CN116525496A - 一种半导体mes系统载具清洗全自动化管理模块 - Google Patents

一种半导体mes系统载具清洗全自动化管理模块 Download PDF

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CN116525496A CN202310527963.6A CN202310527963A CN116525496A CN 116525496 A CN116525496 A CN 116525496A CN 202310527963 A CN202310527963 A CN 202310527963A CN 116525496 A CN116525496 A CN 116525496A
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Abstract

本发明提供了一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，加载于MES系统上，实现对半导体载具进行自动化清洗的处理，其特征在于：包括CMS载具管理模块、GTM搬运模块、AUTO自动化接口模块和RTD实时派工模块；本发明的提供一种全自动化管理的，可加载于半导体MES系统使用的，载具清洗全自动化管理模块。

Description

一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块
技术领域
本发明涉及半导体MES系统的载具清洗领域，具体地，涉及一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块和方法。
背景技术
目前MES系统中，FOUP的清洗流程处于半自动化管理的模式(Semi-auto)，由操作人员手动搬送FOUP到设备上进行清洗，对于FOUP清洗的一些前置检查主要依靠设备自身的能力，MES及外界不能对作业进行干预。也无法把FOUP Clean的流程纳入到全厂自动化管理流程中，这无疑会影响工厂的生产效率及增加了生产风险。目前的对FOUP的管理流程如图1所示。
其管理流程需要操作人员介入，无法达到无人全自动化管理，当FOUP到达设备后，也无法对FOUP进行前置检查，直接进行了作业。
发明内容
本发明旨在克服上述缺陷，提供一种全自动化管理的，可加载于半导体MES系统使用的，载具清洗全自动化管理模块。
本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，加载于MES系统上，实现对半导体载具进行自动化清洗的处理，其特征在于：
包括CMS载具管理模块、GTM搬运模块、AUTO自动化接口模块和RTD实时派工模块；
其中，上述AUTO自动化接口模块，对接EAP设备自动化系统，与EAP设备自动化系统发生信息交互，并与其他模块发生信息交互；
上述CMS载具管理模块，获取各载具的状态数据，并根据各载具的状态数据定义载具的状态；
上述RTD实时派工模块，基于cleanjob向GTM搬运模块发送搬运任务；
上述RTD实时派工模块，还实时检测载具的状态，根据载具的状态，自动化的创建cleanjob；
上述GTM搬运模块，通信连接物料控制系统MCS，依据搬运任务，向物料控制系统MCS发送搬运的指令；
上述物料控制系统MCS，根据搬运的指令，将载具搬运在清洗设备EQP上；
上述清洗设备EQP，清洗载具，以及报告进展；
上述EAP设备自动化系统，基于AUTO自动化接口模块回传的信息，处理异常事件。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述EAP设备自动化系统，将载具的进出站情况和交换情况传送AUTO自动化接口模块；
上述AUTO自动化接口模块，将载具的进出站情况和交换情况传送CMS载具管理模块；
上述CMS载具管理模块定义载具的状态的具体方法如下所示：
SC-1.当接收到载具出站信息时，定义使用次数+1；
SC-2.根据当前使用次数，判断使用次数是否达到次数阈值，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”；
当结果为“否”时，记录使用次数+1，完成出站程序；
SC-3.当接收到载具交换完成信息时，更新载具状态；
SC-4.判断载具是否为空载具，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”，更新载具状态；
当结果为“否”时，更新载具状态；
SC-5.判断载具使用时间是否达到使用时长阈值，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述EAP设备自动化系统，与清洗设备EQP发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送RTD实时派工模块；
上述清洗设备EQP，当其为空闲时，主动向EAP设备自动化系统传送LoadRequest请求；
上述EAP设备自动化系统，将LoadRequest请求传送RTD实时派工模块。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述RTD实时派工模块，监视清洗设备EQP的空闲情况。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述RTD实时派工模块的运行方式为：
SR-1.当清洗设备EQP为空时，查询是否存在Cleanjob，
