KR100533989B1 - 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 시스템및 그 방법 - Google Patents

반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 시스템및 그 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 공정을 진행중인 로트의 진행을 작업자의 요청에 따라 각 서버들간의 메세지 송수신, 데이터 확인 및 갱신작업에 의해 작업자의 개입없이 자동으로 수행할 수 있는 반도체 제조공정에서 로트 공정진행 자동 종료 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 입력하는 제 1단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 병합 요청 데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 2단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하고, 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인하고, 로트 진행종료 테이블을 갱신하는 제 3단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4단계; 상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계를 수행한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 제조공정에서 로트 공정진행의 자동 종료에 이용됨.

Description

반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 시스템 및 그 방법{AUTOMATIC CLOSING SYSTEM FOR LOT PROCESS IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR AND METHOD USING THE SAME}
본 발명은 반도체 제조공정에서 로트 공정진행 자동 종료 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것으로, 특히, 반도체 라인 관리용 병합자동화 시스템을 이용하여 분산된 서버들간의 메세지 교환 및 해당 로트의 로트 진행 종료 데이터의 갱신에 의해 공정을 진행중이던 로트의 공정을 자동으로 중지시킬 수 있는 로트 공정진행 자동 종료 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.
반도체 제조공정에서는 특정공정 진행후 공정 결과에 대한 판독과정을 거치게 되는데 해당 공정들에 대한 결과가 조치 및 처리에 의해 공정을 다시 진행시킬 수 있을 수 없는 경우 로트의 공정진행을 종료시켜야 한다.
이에 따라, 종래에는 첨부된 도 1 과 같은 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 종료 시스템이 사용되고 있다.
종래의 로트 공정진행 종료 시스템은, 로트 공정진행 종료 요청을 입력 할 수 있는 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 프로세스(100)를 이용하여 작업자가 로트 공정진행 종료 요청을 로트상태 관련 파일에 저장한 후, 셀 관리 서버(102), 리포트 서포트 서버(104) 및 리모트 관리서버(108)에 상기 로트 공정진행 종료 요청에 관련된 데이터를 전송하여, 각각 이력정보 파일(106) 및 이력 데이터베이스(110)에 저장한다.
그러나, 상기한 바와 같이 일련의 과정을 수행하는 종래의 로트 공정진행 종료 시스템은, 작업자 인터페이스 프로세스에서 로트 공정진행 종료 처리를 작업자가 직접 수행함으로써, 잘못 처리될 수 있으며, 이력정보 파일과 이력 데이터베이스에 저장된 로트 공정진행 중지에 관련된 데이터가 서로 상이하게 되어 공정진행 중지에 대한 원인 파악이 어려운 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 본 발명은, 다수의 서버로 분산되어 운영되는 반도체 라인관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 공정을 진행중인 로트의 진행을 작업자의 요청에 따라 각 서버들간의 메세지 송수신, 데이터 확인 및 갱신작업에 의해 작업자의 개입없이 자동으로 수행할 수 있는 반도체 제조공정에서 로트 공정진행 자동 종료 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 시스템은, 작업자의 로트의 공정진행 자동 종료 요청 데이터 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단; 상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인 및 전송하는 서버수단; 및 반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하며, 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신하는 저장수단으로 구성된다.
본 발명의 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 방법은, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 입력하는 제 1단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 병합 요청 데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 2단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하고, 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인하고, 로트 진행종료 테이블을 갱신하는 제 3단계; 상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4단계; 상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계를 수행한다.
또한, 본 발명은, 반도체 제조 공정에서의 로트 공정진행을 관리하기 위한 프로세서를 구비한 공정자동화 시스템에, 작업자 인터페이스 프로세스를 통해 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 입력받는 제 1기능; 상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 병합 요청 데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하도록 하는 제 2기능; 상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하도록 하고, 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인하고, 로트 진행종료 테이블을 갱신하도록 하는 제 3기능; 상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 셀 관리 서버로 전송하도록 하는 제 4기능; 상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하도록 하는 제 5기능; 및 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하도록 하는 제 6기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도 2 는 본 발명이 적용되는 로트 공정진행 자동 종료 시스템의 일실시예 구성도로서, 작업자가 로트 공정진행 자동종료 