TWI851732B

TWI851732B - 檢查系統

Info

Publication number: TWI851732B
Application number: TW109118685A
Authority: TW
Inventors: 小川大介; 矢嶋翼
Original assignee: 日商大福股份有限公司
Priority date: 2019-07-03
Filing date: 2020-06-03
Publication date: 2024-08-11

Abstract

檢查系統具備：檢測部，檢測物品搬送車所具備之可升降自如之升降部的傾斜狀態，升降部具有基準面，檢測部具備第1攝像裝置及第2攝像裝置，以升降部位於規定之設定升降位置的狀態下的基準面的位置作為設定基準面位置，第1攝像裝置及第2攝像裝置是設置成：第1攝像裝置的光軸即第1光軸與第2攝像裝置的光軸即第2光軸交叉的交點成為對應設定基準面位置的位置，並且，第1光軸及第2光軸成為沿著基準面的方向，檢測部是依據藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置所拍攝之基準面的圖像，來檢測升降部的傾斜方向及傾斜角度。

Description

檢查系統

本發明是有關於一種具備了對物品搬送車所具備之可升降自如之升降部的傾斜狀態進行檢測之檢測部的檢查系統。

作為這種檢查系統，例如，已知有日本專利特開2017-095261號公報所記載之物。以下，在先前技術的說明中，括號中的符號是先前技術文獻中的符號。日本專利特開2017-095261號公報所記載之檢查系統是構成為：在檢查用治具(Wb)具備角度感測器(8)，並使該檢查用治具(Wb)支撐於升降部(升降體22)，從而藉由角度感測器(8)來檢測升降部(22)的傾斜方向及傾斜角度。

然而，日本專利特開2017-095261號公報之檢查系統中，由於是使檢查用治具(Wb)支撐於升降部(22)的構成，因此在檢查複數個物品搬送車(1)之升降部(22)的傾斜時，必須使檢查用治具(Wb)在複數個物品搬送車(1)之間移動。亦即，在檢測各物品搬送車(1)中之升降部(22)的傾斜狀態時，必須在使檢查用治具(Wb)支撐於升降部(22)後再檢測升降部(22)的傾斜方向及傾斜角度，然後將檢查用治具(Wb)從升降部(22)卸下。因此，有著難以有效率地進行升降部(22)的傾斜狀態之檢查的情況。

於是，期待實現一種可以有效率地進行升降部的傾斜狀態之檢查的檢查系統。

有鑑於上述內容，檢查系統的特徴構成在於下述的點：具備：檢測部，檢測物品搬送車所具備之可升降自如之升降部的傾斜狀態，前述升降部具有基準面，前述檢測部具備第1攝像裝置及第2攝像裝置，以前述升降部位於規定之設定升降位置的狀態下的前述基準面的位置作為設定基準面位置，前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置是設置成：前述第1攝像裝置的光軸即第1光軸與前述第2攝像裝置的光軸即第2光軸交叉的交點成為對應前述設定基準面位置的位置，並且，前述第1光軸及前述第2光軸成為沿著前述基準面的方向，前述檢測部是依據藉由前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置所拍攝之前述基準面的圖像，來檢測前述升降部的傾斜方向及傾斜角度。

根據該特徴構成，由於是依據藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置從交叉的2個方向拍攝之升降部的基準面的圖像，來檢測升降部的傾斜狀態，因此可以適當地檢測升降部的傾斜方向及傾斜角度。又，根據該特徴構成，由於是使物品搬送車之升降部移動至規定之設定升降位置，且在該狀態下，藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置拍攝升降部，從而可以檢測升降部的傾斜狀態，因此不須使檢測用治具等支撐於升降部。因此，即便在檢查複數個物品搬送車之升降部的傾斜狀態的情況下，也不須使檢查用治具等在複數個物品搬送車之間移動，可以有效率地進行升降部的傾斜狀態之檢查。

