DE10030207A1

DE10030207A1 - Halbleiterfabrikautomatisierungssystem und Verfahren für die Steuerung automatisch geführter Fahrzeuge

Info

Publication number: DE10030207A1
Application number: DE10030207A
Authority: DE
Inventors: Myung-Jai Ko; Young-Soo Cho
Original assignee: Hyundai Electronics Industries Co Ltd
Current assignee: SK Hynix Inc
Priority date: 1999-06-22
Filing date: 2000-06-20
Publication date: 2001-01-18
Also published as: GB2351362B; GB2351362A; KR20010003303A; TW469553B; JP2001060539A; CN1278618A; KR100538812B1; JP4592878B2; GB0015209D0; US6622057B1

Abstract

Ein Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System) enthält die Schritte: a) Empfang der durch den Bediener veränderten Betriebsmodeinformation einer Verarbeitungseinrichtung; b) Speichern der veränderten Betriebsmodeinformation der Verarbeitungseinrichtung in einer Echtzeitdatenbasis; c) Durchführen eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode, der einen vollautomatischen Mode hat, und Aussenden eines Prozeßabschlußsignals, nachdem der vorbestimmte Halbleiterprozeß abgeschlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiterprozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird; d) Erzeugen eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal; e) Prüfen der in der Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag; f) Inaktivieren des AGV durch Unterbrechen der Übertragung des Warteschlagenauftrags an das AGV, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet; und g) Aktivieren des AGV zum Ausladen der Halbleiterwafer von der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung den vollautomatischen Mode bezeichnet. Das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung kann wirksam das AGV steuern durch ...

Description

Feld der Erfindung

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Halbleiterfa brikautomatisierungssystem (FA-System); und besonders auf ein Halbleiter-FA-System und ein Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV, automatic guide vehicle).

Stand der Technik

Mit Bezug auf Fig. 1 wird ein Flußdiagramm gezeigt, das ein Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahr zeugs (AGV) in einem konventionellen Halbleiter-FA-System ver anschaulicht. Wie gezeigt, enthält das konventionelle Halblei ter-FA-System eine Prozeßeinrichtung (EQ) 100, eine EQ-Bedien einheit (EQS, EQ server) 102, eine Zellenverwaltungseinheit (CMS, cell management server) 104, eine Platzsteuerungseinheit (ICS, intrabay control server) 106, eine AGV-Steuerung (AGVC) 108, ein AGV 110, eine Ablagesteuerungseinheit (SCS, stocker control server) 112 und eine Ablage 114. Ferner wird das konven tionelle Halbleiter-FA-System in einem Betriebsmode betrieben. Der Betriebsmode hat einen vollautomatischen Mode, einen halb automatischen Mode und einen manuellen Mode. Das konventionelle Halbleiter-FA-System basiert typisch auf dem vollautomatischen Mode.

Wenn die EQ 100, z. B. eine Ofeneinrichtung für die Durchfüh rung eines Halbleiterherstellungsprozesses, z. B. eines Diffu sionsprozesses, in Schritt S118 den Diffusionsprozeß abgeschlos sen hat, gibt die EQ 100 ein Prozeßabschlußsignal an die EQS 102 ab.

In Schritt S120 sendet die EQS 102 als Reaktion auf das Pro zeßabschlußsignal eine Anforderungsnachricht an die CMS 104, wobei die Anforderungsnachricht als eine Nachricht definiert ist, die eine Anforderung für den Transport einer Partie Halb leiterwafer von der EQ 100 zur Ablage 114 enthält. Eine Partie ist definiert als eine vorbestimmte Anzahl Halbleiterwafer, die in einem Einheitsprozeß, z. B. dem Diffusionsprozeß, verarbeitet werden.

In Schritt S122 informiert die EQ 100 die EQS 102 darüber, dass eine Halbleiterwaferkassette von der EQ 100 entladen werden kann, wobei die Halbleiterwaferkassette ein Behälter für die Aufnahme einer Partie Halbleiterwafer ist, die von der EQ 100 durch das AGV 110 zur Ablage 114 transportiert wird.

In Schritt S124 empfängt der Planer 116 die Anforderungsnach richt von der CMS 104, so dass der Planer 116 als Reaktion auf die Anforderungsnachricht einen nachfolgenden Halbleiterprozeß der Partie Halbleiterwafer planen kann.

In Schritt S126 sendet die EQS 102 als Reaktion auf das Pro zeßabschlußsignal einen Ablagewarteschlangenauftrag an die CMS 104. Der Ablagewarteschlangenauftrag enthält einen Halbleiter waferkassettenidentifizierer, einen EQ-Identifizierer, der die Ursprungsinformation der Halbleiterwaferkassette darstellt, und einen Ablageidentifizierer, der die Zielinformation der Halblei terwaferkassette darstellt.

In Schritt S128 sendet die CMS 104 den Ablagewarteschlangen auftrag an die ICS 106.

In Schritt S130 sendet die EQS 102 ein Kommando an die EQ 100, so dass die EQ als Reaktion auf das Kommando von der EQS 102 die Partie Halbleiterwafer in die Halbleiterwaferkassette legen kann.

In Schritt S132 sendet die ICS 106 den Ablagewarteschlangen auftrag an die AGVC 108.

In Schritt S134 wandelt die AGVC 108 den Ablagewarteschlan genauftrag um, so dass der Ablagewarteschlangenauftrag in der AGVC 108 erkannt werden kann, und dadurch wird ein AGV-Steu erungskommando erzeugt, um es an das AGV 110 zu senden.

