KR100599442B1 - 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템및 그 방법 - Google Patents

반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템및 그 방법 Download PDF

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야
본 발명은 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것임.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
본 발명은, 반도체 라인관리용 통합 자동화시스템을 이용하여 장비에서 발생하는 이벤트를 장비 및 작업자가 입력하여 분산된 다수의 각 서버들간에 분할된 자식로트 재작업 관련 데이터를 송수신하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 각 데이터베이스에서 확인 및 갱신하므로써, 작업자의 부가작업 없이 장비 이벤트 관련 데이터를 관리 및 제공할 수 있는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하고자 함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은, 장비가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트와 관련된 데이터를 장비 통신 서버로 전송하고, 상기 장비 통신 서버와 장비서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 1단계; 상기 장비서버와 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2단계; 상기 장비서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 3단계; 상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 4단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 5단계를 수행한다.
4. 발명의 중요한 용도
본 발명은 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트의 관리방법에 이용됨.
장비 이벤트, 셀 관리 서버, 이력 정보 서버

Description

반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템 및 그 방법{MANAGING SYSTEM FOR CREATED EQUIPMENT EVENT IN MANUFACTURING SEMICONDUCTOR PROCESS AND METHOD USING FOR THE SAME}
도 1 은 본 발명이 적용되는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트를 관리하는 시스템의 개략적인 구성을 나타낸 블록다이어그램.
도 2 는 본 발명에 따른 장비 이벤트 관리방법을 수행하기 위한 일실시예 처리흐름도.
도 3 은 상기 도 2 의 장비 이벤트 관리방법을 수행하기 위한 셀 관리 서버의 일실시예 상세 처리흐름도.
도 4 는 상기 도 2 의 장비 이벤트 관리방법을 수행하기 위한 이력 정보 서버의 일실시예 상세 처리흐름도.
도 5 는 본 발명에 따른 장비 이벤트 관리방법을 수행하기 위한 또 다른 실시예 처리흐름도.
도 6 은 상기 도 5 의 장비 이벤트 관리방법을 수행하기 위한 작업자 인터페이스 서버의 일실시예 상세 처리흐름도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
200 : 장비 202 : 장비 통신서버
204 : 장비서버 206 : 셀 관리 서버
208 : 마스터 데이터베이스 210 : 데이터 수집 서버
212 : 데이터파일 214 : 이력 정보 서버 큐 파일
216 : 이력 정보 서버 218 : 이력 데이터베이스
220 : 작업자 인터페이스 프로세스 222 : 작업자 인터페이스 서버
본 발명은 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것으로, 특히, 반도체 라인 관리용 통합자동화 시스템을 이용하여 분산된 서버들간의 메세지 교환 및 장비 이벤트 데이터를 기록 및 갱신하므로써, 장비 이벤트와 관련된 데이터를 신뢰성있게 관리 및 제공할 수 있는 장비 이벤트 관리 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조공정에서 사용되는 장비에서는 로트의 공정 진행, 이동, 작업진행 등의 작업을 수행시키기 위한 명령 즉, 이벤트가 발생하며, 장비의 상태 및 공정진행 과정을 살펴보기 위하여 이벤트를 관리 및 저장해야 한다.
그러나, 종래의 장비 이벤트 관리 방법은, 반도체 제조공정에서는 장비와 호스트간의 통신불량, 호스트의 불안정, 작업자의 데이터 입력 누락, 장비의 불안정으로 인한 불량 데이터의 호스트 전송등의 복합적인 문제로 인하여 공정을 진행중이던 로트의 데이터에 손실이 발생하며, 장비 이벤트 관리 작업을 모든 서버가 동일하게 반복적으로 수행하므로써 시스템의 운영효율이 저하되는 문제가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 반도체 라인관리용 통합 자동화시스템을 이용하여 장비에서 발생하는 이벤트를 장비 및 작업자가 입력하여 분산된 다수의 각 서버들간에 분할된 자식로트 재작업 관련 데이터를 송수신하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 각 데이터베이스에서 확인 및 갱신하므로써, 작업자의 부가작업 없이 장비 이벤트 관련 데이터를 관리 및 제공할 수 있는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템 및 그 방법과, 이를 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명이 적용되는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템은, 로트가 반도체 제조공정을 진행하면서 이벤트가 발 생하는 장비; 외부로부터 장비 이벤트 기록 요청 입력 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 수단; 상기 장비 또는 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 확인 및 전송하는 서버수단; 및 상기 서버수단이 데이터를 확인 및 갱신할 수 있도록 반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하는 저장수단으로 구성된다.
