TWI816942B - 屋頂搬送車 - Google Patents

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Abstract

本發明的屋頂搬送車10沿著配置於屋頂的作為搬送軌道的軌道20移行，而將搬送對象框體50沿著軌道20進行搬送，控制器15控制屋頂搬送車10的動作，於使保持框體50的升降體16在搬送用位置24與移載用位置34間升降時，基於相機40所拍攝的圖像，判定藉由相機40所拍攝的攝像範圍42內有無障礙物。

Description

屋頂搬送車
本發明是有關於一種屋頂搬送車，特別是有關於一種將搬送對象物品沿著搬送軌道進行搬送的屋頂搬送車，所述屋頂搬送車具有能夠使物品升降的升降體。
先前，作為在無塵室（clean room）等半導體元件（device）製造設備中所使用的一種搬送裝置，有如日本專利第3371897號公報所記載的沿著配置於設備的屋頂的搬送軌道進行搬送的屋頂搬送車（屋頂移行搬送裝置）。所述屋頂搬送車具有附帶提升機（hoist）的台車，可使半導體的晶圓載具（wafer carrier）於半導體製造裝置的負載埠（load port）與屋頂側間升降。
於專利文獻1所記載的屋頂搬送車，於使晶圓載具升降時為了檢查於其升降路徑內是否存在障礙物，而設置光學式障礙物檢測感測器（sensor）。
所述障礙物檢測感測器對預設的檢測範圍內照射光，可基於反射光的光量等檢查檢測範圍有無障礙物。
[發明所欲解決之課題]
然而，於專利文獻1所記載的屋頂搬送車所具有的光學式障礙物檢測感測器中，無法利用一個光源一次對具有某程度廣度的檢測範圍的整個區域進行照射，故在進行障礙物檢測時，需要多次重覆下述動作，即：在結束某一處的檢測後，切換照射角度而在其他處進行檢測。
對於此種光源的照射角度切換需要利用馬達（motor）等驅動機構進行機械的運動，故在每次使用時因摩擦等而裝置的機構不斷損耗。因此，於先前的障礙物檢測感測器存在機構壽命短的問題。
又，於一般的光學式障礙物檢測感測器，由於投光節距（照射角度的切換幅度）被固定為固定的角度（只能每次將角度切換固定的角度），故亦有無法檢測處於所述投光節距中間的小的障礙物的問題。
進而，先前技術的光學式障礙物檢測感測器向自配置於屋頂側的障礙物檢測感測器朝下方空開距離的負載埠照射光，故即便僅照射角度稍許偏移，照射點亦會大幅偏移，而無法朝所期望的位置照射光。因此，於先前技術中必須精密地進行光源的光軸對準，萬一在光軸偏移的情形下，需要作業員登上設備的屋頂側而在高處進行光軸對準的調整作業，從而亦有非常耗費精力的問題。如此般，具有先前的光學式障礙物檢測感測器的屋頂搬送車有操作困難的方面。本發明鑑於以上的問題，目的在於提供一種針對進行有無障礙物的判定的機構而具有更易於操作的機構的屋頂搬送車。 [解決課題之手段]
為了解決所述課題，本發明的屋頂搬送車的實施形態的一例為一種屋頂搬送車，沿著配置於屋頂的搬送軌道移行，而將搬送對象物品沿著所述搬送軌道進行搬送，且其包括：移行台車，沿著所述搬送軌道移行；本體部，與所述移行台車一起沿著所述搬送軌道移動；升降體，設置於所述本體部，能夠於搬送用位置與較所述搬送用位置更下方的移載用位置間升降；攝像裝置，拍攝較所述本體部更下方；以及控制器，控制所述屋頂搬送車的動作；且所述升降體能夠進行：取得動作，使配置於較所述搬送用位置更下方的物品載置台的所述物品朝所述移載用位置下降並保持；以及釋放動作，使於所述搬送用位置所保持的所述物品朝所述移載用位置下降並配置於所述物品載置台；所述控制器於使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，基於所述攝像裝置所拍攝的圖像，判定藉由所述攝像裝置所拍攝的攝像範圍內有無障礙物。
又，較佳的是，所述控制器在使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，可自所述攝像裝置所拍攝的圖像中，搜索預先決定的多個指標體，且以所述多個指標體的位置為基準，設定判定有無障礙物的監視範圍。
