JPH0241119B2 - - Google Patents

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JPH0241119B2
JPH0241119B2 JP58080898A JP8089883A JPH0241119B2 JP H0241119 B2 JPH0241119 B2 JP H0241119B2 JP 58080898 A JP58080898 A JP 58080898A JP 8089883 A JP8089883 A JP 8089883A JP H0241119 B2 JPH0241119 B2 JP H0241119B2
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JP
Japan
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memory
fail
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relief
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JP58080898A
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JPS59207497A (ja
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Ikuo Kawaguchi
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Priority to EP84105285A priority patent/EP0125633B1/en
Priority to DE8484105285T priority patent/DE3482901D1/de
Priority to US06/609,445 priority patent/US4628509A/en
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C29/00Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
    • G11C29/70Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
    • G11C29/72Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring with optimized replacement algorithms

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はメモリテスタに係わるものであり、特
に不良ビツト救済のため、冗長ワード又はビツト
線を内蔵したメモリのテストにおいて、救済線の
判定に必要なフエイルデータ解析を行なうに好適
なメモリ不良ビツト救済解析方法に関する。
〔発明の背景〕
従来、一般的な半導体メモリテスタは、第1図
や第2図に示す例のように、タイミング発生器2
のタイミング信号出力6により制御されるパター
ン発生器1と、被試験メモリ3の読出し出力11
と期待値データ10とを比較し、被試験メモリ3
の良否判定結果を出力する比較器4、およびその
比較器4からの比較結果12がフエイルのとき、
被試験メモリ3に与えているアドレスと同一か、
又は、対応するように構成されたフエイルメモリ
のアドレスにフエイル情報を書込み、テスト終了
後にこの内容を読出し、フエイルデータ内容の解
析を行なうフエイルメモリ5により構成される。
パターン発生器1は、被試験メモリ3へアドレ
ス8と書込みデータとしてのテストパターン9を
与え、同時に、比較器4へ期待値データ10とタ
イミング発生器2へ制御信号7を出力する。
フエイルメモリ5は、通被試験メモリ3と同一
か又はそれ以上の容量を有する書込み・読出し可
能なメモリで構成され、パターン発生器1から被
試験メモリ3に与えているアドレスと同一のアド
レス8が与えられる。
一方、メモリの大容量化に伴なつて低下する歩
留りを改善するための製造プロセスの改良などが
行なわれているが、メモリデバイスそのものの工
夫により歩留りを上げようとする方法も行なわれ
ている。すなわち、メモリ内に多少の不良ビツト
が存在しても、内蔵した冗長ビツト線やワード線
で、これをライン単位で置換えて救済する方法が
採用され始めている。第3図は、被試験メモリア
レイ16のフエイル分布図であつて、テスト結果
としてからまでフエイルが発生したメモリ
を、冗長救済線として用意されたカラム側(x)
2本、ロー側(y)2本で置換えて救済する例を
示したものである。被試験メモリアレイ16の中
の×印で示したからまでの順序で発生したフ
エイルセルに対し、この例ではカラム側、ロー側
各々2本づつの冗長線で救済が可能であるが、フ
