TWI638595B - Position detecting device, position detecting method, program product, and manufacturing method of substrate - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於提供在搬送部中在無停止器下使基板停止時可適當地檢測基板之停止位置的技術。本技術之位置檢測裝置包含有拍攝部、搬送部、及控制部。前述搬送部將基板沿著搬送方向搬送，並使所搬送之前述基板停止。前述控制部以前述拍攝部拍攝已停止之前述基板之在搬送方向的邊緣，依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置。

Description

位置檢測裝置、位置檢測方法、程式產品及基板的製造方法 發明領域

本技術是關於檢測基板之停止位置之位置檢測裝置、位置檢測方法、程式產品及基板的製造方法。

發明背景

迄今，用以製造基板之各種裝置排成一列而構成的安裝系統已廣為人知。用於安裝系統之裝置已知有例如將膏狀之焊料印刷於基板上之網版印刷裝置、檢測焊料之印刷狀態之印刷檢查裝置、將電子零件安裝於印刷了焊料之基板上之安裝裝置、檢查電子零件之安裝狀態之安裝檢查裝置等。

在該等各種裝置中，首先，需搬送從上游側裝置交遞之基板而使其停止於停止目標位置。因此，該等裝置一般具有搬送基板而使其停止於停止目標位置之搬送部。

搬送部具有例如從側邊引導基板之一對導件、分別設於一對導件而以其驅動搬送基板之輸送帶。又，為了使以輸送帶所搬送之基板正確地停止在停止目標位置，有於搬送部設以引動器驅動之停止器的情形(例如參照專利 文獻1)。

先行技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本專利公開公報2001-144494號(段落[0007]、圖12)

發明概要

然而，當以停止器使基板停止時，因移動之基板接觸停止器時之撞擊，有基板破損之虞，又，於基板上安裝有電子零件時，亦有該電子零件之位置偏離之虞。

是故，考慮在無停止器下使基板停止。然而，此時，由於有基板之位置對停止目標位置偏離之虞，故需要可檢測基板之停止位置之技術。

鑑於以上之情況，本技術之目的在於提供在搬送部中在無停止器下使基板停止時可適當地檢測基板之停止位置的技術。

本技術之位置檢測裝置包含有拍攝部、搬送部、及控制部。

前述搬送部將基板沿著搬送方向搬送，並使所搬送之前述基板停止。

前述控制部以前述拍攝部拍攝已停止之前述基板之搬送方向的邊緣，依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣 的位置，檢測前述基板之停止位置。

在此位置檢測裝置中，可依據以拍攝部所拍攝之在圖像內之基板之邊緣的位置，檢測基板之停止位置。因而，即使如在搬送部中在無停止器下使基板停止時，亦可適當地檢測基板之停止位置。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可在最初預測為前述基板之邊緣停止之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部，嘗試前述邊緣之拍攝。

藉此，可適當地拍攝基板之邊緣。

上述位置檢測裝置亦可更包含有移動機構，該移動機構使前述拍攝部或前述基板沿著搬送方向移動，以使前述拍攝部及已停止之前述基板在前述搬送方向之相對位置變化。

當為拍攝部可移動之形態時，移動機構為用以使拍攝部移動之移動機構。另一方面，當為基板可移動之形態時，搬送基板之搬送部亦可具有作為移動機構之功能。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可依據所檢測出之前述基板之停止位置，補正前述邊緣停止預測位置。

藉此，可將邊緣停止預測位置補正為適當之位置。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可依前述每個基板之重量，在不同之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部拍攝前述邊緣。

藉此，基板之重量(種類)不同時，亦可在邊緣停止預測位置，以拍攝部適當地拍攝基板之邊緣。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可判定在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像是否為包含前述邊緣之圖像，當前述圖像非包含前述邊緣之圖像時，以前述移動機構使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化，並執行再次以前述拍攝部嘗試前述邊緣之拍攝之處理、即再試處理。

藉執行此種再試處理，諸如在邊緣停止預測位置拍攝之圖像內，未檢測出基板之邊緣時，亦可適當地檢測基板之邊緣而檢測基板之停止位置。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可於前述再試處理之際，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向之方向。

藉此，在再試處理中，可判定應使拍攝部或基板接著於哪個方向移動。因而，可使至檢測出基板之邊緣為止之速度提高。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可於前述再試處理之際，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定前述拍攝部是否存在於對應於前述基板之位置，按判定結果，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向之方向。

藉此，可適當地判定應使拍攝部或基板接著於哪 個方向移動。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可反覆進行前述再試處理至檢測出前述邊緣為止。

在上述位置檢測裝置中，作為前述拍攝部之拍攝之對象的邊緣亦可為在前述搬送方向之前端側的邊緣，前述控制部於判定前述拍攝部存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向的反向移動。

藉此，可以拍攝部適當地拍攝基板之前端側之邊緣。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可於判定前述拍攝部不存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向之反向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向移動。

藉此，可以拍攝部適當地拍攝基板之前端側之邊緣。

在上述位置檢測裝置中，作為前述拍攝部之拍攝之對象的邊緣亦可為前述搬送方向之後端側之邊緣，前述控制部於判定前述拍攝部存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向之反向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向移動。

藉此，可以拍攝部適當地拍攝基板之後端側之邊緣。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可於判定 前述拍攝部不存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向之反向移動。

藉此，可以拍攝部適當地拍攝基板之後端側之邊緣。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可於前述再試處理失敗時，輸出以手動使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化而用以將前述拍攝部之位置與前述邊緣之位置對位的指導畫面之顯示信號。

藉此，操作員可操作指導畫面，藉將拍攝部之位置與基板之邊緣之位置對準，對位置檢測裝置指導基板之位置。

上述位置檢測裝置更包含有記憶前述基板之停止目標位置之記憶部。

此時，前述控制部亦可切換第1模式及第2模式，該第1模式是以前述拍攝部拍攝前述邊緣，依據前述邊緣之位置，檢測前述基板之停止位置，該第2模式是不執行以前述拍攝部拍攝前述邊緣並依據前述邊緣之位置來檢測前述基板之停止位置的處理，而將記憶於前述記憶部之前述基板之停止目標位置作為前述基板之停止位置。

在第2模式中，由於省略基板之邊緣之拍攝與依據邊緣之位置之基板停止位置的檢測，故處理可加快。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可在前述第1模式中，判定依據前述邊緣之位置檢測之各基板之停止 位置的偏差是否在預定閾值以下，當前述偏差在前述預定閾值以下時，將前述第1模式切換為第2模式。

藉此，可在適當之時機將第1模式切換為第2模式。

在上述位置檢測裝置中，前述控制部亦可依據在前述第1模式中所檢測出之前述基板之停止位置，補正在前述第2模式使用且記憶於前述記憶部之前述基板的停止目標位置。

藉此，可適當地補正在前述第2模式使用之基板之停止目標位置。

本技術之位置檢測方法包含將基板沿著搬送方向搬送之步驟。

並使所搬送之前述基板停止。

以拍攝部拍攝已停止之前述基板在搬送方向的邊緣。

依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置。

本技術之程式產品藉由電腦，載入程式，並使位置檢測裝置執行下列程式命令：(1)將基板沿著搬送方向搬送；(2)使所搬送之前述基板停止；(3)以拍攝部拍攝已停止之前述基板在搬送方向之邊緣；(4)依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置。

