JP2009110085A - 搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送システムをより効率的に利用することができる搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置を提供する。
【解決手段】中継定義テーブルを記憶した中継経路定義領域１１ｂと、特定搬送装置の情報を記憶した搬送装置情報記憶領域１１ｃと、各搬送物の搬送元情報と搬送先情報と現在位置情報とを記憶した搬送物位置情報領域１１ａと、中継定義テーブルと現在位置情報と搬送先情報とに基づいて次に搬送物を保持する装置を決定するステップと、次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置であるか否かを判断するステップと、特定搬送装置である場合に、特定搬送装置の情報と搬送先情報と中継定義テーブルとに基づいて次の次に搬送物を保持する装置を決定するステップと、現在搬送物を保持している装置から最短時間で搬送物を受け取る特定搬送装置を次に搬送物を保持する装置に変更するステップとを実施する搬送経路決定部１４とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、複数の生産装置と前記生産装置間を接続する複数の搬送装置とから構成された搬送システムを用いて、前記生産装置および搬送装置で構成された搬送経路で搬送物の搬送を行う際に、前記搬送経路を構成する搬送装置の取得を行うための搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置に関するものである。

搬送システムにおいて搬送される搬送物の一例として、半導体デバイスを製造する際に用いられるウエハがある。この半導体デバイスは、ウエハに対して、洗浄や成膜、レジストコーティング、露光、およびエッチング等といった一連の製造工程を、定められた層の数だけ繰り返し行って、配線や回路素子を形成することで製造される。さらに、このような一連の製造工程を実施した後、ウエハを分断することで、最終的に半導体チップを得ている。

各製造工程は、例えば、処理内容別に設置された複数台の生産装置によってそれぞれ実施される。一般的に、各生産装置では、一つの製造工程を複数のウエハに対して同時に実施する。この場合、ウエハの搬送は、同時に製造工程が実施される複数のウエハを１ロットとするロット単位で行われる。

前記ウエハは、一つの生産装置での第１製造工程を終えた後、搬送装置を構成する搬送手段によってこの一つの生産装置から搬送装置内の複数の棚のうちのいずれか一つの棚に搬送され保管される。そして、このウエハに対して第２製造工程を実施する際には、ウエハは、搬送装置の搬送手段によって前記棚から他の一つの生産装置に搬送される。さらに、前記他の一つの生産装置での第２製造工程が終了した後、搬送装置の搬送手段によってこの他の一つの生産装置から搬送装置内の複数の棚のうちのいずれか一つの棚に搬送され保管される。その後、このウエハに対して第３製造工程を実施する際には、ウエハは、搬送装置の搬送手段によって前記棚からさらに他の１つの生産装置に搬送される。

また、生産装置および搬送装置が複数配置されている生産工場においては、ウエハを搬送元から搬送先まで搬送する際に経由する全ての中継ポイントを示した搬送経路テーブルが膨大な容量のデータになってしまう。そのため、従来の搬送制御装置では、前記搬送経路テーブルを搬送元と搬送先とをマトリクスで定義することによって、搬送経路の変更に要する時間を短縮したり、搬送ミスを防止したりしていた。

このような搬送制御装置の一従来例として、特開２００６−２４５４１６号公報に開示されている搬送制御装置があった。この搬送制御装置は、複数の搬送装置と複数の分岐装置とを含む搬送システムにネットワークを介して接続されているものである。この搬送制御装置では、搬送経路を取得する際に、搬送元から搬送先まで搬送物を搬送する際に用いられる生産装置および搬送装置をマトリクスで定義した中継定義テーブルを用いていた。
特開２００６−２４５４１６号公報

しかしながら、前述の特開２００６−２４５４１６号公報に開示されている搬送制御装置では、一つの搬送元から一つの搬送先までをつなぐ搬送経路が複数ある場合に、全ての搬送経路を抽出し、これらの搬送経路の中から最適な搬送経路を取得することができないといった問題があった。

以下に、特開２００６−２４５４１６号公報に開示されている搬送制御装置において実施される搬送制御方法の一例を説明する。

図９は、搬送システムの一例を示す説明図であり、（ａ）は２階に配置されている部分のレイアウトを示す平面図であり、（ｂ）は１階に配置されている部分のレイアウトを示す平面図である。また、図１０は、図９に示す搬送システムによって搬送物を搬送する際に搬送経路を取得するために用いられる中継定義テーブルの一従来例を示す説明図である。

図９に示すように、搬送システムは、８台の生産装置（第１生産装置２２ａ、第２生産装置２２ｂ、第３生産装置２２ｃ、第４生産装置２２ｄ、第５生産装置２２ｅ、第６生産装置２２ｆ、第７生産装置２２ｇおよび第８生産装置２２ｈ）に搬送物を搬送するための、８台の搬送装置（第１搬送装置２１ａ、第２搬送装置２１ｂ、第３搬送装置２１ｃ、第４搬送装置２１ｄ、第５搬送装置２１ｅ、第６搬送装置２１ｆ、第７搬送装置２１ｇおよび第８搬送装置２１ｈ）を備えている。

なお、生産装置にはＰＲ１〜ＰＲ８、搬送装置にはＤＬ１〜ＤＬ８といった個々の装置を識別するための装置名が割り当てられている。本明細書においては必要に応じて各装置をその装置名でも表記するものとする。

具体的には、前記８台の生産装置および前記８台の搬送装置のうち、８台の生産装置（第１生産装置２２ａ、第２生産装置２２ｂ、第３生産装置２２ｃ、第４生産装置２２ｄ、第５生産装置２２ｅ、第６生産装置２２ｆ、第７生産装置２２ｇおよび第８生産装置２２ｈ）および６台の搬送装置（第１搬送装置２１ａ、第２搬送装置２１ｂ、第５搬送装置２１ｅ、第６搬送装置２１ｆ、第７搬送装置２１ｇおよび第８搬送装置２１ｈ）は、生産工場内の１階または２階に配置されている。また、残りの２台の搬送装置（第３搬送装置２１ｃおよび第４搬送装置２１ｄ）は、１階と２階とに渡って配置されており、１階に配置された第５搬送装置２１ｅと２階に配置された第８搬送装置２１ｈとの間を接続するリフタである。

また、前記搬送装置は生産装置間で仕掛り品や完成品の搬送を行うものであり、８台の搬送装置のうち第１搬送装置２１ａ、第２搬送装置２１ｂ、第６搬送装置２１ｆおよび第７搬送装置２１ｇは搬送物を保管する棚をそれぞれ備えている。

さらに、前記第５搬送装置２１ｅは、第１搬送装置２１ａ、第２搬送装置２１ｂ、第３搬送装置２１ｃおよび第４搬送装置２１ｄのうちのいずれか一つの搬送装置から搬送物を受け取り、第１搬送装置２１ａ、第２搬送装置２１ｂ、第３搬送装置２１ｃおよび第４搬送装置２１ｄのいずれかの搬送装置へ搬送物を搬送するための、第１搬送車２２１および第２搬送車２２２を備えている。これら第１搬送車２２１および第２搬送車２２２は、第５搬送装置２１ｅ内に配置された搬送経路２１１に沿って一方向（図中、矢印Ａで示す搬送方向）に搬送物を周回搬送する。なお、図９においては、矢印Ａは時計回り方向を示している。