In Schritt S135 sendet die AGVC 108 das AGV-Steuerungskom mando per Funk an das AGV 110. Dazu bewegt sich das AGV 110 zu der mit dem EQ-Identifizierer korrespondierenden EQ 100, um die Halbleiterwaferkassette von der EQ 100 abzuladen.

Falls das AGV 110 sich in Schritt S136 zu der mit dem EQ- Identifizierer korrespondierenden EQ 100 hinbewegt hat, sendet die AGVC 108 eine Bewegungsabschlußnachricht an die ICS 106.

In Schritt S138 sendet die ICS 106 die Bewegungsabschluß nachricht an die CMS 104.

In Schritt S140 sendet die ICS 106 die Bewegungsabschluß nachricht an die EQS 102.

In Schritt S142 sendet die EQS 102 als Reaktion auf die von dem ICS 106 empfangene Bewegungsabschlußnachricht eine Bestäti gungsnachricht an die ICS 106.

In Schritt S144 sendet die ICS 106 die Bestätigungsnachricht an die AGVC 108.

In Schritt S146 lädt das AGV 110 die Halbleiterwaferkassette von der mit dem EQ-Identifizierer korrespondierenden EQ 100 ab.

In Schritt S148 lädt das AGV 110 die Halbleiterwaferkassette in der mit dem Ablageidentifizierer korrespondierende Ablage 114 ab.

Falls das AGV 110 die Halbleiterwaferkassette an der mit dem Ablageidentifizierer korrespondierenden Ablage 114 abgeladen hat, gibt die Ablage 114 in Schritt S150 ein Ablageabschlußsig nal an die SCS 112 ab.

In Schritt S152 sendet die SCS 112 als Reaktion auf das Ablageabschlußsignal die Ablageabschlußnachricht an die CMS 104.

In Schritt S154 aktualisiert die CMS 104 die sich auf die Halbleiterwaferkassette beziehende Ortsinformation.

In Schritt S156 sendet die CMS 104 die Ablageabschlußnach richt an die EQS 102.

In Schritt S158 entleert die EQS 102 als Reaktion auf die Ablageabschlußnachricht eine EQ-Steuerungsdatei.

Nach Abschluß des Halbleiterherstellungsprozesses, d. h. des von einer korrespondierenden EQ 100 durchgeführten Diffusions prozesses, benötigt das konventionelle Halbleiter-FA-System zu viel Zeit, um die Halbleiterwaferkassette von der korrespondie renden EQ 100 zu einer korrespondierenden Ablage 114 zu trans portieren. Um die für den Transport der Halbleiterwaferkassette von der korrespondierenden EQ 100 zu der korrespondierenden Ablage 114 aufgewendete Zeit zu reduzieren, benötigt das konven tionelle Halbleiter-FA-System dringend einen Eingriff des Bedie ners.

Falls der Betriebsmode von dem vollautomatischen Mode zum halbautomatischen Mode oder zum manuellen Mode an einen in Fig. 1 gezeigten Punkt "A" durch einen Bediener geändert wird, kann der Bediener die Halbleiterwaferkassette direkt aus der korres pondierenden EQ 100 ausladen. Dann kann der Bediener die Halb leiterwaferkassette direkt zu der korrespondierenden Ablage 114 bringen. Dazu erzeugt die AGVC 108 normalerweise das an das AGV 110 abgegebene AGV-Steuerungskommando, um so die Halbleiterwa ferkassette von der EQ 100 abzuladen, wodurch das AGV 110 zu der korrespondierenden EQ 100 bewegt wird. Es ist vorzuziehen, dass das AGV 110 im halbautomatischen Mode und im manuellen Mode inaktiviert wird. Jedoch gibt es ein Problem, indem das konven tionelle Halbleiter-FA-System das AGV im halbautomatischen Mode oder manuellen Mode nicht inaktivieren kann.

Zusammenfassung der Erfindung

Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Halb leiter-FA-System und ein Verfahren für die wirksame Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) vorzusehen durch Prüfen der in einer Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebs modeinformation, um das AGV zu inaktivieren, wenn der Betriebs mode von einem vollautomatischen Mode durch den Bediener zu einem anderen Mode verändert wird.

Es ist deshalb ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Computer-lesbares Medium für das Speichern von Programmin struktionen vorzusehen, wobei die Programminstruktionen auf einem Computer abgelegt sind, um ein Verfahren für die wirksame Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) vorzusehen durch Prüfen der in einer Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebsmodeinformation, um das AGV in einem Halbleiter-FA- System zu inaktivieren, wenn der Betriebsmode von einem voll automatischen Mode durch den Bediener zu einem anderen Mode ver ändert wird.