本技術之基板的製造方法包含將基板沿著搬送方向搬送之步驟。

並使所搬送之前述基板停止。

以拍攝部拍攝已停止之前述基板在搬送方向之邊緣。

依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置。

對存在於所檢測出之停止位置之前述基板，執行製造基板所需之處理。

基板之製造所需之處理是指例如將焊料印刷於基板上之處理、檢查印刷了焊料之基板之處理、將電子零件安裝在基板上之處理、檢查安裝有電子零件之基板之處理等。

如以上，根據本技術，可提供在搬送部中如無停止器下使基板停止時可適當地檢測基板之停止位置的技術。

1‧‧‧基板

2‧‧‧邊緣

2a‧‧‧前端側之邊緣

2b‧‧‧後端側之邊緣

3‧‧‧調正標示

5‧‧‧控制部

6‧‧‧記憶部

7‧‧‧顯示部

8‧‧‧輸入部

9‧‧‧通訊部

10‧‧‧搬送部

11‧‧‧導件

12‧‧‧腳部

13‧‧‧輸送帶

15‧‧‧警報畫面

15a‧‧‧「指導」鈕

15b‧‧‧「關閉」鈕

16‧‧‧指導畫面

16a‧‧‧圖像顯示區域

16b‧‧‧對位用線

16c‧‧‧「放大」鈕

16d‧‧‧「縮小」鈕

16e‧‧‧「等倍」鈕

16f‧‧‧「全畫面」鈕

16g‧‧‧4方向鈕

16h‧‧‧「左方向」鈕

16i‧‧‧「右方向」鈕

16j‧‧‧「上方向」鈕

16k‧‧‧「下方向」鈕

16l‧‧‧「高速」鈕

16m‧‧‧「低速」鈕

16n‧‧‧「OK」鈕

16o‧‧‧「取消」鈕

20‧‧‧支承部

21‧‧‧支承板

22‧‧‧支撐銷

23‧‧‧板升降機構

30‧‧‧拍攝單元

31‧‧‧拍攝部

31a‧‧‧拍攝範圍

32‧‧‧照明部

32a‧‧‧圓頂構件

32b‧‧‧照明

40‧‧‧拍攝單元移動機構

51‧‧‧搬入感測器

52‧‧‧減速感測器

53‧‧‧停止感測器

100‧‧‧安裝系統

101‧‧‧網版印刷裝置

102‧‧‧檢查裝置

102a‧‧‧印刷檢查裝置

102b‧‧‧安裝檢查裝置

102c‧‧‧最後檢查裝置

103‧‧‧安裝裝置

104‧‧‧迴焊爐

105‧‧‧洗淨及乾燥裝置

106‧‧‧控制裝置

d‧‧‧移動距離

ST101-ST141‧‧‧步驟

ST201-ST207‧‧‧步驟

ST301-ST317‧‧‧步驟

圖1是顯示用以製造基板之安裝系統之圖。

圖2是顯示適用本技術之位置檢測裝置之檢查裝置的立體圖。

圖3是從基板之搬送方向觀看檢查裝置之圖。

圖4是顯示檢查裝置具有之減速感測器及停止感測器之位置的圖。

圖5是顯示檢查裝置之方塊圖。

圖6是顯示檢查裝置之處理的流程圖。

圖7是顯示檢查裝置之處理的流程圖。

圖8是顯示檢查裝置之處理的流程圖。

圖9是顯示檢查裝置之處理的流程圖。

圖10是顯示配置於邊緣停止預測位置之拍攝部之拍攝範圍與基板之停止位置之關係的圖。

圖11是顯示從邊緣停止預測位置移動拍攝單元時之拍攝部之拍攝範圍與基板之前端側之邊緣之位置關係的圖。

圖12是顯示顯示於顯示部之警報畫面之一例的圖。

圖13是顯示顯示於顯示部之指導畫面之一例的圖。

圖14是顯示另一實施形態之檢查裝置之處理的流程圖。

圖15是顯示在第2模式之處理之流程圖。

圖16是顯示在第2模式之處理之流程圖。

用以實施發明之形態

以下，一面參照圖式，一面說明本技術之實施形態。

第1實施形態

圖1是顯示用以製造基板1之安裝系統100之圖。

如圖1所示，安裝系統100從上游側依據包含有網版印刷裝置101、印刷檢查裝置102a、安裝裝置103、安裝檢查裝置102b、迴焊爐104、洗淨及乾燥裝置105、及最後檢查裝置102c。又，安裝系統100包含有將該等各種裝置統合控制之控制裝置106。安裝系統100具有之各種裝置藉由通訊纜線相互連接成可通訊。

控制裝置106為例如PC(Personal computer：個人 電腦)，具有控制部5、輸入部8及顯示部7等。

網版印刷裝置101具有於對應於印刷圖形之位置形成有開口之網、及將膏狀焊料供至網上之供給部、在網上滑動之橡皮刮。又，網版印刷裝置101具有搬送基板1而使其配置於停止目標位置之搬送部、拍攝分別設於基板1及網之調正標示3之拍攝部、將網版印刷裝置101統合控制之控制部。

網版印刷裝置101使橡皮刮在網上滑動，而對位於網之下側之基板1印刷焊料。然後，網版印刷裝置101將印刷有焊料之基板1交遞至印刷檢查裝置102a。

印刷檢查裝置102a具有搬送印刷了焊料之基板1而使其配置於停止目標位置之搬送部、拍攝印刷了焊料之基板1之拍攝部、依據所拍攝之圖像將基板1二維或三維解析以檢查焊料之印刷狀態的控制部。印刷檢查裝置102a將判斷為印刷狀態良好之基板1交遞至安裝裝置103，將判斷為印刷狀態不良之基板1作廢(或者轉送至再檢查)。

安裝裝置103具有搬送印刷了焊料之基板1而使其配置於停止目標位置之搬送部、拍攝設於基板1上之調整標示3之拍攝部31(一般設於安裝頭)。又，安裝裝置103具有供給電阻、電容器、電感器等各種電子零件之供給部、吸附從供給部供給之電子零件並將之安裝於基板1上之安裝頭、將安裝裝置103統合控制之控制部。安裝裝置103以安裝頭將電子零件安裝於基板1上後，將安裝有電子零件之基板1交遞至安裝檢查裝置102b。

安裝查裝置102b具有搬送安裝有電子零件之基板1而使其配置於停止目標位置之搬送部、拍攝安裝有電子零件之基板1之拍攝部。又，安裝檢查裝置102b具有控制部，該控制部依據所拍攝之圖像，將基板1二維或三維解析，以檢查電子零件之安裝狀態。安裝檢查裝置102b將判斷為安裝狀態良好之基板1交遞至迴焊爐104，將判斷為安裝狀態不良之基板1作廢(或轉送至再檢查)。

迴焊爐104藉將安裝有電子零件之基板1進行迴焊處理，使焊料熔融，而使電子零件與設於基板1之配線藉由焊料連接。然後，迴焊爐104將迴焊處理後之基板1交遞至洗淨及乾燥裝置105。

洗淨及乾燥裝置105將附著於迴焊處理後之基板1之表面之助熔劑等多餘之成份洗淨，並使已洗淨之基板1乾燥。又，洗淨及乾燥裝置105將該基板1交遞至最後檢查裝置102c。

最後檢查裝置102c具有搬送迴焊處理後之基板1而使其配置於停止目標位置之搬送部、拍攝基板1之拍攝部、依據所拍攝之圖像將基板1二維或三維解析以將基板1作最後檢查之控制部。最後檢查裝置102c將在最後檢查中判斷為良品之基板1交遞至收納裝置(圖中未示)，將在最後檢查中判斷為不良之基板1作廢(或者轉送至再檢查)。

本技術之基板1之位置檢測裝置可適用於例如網版印刷裝置101、印刷檢查裝置102a、安裝裝置103、安裝檢查裝置102b、最後檢查裝置102c等。典型為只要位置檢 測裝置為可使基板1停止於停止目標位置並對該基板1執行製造基板1所需之處理的裝置，任何裝置皆可適用。

在此，製造基板1所需之處理是指例如將焊料印刷於基板1上之處理、檢查印刷了焊料之基板1之處理、將電子零件安裝於基板1上之處理、檢查安裝有電子零件之基板1之處理等。

之後，為方便，舉本技術之位置檢測裝置適用於印刷檢查裝置102a、安裝檢查裝置102b、最後檢查裝置102c等檢查裝置102之情形為例來說明。

圖2是顯示適用本技術之位置檢測裝置之檢查裝置102的立體圖。圖3是從基板1之搬送方向觀看檢查裝置102之圖。圖4是顯示檢查裝置102具有之減速感測器52及停止感測器53之位置的圖。圖5是顯示檢查裝置102之方塊圖。

