JPH10106906A - 工程管理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウェーハの有効な品質管理を容易に行
うことができるようにする。 【解決手段】 ロット登録部１０ｂは、担当者が既存ウ
ェーハを使用したロットの編成を望んでいる場合には、
ロット情報データベース１０ａから既存ウェーハ情報を
取り出し、システム端末１２の画面上にリストアップし
て表示する。そして、リストから選択されたウェーハに
より新たなロットを編成し、その情報をロット情報デー
タベース１０ａに格納する。ロット投入許可部１０ｃ
は、ロット情報データベース１０ａ内のロット投入申請
情報を、システム端末１２の画面に表示し、ロットの投
入の許否の入力を受け付ける。そして、投入許否の情報
をロット情報データベース１０ａに格納する。ロット編
成情報提供部１０ｄは、ウェーハ自動移載機１４に対し
て、投入が許可されたロットの情報を選別して提供す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェーハ工場
における工程管理システムに関し、特にロット単位でウ
ェーハの加工を行うための工程管理システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハの加工においては、複数
のウェーハで１ロットを編成し、ロット単位で各工程に
送られるのが一般的である。

【０００３】図９は従来の半導体ウェーハ工場における
ロット投入手順を示すフローチャートである。これは、
基本的には、作業者が工程管理システムを用いて実行す
る手順である。但し、ステップＳ２４とステップＳ２６
との処理においては、工程管理システムは使用されな
い。 〔Ｓ２１〕投入するロットのウェーハが新規であるか、
あるいは既存のものであるかを判断する。この判断はロ
ットの投入を申請しようとする担当者が行う。既存のウ
ェーハの場合にはステップＳ２２に進み、新規ウェーハ
である場合にはステップＳ２３に進む。

【０００４】ここで新規ウェーハとは生ウェーハのこと
である。また、既存ウェーハとは一度何らかの加工を施
しているウェーハのことである。なお、工程管理システ
ムでは、ロットアウトしているウェーハの情報が登録さ
れたロット情報データベースを有しており、工程管理シ
ステムにおける既存ウェーハとは、特にロット情報デー
タベースに登録されたウェーハを指す。 〔Ｓ２２〕担当者は、既存のウェーハを使用して新たな
ロットを作成する。ロットを編成する全てのウェーハ番
号は、工程管理システムに登録しなければならない。こ
の工程管理システムへの登録は、担当者が入力装置を用
いて、手入力により行う。 〔Ｓ２３〕新規のウェーハを使用して、新たなロットを
編成する。これは、担当者が、工程管理システムに対し
て編成するウェーハの枚数を入力することにより行う。 〔Ｓ２４〕ロットの投入量を管理する者が、ロットの投
入を許可する。これは、工程管理システムを用いずに、
別途に用意された紙の文書を用いて行われる。 〔Ｓ２５〕作業者は、投入が許可されたロットを加工装
置へ投入する旨を、工程管理システムに入力する。この
処理を通過した時点で、処理対象のロットが加工処理に
投入されたことになる。 〔Ｓ２６〕個々のウェーハを、ウェーハキャリアと呼ば
れる入れ物に移す。この作業は、人間が手作業で行う
か、あるいは、手動指示のウェーハ移載装置を人間が操
作することにより行う。 〔Ｓ２７〕加工処理の内容を工程管理システムへ通知す
る。これは、ステッパー、エッチャー、洗浄等の加工装
置で行う処理を、オペレータが端末装置から入力し、処
理内容を工程管理システムへ通知する処理である。この
際の加工処理は、１回だけのこともあれば、数千回にお
よぶこともある。 〔Ｓ２８〕ロットアウト処理を工程管理システムへ通知
する。この処理は、ウェーハの加工が全て終了したこと
をオペレータが端末装置から入力し、工程管理システム
に通知する処理である。

【０００５】以上の手順に従ってロットの投入を行うこ
とにより、ロット情報データベースにロットアウトした
ウェーハの情報が保管され、その情報を用いてウェーハ
の品質管理を行うことができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の工程管
理システムでは、ロット情報データベース内の情報が、
ウェーハ投入の際に有効に利用されていなかった。ま
た、ロットとウェーハに対するチェック機構も不十分で
あった。そのため、ロットやウェーハに対する品質管理
は、各作業者の注意力に頼らざるを得ないという問題点
があった。