又，較佳的是，所述控制器在使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，可自所述攝像裝置所拍攝的圖像中，搜索與預先決定的規格形狀相似的形狀並作為指標部，且以所述指標部的位置為基準，設定判定有無障礙物的監視範圍。
又，較佳的是，可將於所述取得動作或所述釋放動作的開始時所述攝像裝置所拍攝的圖像設定為基準圖像，將於所述取得動作或所述釋放動作的持續中所述攝像裝置所拍攝的圖像設定為動作中圖像，當於所述基準圖像的所述監視範圍內的圖像資料（data）、與所述動作中圖像的所述監視範圍內的圖像資料間產生超過預先決定的臨限值的差分的情形下，所述控制器判定為於所述攝像範圍內存在障礙物。
又，較佳的是，所述控制器於使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，可將所述攝像裝置所拍攝的圖像與拍攝所述圖像的時刻一起進行記錄。 [發明的效果]
根據本發明的屋頂搬送車的實施形態的一例，由於基於藉由攝像裝置所拍攝的圖像而判定有無障礙物，故無需如先前的光學式障礙物檢測感測器般的用於切換光源的照射角度的驅動機構，因此用於進行障礙物判定的機構的壽命變長。
又，由於在攝像裝置所拍攝的圖像全部顯現所述攝像範圍內所包含的物體，故連由先前的光學式障礙物檢測感測器無法檢測的小的障礙物亦可進行檢測。
又，只要於所拍攝的圖像內的某個部位包含移載用位置與其周圍即可，無需那麼精密地設定攝像裝置的方向，故無需如先前所進行的、作業者登上高處利用手動作業對光源的方向加以調整的耗費時間與精力的作業。
圖1表示本發明的屋頂搬送車的實施形態的一例。於使用所述屋頂搬送車10的設備（半導體製造設備等）內，於屋頂側配置有作為搬送軌道的軌道（rail）20，屋頂搬送車10上部的移行台車12沿著所述軌道20移行。移行台車12與屋頂搬送車10的本體部14連結，於所述本體部14設置有升降體16。而且，於升降體16具有提升機機構18，藉此升降體16能夠在設備的屋頂側與地板側間升降。
於設備的地板側設置有物品載置台32。所述物品載置台32為能夠穩定地載置作為在設備內被搬送的物品的框體50（作為半導體的晶圓載具的前開式晶圓傳送盒（Front-Opening Unified Pod）（前開式一體式盒)、所謂FOUP等）的載台，例如半導體製造裝置的負載埠等作為物品載置台32發揮功能。
升降體16可藉由臂（arm）19或卡盤（chuck）等保持框體50，可使框體50在本體部14內（屋頂側）的搬送用位置24、與物品載置台32上方（地板側）的移載用位置34間升降。具體而言，升降體16可進行取得動作與釋放動作。於取得動作，升降體16在未保持框體50的狀態下自搬送用位置24朝移載用位置34下降，利用升降體16的臂19握持配置於物品載置台32上的移載用位置34的框體50上部的上翼緣52，藉此框體50被升降體16保持。
於釋放動作，升降體16在保持框體50的狀態下自搬送用位置24朝物品載置台32上方的移載用位置34下降，且解除升降體16對框體50的保持，藉此將框體50配置於物品載置台32。
於本實施形態的屋頂搬送車10，在本體部14的下方的、偏離升降體16的升降路徑的部位，設置有作為攝像裝置的相機（camera）40。所述相機40朝向下方，拍攝較本體部14更下方。處於藉由相機40所拍攝的圖像內的攝像範圍42，隨著朝下方移動而逐漸擴大，如圖1所示，於物品載置台32的高度處，包含配置有框體50的範圍的寬廣範圍處於攝像範圍42。所述攝像範圍42有時不僅擴大至物品載置台32，還擴大至其周圍（較物品載置台32更外側）。
又，於屋頂搬送車10，具有用於控制所述屋頂搬送車10的動作的控制器15（處理器（processor）等）。藉由所述控制器15，進行如下等的控制，即移行台車12的移行動作、升降體16的取得動作及釋放動作、以及藉由相機40所拍攝的圖像的圖像處理。再者，於圖1中將控制器15表示為內置於本體部14的控制器，但亦可將與屋頂搬送車10分體的設備且為經由通訊對屋頂搬送車10的動作進行控制的電腦（computer）等作為控制器15發揮功能。
