TW469553B - Semiconductor factory automation system and method for controlling automatic guide vehicle - Google Patents

Description

A7 B7 469553 五、發明說明（ 本發明之領域 本發明乃關於半導體工廠自動化（FA )系統，且更特別地 是關於用於控制自動引導車輛（AGV )之半導體FA系統與 方法。 習知技術之説明 參照圖1，其係顯示一説明在傳統之半導體FA系統中用 於控制一自動引導車輛（AGV)之方法之流程圖。如所示， 傳統之丰導體FA系統包括處理設備（EQ) 1 〇〇、EQ侍服器 (EQS) 102、隔室管理侍服器（CMS)丨〇4、機架内控制侍服 等（ICS) 106、AGV控制器（AGVC) 108、AGV 110、儲存 器控制侍服器（SCS) 112與儲存器114。再者，傳統之半導 體FA系統係採用在一操作模式中。操作模式包括全自動模 式、半自動模式與手動模式。典型上，傳統之半導體？八系 統係基於全自動模式。 在步驟S118，當EQ 100、即用於實行一半導體製造方 法、即擴散方法之加熱爐設備已完成擴散方法時，EQ 1〇〇 將發出—處理完成訊號至EQS 102。 在步驟S!20，EQS 102係將一請求訊息送至CMs 1〇4， 以回應處理完成訊號，其中請求訊4、係定義卜具有要求 將半導體晶圓堆從EQ 100輸送至儲存器114之訊息。詞彙 堆係定義成在-單元方法、即擴教方法中處理之半導體晶 囷之預決定數目。 在步驟sm，EQ刚係通知EQS 1〇2半導禮晶圓g可從 EQ]〇0卸下，其中半導體晶圓度是—用於包含被agv —,,-----------(.ί 衣--------訂---------線'、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本賀) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469553 A7 _ B7 — — - - —.»«««.— 五、發明說明（2 ) 從EQ 100輸送至儲存器114之半導體晶圓堆之容器。 在步驟Sl24，調度器116係收到來自CMS 104之請求訊 息，故調度器116能妥排半導體晶圓堆之下述半.導想處 理，以回應請求訊息。 在步驟S 126，EQS 102係將卸下儲列送至CMS 1〇4，以 回應處理完成訊號。該卸下儲列係包括一半導體晶圓度識 別器、一表示半導禮晶圓匣之開始訊息之EQ識別器，與 一表示半導體晶圓匣之目的訊息之儲存器識別器。 在步驟S128 ’ CMS 104係將卸下儲列送至ICS 106。 "在步驟S130，EQS 102係將一指令送至EQ 100，以便Eq 100能把半導體晶圓堆放在半導體晶圓匣中，以回應來自 EQS 102之指令。 在步驟S〗32，ICS 106送出卸下儲列至AGVC丨08。 在步驟S134，AGVC 108係轉換卸下儲列，以使卸下儲 列能在AGVC 108中被辨認出’藉此產生一送至AG V 11 〇 之AGV控制指令。 在步躁S135 ’ AGVC 108藉著無線電以將AGV控制指令 送至AGV 110。在此時’爲了要從EQ 1〇〇卸下半導體晶圓 匣，AGV 1 10係移動至相當於EQ識別器之EQ 1〇〇。 在步驟S136，若AGV 110已移動至相當於eq識別器之 EQ 100，AGVC 108將移動完成訊息送至ICS 1〇6。 在步驟S138，ICS 106係將移動完成訊息送至CMS 104 ° 在步樣S140，ICS 106係將移動完成訊息送至EQS 102。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） f請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) Λ :線- A7 46 95 5 3 B7 ______ _ 五、發明說明（3 ) 在步驟S142，EQS 102係將承認訊息送至ICS 106 ’以回 應從ICS 106所收到之移動完成訊息。 在步驟S144，ICS 106係將承認訊息送至AGVC 108。 在步驟S146，AGV 110從相當於EQ識別器之EQ 1〇〇卸 下半導體晶圓匣。 在步驟S148，AGV 110將半導體晶圓匣承載相當於儲存 器識別器之儲存器114。 