【０００７】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、半導体ウェーハの有効な品質管理を容易に行
うことができる工程管理システムを提供することを目的
とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、加工装置へ投入すべき半導体ウェーハを
ロット単位で管理する工程管理システムにおいて、過去
に加工が行われた既存ウェーハに関する情報が格納され
たロット情報データベースと、前記既存ウェーハを使用
したロットの作成指令を受けると、前記ロット情報デー
タベースに格納された前記既存ウェーハに関する情報を
表示装置の画面に表示するとともに、入力装置による前
記既存ウェーハの選択を受け付け、選択された前記既存
ウェーハによって新規ロットを編成し、前記新規ロット
の情報を前記ロット情報データベースに格納するロット
登録手段と、を有することを特徴とする工程管理システ
ムが提供される。

【０００９】この工程管理システムによれば、既存ウェ
ーハを使用したロットの作成指令が入力されると、ロッ
ト登録手段により、表示装置の画面に既存ウェーハに関
する情報が表示される。そして、入力装置によって任意
の既存ウェーハが選択されると、ロット登録手段によ
り、選択された既存ウェーハによって新規ロットが編成
される。

【００１０】また、加工装置へ投入すべき半導体ウェー
ハをロット単位で管理する工程管理システムにおいて、
前記加工装置への投入を希望する投入申請中ロット情報
が格納されたロット情報データベースと、前記ロット情
報データベースに格納された前記投入申請中ロット情報
のリストを表示装置の画面に表示するとともに、入力装
置からの、前記投入申請中ロット情報の前記加工装置へ
の投入の許否情報の入力を受け付け、前記許否情報を前
記ロット情報データベースに格納するロット投入許可手
段と、を有することを特徴とする工程管理システムが提
供される。

【００１１】この工程管理システムによれば、表示装置
の画面に表示された投入を希望するウェーハのロット情
報が、ロット投入許可手段により表示装置の画面に表示
される。その状態で、ロット情報の加工装置への投入の
許否情報が入力されると、ロット投入許可手段により、
その許否情報がロット情報データベースに格納される。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図２は半導体ウェーハの加工工場
の概略構成図である。なお、以下の説明において、ロッ
トを編成すべきウェーハを指定して、そのロットの加工
の要求を申請する者を、担当者と呼ぶ。また、毎日の加
工工程の投入量を管理している者を、管理者と呼ぶ。さ
らに、工場の現場において、ウェーハ自動移載機１４や
加工装置１５を操作する者を、オペレータと呼ぶ。

【００１３】この図において、ホストコンピュータ１０
が、ロット情報データベースを有しており、半導体ウェ
ーハの加工全体を管理している。ホストコンピュータ１
０には、ネットワーク１１を介して、複数のシステム端
末１２と、ライン端末１３が接続されている。担当者
は、システム端末１２を用いて、ロットの投入の申請を
行う。管理者は、システム端末１２を用いて、１日のロ
ットの投入量を調整し、各ロットの投入の許否の入力を
行う。また、オペレータ２０は、ライン端末１３を用い
て、作業の進行状況等を入力する。端末から入力された
各種のデータは、全てホストコンピュータ１０により管
理される。

【００１４】ウェーハには、新規ウェーハ１６と既存ウ
ェーハ１７とがある。ここで新規ウェーハ１６とは生ウ
ェーハのことであり、既存ウェーハ１７とは一度何らか
の加工を施しているウェーハのことである。各ウェーハ
は、ウェーハキャリア１８に格納された状態でストック
されている。このウェーハキャリア１８は、さらにウェ
ーハボックス１９内に収められている。新たなロットを
編成する際には、必要なウェーハを、別のキャリアに載
せ換える必要がある。そのウェーハの載せ換えには、ウ
ェーハ自動移載機１４を用いる。

【００１５】ウェーハ自動移載機１４は、ネットワーク
１１を介してホストコンピュータ１０に接続されてい
る。そして、オペレータ２０が、必要なウェーハとキャ
リアをウェーハ自動移載機１４にセットする。ウェーハ
自動移載機１４は、ウェーハに刻印された番号を読み取
り、ホストコンピュータから受け取ったロットの情報に
従って、ウェーハの載せ換えを行う。