用以實施發明之形態

1.實施形態針對具備了檢查系統的物品搬送設備的實施形態，依據圖式來進行說明。如圖1所示地，在物品搬送設備設置有：物品搬送車1，在天花板附近沿著行走路徑L行走，來搬送作為物品之容器W(參照圖2)；處理裝置2，對容置於容器W之基板進行處理；支撐台3，作為搬送對象位置處，且以鄰接於該處理裝置2的狀態設置於地面上；及檢查系統4。另外，本實施形態中，將容置半導體基板的FOUP(前開式晶圓傳送盒，Front Opening Unified Pod)作為容器W(物品)。

以下，如圖2及圖3所示地，將沿著行走路徑L設置的軌道5延伸的延伸方向X之其中一側稱作延伸方向第1側X1，並將其相反側稱作延伸方向第2側X2。又，如圖3所示地，將沿著上下方向Z之上下方向視角下相對於延伸方向X正交的方向稱作寬度方向Y，且將寬度方向Y之其中一側稱作寬度方向第1側Y1，並將其相反側稱作寬度方向第2側Y2。另外，本例中，物品搬送車1是從延伸方向第2側X2朝向延伸方向第1側X1行走在單一方向上。

如圖2及圖3所示地，物品搬送車1具備：行走部6，在軌道5上沿著該軌道5行走；升降部7，以懸吊的狀態支撐容器W；及升降裝置8，使升降部7在上下方向Z上移動。像這樣，物品搬送車1具備可升降自如之升降部7。

行走部6具備：第1行走單元6A；及第2行走單元6B，相對於該第1行走單元6A位於延伸方向第2側X2。如圖3所示地，第1行走單元6A具備：一對車輪11，在軌道5上轉動；及行走用馬達12，使一對車輪11旋轉。又，第2行走單元6B與第1行走單元6A同樣地具備一對車輪11及行走用馬達12。

如圖2所示地，升降裝置8具備：捲繞體14；捲取帶15，捲繞於捲繞體14並在前端部連結有升降部7；及升降用馬達16，使捲繞體14旋轉驅動。升降裝置8是構成為：藉由升降用馬達16的驅動，使捲繞體14朝正向旋轉來送出捲取帶15，從而使升降部7下降，並使捲繞體14朝反向旋轉來捲取捲取帶15，從而使升降部7上升。

升降部7具備：一對把持爪18，沿著水平方向在互相接近或遠離的方向上移動自如；把持用馬達19，使一對把持爪18各自在互相接近或遠離的方向上移動；及殼體20，容置把持用馬達19。升降部7是構成為：藉由把持用馬達19的驅動，使一對把持爪18在互相接近或遠離的方向上移動，從而將狀態轉移到：藉由一對把持爪18把持容器W的狀態、與將一對把持爪18所進行之對容器W的把持解除的狀態。並且，如圖3所示地，升降部7具有基準面F。本實施形態中，殼體20是形成為長方體形狀，並以該殼體20之朝向上方側的面(上表面)作為基準面F。

其次，針對檢查系統4來進行說明。當藉由檢查系統4來檢測物品搬送車1之升降部7的傾斜狀態時，如圖3所示地，檢查系統4是在物品搬送車1之行走部6停止於規定之設定行走位置，且升降部7之升降方向的位置位於規定之設定升降位置的狀態下，檢測升降部7的傾斜狀態。像這樣，以物品搬送車1位於規定之設定行走位置，並且，升降部7位於規定之設定升降位置的狀態下的基準面F的位置作為設定基準面位置V。在升降部7並未朝延伸方向X及寬度方向Y之任一方向傾斜的正常狀態下，位於設定基準面位置V的基準面F是成為水平姿勢。

如圖3及圖4所示地，檢查系統4具備：檢測部22，檢測物品搬送車1所具備之升降部7的傾斜狀態。本實施形態中，檢測部22具備：第1攝像裝置23、第2攝像裝置24、第1投光裝置25、第2投光裝置26、及控制部27(參照圖4)。