如該等圖所示，檢查裝置102具有沿著搬送方向(X軸方向)搬送基板1並使所搬送之基板1(無停止器下)停止於停止目標位置之搬送部10。又，檢查裝置102具有從下方支撐停止於停止目標位置之基板1之支承部20。再者，檢查裝置102具有具有對基板1照射光之照明部32及拍攝已照射光之基板1之拍攝部31的拍攝單元30、使拍攝單元30於XY方向移動之拍攝單元移動機構40。

又，檢查裝置102具有檢測從配置於檢查裝置102之上游側之裝置交遞之基板1的搬入之搬入感測器51(參照圖5)、檢測以搬送部10搬送之基板1之通過的減速感測器52 及停止感測器53。再者，檢查裝置102具有控制部5、記憶部6、顯示部7、輸入部8及通訊部9。

本技術之位置檢測裝置至少具有拍攝部31、搬送部10及控制部5。

作為檢查裝置102之檢查對象之基板1具有例如平面觀看為矩形之形狀，並有在基板1之搬送方向(X軸方向)之前端側的邊緣2a與後端側之邊緣2b。

又，於基板1上設複數個調正標示3(參照圖2)。在圖2所示之例中，顯示調整標示3設於基板1之對角線上之角部之附近之情形的一例。此外，不限於如圖2所示專用之調正標示3特別設於基板1上之情形，亦可將基板1上之預定圖形(配線圖形等)使用作為調正標示3。

搬送部10具有將基板1從兩側夾緊而將基板1沿著搬送方向引導之2個導件11。各導件11為具有於基板1之搬送方向長之形狀的板狀構件。於各導件11之下側設有將導件11從下方支撐之複數個腳部12。各導件11藉由此腳部12安裝於檢查裝置102之基台(圖中未示)上。

於各導件11之內側之側面分別設可正逆旋轉之輸送帶13。搬送部10藉此輸送帶13之驅動可將基板1搬送至停止目標位置，或將檢查結束之基板1搬出。對搬送部10，不設機械式停止器，而藉輸送帶13之驅動之停止，將基板1停止於停止目標位置(或其附近)。

在圖2及圖4所示之例中，基板1之停止目標位置為導件11之長向之中央附近的位置。此外，在圖2及圖4之 說明中，基板1以從右側搬入且搬出至左側來說明。即，在圖2及圖4中，朝左為搬送基板1之方向。

各導件11形成為上端部朝內側彎折，導件11之上端部於以支承部20將基板1移動至上方時，可將基板1從上方支撐。2個導件11中其中一導件11可於垂直相交於基板1之搬送方向之方向(Y軸方向)移動。藉此，可將配置於停止目標位置之基板1藉2個導件11從兩側夾住固定。如此，可在固定基板1之狀態下，檢查基板1。

在圖所示之例中，顯示搬送部10之數為1個之情形，搬送部10之數亦可為2個以上。此時，各搬送部10於Y軸方向排列而配置。

搬入感測器51設於配置於搬送部10之上游側之搬入輸送機(圖中未示)，檢測從檢查裝置102之上游側交遞之基板1的搬入。搬入感測器51以例如反射型光感測器構成。

減速感測器52及停止感測器53亦與搬入感測器51同樣地以例如反射型光感測器構成。減速感測器52及停止感測器53對其中一者或兩個導件11，配置於對應於基板1通過之高度的高度(參照圖4)。停止感測器53配置於於基板1到達停止目標位置之稍微上游側之位置時可檢測基板1之前端側之邊緣2a的位置。減速感測器52配置於例如與停止感測器53距離100mm左右之上游側的位置。

減速感測器52及停止感測器53於基板1之前端側之邊緣2a通過配置有該等感測器之位置之瞬間，切換「啟 動」及「關閉」。因而，該等感測器52、53可檢測出基板1之前端之邊緣2已通過對應於感測器52、53之位置。

以減速感測器52檢測出基板1之前端側之邊緣2a的通過時，將輸送帶13之驅動控制成將基板1之搬送速度減速。又，以停止感測器53檢測出基板1之前端側之邊緣2a的通過時，將輸送帶13之驅動控制成停止輸送帶13之旋轉。

此外，以停止感測器53檢測基板1之前端側之邊緣2a的通過，即使停止輸送帶13之旋轉，基板1亦不立即停止。亦即，基板1於基板1之行進方向稍微前進後，停止於停止目標位置(或其附近)。由於在本技術中，未設有機械式停止器，故基板1不一定正確地停止於停止目標位置，基板1停止之位置有偏離停止目標位置之可能性。

基板1於行進方向前進之移動距離d(亦即，停止感測器53與基板1之前端側之邊緣2a間的距離d)與基板1之重量(種類)有關。典型為當基板1之重量越重，基板1之移動距離d便越大。此外，由於上述距離d按基板1之重量(種類)而不同，故停止基板1之停止目標位置依每個基板1之重量(種類)而異。

支承部20具有支承板21、直立設置於此支承板21上之複數個支撐銷22、使支承板21升降之板升降鐖構23。

停止基板1後，以板升降機構23將支承部20移動至上方。隨著支承部20之往上方之移動，基板1以支承部20之支撐銷22頂推至上方，藉此，基板1夾在導件11之上端部及支承部20之間，而可將基板1在上下方向定位。

拍攝單元30具有拍攝部31及照明部32。拍攝單元30之照明部32具有於其頂部形成有開口之圓頂形圓頂構件32a、配置於圓頂構件32a之內側之複數個照明32b。照明32b以例如LED(Light Emitting Diode：發光二極體)構成。

拍攝部31在照明部32之圓頂構件32a之上側，固定於設在圓頂構件32a之開口之位置，並配置成其光軸對基板1之檢查面形成垂直。拍攝部31具有CCD感測器(CCD：Charge Coupled Device：電荷耦合元件)或CMOS感測器(CMOS：Complementary Metal Oxide Semiconductor：互補金氧半導體)等拍攝元件、成像透鏡等光學系統。

拍攝部31按控制部5之控制，拍攝停止於停止目標位置(或其附近)之基板1之邊緣2(在本實施形態為中為前端側之邊緣2a)，或拍攝基板1上之調正標示3，抑或拍攝基板1之檢查面。

拍攝部31之拍攝範圍31a為例如35mm×35mm左右。以拍攝部31拍攝基板1之檢查面時，拍攝部31一面以拍攝單元移動機構40於X軸方向及Y軸方向移動，一面將需檢查之基板1上之區域分為數次拍攝。

在圖所示之例中，顯示拍攝單元30之數為1個之情形，拍攝單元30之數亦可為2個以上。

拍攝單元移動機構40使拍攝單元30沿著基板1之搬送方向(X軸方向)及與基板1之搬送方向垂直相交之方向(Y軸方向)移動。此拍攝單元移動機構40具有作為使拍攝部31沿著搬送方向移動之移動機構的功能，以使拍攝部31與 基板1之在搬送方向(X軸方向)之相對位置變化。拍攝單元移動機構40以例如滾珠螺桿驅動機構或齒條齒輪驅動機構等構成。

控制部5以例如CPU(Central Processing Unit：中央處理單元)等構成，將檢查裝置102之各部統合控制。控制部5例如控制拍攝部31，拍攝基板1之在搬送方向之邊緣2，或依據在所拍攝之圖像內之基板1之邊緣2的位置，檢測基板1之停止位置。關於控制部5之處理，之後詳述。

記憶部6具有使用作為控制部5之作業用區域之依電性記憶體、固定記憶有控制部5處理所需之各種資料或程式的非依電性記憶體。上述各種程式亦可從光碟、半導體記憶體等可攜性記錄媒體讀取。

於非依電性記憶體記憶有使基板1之種類、基板1之重量、基板1之停止目標位置、邊緣停止預測位置具關聯性之表。在此，邊緣停止預測位置是指在假定基板1停止於停止目標位置時預測為基板1之邊緣2應停止之位置。在此邊緣停止預測位置，可執行嘗試基板1之邊緣2之拍攝的處理。