在步驟S150，若AGV 110已將半導醴晶圓匣承載相當 於儲存器識別器之儲存器114，儲存器114將發出一承載完 $訊號至SCS 112。 在步驟S152，SCS 112係將承載完成訊息送至CMS 104，以回應承載完成訊號。 在步驟S154，CMS 104係更新有關於半導體晶圓匣之位 置訊息。 在步驟S156，CMS 104係將承載完成訊息送至EQS 102 ° 在步驟S158 ’ EQS 102產生一 EQ控制檔案，以回應承载 完成訊息。 在藉著一對應之EQ 1 〇〇所實行之半導體製造方法、即擴 散方法完成之後，傳統之半導體]FA系統需要太多時間，以 將半導體晶圓匣從對應之EQ 100輸送至一對應之儲存器 114。爲了要減少從對應之Eq 1〇〇將半導體晶圓匣輸送至 對應之儲存器114所需之時間，傳統之半導體fa系統強烈 地需要一操作者之干涉。 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ^1 ^1 I -» n I n· i— 1 I t .^1 n Ha n I— 1^1 >1 {t I _ (210x 297 公釐） A7 469553 B7 _____ 五、發明說明（4 ) 當操作模式如囷1中所示被一操作者從全自動模式變成 在點” A”處之半自動模式或手動模式，操作者能直接地從 對應之EQ 1 00卸下丰導體晶圓匣。然後，操作者能直接地 將半導體晶圓匣承載對應之儲存器114中。在此時，AGVC 108通常會產生送至AGV 110之AGV控制指令，以從對應 之EQ 100卸下半導體晶圓匣，所以將AGV U 〇移動至對應 之EQ 100。其較佳是AGV 110在半自動或手動之模式時停 止活動。 不過’有一問題是傳統之半導體FA系統在半自動或手 %之模式時不能使AGV停止活動。 本發明之概要 因此，本發明之一目的係提供一用於有效地控制自動引 導車輛（AGV )之半導體FA系統與方法，當操作模式被系 銳操作者從全自動模式變更成其他模式時，其係藉檢查儲 存於即時資料庫中之操作模式訊息以使AGV停止活動。 因此，本發明另外一個目的係提供一電腦可讀之媒體儲 存程式指令’該配置在電腦上之程式指令係用於執行一有 效地控制自動引導車輛（AGV)方法，當操作模式被系統操 作者從全自動模式變成另外之模式時，其係藉檢查儲存在 即時資料庫中之操作模式訊息，以使半導體FA系統中之 AGV停止活動。 根據本發明之—方面，其係提供一半導體工廠自動化 (F A )系統，其包含：共用通訊線；與該共用通信連結之數 個半導體處理裝置，其之每一個係在具有全自動模式之操 本紙張尺度適用中國國家標準（cNs〉A4規格（21Q X 公楚） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ------ I I 訂----- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 5 5 3 A7 "" -~—__________B7 _ 五、發明說明（5 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 作模式中用於進行一預決定之半導體處理且在預決定之半 導體處理完成之後將處理完成訊號送出，其中預決定之半 導體處理係施加至半導體晶圓堆；與該共用通信線連結之 操作者介面裝置，其係用於接受每—個半導體處理裝置之 操作模式訊息以及由操作者所改變之操作模式訊息；與該 共用通信線連結之儲存裝置，其係用於儲存由該操作者介 面裝置所改變之操作模式訊息；與該共用通信線連結之產 生裝置，其係用於產生一儲列以回應處理完成訊號；與該 共用通信線連結之控制裝置且對用於檢查儲存在該儲存裝 專中之每一個半導體處理裝置之操作模式訊息之儲列回 應；以及用於從每一個半導體處理裝置卸下半導體晶圓 堆、以回應從該控制裝置所收到之儲列之運輸裝置，其中 若儲存於該儲存裝置中之每一個半導體處理裝置之操作模 式訊息不是全自動模式時，則該控制裝置係藉由中斷一傳 輸至該運輸裝置之儲列以使該運輸裝置停止活動。 