第1攝像裝置23及第2攝像裝置24是設置成：第1攝像裝置23的光軸即第1光軸L1與第2攝像裝置24的光軸即第2光軸L2交叉的交點P成為對應設定基準面位置V的位置，並且，第1光軸L1及第2光軸L2成為沿著基準面F的方向。此處，對應設定基準面位置V的位置是設定成：即便在偏離理想之設定基準面位置V(本實施形態中，是基準面F位於事先設定之高度且成為水平姿勢的狀態下的基準面F的位置)的情況下，仍落在攝像裝置之攝像範圍內。詳細來說，是考慮到假定之升降部7的傾斜狀態，而相對於位於理想之設定基準面位置V的基準面F，設定在規定之距離範圍內(例如，±15cm以下的範圍內)的位置。本實施形態中，是設定成交點P與理想之設定基準面位置V的基準面F一致。另外，此處的基準面F的位置是基準面F中之成為基準的位置(點)，例如可以設為基準面F的重心位置。亦即，本實施形態中，是設定成第1光軸L1與第2光軸L2的交點P與基準面F的基準位置(例如重心位置)一致。又，沿著基準面F的方向是相對於沿著理想之設定基準面位置V的基準面F的方向，設定在規定之角度範圍內(例如，±10°以下)的角度。本實施形態中，是設定在水平方向，以和理想之設定基準面位置V的基準面F成為相同的角度。

本實施形態中，第1攝像裝置23是設置成：相對於設定基準面位置V配置於寬度方向第2側Y2，並面向寬度方向第1側Y1拍攝。又，第2攝像裝置24是設置成：相對於設定基準面位置V配置於延伸方向第2側X2，並面向延伸方向第1側X1拍攝。並且，第1攝像裝置23的第1光軸L1是配置成沿著寬度方向Y。又，第2攝像裝置24的第2光軸L2是配置成沿著延伸方向X。此外，本實施形態中，第1攝像裝置23及第2攝像裝置24是設置成第1光軸L1與第2光軸L2正交。

又，本實施形態中，第1投光裝置25是設置成從與第1攝像裝置23相對向之側朝向交點P投光。本實施形態中，第1投光裝置25是設置成：相對於設定基準面位置V配置於寬度方向第1側Y1，並朝向寬度方向第2側Y2投光。並且，如圖6及圖8所示地，第1投光裝置25是以如下方式來投光：在基準面F位於設定基準面位置V的狀態下，基準面F位於第1投光裝置25的投光範圍即第1投光範圍A1之上下方向Z的寬度內。若再加以說明，如圖6所示地，在基準面F位於設定基準面位置V，並且，基準面F隨著朝向寬度方向第1側Y1(圖6中之紙面後側)而朝向下方傾斜的狀態下，基準面F中之寬度方向第2側Y2(圖6中之紙面前側)之邊緣E會作為光與影子的交界而被第1攝像裝置23拍攝，前述光是從第1投光裝置25投光之光，前述影子是藉由升降部7遮蔽該光而形成之影子。又，如圖8所示地，在基準面F位於設定基準面位置V，並且，基準面F隨著朝向寬度方向第2側Y2(圖8中之紙面前側)而朝向下方傾斜的狀態下，基準面F中之寬度方向第1側Y1(圖8中之紙面後側)之邊緣E會作為光與影子的交界而被第1攝像裝置23拍攝，前述光是從第1投光裝置25投光之光，前述影子是藉由升降部7遮蔽該光而形成之影子。

第2投光裝置26是設置成從與第2攝像裝置24相對向之側朝向交點P投光。本實施形態中，第2投光裝置26是設置成：相對於設定基準面位置V配置於延伸方向第1側X1，並朝向延伸方向第2側X2投光。並且，第2投光裝置26是以如下方式來投光：在基準面F位於設定基準面位置V的狀態下，基準面F位於第2投光裝置26的投光範圍即第2投光範圍A2之上下方向Z的寬度內。若再加以說明，如圖7所示地，在基準面F位於設定基準面位置V，並且，基準面F隨著朝向延伸方向第1側X1(圖7中之紙面後側)而朝向下方傾斜的狀態下，基準面F中之延伸方向第2側X2(圖7中之紙面前側)之邊緣E會作為光與影子的交界而被第2攝像裝置24拍攝，前述光是從第2投光裝置26投光之光，前述影子是藉由升降部7遮蔽該光而形成之影子。又，如圖9所示地，在基準面F位於設定基準面位置V，並且，基準面F隨著朝向延伸方向第2側X2(圖9中之紙面前側)而朝向下方傾斜的狀態下，基準面F中之延伸方向第1側X1(圖9中之紙面後側)之邊緣E會作為光與影子的交界而被第2攝像裝置24拍攝，前述光是從第2投光裝置26投光之光，前述影子是藉由升降部7遮蔽該光而形成之影子。