また、前記第８搬送装置２１ｈは、第３搬送装置２１ｃ、第４搬送装置２１ｄ、第６搬送装置２１ｆおよび第７搬送装置２１ｇのうちのいずれか一つの搬送装置から搬送物を受け取り、第３搬送装置２１ｃ、第４搬送装置２１ｄ、第６搬送装置２１ｆおよび第７搬送装置２１ｇのうちのいずれか一つの搬送装置へ搬送物を搬送するための、第１搬送車２２３および第２搬送車２２４を備えている。これら第１搬送車２２３および第２搬送車２２４は、第８搬送装置２１ｈ内に配置された搬送経路２１２に沿って一方向（図中、矢印Ｂで示す搬送方向）に搬送物を周回搬送する。なお、図９においては、矢印Ｂは反時計回り方向を示している。

また、１階に配置された第１生産装置２２ａおよび第２生産装置２２ｂは第１搬送装置２１ａにそれぞれ接続されており、この第１搬送装置２１ａは第５搬送装置２１ｅにも接続されている。これにより、第１搬送装置２１ａによって、第１生産装置２２ａ、第２生産装置２２ｂおよび第５搬送装置２１ｅ間で搬送物を搬送することができる。

また、１階に配置された第３生産装置２２ｃおよび第４生産装置２２ｄは第２搬送装置２１ｂにそれぞれ接続されており、この第２搬送装置２１ｂは第５搬送装置２１ｅにも接続されている。これにより、第２搬送装置２１ｂによって、第３生産装置２２ｃ、第４生産装置２２ｄおよび第５搬送装置２１ｅ間で搬送物を搬送することができる。

また、２階に配置された第５生産装置２２ｅおよび第６生産装置２２ｆは第６搬送装置２１ｆにそれぞれ接続されており、この第６搬送装置２１ｆは第８搬送装置２１ｈにも接続されている。これにより、第６搬送装置２１ｆによって、第５生産装置２２ｅ、第６生産装置２２ｆおよび第８搬送装置２１ｈ間で搬送物を搬送することができる。

また、２階に配置された第７生産装置２２ｇおよび第８生産装置２２ｈは第７搬送装置２１ｇにそれぞれ接続されており、この第７搬送装置２１ｇは第８搬送装置２１ｈにも接続されている。これにより、第７搬送装置２１ｇによって、第７生産装置２２ｇ、第８生産装置２２ｈおよび第８搬送装置２１ｈ間で搬送物を搬送することができる。

また、図１０に示すように、中継定義テーブル１０００において、１行目（最上行）１００１は搬送先を示す装置名（ＰＲ１〜ＰＲ８およびＤＬ１、ＤＬ２、ＤＬ６、ＤＬ７）で構成されており、１列目（最左列）１００２はＦｒｏｍ（現在搬送物を保持している装置である生産装置または搬送装置）を示す装置名（ＰＲ１〜ＰＲ８およびＤＬ１〜ＤＬ８）で構成されている。さらに、複数の行と複数の列で構成されるマトリックスの各枡の中には、Ｆｒｏｍから搬送先へ搬送物を搬送する際に、Ｆｒｏｍに示されている装置の次に搬送物を保持する装置を示す装置名が定義されている。

まず初めに、搬送元が第１生産装置（ＰＲ１）２２ａ、搬送先が第５生産装置（ＰＲ５）２２ｅである場合において搬送経路を取得する手順を示す。

中継定義テーブル１０００によれば、現在搬送物を保持している装置であるＰＲ１の次に搬送物を保持する装置は、搬送元がＰＲ１であり搬送先がＰＲ５である（ＰＲ１行−ＰＲ５列）の枡を参照すると、ＤＬ１である。２番目に搬送物を保持する装置は、ＦｒｏｍがＤＬ１であり搬送先がＰＲ５である（ＤＬ１行−ＰＲ５列）の枡を参照すると、ＤＬ５である。３番目に搬送物を保持する装置は、ＦｒｏｍがＤＬ５であり搬送先がＰＲ５である（ＤＬ５行−ＰＲ５列）の枡を参照すると、ＤＬ４である。４番目に搬送物を保持する装置は、ＦｒｏｍがＤＬ４であり搬送先がＰＲ５である（ＤＬ４行−ＰＲ５列）の枡を参照すると、ＤＬ８である。５番目に搬送物を保持する装置は、ＦｒｏｍがＤＬ８であり搬送先がＰＲ５である（ＤＬ８行−ＰＲ５列）の枡を参照すると、ＤＬ６である。６番目に搬送物を保持する装置は、ＦｒｏｍがＤＬ６であり搬送先がＰＲ５である（ＤＬ６行−ＰＲ５列）の枡を参照すると、ＰＲ５である。従って、搬送元であるＰＲ１から搬送先であるＰＲ５までの搬送経路は、「ＰＲ１→ＤＬ１→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６→ＰＲ５」となる。

また、前述した手順と同様の手順により、搬送元をＰＲ２とし搬送先をＰＲ５とする搬送経路は「ＰＲ２→ＤＬ１→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６→ＰＲ５」となり、搬送元をＰＲ３とし搬送先をＰＲ５とする搬送経路は「ＰＲ３→ＤＬ２→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６→ＰＲ５」となり、搬送元をＰＲ４とし搬送先をＰＲ５とする搬送経路は「ＰＲ４→ＤＬ２→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６→ＰＲ５」となる。即ち、前記４つの搬送経路においてＤＬ５以降の搬送経路は、全て「ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６→ＰＲ５」となっていた。

通常、搬送元がＰＲ１またはＰＲ２である場合は、図９に示すように、ＤＬ４よりも短時間で搬送物を受け取れるＤＬ３を用いた方が搬送物によってリフタを拘束する時間が短くなり好ましいが、特開２００６−２４５４１６号公報に開示されている搬送制御装置を用いて搬送経路を取得した場合には、搬送元（ＰＲ１、ＰＲ２、ＰＲ３またはＰＲ４）に関わらず搬送先がＰＲ５であれば、ＤＬ５以降は同じ搬送経路になり、リフタとしてＤＬ４が必ず使用されてしまうといった問題があった。

一般的な搬送システムでは、一つの階から他の階に搬送する搬送物が複数ある場合、例えば、図９に示す搬送システムにおいて、搬送物Ｘ（図示せず）を第１搬送装置２１ａまたは第２搬送装置２１ｂから第５搬送装置２１ｅおよび第３搬送装置２１ｃを経由して第８搬送装置２１ｈへ搬送する場合、搬送物Ｘが第５搬送装置２１ｅの第１搬送車２２１または第２搬送車２２２上で第３搬送装置２１ｃの空き待ち状態になること（搬送ロス）を防ぐために、第５搬送装置２１ｅの第１搬送車２２１または第２搬送車２２２と第３搬送装置２１ｃとが搬送可能状態（空き状態）になるまで、第１搬送装置２１ａまたは第２搬送装置２１ｂは搬送物Ｘの搬送を開始できない。そして、第５搬送装置２１ｅの第１搬送車２２１または第２搬送車２２２と第３搬送装置２１ｃとが搬送可能状態になると、搬送物Ｘは、第３搬送装置２１ｃを予約（拘束）して、他の搬送物を搬送できない状態にする。その後、搬送物Ｘが、第５搬送装置２１ｅおよび第３搬送装置２１ｃを経由して第８搬送装置２１ｈに搬送されると、搬送物Ｘは、第３搬送装置２１ｃの予約を解く（予約解除）。この予約解除により、第３搬送装置２１ｃは搬送可能状態となる。

