1, 210_n)에 직접 접근하여 반도체 설비의 상태를 파악하는 것과 동일하게, 원격 모니터링 모듈(110)을 통하여 제어하고자 하는 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 선택하여 원격으로 제어할 수 있다.
예를 들어, 오퍼레이터가 15개의 작은 창중에 하나를 선택하여 제어하고자하는 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 선택하면, 선택된 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)에 대응하는 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n)이 원격 모니터링 모듈(110)과 인터페이스한다. 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n)은, 설비 모니터링 인터페이스 모듈(220_1, 220_n)과 동일하게 동작한다. 즉, 오퍼레이터가 15개의 작은 창중에 하나를 선택하면, 도 3의 하부에 도시된 바와 같이, 선택된 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)에 관한 상태 정보가 나타나고, 이는 도 2에 도시 된 모습과 동일하며, 오퍼레이터는 원격 모니터링 모듈(110)을 통해 원격 제어를 위한 원격 제어 정보를 입력한다. 원격 모니터링 모듈(110)이 오퍼레이터가 입력한 원격 제어 정보를 제공하면, 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n)은 원격 제어 정보를 입력받아 메모리(250_1, 250_n)에 원격 제어 정보를 제공하고, 설비 제어 모듈(260_1, 260_n)은 메모리(250_1, 250_n)로부터 원격 제어 정보를 입력받아 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어한다.
또는, 원격 모니터링 모듈(110)이 오퍼레이터가 입력한 원격 제어 정보를 제공하면, 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n)이 인에이블되어 상기 원격 제어 정보를 입력받아 메모리(250_1, 250_n)로 제공할 수 있다.
즉, 정리해서 설명하면, 오퍼레이터는 원격 제어 모듈(120) 및 원격 제어 인터페이스 모듈(240_1, 240_n)을 통해 원격으로 다수의 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 파악할 수 있다. 또한, 오퍼레이터는, 설비 모니터링 모듈(210_1, 210_n)에 직접 접근하여 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 파악하고 제어를 위한 설비 제어 정보를 입력하여 하는 것과 동일하게, 원격 모니터링 모듈(110) 및 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n)을 이용하여 선택된 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)의 상태를 파악하고, 원격 제어를 위한 원격 제어 정보를 입력하여 원격으로 선택된 반도체 제조 설비(300_1, 300_n)를 제어할 수 있다.
원격 제어 모듈(120) 및 원격 제어 인터페이스 모듈(240_1, 240_n)은 유선 또는 무선으로 연결되어 인터페이스할 수 있으며, 원격 모니터링 모듈(110) 및 원격 모니터링 인터페이스 모듈(230_1, 230_n) 또한 유선 또는 무선으로 연결되어 인 터페이스할 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 원격 제어 시스템을 설명하기 위한 블록도이다.
도 2는 도 1의 설비 모니터링 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 도 1의 원격 모니터링 모듈을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 원격 제어 시스템 100: 원격 제어 장치
110: 원격 모니터링 모듈 120: 원격 제어 모듈
200_1, 200_n: 모니터링 장치 210_1, 210_n: 설비 모니터링 모듈
220_1, 220_n: 설비 모니터링 인터페이스 모듈
230_1, 230_n: 원격 모니터링 인터페이스 모듈
240_1, 240_n: 원격 제어 인터페이스 모듈
250_1, 250_n: 메모리 260_1, 260_n: 설비 제어 모듈
300_1, 300_n: 반도체 제조 설비

Claims (5)

  1. 다수의 반도체 제조 설비;
    상기 각 반도체 제조 설비를 원격으로 제어하는 원격 제어 장치로서, 상기 반도체 제조 설비의 상태 정보를 입력받는 원격 제어 모듈과, 상기 각 반도체 제조 설비의 원격 제어를 위한 원격 제어 정보를 제공하는 원격 모니터링 모듈을 포함하는 원격 제어 장치;
    상기 각 반도체 제조 설비와 대응되어 상기 각 반도체 제조 설비를 제어하는 다수의 모니터링 장치로서, 각 모니터링 장치는 상기 반도체 제조 설비를 제어하는 설비 제어 모듈과, 상기 원격 제어 모듈로 상기 상태 정보를 제공하는 원격 제어 인터페이스 모듈과, 상기 원격 모니터링 장치로부터 상기 원격 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 원격 모니터링 인터페이스 모듈을 구비하는 다수의 모니터링 장치를 포함하는 원격 제어 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    원격 제어를 위해 상기 원격 모니터링 모듈을 통하여 상기 각 반도체 제조 설비가 선택될 때, 상기 원격 모니터링 모듈은 상기 선택된 반도체 제조 설비에 대응하는 상기 원격 모니터링 인터페이스 모듈과 인터페이스하는 원격 제어 시스템.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 모니터링 장치는
    내부 제어 정보를 제공하는 설비 모니터링 모듈과, 상기 설비 모니터링 모듈로부터 상기 내부 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 설비 모니터링 인터페이스 모듈을 더 포함하되, 상기 설비 제어 모듈은 상기 원격 제어 정보 또는 상기 설비 제어 정보에 따라 상기 반도체 제조 설비를 제어하는 원격 제어 시스템.
  4. 내부 제어 정보를 제공하는 설비 모니터링 모듈;
    상기 내부 제어 정보 및 원격 제어 정보에 따라 제조 설비를 제어하는 설비 제어 모듈;
    상기 설비 모니터링 모듈로부터 상기 내부 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 설비 모니터링 인터페이스 모듈;
    원격의 외부로부터 제공된 상기 원격 제어 정보를 입력받아 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 원격 모니터링 인터페이스 모듈; 및
    상기 제조 설비의 상태를 원격의 외부로 제공하는 원격 제어 인터페이스 모듈을 포함하는 모니터링 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 원격 모니터링 인터페이스 모듈은 상기 원격 제어 정보가 제공될 때 인에이블되어 상기 원격 제어 정보를 상기 설비 제어 모듈로 제공하는 모니터링 장치.
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KR1020070121004A KR20090054242A (ko) 2007-11-26 2007-11-26 모니터링 장치 및 이를 포함하는 원격 제어 시스템

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150025053A (ko) * 2013-08-28 2015-03-10 세메스 주식회사 반도체 제조 설비의 원격 제어 장치
KR20160052026A (ko) * 2014-10-31 2016-05-12 삼성에스디에스 주식회사 관제 문제 통보 방법 및 그 장치
US10026048B2 (en) 2014-07-30 2018-07-17 Samsung Electronics Co., Ltd. Method and system for processing data from equipment

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