エイル発生の分布状態やフエイルセル数によつて
は救済できないこともある。
このように、フエイルデータの分布や数から救
済が可能か否かの判定や、救済線を決定するデー
タ解析処理は、従来テスト終了後に第1図や第2
図に示したフエイルメモリ5内のデータをバスラ
イン14を介してCPU13が読出して行なつて
いる。しかし、救済処理は単なるテスト結果のデ
ータ収集ではなく、この処理によつて1つのメモ
リが完成される製造プロセスの一環として考えら
れるべきもので、短時間の処理が要求されること
となる。したがつて、大容量化されたフエイルメ
モリデータを、そのままCPU13の処理対象と
して扱う方法では、余りにもデータ量が多過ぎ、
加えて、フエイル分布をフエイルメモリ5上の2
次元パターンとして見たときCPU13にとつて
最も苦手な処理内容となり、処理時間の短縮化が
非常に困難となることが分る。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、従来技術の欠点を無くし、内
蔵された冗長線を使つて不良ビツトを救済するこ
とが可能なメモリをテストするメモリテスタにお
いて、救済のためのデータ解析を短時間に行なえ
るよう真に解析に必要となるデータだけを残すメ
モリ不良ビツト救済解析方法を提供するにある。
〔発明の概要〕
本発明の要点は、フエイルメモリ内のテスト結
果の全データを対象にするのではなく、その中か
ら真にコンピユータ解析により救済線判定をしな
ければならない2次元フエイル分布の構成データ
だけを圧縮データマトリクスとして残し、この被
試験メモリセルマトリクスに比較して極めて小容
量のフエイルマトリクスに対してコンピユータ処
理を施すことにより、救済線判定を短時間にでき
るようにした点にある。
〔発明の実施例〕
このようなデータ圧縮を行なうため、本発明で
は以下の2つの基本的な考え方を導入している。
(1) 冗長線数以上にフエイルが並んだラインは救
済線として確定される。したがつて、救済確定
線本数が冗長線数を超えたとき、無条件に救済
不可能と判定され、冗長線数と等しいか又はそ
れ以下のときには救済の可能性がある。
(2) 救済確定線を除いた、救済線判定のためのコ
ンピユータ解析対象フエイルデータによつて構
成されたデータ圧縮マトリクスのサイズが未使
用(割当てられていない)の冗長線本数によつ
て規定されるサイズ〔x側サイズ:(Nx×Ny)
+Nx、y側サイズ:(Nx×Ny)+Ny/但し
Nx、Nyはx、y側の未使用冗長線本数〕より
大きければ、無条件に救済不可能と判定され、
そのサイズと等しいか又はそれ以下であれば救
済の可能性があり、コンピユータ解析の対象に
なり得る。
以上(1)、(2)の基本的な概念を以下に詳述する。
実際の被試験メモリのセルアレイサイズは、64
×64(4Kビツト)、128×128(16Kビツト)、256×
256(64Kビツト)といつたように大きく、フエイ
ルの発生するアドレスもその中で種々の分布形態
を示すこととなる。
第4図はこのようなフエイル情報(被試験メモ
リフエイルマツプ17の×印以外の空白部は全て
正常ビツトで占められているものとする)に対
し、上記したような基本的な考え方をもとにし
て、被試験メモリ内に発生したフエイルセル間の
相対的位置関係を保ちながら、解析処理には不要
となる良品セル情報と、冗長線本数以上にフエイ
ルが並んだ救済確定ライン(第4図のy側に用意
されている冗長線本数Nyは2本のため、x側ア
ドレスx4のラインのフエイル3個を救済するには
x4のラインを救済線としなければならない)を除
去し、真に救済判定の解析対象として必要なフエ
イルセル情報をマトリクスの形で残すデータ圧縮
方式の処理手順例を示したもので、本発明の重要
な点である。
次に、この圧縮の具体的方法を説明する。
XLFC、YLFCは各々、x側、y側のライン上の
フエイル数をカウントするラインフエイルカウン
タである。このカウンタ値の中から、冗長線数
Nx=2本、Ny=2本を超えるラインとしてx4
救済確定線として決定される。次に、このx4のラ
イン上のフエイルが全て救済されたものとして得
られるフエイル数をXLFC′、YLFC′として求め
る。
結局、XLFC′、YLFC′の中で1以上のライン
に存在するフエイルの分布だけを抜出したものが
圧縮データマトリクス18として得られる。コン
ピユータではこの圧縮データマトリクスに対し
Nx=1本、Ny=2本で救済線を決定することと
なり、この第4図の例ではx1、y3、y5と既に決定
したx4が救済線として決定されることとなり、わ
ずか3×3のマトリクス18に対し解析処理を施
せば良いことが分る。
第5図はこのようにして得られる圧縮データマ
トリクス19のサイズが冗長線数に依存すること
を示すフエイルパターンの1例である。冗長線と
してNx=2本、Ny=2本を持つ被試験メモリの
テスト終了時において、上記した救済確定が発生
しない範囲でフエイルデータを最大限取り得る圧
縮マトリクスのサイズは最大6×6となる。この