如上述，由於停止輸送帶13之驅動後基板1於行進方向前進之移動距離d依每個基板1之重量(種類)而不同，故基板1之停止目標位置、邊緣停止預測位置也依每個基板1之重量(種類)而不同。因而，使基板1之種類、基板1之重量、基板1之停止目標位置與邊緣停止預測位置具關聯性而予以表化。

顯示部7以例如液晶顯示器、EL(Electro Luminescence：電發光)顯示器等構成。輸入部8以鍵盤、滑鼠、觸感測器等構成，輸入來自操作員之各種指示。通訊部9將資訊發送至配置於安裝系統100內之其他裝置，或從其他裝置接收資訊。

動作說明

接著，就檢查裝置102之動作作說明。圖6~圖9是顯示檢查裝置102之處理的流程圖。

參照圖6，藉控制部5使搬入輸送機驅動，開始將從配置於檢查裝置102之上游側之裝置交遞的基板1搬入至檢查裝置102內之動作(步驟101)。接著，控制部5以設於搬入輸送機之搬入感測器51判定是否檢測出基板1之搬入(步驟102)。

當基板1之前端側之邊緣2a通過搬入感測器51之前方時，從搬入感測器51輸出檢測信號。當控制部5接收來自搬入感測器51之檢測信號時(步驟102之是)，便開始搬送部10之輸送帶13之驅動(步驟103)。

接著，控制部5控制拍攝單元移動機構40，使拍攝單元30移動至邊緣停止預測位置(步驟104)。此外，邊緣停止預測位置如上述，依每個基板1之重量(種類)而不同。因而，控制部5從表讀取對應於現下作為檢查對象之基板1之種類的邊緣停止預測位置，使拍攝單元30移動至該邊緣停止預測位置。

此外，作為拍攝對象之邊緣2為前端側邊緣2a及 後端側邊緣2b中哪個邊緣2皆無妨，在本實施形態中，作為拍攝對象之邊緣2以搬送方向之前端側之邊緣2a來說明。

接著，控制部5判定是否以減速感測器52檢測出基板1(步驟105)。當以輸送帶13搬送之基板1之前端側之邊緣2a到達減速感測器52之前方時，從減速感測器52輸出檢測信號。當控制部5接收來自減速感測器52之檢測信號時(步驟105之是)，便使輸送帶13減速(步驟106)。

接著，控制部5判定是否以停止感測器53檢測出基板1(步驟107)。當以輸送帶13搬送之基板1之前端側之邊緣2a到達停止感測器53之前方時，從停止感測器53輸出檢測信號。當控制部5接收來自停止感測器53之檢測信號時(步驟107之是)，便使輸送帶13之驅動停止(步驟108)。

然後，控制部5使支承部20移動至上方，將基板1在上下方向定位後，藉使其中一導件11於Y軸方向移動，而以1對導件11將基板1從兩側夾住，固定基板1(步驟109)。

之後，控制部5使移動至邊緣停止預測位置之拍攝單元30之照明32b亮燈，以拍攝部31嘗試基板1之前端側之邊緣2a的拍攝(步驟110)。

在此，在步驟108，停止輸送帶13之驅動時，基板1不立即停止，而於行進方向稍微前進後，在停止目標位置停止。此外，由於在本技術中，未設有機械式停止器，故基板1不一定正確地停止於停止目標位置，停止基板1之位置有偏離停止目標位置之可能性。

基本上，對停止目標位置之基板1之停止位置的 偏離量只要為同一種類之基板1(重量相同之基板1)，便預測為不致偏離太大。然而，舉例言之，諸如於基板1之背面附著有異物時，因此異物，停止輸送帶13時，基板1在輸送帶13上滑動，亦有實際之基板1之停止位置於行進方向大幅偏離的情形。

即使停止基板1之位置偏離停止目標位置，若其偏離量落在拍攝部31之拍攝範圍31a內，仍可以位於邊緣停止預測位置之拍攝部31拍攝基板1之前端側之邊緣2a。在本實施形態中，由於拍攝範圍31a為35mm×35mm，故若基板1對停止目標位置之偏離量在±17.5mm以內，可以位於邊緣停止預測位置之拍攝部31拍攝基板1之前端側之邊緣2a。

另一方面，當基板1對停止目標位置之偏離量超過拍攝部31之拍攝範圍31a(±17.5mm)時，則無法以位於邊緣停止預測位置之拍攝部31拍攝基板1之前端側之邊緣2a。

圖10是顯示配置於邊緣停止預測位置之拍攝部31之拍攝範圍31a與基板1之停止位置之關係的圖。於圖10之上側之圖式顯示有基板1之前端側之邊緣2a落在拍攝部31之拍攝範圍31a內時的一例。於圖10之中央之圖式顯示有基板1超過停止目標位置停止且基板1之前端側之邊緣2a未落在拍攝部31之拍攝範圍31a內時的一例。於圖10之下側之圖式顯示有基板1在停止目標位置前方停止且基板1之前端側之邊緣2a未落在拍攝部31之拍攝範圍31a內時的一例。

在本實施形態中，即使無法以位於邊緣停止預測 位置之拍攝部31拍攝基板1之前端側之邊緣2a時，亦可執行適當地拍攝基板1之邊緣2之處理(後述之再試處理)。

參照圖7，當以配置於邊緣停止預測位置之拍攝部31，嘗試基板1之前端側之邊緣2a的拍攝時，接著，控制部5執行步驟111。在步驟111中，控制部5將在邊緣停止預測位置以拍攝部31拍攝之圖像進行圖像處理，判定該圖像是否為包含基板1之前端側之邊緣2a的圖像。

當所拍攝之圖像為包含前端側之邊緣2a之圖像時，由於該圖像左側陰暗，映出基板1之右側明亮，故控制部5可以圖像處理判定該圖像是否為包含前端側之邊緣2a之圖像。

舉例言之，如圖10之上側之圖所示，當基板1之前端側之邊緣2a落在配置於邊緣停止預測位置之拍攝部31的拍攝範圍31a內時，圖像內包含基板1之前端側之邊緣2a。此時，由於在圖像內檢測出邊緣2(步驟111之是)，控制部5前進至步驟119。

另一方面，舉例言之，如圖10之中央之圖及下側之圖所示，當基板1之前端側之邊緣2a未落在配置於邊緣停止預測位置之拍攝部31的拍攝範圍31a內時，圖像內不包含基板1之前端側之邊緣2a。此時，由於在圖像內未檢測出邊緣2(步驟111之否)，故控制部5前進至步驟112。

在步驟112，控制部5執行將關於執行再試處理之次數之計數值+1的處理。接著，控制部5判定再試處理之次數是否在上限值N以下(步驟113)。

再試處理是指以拍攝單元移動機構40使拍攝單元30沿著搬送方向(X軸方向)移動(使拍攝部31與基板1在搬送方向之相對位置變化)而再次以拍攝部31嘗試邊緣2之拍攝的處理。再試處理次數之上限值N為例如2次，但不限於此。N值亦可藉由例如檢查裝置102之輸入部8或控制裝置106之輸入部變更。

當再試處理之次數為上限值N以下時(步驟113之是)，控制部5前進至下個步驟114。在步驟114中，控制部5依據在邊緣停止預測位置所拍攝之圖像(再試第1次)或在後述步驟118所拍攝之圖像(再試第2次以後)，判定拍攝部31是否存在於基板1上(步驟114)。

如為圖10之中央之圖所示之例時，在邊緣停止預測位置以拍攝部31所拍攝之圖像形成為於圖像全體映出基板1之一部份之圖像。此時，由於以來自照明32b之光照亮基板1，故在邊緣停止預測位置所拍攝之圖像形成為全體明亮之圖像。為此種全體明亮之圖像時，控制部5判斷為拍攝部31存在於基板1上(步驟114之是)。

另一方面，如為圖10之下側之圖所示之例時，在邊緣停止預測位置以拍攝部31所拍攝之圖像形成為映出基板1下側之構件(例如搭載一對導件11之基台等)的圖像。此時，由於照明32b之光不太能到達基板1之下側之構件，故在邊緣停止預測位置所拍攝之圖像形成為全體陰暗之圖像。為此種全體陰暗之圖像時，控制部5判斷為拍攝部31不存在於基板1上(步驟114之否)。