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 根據本發明之另一方面，其係提供一用於在半導體工廠 自動化（F A )系統中控制自動引導車輛（AG v )方法，其包含 步骤：a)收到由操作者所改變之處理設備之操作模式訊 息；b)儲存在即時資料庫中所改變之處理設備之操作模式 訊息；c)在具有全自動模式之操作模式下進行預決定之半 導體處理且在預決定之半導體處理完成之後，送出處理完 成訊號，其中預決定之半導體處理係施加至半導體晶圓 堆；d)產生一儲列以回應處理完成訊號；e)檢查儲存在即 時資料庫中之處理設備之操作模式訊息以回應儲列；f)若 -Q -> 本紙張尺度適用中國國家標毕<CNS)A4規格（21Q x 297公爱） ---— 經濟部智慧財產局具工消費合作社印製 4 6 9 5 5 3 A7 ________B7___ 五、發明說明（6 ) 儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息不是全自 動模式，則藉中斷至AGV之儲列傳輸以使AGV停止活動； 以及g)若儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息 是全自動模式，則啓動AGV以從處理設備卸下半導體晶圓 堆以回應儲列。 根據本發明更另外之一方面，其係提供一電腦可讀之媒 體儲存程式指令，該程式指令係配置在電腦上以執行控制 半導體工廠自動化（FA)系統中之自動引導車輛（AGV )之方 法，其包含步驟：3)接收由操作者所改變之處理設備之操 作7模式訊息；b)儲存在即時資料庫中所改變之處理設備之 操作模式訊息；c)在具有全自動模式之操作模式下進行預 決定之半導體處理且在預決定之半導體處理完成之後，送 出處理完成訊號，其中預決定之半導體處理係施加至半導 體晶圓堆；d)產生一儲列以回應處理完成訊號；幻檢查儲 存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息以回應儲 列；f)若儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息 不是全自動模式’則藉中斷至AGV之儲列傳輸以使agv^ 止活動•’以及g)若儲存在即時資料庫中之處理設備之操作

模式訊息疋全自動模式，則啓動AGv以從處理設備卸下半 導體晶圓堆以回應儲列D 附圖之簡略説明 本發明^丨述與其他之目的與特徵從下列較肖具想實施 例之描述以及所附之圖示可以變成顯然，其中： 囷1係説明用於控制傳統之半導體工廠自動化（FA)系統 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（21〇 x 297 .ίί ---f ·衣--------^----------^ J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

修正j 補充1 463553 第89112185號專利申請案 中文說明書修正頁(90年1丨月） 五、發明説明（7 ) 中之自動引導車輛（AGV)之方法之流程圖； 圖2係描述用於控制根據本發明之AGV之半導體F A系統 之方框圖， 圖3係說明圖2中所示之運輸控制部份之方框圖；且 圖4係顯示一在根據本發明之半導體fa系統中用於控制 AGV之方法之流程圖》 本發明之詳細說明 參照圖2 ’其係顯示一方框圖，表示一根據本發明之半導 體工廠自動化（FA )系統。如所示，該半導體FA系統至少包 括一個隔室，其係具有一預決定之數目、例如為4之半導體 製造機架。半導體製造機架4〇〇係包含在一隔室中。半導體 製造機架400係具有處理設備（Eq)2〇4、儲存器216與自動 引導車輛（AGV)214。EQ2〇4處理半導體晶圓以獲得半導體 設備。EQ204例如包括蝕刻設備、平版印刷設備、加熱爐 設備等。儲存器216暫時地儲存許多半導體晶圓匣&每一個 半導體晶圓匣係具有預決定數目之半導體晶圓，其係稱為 一堆。丰導體晶圓匣係選擇性地藉使用AGV 2 14以輸送至 EQ 204。將儲存在儲存器216中之半導體晶圓匣輸送至其他 之半導體製造機架400。 處理設備侍服器（EQS) 202係與例如為xer0X公司所供應 之Ethernet™之共用通說線5〇〇連結》AGV控制器（AGVC) 2 12 係控制 AGV 2 14 » 半導體FA系統亦包括隔室管理部份2〇〇、與該隔室管理 部份2 00連結之即時資料庫300、暫儲存單位31〇、與暫儲 -10- 本紙張尺度適用中®躅家標準(CNS) A4规格(21〇x 297公釐） 469553 A7 B7 第89112185號專利申請案 中文說明書修正頁(90年11月） 五、發明説明（8 ) 存單位3 10連結之歷史管理部份3 1 2以及與歷史管理部份3 j 2 連結之歷史資料庫314。