控制器15可根據屋頂搬送車10的當前位置，切換進行沿著軌道20移行的搬送動作、還是進行停止移行而使升降體16升降的取得動作或釋放動作。例如，於半導體設備中，應將哪一框體50配置於哪一物品載置台32（負載埠），或者應由哪一屋頂搬送車10搬送配置於哪一物品載置台32的框體50等情況，有時藉由設備管理者所操作的上位裝置指定。此種情形下，控制器15自上位裝置接收此種指定資訊，於屋頂搬送車10到達應配置當前所保持的（正在搬送的）框體50的物品載置台32的上方時，或於屋頂搬送車10到達配置有應藉由所述屋頂搬送車10搬送的框體50的物品載置台32的上方時，停止藉由移行台車12的移行，而開始取得動作或釋放動作。此處，控制器15在為了進行取得動作或釋放動作而使升降體16升降前，利用相機40拍攝表示動作開始時的本體部14下方的狀況的基準圖像。
例如於釋放動作的開始時，於屋頂搬送車10的下方的物品載置台32未載置有框體50，而露出物品載置台32的頂面。圖2的平面圖表示物品載置台32的頂面的樣態。
於物品載置台32的頂面，設置有作為指標體的定位銷36作為應配置框體50的目標位置55的記號。若所述定位銷36的配置、形狀為半導體製造設備的負載埠的配置、形狀，則根據規格而決定。例如向上凸且於俯視下為圓形狀的銷以三個一組且各自成為正三角形的頂點的方式埋入頂面而配置，所述一組對應於一個目標位置55。於圖2的物品載置台32準備2個部位的目標位置55。
以下，說明相對於圖2中的左側的目標位置55進行釋放動作的情形。首先，藉由相機4拍攝包含目標位置55的攝像範圍42的基準圖像。控制器15對於所述基準圖像進行圖像處理，搜索圖像內所含的多個（此處為三個）定位銷36。例如若物品載置台32為金屬製且頂面因金屬光澤而形成銀色，另一方面定位銷36被著色為黑色，則控制器15搜索於銀色背景中存在黑色圓的部分。又，若定位銷36被以頂部為白色、下擺部分為黑色的方式利用顏色區分，則控制器15搜索黑白雙重圓。
定位銷36的搜索可針對攝像範圍42的整個區域進行，但為了縮短搜索時間，而可預先決定於圖像內哪一範圍進行搜索。例如可在圖2所示的橢圓形的三個搜索範圍46中進行定位銷36的搜索。作為所述搜索範圍46的設定，例如，可如「以自圖像左端至X畫素（pixel）右側的點、以自下端至Y畫素上側的點為中心的規定形狀的橢圓」般，設定無論何種圖像皆可進行定義的範圍。
若僅發現定位銷36為規定的數目（此處為三個），則控制器15基於所述定位銷36的位置，決定是否存在障礙物的作為監視對象的監視範圍48。例如控制器15算出穿過三個定位銷36的假想圓38的中心座標39，將自所述中心座標39空開規定距離的範圍作為監視對象48。
此處，控制器15亦可根據三個定位銷36的位置，算出假想圓38的橫軸38X與縱軸38Y的方向。所述假想圓38的橫軸38X與縱軸38Y的方向與將框體50配置於目標位置55時的理想的框體50的方向相對應。於圖2表示相機40的方向偏移而攝像範圍42的方向自假想圓38的橫軸38X與縱軸38Y的方向傾斜的樣態，即便如此般攝像範圍42傾斜，控制器15亦可基於三個定位銷36的位置，算出理想方向的橫軸38X與縱軸38Y。
如前文所述般在將自中心座標39空開規定距離的範圍作為監視對象48時，理想的是亦考慮攝像範圍42傾斜的可能性，不是利用沿著圖像的縱橫框的方向的距離，而是利用與所算出的假想圓38的橫軸38X及縱軸38Y平行的方向的距離進行監視範圍48的設定。於圖2，自假想圓38的中心座標39在橫軸38X的方向於左右各空開距離LX的範圍、且從自中心座標39在縱軸38Y的方向僅隔開距離LY1的位置至僅隔開距離LY2的位置的長方形狀的範圍變為監視範圍48。再者，如圖2所示，所述監視範圍48設定於較目標位置55更外側。