In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfin dung wird ein Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System) vorgesehen, das enthält: eine allgemeine Kommunikationsleitung; eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungseinrichtungen, deren jede an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossen ist, für die Ausführung eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode mit einem vollautomatischen Mode und für das Aussenden eines Prozeßabschlußsignals nachdem der vorbestimmte Halbleiterprozeß abgeschlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiterprozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird; eine Bedienerschnittstelleneinrichtung, die an die allge meine Kommunikationsleitung angeschlossen ist, für den Empfang der Betriebsmodeinformation einer jeden Halbleiterverarbeitungs einrichtung und der durch den Bediener veränderten Betriebsmode information; eine Speichereinrichtung, die an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossen ist, für das Speichern der Betriebsmodeinformation, die über die Bedienerschnittstellenein richtung verändert wurde; eine Erzeugungseinrichtung, die an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossen ist, für die Erzeugung eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal; eine Steuerungseinrichtung, die an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossen ist und auf den Warteschlangenauftrag reagiert, für die Prüfung der in der Spei chereinrichtung gespeicherten Betriebsmodeinformation einer jeden Halbleiterverarbeitungseinrichtung; und eine Transportein richtung für das Ausladen der Halbleiterwafer von einer jeden Halbleiterverarbeitungseinrichtung als Reaktion auf den von der Steuerungseinrichtung empfangenen Warteschlangenauftrag, wobei die Steuerungseinrichtung die Transporteinrichtung durch Unter brechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags an die Trans porteinrichtung inaktiviert, wenn die in der Speichereinrichtung gespeicherte Betriebsmodeinformation einer jeden Halbleiterver arbeitungseinrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeich net.

In Übereinstimmung mit einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) in einem Halbleiterfabrikautomatisie rungssystem (FA-System) vorgesehen, das die Schritte enthält: a) Empfang der Betriebsmodeinformation einer Verarbeitungsein richtung, die durch den Bediener verändert wurde; b) Speichern der Betriebsmodeinformation der Verarbeitungseinrichtung, die verändert wurde, in einer Echtzeitdatenbasis; c) Durchführen eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode, der einen vollautomatischen Mode hat; und Aussenden eines Pro zeßabschlußsignals nachdem der vorbestimmte Halbleiterprozeß abgeschlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiterprozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird; d) Erzeugen eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsig nal; e) Prüfen der in der Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag; f) Inaktivieren des AGV durch Unter brechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags an das AGV, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmode information der Prozeßeinrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet; und g) Aktivieren des AGV zum Ausladen der Halbleiterwafer von der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung den vollautomatischen Mode bezeichnet.

In Übereinstimmung mit noch einem anderen Aspekt der vorlie genden Erfindung wird ein Computer-lesbares Medium vorgesehen, das Programminstruktionen speichert, wobei die Programminstruk tionen auf einen Computer abgelegt sind, um ein Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System) durch zuführen, und das Verfahren enthält die Schritte: a) Empfang der durch einen Bediener veränderten Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung; b) Speichern der Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung in einer Echtzeitdatenbasis; c) Ausführen eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode mit einem vollautomatischen Mode und Aussenden eines Prozeß abschlußsignals nachdem der vorbestimmte Halbleiterprozeß abge schlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiterprozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird; d) Erzeugen eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsig nal; e) Prüfen der in der Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag; f) Inaktivieren des AGV durch Unter brechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags an das AGV, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodein formation der Prozeßeinrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet; und g) Aktivieren des AGV zum Ausladen der Halblei terwafer von der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warte schlangenauftrag, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespei cherte Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung den voll automatischen Mode bezeichnet.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Die obigen und andere Ziele und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen offensichtlicher werden, wenn sie in Verbin dung mit den beigefügten Zeichnungen genommen wird, in denen:

Fig. 1 ein Flußdiagramm ist, das ein Verfahren für die Steu erung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) in einem kon ventionellen Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System) veranschaulicht;

Fig. 2 ein Blockdiagramm ist, das ein Halbleiter-FA-System für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) nach der vorliegenden Erfindung beschreibt;

Fig. 3 ein Blockdiagramm ist, das einen in Fig. 2 gezeigten Transportsteuerungsabschnitt veranschaulicht; und

Fig. 4 ein Flußdiagramm ist, das ein Verfahren für die Steu erung eines AGV in einem Halbleiter-FA-System nach der vorlie genden Erfindung zeigt.

Genaue Beschreibung der Erfindung

Mit Bezug auf Fig. 2 wird ein Blockdiagramm gezeigt, das ein Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System) nach der vor liegenden Erfindung zeigt. Wie gezeigt, enthält das Halbleiter- FA-System mindestens eine Zelle, die eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterproduktionsplätzen hat, z. B. 4. Ein Halbleiterproduk tionsplatz 400 ist in einer Zelle enthalten. Ein Halbleiterpro duktionsplatz 400 ist ausgerüstet mit Prozeßeinrichtungen (EQ) 204, Ablagen 216 und einem automatisch geführten Fahrzeug (AGV) 214. Die EQ 204 verarbeitet Halbleiterwafer, um Halbleitervor richtungen herzustellen. Die EQ 204 enthält z. B. eine Ätzein richtung, eine Photolithografieeinrichtung, eine Ofeneinrichtung und Ähnliches. Eine Ablage 216 speichert vorübergehend eine Anzahl von Halbleiterwaferkassetten. Jede der Halbleiterwafer kassetten hat eine vorbestimmte Anzahl Halbleiterwafer, die als eine Partie bezeichnet werden. Die Halbleiterwaferkassetten wer den selektiv zu den EQ 200 unter Benutzung des AGV 214 transpor tiert. Die in der Ablage 216 abgelegte Halbleiterwaferkassette wird an einen anderen Halbleiterproduktionsplatz 400 transpor tiert.

Eine EQ-Bedieneinheit (EQS) 202 ist an eine allgemeine Kom munikationsleitung 500 angeschlossen, z. B. an ein Ethernet^TM, das von Xerox Corporation geliefert wird. Eine AGV-Steuerung (AGVC) 212 steuert das AGV 214.