同様に、図９に示す搬送システムにおいて、搬送物Ｘ（図示せず）を第１搬送装置２１ａまたは第２搬送装置２１ｂから第５搬送装置２１ｅおよび第４搬送装置２１ｄを経由して第８搬送装置２１ｈへ搬送する場合、搬送物Ｘが第５搬送装置２１ｅの第１搬送車２２１または第２搬送車２２２上で第４搬送装置２１ｄの空き待ち状態になることを防ぐために、第５搬送装置２１ｅの第１搬送車２２１または第２搬送車２２２と第４搬送装置２１ｄとが搬送可能状態になるまで、第１搬送装置２１ａまたは第２搬送装置２１ｂは搬送物Ｘの搬送を開始できない。そして、第５搬送装置２１ｅの第１搬送車２２１または第２搬送車２２２と第４搬送装置２１ｄとが搬送可能状態になると、搬送物Ｘは、第４搬送装置２１ｄを予約（拘束）して、他の搬送物を搬送できない状態にする。その後、搬送物Ｘが、第５搬送装置２１ｅおよび第４搬送装置２１ｄを経由して第８搬送装置２１ｈに搬送されると、搬送物Ｘは、第４搬送装置２１ｄの予約を解く。この予約解除により、第４搬送装置２１ｄは搬送可能状態となる。

さらに同様に、図９に示す搬送システムにおいて、搬送物Ｘ（図示せず）を第６搬送装置２１ｆまたは第７搬送装置２１ｇから第８搬送装置２１ｈおよび第３搬送装置２１ｃを経由して第５搬送装置２１ｅへ搬送する場合、搬送物Ｘが第８搬送装置２１ｈの第１搬送車２２３または第２搬送車２２４上で第３搬送装置２１ｃの空き待ち状態になることを防ぐために、第８搬送装置２１ｈの第１搬送車２２３または第２搬送車２２４と第３搬送装置２１ｃとが搬送可能状態になるまで、第６搬送装置２１ｆまたは第７搬送装置２１ｇは搬送物Ｘの搬送を開始できない。そして、第８搬送装置２１ｈの第１搬送車２２３または第２搬送車２２４と第３搬送装置２１ｃとが搬送可能状態になると、搬送物Ｘは、第３搬送装置２１ｃを予約（拘束）して、他の搬送物を搬送できない状態にする。その後、搬送物Ｘが、第８搬送装置２１ｈおよび第３搬送装置２１ｃを経由して第５搬送装置２１ｅに搬送されると、搬送物Ｘは、第３搬送装置２１ｃの予約を解く（予約解除）。この予約解除により、第３搬送装置２１ｃは搬送可能状態となる。

また、さらに同様に、図９に示す搬送システムにおいて、搬送物Ｘ（図示せず）を第６搬送装置２１ｆまたは第７搬送装置２１ｇから第８搬送装置２１ｈおよび第４搬送装置２１ｄを経由して第５搬送装置２１ｅへ搬送する場合、搬送物Ｘが第８搬送装置２１ｈの第１搬送車２２３または第２搬送車２２４上で第４搬送装置２１ｄの空き待ち状態になることを防ぐために、第８搬送装置２１ｈの第１搬送車２２３または第２搬送車２２４と第４搬送装置２１ｄとが搬送可能状態になるまで、第６搬送装置２１ｆまたは第７搬送装置２１ｇは搬送物Ｘの搬送を開始できない。そして、第８搬送装置２１ｈの第１搬送車２２３または第２搬送車２２４と第４搬送装置２１ｄとが搬送可能状態になると、搬送物Ｘは、第４搬送装置２１ｄを予約（拘束）して、他の搬送物を搬送できない状態にする。その後、搬送物Ｘが、第８搬送装置２１ｈおよび第４搬送装置２１ｄを経由して第５搬送装置２１ｅに搬送されると、搬送物Ｘは、第４搬送装置２１ｄの予約を解く。この予約解除により、第４搬送装置２１ｄは搬送可能状態となる。

このように、図９に示すような搬送システムにおいて図１０に示す中継定義テーブルを用いて、特開２００６−２４５４１６号公報に開示されている搬送制御装置により搬送制御方法を実施した場合には、搬送元が第１生産装置２２ａまたは第２生産装置２２ｂであっても、１階から２階へ搬送物を搬送する際に第４搬送装置２１ｄが取得されてしまい、第４搬送装置２１ｄよりも短い時間で第１生産装置２２ａおよび第２生産装置２２ｂから搬送物を受け取ることができる第３搬送装置２１ｃを取得することができないといった問題があった。

さらに、このような問題を解決するため、第１生産装置２２ａまたは第２生産装置２２ｂから第５生産装置２２ｅ、第６生産装置２２ｆ、第７生産装置２２ｇまたは第８生産装置２２ｈへ搬送物を搬送する際に第３搬送装置２１ｃを取得できるように、図１０に示す中継定義テーブル１０００のＤＬ５行−ＰＲ５〜ＰＲ８列の枡を「ＤＬ４」から「ＤＬ３」に書き換えればよい。しかしながら、この書き換えをすることにより、第３生産装置２２ｃまたは第４生産装置２２ｄから第５生産装置２２ｅ、第６生産装置２２ｆ、第７生産装置２２ｇまたは第８生産装置２２ｈへ搬送物を搬送する際にも、第３搬送装置２１ｃを使用することになってしまう。そのため、第３生産装置２２ｃまたは第４生産装置２２ｄから２階の生産装置へ搬送物を搬送する際に、第３搬送装置２１ｃよりも短い時間で第３生産装置２２ｃおよび第４生産装置２２ｄから搬送物を受け取ることができる第４搬送装置２１ｄを取得することができないといった新たな問題が生じてしまう。即ち、中継定義テーブル１０００を書き換えることによって前述した問題を解決することはできない。

本発明はかかる問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、複数の搬送物ごとに搬送経路を取得して搬送物の搬送を実施する場合に、特定搬送装置の拘束時間を短くすることによって搬送システムをより効率的に利用することができる搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置を提供することにある。

上記課題を解決するため、本発明の搬送制御方法は、図５に示すように、第１搬送経路取得手段としての搬送経路決定部において、前記生産装置および搬送装置の利用順をマトリクスで定義した中継定義テーブルと、前記現在搬送物を保持している装置を示す現在位置情報と、前記搬送後の保管先を示す搬送先情報とに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次に搬送物を保持する装置を取得するステップＳ３と、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置であるか否かを判断するステップＳ４と、特定搬送装置である場合に、前記特定搬送装置の情報と前記搬送先情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次の次に搬送物を保持する装置を取得するステップＳ５と、ステップＳ５で取得した次の次に搬送物を保持する装置と前記搬送物の保管元を示す搬送元情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、現在搬送物を保持している装置から最短時間で搬送物を受け取る特定搬送装置を次に搬送物を保持する装置として再取得するステップＳ６とを含んでいるものである。

これにより、特定搬送装置を用いて搬送物を搬送する場合において、現在搬送物を保持している装置から特定搬送装置へ搬送物を搬送する際に要する時間をより短くすることにより、特定搬送装置の拘束時間を短くすることができ、その結果、搬送システムを効率的に利用することができる。