【００１６】新たなロットのウェーハが載せられたキャ
リアは、ウェーハボックス２１に収められ、バーコード
によって管理される。オペレータ２０は、このウェーハ
ボックス２１内のウェーハを、加工装置１５に投入する
ことにより、実際の加工を行う。

【００１７】このような半導体工場でのロット投入手順
を次に説明する。なお、図２のホストコンピュータと、
ネットワークを介した端末装置とを含んだものが工程管
理システムである。

【００１８】図１は工程管理システムの概略構成を示す
ブロック図である。工程管理システムは、ロット情報デ
ータベース１０ａを有するホストコンピュータ１０を中
心に構成されている。ホストコンピュータ１０は、次の
ような処理機能を有している。なお、ホストコンピュー
タ１０内の処理機能は、ホストコンピュータ１０が所定
のソフトウェアを実行することにより行われる機能であ
る。

【００１９】ロット登録部１０ｂは、担当者からのロッ
トの投入の申請を受け付け、ロット情報データベース１
０ａに格納する処理機能である。このロット登録部１０
ｂは、担当者が既存ウェーハを使用したロットの編成を
望んでいる場合には、ロット情報データベース１０ａか
ら既存ウェーハ情報を取り出し、システム端末１２の画
面上にリストアップして表示する。そして、入力された
ロット投入申請情報をロット情報データベース１０ａに
格納する。

【００２０】ロット投入許可部１０ｃは、ロット情報デ
ータベース１０ａ内のロット投入申請情報を、システム
端末１２の画面に表示し、申請されているロットの投入
の許否の入力を受け付ける。その入力は、ロット情報デ
ータベース１０ａに反映させる。

【００２１】ロット編成情報提供部１０ｄは、投入が許
可されている投入許可済ロット情報をロット情報データ
ベース１０ａから受け取り、ウェーハ自動移載機１４に
対して、投入許可済ロット情報を提供する。ウェーハ自
動移載機１４は、その情報に基づき、ウェーハの移載を
自動で行う。

【００２２】ロット投入情報入力受付部１０ｅは、ライ
ン端末１３から入力されたロット投入情報を、ロット情
報データベース１０ａに格納する。ロット加工開始情報
入力受付部１０ｆは、ライン端末１３から入力されたロ
ット加工開始情報を、ロット情報データベース１０ａに
格納する。

【００２３】ロット加工データ入出力処理部１０ｇは、
ロット情報データベース１０ａ内のロット加工に関する
情報をライン端末１３の画面に表示するとともに、ライ
ン端末１３から入力されたロットを加工した際の情報
を、ロット情報データベース１０ａに格納する。

【００２４】ロット加工終了情報入力受付部１０ｈは、
ライン端末１３から入力されたロット加工終了情報を、
ロット情報データベース１０ａに格納する。ロットアウ
ト情報入力受付部１０ｉは、ライン端末１３から入力さ
れたロット加工終了情報を、ロット情報データベース１
０ａに格納する。

【００２５】ロットの投入を申請する担当者、毎日の投
入量を調整する管理者、及び工場の現場で加工装置の操
作等を行うオペレータは、以上のような工程管理システ
ムを利用して、ロットの投入処理を行う。以下に、ロッ
トの投入処理の手順をフローチャートを用いて説明す
る。

【００２６】図３はロット投入の際の本発明の工程管理
システムの処理手順を示すフローチャートである。 〔Ｓ１〕ロット登録部１０ｂは、投入すべきロットが新
規であるか否かの入力を受け付ける。担当者は、投入す
るロットのウェーハが新規であるか、あるいは既存のも
のであるかを入力する。その入力が既存のウェーハであ
る場合にはステップＳ２に進み、新規ウェーハである場
合にはステップＳ３に進む。

【００２７】なお、工程管理システムでは、ロットアウ
トしているウェーハの情報が登録されたロット情報デー
タベースを有しており、工程管理システムにおける既存
ウェーハとは、特にロット情報データベースに登録され
たウェーハを指す。 〔Ｓ２〕担当者が、工程管理システムに既存ウェーハを
使用して新たなロットを作成する旨を入力すると、ロッ
ト登録部１０ｂは、既存ウェーハを使用したロット作成
用画面をシステム端末１２の画面に表示する。工程管理
システムは、マルチウィンドウシステムを有しており、
ロット作成用画面は、基本の情報入力画面とウェーハ設
定画面とで構成される。