当结果为“是”时，向GTM搬运模块发送搬运任务；
当结果为“否”时，进行SR-2；
SR-2.检测载体的状态，根据载具的状态，查询是否存在“Dirty”状态的载具；
当结果为“否”时，返回SR-1；
当结果为“是”时，进行SR-3；
SR-3.自动化的创建cleanjob,并向GTM搬运模块发送搬运任务。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
在SR-2的步骤中，上述RTD实时派工模块，对清洗设备物料类型与载具物料类型相匹配的载具进行查询。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述RTD实时派工模块，根据变脏的时间，对载具的Cleanjob进行排序。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
当载具抵达清洗设备EQP时，
上述清洗设备EQP向EAP设备自动化系统返回载具信息；
上述EAP设备自动化系统，核实载具的FOUPID信息，当读取载具的FOUPID失败时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述清洗设备EQP，与EAP设备自动化系统发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块；
当载具FOUPID信息核对准确时，EAP设备自动化系统向AUTO自动化接口模块请求下载载具信息；
上述AUTO自动化接口模块向CMS载具管理模块请求载具信息，并将CMS载具管理模块的反馈信息回传EAP设备自动化系统；
当EAP设备自动化系统，根据反馈信息完成校验后，清洗设备EQP开始清洗作业；
当EAP设备自动化系统，无法返回反馈信息，或根据反馈信息无法完成校验时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述清洗设备EQP或EAP设备自动化系统，检测载具是否为空载具；
当为非空载具时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述EAP设备自动化系统，将报错信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块和RTD实时派工模块；
当CMS载具管理模块接收到报错信息时，标记载具异常；
当RTD实时派工模块接收到报错信息时，向EAP设备自动化系统返回取消载具的Cleanjob；
上述RTD实时派工模块还向GTM搬运模块发送搬运任务；
GTM搬运模块，依据搬运任务，向物料控制系统MCS发送搬运的指令。
进一步地，本发明提供的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
上述清洗设备EQP，与EAP设备自动化系统发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块；
当CMS载具管理模块，接收到清洗设备EQP的信息表示，清洗完成时，记录前续作业信息，并将当前载具的状态更新为“clean”，使用次数更新为“0”。
附图说明
图1、现有系统FOUPClean管理流程；
图2、整体的管理流程示意图；
图3、FOUPClean全自动化管理流程；
图4、CarrierIDVerificationFail异常处理；
图5、CarrierInfoDownloadError异常处理；
图6、ExistWaferInFOUPError异常处理。
具体实施方式
本实施例的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块
本实施例提供了一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，基于在现有的FOUPClean管理流程上进行了改造，用CleanJob(清洗任务)去管理载具的清洗的流程，可以兼容半自动化、全自动化管理FOUP的清洗流程，并且可以平滑的把FOUPClean管理流程串联到整厂全自动化管理流程中。
其由半导体生产制造执行系统MES中的载具管理模块CMS、搬运模块GTM、自动化模块AUTO、实时派工模块RTD四个模块以及设备自动化系统EAP、物料控制系统MCS两个外部系统协作完成。
该AUTO自动化接口模块，对接EAP设备自动化系统，与EAP设备自动化系统发生信息交互，并与其他模块发生信息交互；
整体的管理流程示意图如图2和3所示。
其中，CMS载具管理模块，负责载具的脏状态管理；
该CMS载具管理模块，获取各载具的使用状态数据，并根据载具的使用次数、载具的使用时间、以及载具是否为空等，定义载体的状态；
例如：如Sorter机台(晶圆倒片机台)根据晶圆生产流程全自动化转换晶圆载具之后，则将原载具(未装载晶圆的空载具)切换为脏状态，或载具使用时长超过设置上限时将其状态定义为脏状态，或载具使用次数超过设置上限时将其状态定义为脏状态等。该状态的定义还可以由设备前端的操作人员根据实际需要进行自定义。
关于CMS载具管理模块定义载具的状态的具体方法如下所示：
SC-1.当接收到载具出站信息时，定义使用次数+1；
SC-2.根据当前使用次数，判断使用次数是否达到次数阈值，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”；
当结果为“否”时，记录使用次数+1，完成出站程序；