例では救済線としてx1、x2、y5、y6を選べば良い
ことが分る。これは、フエイルが2ケづつ並んだ
ラインが冗長線数だけx側およびy側に各々存在
できるということから得られるものである。
このようにして得られるマトリクスサイズは前
述したように、 x側サイズの最大値:(Nx×Ny)+Nx y側サイズの最大値:(Nx×Ny)+Ny のように冗長線数で表現される。例えば、第4図
の例では、救済確定線としてx側が1本使用され
たため、救済可能性を持つマトリクスサイズはx
側:(1×2)+1=3、y側:(1×2)+2=4
となる。いま、ここで得られているマトリクスは
3×3であり救済の可能性のあることが分る。
一方、このように規定されたマトリクスサイズ
より大きなサイズを構成するフエイルに対して
は、救済不可能か、もしくは救済線確定されるか
のいずれかになり、どちらについても解析対象の
データとはなり得ない。たとえば、第5図Aは救
済不可能であり、BはX2をもつて救済線と確定
されることを示している。
第6図は、第4図のデータ圧縮と、データ圧縮
マトリクスから救済線判定を行なうために必要と
なるハードウエア構成を表わしたものである。し
たがつて、被試験メモリからフエイルメモリへの
フエイルデータ入力経路や、テスト実行に必要な
ハードウエアは全て省いた、いわばデータ圧縮部
としての構成である。
フエイルメモリ20のデータは、CPU21又
はアドレス発生器22からアドレスバス23を介
して与えられるアドレスに対応して出力され、ラ
インフエイルカウンタXLFC24、YLFC25に
与えられる。ラインフエイルカウンタXLFC2
4、YLFC25では、フエイルメモリ20のX、
Yの各アドレスライン上のアドレス数を計数しラ
インごとの総数を記憶する。もちろん、この計数
はテスト実行時にフエイルメモリ20へのフエイ
ルデータ書込みと同時に行なわれていてもかまわ
ない。
その後、再度、アドレスをスキヤンして
XLFC、YLFCデータを読出し、各々比較器2
6,27により冗長線数Ny,Nxとの大小比較を
行ない、XLFC>Ny、YLFC>Nxとなる比較器
出力(アドレス)26a,27aを救済確定線
(アドレス)としてCPU21に登録するととも
に、ラインフエイルカウンタXLFC24及び又は
YLFC25の当該救済確定アドレスに対し、第4
図XLFC′に示すように“ゼロ”を書込む。そし
てラインフエイルカウンタXLFC又はYLFCのど
ちらかを救済確定アドレスに固定(第4図の場
合、x4)し、その残りのアドレスをスキヤンし、
“ゼロ”以外のデータに対し“1”を引いて行く。
この作業は前述した、救済確定アドレスライン上
のフエイルが全て正常セルに置換えられたものと
したとき、新たに得られるフエイル分布のデータ
を求めたこととなる。
以上の操作をCPU21の助けを借りて行なつ
た後に、ラインフエイカウンタXLFC、YLFC内
に“ゼロ”以外のデータとして残されたアドレス
をフエイルメモリ20に与え、そのライン上のフ
エイルだけを集めたマトリクスを作り、これを圧
縮データマトリクスとする。
本実施例では、データ圧縮の大部分の作業を
CPU21の助けを借りる構成としたが、ハード
ウエアだけでも構成は可能である。アドレススキ
ヤンはカウンタとクロツクを組合わせ、スタート
アドレスとエンドアドレスをデータバス28を通
じてCPU21から与えるようにしているが、
CPU21から直接アドレスを与える場合に、ア
ドレス出力が競合しないようアドレス出力制御信
号21aをアドレス発生器22に与えている。
このように、圧縮データマトリクスから救済線
の判定をコンピユータに行なわせることにより、
救済妥当性の基準なども容易に盛り込んだり、変
更が可能となるものである。
〔発明の効果〕
本発明によれば次のような効果が得られる。
(1) 真に解析が必要なデータだけを圧縮データマ
トリクスとして扱うため、救済線判定時間の大
幅短縮が図れる。
一例として、256Kビツトメモリを冗長線Nx
=Ny=2本で救済する場合、もし、救済確定
線が無かつたとすれば、圧縮データマトリクス
サイズは6×6となり扱うデータ量は36/
256000≒1/7000に圧縮されることとなる。し
たがつて、CPUへのデータ転送時間も大幅短
縮される。
(2) 従来のフエイルメモリの読出し部に、第6図
に示したような小規模なハードウエアを付加す
るだけで(1)の効果が得られる。
(3) フエイルメモリデータを破壊しないため、全
データの保存が可能。
(4) 救済確定線の登録および圧縮データマトリク
スの生成の段階で救済不可能の判断が行なえ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は一般的な半導体メモリテスタの構成
図、第2図は被試験メモリを多数個同時にテスト
する場合の一般的なテスタ構成図、第3図は冗長
線により不良ビツトを救済する説明図、第4図は
本発明による被試験メモリのフエイルデータ圧縮
方式の処理手順図、第5図は圧縮データマトリク