また、前記中継定義テーブルのうち、前記特定搬送装置と接続している複数の搬送装置のうちの一つの搬送装置を行とし、当該一つの搬送装置と特定搬送装置を介して接続されている生産装置および搬送装置のうちの一つの装置を列とする枡には、前記一つの装置から前記一つの搬送装置へ最短時間で搬送物を中継する特定搬送装置が定義されており、前記第２ステップにおいて次に搬送物を保持する装置を再取得する場合に、前記次の次に搬送物を保持する装置を行とし前記搬送元情報が示す装置を列とする枡が定義する特定搬送装置を、次に搬送物を保持する装置として再取得するものであってもよい。

この場合、次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置である場合も特定搬送装置ではない場合も、同一の中継定義テーブルを用いて搬送システムを効率的に利用することができる搬送経路を決定することができる。

本発明の搬送制御装置は、図１に示すように、生産装置および搬送装置の利用順をマトリクスで定義した中継定義テーブルを記憶した中継経路記憶手段としての中継経路定義領域１１ｂと、特定搬送装置の情報を記憶した搬送装置情報記憶手段としての搬送装置情報記憶領域１１ｃと、搬送物の保管元を示す搬送元情報と、搬送後の保管先を示す搬送先情報と、現在搬送物を保持している装置を示す現在位置情報とを、搬送物ごとに記憶した搬送物位置情報記憶手段としての搬送物位置情報領域１１ａとから構成されたデータベース１１を備えている。さらに、この搬送制御装置は、第１搬送経路取得手段および第２搬送経路取得手段としての搬送経路決定部１４も備えており、この搬送経路決定部１４は、図５に示すように、前記中継定義テーブルと前記現在位置情報と前記搬送先情報とに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次に搬送物を保持する装置を取得するステップＳ３と、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置であるか否かを判断するステップＳ４と、特定搬送装置である場合に、前記特定搬送装置の情報と前記搬送先情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次の次に搬送物を保持する装置を取得するステップＳ５と、ステップＳ５で取得した次の次に搬送物を保持する装置と前記搬送元情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、現在搬送物を保持している装置から最短時間で搬送物を受け取る特定搬送装置を次に搬送物を保持する装置として再取得するステップＳ６とを実施するものである。

これにより、特定搬送装置を用いて搬送物を搬送する場合において、現在搬送物を保持している装置から特定搬送装置へ搬送物を搬送する際に要する時間をより短くすることにより、特定搬送装置の拘束時間を短くすることができ、その結果、搬送システムを効率的に利用することができる。

また、前記中継定義テーブルのうち、前記特定搬送装置と接続している複数の搬送装置のうちの一つの搬送装置を行とし、当該一つの搬送装置と特定搬送装置を介して接続されている生産装置および搬送装置のうちの一つの装置を列とする枡には、前記一つの装置から前記一つの搬送装置へ最短時間で搬送物を中継する特定搬送装置が定義されており、前記搬送経路決定部１４において、次に搬送物を保持する装置を再取得する場合に、前記次の次に搬送物を保持する装置を行とし前記搬送元情報が示す装置を列とする枡が定義する特定搬送装置を、次に搬送物を保持する装置として再取得するものであってもよい。

この場合、次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置である場合も特定搬送装置ではない場合も、同一の中継定義テーブルを用いて搬送システムを効率的に利用することができる搬送経路を決定することができる。

本発明は上記のように構成したので、特定搬送装置の拘束時間を短くすることによって搬送システムをより効率的に利用することができる。

以下、本発明の搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

＜搬送制御装置の一実施形態＞
図１は、本発明の搬送制御装置の一実施形態を示す説明図である。なお、図１には、この搬送制御装置によって制御される搬送システムも示されている。

ここでは、半導体デバイスの製造工程においてウエハを搬送する際に用いられる搬送システムを例に挙げて実施形態の説明を行う。また、搬送物であるウエハの搬送は、同時に製造工程が実施される複数のウエハを１ロットとするロット単位で行われており、搬送物が搬送システムに投入されたときに、全てのロットで重複しないようにロット単位で「ロットＮｏ．」が割り振られるものとする。

搬送システム２０は、図９に示す搬送システムと同じ構成を有するものであり、図１ではその一部分のみが図示されている。この搬送システム２０は、搬送物の搬送を行う搬送装置群２１と、搬送物に対して製造工程を実施する生産装置群２２とから構成されている。また、この搬送システム２０は、例えばＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）およびインターネット通信網といったネットワーク２３を介して、搬送制御装置１０と接続されており、搬送制御装置１０との間で種々のデータ伝送を実施している。前記搬送装置群２１および生産装置群２２は、搬送制御装置１０による制御に従って搬送物の搬送を行うものである。なお、図１においては、搬送装置群２１を構成する複数の搬送装置および生産装置群２２を構成する複数の生産装置をその一部である２台ずつ示している。また、本実施形態においては、搬送装置群２１は、図９に示す第１搬送装置（ＤＬ１）２１ａ，第２搬送装置（ＤＬ２）２１ｂ・・・、第８搬送装置（ＤＬ８）２１ｈから構成されており、生産装置郡２２は、図９に示す第１生産装置２２ａ、第２生産装置２２ｂ・・・、第８生産装置２２ｈから構成されているが、本発明において各装置の台数はこれに限定されるものではない。

また、搬送制御装置１０は、後述する搬送先指示部１２、搬送情報管理部１３、搬送経路決定部１４、および装置管理部１５を備えているとともに、後述する搬送物位置情報領域１１ａ、中継経路定義領域１１ｂおよび搬送装置情報領域１１ｃから構成されるデータベース１１を搭載している。なお、これらの領域から構成されるデータベース１１は、物理的に搬送制御装置１０内に配置されている必要はなく、例えば搬送制御装置１０以外の異なる装置に分散して配置されており、ネットワーク等を介して搬送制御装置１０とデータ伝送可能なものであってもよい。

前記搬送先指示部１２は、ロット単位で、搬送物に次の製造工程を実施する生産装置と、この製造工程後に搬送物を保管する搬送装置とを指示するものである。

前記搬送情報管理部１３は、ネットワーク２３を介して搬送システム２０における各搬送物の現在位置に関する情報を収集することにより得た現在位置情報と、前記搬送先指示部１２が指示する次の製造工程を実施する生産装置とこの製造工程後に搬送物を保管する搬送装置とを示す情報より得た生産装置情報および搬送先情報とに基づき、ロット単位で搬送物位置情報を作成し、搬送物位置情報領域１１ａに格納するものである。

ここで、前記搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報の一例について図２を参照しつつ説明する。

図２は、図１に示す搬送制御装置を構成する搬送物位置情報領域に格納されている搬送物位置情報の一例を示す説明図である。

搬送物位置情報２００には、搬送物のロットを示す情報であるロットＮｏ．（ここでは「ＬＯＴ００１Ａ」）２０１と、搬送物の保管元である搬送装置（搬送元）を示す搬送元情報である装置名（ここでは「ＤＬ１」）２０２と、次の製造工程実施後に前記搬送物を保管する搬送装置（搬送先）を示す搬送先情報である装置名（ここでは「ＤＬ６」）２０３と、次の製造工程を実施する生産装置（次の生産装置）を示す生産装置情報である装置名（ここでは「ＰＲ１」）２０４と、搬送元から搬送先までの搬送経路内で、現在搬送物を保持している装置（現在位置）を示す現在位置情報である装置名（ここでは「ＤＬ１」）２０５とが含まれる。