SC-3.当接收到载具交换完成信息时，更新载具状态；
此处，关于SC-1、SC-2，与SC-3为不同的场景下对载具状态产生的影响程序。
SC-4.判断载具是否为空载具，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”，更新载具状态；
当结果为“否”时，更新载具状态；
SC-5.判断载具使用时间是否达到使用时长阈值，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”。
在上述过程中，EAP设备自动化系统，将载具的进出站情况和交换情况传送AUTO自动化接口模块；
该AUTO自动化接口模块，将载具的进出站情况和交换情况传送CMS载具管理模块。
此外，还可以通过CMS载具管理模块来创建CleanJob(清洗任务)，该过程课可以为通过人工在设备前端进行人为介入的设置(在本实施例中的CMS为人工创建模式)，也可以为CMS载具管理模块本身根据载体的状态主动创建的CleanJob。
该EAP设备自动化系统，与清洗设备EQP发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送RTD实时派工模块；
该清洗设备EQP，当其为空闲时，主动向EAP设备自动化系统传送LoadRequest请求；
该RTD实时派工模块，主动实时监测清洗设备EQP的空闲情况或者实时接收清洗设备EQP的反馈情况(即、LoadRequest请求)，当发现EQP为空闲状态时，主动查询是否存在已创建的Cleanjob，当存在Cleanjob时，发送搬送任务给GTM；
当不存在已创建的Cleanjob时，主动检测当前在线载具(即、记录于本系统内的载具)的状态，根据载具的状态，对脏状态状态下的载具，自动化的创建cleanjob，发送搬送任务给GTM；
另外，RTD实时派工模块，根据变脏的时间，对载具的Cleanjob进行排序。
具体的RTD实时派工模块的运行方式为：
SR-1.当清洗设备EQP为空时，查询是否存在Cleanjob，
当结果为“是”时，向GTM搬运模块发送搬运任务；
当结果为“否”时，进行SR-2；
SR-2.检测载体的状态，根据载具的状态，查询是否存在“Dirty”状态的载具；
当结果为“否”时，返回SR-1；
当结果为“是”时，进行SR-3；
SR-3.自动化的创建cleanjob,并向GTM搬运模块发送搬运任务。
此外，在上述SR-2的步骤中，RTD实时派工模块，还对清洗设备物料类型与载具物料类型相匹配的载具进行查询。
该GTM搬运模块，通信连接物料控制系统MCS，依据搬运任务，向物料控制系统MCS发送搬运的指令；
上述搬运任务包含将设备搬运至清洗设备上的任务，以及移除或移出清洗设备的任务；
该物料控制系统MCS，根据搬运的指令，将载具搬运在清洗设备EQP上；
该清洗设备EQP，清洗载具，以及报告进展，如：清洗准备(包括载具等的核对)、清洗开始、清洗结束等等；
其报告的对向为EAP设备自动化系统，EAP设备自动化系统将报告的内容实时回传AUTO自动化接口模块，通过该AUTO自动化接口模块将不同的信息传统不同的功能模块；
另外，该EAP设备自动化系统，基于AUTO自动化接口模块回传的信息，处理异常事件。
系统所需接口如下：
1.LoadRequest
2.LoadComplete
3.CarrierInfoDownload请求参数
响应结果
4.CancelCleanJob
5.CleanStart
6.CleanEnd
7.UnloadRequest
8.UnloadComplete
关于异常事件基本存在如下几种：
1.CarrierIDVerificationFail，处理载具在FOUPClean机台上，机台读取FOUPID失败的异常，需要全自动化调派天车把FOUP搬走，防止机台被占用，降低机台使用率。
该EAP设备自动化系统，将报错信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块和RTD实时派工模块；
如图4所示，当载具抵达清洗设备EQP时，
清洗设备EQP向EAP设备自动化系统返回载具信息；
该EAP设备自动化系统，核实载具的FOUPID信息，当读取载具的FOUPID失败时，向CMS载具管理模块和RTD实时派工模块发送报错信息；
当CMS载具管理模块接收到ID报错信息时，标记载具不能再派工；
当RTD实时派工模块接收到报错信息时，取消载具的Cleanjob，将任务取消的信息传送EAP，并向GTM搬运模块发送搬运任务；
EAP根据任务取消的信息，向EQP通知载具移除的准备，EQP终止动作并返回卸载请求；
EAP将卸载的请求反回RTD处，RTD处确定好STK载具储柜的位置后，向GTM搬运模块发送搬运任务；
当GTM搬运模块接收到搬运任务时，依据搬运任务，移除载具或搬回原STK载具储柜。
2.CarrierInfoDownloadError，主要处理MES端载具数据异常(如载具数据丢失、载具在MES端非空载具等)的情况，需要全自动化调派天车把FOUP搬走，防止机台被占用，降低机台使用率。
该清洗设备EQP，与EAP设备自动化系统发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块；
当载具FOUPID信息核对准确时，EAP设备自动化系统向AUTO自动化接口模块请求下载载具信息；
该AUTO自动化接口模块向CMS载具管理模块请求载具信息，并将CMS载具管理模块的反馈信息回传(下载)EAP设备自动化系统；