【００２８】そして、担当者がロット作成用画面上で所
定の操作を行うと、ロット登録部１０ｂは、ロット情報
データベース１０ａから既存ウェーハに関する情報を取
り出し、アウトロット一覧のウィンドウをシステム端末
１２の画面に表示する。担当者は、アウトロット一覧の
ウィンドウの中から、所望のウェーハを選択し、ウェー
ハ設定ウィンドウ内に設定する。ロット登録部１０ｂ
は、このウェーハ設定ウィンドウに設定されたウェーハ
により新たなロットを編成し、その情報をロット投入申
請情報としてロット情報データベース１０ａに格納す
る。 〔Ｓ３〕担当者が、新規のウェーハを使用して新たなロ
ットを編成する旨を入力すると、ロット登録部１０ｂ
は、新規ウェーハを使用したロット作成用画面を、シス
テム端末１２に表示する。担当者が、その画面上で、編
成するウェーハの枚数を入力する。すると、ロット登録
部１０ｂは、新規ウェーハを使用したロットのロット投
入申請情報を、ロット情報データベース１０ａに格納す
る。 〔Ｓ４〕ロット投入許可部１０ｃは、管理者によるロッ
ト投入量の調整を受け付ける。即ち、管理者がシステム
端末１２を用いて所定の操作を行うと、その端末の画面
に、ロット投入許可画面を表示する。ロット投入許可画
面には、ロット投入の申請が成されたロットのリストが
表示されている。リストアップされた各ロットの情報に
は、投入希望日が含まれている。管理者は、各ロットの
投入希望日等の情報に基づき、１日の投入量が適正量に
なるように１日に投入すべきロットを調整し、各ロット
の投入を許否を入力する。 〔Ｓ５〕ロット投入許可部１０ｃは、投入の許可申請中
の各ロットの投入が許可されたか否かの情報を、ロット
情報データベース１０ａ内に格納する。ここで、投入が
許可されなければステップＳ６に進み、許可されればス
テップＳ７に進む。 〔Ｓ６〕担当者は、ロット情報データベース１０ａ内の
情報を参照し、自己の申請したロットの投入が許可され
ていない場合には、ロット登録部１０ｂの機能を用いて
そのロットの投入希望日を変更した後、再度ロット投入
の申請を行う。 〔Ｓ７〕オペレータは、ウェーハ自動移載機１４を用い
て投入が許可されたロットを編成する。これは、次のよ
うにして行われる。

【００２９】まず、オペレータは、今日がロット投入日
として設定されている投入許可済のロットのリストをウ
ェーハ自動移載機１４の画面上に表示させる。ウェーハ
自動移載機１４は、ホストコンピュータ１０とオンライ
ンで接続されいるため、ホストコンピュータ１０からロ
ットの情報を受け取り、投入許可済のロットのリストを
ライン端末１３の画面に表示することができる。オペレ
ータは、表示されたリストの中から、加工を行うロット
を選択する。

【００３０】すると、ウェーハ自動移載機１４の画面
に、ウェーハの取り出し元となるキャリアと、新たなロ
ットを載せるべきウェーハの番号が表示される。オペレ
ータは、画面に表示されたキャリアを所定の位置に配置
し、移載開始指令を入力する。移載開始指令が入力され
ると、ウェーハ自動移載装置は、各ウェーハに刻印され
たウェーハ番号を読み取り、キャリア内の最適な場所に
ウェーハを格納する。 〔Ｓ８〕オペレータは、ロットを投入した旨の指令をラ
イン端末１３から入力する。その情報はホストコンピュ
ータに送られ、ロット投入情報入力受付部１０ｅによ
り、ロット情報データベース内の該当するロットの情報
に対し、そのロットが投入されたという情報が付加され
る。即ち、この処理を通過した時点で、そのロットは加
工処理に投入されたロットとなる。 〔Ｓ９〕オペレータは、加工開始時に、ライン端末１３
から加工開始情報を入力する。その情報は、ロット加工
開始情報入力受付部１０ｆによって、ロット情報データ
ベース１０ａに格納される。同様に、オペレータは、ス
テッパー、エッチャー、洗浄等の加工装置１５で行う処
理をホストコンピュータ１０へ通知する。この際の加工
処理は、１回だけのこともあれば、数千回におよぶこと
もある。入力された加工処理情報は、ロット加工データ
入出力処理部によって、ロット情報データベース１０ａ
に格納される。 〔Ｓ１０〕オペレータは、ライン端末１３を用い、ロッ
トアウトしたこと（ウェーハの加工が全て終了したこ
と）を、ホストコンピュータ１０へ通知する。その情報
は、ロットアウト情報入力受付部１０ｆによって、ロッ
ト情報データベース１０ａに格納される。格納された情
報は、ロットアウトした日から数ヵ月〜数年間保管され
た後、削除される。情報の保管期間は、任意に変更する
ことができる。