另一方面，於取得動作的開始時，於屋頂搬送車10的下方的物品載置台32載置有框體50，故藉由相機40對所述框體50的頂面進行拍攝。若框體50為例如作為半導體的晶圓載具的前開放一體式盒（FOUP），則其形狀、尺寸根據規格而被預先決定。特別是，藉由升降體16的臂19或卡盤握持的上翼緣52的輪廓形狀被決定為規格形狀。
因此於取得動作時，自所拍攝的基準圖像內搜索與上翼緣52的規格形狀相似的形狀並作為指標部。於圖3的平面圖，圖示具體的框體50的頂面形狀、特別是上翼緣52的輪廓形狀的一例。
於所述輪廓形狀具有多個特徵性形狀的切口等，故若存在與此種整體形狀相似的形狀則可大致確實地確定上翼緣52的位置。然而，於物品載置台32與框體50均為銀色而幾乎無色差的情形下，或於如因設備照明的照射角度而上翼緣52未被充分照到的情形下，難以準確地搜索整體形狀。因此，此處使用下述方法，即：控制器15在多個部位進行形狀搜索，發現其中的數個部位，藉此可確定上翼緣52的位置。
具體而言，控制器15搜索圖3中所示的上翼緣52的四角54的形狀。由於所述四角54各自具有特徵性形狀，故若發現與所述特徵性形狀相似的形狀則可判斷為發現上翼緣52的位置。再者，除了四角54以外，控制器15亦可搜索設置於上翼緣52各邊的切口形狀等。
例如若發現四角54中的右上與左下、或左上與右下、即對角線上的兩個部分，則可判斷為發現上翼緣52的位置。由於如前文所述般上翼緣52的輪廓形狀被規格決定，故即便僅發現其中作為指標部的一部分並確定位置，則亦可算出上翼緣52的其他部分的位置。控制器15基於此處所發現的四角54的位置，算出上翼緣52的中心點59的位置。然後，將自所述中心點59空開規定距離的範圍作為監視對象48。於圖3，自中心點59於左右各空開距離LX的範圍、且從自中心點59僅隔開距離LY1的位置至僅隔開距離LY2的位置的長方形狀的範圍變為監視範圍48。再者，如圖3所示，所述監視範圍48設定為較框體50更外側。
如以上所述，於取得動作或釋放動作的開始時，進行基準圖像攝像的處理（圖4的步驟S1）、搜索基準圖像內的指標體或指標部的指標搜索的處理（步驟S2）、以及監視範圍48設定的處理（步驟S3）。然後，若設定了監視範圍48，則藉由提升機機構18開始升降體16的升降動作（步驟S4）。
若升降動作開始，則控制器15利用相機40拍攝表示升降動作進行中的物品載置台32頂面的樣態的動作中圖像（步驟S5）。然後，判定在所述動作中圖像與基準圖像間顯現於監視範圍48內的圖像是否產生不同（步驟S6）。
若針對步驟S6詳細地進行說明，則如上文所述般由於監視範圍48設定為較目標位置55或框體50更外側，故於所述監視範圍48內在取得動作或釋放動作的執行中，應該只顯現物品載置台32的頂面，且始終為固定（不會自基準圖像的狀態變化）。若在動作執行中於監視範圍48內的圖像有變化，則此為障礙物（作業者的手等）進入監視範圍48內。因此，於步驟S6，進行在動作中圖像與基準圖像間，於監視範圍48內是否產生差分的判定。再者，即便無障礙物但有因裝置的微小振動或照明條件的變動等而產生細微的色彩變化的情況，故容許存在稍許差分。於差分超過預先決定的臨限值（例如40畫素）的情形下（步驟S6-是（YES）），判定為存在障礙物。
於判定為存在障礙物的情形下，控制器15對升降體16或上位裝置發出障礙物檢測訊號（步驟S7）。實際上於存在障礙物的情形下如何進行處理根據設備而不同，例如考量有停止動作直至障礙物被去除，或記錄「檢測到障礙物」但動作就此繼續。
在障礙物檢測訊號的發送後，或在動作中圖像與基準圖像的比較中未發現超過臨限值的差分的情形下（步驟S6-否（NO）），控制器15判定取得動作或釋放動作是否完成（步驟S8）。此種判定能夠藉由以下方式進行判定：例如利用設置於屋頂搬送車10的測重計對升降體16的重量加以測定等的方法，檢查升降體16朝本體部14內返回且是否保持有框體50，藉此進行判定。
若取得動作或釋放動作完成（步驟S8-是），則控制器15再次開始已停止的移行台車12的驅動，轉移至沿著軌道進行移行的搬送動作。若取得動作或釋放動作尚未完成（步驟S8-否），則自拍攝動作中圖像的階段起重覆前文所述的動作（返回步驟S5）。如以上所述，本實施形態的屋頂搬送車10可一面判定有無障礙物一面進行取得動作或釋放動作。