隔室官理部份2〇〇、歷史管理部份 3 12與歷史資料庫3 14係分別連結至共用通訊線5〇〇以彼此間 通信·> 隔室管理部份2 00係包括隔室管理侍服器（CMs) 206、操 作者介面侍服器（OIS) 201與資料蒐集侍服器（Dgs) 207 a DGS 207係儲存與即時資料庫300中之堆有關之處理資料。 參照圖3 ’其係顯示一說明圖2中所示之運輸控制部份之 方框圖。如所示，運輸控制部份1 16係包括與共用通訊線 500連結之機架内控制侍服器（ICS) 2 10與儲存器控制侍服器 (SCSS) 218。ICS 210將來自共用通訊線500之運輸訊息轉 換成運輸指令。S C S 2 1 8係產生一儲存·器控制命令以控制儲 存器216以回應運輸指令。AG VC 2 12係產生一 AG V控制指 令以控制AGV 2 14以回應運輸指令。 參照圖2與3 ’該半導體F A系統係基於全自動模式。操作 者可以經由與共用通訊線5〇〇連結之〇is 201以將EQ 204之 操作模式由全自動模式改變成半自動或手動模式。 與共用通訊線500連結之即時資料庫3〇〇係儲存與Eq 2〇4 之操作模式改變、即半自動或手動之模式有關之訊息。 與共用通訊線500連結之EQ 204、即加熱爐設備係進行一 半導體製造方法 '即擴散方法。若EQ 2〇4已完成擴散方法 ’ EQ 204會發出處理完成訊號至eqS 2〇2。在發出處理 11 - 4 6 9 5 5 3 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（9 ) 完成訊號之後’ EQ 2〇4會通知CMS 206半導禮晶圓臣可以 從EQ 204卸下。半導體晶圓匣是一包含藉AGV 2 14以從EQ 204輸送至儲存器216之半導體晶圓堆之容器。 與共用通訊線500連結之EQS 202將請求訊息送至CMS 206以回應來自EQ 204之處理完成訊號。請求訊息係定義 成一具有將半導體晶圓從EQ 204移動至儲存器216之請求 之訊息。 在EQ 204通知EQS 202半導體晶圓匣可以從EQ 204卸下 之後，EQS 202會產生一卸下儲列且將卸下儲列送至CMS 2没6。該卸下儲列包括半導體晶圓匣識別器，表示半導趙 晶圓匣之開始訊息之EQ識別器與表示半導體晶圓匣之目 之地訊息之儲存器識別器。 EQS 202將指令送至EQ 204，以使EQ 204可以把半導體 晶圓堆放在半導體晶圓匣中以回應來自EQS 202之指令。 在把指令送至EQ 204之後，EQS 202將承認訊息送至ICS 210以回應來自ICS 210之移動完成訊息。在半導體晶圓匣 已承載儲存器216之後，EQS 202產生EQ控制擋案且更新 有關於半導體晶圓匣之位置訊息。 與共用通訊線500連結之CMS 206係將請求訊息從EQS 202送至調度器208。在請求訊息從EQS 202送至調度器 208之後’ CMS 206將卸下儲列從EQS 202送至ICS 210。 在儲存器216已承載丰導體晶圓匣之後，CMS 206會將承 載完成訊息從儲存器216送至EQS 202。 與共用通訊線500連結之調度器208收到來自CMS 206之 -12- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x 297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 6 9 5 L' _____ B7五、發明說明（10 )請求訊息，所以調度器208能預定半導體晶圓堆下述之處 理以回應來自CMS 206之請求訊息。 與共用通訊線500連結之ICS 210係檢査儲存在即時資料 庫300中之EQ 204之操作模式訊息，以檢查Eq2〇4之操作 模式訊息是否是全自動模式。若儲存在即時資料庫3〇〇中 之EQ 204之操作模式訊息是半自動或手動模式，ics 2ι〇 會中斷從CMS 206至AGVC 212之卸下儲列之傳輸，以藉 此使AGV 214停止活動*然後，操作者卸下來自相當於eq 識別器之EQ 204之相當於半導體晶圓匣識別器之半導體晶 晖g。在却下半導體晶圓匣之後，操作者將半導體晶圓£ 承載至相當於儲存器識別器之儲存器216中。 在另一方面，若儲存在即時資料庫30〇中之EQ2〇4之操 作模式訊息是全自動模式，ICS 210會將卸下儲列送至 AGVC 212。 