在步驟114，判定為拍攝部31存在於基板1上時，控制部5使拍攝單元30移動至基板1之搬出側(搬送基板1之方向)(步驟115)。另一方面，在步驟114，判定拍攝部31不存在於基板1上時，控制部5使拍攝單元30移動至基板1之搬入側(搬送基板1之方向之反向)。

即，在步驟114，控制部5依據所拍攝之圖像，判定拍攝部31是否存在於基板1上，按判定結果，判定應使拍攝單元30移動之在搬送方向之方向。

此外，在再試處理第1次中，在步驟114中，依據在邊緣停止預測位置所拍攝之圖像，判定應使拍攝單元30移動之方向。在再試處理之第2次以後，依據在從邊緣停止預測位置移動之位置所拍攝之圖像，決定應使拍攝單元30移動之方向。在此，在再試處理之第2次以後，移動拍攝單元30之方向與在前次移動拍攝單元30之方向相同。因而，在再試處理之第2次之後，亦可省略進行使拍攝單元30於哪個方向移動之判斷的步驟114。

圖11是顯示拍攝單元30從邊緣停止預測位置移動時之拍攝部31之拍攝範圍31a與基板1之前端側之邊緣2a之位置關係的圖。於圖11之中央之圖顯示判定為拍攝部31存在於基板1上且拍攝單元30朝搬出側移動時之樣態。於圖11之下側之圖顯示判定拍攝部31不存在於基板1上且拍攝單元30朝搬入側移動時之樣態。

沿著搬送方向移動拍攝單元30之距離為對應於拍攝部31之拍攝範圍31a的距離。舉例言之，拍攝部31在搬 送方向之拍攝範圍31a為35mm時，拍攝單元30之移動距離為35mm。或者，拍攝單元30之移動距離亦可設定為重疊移動前之拍攝範圍31a與移動後之拍攝範圍31a。此時，重疊量為5mm，拍攝單元30之移動距離為30mm。

此外，使拍攝單元30移動時，當超過拍攝單元30之可動範圍時，控制部5使拍攝單元30移動至拍攝單元30可移動最大之位置。

在步驟115使拍攝單元30移動至搬出側後，或者，在步驟116使拍攝單元30移動至搬入側後，控制部5以位於移動之位置之拍攝部31嘗試基板1之前端側之邊緣2a的拍攝(步驟117)。接著，控制部5判定所拍攝之圖像是否為包含前端側之邊緣2a之圖像(步驟118)。

當以移動後之拍攝部31所拍攝之圖像為包含前端側之邊緣2a之圖像時(步驟118之是)，控制部5前進至步驟119。另一方面，當以移動後之拍攝部31所拍攝之圖像非包含前端側之邊緣2a之圖像時(步驟118之否)，控制部5再返回步驟112，執行步驟112之後之處理。亦即，控制部5使拍攝單元30沿著搬送方向移動，反覆進行再次以拍攝部31嘗試前端側之邊緣2a之拍攝的再試處理直至檢測出邊緣2a為止(N為上限)。

在步驟111或步驟118檢測出前端側之邊緣2a時，控制部5依據現下之拍攝單元30之位置及圖像內之邊緣2a的位置，檢測搬送方向之基板1之停止位置(步驟119)。

接著，控制部5依據所檢測出之實際之基板1之停 止位置，補正邊緣停止預測位置，將已補正之邊緣停止預測位置記憶於記憶部6(表)(步驟120)。又，控制部5隨著邊緣停止預測位置之補正，亦補正基板1之停止目標位置，而將此已補正之停止目標位置記憶於記憶部6(表)。

舉例言之，假定下述情形，前述情形是雖然在邊緣停止預測位置所拍攝之圖像內檢測出前端側之邊緣2a(圖11上側)，但實際之基板1之停止位置從停止目標位置偏離至右側或左側。此時，控制部5按其偏離量，執行使邊緣停止預測位置挪至右側或左側之處理。同樣地，控制部5執行使基板1之停止目標位置挪至右側或左側之處理。

又，舉例言之，假定下述情形，前述情形是在邊緣停止預測位置拍攝之圖像內未檢測出前端側之邊緣2a，藉使拍攝單元30移動而拍攝之圖像包含邊緣2(圖11中央及下側)。此時，控制部5按基板1偏離停止目標位置之量，執行將邊緣停止預測位置挪至右側或左側之處理。同樣地，控制部5執行將基板1之停止目標位置挪至右側或左側之處理。

或者，控制部5亦可於基板1之停止位置偏離停止目標位置之量過大而超過閾值時，使此偏離量反映於邊緣停止預測位置、基板1之停止目標位置之補正。

然後，控制部5依據所檢測出之基板1之停止位置，算出設於基板1上之調正標示3之拍攝位置(步驟121)，使拍攝單元30移動至調正標示3之拍攝位置(步驟122)。接著，控制部5以拍攝單元30之照明32b，將光照射於調正標示3，以 拍攝部31拍攝調正標示3(步驟123)。控制部5典型上執行在不同之2個以上之位置拍攝不同之2個以上之調正標示3的處理。

之後，控制部5依據所拍攝之2個以上之調正標示3的圖像，辨識基板1之位置、基板1之繞Z軸之傾斜、基板1之大小等(步驟124)。接著，控制部5檢查基板1之檢查面(步驟125)。在基板1之檢查中，控制部5一面以拍攝單元移動機構40使拍攝單元30於X軸方向及Y軸方向移動，一面將需檢查之基板1上之檢查區域分為複數次拍攝。然後，藉控制部5依據所拍攝之圖像，將基板1二維或三維解析，來檢查基板1。

當基板1之檢查結束時，接著，控制部5使搬送部10之其中一導件11沿著Y軸方向移動而解除基板1之夾住狀態，使支承部20於下方移動(步驟126)。然後，控制部5使搬送部10之輸送帶13驅動，將基板1從檢查裝置102搬出(步驟127)。

接著，就再試處理之次數超過上限值N而再試處理失敗時之處理作說明。在圖7之步驟113中，當再試處理之次數超過上限值時(步驟113之否)，控制部5前進至圖9之步驟128。在步驟128中，控制部5輸出警報畫面15之顯示信號，使顯示部7顯示警報畫面15。

圖12是顯示警報畫面15之一例的圖。如圖12所示，在警報畫面15中，在其左側，顯示錯誤發生之時間、錯誤發生之通道(搬送部10為2個以上時)、警報碼及關於警報之 細節。又，在警報畫面15中，在其右側，顯示可假定為錯誤發生之原因之候補及用以解決錯誤之應對方法。

在圖12所示之例中，可知，在2013年10月24日之12點24分56秒，在前側之通道(搬送部10)，發生因邊緣檢測之辨識之失敗引起的錯誤。又，從假定原因之候補可知，有基板1之停止位置超過拍攝部31之拍攝範圍31a之可能性，或有在邊緣檢測中圖像處理失敗之可能性。又，可知用以解決此錯誤之應對方法只要為使基板1返回搬入側後再使基板1搬入，或確認基板1之停止位置，抑或調整檢查手法之參數(例如邊緣停止預測位置等)即可。

在圖12中，於警報畫面15之下側之位置顯示「指導」鈕15a、及「關閉」鈕15b。「指導」鈕15a是用以使顯示遷移至指導畫面16(參照圖13)之鈕，「關閉」鈕15b是用以關閉警報畫面15之鈕。

參照圖9，控制部5使警報畫面15顯示於畫面上後，判定是否藉由輸入部8選擇「關閉」鈕15b(步驟129)。當未選擇「關閉」鈕15b時(步驟129之否)，控制部5判定是否藉由輸入部8選擇「指導」鈕15a(步驟130)。當未選擇「指導」鈕15a時(步驟130之否)，控制部5返回步驟129，判定是否選擇「關閉」鈕15b。

當選擇「指導」鈕15a時(步驟130之是)，控制部5輸出指導畫面16之顯示信號，使指導畫面16顯示於顯示部7(步驟131)。藉此，於顯示部7顯示指導畫面16取代警報畫面15。