また、前記搬送経路決定部１４は、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報と、中継経路定義領域１１ｂに格納されている中継定義テーブルと、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている特定搬送装置情報とに基づき搬送経路を決定する。

ここで、前記中継経路定義領域１１ｂに格納されている中継定義テーブルの一例について、図３を参照しつつ説明する。

図３は、図１に示す搬送制御装置を構成する中継経路定義領域に格納されている中継定義テーブルの一例を示す説明図である。

図３に示すように、中継定義テーブル３００において、１行目（最上行）３０１は搬送先を示す装置名（ＰＲ１〜ＰＲ８およびＤＬ１、ＤＬ２、ＤＬ６、ＤＬ７）で構成されており、１列目（最左列）３０２はＦｒｏｍ（現在搬送物を保持している装置である生産装置または搬送装置）を示す装置名（ＰＲ１〜ＰＲ８およびＤＬ１〜ＤＬ８）で構成されている。さらに、複数の行と複数の列で構成されるマトリックスの各枡の中には、Ｆｒｏｍから搬送先へ搬送物を搬送する際に、Ｆｒｏｍに示されている装置の次に搬送物を保持する装置を示す装置名が定義されている。

図９において、リフタである第３搬送装置（ＤＬ３）および第４搬送装置（ＤＬ４）は特定搬送装置であり、第５搬送装置（ＤＬ５）および第８搬送装置（ＤＬ８）は特定搬送装置に接続されている搬送装置である。

本実施形態においては、中継定義テーブル３００のうち、特定搬送装置が定義されている枡のみ、列に示されている装置から行に示されている装置へ搬送を行う際に、列に示されている装置から最短時間で搬送物を受け取ることができる特定搬送装置を次に搬送物を保持する装置として定義している。

具体的には、１階に配置された第５搬送装置（ＤＬ５）を行とし、２階に配置された装置（即ち、１階に配置された第５搬送装置（ＤＬ５）とは特定搬送装置を介して接続されている生産装置および搬送装置）を列とする各枡（ＤＬ５行−ＰＲ５列、ＤＬ５行−ＰＲ６列、ＤＬ５行―ＰＲ７列、ＤＬ５行―ＰＲ８列、ＤＬ５行−ＤＬ６列およびＤＬ５行−ＤＬ７列の各枡）には、各列に示された生産装置または搬送装置から第５搬送装置（ＤＬ５）へ搬送物を搬送する際に、列に示された生産装置または搬送装置から最短時間で搬送物を受け取ることができる搬送装置が、第３搬送装置ＤＬ３および第４搬送装置ＤＬ４の中から選択され、それぞれ定義されている。

さらに、同様に、２階に配置された第８搬送装置（ＤＬ８）を行とし、１階に配置された装置（即ち、２階に配置された第８搬送装置（ＤＬ８）とは特定搬送装置を介して接続されている生産装置および搬送装置）を列とする各枡（ＤＬ８行−ＰＲ１列、ＤＬ８行−ＰＲ２列、ＤＬ８行―ＰＲ３列、ＤＬ８行―ＰＲ４列、ＤＬ８行−ＤＬ１列およびＤＬ８行−ＤＬ２列の各枡）には、各列に示された生産装置または搬送装置から第８搬送装置（ＤＬ８）へ搬送物を搬送する際に、列に示された生産装置または搬送装置から最短時間で搬送物を受け取ることができる搬送装置が、第３搬送装置ＤＬ３および第４搬送装置ＤＬ４の中から選択され、それぞれ定義されている。

なお、図３において、「−」と表記されている枡は、いずれの装置も定義されていないこと示している。

さらに、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている特定搬送装置情報の一例について、図４を参照しつつ説明する。

図４は、図１に示す搬送制御装置を構成する搬送装置情報領域に格納されている特定搬送装置情報の一例を示す説明図である。

搬送装置情報４００は、図４に示すように、特定搬送装置の名称（以下、単に「特定搬送装置名」という）４０１で構成されている。

具体的に説明すると、図９に示す第３搬送装置（ＤＬ３）２１ｃおよび第４搬送装置（ＤＬ４）２１ｄが特定搬送装置であるため、搬送装置情報４００には、特定搬送装置名４０１として「ＤＬ３」および「ＤＬ４」が格納されている。

また、前記装置管理部１５は、搬送経路決定部１４で決定した搬送経路に従って、この搬送経路を構成する生産装置および搬送装置に対して、ネットワーク２３を通じて、搬送物を搬送したり、搬送物に対する製造工程を実施したりするための処理を指示する。この指示に従って、搬送物は搬送元から生産装置へ搬送され、この生産装置において搬送物に対する製造工程が実施される。その後、この製造工程が終了すると、搬送物は搬送先へ運ばれる。また、搬送物が生産装置または搬送装置に到着するたびに、生産装置または搬送装置からネットワーク２３を通じて搬送制御装置１０に現在搬送物を保持している装置を示す情報が送信され、搬送情報管理部１３は、この情報に基づき搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報の現在位置情報を更新する。

また、前記生産装置群２２を構成する各生産装置は、１つの製造工程に少なくとも１つ割り当てられており、搬送物が製造工程の順に各生産装置を通過すると同時に、この搬送物に対して製造処理が施されることによって半導体デバイスを完成させる。このとき、搬送物は、搬送装置群２１を構成する複数の搬送装置のうちの少なくとも１つの搬送装置を経由して、各生産装置に搬送される。

＜搬送制御方法の一実施形態＞
次に、図１に示す搬送制御装置において実施される搬送制御方法の一実施形態について説明する。なお、ここでは、搬送システムとして図９に示す搬送システム２０を用いており、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報として図２に示す搬送物位置情報２００を用いており、中継経路定義領域１１ｂに格納されている中継定義テーブルとして図３に示す中継定義テーブル３００を用いており、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている特定搬送装置情報として、図４に示す搬送装置情報４００を用いている。

図５は、本発明の搬送制御方法の一実施形態を示すフローチャートである。

なお、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報の搬送元情報および現在位置情報には、搬送物が搬送システムに投入された時点で、この搬送物を現在保管している装置を示す装置名が格納されている。

まず初めに、作業者の操作に基づき、または予め設定されており搬送制御装置の図示しない生産計画記憶領域に格納されている生産計画に基づき、搬送先指示部１２は、搬送を行う搬送物のロットＮｏ．と、次の製造工程を実施する生産装置と、この製造工程後に搬送物を保管する搬送装置とを示す情報を、搬送情報管理部１３および搬送経路決定部１４に送信する（ステップＳ１）。このステップＳ１に基づき、搬送情報管理部１３は、ロットＮｏ．を検索キーとして該当する搬送物の搬送物位置情報の生産装置情報と搬送先情報とを作成し格納する。

次いで、搬送経路決定部１４は、ロットＮｏ．を検索キーとして、搬送物位置情報から現在位置情報が示す装置名を取得する（ステップＳ２）。

さらに、搬送経路決定部１４は、中継定義テーブルの、現在位置情報が示す装置名をＦｒｏｍとし搬送先情報または生産装置情報が示す装置名を搬送先とする枡を参照して、次に搬送物を保持する装置（生産装置または搬送装置）を取得し、搬送経路を現在搬送物を保持している装置からここで取得した次に搬送物を保持する装置までに決定する（ステップＳ３）。なお、搬送物を製造工程実施後に搬送先まで搬送するために、搬送経路を決定する手順を開始した時点では搬送物に対する次の製造工程が未実施であるため、搬送先として生産装置情報を参照し、製造工程実施後は、搬送先として搬送先情報を参照するものとする。