スを使つた救済線判定の説明図、第6図は本発明
の一実施例構成図である。 17……被試験メモリフエイルマツプ、18,
19……圧縮データマトリクス、20……フエイ
ルメモリ、21……CPU、22……アドレス発
生器、23……アドレスバス、24……x側ライ
ンフエイカウンタXLFC、25……y側ラインフ
エイカウンタYLFC、26,27……比較器、2
6a,27a……比較器出力、Nx……x側冗長
線本数、Ny……y側冗長線本数。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 X方向、Y方向それぞれに冗長線を有するこ
    とにより不良ビツトを救済できるメモリの救済解
    析をするメモリ不良ビツト救済解析方法におい
    て、該冗長線を有するメモリにおけるフエイルの
    X方向並びにY方向のアドレスを入力し、X方向
    の特定のアドレスにあるフエイルの数がY方向の
    冗長線の数を越えたときに該X方向の特定のアド
    レスを該冗長線で救済すべきであると確定すると
    ともにY方向の特定のアドレスにあるフエイルの
    数がX方向の冗長線の数を越えたときに該Y方向
    の特定のアドレスを該冗長線で救済すべきである
    と確定し、救済すべきであると確定したフエイル
    以外のフエイルについて互いに相対位置関係を保
    ち、かつ良ビツトの情報を除去したフエイルの分
    布を圧縮データマトリツクスに記憶し、該圧縮デ
    ータマトリツクスに記憶してあるフエイルデータ
    に対して救済の判定処理を行うことを特徴とする
    メモリ不良ビツト救済解析方法。 2 該圧縮データマトリツクスのX方向のサイズ
    x及びY方向のサイズyは、X方向の冗長線の数
    をNx、Y方向の冗長線の数をNyとしたとき、そ
    れぞれ x=(Nx・Ny)+Nx y=(Nx・Ny)+Ny であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載のメモリ不良ビツト救済解析方法。
JP58080898A 1983-05-11 1983-05-11 メモリ不良ビット救済解析方法 Granted JPS59207497A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58080898A JPS59207497A (ja) 1983-05-11 1983-05-11 メモリ不良ビット救済解析方法
EP84105285A EP0125633B1 (en) 1983-05-11 1984-05-10 Testing apparatus for redundant memory
DE8484105285T DE3482901D1 (de) 1983-05-11 1984-05-10 Pruefgeraet fuer redundanzspeicher.
US06/609,445 US4628509A (en) 1983-05-11 1984-05-11 Testing apparatus for redundant memory

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JP58080898A JPS59207497A (ja) 1983-05-11 1983-05-11 メモリ不良ビット救済解析方法

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JPS59207497A JPS59207497A (ja) 1984-11-24
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0424612A3 (en) * 1989-08-30 1992-03-11 International Business Machines Corporation Apparatus and method for real time data error capture and compression for redundancy analysis of a memory
JP2001243795A (ja) 1999-12-24 2001-09-07 Nec Corp 半導体記憶装置
JP5034702B2 (ja) * 2007-06-14 2012-09-26 横河電機株式会社 メモリ試験装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5634198A (en) * 1979-08-27 1981-04-06 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Releaving method of deficient bit of semiconductor memory

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