圖13是顯示指導畫面16之一例的圖。此指導畫面16以手動使拍攝單元30於搬送方向移動，將拍攝部31之位置與前端側之邊緣2a之位置對位，藉此，用以對檢查裝置102指導基板1之停止位置。

在指導畫面16中，於其左側配置用以顯示以拍攝部31現下拍攝之圖像的圖像顯示區域16a。在圖13所示之例中，顯示有於圖像之右側之位置映入基板1之左側之一部份時的一例。於圖像顯示區域16a之橫方向之中央的位置於縱向配置1條線16b。此線16b是用以進行與基板1之前端側之邊緣2a的對位之線。

又，於圖像顯示區域16a之右側配置用以使圖像放大之「放大」鈕16c、用以使圖像縮小之「縮小」鈕16d、用以將圖像以等倍顯示之「等倍」鈕16e、用以將圖像以全畫面顯示之「全畫面」鈕16f。

在指導畫面16中，於其右側顯示用以使拍攝單元30於X軸方向及Y軸方向移動之4方向鈕16g。4方向鈕16g具有「左方向」鈕16h、「右方向」鈕16i、「上方向」鈕16j、「下方向」鈕16k。操作員藉操作此4方向鈕中16g中特別是「左方向」鈕16h、「右方向」鈕16i，可使拍攝單元30沿著X軸方向移動，藉此，使對位用線16b與基板1之前端側之邊緣2a對位。

舉例言之，在圖13所示之例中，操作員藉選擇「右方向」鈕16i，而使拍攝單元30於右方向移動，藉此，可將對位用線16b與基板1之前端側之邊緣2a對位。

又，於4方向鈕16g之上側顯示用以切換拍攝單元30之移動速度之高速及低速的「高速」鈕16l及「低速」鈕16m。典型為對位用線16b及基板1之前端側之邊緣2a接近時，操作員將拍攝單元30之移動速度從「高速」切換為「低速」，以低速進行對位之微調整。

在指導畫面16中，於其下側之位置顯示「OK」鈕16n、「取消」鈕16o。「OK」鈕16n為用以確定指導之鈕，「取消」鈕16o為用以取消指導而返回警報畫面15之鈕。

參照圖9，當控制部5使顯示部7顯示指導畫面16時，判定是否藉由輸入部8選擇「取消」鈕16o(步驟132)。當選擇「取消」鈕16o時(步驟132之是)，控制部5使顯示部7顯示警報畫面15取代指導畫面16(步驟128)。

當未選擇「取消」鈕16o時(步驟132之否)，控制部5判定是否藉由輸入部8選擇4方向鈕16g中之任一個按鈕(步驟133)。皆未選擇任何按鈕時(步驟133之否)，控制部5返回步驟132，判定是否選擇「取消」鈕16o。

另一方面，當選擇4方向鈕16g中之任一個按鈕時(步驟133之是)，控制部5使拍攝單元30於對應於該鈕之方向移動(步驟134)。隨著拍攝單元30之移動，顯示於圖像顯示區域16a之圖像變化。藉此種處理，藉操作員選擇4方向鈕16g，可使拍攝單元30移動，而將對位用線16b與基板1之前端側之邊緣2a對位。

當使拍攝單元30移動時，接著，控制部5判定是否藉由輸入部8選擇「OK」鈕16n(步驟135)。當未選擇OK 鈕時(步驟135之否)，控制部5返回步驟132，判定是否選擇「取消」鈕16o。

另一方面，當選擇「OK」鈕16n時(步驟135之是)，控制部5前進至下個步驟136。舉例言之，操作員於對位用線16b與基板1之前端側之邊緣2a的對位完畢後，選擇「OK」鈕16n。

當選擇「OK」鈕16n時，控制部5依據現下之拍攝單元30之位置，算出在搬送方向之基板1之停止位置(步驟136)。接著，控制部5將所算出之基板1之停止位置作為指導結果而記憶於記憶部6(步驟137)。然後，控制部5返回步驟128，使顯示部7顯示警報畫面15。

當選擇警報畫面15之「關閉」鈕15b時(步驟129之是)，控制部5判定指導結果之基板1之停止位置是否記憶於記憶部6(步驟138)。當指導結果記憶於記憶部6時(步驟138之是)，控制部5依據指導結果之基板1之停止位置，算出調正標示3之拍攝位置(步驟139)。

當算出調整標示3之拍攝位置時，接著，控制部5前進至圖8之步驟122，使拍攝單元30移動至調正標示3之拍攝位置。然後，控制部5執行步驟123之後之處理。

另一方面，在步驟138中，當指導結果未記憶於記憶部6時(步驟138之否)，控制部5使搬送部10之其中一導件11於Y軸方向移動，解除基板1之夾住狀態(步驟140)。然後，控制部5使輸送帶13逆旋轉，使基板1返回搬入側(步驟141)。之後，控制部5返回步驟103，使輸送帶13正旋轉， 將基板1朝搬送側搬送後，執行步驟104之後之處理。

在此之說明中，就於檢查裝置102之顯示部7顯示警報畫面15及指導畫面16之情形作了說明，警報畫面15及指導畫面16亦可顯示於控制裝置106之顯示部。此時，控制裝置106依據從檢查裝置102之控制部5所輸出之顯示信號，使控制裝置106之顯示部7顯示警報畫面15及指導畫面16。

作用等

本實施形態之檢查裝置102(位置檢測裝置)可發揮例如以下之作用效果。

在本實施形態中，依據以拍攝部31所拍攝之圖像內之基板1之邊緣2的位置，檢測基板1之停止位置。因而，即使在搬送部10例如無停止器下使基板1停止時，亦可適當地檢測基板1之停止位置。

由於在預測基板1之邊緣2停止之位置的邊緣停止預測位置，以拍攝部31嘗試邊緣2之拍攝，故可以拍攝部31適當地拍攝基板1之邊緣2。又，由於邊緣停止預測位置設定於依每個基板1之重量(種類)而不同之位置，故即使基板1之重量(種類)不同時，亦可在邊緣停止預測位置以拍攝部31適當地拍攝基板1之邊緣2。

又，在本實施形態中，由於依據所檢測出之實際之基板1之停止位置，補正邊緣停止預測位置，故可將邊緣停止預測位置補正為適當之位置。

又，在本實施形態中，由於對邊緣檢測執行再試處理，故即使無法以位於邊緣停止預測位置之拍攝部31拍 攝基板1之邊緣2時，亦可適當地拍攝基板1之邊緣2。

又，由於在再試處理中，依據所拍攝之圖像，判斷應使拍攝單元30在搬送方向中於哪個方向移動，故可使至檢測出基板1之邊緣2為止之速度提高。

又，在本實施形態中，再試處理失敗時，顯示指導畫面16。藉此，操作員操作指導畫面16，使拍攝部31之位置與基板1之邊緣2之位置對準，而可對檢查裝置102指導基板1之位置。

第2實施形態

接著，就本技術之第2實施形態作說明。在第2實施形態之後之說明中，關於具有與上述第1實施形態相同之功能或結構之構件，省略或簡略化說明。

在上述第1實施形態中，就所有基板1，進行基板1之邊緣檢測作了說明。另一方面，在第2實施形態中，在無停止器下停止之基板1之停止位置穩定時，可省略基板1之邊緣檢測。在第2實施形態中，由於此點與第1實施形態不同，故以此點為中心來說明。

第2實施形態之檢查裝置102(位置檢測裝置)具有2個模式，可切換此2個模式。第1模式為對所有基板1以拍攝部31拍攝基板1之邊緣2並依據邊緣2之位置檢測基板1之停止位置的模式。在此第1模式中，執行與上述圖6~圖9相同之處理。