於以上步驟S1至步驟S8，藉由基準圖像與動作中圖像的比較而僅判定有無障礙物，但亦可將所述判定的履歷作為記錄而保存。例如可於屋頂搬送車10設置用於記錄所獲得的圖像資料的圖像記憶體（memory）。進而，較佳的是於屋頂搬送車10設置測定當前時刻的時鐘裝置、或測量自當天工作開始的經過時間的計時器（timer）。
例如於步驟S1中攝像基準圖像時，或於步驟S5中攝像動作中圖像時，所拍攝的圖像資料與進行所述拍攝的時刻一起被記錄於圖像記憶體。即，記錄圖像的拍攝時刻。如此般藉由記錄拍攝時刻，而在產生障礙物時，設備管理者將所記錄的圖像資料與拍攝時刻進行對照，藉此可知在動作的哪個階段產生了障礙物。又，由於圖像被記錄，故設備管理者可過後調查障礙物為何種障礙物。作為具體例，作業者能夠以圖像為證據而調查是遮擋了相機40還是誤檢測。相機40為用於檢查動作中有無障礙物的攝像裝置、即用於確保安全性的設備，但亦可將用於所述安全性的設備用作用於如此般記錄作業的履歷的設備。
根據所述實施形態的屋頂搬送車10，由於可全部檢測顯現於藉由相機40所拍攝的攝像範圍42的物體，故連利用先前的光學式障礙物檢測感測器無法檢測出的處於投光節距（固定角度）的中間的小的障礙物亦可檢測。
又，於先前的光學式障礙物檢測感測器中，為了調節照射角度需要設置伴有機械性損耗的驅動機構，且壽命短，但於相機40此種攝像裝置無需驅動部，且設備的壽命變長。
再者，於所述實施形態，自動進行如圖2所示的搜索範圍46或監視範圍48的設定，但亦可由控制器15將所拍攝的圖像朝外部的調整用控制台（console）等設備傳送，並且作業者利用所述調整用控制台一面確認實際所拍攝的圖像一面利用手動進行設定。由於在此種情形下僅藉由作業者一面觀察圖像一面變更設定而完成用於障礙物判定的設備的調整，故無需如針對先前的光學式障礙物檢測感測器所進行的、作業者登上高處利用手動作業對光源的照射角度加以調整的耗費時間與精力的作業。
又，於所述實施形態，於釋放動作時當於物品載置台32上不存在框體50的情形下，將定位銷36用作多個指標體而進行監視範圍48的設定，但在取得動作時、亦即當於物品載置台32上載置有框體50的情形下，若於框體50頂面設置多個預先決定的配置的標記（marker），則可將所述標記用作多個指標體而進行監視範圍48的決定。
於所述實施形態，於取得動作時當於物品載置台32上載置有框體50的情形下，將框體50的上翼緣52的規格形狀用作指標部而進行監視範圍48的設定，但在釋放動作時、亦即當於物品載置台32上不存在框體50的情形下，若於物品載置台32的頂面設置規定形狀的標記，則可將所述標記的形狀用作指標部而進行監視範圍48的決定。
又，於所述實施形態，藉由檢查攝像範圍42中的監視範圍48的狀態而判定有無障礙物，但若利用能夠對圖像中的輪廓形狀加以解析等而將障礙物與框體50（及於正常作業時有可能被拍攝到的非障礙物）予以區別的人工智慧（artificial intelligence，AI）或圖像解析程式（program）等，亦可針對攝像範圍42整體（物品載置台32及其周圍）判定有無障礙物。
10:屋頂搬送車 12:移行台車 14:本體部 15:控制器（處理器） 16:升降體 18:提升機機構 19:臂 20:軌道 24:搬送用位置 32:物品載置台 34:移載用位置 36:定位銷 38:假想圓 38X:假想圓的橫軸（橫軸） 38Y:假想圓的縱軸（縱軸） 40:相機 42:攝像範圍 46:搜索範圍 48:監視範圍（監視對象） 50:框體 52:上翼緣 54:四角 55:目標位置 59:上翼緣的中心點（中心點） LX:距離 LY1:距離 LY2:距離 S1～S8:步驟
圖1是表示本發明的實施形態的一例的屋頂搬送車與物品載置台的側視圖。 圖2是表示物品載置台的頂面及設置於物品載置台的定位銷（locate pin）的平面圖。 圖3是表示包含上翼緣（top flange）的框體的形狀的平面圖。 圖4是表示障礙物檢測處理的程序的流程圖。
10:屋頂搬送車
12:移行台車