当EAP设备自动化系统，根据反馈信息完成校验后，清洗设备EQP开始清洗作业；
如图5所示，当EAP设备自动化系统，无法下载反馈信息，或根据反馈信息无法完成校验时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。(移除和报告的过程如1中所示)
3.ExistWaferInFOUPError,主要处理MES端数据与实物不相符，机台自检发现载具中存在晶圆，出现这种异常后，需要全自动化调派天车把FOUP搬走，防止机台被占用，降低机台使用率。
如图6所示，清洗设备EQP或EAP设备自动化系统，检测载具是否为空载具；
当为非空载具时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。(移除和报告的过程如1中所示)。
具体的运行过程如下所示：
1到11步骤为载具的脏状态管理，
当载具从设备上作业结束出站后，载具的使用次数会增加1次，当次数到达设置的最大使用次数后，载具会自动变成脏载具。
或者从载具交换设备(Sorter)作业完成，如果载具变成空载具，载具也会自动变成脏载具
使用时间限制类型的载具，当载具的使用时间超过规定的使用时长时，会自动变成脏载具。
步骤1.当载具变脏后，操作人员也可以(非必要操作)在CMS中手动为变脏的载具创建任务(CleanJob)
步骤2.当设备Port空闲后EAP向MES(或者MES的定时任务扫描到设备空闲Port时)发送LoadRequest请求(接口为：MES.LOADREQUEST)。
步骤3.MES接收到LoadRequest请求后，RTD查找到已经创建好的CleanJob(如果没有CleanJob，实时派工模块会自动查找系统中的脏载具，并为其创建CleanJob)，并为Job对应的载具向GTM发送搬送任务。
步骤4.GTM向MCS发送搬送指令。
步骤5.MCS把载具搬送到清洗设备(EQP)上。
步骤6.EAP向设备下发读取载具的信息，并校验载具ID，如果校验不通过则抛出CarrierIDVerificationFail异常。
步骤7.EAP向MES发送LoadComplete消息，告知MES搬送完成。
步骤8.EAP向MES发送CarrierInfoDownload消息，获取载具信息，此时MES会校验载具是否为空FOUP，物料类型是否匹配，是否为脏载具。如果校验失败会抛出CarrierInfoDownload异常。
步骤9.EAP向设备下发作业指令。
步骤10.设备自身还会检查载具是否为空，如果不为空，抛出ExistWaferInFOUPError异常，并终止作业。
步骤11.设备向EAP上报清洗开始事件。
步骤12.EAP向MES上报清洗开始。
步骤13.设备向EAP上报清洗结束事件。
步骤14.EAP向MES上报清洗结束。
步骤15.设备向EAP上报UnloadRequest事件。
步骤1.6EAP向MES上报UnloadRequest。
步骤17.MES接收到UnloadRequest请求后，由RTD模块找到该设备配置的载具储柜(一下检查STK)，并发送搬送任务给GTM。
步骤18.GTM发送搬送指令给MCS。
步骤19.MCS指派小车把载具从设备上搬到STK。
步骤20.设备向EAP上报UnloadComplete事件。
步骤21.EAP向MES上报UnloadComplete消息。
至此，整个实施例已完成载具从变脏-->创建CleanJob-->自动搬送载具到设备-->自动清洗-->清洗结束后自动搬回STK。在次实施例中存在3给异常情况：CarrierIDVerificationFail，CarrierInfoDownload，ExistWaferInFOUPError，出现异常后，载具会自动从设备上下来，搬回STK，具体步骤如下:
步骤1.EAP向设备请求下设备
步骤2.设备向EAP上报UnloadRequest事件
步骤3.EAP向MES上报UnloadRequest消息
步骤4.MES接收到UnloadRequest请求后，由RTD模块找到该设备配置的载具储柜(一下检查STK)，并发送搬送任务给GTM。
步骤5.GTM发送搬送指令给MCS。
步骤6.MCS指派小车把载具从设备上搬到STK。
步骤7.设备向EAP上报UnloadComplete事件。
步骤8.EAP向MES上报UnloadComplete消息。

Claims (10)

1.一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，加载于MES系统上，实现对半导体载具进行自动化清洗的处理，其特征在于：
包括CMS载具管理模块、GTM搬运模块、AUTO自动化接口模块和RTD实时派工模块；
其中，所述AUTO自动化接口模块，对接EAP设备自动化系统，与EAP设备自动化系统发生信息交互，并与其他模块发生信息交互；
所述CMS载具管理模块，获取各载具的状态数据，并根据各载具的状态数据定义载具的状态；
所述RTD实时派工模块，基于cleanjob向GTM搬运模块发送搬运任务；
所述RTD实时派工模块，还实时检测载具的状态，根据载具的状态，自动化的创建cleanjob；
所述GTM搬运模块，通信连接物料控制系统MCS，依据搬运任务，向物料控制系统MCS发送搬运的指令；
所述物料控制系统MCS，根据搬运的指令，将载具搬运在清洗设备EQP上；
所述清洗设备EQP，清洗载具，以及报告进展；
所述EAP设备自动化系统，基于AUTO自动化接口模块回传的信息，处理异常事件。