控制部27是執行第1攝像控制、第2攝像控制、及檢測控制。第1攝像控制中，控制部27控制第1攝像裝置23，以藉由第1攝像裝置23拍攝基準面F。又，本實施形態中，控制部27在第1攝像控制中，還控制第1投光裝置25，以藉由第1投光裝置25朝向基準面F照射光。第2攝像控制中，控制部27控制第2攝像裝置24，以藉由第2攝像裝置24拍攝基準面F。又，本實施形態中，控制部27在第2攝像控制中，還控制第2投光裝置26，以藉由第2投光裝置26朝向基準面F照射光。另外，本實施形態中，控制部27是同時進行第1攝像控制與第2攝像控制。藉此，可以謀求縮短檢查系統4所進行之檢查的所需時間。檢測控制中，控制部27是依據藉由第1攝像裝置23及第2攝像裝置24所拍攝之基準面F的圖像，來檢測升降部7的傾斜方向及傾斜角度。

本實施形態中，在檢測控制中，控制部27是依據藉由第1攝像裝置23所拍攝之第1圖像所包含的基準面F之邊緣E的傾斜，來檢測延伸方向X(相當於與第1光軸L1正交的第1方向)上之升降部7的傾斜角度θ1及傾斜方向。若再加以說明，檢測控制中，控制部27是依據第1圖像所包含的邊緣E的傾斜，來檢測延伸方向X上之相對於水平的傾斜角度θ1及傾斜方向。此處，所謂傾斜方向是指傾向延伸方向X之哪一側而傾斜，具體而言，是指延伸方向第1側X1在上下方向Z上是比延伸方向第2側X2更上方或更下方。另外，亦可構成為將傾斜角度θ1設為具有正負方向的角度資訊，從而在傾斜角度θ1的資訊中包含傾斜方向的資訊。

又，在檢測控制中，控制部27是依據藉由第2攝像裝置24所拍攝之第2圖像所包含的基準面F之邊緣E的傾斜，來檢測寬度方向Y(相當於與第2光軸L2正交的第2方向)上之升降部7的傾斜角度θ2及傾斜方向。若再加以說明，檢測控制中，控制部27是依據第2圖像所包含的邊緣E的傾斜，來檢測寬度方向Y上之相對於水平的傾斜角度θ2及傾斜方向。此處，所謂傾斜方向是指傾向寬度方向Y之哪一側而傾斜，具體而言，是指寬度方向第1側Y1在上下方向Z上是比寬度方向第2側Y2更上方或更下方。另外，亦可構成為將傾斜角度θ2設為具有正負方向的角度資訊，從而在傾斜角度θ2的資訊中包含傾斜方向的資訊。

並且，在檢測控制中，控制部27是依據延伸方向X上之相對於水平的傾斜角度θ1及傾斜方向、及寬度方向Y上之相對於水平的傾斜角度θ2及傾斜方向，來檢測升降部7的三維傾斜方向及傾斜角度。此處，控制部27是依據延伸方向X上之傾斜角度θ1及傾斜方向、寬度方向Y上之傾斜角度θ2及傾斜方向、及延伸方向X(第1方向)與寬度方向Y(第2方向)的關係(相對角度，此處為90°)，藉由運算來求出升降部7的三維傾斜方向及傾斜角度。

接著，依據圖5所示之檢查控制的流程圖，針對控制部27的控制來進行說明。另外，物品搬送車1或控制物品搬送車1的控制裝置是構成為：在物品搬送車1之行走部6停止於規定之設定行走位置，且物品搬送車1之升降部7停止於規定之設定升降位置的狀態下，朝向檢查系統4發送準備完成訊號。