次いで、搬送経路決定部１４は、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置であるか否かを判断する（ステップＳ４）。具体的には、搬送装置情報領域１１ｃに格納されている特定搬送装置名の中に、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置の装置名と一致するものがない場合は特定搬送装置ではないと判断し、一致するものがある場合は特定搬送装置であると判断する。

もし、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置ではない場合（ステップＳ４での判断結果がＮＯである場合）には、後述するステップＳ７に進む。

一方、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置が特定搬送装置である場合（ステップＳ４での判断結果がＹＥＳである場合）、ステップＳ５に進む。

前記ステップＳ５では、搬送経路決定部１４が、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置の装置名をＦｒｏｍとし、搬送先情報または生産装置情報が示す装置名を搬送先とする枡を参照して、次の次に搬送物を保持する装置（搬送装置または生産装置）を取得する。なお、ステップＳ３と同様に、搬送物に対する次の製造工程が未実施である間は、搬送先として生産装置情報を参照し、製造工程実施後は、搬送先として搬送先情報を参照するものとする。

次いで、搬送経路決定部１４は、中継定義テーブル３００を参照して、ステップＳ５で取得した次の次に搬送物を保持する装置の装置名をＦｒｏｍとし、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送元情報が示す装置名を搬送先とする枡が示す装置名を取得し、この装置名が示す装置をステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置の代わりに採用することにより次に搬送物を保持する装置を再取得し（ステップＳ６）、搬送経路を新たに決定する。

さらに、装置管理部１５は、ネットワーク２３を通じて搬送装置群２１および生産装置群２２を制御することにより、搬送経路決定部１４において決定した搬送経路に従って搬送を指示する（ステップＳ７）。なお、搬送経路決定部１４によって決定した搬送経路が特定搬送装置まで搬送物を搬送するものである場合には、装置管理部１５により、予め、他の搬送物の搬送のために特定搬送装置が既に予約されているか否か確認が行われる。そして、予約されていない場合は直ちに特定搬送装置を予約し搬送を開始し、また、予約されている場合は他の搬送物による予約が解除された後に特定搬送装置を予約し搬送を開始する。

その後、ステップＳ７での搬送が完了し、搬送装置群２１を構成する一つの搬送装置または生産装置群２２を構成する一つの生産装置に搬送物が到着し保持されると、この一つの搬送装置または一つの生産装置が、搬送物を保持していることを示す信号をネットワーク２３を通じて搬送情報管理部１３に送信する。搬送情報管理部１３は、この信号を受信すると、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報を更新し、現在搬送物を保持している装置（前記一つの搬送装置または一つの生産装置）の装置名を現在位置情報として格納する（ステップＳ８）。なお、保持している装置が生産装置である場合には、生産装置において製造工程が実施される。

続いて、搬送情報管理部１３が、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報の現在位置情報を参照して、現在搬送物を保持している装置が生産装置であるか否か（具体的には、現在位置情報が生産装置情報と一致しているか否か）を判断する（ステップＳ９）。もし、生産装置ではない場合（ステップＳ９での判断結果がＮＯである場合）は、後述するステップＳ１１に進む。

一方、生産装置である場合（ステップＳ９での判断結果がＹＥＳである場合）は、搬送情報管理部１３が、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報を更新して、現在搬送物を保持している生産装置を示す装置名を搬送元情報に格納し（ステップＳ１０）、ステップＳ２に戻る。

前記ステップＳ１１では、搬送情報管理部１３が、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報を参照して、搬送物が搬送先に到着しているか否か（具体的には、
搬送先情報と現在位置情報とが一致しているか否か）を判断する。もし、搬送先に到着していない場合（ステップＳ１１での判断結果がＮＯである場合）は、ステップＳ２に戻る。

一方、搬送先に到着している場合（ステップＳ１１での判断結果がＹＥＳである場合）は、さらに、搬送情報管理部１３が、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報を参照して、搬送元情報が次に製造工程を実施する生産装置を示す情報に更新されているか否か（具体的には、搬送元情報と生産装置情報とが一致しているか否か）を判断する（ステップＳ１２）。もし、更新されていない場合（ステップＳ１２での判断結果がＮＯである場合）は、製造工程未実施の状態であるため、ステップＳ２に戻り、搬送経路の取得および搬送物の搬送を行う。

一方、更新されている場合（ステップＳ１２での判断結果がＹＥＳである場合）は、製造工程実施済みであり、かつ、搬送先に到着した状態であるため、搬送制御処理を終了する。

＜搬送制御方法の一具体例＞
次に、図５を参照しつつ説明した本発明の搬送制御方法の一具体例について説明する。

本具体例においては、ここで搬送を行う搬送物のロットＮｏ．は「ＬＯＴ００１Ａ」であり、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報は、搬送物が搬送システムに投入された時点で、ロットＮｏ．が「ＬＯＴ００１Ａ」であり、搬送元が「ＤＬ１」であり、搬送物の現在位置が「ＤＬ１」であるものとする。また、中継経路定義領域１１ｂに格納されている中継定義テーブルとして図３に示す中継定義テーブル３００を用いている。

まず初めに、ステップＳ１において、搬送先指示部１２が、搬送を行う搬送物のロットＮｏ．「ＬＯＴ００１Ａ」と、次の製造工程を実施する生産装置の装置名「ＰＲ１」と、この製造工程後に搬送物を保管する搬送装置の装置名「ＤＬ６」とを示す情報を、搬送情報管理部１３および搬送経路決定部１４に送信する（ステップＳ１）。このステップＳ１に基づき、搬送情報管理部１３は、ロットＮｏ．「ＬＯＴ００１Ａ」を検索キーとして該当する搬送物の搬送物位置情報の生産装置情報と搬送先情報とを作成し格納する。このとき、ロットＮｏ．「ＬＯＴ００１Ａ」の搬送物に関する搬送物位置情報が図２に示す状態となる。

次いで、ステップＳ２において、搬送経路決定部１４が、搬送物のロットＮｏ．「ＬＯＴ００１Ａ」を検索キーとして、搬送物位置情報から現在位置「ＤＬ１」を取得する。

さらに、ステップＳ３において、搬送経路決定部１４が、現在位置「ＤＬ１」をＦｒｏｍとし、現時点では搬送元の装置名「ＤＬ１」が生産装置を示しておらず製造工程未実施の状態であるため、次の製造工程を実施する生産装置の装置名「ＰＲ１」を搬送先とする枡を参照して（中継定義テーブル３００のＤＬ１行−ＰＲ１列を参照して）、次に搬送物を保持する装置として第１生産装置の装置名「ＰＲ１」を取得し、搬送経路を「ＤＬ１→ＰＲ１」に決定する。

次いで、ステップＳ４において、搬送経路決定部１４は、ステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置の装置名「ＰＲ１」が特定搬送装置を示しているか否かを識別する。装置名「ＰＲ１」は特定搬送装置を示していない（ステップＳ４での判断結果はＮＯである）ため、ステップＳ７に進む。