【００３１】次に、各種データ設定画面の具体例を説明
する。図４はロットの登録のための情報入力画面３０を
示す図である。情報入力画面３０内には、６つのコマン
ドボタン３１ａ〜３１ｆが用意されている。「登録」と
表示されたコマンドボタン３１ａをマウスでクリック
（以後、マウスを用いたこのような操作を、単に「押
す」と表現する）することにより、情報入力画面３０に
設定されているデータが、ロット投入を申請している情
報としてロット情報データベースに登録される。「工程
作業一覧」と表示されたコマンドボタン３１ｂを押す
と、予め登録されている工程作業の一覧表が別のウィン
ドウで表示される。「製番一覧」と表示されたコマンド
ボタン３１ｃを押すと、加工作業のコストを何処の部署
が負担するのかを示すコードの一覧がウィンドウで表示
される。「担当者一覧」と表示されたコマンドボタン３
１ｄを押すと、担当者と成り得る者の名前の一覧が、識
別番号とともに、別のウィンドウで表示される。「クリ
ア」と表示されたコマンドボタン３１ｅを押すと、その
時点で情報入力画面３０内に設定されている項目が、全
て消される。「終了」と表示されたコマンドボタン３１
ｆを押すと、情報入力画面３０が閉じ、ロットの登録の
ための情報入力処理が終了する。

【００３２】コマンドボタン３１ａ〜３１ｆの下には、
次に行うべき操作内容を指示するためのメッセージ表示
部３２がある。作業者は、このメッセージを見ることに
より、次に行うべき操作を知ることができる。

【００３３】メッセージ表示部３２の下には、ロットの
識別情報の入力部３３がある。「グループＩＤ」は、こ
のロットの加工を要求している研究グループ等の識別番
号である。「プロセスＩＤ」は、そのグループが行って
いる業務の中で、このロットを必要としている業務の識
別番号である。「デバイスＩＤ」は、このロットのウェ
ーハを加工することにより生成しようとしている物品の
識別番号である。「ロットＮｏ．」は、この画面上の操
作により登録されるロットに割り振られる識別番号であ
る。この「ロットＮｏ．」は、工程管理システムが特定
のルールに従い自動的に設定する。このロット情報と、
そのロットを構成するウェーハ情報とはデータベース上
で接合されている。

【００３４】ロットの識別情報の入力部３３の下には、
加工処理の実行範囲設定部３４がある。「初工程名」
は、加工を開始する工程名である。「終工程名」は、最
後の加工となる工程名である。「初作業名」は、最初の
作業となる作業名である。「終作業名」は、最後の作業
となる作業名である。ここで工程とは、複数の作業を一
つのグループにしたものである。

【００３５】加工処理の実行範囲設定部３４の下には、
各種詳細項目の設定部３５がある。「投入希望日」は、
このロットを投入してもらいたい日である。「投入枚
数」は、投入するウェーハの枚数である。「優先度」
は、このロットの加工処理の緊急度を表している。緊急
度が高い順に、「高い」、「普通」、「低い」である。
「不良ＨＯＬＤ」は、加工処理の最中に不良品が発生し
た場合に、処理を停止するか否かの指定である。「製
番」には、コストを負担する部署のコードを入力する。
「担当者」には、担当者の識別番号を入力する。「副担
当者」には、副担当者の識別番号を入力する。「ロット
タイプ」には、そのロットが試作のためのものである
か、量産のためのものであるかを入力する。「ロットメ
モ」には、任意のコメントを入力する。