Das Halbleiter-FA-System enthält auch einen Zellenverwal tungsabschnitt 100, eine Echtzeitdatenbasis 300, die mit dem Zellenverwaltungsabschnitt 100 verbunden ist, eine Zwischen ablageeinrichtung 310, einen mit der Zwischenablageeinrichtung 310 verbundenen Änderungenverwaltungsabschnitt 312 und eine mit dem Änderungenverwaltungsabschnitt 312 verbundene Änderungenda tenbasis 314. Der Zellenverwaltungsabschnitt 100, der Änderun genverwaltungsabschnitt 312 und die Änderungendatenbasis 314 sind jeweils an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 für die Kommunikation zwischen ihnen angeschlossen.

Der Zellenverwaltungsabschnitt 100 enthält eine Zellenverwal tungsbedieneinheit (CMS, cell management server) 206, eine Bedienerschnittstelleneinheit (OIS, operator interface server) 201 und eine Datenerfassungseinheit (DGS, data gathering server) 207. Die DGS 207 speichert Prozeßdaten, die der Partie zugeord net sind, in der Echtzeitdatenbasis 300.

Mit Bezug auf Fig. 3 wird ein Blockdiagramm gezeigt, das den in Fig. 2 gezeigten Transportsteuerungsabschnitt veranschau licht. Wie gezeigt, enthält der Transportsteuerungsabschnitt 116 Platzsteuerungseinheiten (ICS) 210, die an die allgemeine Kommu nikationsleitung 500 angeschlossen sind, und Ablagesteuerungs einheiten (SCS) 218. Die ICS 210 wandelt eine Transportnachricht von der allgemeinen Kommunikationsleitung 500 in ein Transport kommando um. Die SCS 218 erzeugt ein Ablagesteuerungskommando, um die Ablagen 216 als Reaktion auf das Transportkommando zu steuern. Die AGVC 212 erzeugt ein AGV-Steuerungskommando, um ein AGV 214 als Reaktion auf das Transportkommando zu steuern.

Mit Bezug auf Fig. 2 und 3 gründet sich das Halbleiter-FA- System auf den vollautomatischen Mode. Ein Bediener kann den Betriebsmode einer EQ 204 von dem vollautomatischen Mode zu einem halbautomatischen Mode oder zu einem manuellen Mode über die OIS 201 ändern, die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlossen ist.

Die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene Echtzeitdatenbasis 300 speichert Information, die sich auf den veränderten Betriebsmode der EQ 204 beziehen, d. h. den halb automatischen Mode oder den manuellen Mode.

Die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene EQ 204, d. h. eine Ofeneinrichtung, führt einen Halbleiter herstellungsprozeß aus, d. h. einen Diffusionsprozeß. Wenn die EQ 204 den Diffusionsprozeß abgeschlossen hat, gibt die EQ 204 ein Prozeßabschlußsignal an die EQS 202 ab. Nach der Abgabe des Pro zeßabschlußsignals informiert die EQ 204 die CMS 206, dass eine Halbleiterwaferkassette aus der EQ 204 ausgeladen werden kann. Die Halbleiterwaferkassette ist ein Behälter zur Aufnahme der Partie Halbleiterwafer, die von der EQ 204 durch ein AGV 214 zu einer Ablage 216 transportiert werden.

Die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene EQS 202 sendet als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal von der EQ 204 eine Anforderungsnachricht an die CMS 206. Die Anforderungsnachricht ist definiert als eine Nachricht mit einer Anforderung zum Bewegen einer Partie Halbleiterwafer von der EQ 204 zur Ablage 216.

Nachdem die EQ 204 die EQS 202 informiert hat, dass die Halb leiterwaferkassette aus der EQ 204 ausgeladen werden kann, erzeugt die EQS 202 einen Warteschlangenauftrag zum Ausladen und sendet den Warteschlangenauftrag zum Ausladen an die CMS 206. Der Warteschlangenauftrag zum Ausladen enthält einen Halbleiter waferkassettenidentifizierer, einen EQ-Identifizierer, der die Ursprungsinformation der Halbleiterwaferkassette darstellt, und einen Ablageidentifizierer, der die Zielinformation der Halblei terwaferkassette darstellt.

Die EQS 202 sendet ein Kommando an die EQ 204, so dass die EQ 204 als Reaktion auf das Kommando von der EQS 202 die Partie Halbleiterwafer in die Halbleiterwaferkassette einlegen kann. Nach dem Versenden des Kommandos an die EQ 204 sendet die EQS 202 als Reaktion auf die Bewegungsabschlußnachricht von der ICS 210 eine Bestätigungsmeldung an die ICS 210. Nachdem die Halb leiterwaferkassette in der Ablage 216 abgelegt worden ist, ent leert die EQS 202 eine EQ-Steuerungsdatei und aktualisiert die sich auf die Halbleiterwaferkassette beziehende Ortsinformation.

Die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene CMS 206 sendet die Anforderungsnachricht von der EQ 202 an den Planer 208. Nach dem Versenden der Anforderungsnachricht von der EQ 202 an den Planer 208 sendet die CMS 206 den Warteschlan genauftrag zum Abladen von der EQS 202 an die ICS 210. Nachdem die Ablage 216 die Halbleiterwaferkassette geladen hat, sendet die CMS 206 eine Ablageabschlußnachricht von der Ablage 216 an die EQS 202.

Der an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene Planer 208 empfängt die Anforderungsnachricht von der CMS 206, so dass der Planer 208 als Reaktion auf die Anforderungs nachricht von der CMS 206 einen nachfolgenden Prozeß der Partie Halbleiterwafer planen kann.