第2模式不執行以拍攝部31拍攝邊緣2並依據邊緣2之位置檢測基板1之停止位置的處理，而將記憶於記憶 部6之基板1之停止目標位置作為基板1之停止位置。

圖14是顯示第2實施形態之檢查裝置之處理的流程圖。圖15及圖16是顯示在第2模式之處理的流程圖。

在第2實施形態中，首先，控制部5判定現下之模式是否為第1模式(步驟201)。在初始狀態，執行第1模式。當現下之模式為第1模式時，控制部5執行在第1模式之處理(步驟202)。亦即，控制部5對所有基板1以拍攝部31拍攝基板1之邊緣2，依據邊緣2之位置，檢測基板1之停止位置(參照圖6~圖9)。

當在第1模式之處理結束時，接著，控制部5在第1模式之處理中，判定是否滿足預定條件(步驟203)。在此，預定條件可舉下述(1)及(2)為例。

(1)在邊緣停止預測位置以拍攝部31所拍攝之圖像中，連續預定次數以上成功拍攝基板1之邊緣2。在此，上述預定次數為例如3次，但不限於此。此預定次數亦可藉由輸入部8變更。

(2)依據基板1之邊緣2之位置所檢測出之各基板1的停止位置之偏差在預定閾值以下。在此，預定閾值為例如1.5mm左右，但不限於此。此閾值亦可藉由輸入部8變更。

設定之條件可為(1)及(2)兩者之條件，亦可為(1)及(2)中其中一條件。

控制部5判斷為滿足(1)及(2)所示之兩者之條件(或者(1)或(2)之條件)時(步驟203之是)，將第1模式切換為 第2模式(步驟204)。亦即，控制部5於無停止器下停止之基板1之停止位置穩定時，將第1模式切換為第2模式。又，控制部5返回步驟201，判定現下之模式是否為第1模式。

另一方面，當判斷為不滿足(1)及(2)所示之兩者之條件(或者(1)或(2)之條件)時(步驟203之否)，控制部5不將第1模式切換為第2模式，而返回步驟201。

在步驟201，當現下之模式為第2模式時(步驟201之否)，控制部5執行第2模式之處理(步驟205)。

參照圖15及圖16，就在第2模式之處理作說明。比較圖15所示之第2模式之流程圖及圖6所示之第1模式之流程圖，步驟304、310與步驟104、110不同。

即，在第1模式中，控制部5執行使拍攝單元30移動至邊緣停止預測位置並以拍攝部31嘗試基板1之邊緣2之拍攝的處理(圖6之步驟104、110)。另一方面，在第2模式中，控制部5不執行使攝單元30移動至邊緣停止預測位置並以拍攝部31拍攝基板1之邊緣2的處理。此時，控制部5執行使拍攝單元30直接移動至調正標示拍攝位置並以拍攝部31拍攝調正標示3之處理(圖15，步驟304、310)。此外，控制部5執行在不同之2個以上之位置拍攝不同之2個以上之調正標示3的處理。

在步驟304，使拍攝單元30移動至調正標示拍攝位置時，控制部5視為基板1存在於記憶於記憶部6之停止目標位置，而從此停止目標位置算出調正標示拍攝位置。然後，使拍攝單元30移動至調正標示拍攝位置。

在此，在第1模式中，基板1之停止目標位置按依據以拍攝部31所拍攝之圖像所檢測出之實際之基板1的停止位置，補正為適當之位置(圖8、步驟120)。因而，在第2模式中，藉使用此停止目標位置，算出調正標示拍攝位置，可在適當之調正標示拍攝位置，拍攝調正標示3。

參照圖16，當拍攝調正標示3時，接著，控制部5依據所拍攝之2個以上之調正標示3的圖像，辨識基板1之位置、基板1之繞Z軸之傾斜、基板1之大小等(步驟311)。

接著，控制部5判定基板1之位置之辨識是否成功(步驟312)。當基板1之位置之辨識成功時(步驟312之是)，控制部5檢查基板1之檢查面(步驟313)。當基板1之檢查結束時，控制部5解除基板1之夾住狀態(步驟314)，將基板1從檢查裝置102搬出(步驟315)。

另一方面，當基板1之位置之辨識失敗時(步驟312之否)，控制部5前進至下個步驟316。基板1之位置之辨識失敗是指實際之基板1之停止位置偏離基板1之停止目標位置，調正標示3之拍攝失敗等。

此時，控制部5使拍攝單元30移動至邊緣停止預測位置(步驟316)，以位於邊緣停止預測位置之拍攝部31嘗試基板1之邊緣2之拍攝(步驟317)。然後，控制部5執行圖7之步驟111之後的處理。亦即，控制部5執行再試處理等。

參照圖14，當第2模式之處理結束時，接著，控制部5在第2模式之處理中，判定是否滿足預定條件(步驟206)。在此，預定條件可舉下述(1)’及(2)’為例。

(1)’連續預定次數以上基板1之位置之辨識失敗(參照步驟312)。在此，上述預定次數為例如2次，但不限於此。此預定次數亦可藉由輸入部8變更。

(2)’位置之辨識失敗之基板1的片數/以第2模式處理之基板1之總數超過預定之閾值。在此，預定之閾值為例如5%左右，但不限於此。此閾值亦可藉由輸入部8來變更。

設定之條件亦可為(1)’及(2)’兩者條件，亦可為(1)’及(2)’其中一者之條件。

當控制部5判斷為滿足(1)’及(2)’所示之兩者之條件(或者(1)’或(2)’之條件)時(步驟206之是)，控制部5將第2模式切換為第1模式(步驟207)。亦即，控制部5於無停止器下停止之基板1之停止位置不穩定時，將第2模式切換為第1模式。

另一方面，當判斷為不滿足(1)’及(2)’所示之兩者之條件(或者(1)’或(2)’之條件)時(步驟206之否)，控制部5不將第2模式切換為第1模式而返回步驟201。

此外，亦可藉由輸入部8設定是否一直執行第1模式、是否切換第1模式及第2模式。

作用等

第2實施形態之檢查裝置102(位置檢測位置)可發揮如以下之作用效果。

在第2實施形態中，由於在第2模式，以拍攝部31拍攝邊緣2，依據邊緣2之位置，省略檢測基板1之停止位置 之處理，故可縮短基板1之檢查花費之時間。

又，由於無停止器下停止之基板1之停止位置穩定時，將第1模式切換為第2模式，故可在適當之時機將第1模式切換為第2模式。再者，由於無停止器下停止之基板1之停止位置不穩定時，可將第2模式切換為第1模式，故可在適當之時機將第2模式切換為第1模式。

各種變形例

在上述說明中，為方便，就將基板1之前端側之邊緣2a作為拍攝部31之拍攝的對象之情形作了說明。然而，亦可將基板1之後端側之邊緣2b作為拍攝部31之拍攝之對象。此時，於對應於基板1之後端側之邊緣2b的位置設定邊緣停止預測位置。又，在此位置，以拍攝部31嘗試基板1之後端側之邊緣2b的拍攝。

此外，前端側之邊緣2a作為拍攝部31之拍攝之對象時及後端側之邊緣2b作為拍攝部31之拍攝之對象時，在再試處理中，移動拍攝單元30之方向相反。

舉例言之，在圖7之步驟114，當判定拍攝部31存在於對應於基板1之位置時，控制部5使拍攝單元30移動至基板1之搬入側(搬送基板1之方向之反向)。另一方面，當判定拍攝部31未存在於對應於基板1之位置時，控制部5使拍攝單元30移動至基板1之搬出側(搬送基板1之方向)。

在上述說明中，就在再試處理中使拍攝部31及基板1在搬送方向之相對位置變化時移動拍攝部31之情形作了說明。然而，亦可在再試處理中，藉移動基板1，使拍攝 部31及基板1在搬送方向之相對位置變化。此時，在拍攝單元30在邊緣停止預測位置停止之狀態下，驅動搬送部10之輸送帶13而移動基板1。

此時，就前端側之邊緣2a作為拍攝部31之拍攝之對象的情形作說明。此時，在圖7之步驟114中，判定拍攝部31存在於對應於基板1之位置時，控制部5使搬送部10之輸送帶13逆旋轉，使基板1移動至搬入側(搬送基板1之方向之反向)。另一方面，於判定拍攝部31未存在於對應於基板1之位置時，控制部5使搬送部10之輸送帶13正旋轉，使基板1移動至搬出側(搬送基板1之方向)。