요청 데이터를 입력 할 수 있는 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 프로세스(200)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)에서 입력된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버(202)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 수신된 데이터를 확인하고 데이터를 갱신할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보, 장비 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스(204)와, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 해당 로트의 공정데이터를 확인하는 셀 관리 서버(206)와, 상기 셀 관리 서버(206)가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일(208)과, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버(210)와, 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 저장하는 이력 데이터베이스(212)로 구성된다.
상기와 같이 구성되어 동작하는 반도체 제조공정에서 로트 공정진행 자동 종료방법을 도 3 내지 도 5 를 참조하여 설명한다.
도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 로트 공정진행 자동 종료방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도이다.
도 3을 참조하면, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스(200)를 이용하여 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 입력하고(S300), 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)가 로트 병합 요청 데이터를 작업자 인터페이스 서버(202)로 전송하면, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하고(S302), 마스터 데이터베이스(204)에서 상기 획득된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 학인하고, 로트 진행종료 테이블을 갱신한다(S304).
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 셀 관리 서버(206)로 전송하고(S306), 상기 셀 관리 서버(206)는 작업자 인터페이스 서버(202)로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일(210)에 기록한 후(S308), 이력 정보 서버 큐 파일(210)에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버(212)로 전송한다(S310).
상기 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(212)는 상기 이력 정보 서버 큐 파일(210)에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스(212)를 갱신한다(S312).
첨부된 도 4 는 상기 도 3 에서 작업자 인터페이스 서버(202)가 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 마스터 데이버베이스(204)에서 확인하고, 로트 진행 종료 데이터를 갱신하는 과정(S304)의 상세흐름도이다.도 4를 참조하면, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)가 수신된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터에서 작업자, 로트 아이디, 카세트 정보 및 공정정보를 마스터 데이터베이스(204)에서 확인하고(S400), 확인된 해당 로트 및 카세트 관련 데이터를 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)로 전송한다(S402). 이때, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(200)는 작업자 인터페이스 서버(202)가 전송한 로트 및 카세트 데이터를 화면에 출력하여 작업자가 확인할 수 있도록 한다.
상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 해당 로트의 손실코트 및 계정코드를 확인하고(S404), 상기 마스터 데이터베이스(204)의 개별장비 정보 테이블에서 해당 로트의 상태를 "종료"상태로 변경한다(S406).
이어서, 상기 작업자 인터페이스 서버(202)는 공정진행이 종료되는 로트의 공정정보 테이블 및 로트정보 테이블을 상기 마스터 데이터베이스(204)에서 삭제하고(S408), 해당 로트를 담고있던 카세트 정보 테이블을 갱신한다(S410).
첨부된 도 5 는 상기 도 3 에서 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(210)가 상기 이력 정보 서버 큐 파일(210)에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스(212)를 갱신하는 과정(S312)의 상세흐름도이다.도 5를 참조하면, 상기 이력 정보 서버(210)는 이력 데이터베이스(212)에서 해당 로트의 로트 상태이력 데이블을 선택하고(S500), 상기 이력 정보 서버 큐 파일(208)에서 획득한 로트 공정진행 종료 요청 데이터에서 해당 로트의 공정, 웨이퍼 수량, 공정진행 중지여부등의 데이터를 확인하여 상기 이력 데이터베이스(212)의 로트 상태 이력 테이블을 갱신한다(S502).
상기 이력 정보 서버(210)는 이력 데이터베이스(212)에서 해당 로트의 이력정보, 상태정보, 손실정보 및 명령정보를 갱신한다(S504).
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니다.
상기와 같은 본 발명은, 다수의 서버로 운영되는 반도체 라인관리용 병합 자동화 시스템을 이용하여 로트의 공정진행을 작업자를 배제하고 자동으로 종료시킴으로써 반도체 제조공정에서 발생하는 문제에 신속하게 대처할 수 있으며, 로트의 공정진행을 종료시키는데 필요한 시간과 인력을 효과적으로 감소시킴으로써 궁극적으로 생산효율을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 종래의 로트 공정진행 종료 시스템의 일실시예 구성도.
도 2 는 본 발명이 적용되는 로트 공정진행 자동 종료 시스템의 일실시예 구성도.
도 3 은 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료방법을 수행하기 위한 일실시예 처리 흐름도.
도 4 는 상기 도 3 의 로트 공정진행 자동 종료방법을 수행하기 위한 작업자 인터페이스 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
도 5 는 상기 도 3 의 로트 공정진행 자동 종료방법을 수행하기 위한 이력 정보 서버의 일실시예 상세 처리 흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 작업자 인터페이스 프로세스 202 : 작업자 인터페이스 서버
204 : 마스터 데이터베이스 206 : 셀 관리 서버
208 : 이력 정보 서버 큐 파일 210 : 이력 정보 서버
212 : 이력 데이터베이스