【００３６】このような情報入力画面３０とともに、次
のようなウェーハ設定画面が表示される。図５はロット
を編成するためのウェーハ設定画面を示す図である。ウ
ェーハ設定画面４０には、二つのコマンドボタン４１，
４２がある。コマンドボタン４１を押すと「ＢＡＳＥロ
ット一覧」がウィンドウで表示され、コマンドボタン４
２を押すと「アウトロット一覧」がウィンドウで表示さ
れる。なお、ＢＡＳＥロットとアウトロットは共に既存
ロットである。

【００３７】コマンドボタン４１，４２の下には、次に
行うべき操作内容を指示するためのメッセージ表示部４
３と、各機能の処理内容を解説するためのメッセージ表
示部４４とがある。

【００３８】メッセージ表示部４４の下には、詳細デー
タの設定部４５がある。ここに設定すべきデータは、
「グループＩＤ」、「プロセスＩＤ」、「デバイスＩ
Ｄ」、「ロットＮｏ．」、「ウェーハＮｏ．」、「ステ
ータス」、「登録変更日」、及び「登録変更者」であ
る。

【００３９】以上の図４、図５の画面が表示された状態
で、既存ウェーハを使用してロットを編成する場合に
は、担当者はコマンドボタン４１，４２のいずれかを押
す。例えば、コマンドボタン４２を押した場合には、次
のような画面が表示される。

【００４０】図６は既存ロットの既存ウェーハ表示画面
を示す図である。この既存ウェーハ表示画面５０には、
「選択」のコマンドボタン５１が用意されている。所望
のウェーハのデータをカーソルで指定した後、コマンド
ボタン５１を押すと、そのウェーハが選択される。コマ
ンドボタン５１の下には、次に行うべき操作内容を指示
するためのメッセージ表示部５２が設けられている。

【００４１】メッセージ表示部５２の下には、既存ウェ
ーハのデータ表示部５３がある。このデータ表示部５３
には、「グループＩＤ」、「プロセスＩＤ」、「デバイ
スＩＤ」、「ロットＮｏ．」、「ウェーハＮｏ．」、
「ステータス」、「再登録ロットＮｏ．」、「登録変更
日」、及び「登録変更者」の情報が表示されている。ウ
ェーハが選択されると、ここに表示されているデータ
が、ウェーハ設定画面４０の詳細データの設定部４５に
設定される。なお、「再登録ロットＮｏ．」とは、再投
入の予定を示している。即ち、ロットアウトしたウェー
ハの中で既に再投入の予定があるウェーハには、「再登
録ロットＮｏ．」に次のロットの情報を設定しておく。
これにより、そのウェーハが他人に使用されないように
することができる。

【００４２】図６で選択した既存ウェーハが、図５のウ
ェーハ設定画面に反映される。そして、図４の「登録」
と表示されたコマンドボタン３１ａをマウスでクリック
すれば、ウェーハ設定画面に設定された既存ウェーハに
より新たなロットが編成され、ロット投入を申請してい
る情報としてロット情報データベースに登録される。

【００４３】図７はロット投入許可画面の例を示す図で
ある。ロット投入許可画面６０には、六つのコマンドボ
タン６１ａ〜６１ｆが用意されている。申請中のロット
のデータをマウスで指定した後、「承認」と表示された
コマンドボタン６１ａを押すことにより、そのロットの
投入が許可される。この際、複数同時に承認することも
できる。承認が完了するとロットラベルが発行され、投
入ステータスが「編成前」になる。

【００４４】「登録情報変更」と表示されたコマンドボ
タン６１ｂを押すと、登録情報変更用の画面が表示され
る。「登録情報参照」と表示されたコマンドボタン６１
ｃを押すと、登録情報参照用の画面が表示される。「ソ
ート」と表示されたコマンドボタン６１ｄを押すと、ソ
ート用の画面が表示される。「検索」と表示されたコマ
ンドボタン６１ｅを押すと、検索用の画面が表示され
る。「終了」と表示されたコマンドボタン６１ｆを押す
と、ロット投入許可の処理が終了し、ロット投入許可画
面６０が閉じる。