ステップＳ７では、装置管理部１５が、ネットワーク２３を通じて第１搬送装置（ＤＬ１）および第１生産装置（ＰＲ１）を制御することにより、搬送経路決定部１４において決定した搬送経路「ＤＬ１→ＰＲ１」に従って搬送を実施する。

その後、搬送物が第１生産装置（ＰＲ１）に到着し保持されると、ステップＳ８において、第１生産装置（ＰＲ１）は、製造工程を実施するとともに、搬送物を保持していることを示す信号をネットワーク２３を通じて搬送情報管理部１３に送信する。搬送情報管理部１３は、この信号を受信すると、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報の現在位置情報に第１生産装置を示す装置名「ＰＲ１」を格納する。

続いて、ステップＳ９において、搬送情報管理部１３が、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報を参照して現在位置情報が生産装置情報と一致しているか否かを判断することにより、現在搬送物を保持している装置が生産装置であるか否かを判断する。ここでは、現在位置情報が生産装置情報と一致している（ステップＳ９での判断結果がＹＥＳである）ため、ステップＳ１０に進む。このステップＳ１０では、搬送情報管理部１３が、搬送物位置情報領域１１ａに格納されている搬送物位置情報を更新して、現在搬送物を保持している生産装置を示す装置名を搬送元情報に格納し、ステップＳ２に戻る。

その後、前記ステップＳ２およびステップＳ３を前述した手順と同様の手順で実施し、中継定義テーブルのＰＲ１行−ＤＬ６列を参照して、次に搬送物を保持する装置「ＤＬ１」を取得し、搬送経路を「ＰＲ１→ＤＬ１」に決定する。さらに、ステップＳ４、ステップＳ７、ステップＳ８およびステップＳ９を前述した手順と同様の手順で実施する。ここでは、現在搬送物を保持している装置が第１搬送装置（ＤＬ１）であり生産装置ではない（ステップＳ９での判断結果がＮＯである）ため、ステップＳ１１に進む。

前記ステップＳ１１においては、搬送物が搬送先に到着しているか否かを判断する。この時点では、搬送物が搬送先に到着していない（ステップＳ１１での判断結果がＮＯである）ため、ステップＳ２に戻る。

その後、前記ステップＳ２およびステップＳ３を前述した手順と同様の手順で実施し、中継定義テーブルのＤＬ１行−ＤＬ６列を参照して、次に搬送物を保持する装置「ＤＬ５」を取得し、搬送経路を「ＤＬ１→ＤＬ５」に決定する。さらに、ステップＳ４、ステップＳ７、ステップＳ８、ステップＳ９およびステップＳ１１を前述した手順と同様の手順で実施した後、ステップＳ２に戻る。

さらに、前記ステップＳ２およびステップＳ３を前述した手順と同様の手順で実施し、図６に示すように中継定義テーブル３００のＤＬ５行−ＤＬ６列を参照して、次に搬送物を保持する装置として第４搬送装置を示す装置名「ＤＬ４」を取得し、搬送経路を「ＤＬ５→ＤＬ４」に決定する。この第４搬送装置（ＤＬ４）は特定搬送装置である（ステップＳ４での判断結果がＹＥＳである）ため、ステップＳ５を実施する。

前記ステップＳ５において、搬送経路決定部１４は、直前のステップＳ３で取得した次に搬送物を保持する装置である第４搬送装置を示す装置名「ＤＬ４」をＦｒｏｍとし、この時点では搬送元情報が第１生産装置（ＰＲ１）を示しており製造工程実施済みであることを示しているため、搬送先情報が示す装置名「ＤＬ６」を搬送先とする枡を参照して（図７に示すように中継定義テーブル３００のＤＬ４行−ＤＬ６列を参照して）、次の次に搬送物を保持する装置である第８搬送装置の装置名「ＤＬ８」を取得する。

さらに、ステップＳ６において、搬送経路決定部１４は、直前のステップＳ５で取得した次の次に搬送物を保持する装置を示す装置名「ＤＬ８」をＦｒｏｍとし、搬送元情報が示す装置名「ＰＲ１」を搬送先とする枡を参照して（図８に示すように中継定義テーブル３００のＤＬ８行−ＰＲ１列を参照して）、第３搬送装置を示す装置名「ＤＬ３」を取得し、直前のステップＳ３で取得した第４搬送装置の代わりにここで取得した第３搬送装置を次に搬送物を保持する装置として再取得する。即ち、搬送経路を「ＤＬ５→ＤＬ３」に変更する。その後、ステップＳ７、ステップＳ８、ステップＳ９およびステップＳ１１を前述した手順と同様の手順で実施した後、ステップＳ２に戻る。

さらに、前記ステップＳ２およびステップＳ３を前述した手順と同様の手順で実施して、中継定義テーブル３００のＤＬ３行−ＤＬ６列を参照して、次に搬送物を保持する装置「ＤＬ８」を取得し、搬送経路を「ＤＬ３→ＤＬ８」に決定する。さらに、ステップＳ４、ステップＳ７、ステップＳ８、ステップＳ９およびステップＳ１１を前述した手順と同様の手順で実施した後、ステップＳ２に戻る。

その後、前記ステップＳ２およびステップＳ３を前述した手順と同様の手順で実施して、中継定義テーブル３００のＤＬ８行−ＤＬ６列を参照して、次に搬送物を保持する装置「ＤＬ６」を取得し、搬送経路を「ＤＬ８→ＤＬ６」に決定する。さらに、ステップＳ４、ステップＳ７、ステップＳ８、ステップＳ９およびステップＳ１１を前述した手順と同様の手順で実施する。この時点では、搬送物が搬送先に到着しており搬送先情報と現在位置情報とが一致しているので（ステップＳ１２での判断結果がＹＥＳであるため）、処理を終了する。

ここで、本発明の搬送制御方法を実施することにより得られた搬送経路と、従来の搬送制御方法を実施することにより得られた搬送経路とを比較する。

本発明の搬送制御方法を実施することにより得られた搬送経路の一例として、具体例１により得られた搬送経路「ＤＬ１→ＰＲ１→ＤＬ１→ＤＬ５→ＤＬ３→ＤＬ８→ＤＬ６」のうち、特にＤＬ１からＤＬ６までの搬送経路に着目すると、搬送経路は「ＤＬ１→ＤＬ５→ＤＬ３→ＤＬ８→ＤＬ６」となっている。さらに、従来の搬送制御方法を実施することにより得られた搬送経路の一例として、図１０に示す中継定義テーブル１０００を参照して取得した前述の搬送経路「ＤＬ１→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６→ＰＲ５」のうちの、特にＤＬ１からＤＬ６までの搬送経路に着目すると、搬送経路は「ＤＬ１→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６」となっている。

即ち、従来の搬送制御方法では、１階から２階へ搬送物を搬送する際に第４搬送装置（ＤＬ４）を利用しているが、本発明の搬送制御方法では、搬送元の第１生産装置（ＤＬ１）から最短時間で搬送物を受け取ることができる第３生産装置（ＤＬ３）を利用している。その結果、本発明の搬送制御方法によれば、搬送物による特定搬送装置の拘束時間（予約をしてから予約解除されるまでの時間）を短くすることができ、搬送を効率的に行うことが可能となる。

なお、詳細な説明は省略するが、搬送元が「第１搬送装置（ＤＬ１）」であり、搬送先が「第６搬送装置（ＤＬ６）」であり、次の生産装置が「第２生産装置（ＰＲ２）」であり、搬送物の現在位置が「第１搬送装置（ＤＬ１）」である場合においても、具体例１と同様の搬送経路が得られ、同様の効果が得られる。