控制部27在接收到準備完成訊號時(S1：Yes)，執行第1攝像控制來取得第1圖像，並且執行第2攝像控制來取得第2圖像(S2)。另外，控制部27在接收到準備完成訊號之前(S1：No)，是維持待機。並且，在第1攝像控制及第2攝像控制的執行後，執行檢測控制(S3)。如上述地，檢測控制中，是依據第1圖像來檢測延伸方向X上之基準面F的傾斜角度θ1及傾斜方向，並依據第2圖像來檢測寬度方向Y上之基準面F的傾斜角度θ2及傾斜方向，然後依據該等來檢測升降部7的傾斜方向及傾斜角度(S3)。另外，控制部27在第1攝像控制及第2攝像控制結束後，會朝向物品搬送車1或控制物品搬送車1的控制裝置發送顯示檢查完成的檢查完成訊號。藉此，即可再度開始升降部7的升降及物品搬送車1的行走。

2.其他實施形態接著，針對此檢查系統4的其他實施形態來進行說明。

(1)上述之實施形態中，是以基準面F為殼體20之上表面的構成為例子來進行了說明。但是，並非限定於這樣的構成。基準面F可以設為升降部7中的殼體20之上表面以外的面，例如，以殼體20之下表面或側面作為基準面F亦可，又，以把持爪18之下表面作為基準面F亦可。惟，不論哪種情況，作為基準面F的面宜為平面或是平面狀的面較佳。

(2)上述之實施形態中，是以檢測部22依據基準面F之邊緣E的傾斜來檢測傾斜角度的構成為例子來進行了說明。但是，並非限定於這樣的構成。例如，亦可作成為以下的構成：在基準面F設置角度檢測用的記號或圖形，且檢測部22依據藉由第1攝像裝置23及第2攝像裝置24所拍攝之基準面F上的記號或圖形的位置及角度來檢測傾斜角度及傾斜方向。

(3)上述之實施形態中，是以檢查系統4具備第1投光裝置25與第2投光裝置26的構成為例子來進行了說明。但是，並非限定於這樣的構成。檢查系統4所具備之投光裝置的數量亦可適當變更。例如，亦可設置第3投光裝置28，以從與基準面F相對向之側投光。例如，如圖10所示地，以殼體20之下表面作為基準面F，並設置第3投光裝置28，以從與該基準面F相對向的下方側投光亦可。或者是，以殼體20的1個側面作為基準面F，並設置第3投光裝置28，以從與該基準面F相對向之側邊側投光亦可。又，亦可作成為檢查系統4不具備該等投光裝置的構成。

(4)上述之實施形態中，是以將第1攝像裝置23及第2攝像裝置24設置成第1光軸L1與第2光軸L2正交的構成為例子來進行了說明。但是，並非限定於這樣的構成。例如，亦可將第1攝像裝置23及第2攝像裝置24設置成第1光軸L1與第2光軸L2以45°或120°等90°以外的角度來交叉。

(5)上述之實施形態中，是以第1光軸L1與第2光軸L2交叉的交點P與位於理想之設定基準面位置V的基準面F的基準位置一致的構成為例子來進行了說明。但是，並非限定於這樣的構成。交點P只要是位於對應設定基準面位置V的位置即可，例如，亦可作成為以下的構成：在相對於第1光軸L1及第2光軸L2正交的方向(上述之實施形態中為上下方向Z)上，交點P相對於位於理想之設定基準面位置V的基準面F，位於僅隔開了設定距離的位置上，前述設定距離是設定在上述之規定之距離範圍內。又，上述之實施形態中，是將基準面F的基準位置設為基準面F的重心位置，但並非限定於此，例如，將基準面F的基準位置設定在基準面F之角落部等基準面F中之其他位置亦可。

(6)上述之實施形態中，是以第1光軸L1及第2光軸L2兩者沿著水平面的方向的構成為例子來進行了說明。這是因為基準面F是在正常狀態下沿著水平面的面的緣故。但是，並非限定於這樣的構成。例如，第1光軸L1及第2光軸L2之其中任一者沿著上下方向Z的構成亦可。當基準面F是在正常狀態下沿著上下方向Z的面時，宜作成為這樣的構成較佳。或者是，第1光軸L1及第2光軸L2之其中一者或兩者相對於水平面傾斜的構成亦可。第1光軸L1及第2光軸L2的方向宜因應基準面F的方向來設定較佳。