14:本體部
15:控制器(處理器)
16:升降體
18:提升機機構
19:臂
20:軌道
24:搬送用位置
32:物品載置台
34:移載用位置
40:相機
42:攝像範圍
50:框體
52:上翼緣

Claims (4)

  1. 一種屋頂搬送車，沿著配置於屋頂的搬送軌道移行，而將搬送對象物品沿著所述搬送軌道進行搬送，且其特徵在於包括：移行台車，沿著所述搬送軌道移行；本體部，與所述移行台車一起沿著所述搬送軌道移動；升降體，設置於所述本體部，能夠於搬送用位置與較所述搬送用位置更下方的移載用位置間升降；攝像裝置，拍攝較所述本體部更下方；以及控制器，控制所述屋頂搬送車的動作；且所述升降體能夠進行：取得動作，自所述搬送用位置朝所述移載用位置下降，保持配置於物品載置台上的所述移載用位置的所述物品；以及釋放動作，使於所述搬送用位置所保持的所述物品朝所述移載用位置下降並配置於所述物品載置台；所述控制器於使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，基於所述攝像裝置所拍攝的圖像，判定藉由所述攝像裝置所拍攝的攝像範圍內有無障礙物，其中所述控制器在使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，自所述攝像裝置所拍攝的圖像中，搜索預先決定的多個指標體，且以所述多個指標體的位置為基準，設定判定有無障礙物的監視範圍，其中 將於所述取得動作或所述釋放動作的開始時所述攝像裝置所拍攝的圖像設定為基準圖像，將於所述取得動作或所述釋放動作的持續中所述攝像裝置所拍攝的圖像設定為動作中圖像，當於所述基準圖像的所述監視範圍內的圖像資料、與所述動作中圖像的所述監視範圍內的圖像資料間產生超過預先決定的臨限值的差分的情形下，所述控制器判定為於所述攝像範圍內存在障礙物。
  2. 如請求項1所述的屋頂搬送車，其中所述控制器於使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，將所述攝像裝置所拍攝的圖像與拍攝所述圖像的時刻一起進行記錄。
  3. 一種屋頂搬送車，沿著配置於屋頂的搬送軌道移行，而將搬送對象物品沿著所述搬送軌道進行搬送，且其特徵在於包括：移行台車，沿著所述搬送軌道移行；本體部，與所述移行台車一起沿著所述搬送軌道移動；升降體，設置於所述本體部，能夠於搬送用位置與較所述搬送用位置更下方的移載用位置間升降；攝像裝置，拍攝較所述本體部更下方；以及控制器，控制所述屋頂搬送車的動作；且所述升降體能夠進行：取得動作，自所述搬送用位置朝所述移載用位置下降，保持配置於物品載置台上的所述移載用位置的所述物品；以及釋放動作，使於所述搬送用位置所保持的所述物品朝所述移載用位置下降並配置於所述物品載置台； 所述控制器於使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，基於所述攝像裝置所拍攝的圖像，判定藉由所述攝像裝置所拍攝的攝像範圍內有無障礙物，其中所述控制器在使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，自所述攝像裝置所拍攝的圖像中，搜索與預先決定的規格形狀相似的形狀並作為指標部，且以所述指標部的位置為基準，設定判定有無障礙物的監視範圍，其中將於所述取得動作或所述釋放動作的開始時所述攝像裝置所拍攝的圖像設定為基準圖像，將於所述取得動作或所述釋放動作的持續中所述攝像裝置所拍攝的圖像設定為動作中圖像，當於所述基準圖像的所述監視範圍內的圖像資料、與所述動作中圖像的所述監視範圍內的圖像資料間產生超過預先決定的臨限值的差分的情形下，所述控制器判定為於所述攝像範圍內存在障礙物。
  4. 如請求項3所述的屋頂搬送車，其中所述控制器於使所述升降體進行所述取得動作或所述釋放動作時，將所述攝像裝置所拍攝的圖像與拍攝所述圖像的時刻一起進行記錄。
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