2.如权利要求1所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述EAP设备自动化系统，将载具的进出站情况和交换情况传送AUTO自动化接口模块；
所述AUTO自动化接口模块，将载具的进出站情况和交换情况传送CMS载具管理模块；
所述CMS载具管理模块定义载具的状态的具体方法如下所示：
SC-1.当接收到载具出站信息时，定义使用次数+1；
SC-2.根据当前使用次数，判断使用次数是否达到次数阈值，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”；
当结果为“否”时，记录使用次数+1，完成出站程序；
SC-3.当接收到载具交换完成信息时，更新载具状态；
SC-4.判断载具是否为空载具，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”，更新载具状态；
当结果为“否”时，更新载具状态；
SC-5.判断载具使用时间是否达到使用时长阈值，
当结果为“是”时，定义载具状态为“Dirty”。
3.如权利要求1所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述EAP设备自动化系统，与清洗设备EQP发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送RTD实时派工模块；
所述清洗设备EQP，当其为空闲时，主动向EAP设备自动化系统传送LoadReque st请求；
所述EAP设备自动化系统，将LoadRequest请求传送RTD实时派工模块；
所述RTD实时派工模块，监视清洗设备EQP的空闲情况。
4.如权利要求3所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述RTD实时派工模块的运行方式为：
SR-1.当清洗设备EQP为空时，查询是否存在Cleanjob，
当结果为“是”时，向GTM搬运模块发送搬运任务；
当结果为“否”时，进行SR-2；
SR-2.检测载体的状态，根据载具的状态，查询是否存在“Dirty”状态的载具；当结果为“否”时，返回SR-1；
当结果为“是”时，进行SR-3；
SR-3.自动化的创建cleanjob,并向GTM搬运模块发送搬运任务。
5.如权利要求5所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
在SR-2的步骤中，所述RTD实时派工模块，对清洗设备物料类型与载具物料类型相匹配的载具进行查询；
所述RTD实时派工模块，根据变脏的时间，对载具的Cleanjob进行排序。
6.如权利要求1所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
当载具抵达清洗设备EQP时，
所述清洗设备EQP向EAP设备自动化系统返回载具信息；
所述EAP设备自动化系统，核实载具的FOUPID信息，当读取载具的FOUPID失败时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。
7.如权利要求6所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述清洗设备EQP，与EAP设备自动化系统发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块；
当载具FOUPID信息核对准确时，EAP设备自动化系统向AUTO自动化接口模块请求下载载具信息；
所述AUTO自动化接口模块向CMS载具管理模块请求载具信息，并将CMS载具管理模块的反馈信息回传EAP设备自动化系统；
当EAP设备自动化系统，根据反馈信息完成校验后，清洗设备EQP开始清洗作业；
当EAP设备自动化系统，无法返回反馈信息，或根据反馈信息无法完成校验时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。
8.如权利要求7所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述清洗设备EQP或EAP设备自动化系统，检测载具是否为空载具；
当为非空载具时，移除载具或搬回原STK载具储柜，并报错。
9.如权利要求6-8任一所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述EAP设备自动化系统，将报错信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块和RTD实时派工模块；
当CMS载具管理模块接收到报错信息时，标记载具异常；
当RTD实时派工模块接收到报错信息时，向EAP设备自动化系统返回取消载具的Cleanjob；
所述RTD实时派工模块还向GTM搬运模块发送搬运任务；
GTM搬运模块，依据搬运任务，向物料控制系统MCS发送搬运的指令。
10.如权利要求1所述的一种半导体MES系统载具清洗全自动化管理模块，其特征在于：
所述清洗设备EQP，与EAP设备自动化系统发生数据交互，将清洗设备EQP的状态信息通过AUTO自动化接口模块传送CMS载具管理模块；
当CMS载具管理模块，接收到清洗设备EQP的信息表示，清洗完成时，记录前续作业信息，并将当前载具的状态更新为“clean”，使用次数更新为“0”。
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