再者’ ICS 210將移動完成訊息、送至CMS 206與EQS 202。ICS 210將承認訊息從EQS 202送至AGVC 212。 與共用通訊線500連結之AGVC 2 12轉換卸下儲列，以 使卸下儲列可以在AG VC212中被辨認出，藉此產生一送 至AGV 214之AGV控制指令。AGVC 212係藉無線電以將 AGV控制指令送至AGV 2 14，藉此以啓動AGV 2 14。然 後，回應AGV控制命令，AGV 2 14移動至相當於EQ識別 器之EQ 204 ’以卸下來自EQ 204之半導體晶圓匣。若AGV 214已移動至相當於EQ識別器之EQ 204，則AGVC 212將 移動完成訊號送至ICS 210。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS)A4規格<210 X 297公釐） A7 (請先閱讀背面之注急事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 46 955 3 A7 ______B7__ 五、發明說明（n) AGV 2 14從相當於EQ識別器之EQ 204卸下半導體晶圓 匣。AGV 214將半導體晶圓匣承載至相當於儲存器識別器 之儲存器216。 若AGV 2 14已將半導體晶圓匣承載至相當於儲存器識別 器之儲存器216 ’則儲存器216將發出承載完成訊息至scs 218 ° 與共用通訊線500連結之SCS 218係將承載完成訊息從儲 存器216送至CMS 206。 參照圖4，其係顯示一顯示用於控制根據本發明之半導 ^FA系統中之AGV之方法之流程囷。 在步驟S218，當用於進行半導體製造方法、即擴散方 法之EQ 204、即加熱爐設備已完成擴散方法時，eq 204會發出處理完成訊號至EQS 202。 在步驟S220，EQS 202將請求訊息送至CMS 206以回應 處理完成訊號，其中請求訊息係定義成一具有將半導體晶 圓堆從EQ 204輸送至儲存器216之請求之訊息。 在步驟S222，EQ 204通知EQS 202半導體晶圓匣可以從 EQ 204卸下，其中半導體晶圓匣是一包含藉agv 214以從 EQ 204輸送至儲存器216之半導體晶圓堆之容器。 在步驟S224，調度器208收到來自CMS 206之請求訊 息，所以調度器208能預定半導體晶圓堆下述之半導體處 理以回應請求訊息。 在步驟S226，EQS 202產生卸下儲列且將卸下儲列送至 CMS 206。卸下儲列包括半導體晶圓匣識別器，表示半導 -14 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐.) -----I I ---I--^ ^ ' I I ------訂- - ------線 J (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 469553 ________B7___ 五、發明說明（12) 體晶圓E之開始訊息之EQ識別器，與表示半導體晶圓匿 之目的訊息之儲存器識別器。 在步驟S228，EQS 202將指令送至EQ 204，所以EQ 204 可以把半導體晶圓堆放在半導體晶圓匣以回應來自EQS 202之指令。在點"B"，如圖2中所示操作者藉著〇is 2〇ι 將EQ 204之操作模式從全自動模式改變成半自動或手動模 式。然後，如圖2中所示之即時資料庫3〇〇儲存EQ 2〇4操 作模式之改變訊息、即半自動或手動模式。操作者可以在 其他點處將操作模式由全自動模式改變成半自動或手動模 今。 在步驟S230，CMS 206將卸下儲列送至ICS 210。 在步驟S232，ICS 210檢查儲存在即時資料庫3〇〇中之 EQ 204之操作模式訊息，以檢查EQ204之操作模式訊息是 否是全自動模式。 若儲存在即時資料庫300中之EQ 204之操作模式訊息是 半自動或手動模式，ICS 210會中斷從CMS 206至AGVC 212之卸下儲列之傳輸，以藉此使AGV214停止活動。然 後’操作者卸下來自相當於EQ識別器之EQ 204之相當於 半導體晶圓匣識別器之半導體晶圓匣。在卸下半導體晶圓 匣之後’操作者將半導體晶圓匣承載至相當於儲存器識別 器之儲存器216中。 在步驟S23 4，若儲存在即時資料庫300中之EQ 204之操 作模式訊息是全自動模式，ICS 2 1 0會將卸下儲列送至 AGVC 212。 -15- 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） --------------f _衣 ----I--訂- !1ί· -線—一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 469553 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7_五、發明說明（13 ) 在步驟S236，AGVC 2 12轉換卸下儲列，以使卸下儲列 可以在AGVC 212中被辨認出，藉此產生送至AGV 214之 AGV控制指令。 在步騍S237，AGVC 212藉著無線電把AGV控制指令送 至AGV 214，藉此啓動AGV 214。然後，回應AGV控制命 令，AGV 214移動至相當於EQ識別器之TEQ 204，以卸下 來自EQ 204之半導體晶圓匣。 在步驟S238，若AGV 214已移動至相當於EQ識別器之 EQ 204，AGVC 212將移動完成訊息送至ICS 210。 b在步驟S240，ICS 210將移動完成訊息送至CMS 206。 在步驟3242，1€3210將移動完成訊息送至£(^ 202。 在步驟S244，EQS 202將承認訊息送至ICS 210，以回應 從ICS 210收到之移動完成訊息。 在步驟S246，ICS 210將承認訊息送至AGVC 212。 在步驟S248，AGV 214從相當於EQ識別器之EQ 100卸 下半導體晶圓匣。 在步驟S250，AGV 214將半導體晶圓匣承載至相當於儲 存器識別器之儲存器2 1 6。 在步驟S252，若AGV 214已將半導體晶圓匣承載至相當 於儲存器識別器之儲存器216，儲存器216會發出承載完成 訊號至SCS 218。 在步驟S254，SCS 218將承載完成訊息送至CMS 206以 回應承載冗成訊號。 在步驟S256，CMS 206將承載完成訊息送去EQS 202。 1β- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐)~~' ------------二衣--------訂---------線'' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 46 9b b, 第89丨12185號專利申請案 中文說明書修正頁(y«年1丨月） A7 B7 五、發明説明（14 ) 在步騾S258，EQS 202產生EQ控制檔案以回應承載完成 訊息。 在步驟S260，EQS 202更新與半導體晶圓匣有關之位置訊 息。 如上所述，若操作者將操作模式從全自動模式改變至半 自動或手動模式，根據本發明之方法可藉由中斷至AGVC 2 1 2之卸下儲列之傳輸以有效地控制AGV 2 14。例如為光碟-或硬碟之電腦可讀媒體可以儲存配置在電腦上之程式指令 以執行用於控制根據本發明之FA系統中之AGV之方法。 雖然本發明之較佳具體實施例已為說明之的目而揭示， 但是熟習該項技藝之人士可以瞭解的是各種修改，添加與 替換可以在不偏離申請專利範園中所揭示之本發明之範疇 與精神下進行是可能的。 元件符號說明 100 處理設備(EQ) 102 EQ侍服器(EQS) 104 隔室管理侍服器(CMS) 106 機架内控制侍服器(ICS) 108 AGV控制器(AGVC) 110 自動引導車輛(AGV) 112 儲存器控制侍服器(SCS) 114 儲存器 116 調度器 200 隔室管理部份 -17- 本紙乐尺度適用中國國家標準(CNS) A4规格(21〇x 297公釐） 裝 訂 46 95 5 3 第89 112185號專利申請案 中文說明書修正頁(W年11月） 五、發明説明（15 ) 201 操作者介面侍服器(OIS) 202 處理設備侍服器(EQS) 204 處理設備(EQ) 206 隔室管理侍服器(CMS) 207 資料蒐集侍服(DGS) 208 調變器 210 機架内控制侍服器(ICS) 212 AGV控制器(AGVC) 214 自動引導車輛(AGV) 216 儲存器 218 儲存器控制侍服器(SCS) 300 即時資料庫 310 暫儲存單位 312 歷史管理部份(HIS) 314 歷史資料 400 半導體製造機架 500 共用通訊線 600 運輸控制部份 -17a - 本紙張尺度適用中围國家標準(CNS) A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 4 85號專利申請案 中文申請皁利範圍修正本(90年i|月）