また、搬送元が「第２搬送装置（ＤＬ２）」であり、搬送先が「第５搬送装置（ＤＬ５）」であり、次の生産装置が「第３生産装置（ＰＲ３）」または「第４生産装置（ＰＲ４）」であり、搬送物の現在位置が「第２搬送装置（ＤＬ２）」である場合に、本発明の搬送制御方法を実施すると、搬送経路「ＤＬ２→ＰＲ３（またはＰＲ４）→ＤＬ２→ＤＬ５→ＤＬ４→ＤＬ８→ＤＬ６」を取得することができる。即ち、この場合においても、１階から２階へ搬送物を搬送する際に、搬送元の第２生産装置（ＤＬ２）から最短時間で搬送物を受け取ることができる第４搬送装置（ＤＬ４）を利用している。その結果、搬送物による特定搬送装置の拘束時間を短くすることができ、搬送を効率的に行うことが可能となる。

なお、前述の実施形態では、本発明の搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置を適用する搬送システムとして、半導体デバイスの製造工程において用いられる搬送システムを例示しているが、搬送システムはこれに限定されるものではない。例えば液晶パネル等の製造工程において用いられる搬送システムにも適用可能である。即ち、本発明の搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置を適用する搬送システムは、複数の生産装置とこれら生産装置間を接続する複数の搬送装置とから構成されており、前記複数の搬送装置の中に複数の搬送装置に接続している特定搬送装置が含まれているようなレイアウトのものであればよく、搬送対象物は半導体デバイスまたは液晶パネルに限定されるものではない。

本発明の搬送制御方法およびこの搬送制御方法を実施する搬送制御装置は、特定搬送装置が複数含まれる搬送システムにおいて搬送経路を決定する際に活用できる。

本発明の搬送制御装置の一実施形態を示す説明図である。 図１に示す搬送制御装置を構成する搬送物位置情報領域に格納されている搬送物位置情報の一例を示す説明図である。 図１に示す搬送制御装置を構成する中継経路定義領域に格納されている中継定義テーブルの一例を示す説明図である。 図１に示す搬送制御装置を構成する搬送装置情報領域に格納されている特定搬送装置情報の一例を示す説明図である。 本発明の搬送制御方法の一実施形態を示すフローチャートである。 図３に示す中継定義テーブルのＤＬ５行−ＤＬ６列を参照している状態を示す説明図である。 図３に示す中継定義テーブルのＤＬ４行−ＤＬ６列を参照している状態を示す説明図である。 図３に示す中継定義テーブルのＤＬ８行−ＰＲ１列を参照している状態を示す説明図である。 搬送システムの一例を示す説明図であり、（ａ）は２階に配置されている部分のレイアウトを示す平面図であり、（ｂ）は１階に配置されている部分のレイアウトを示す平面図である。 図９に示す搬送システムによって搬送物を搬送する際に搬送経路を取得するために用いられる中継定義テーブルの一従来例を示す説明図である。

符号の説明

１０ 搬送制御装置
１１ データベース
１１ａ 搬送物位置情報領域
１１ｂ 中継経路定義領域
１１ｃ 搬送装置情報領域
１２ 搬送先指示部
１３ 搬送情報管理部
１４ 搬送経路決定部
１５ 装置管理部
２０ 搬送システム
２１ 搬送装置群
２２ 生産装置群
２３ ネットワーク

Claims (4)

1. 複数の生産装置と前記生産装置間を接続する複数の搬送装置とから構成された搬送システムを用いて前記生産装置および搬送装置で構成された搬送経路で搬送物の搬送を行う際に、前記搬送経路を構成する搬送装置の取得を行う搬送制御方法であって、
   前記生産装置および搬送装置の利用順をマトリクスで定義した中継定義テーブルと、前記現在搬送物を保持している装置を示す現在位置情報と、前記搬送後の保管先を示す搬送先情報とに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次に搬送物を保持する装置を取得する第１ステップと、
   前記第１ステップで取得した次に搬送物を保持する装置が、複数の搬送装置に接続している特定搬送装置である場合に、前記特定搬送装置の情報と前記搬送先情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次の次に搬送物を保持する装置を取得し、取得した次の次に搬送物を保持する装置と前記搬送物の保管元を示す搬送元情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、現在搬送物を保持している装置から最短時間で搬送物を受け取る特定搬送装置を次に搬送物を保持する装置として再取得する第２ステップとからなる搬送制御方法。
2. 請求項１記載の搬送制御方法であって、前記中継定義テーブルのうち、前記特定搬送装置と接続している複数の搬送装置のうちの一つの搬送装置を行とし、当該一つの搬送装置と特定搬送装置を介して接続されている生産装置および搬送装置のうちの一つの装置を列とする枡には、前記一つの装置から前記一つの搬送装置へ最短時間で搬送物を中継する特定搬送装置が定義されており、前記第２ステップにおいて次に搬送物を保持する装置を再取得する場合に、前記次の次に搬送物を保持する装置を行とし前記搬送元情報が示す装置を列とする枡が定義する特定搬送装置を、次に搬送物を保持する装置として再取得する搬送制御方法。
3. 複数の生産装置と前記生産装置間を接続する複数の搬送装置とから構成された搬送システムを用いて、前記生産装置および搬送装置で構成された搬送経路で搬送物の搬送を行う際に、前記搬送経路を構成する搬送装置の取得を行う搬送制御装置であって、
   前記生産装置および搬送装置の利用順をマトリクスで定義した中継定義テーブルを記憶した中継経路記憶手段と、
   複数の搬送装置に接続している特定搬送装置の情報を記憶した搬送装置情報記憶手段と、
   搬送物の保管元を示す搬送元情報と、搬送後の保管先を示す搬送先情報と、現在搬送物を保持している装置を示す現在位置情報とを、搬送物ごとに記憶した搬送物位置情報記憶手段と、
   前記中継定義テーブルと前記現在位置情報と前記搬送先情報とに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次に搬送物を保持する装置を取得する第１搬送経路取得手段と、
   前記第１搬送経路取得手段において取得した次に搬送物を保持する装置が前記特定搬送装置である場合には、前記特定搬送装置の情報と前記搬送先情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、前記生産装置および搬送装置の中から次の次に搬送物を保持する装置を取得し、取得した次の次に搬送物を保持する装置と前記搬送元情報と前記中継定義テーブルとに基づいて、現在搬送物を保持している装置から最短時間で搬送物を受け取る特定搬送装置を次に搬送物を保持する装置として再取得する第２搬送経路取得手段とを備えた搬送制御装置。
4. 請求項３記載の搬送制御装置であって、前記中継定義テーブルのうち、前記特定搬送装置と接続している複数の搬送装置のうちの一つの搬送装置を行とし、当該一つの搬送装置と特定搬送装置を介して接続されている生産装置および搬送装置のうちの一つの装置を列とする枡には、前記一つの装置から前記一つの搬送装置へ最短時間で搬送物を中継する特定搬送装置が定義されており、前記第２搬送経路取得手段において、次に搬送物を保持する装置を再取得する場合に、前記次の次に搬送物を保持する装置を行とし前記搬送元情報が示す装置を列とする枡が定義する特定搬送装置を、次に搬送物を保持する装置として再取得する搬送制御装置。

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