【００４５】コマンドボタン６１ａ〜６１ｆの下には、
次に行うべき操作内容を指示するためのメッセージ表示
部６２と、各機能の処理内容を解説するためのメッセー
ジ表示部６３とがある。

【００４６】メッセージ表示部６３の下には、投入申請
中のロット情報表示部６４がある。ロット情報表示部６
４には、「投入ステータス」、「投入希望日」、「投入
予定日」、「グループＩＤ」、「デバイスＩＤ」、「ロ
ットＮｏ．」、「プロセスタイプ」、「編成」、「枚
数」、「登録／変更日」、及び「登録／変更者」のデー
タが設定されている。

【００４７】ここで、「プロセスタイプ」には、ＮＯＲ
ＭＡＬプロセス、ＢＡＳＥプロセス、及びＲＯＭプロセ
ス等がある。ＮＯＲＭＡＬプロセスは一般的なプロセス
である。ＢＡＳＥプロセスは、ＮＯＲＭＡＬプロセスの
途中までを行うプロセスである。ＲＯＭプロセスは、Ｂ
ＡＳＥプロセスが行われたウェーハに、後半の加工を施
すためのプロセスである。

【００４８】なお、「編成」は、そのロットが新規のウ
ェーハを使用するのか、あるいは既存ウェーハを使用す
るのかを示している。編成されるウェーハの中に１枚で
も既存ウェーハがあれば、「既存」とする。

【００４９】管理者は、この画面上で所定のロットを選
択し、「承認」のコマンドボタン６１ａを押す。これに
より、選択されたロットの投入が許可される。投入が許
可されたか否かは、フラグ制御されている。そして、ロ
ット投入を申請した担当者は、自分が申請したロットの
投入が許可された否かを他の画面で参照することができ
る。もし許可されていなければ、再度投入許可を申請す
る。

【００５０】図８はウェーハ自動移載機での自動編成の
表示画面の例を示す図である。この自動編成の表示画面
７０は、自動編成すべきロットをロット一覧画面から選
択することにより表示される。自動編成の表示画面７０
には、移載元のキャリアのウェーハ表示部７１と、移載
先のキャリアのウェーハ表示部７２とがある。

【００５１】ウェーハ表示部７２の右側の上方には、条
件参照のコマンドボタン７３がある。このコマンドボタ
ンを押すと、自動移載に必要な条件を示す画面が表示さ
れる。コマンドボタン７３の下には、ウェーハ自動移載
機の状態等を示すメッセージ表示部７４がある。メッセ
ージ表示部７４の左下には、ウェーハ表示部７１，７２
の内容をスクロールさせるための矢印のボタンが並べら
れたスクロール操作部７５がある。

【００５２】スクロール操作部７５の右側には、ウェー
ハ自動移載機への命令を入力するためのボタンが並べら
れた指令入力部７６がある。指令を入力するボタンは、
上から順に「移載情報」、「初期状態」、「キャンセ
ル」、「移載中断」、及び「移載開始」である。「移載
情報」を押すと、移載に必要な情報が表示される。「初
期状態」を押すと、移載開始前の状態に戻される。「キ
ャンセル」を押すと、この画面を終了し、ロット一覧画
面の戻る。「移載中断」を押すと、移載を中断する。
「移載開始」を押すと、移載が開始される。

【００５３】オペレータは、この画面の指示に従って既
存ロットのキャリアと新しいキャリアをウェーハ自動移
載機にセットする。そして、「移載開始」のボタンを押
すことにより、ウェーハ自動移載機が自動編成を開始す
る。

【００５４】以上のような工程管理システムであれば、
既存ウェーハを再度投入する際には、ロット情報データ
ベースから既存ロットの情報を呼び出し、任意の既存ウ
ェーハを選択するだけで、既存ウェーハを用いた新たな
ロットを編成することが可能となる。その結果、既存ウ
ェーハを再利用する際の担当者の入力の負担が減るとと
もに、入力ミス等が発生しづらくなる。しかも、ロット
情報と、そのロットを構成するウェーハの情報とがデー
タベース上で接合されているため、ロットとウェーハと
の結び付きが正確に判断できる。