본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법은, 장비가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트와 관련된 데이터를 장비 통신 서버로 전송하고, 상기 장비 통신 서버와 장비서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 1단계; 상기 장비서버와 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2단계; 상기 장비서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 3단계; 상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 4단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 5단계를 포함한다.
본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법은, 외부에서 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비 이벤트 기록을 요청하는 제 1단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스 및 작업자 인터페이스 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2단계; 상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 장비 이벤트 관련 테이블을 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스를 갱신한 후, 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 3단계; 상기 작업자 인터페이스 서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 4단계; 상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 5단계; 및 상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계를 더 포함한다.
본 발명이 적용되는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템은, 장비가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트와 관련된 데이터를 장비 통신 서버로 전송하고, 상기 장비 통신 서버와 장비서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 1기능; 상기 장비서버와 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2기능; 상기 장비서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 3기능; 상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 4기능; 및 상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 5기능을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일실시예를 상세히 설명한다.
도 1 은 본 발명이 적용되는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리시스템의 블록다이어그램이다.
도 1을 참조하면, 본 발명이 적용되는 장비 이벤트 관리시스템은, 반도체 제조공정을 수행하면서 발생하는 장비 이벤트를 전송하는 장비(200)와, 상기 장비(200)로부터 장비 이벤트를 수신하여 변환및 전송하는 장비 통신서버(202)와, 상기 장비 통신서버(202)로부터 장비 이벤트를 수신하여 전송하는 장비서버(204)와, 상기 장비서버(204)로부터 장비 이벤트를 수신하여 확인 및 전송하는 셀 관리 서버(206)와, 상기 셀 관리 서버(206)가 장비 이벤트 관련 데이터를 확인할 수 있도록 장비 및 장비그룹 정보를 저장하고 있는 마스터 데이터베이스(208)와, 상기 셀 관리 서버(206)로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신하여 마스터 데이터베이스(208)에서 해당 장비의 데이터를 수집하는 데이터 수집 서버(210)와, 상기 데이터 수집 서버(210)가 마스터 데이터베이스(208)에서 수집한 장비의 데이터를 이용하여 생성하는 데이터파일(212)과, 상기 셀 관리 서버(206)가 장비 이벤트 관련 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일(214)과, 상기 셀 관리 서버(206)로부터 메세지를 수신하고 이력 정보 서버 큐 파일(214)에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하는 이력 정보 서버(216)와, 상기 이력 정보 서버(216)가 장비 이벤트 관련 데이터를 확인 및 갱신할 수 있도록 장비 상태 이력, 장비 이벤트 이력 및 장비명령 이력 데이터를 저장하고 있는 이력 데이터베이스(218)와, 작업자가 장비 이벤트 기록을 요청할 수 있는 환경을 제공하는 작업자 인터페이스 프로세스(220)와, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(220)로부터 수신한 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 마스터 데이터베이스(208)에서 확인하고 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 셀 관리 서버(206)로 전송하는 작업자 인터페이스 서버(222)를 구비한다.
이하, 상기와 같이 구성된 장비 이벤트 관리 시스템의 동작을 도 2 내지 도 6 을 참조하여 설명한다.
도 2 는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법을 수행하기 위한 일실시예 처리흐름도이다.
본 실시예에서는 장비가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트를 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템의 장비 통신 서버로 전송하여, 장비 이벤트를 관리하는 방법을 설명하는 것이다.
도 2를 참조하면, 장비(200)가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트와 관련된 데이터를 장비 통신 서버(202)로 전송하면(S300), 상기 장비 통신 서버(202)는 장비 이벤트 관련 데이터를 장비서버(204)로 전송하고(S302), 장비서버(204)는 장비 이벤트 관련 데이터를 셀 관리 서버(206)로 전송한다(S304).
상기 장비서버(204)로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(208)에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버(210)로 전송한다(S306). 이때, 상기 데이터 수집 서버(210)는 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 마스터 데이터베이스(208)에서 확인한 후, 데이터 파일(214)을 생성한다.
그리고, 상기 셀 관리 서버(206)는 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일(212)에 기록한 후(S308), 이력 정보 서버(216)로 메세지를 전송한다(S310).
상기 셀 관리 서버(206)로부터 이력 정보 서버 큐 파일(212)에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(216)는 이력 정보 서버 큐 파일(212)에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스(218)를 갱신한다(S312).
첨부된 도 3 은 상기 도 2 에서 장비서버(204)로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)가 마스터 데이터베이스(208)에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버(210)로 전송하는 과정(S306)의 상세 처리흐름도로서, 상기 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(208)의 장비등록 테이블에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고(S400), 해당 장비의 공정정보 아이디를 확인한 후(S402), 확인된 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버(210)로 전송한다(S404).