   1. 一種半導體工廠自動化（FA)系統，其包含： 共用通訊線； 與該共用通信連結之數個半導體處理裝置，其之每一個 係在具有全自動模式之操作模式中用於進行一預 '夫定、 半導體處理且在預決^之半導體處理 成訊號送出’其中預決定之半導體處理係施 晶圓堆； 與該共用通信線連結之操作者介面裝置，其係用於接受 每-個半導體處理裝置之操作模式訊息以及由操作者所 改變之操作模式訊息； 與該共用通信線連結之儲存裝置，其係用於儲存由該操 作者介面裝置所改變之操作模式訊息； 與該共用通信線連結之產生裝置，其係用於產生一儲列 以回應處理完成訊號； 與該共用通信線連結之控制裝置且對用讀查儲存在該 儲存裝置中之每-個半導體處理裝置之操作模式訊息之 儲列回應；以及 用於從每一料導體處理裝置#下半導體辱圓堆、以回 應從該控制裝置所收到之儲列之運輸裝置， 其中若儲存於該儲存裝置中之每一個半導體處理裝置之 操作模式訊息不是全自動模式時，則該控制裝置係藉由 中斷一傳輸至該運輸裝置之儲列以使該運輸裝置停止活 動。 2. 根據申請專利範圍第丨項之半導體FA系統，其中若該控 本紙張尺度逋用中固g家標準<CNS) A4規格(2l〇x 297公嫠) 469553 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 制裝置藉由中斷至該運輸裝置之儲列之傳輪以使 裝置停止㈣’則半導體晶圓堆係藉操作者以 導體處理裝置卸下. 千 .根據"專利範圍W項之半導趙FA系統，其中該數個 半導體處理裝置係包括數個處理設備。 根據申，專利範圍第3項之半導體FA系統，其中該產 裝置進一步送出一請求訊自 裳伟丑古 二 可具係具有一回應處理完成 訊號而傳送半導體晶圓堆之諳求之訊息。 .根據申請專利範圍第4項之半導體FA系統，其進一步含 與該共用通訊線連結之排程裝置，其係用於安排半導體 晶圓堆之下述半導體處理以回應請求訊息。 6 根據申請專利範圍第4項之半導體FA系統，其中處理設 備之一係包括作為包含半導體晶圓堆之容器之半導體晶 圓匣。 7 ·根據申請專利範圍第6項之半導體FA系統’其中在將處 理疋成訊號送至該產生裝置之後，該處理設備進一步通 知該產生裝置半導體晶圓匣可以從處理設備卸下。 8 根據申請專利範圍第7項之半導體FA系統，其中該儲列 係包括半導體晶圓匣識別器 '表示丰導體晶圓匣之開始 訊息之處理設備識別器以及表示半導體晶圓匣之目的地 訊息之儲存器識別器。 9 根據申請專利範圍第8項之半導體系統，其進一步含 有： 本紙張又度·中S a輯準(CNS) A4規格(21。χ 297公爱) 4 6 9 5 5 3 A8 BS C8 D8

   六、申請專利範圍 —用於產生運輸控制指令之運輸控制裝置，其係藉由轉 換儲列以將運輸控制指令送至該運輸裝置，其中該運輸 裝置係移動至相當於處理設備識別器之處理設備以回應 運輸控制指令；以及 一用於承載半導體晶圓E且在運輸裝置已將半導體晶圓 匣承載寻相當於儲存器識別器之該儲存器之後，產生承 載完成訊息之儲存器。 10-根據申請專利範圍第9項之半導體FA系統，其中該產生 裝置進一步產生處理設備控制檔案且更新與半導體晶圓 匣有關之位置訊息以回應承載完成訊息。 11. 根據申請專利範圍第4項之半導體FA系統，其中該處理 設備係包括一加熱爐設備。 12. 根據申請專利範圍第1項之半導體fA系統，其中該預決 定之半導體處理包括一擴散方法。 13，根據申請專利範圍第1項之半導體FA系統，其中該儲存 裝置係包括一即時資料庫。 14. 根據申請專利範圍第1項之半導體fA系統，其中該共用 通訊線包括Xerox公司所供應之EthernetTM境線。 15. 根據申請專利範圍第i項之半導體fa系統，其中該操作 模式係包括全自動模式、半自動模式與手動模式。 