【００５５】また、担当者が新たに編成したロットに対
し、投入許可申請中という情報を付加し、管理者は、ロ
ット情報データベース内の投入許可申請中の各ロットに
対して投入の可否を設定できる。その結果、各ロットの
投入が許可されたか否かがデータベース上で管理できる
ため、どのロットの投入が許可され、どのロットの投入
が許可されていないかの情報を、多くの者が共有するこ
とができる。従って、自分が投入の申請を出したロット
の投入の許可が出されていなければ、直ぐに、改めて投
入の申請を行うことができる。

【００５６】さらに、ウェーハ自動移載機によりウェー
ハの移載を行う際には、投入が許可されたロットの情報
しか画面に表示されないため、投入が許可されていない
ロットが誤って投入されることもない。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように本発明では、既存ウ
ェーハを投入する際に、ロット情報データベース内の既
存ウェーハに関する情報を参照できるようにしたため、
既存ウェーハを再利用する際の入力が簡単となり、入力
ミスが起こりづらくなる。

【００５８】また、本発明では、投入を希望しているロ
ット情報に対して、投入の可否を設定できるようにした
ため、ロット投入の可否のチェックを確実に行うことが
でき、誤ったロットが投入されることがなくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】工程管理システムの概略構成を示すブロック図
である。

【図２】半導体ウェーハの加工工場の概略構成図であ
る。

【図３】ロット投入の際の本発明の工程管理システムの
処理手順を示すフローチャートである。

【図４】ロットの登録のための情報入力画面を示す図で
ある。

【図５】ロットを編成するためのウェーハ設定画面を示
す図である。

【図６】既存ロットの既存ウェーハ表示画面を示す図で
ある。

【図７】ロット投入許可画面の例を示す図である。

【図８】ウェーハ自動移載機での自動編成の表示画面の
例を示す図である。

【図９】従来の半導体ウェーハ工場におけるロット投入
手順を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１０・・・ホストコンピュータ、１０ａ・・・ロット情
報データベース、１０ｂ・・・ロット登録部、１０ｃ・
・・ロット投入許可部、１０ｄ・・・ロット編成情報提
供部、１０ｅ・・・ロット投入情報入力受付部、１０ｆ
・・・ロット加工開始情報入力受付部、１０ｇ・・・ロ
ット加工データ入出力処理部、１０ｈ・・・ロット加工
終了情報入力受付部、１０ｉ・・・ロットアウト情報入
力受付部、１２・・・システム端末、１３・・・ライン
端末、１４・・・ウェーハ自動移載機。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工装置へ投入すべき半導体ウェーハを
   ロット単位で管理する工程管理システムにおいて、 過去に加工が行われた既存ウェーハに関する情報が格納
   されたロット情報データベースと、 前記既存ウェーハを使用したロットの作成指令を受ける
   と、前記ロット情報データベースに格納された前記既存
   ウェーハに関する情報を表示装置の画面に表示するとと
   もに、入力装置による前記既存ウェーハの選択を受け付
   け、選択された前記既存ウェーハによって新規ロットを
   編成し、前記新規ロットの情報を前記ロット情報データ
   ベースに格納するロット登録手段と、 を有することを特徴とする工程管理システム。
2. 【請求項２】 加工装置へ投入すべき半導体ウェーハを
   ロット単位で管理する工程管理システムにおいて、 前記加工装置への投入を希望する投入申請中ロット情報
   が格納されたロット情報データベースと、 前記ロット情報データベースに格納された前記投入申請
   中ロット情報のリストを表示装置の画面に表示するとと
   もに、入力装置からの、前記投入申請中ロット情報の前
   記加工装置への投入の許否情報の入力を受け付け、前記
   許否情報を前記ロット情報データベースに格納するロッ
   ト投入許可手段と、 を有することを特徴とする工程管理システム。
3. 【請求項３】 キャリア内のウェーハを自動的に別のキ
   ャリアに載せ換えるロット自動移載機に対し、前記ロッ
   ト情報データベース内のロット情報の中で、投入を許可
   する旨の設定が成された投入許可済ロット情報のみを転
   送するロット編成情報提供手段を、 さらに有することを特徴とする請求項２記載の工程管理
   システム。