도 4 는 상기 도 2 에서 셀 관리 서버(206)로부터 이력 정보 서버 큐 파일(212)에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 이력 정보 서버(216)가 이력 정보 서버 큐 파일(212)에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스(218)를 갱신하는 과정(S312)의 상세 처리흐름도이다.
도 4를 참조하면, 상기 이력 정보 서버(216)는 셀 관리 서버(206)로부터 이력 정보 서버 큐 파일(212)에 장비 이벤트 관려 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신하고, 상기 이력 정보 서버 큐 파일(212)에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득한 후, 상기 획득한 장비 이벤트 관련 데이터에서 해당 장비의 종류를 판단한다(S500).
상기 판단결과(S500), 장비의 종류가 'E'일 경우, 상기 이력 정보 서버(216)는 이력 데이터베이스(218)에서 장비상태 이력 테이블을 선택하여 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 기준으로 갱신하고(S502), 상기 이력 데이터베이스(218)의 장비 이벤트 이력 테이블에 해당 장비의 이벤트를 기록한 후(S504), 장비명령 이력 테이블에 장비이벤트 기록 명령을 삽입한다(S506).
상기 판단결과(S500), 장비의 종류가 "C"일 경우, 상기 이력 정보 서버(216)는 이력 데이터베이스(218)의 카세트, 레티클의 이벤트 이력 테이블에 해당 장비의 이벤트를 기록하고(S508), 상기 이력 데이터베이스(218)의 카세트, 레티클명령 이력 테이블에 장비 이벤트 기록 명령을 삽입한다(S510).
도 5 는 본 발명에 따른 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법을 수행하기 위한 또 다른 실시예의 처리흐름도이다.
본 실시예에서는 작업자가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트 기록을 작업자 인터페이스 프로세스(220)를 이용하여 요청하고, 반도체 라인 관리용 통합 자동화 시스템의 작업자 인터페이스 서버로 전송하여, 장비 이벤트를 관리하는 방법을 설 명하는 것이다.
도 5를 참조하면, 작업자가 작업자 인터페이스 프로세스(220)을 이용하여 장비 이벤트 기록을 요청하면(S600), 상기상기 작업자 인터페이스 프로세스(220)는 장비 이벤트 관련 데이터를 작업자 인터페이스 서버(222)로 전송하며, 작업자 인터페이스 서버(222)는 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한다(S602).
상기 작업자 인터페이스 프로세스(220)로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버(222)는 마스터 데이터베이스(208)에서 장비 이벤트 관련 테이블을 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스(208)를 갱신한 후(S604), 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 셀 관리 서버(206)로 전송한다(S606).
상기 작업자 인터페이스 서버(222)로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버(206)는 마스터 데이터베이스(208)에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버(210)로 전송한다(S608). 이때, 상기 데이터 수집 서버(210)는 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 마스터 데이터베이스(208)에서 확인한 후, 데이터 파일(214)을 생성한다.
그리고, 상기 셀 관리 서버(206)는 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일(212)에 기록한 후(S610), 이력 정보 서버(216)로 메세지를 전송한다(S612).
상기 셀 관리 서버(206)로부터 이력 정보 서버 큐 파일(212)에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버(216)는 이력 정 보 서버 큐 파일(212)에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스(218)를 갱신한다(S614).
첨부된 도 6 은 상기 도 5 에서 작업자 인터페이스 프로세스(220)로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 작업자 인터페이스 서버(222)가 마스터 데이터베이스(208)에서 장비 이벤트 관련 테이블을 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스(208)를 갱신하는 과정(S604)의 상세 처리흐름도이다.
도 6을 참조하면, 상기 작업자 인터페이스 서버(222)는 작업자 인터페이스 프로세스(220)로부터 수신한 상기 장비 이벤트 관련 데이터중 장비 아이디, 해당 장비의 영역과 베이(bay), 작업자 및 이벤트 정보를 상기 마스터 데이터베이스(208)에서 확인하고(S700), 장비 상태 데이터를 상기 작업자 인터페이스 프로세스(220)로 전송한다(S702). 이때, 상기 작업자 인터페이스 프로세스(220)는 수신한 장비 상태 데이터를 작업자가 확인할 수 있도록 화면에 출력한다.
다음으로, 상기 작업자 인터페이스 서버(222)는 장비의 이벤트를 확인하여, 상기 마스터 데이터베이스(208)의 장비상태 테이블을 설정하고(S704), 개별장비 정보 테이블을 갱신한다(S706).