16- —種用於在半導體工廠自動化（F a )系統中控制一自動引 導車輛（AGV)之方法，其包含步驟： a)收到由操作者所改變之處理設備之操作模式訊息； b )儲存在即時資料庫中所改變之處理設備之操作模式訊 -3- 本紙張尺度逋用中國國家揉準(CNS) A4规格(210 X 297公釐) 46 9 5 5 3 A8 B8 C3 D8 六、申請專利範圍 息； C)在具有全自動模式之操作模式下進行預決定之半導體 處理且在預決定之半導體處理完成之後，送出處理完成 訊號，其中預決定之半導體處理係施加至半導體晶圓堆. d)產生一儲列以回應處理完成訊號； 〇檢查，存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息 以回應儲列； 〇若儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊$、不 是全自動模式，則藉中斷至AGV之儲列傳輸以使AGV停 止活動：以及 g )若儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息是 全自動模式’則啟動AGV以從處理設備卸下半導體2圓 堆以回應儲列。

   料庫中之處理設備之操作槿式.詛I π i i β...... 包

   設備卸下》

   步驟： 回應處理完成訊號而 堆至隔室管理侍服器 d 1 )送出一請求訊息’其係具有一回應 從處理設備侍服器傳送半導體晶圓堆至 之請求之訊息； d 2)通知處理設備侍服器可以從處理設備卸 圓匣； 下半導體晶 本紙張尺度適財 家揉準(CNS) A4*Mfr(21GX297公；t) --—------- 4 6 9 5 5 Q Ss C8 _D8_ 六、申請專利範圍 ' d 3 )安排半導體晶圓堆之下述半導體處理以回應請求訊 息：以及 d 4 )產生儲列以回應處理完成訊號。 19. 根據申請專利範圍第16項之方法’其中包含於該步驟a) 中之處理設備係包括一作為包容半導體晶圓堆之容器之 半導體晶圓匣。 20. 根據申請專利範圍第16項之方法，其中包含於該步驟d ) 中之儲列係包括半導體晶圓匣識別器，表示半寧體晶圊 匣之開始訊息之處理設備識別器以及表示半導體晶園g 之目的地訊息之儲存器識別器， 21. 根據申請專利範圍第20項之方法，其中該步驟g )係包括 步驟： gl)藉由轉換儲列以產生AGV控制指令且將AGV控制命 令從AGVC送至AGV ; g2)移動AGV至相當於處理設備識別器之處理設備以回 應AGV控制指令；以及 g 3 )若儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息 疋全自動模式，則啟動AGV以從處理設備卸下半導體晶 圓堆以回應儲列。 22. 根據申請專利範圍第21項之方法，其中該步騾y )係進 一步包括步驟： g3-a)將半導體晶圓匣承載至相當於儲存器識別器之儲存 器；以及 g3-b)在儲存器t產生一承載完成訊息^

   469553 A8 B8 CS D8 申請專利範圍 23_根據申請專利範圍第22項之方法’其中該步驟g3_b)係進 一步包括步驟： g3 -b 1)產生一處理設備控制樓案以回應承載完成訊息； 以及 g3-b2)更新與半導體晶圓匣有關之位置訊息。 24. 根據申請專利範圍第丨6項之方法’其中包含於步驟&)中 之處理設備係包括一加熱爐設備。 25. 根據申請專利範圍第丨6項之方法’其中包含於步驟c )中 之預決定之半導體處理係包括擴散方法。 26. 根據申清專利範圍第16項之方法，其中包含於步驟〇 )中 之操作模式係包括全自動模式、半自動模式與手動模式。 27. —種錯存程式指令之電腦可讀取之媒體，該程式指令係 配置在電腦上以執行控制半導體工廠自動化（F A)系統中 工自動引導車輛（AGV)之方法，其包含步驟： a )接收由操作者所改變之處理設備之操作模式訊息； b )儲存在即時資料庫中所改變之處理設備之操作模式訊 息； Ο在具有全自動模式之操作模式下進行預決定之半導體 處理且在預決定之半導體處理完成之後，送出處理完成 訊號’其中預決定之半導體處理係施加至半導體晶圓堆； <0產生一儲列以回應處理完成訊號； e )檢查儲存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息 以回應儲列； f)右諸存在即時資料庫中之處理設備之操作模式訊息不

   A8 Π8 CS D8 S9553 六、申請專利範圍 是全自動模式’則藉中斷至AGV之儲列傳輸以使AGV停 止活動；以及 g)若儲存在㈣資料庫中之處理設備之操作模式訊息是 $自動模式，則啟動AGV以從處理設備卸下半導體 堆以回應儲列。 28.根據申巧專利範圍第”項之電腦可讀取之媒體，其 儲存在即時資料庫中之處理設備之操作不 二動模式，則包含於步驟〇中之半導體晶圓堆； 者以從處理設備卸下。 .、g喿作 -7- 本紙張尺度逋用中國S家橾準(CNS) A4規格(210X 297公釐)