Claims (9)

  1. 작업자의 로트의 공정진행 자동 종료 요청 데이터 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단;
    상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인 및 전송하는 서버수단; 및
    반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하며, 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신하는 저장수단
    을 포함하는 로트 공정진행 자동 종료 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 서버수단은,
    상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버;
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 상기 저장수단에서 확인하고, 저장 및 전송하는 셀 관리 서버; 및
    로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 관리하며, 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하는 로트 이력 정보 서버를 포함하는 로트 공정진행 자동 종료 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 저장수단은,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인할 수 있도록 로트 정보, 카세트 정보, 장비 정보 및 공정 정보가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스;
    상기 셀 관리 서버가 로트 공정진행 자동 요청 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일; 및
    상기 이력 정보 서버가 로트 및 진행중인 작업에 대한 이력 및 상태를 확인하고 저장하는 이력 데이터베이스를 포함하는 로트 공정진행 자동 종료 시스템.
  4. 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 입력하는 제 1단계;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 병합 요청 데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하는 제 2단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하고, 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인하고, 로트 진행종료 테이블을 갱신하는 제 3단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 4단계;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 5단계; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계
    를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하는 제 7단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 수신된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터에서 작업자, 로트 아이디, 카세트 정보 및 공정정보를 마스터 데이터베이스에서 확인하는 제 8단계;
    상기 제 8단계에서 확인된 해당 로트 및 카세트 관련 데이터를 상기 작업자 인터페이스 프로세스로 전송하는 제 9단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 해당 로트의 손실코드 및 계정코드를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하는 제 10단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 상기 마스터 데이터베이스의 개별장비 정보 테이블에서 해당 로트의 상태를 "종료"상태로 변경하는 제 11단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 공정진행이 종료되는 로트의 공정정보 테이블 및 로트정보 테이블을 상기 마스터 데이터베이스에서 삭제하는 제 12단계; 및
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 로트를 담고있던 카세트의 카세트 정보 테이블을 갱신하는 제 13단계를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 9단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 확인된 해당 로트 및 카세트 관련 데이터를 수신한 작업자 인터페이스 프로세스가 상기 해당 로트 및 카세트 관련 데이터를 화면에 출력하여 작업자가 확인할 수 있도록 하는 제 14단계를 더 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 방법.
  7. 제 4항에 있어서,
    상기 제 5단계는,
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하는 제 15단계;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 수신된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록하는 제 16단계; 및
    상기 셀 관리 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하는 제 17단계를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 방법.
  8. 제 4항에 있어서,
    상기 제 6단계는,
    상기 이력 정보 서버가 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신하는 제 18단계;
    상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 획득하는 제 19단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 로트 상태이력 데이블을 선택하는 제 20단계;
    상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 획득한 로트 공정진행 종료 요청 데이터에서 해당 로트의 공정, 웨이퍼 수량, 공정진행 중지여부등의 데이터를 확인하여 상기 이력 데이터베이스의 로트 상태 이력 테이블을 갱신하는 제 21단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 해당 로트의 이력정보, 상태정보, 손실정보 및 명령정보를 갱신하는 제 22단계를 포함하는 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 방법.
  9. 반도체 제조 공정에서의 로트 공정진행을 관리하기 위한 프로세서를 구비한 공정자동화 시스템에,
    작업자 인터페이스 프로세스를 통해 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 입력받는 제 1기능;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스가 로트 병합 요청 데이터를 작업자 인터페이스 서버로 전송하도록 하는 제 2기능;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하도록 하고, 마스터 데이터베이스에서 상기 획득된 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 확인하고, 로트 진행종료 테이블을 갱신하도록 하는 제 3기능;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 셀 관리 서버로 전송하도록 하는 제 4기능;
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 수신하여 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버 큐 파일에 로트 공정진행 자동 종료 요청 데이터를 저장하였다는 메세지를 이력 정보 서버로 전송하도록 하는 제 5기능; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 로트 공정진행 자동 종료에 필요한 데이터를 획득하여 이력 데이터베이스를 갱신하도록 하는 제 6기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
KR10-2000-0029653A 2000-05-31 2000-05-31 반도체 제조공정에서의 로트 공정진행 자동 종료 시스템및 그 방법 KR100533989B1 (ko)

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