Die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene ICS 210 prüft die in der Echtzeitdatenbasis 300 gespei cherte Betriebsmodeinformation der EQ 204, um zu erkennen, ob die Betriebsmodeinformation der EQ 204 den vollautomatischen Mode bezeichnet. Falls die in der Echtzeitdatenbasis 300 gespei cherte Betriebsmodeinformation der EQ 204 den halbautomatischen Mode oder den manuellen Mode bezeichnet, unterbricht die ICS 210 die Übertragung des Warteschlangenauftrags zum Ausladen von der CMS 206 an die AGVC 212, und dadurch wird das AGV 214 inakti viert. Dann entlädt der Bediener die Halbleiterwaferkassette, die mit dem Halbleiterwaferkassettenidentifizierer korrespon diert, aus der EQ 204, die mit dem EQ-Identifizierer korrespon diert. Nach dem Entladen der Halbleiterwaferkassette legt der Bediener die Halbleiterwaferkassette in der Ablage 216 ab, die mit dem Ablageidentifizierer korrespondiert.

Falls andererseits die in der Echtzeitdatenbasis 300 gespei cherte Betriebsmodeinformation der EQ 204 den vollautomatischen Mode bezeichnet, sendet die ICS 210 den Warteschlangenauftrag zum Entladen an die AGVC 212.

Ferner sendet die ICS 210 die Bewegungsabschlußnachricht an die CMS 206 und die EQS 202. Die ICS 210 sendet die Bestäti gungsnachricht von der EQS 202 an die AGVC 212.

Die an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene AGVC 212 wandelt den Warteschlangenauftrag zum Ausladen um, so dass der Warteschlangenauftrag zum Ausladen von der AGVC 212 erkannt werden kann, und dadurch wird ein an das AGV 214 zu sen dende AGV-Steuerungskommando erzeugt. Die AGVC 212 sendet das AGV-Steuerungskommando über Funk an das AGV 214, und dadurch wird das AGV 214 aktiviert. Dann bewegt sich das AGV 214 als Reaktion auf das AGV-Steuerungskommando zu der EQ 204, die mit dem EQ-Identifizierer korrespondiert, um die Halbleiterwafer kassette aus dem EQ 204 auszuladen. Nachdem das AGV 214 sich zu der EQ 204 bewegt hat, die mit dem EQ-Identifizierer korrespon diert, sendet die AGVC 212 das Bewegungsabschlußsignal an die ICS 210.

Das AGV 214 entlädt die Halbleiterwaferkassette von der EQ 204, die mit dem EQ-Identifizierer korrespondiert. Das AGV 214 legt die Halbleiterwaferkassette in der Ablage 216 ab, die mit dem Ablageidentifizierer korrespondiert.

Wenn das AGV 214 die Halbleiterwaferkassette in der Ablage 216 abgelegt hat, die mit dem Ablageidentifizierer korrespon diert, gibt die Ablage 216 die Ablageabschlußnachricht an die SCS 218 ab.

Das an die allgemeine Kommunikationsleitung 500 angeschlos sene SCS 218 sendet die Ablageabschlußnachricht von der Ablage 216 an die CMS 206.

Mit Bezug auf Fig. 4 wird ein Flußdiagramm gezeigt, das ein Verfahren für die Steuerung eines AGV in einem Halbleiter-FA- System nach der vorliegenden Erfindung zeigt.

Wenn eine EQ 204, d. h. eine Ofeneinrichtung für die Ausfüh rung eines Halbleiterherstellungsprozesses, d. h. eines Diffu sionsprozesses, den Diffusionsprozeß abgeschlossen hat, gibt die EQ 204 in Schritt S218 ein Prozeßabschlußsignal an die EQS 202 ab.

In Schritt S220 sendet die EQS 202 als Reaktion auf das Pro zeßabschlußsignal eine Anforderungsnachricht an eine CMS 206, wobei die Anforderungsnachricht definiert ist als eine Nachricht mit einer Anforderung eines Transports einer Partie Halbleiter wafer von der EQ 204 zu einer Ablage 216.

In Schritt S222 informiert die EQ 204 darüber, dass eine Halbleiterwaferkassette von der EQ 204 ausgeladen werden kann, wobei die Halbleiterwaferkassette ein Behälter ist für die Auf nahme der Partie Halbleiterwafer, die von der EQ 204 durch das AGV 214 zu der Ablage 216 getragen wird.

In Schritt S224 empfängt ein Planer 208 die Anforderungsnach richt von der CMS 206, so dass der Planer 208 als Reaktion auf die Anforderungsnachricht einen nachfolgenden Halbleiterprozeß der Partie Halbleiterwafer planen kann.

In Schritt S226 erzeugt die EQS 202 einen Warteschlangenauf trag zum Ausladen und sendet den Warteschlangenauftrag zum Aus laden an die CMS 206. Der Warteschlangenauftrag zum Ausladen enthält einen Halbleiterwaferkassettenidentifizierer, einen EQ- Identifizierer, der den Ursprungsort der entladenen Halbleiter waferkassette bezeichnet, und einen Ablageidentifizierer, der den Zielort der entladenen Halbleiterwaferkassette bezeichnet.