상기 도 5 의 단계 S608 및 단계 S614의 상세 처리흐름은 상기 도 3 및 도 4 에서 설명한 바와 동일하므로 생략한다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아 니다.
상기와 같은 본 발명은, 반도체 라인관리용 통합 자동화시스템을 이용하여 장비에서 발생한 장비 이벤트 관련 데이터를 분산된 다수의 각 서버들간에 데이터를 송수신하고, 데이터베이스에서 확인 및 갱신하므로써, 작업자의 부가작업 없이 관리할 수 있으며, 장비 이벤트 관련 데이터의 관리를 위해 필요한 시간 및 인력을 효과적으로 줄여 궁극적으로 생산효율을 높일 수 있는 효과가 있다.

Claims (17)

  1. 삭제
  2. 로트에 대한 반도체 제조공정을 진행하면서 이벤트를 발생시키는 장비와, 외부로부터 장비 이벤트 기록 요청 입력 환경을 제공하기 위한 작업자 인터페이스 수단과, 상기 장비 또는 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 확인 및 전송하기 위한 서버시스템과, 상기 서버시스템이 데이터를 확인 및 갱신할 수 있도록 반도체 제조공정에서 발생하는 생산정보를 저장하기 위한 저장수단을 구비하며,
    상기 서버시스템은,
    상기 장비로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신 및 전송하는 장비 통신 서버와, 상기 장비 통신 서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신 및 전송하는 장비서버와, 상기 작업자 인터페이스 수단으로부터 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 확인 및 전송하는 작업자 인터페이스 서버와, 상기 작업자 인터페이스 서버 및 장비서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신하여 상기 저장수단에서 확인하고, 저장 및 전송하는 셀 관리 서버와, 상기 셀 관리 서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신하여 저장하는 데이터 수집 서버와, 상기 셀 관리 서버로부터 메세지를 수신하여 상기 저장수단에서 해당 장비의 이벤트 이력, 장비명령 이력 및 장비상태 이력 데이터를 갱신 및 삽입하는 로트 이력 정보 서버를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 저장수단은,
    상기 작업자 인터페이스 서버, 셀 관리 서버 및 데이터 수집 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 확인하고, 그 데이터를 기준으로 갱신할 수 있도록 장비등록 데이터, 장비그룹 데이터 및 장비 이벤트관련 데이터가 저장되어 있는 마스터 데이터베이스;
    상기 데이터 수집 서버가 마스터 데이터베이스에서 확인한 장비 이벤트 관련 데이터를 기준으로 생성하는 데이터파일;
    상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 임시저장하는 이력 정보 서버 큐 파일; 및
    상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 획득한 장비 이벤트 관련 데이터를 기준으로 데이터를 갱신 및 삽입할 수 있도록 장비상태 이력 데이터, 장비 이벤트관련 데이터 및 장비명령 이력 데이터를 저장하고 있는 이력 데이터베이스를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 시스템.
  4. 장비가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트와 관련된 데이터를 장비 통신 서버로 전송하고, 상기 장비 통신 서버와 장비서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 1단계;
    상기 장비서버와 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2단계;
    상기 장비서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 3단계;
    상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 4단계; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 5단계
    를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    상기 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스의 장비등록 테이블에서 해당 장비의 장비그룹 아이디 및 공정정보 아이디를 확인하는 제 6단계; 및
    상기 셀 관리 서버가 상기 제 6단계에서 확인된 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 7단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 7단계는,
    상기 데이터 수집 서버가 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인한 후, 데이터 파일을 생성하는 제 8단계를 더 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  7. 제 4항 또는 제 5항에 있어서,
    상기 제 5단계는,
    상기 이력 정보 서버가 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신하고, 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하는 제 9단계;
    상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 획득한 장비 이벤트 관련 데이터에서 해당 장비의 종류를 확인하는 제 10단계;
    상기 제 10 단계의 확인 결과에 따라, 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 장비상태 이력 테이블을 선택하여 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 기준으로 갱신하는 제 11단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 장비 이벤트 이력 테이블에 해당 장비의 이벤트를 기록하는 제 12단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 장비명령 이력 테이블에 장비이벤트 기록 명령을 삽입하는 제 13단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 제 10 단계의 확인 결과에 따라, 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 카세트, 레티클의 이벤트 이력 테이블에 해당 장비의 이벤트를 기록하는 제 14 단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 카세트, 레티클명령 이력 테이블에 장비 이벤트 기록 명령을 삽입하는 제 15단계를 더 포함하는 반도체 제조공정 에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  9. 외부에서 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비 이벤트 기록을 요청하는 제 1단계;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스 및 작업자 인터페이스 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2단계;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 장비 이벤트 관련 테이블을 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스를 갱신한 후, 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 3단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 4단계;