(7)另外，上述之各實施形態所揭示的構成，只要沒有發生矛盾，也可與其他實施形態所揭示的構成組合而適用。關於其他構成，在本說明書中所揭示的實施形態在各方面均只不過是例示。從而，在不脫離本揭示的主旨之範圍內，可適當地進行各種改變。

3.上述實施形態之概要以下，針對在上述已說明之檢查系統的概要來進行說明。

檢查系統具備：檢測部，檢測物品搬送車所具備之可升降自如之升降部的傾斜狀態，前述升降部具有基準面，前述檢測部具備第1攝像裝置及第2攝像裝置，以前述升降部位於規定之設定升降位置的狀態下的前述基準面的位置作為設定基準面位置，前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置是設置成：前述第1攝像裝置的光軸即第1光軸與前述第2攝像裝置的光軸即第2光軸交叉的交點成為對應前述設定基準面位置的位置，並且，前述第1光軸及前述第2光軸成為沿著前述基準面的方向，前述檢測部是依據藉由前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置所拍攝之前述基準面的圖像，來檢測前述升降部的傾斜方向及傾斜角度。

根據本構成，由於是依據藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置從交叉的2個方向拍攝之升降部的基準面的圖像，來檢測升降部的傾斜狀態，因此可以適當地檢測升降部的傾斜方向及傾斜角度。又，根據該特徴構成，由於是使物品搬送車之升降部移動至規定之設定升降位置，且在該狀態下，藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置拍攝升降部，從而可以檢測升降部的傾斜狀態，因此不須使檢測用治具等支撐於升降部。因此，即便在檢查複數個物品搬送車之升降部的傾斜狀態的情況下，也不須使檢查用治具等在複數個物品搬送車之間移動，可以有效率地進行升降部的傾斜狀態之檢查。

此處，前述檢測部宜依據藉由前述第1攝像裝置所拍攝之第1圖像所包含的前述基準面之邊緣的傾斜，來檢測與前述第1光軸正交的方向即第1方向上之前述升降部的傾斜角度，並依據藉由前述第2攝像裝置所拍攝之第2圖像所包含的前述基準面之邊緣的傾斜，來檢測與前述第2光軸正交的方向即第2方向上之前述升降部的傾斜角度。

根據本構成，可以依據藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置所分別拍攝之基準面之邊緣的傾斜，來檢測第1方向上之升降部的傾斜角度及第2方向上之升降部的傾斜角度兩者。因此，可以更加適當地檢測升降體的傾斜方向及傾斜角度。

又，宜更具備：第1投光裝置，從與前述第1攝像裝置相對向之側朝向前述交點投光；及第2投光裝置，從與前述第2攝像裝置相對向之側朝向前述交點投光。

根據本構成，從第1攝像裝置觀看，由於基準面的周圍是藉由第1投光裝置而被照亮，因此可以藉由第1攝像裝置拍攝出容易判別基準面與除此以外之交界的圖像。又，從第2攝像裝置觀看，由於基準面的周圍是藉由第2投光裝置而被照亮，因此可以藉由第2攝像裝置拍攝出容易判別基準面與除此以外之交界的圖像。因此，可以更加適當地檢測升降體的傾斜方向及傾斜角度。

又，宜更備：第3投光裝置，從與前述基準面相對向之側投光。

根據本構成，由於基準面是藉由第3投光裝置而從與該基準面相對向之側被照亮，因此可以藉由第1攝像裝置及第2攝像裝置拍攝出容易判別基準面與除此以外之交界的圖像。因此，可以更加適當地檢測升降體的傾斜方向及傾斜角度。

又，前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置宜設置成前述第1光軸與前述第2光軸正交。

根據本構成，由於依據第1攝像裝置所拍攝之圖像來檢測升降部的傾斜角度的方向、與依據第2攝像裝置所拍攝之圖像來檢測升降部的傾斜角度的方向正交，因此可以容易地將依據該等圖像求出升降部的傾斜方向及傾斜角度時的運算處理簡略化。產業上之可利用性