In Schritt S228 sendet die EQS 202 ein Kommando an die EQ 204, so dass die EQ 204 als Reaktion auf das Kommando von der EQS 202 die Partie Halbleiterwafer in die Halbleiterwaferkas sette legen kann. Am Punkt "B" verändert der Bediener den Betriebsmode der EQ 204 über ein in Fig. 2 gezeigtes OIS von einem vollautomatischen Mode zu einem halbautomatischen Mode oder einem manuellen Mode. Dann speichert eine in Fig. 2 gezeigte Echtzeitdatenbasis 300 die geänderte Betriebsmodeinfor mation der EQ 204, d. h. den halbautomatischen Mode oder den manuellen Mode. Der Bediener kann den Betriebsmode von dem voll automatischen Mode zum halbautomatischen Punkt oder zum manuel len Mode an einem anderen Punkt verändern.

In Schritt S230 sendet die CMS 206 den Warteschlangenauftrag zum Ausladen an die ICS 210.

In Schritt S232 prüft die ICS 210 die in der Echtzeitdaten basis 300 gespeicherte Betriebsmodeinformation der EQ 204 um zu erkennen, ob der Betriebsmode der EQ 204 der vollautomatische Mode ist.

Falls die in der Echtzeitdatenbasis 300 gespeicherte Betriebsmodeinformation der EQ 204 den halbautomatischen Mode oder den manuellen Mode bezeichnet, unterbricht die ICS 210 die Übertragung des Warteschlangenauftrags für das Ausladen von der CMS 206 an die AGVC 212, und dadurch wird das AGV 214 inakti viert. Dann lädt der Bediener die mit dem Halbleiterwaferkas settenidentifizierer korrespondierende Halbleiterwaferkassette aus der mit dem EQ-Identifizierer korrespondierenden EQ 204 aus. Nach dem Entladen der Halbleiterwaferkassette legt der Bediener die Halbleiterwaferkassette in der mit dem Ablageidentifizierer korrespondierenden Ablage 216 ab.

Falls die in der Echtzeitdatenbasis 300 gespeicherte Betriebsmodeinformation der EQ 204 den vollautomatischen Mode bezeichnet, sendet die ICS 210 in Schritt S234 den Warteschlan genauftrag zum Ausladen an den AGVC 212.

In Schritt S236 wandelt die AGVC 212 den Warteschlangenauf trag zum Ausladen um, so dass der Warteschlangenauftrag zum Aus laden in der AGVC 212 erkannt werden kann, und dadurch wird ein an das AGV 214 zu sendendes AGV-Steuerungskommando erzeugt.

In Schritt S237 sendet die AGVC 212 das AGV-Steuerungskom mando per Funk an das AGV 214, und dadurch wird das AGV 214 aktiviert. Dann bewegt sich das AGV 214 als Reaktion auf das AGV-Steuerungskommando zu der EQ 204 hin, die mit dem EQ-Identi fizierer korrespondiert, um die Halbleiterwaferkassette aus der EQ 204 auszuladen.

Wenn sich das AGV 214 zu der EQ 204 hinbewegt hat, die mit dem EQ-Identifizierer korrespondiert, sendet das AGV 214 in Schritt S238 eine Bewegungsabschlußnachricht an die ICS 210.

In Schritt S240 sendet die ICS 210 die Bewegungsabschlußnach richt an die CMS 206.

In Schritt S242 sendet die ICS 210 die Bewegungsabschlußnach richt an die EQS 202.

In Schritt S244 sendet die EQS 202 als Reaktion auf die von der ICS 210 empfangene Bewegungsabschlußnachricht eine Bestäti gungsnachricht an die ICS 210.

In Schritt S246 sendet die ICS 210 die Bestätigungsnachricht an die AGVC 212.

In Schritt S248 lädt das AGV 214 die Halbleiterwaferkassette aus der mit dem EQ-Identifizierer korrespondierenden EQ aus.

In Schritt S250 legt das AGV 214 die Halbleiterwaferkassette in der mit dem Ablageidentifizierer korrespondierenden Ablage 216 ab.

Wenn das AGV 214 die Halbleiterwaferkassette in der Ablage 216 abgelegt hat, die mit dem Ablageidentifizierer korrespon diert, gibt die Ablage 216 in Schritt S252 ein Ablageabschluß signal an die SCS 218 ab.

In Schritt S254 sendet die SCS 218 als Reaktion auf das Abla geabschlußsignal die Ablageabschlußnachricht an die CMS 206. In Schritt S256 sendet die CMS 206 die Ablageabschlußnach richt an die EQS 202.

In Schritt S258 entleert die EQS 202 als Reaktion auf die Ablageabschlußnachricht eine EQ-Steuerungsdatei.

In Schritt S260 aktualisiert die EQS die Ortsinformation, die sich auf die Halbleiterwaferkassette bezieht.

Wie oben beschrieben, steuert das Verfahren nach der vor liegenden Erfindung wirksam das AGV 214 durch Unterbrechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags für das Ausladen zur AGVC 212, falls der Bediener den Betriebsmode vom vollautomatischen Mode zum halbautomatischen Mode oder zum manuellen Mode verän dert. Ein Computer-lesbares Medium, wie etwa eine optische Platte oder eine Festplatte, kann Programminstruktionen spei chern, die auf einem Computer abgelegt sind, um ein Verfahren für die Steuerung des AGV 214 in dem FA-System nach der vor liegenden Erfindung durchzuführen.

Obgleich die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung zum Zweck der Veranschaulichung offengelegt worden sind, werden die in der Technik Bewanderten erkennen, dass verschiedene Änderun gen, Zusätze und Ersetzungen möglich sind, ohne vom Geist und Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen, wie sie durch die angefügten Ansprüche offengelegt wird.