    상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 5단계; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6단계
    를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 3단계는,
    상기 작업자 인터페이스 서버가 작업자 인터페이스 프로세스로부터 수신한 상기 장비 이벤트 관련 데이터중 장비 아이디, 해당 장비의 영역과 베이, 작업자 및 이벤트 정보를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인하고, 장비 상태 데이터를 상기 작업자 인터페이스 프로세스로 전송하는 제 7단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 장비의 이벤트를 확인하여, 상기 마스터 데이터베이스의 장비상태 테이블을 설정하는 제 8단계;
    상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스의 개별장비 정보 테이블을 갱신하는 제 9단계: 및
    상기 작업자 인터페이스 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 셀 관리 서버로 전송하는 제 10단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 제 7단계는,
    상기 작업자 인터페이스 프로세스가 수신한 장비 상태 데이터를 작업자가 확인할 수 있도록 화면에 출력하는 제 11단계를 더 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  12. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상기 제 4단계는,
    상기 셀 관리 서버가 작업자 인터페이스 서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신하는 제 12단계;
    상기 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스의 장비등록 테이블에서 해당 장비의 장비그룹 아이디 및 공정정보 아이디를 확인하는 제 13단계; 및
    상기 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 14단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 제 14단계는,
    상기 데이터 수집 서버가 수신된 장비 이벤트 관련 데이터를 상기 마스터 데이터베이스에서 확인한 후, 데이터 파일을 생성하는 제 15단계를 더 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 6단계는,
    상기 이력 정보 서버가 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관려 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신하고, 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하는 제 16단계;
    상기 이력 정보 서버가 상기 이력 정보 서버 큐 파일에서 획득한 장비 이벤트 관련 데이터에서 해당 장비의 종류를 확인하는 제 17단계;
    상기 제 17 단계의 확인결과에 따라, 상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스에서 장비상태 이력 테이블을 선택하여 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 기준으로 갱신하는 제 18단계;
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 장비 이벤트 이력 테이블에 해당 장비의 이벤트를 기록하는 제 19단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 장비명령 이력 테이블에 장비이벤트 기록 명령을 삽입하는 제 20 단계를 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 카세트, 레티클의 이벤트 이력 테이블에 해당 장비의 이벤트를 기록하는 제 21단계; 및
    상기 이력 정보 서버가 이력 데이터베이스의 카세트, 레티클명령 이력 테이블에 장비 이벤트 기록 명령을 삽입하는 제 22단계를 더 포함하는 반도체 제조공정에서 발생하는 장비 이벤트 관리 방법.
  16. 마이크로 프로세서를 구비한 장비 이벤트 관리 시스템에,
    장비가 공정진행 중에 발생한 장비 이벤트와 관련된 데이터를 장비 통신 서버로 전송하고, 상기 장비 통신 서버와 장비서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 1기능;
    상기 장비서버와 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2기능;
    상기 장비서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 3기능;
    상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 4기능; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파 일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 5기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
  17. 마이크로 프로세서를 구비한 장비 이벤트 관리 시스템에,
    외부에서 작업자 인터페이스 프로세스를 이용하여 장비 이벤트 기록을 요청하는 제 1기능;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스 및 작업자 인터페이스 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 송수신하는 제 2기능;
    상기 작업자 인터페이스 프로세스로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 상기 작업자 인터페이스 서버가 마스터 데이터베이스에서 장비 이벤트 관련 테이블을 확인하고, 상기 마스터 데이터베이스를 갱신한 후, 상기 장비 이벤트 관련 데이터를 셀 관리 서버로 전송하는 제 3기능;
    상기 작업자 인터페이스 서버로부터 장비 이벤트 관련 데이터를 수신한 셀 관리 서버가 마스터 데이터베이스에서 해당 장비의 장비그룹 아이디를 획득하고, 장비 이벤트 관련 데이터를 데이터 수집 서버로 전송하는 제 4기능;
    상기 셀 관리 서버가 장비 이벤트 관련 데이터를 이력 정보 서버 큐 파일에 기록한 후, 이력 정보 서버로 메세지를 전송하는 제 5기능; 및
    상기 셀 관리 서버로부터 이력 정보 서버 큐 파일에 장비 이벤트 관련 데이 터를 기록하였다는 메세지를 수신한 상기 이력 정보 서버가 이력 정보 서버 큐 파일에서 장비 이벤트 관련 데이터를 획득하여, 이력 데이터베이스를 갱신하는 제 6기능
    을 실현시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체.
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