本揭示之技術可以利用於一種具備了對物品搬送車所具備之可升降自如之升降部的傾斜狀態進行檢測之檢測部的檢查系統。

1:物品搬送車 2:處理裝置 3:支撐台 4:檢查系統 5:軌道 6:行走部 6A:第1行走單元 6B:第2行走單元 7:升降部 8:升降裝置 11:車輪 12:行走用馬達 14:捲繞體 15:捲取帶 16:升降用馬達 18:把持爪 19:把持用馬達 20:殼體 22:檢測部 23:第1攝像裝置 24:第2攝像裝置 25:第1投光裝置 26:第2投光裝置 27:控制部 28:第3投光裝置 A1:第1投光範圍 A2:第2投光範圍 E:邊緣 F:基準面 L:行走路徑 L1:第1光軸 L2:第2光軸 P:交點 V:設定基準面位置 W:容器 X:延伸方向(第1方向) X1:延伸方向第1側 X2:延伸方向第2側 Y:寬度方向(第2方向) Y1:寬度方向第1側 Y2:寬度方向第2側 Z:上下方向 θ1,θ2:傾斜角度

圖1是物品搬送設備的平面圖。圖2是物品搬送車及處理裝置的側面圖。圖3是物品搬送車及檢查系統的立體圖。圖4是檢查系統的控制方塊圖。圖5是檢查控制的流程圖。圖6是顯示了從寬度方向第2側觀看之設定基準面位置的基準面的圖。圖7是顯示了從延伸方向第2側觀看之設定基準面位置的基準面的圖。圖8是顯示了從寬度方向第2側觀看之設定基準面位置的基準面的圖。圖9是顯示了從延伸方向第2側觀看之設定基準面位置的基準面的圖。圖10是其他實施形態之檢查系統的側面圖。

1:物品搬送車

4:檢查系統

5:軌道

6:行走部

6A:第1行走單元

6B:第2行走單元

7:升降部

11:車輪

12:行走用馬達

15:捲取帶

20:殼體

22:檢測部

23:第1攝像裝置

24:第2攝像裝置

25:第1投光裝置

26:第2投光裝置

F:基準面

L:行走路徑

L1:第1光軸

L2:第2光軸

P:交點

V:設定基準面位置

X:延伸方向(第1方向)

X1:延伸方向第1側

X2:延伸方向第2側

Y:寬度方向(第2方向)

Y1:寬度方向第1側

Y2:寬度方向第2側

Z:上下方向

Claims

一種檢查系統，具備以下：檢測部，檢測物品搬送車所具備之可升降自如之升降部的傾斜狀態，前述檢查系統具有以下特徵：前述升降部具有基準面，前述檢測部具備第1攝像裝置及第2攝像裝置，以前述升降部位於規定之設定升降位置的狀態下的前述基準面的位置作為設定基準面位置，前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置是設置成：前述第1攝像裝置的光軸即第1光軸與前述第2攝像裝置的光軸即第2光軸交叉的交點成為對應前述設定基準面位置的位置，並且，前述第1光軸及前述第2光軸成為沿著前述基準面的方向，前述檢測部是依據藉由前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置所拍攝之前述基準面的圖像，來檢測前述升降部的傾斜方向及傾斜角度。
如請求項1之檢查系統，其中前述檢測部是依據藉由前述第1攝像裝置所拍攝之第1圖像所包含的前述基準面之邊緣的傾斜，來檢測與前述第1光軸正交的方向即第1方向上之前述升降部的傾斜角度，並依據藉由前述第2攝像裝置所拍攝之第2圖像所包含的前述基準面之邊緣的傾斜，來檢測與前述第2光軸正交的方向即第2方向上之前述升降部的傾斜角度。
如請求項1或2之檢查系統，其更具備：第1投光裝置，從與前述第1攝像裝置相對向之側朝向前述交點投光；及第2投光裝置，從與前述第2攝像裝置相對向之側朝向前述交點投光。
如請求項1或2之檢查系統，其更具備：第3投光裝置，從與前述基準面相對向之側投光。
如請求項1或2之檢查系統，其中前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置是設置成前述第1光軸與前述第2光軸正交。
如請求項3之檢查系統，其中前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置是設置成前述第1光軸與前述第2光軸正交。
如請求項4之檢查系統，其中前述第1攝像裝置及前述第2攝像裝置是設置成前述第1光軸與前述第2光軸正交。