Claims

1. Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System), das ent hält:
eine allgemeine Kommunikationsleitung;
eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungseinrichtungen, deren jede an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossen ist, für die Ausführung eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode mit einem vollautomatischen Mode und für das Aussenden eines Prozeßabschlußsignals nachdem der vorbestimmte Halbleiterprozeß abgeschlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiterprozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird;
eine Bedienerschnittstelleneinrichtung, die an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossen ist, für den Empfang der Betriebsmodeinformation einer jeden Halbleiterverarbeitungsein richtung und der durch den Bediener geänderten Betriebsmode information;
eine an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossene Speichereinrichtung für das Speichern der über die Bediener schnittstelleneinrichtung veränderten Betriebsmodeinformation;
eine an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossene Erzeugungseinrichtung für die Erzeugung eines Warteschlangenauf trags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal;
eine an die allgemeine Kommunikationsleitung angeschlossene Steuerungseinrichtung, die auf den Warteschlangenauftrag rea giert, für die Prüfung der in der Speichereinrichtung gespei cherten Betriebsmodeinformation einer jeden Halbleiterverarbei tungseinrichtung; und
eine Transporteinrichtung für das Ausladen der Halbleiter wafer von einer jeden Halbleiterverarbeitungseinrichtung als Reaktion auf den von der Steuerungseinrichtung empfangenen Warteschlangenauftrag,
wobei die Steuerungseinrichtung die Transporteinrichtung durch Unterbrechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags an die Transporteinrichtung inaktiviert, wenn die in der Speicher einrichtung gespeicherte Betriebsmodeinformation einer jeden Halbleiterverarbeitungseinrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet.

2. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die Partie Halb leiterwafer von jeder Halbleiterverarbeitungseinrichtung durch den Bediener entladen wird, wenn die Steuerungseinrichtung die Transporteinrichtung durch Unterbrechen der Übertragung des War teschlangenauftrags an die Transporteinrichtung inaktiviert hat.

3. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die Vielzahl von Halbleiterverarbeitungseinrichtungen eine Vielzahl von Prozeß einrichtungen enthält.

4. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 3, wobei die Erzeugungs einrichtung ferner als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal eine Anforderungsnachricht aussendet als eine Nachricht mit einer Anforderung zum Transport der Partie Halbleiterwafer.

5. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 4, das ferner enthält: eine Planungseinrichtung, die an die allgemeine Kommunika tionsleitung angeschlossen ist, für die Planung eines nachfol genden Prozesses der Partie Halbleiterwafer als Reaktion auf die Anforderungsnachricht.

6. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 4, wobei eine der Prozeß einrichtungen eine Halbleiterwaferkassette als Behälter der Par tie Halbleiterwafer enthält.

7. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 6, wobei die Prozeßein richtung ferner die Erzeugungseinrichtung darüber informiert, dass die Halbleiterwaferkassette aus der Prozeßeinrichtung aus geladen werden kann, nachdem das Prozeßabschlußsignal an die Erzeugungseinrichtung versandt worden ist.

8. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 7, wobei der Warteschlan genauftrag einen Halbleiterwaferkassettenidentifizierer, einen die Ursprungsinformation der Halbleiterwaferkassette darstellen den Prozeßeinrichtungsidentifizierer und eine die Zielinforma tion der Halbleiterkassette darstellenden Ablageidentifizierer enthält.

9. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 8, das ferner enthält:
eine Transportsteuerungseinrichtung für die Erzeugung eines Transportsteuerungskommandos durch Umwandeln des Warteschlan genauftrags, um das Transportsteuerungskommando zu der Trans porteinrichtung zu senden, wobei die Transporteinrichtung als Reaktion auf das Transportsteuerungskommando sich an die Pro zeßeinrichtung hinbewegt, die mit dem Prozeßeinrichtungsidenti fizierer korrespondiert; und
eine Ablage zum Ablegen der Halbleiterwaferkassette und zum Erzeugen einer Ablageabschlußnachricht nachdem die Transportein richtung die Halbleiterwaferkassette in der Ablage abgelegt hat, die mit dem Ablageidentifizierer korrespondiert.

10. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 9, wobei die Erzeugungs einrichtung ferner als Reaktion auf die Ablageabschlußnachricht eine Prozeßeinrichtungssteuerungsdatei entleert und die Orts information aktualisiert, die sich auf die Halbleiterkassette bezieht.

11. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 4, wobei die Prozeßein richtungen eine Ofeneinrichtung einschließen.

12. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die vorbestimm ten Halbleiterprozesse einen Diffusionsprozeß einschließen.

13. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die Speicherein richtung eine Echtzeitdatenbasis einschließt.

14. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die allgemeine Kommunikationsleitung ein Ethernet^TM-Kabel einschließt, das von Xerox Corporation geliefert wird.

15. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei der Betriebsmode den vollautomatischen Mode, einen halbautomatischen Mode und einen manuellen Mode einschließt.

16. Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem (FA-System), das die Schritte enthält:

a) Empfang der durch den Bediener veränderten Betriebsmode information einer Verarbeitungseinrichtung;
b) Speichern der veränderten Betriebsmodeinformation der Ver arbeitungseinrichtung in einer Echtzeitdatenbasis;
c) Durchführen eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode, der einen vollautomatischen Mode hat, und Aussenden eines Prozeßabschlußsignals nachdem der vorbestimmte Halbleiterprozeß abgeschlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiterprozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird;
d) Erzeugen eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal;
e) Prüfen der in der Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag;
f) Inaktivieren des AGV durch Unterbrechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags an das AGV, wenn die in der Echtzeit datenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßein richtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet; und
g) Aktivieren des AGV zum Ausladen der Halbleiterwafer von der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauf trag, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebs modeinformation der Prozeßeinrichtung den vollautomatischen Mode bezeichnet.

17. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die in dem Schritt c) ent haltene Partie Halbleiterwafer von der Prozeßeinrichtung durch den Bediener entladen wird, falls die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet.

18. Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt d) die Schritte enthält:

1. Senden einer Anforderungsnachricht als eine Nachricht mit einer Anforderung für den Transport der Partie Halbleiterwafer von einer Prozeßeinrichtungsbedieneinheit zu einer Zellenverwal tungseinheit als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal;
2. Informieren der Prozeßeinrichtungsbedieneinheit darüber, dass die Halbleiterwaferkassette von der Prozeßeinrichtung aus geladen werden kann;
3. Planung eines nachfolgenden Prozesses der Partie Halblei terwafer als Reaktion auf die Anforderungsnachricht; und
4. Erzeugen eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal.

19. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die in dem Schritt a) ent haltene Prozeßeinrichtung eine Halbleiterwaferkassette als Behälter enthält, der eine Partie Halbleiterwafer enthält.

20. Verfahren nach Anspruch 16, wobei der in dem Schritt d) ent haltene Warteschlangenauftrag einen Halbleiterwaferkassetten identifizierer, einen die Ursprungsinformation einer Halbleiter waferkassette darstellenden Prozeßeinrichtungsidentifizierer und einen die Zielinformation der Halbleiterwaferkassette darstel lenden Ablageidentifizierer enthält.

21. Verfahren nach Anspruch 20, wobei der Schritt g) die Schritte enthält:

1. Erzeugen eines AGV-Steuerungskommandos durch Umwandeln des Warteschlangenauftrags, um das AGV-Steuerungskommando von der AGVC an das AGV zu senden;
2. Bewegen des AGV zu der Prozeßeinrichtung, die mit dem Prozeßeinrichtungsidentifizierer korrespondiert, als Reaktion auf das AGV-Steuerungskommando; und
3. Falls die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung den vollautomati sche Mode bezeichnet, Aktivieren des AGV, um die Partie Halblei terwafer als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag von der Pro zeßeinrichtung abzuladen.

22. Verfahren nach Anspruch 21, wobei der Schritt g3) ferner die Schritte enthält:

1. g3-a) Ablegen der Halbleiterwaferkassette in einer Ablage, die mit dem Ablageidentifizierer korrespondiert; und
2. g3-b) Erzeugen einer Ablageabschlußnachricht in der Ablage.

23. Verfahren nach Anspruch 22, wobei der Schritt g3-b) ferner die Schritte enthält:

1. g3-b1) Entleeren einer Prozeßeinrichtungssteuerungsdatei als Reaktion auf die Ablageabschlußnachricht; und
2. g3-b2) Aktualisieren der Ortsinformation, die sich auf die Halbleiterwaferkassette bezieht.

24. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 16, wobei die in Schritt a) enthaltene Prozeßeinrichtung eine Ofeneinrichtung ein schließt.

25. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 16, wobei der in Schritt c) enthaltene, vorbestimmte Halbleiterprozeß einen Diffusions prozeß einschließt.

26. Halbleiter-FA-System nach Anspruch 16, wobei der in Schritt c) enthaltene Betriebsmode den vollautomatischen Mode, einen halbautomatischen Mode und einen manuellen Mode einschließt.

27. Computer-lesbares Medium, das Programminstruktionen spei chert, wobei die Programminstruktionen auf einen Computer abge legt sind, um ein Verfahren für die Steuerung eines automatisch geführten Fahrzeugs (AGV) in einem Halbleiterfabrikautomatisie rungssystem (FA-System) durchzuführen, und das Verfahren enthält die Schritte:

a) Empfang der durch einen Bediener veränderten Betriebsmode information der Prozeßeinrichtung;
b) Speichern der Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrich tung in einer Echtzeitdatenbasis;
c) Ausführen eines vorbestimmten Halbleiterprozesses in einem Betriebsmode mit einem vollautomatischen Mode und Aussenden eines Prozeßabschlußsignals nachdem der vorbestimmte Halbleiter prozeß abgeschlossen wurde, wobei der vorbestimmte Halbleiter prozeß auf eine Partie Halbleiterwafer angewendet wird;
d) Erzeugen eines Warteschlangenauftrags als Reaktion auf das Prozeßabschlußsignal;
e) Prüfen der in der Echtzeitdatenbasis gespeicherten Betriebsmodeinformation der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauftrag;
f) Inaktivieren des AGV durch Unterbrechen der Übertragung des Warteschlangenauftrags an das AGV, wenn die in der Echtzeit datenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeßein richtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet; und
g) Aktivieren des AGV zum Ausladen der Halbleiterwafer von der Prozeßeinrichtung als Reaktion auf den Warteschlangenauf trag, wenn die in der Echtzeitdatenbasis gespeicherte Betriebs modeinformation der Prozeßeinrichtung den vollautomatischen Mode bezeichnet.

28. Computer-lesbares Medium nach Anspruch 27, wobei die in Schritt C enthaltene Partie Halbleiterwafer von der Prozeßein richtung durch den Bediener entladen wird, wenn die in der Echt zeitdatenbasis gespeicherte Betriebsmodeinformation der Prozeß einrichtung nicht den vollautomatischen Mode bezeichnet.