就後端側之邊緣2b作為拍攝部31之拍攝之對象的情形作說明。此時，在圖7之步驟114中，判定拍攝部31存在於對應於基板1之位置時，控制部5使搬送部10之輸送帶13正旋轉，而使基板1移動至搬出側(搬送基板1之方向)。另一方面，當判定拍攝部31不存在於對應於基板1之位置時，控制部5使搬送部10之輸送帶13逆旋轉，使基板1移動至搬入側(搬送基板1之方向之反向)。

在再試處理中使基板1沿著搬送方向移動之距離與拍攝部31之拍攝範圍31a有關係。舉例言之，拍攝部31之在搬送方向之拍攝範圍31a為35mm時，基板1之移動距離為35mm。或者，考慮重疊時，例如重疊量為5mm，基板1之移動距離為30mm。

在再試處理中，使拍攝部31及基板1在搬送方向之相對位置變化時，亦可將拍攝部31及基板1兩者於搬送方 向移動。

在上述之說明中，就本技術之位置檢測裝置應用於檢查裝置102之情形作了說明。然而，本技術之位置檢測裝置亦可應用於安裝裝置103、網版印刷裝置101。當將位置檢測裝置應用於安裝裝置103時，以裝設於可於X軸方向及Y軸方向移動之安裝頭之調正標示拍攝用拍攝部拍攝基板1之邊緣2。又，當將位置檢測裝置應用於網版印刷裝置101時，以可於X軸方向及Y軸方向移動之調正標示拍攝用拍攝部拍攝基板1之邊緣2。

由於藉將基板檢查用拍攝部31、調正標示拍攝用拍攝部等作為邊緣拍攝用拍攝部31來使用，可將既有之拍攝部援用作為邊緣拍攝用之拍攝部31，故具有可實現成本刪減之優點。惟，未必需將既有之拍攝部利用作為邊緣拍攝用拍攝部31，亦可將用以拍攝邊緣2之專用拍攝部31特別設於位置檢測裝置。

特別設用以拍攝基板1之邊緣2之專用拍攝部31時，此拍攝部31可配置於例如將基板1從下側拍攝之位置。此拍攝部31亦可為於搬送方向(X軸方向)移動之形態，亦可為固定於邊緣停止預測位置之形態(特別是在再試處理移動基板1之形態)。

在上述之說明中，就依每個基板1之重量(種類)預先設定有基板1之停止目標位置、邊緣停止預測位置之情形作了說明。然而，停止目標位置、邊緣停止預測位置亦可不預先依每個基板1之重量(種類)設定。舉例言之，停止 目標位置、邊緣停止預測位置亦可最初設定每個基板1之重量(種類)共通之停止目標位置、邊緣停止預測位置。

就此理由作說明。如上述，在本技術中，依據實際之基板1之停止位置，補正基板1之停止目標位置、邊緣停止預測位置。因而，最初，即使使用每個基板1之重量(種類)共通之邊緣停止預測位置(亦即，即使邊緣停止預測位置稍微不正確)，當時間經過，亦可依每個基板1之重量(種類)，將停止目標位置、邊緣停止預測位置修正為適當之位置。因而，停止目標位置、邊緣停止預測位置亦可不依每個基板1之重量(種類)預先設定(亦即，亦可稍微不正確)。

本技術亦可採用以下之結構。

(1)一種位置檢測裝置，包含有拍攝部；搬送部，將基板沿著搬送方向搬送，並使所搬送之前述基板停止；及控制部，以前述拍攝部拍攝已停止之前述基板之在搬送方向的邊緣，依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置。

(2)如上述(1)之位置檢測裝置，其中前述控制部在最初預測為前述基板之邊緣停止之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部，嘗試前述邊緣之拍攝。

(3)如上述(2)之位置檢測裝置，其更包含有移動機構，該移動機構使前述拍攝部或前述基板沿著搬送方向移動，以使前述拍攝部及已停止之前述基板在前述搬送方向之相對位置變化。

(4)如上述(2)或(3)之位置檢測裝置，其中前述控制部依據所檢測出之前述基板之停止位置，補正前述邊緣停止預測位置。

(5)如上述(2)~(4)中任一項之位置檢測裝置，其中前述控制部依前述每個基板之重量，在不同之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部拍攝前述邊緣。

(6)如上述(3)之位置檢測裝置，其中前述控制部判定在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像是否為包含前述邊緣之圖像，當前述圖像非包含前述邊緣之圖像時，以前述移動機構使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化，並執行再次以前述拍攝部嘗試前述邊緣之拍攝之處理、即再試處理。

(7)如上述(6)之位置檢測裝置，其中前述控制部在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向之方向。

(8)如上述(7)之位置檢測裝置，其中前述控制部在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定前述拍攝部是否存在於對應於前述基板之位置，按判定結果，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向之方向。

(9)如上述(6)~(8)中任一項之位置檢測裝置，其中前述控制部反覆進行前述再試處理至檢測出前述邊緣為止。

(10)如上述(8)之位置檢測裝置，其中作為前述拍攝部 之拍攝之對象的邊緣為在前述搬送方向之前端側的邊緣，前述控制部於判定前述拍攝部存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向的反向移動。

(11)如上述(10)之位置檢測裝置，其中前述控制部於判定前述拍攝部不存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向之反向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向移動。

(12)如上述(8)之位置檢測裝置，其中作為前述拍攝部之拍攝之對象的邊緣為前述搬送方向之後端側之邊緣，前述控制部於判定前述拍攝部存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向之反向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向移動。

(13)如上述(12)之位置檢測裝置，其中前述控制部於判定前述拍攝部不存在於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部於搬送前述基板之方向移動，或使前述基板於搬送前述基板之方向之反向移動。

(14)如上述(6)~(13)中任一項之位置檢測裝置，其中前述控制部於前述再試處理失敗時，輸出以手動使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化而用以將前述拍攝部之位置與前述邊緣之位置對位的指導畫面之顯示信號。

(15)如上述(1)~(14)中任一項之位置檢測裝置，其更包含有記憶前述基板之停止目標位置之記憶部，前述控制部 可切換第1模式及第2模式，該第1模式是以前述拍攝部拍攝前述邊緣，依據前述邊緣之位置，檢測前述基板之停止位置，該第2模式是不執行以前述拍攝部拍攝前述邊緣並依據前述邊緣之位置來檢測前述基板之停止位置的處理，而將記憶於前述記憶部之前述基板之停止目標位置作為前述基板之停止位置。

(16)如上述(15)之位置檢測裝置，其中前述控制部在前述第1模式中，判定依據前述邊緣之位置檢測之各基板之停止位置的偏差是否在預定閾值以下，當前述偏差在前述預定閾值以下時，將前述第1模式切換為第2模式。

(17)如上述(15)或(16)之位置檢測裝置，其中前述控制部依據在前述第1模式中所檢測出之前述基板之停止位置，補正在前述第2模式使用且記憶於前述記憶部之前述基板的停止目標位置。

Claims (16)

1. 一種位置檢測裝置，包含有：拍攝部；搬送部，將基板沿著搬送方向搬送，並使所搬送之前述基板停止；移動機構，使前述拍攝部或前述基板沿著搬送方向移動，以使前述拍攝部及已停止之前述基板在前述搬送方向之相對位置變化；及控制部，以前述拍攝部拍攝已停止之前述基板之搬送方向的邊緣，依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置，前述控制部在最初預測為前述基板之邊緣停止之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部，嘗試前述邊緣之拍攝，前述控制部判定在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像是否為包含前述邊緣之圖像，當前述圖像非包含前述邊緣之圖像時，以前述移動機構使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化，並執行再試處理，該再試處理為再次以前述拍攝部嘗試前述邊緣之拍攝之處理，其中，該位置檢測裝置之特徵在於：前述控制部在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定應使前述拍攝部或前述基板 移動之在前述搬送方向上之方向。
2. 如請求項1之位置檢測裝置，其中前述控制部依據所檢測出之前述基板之停止位置，補正前述邊緣停止預測位置。
3. 如請求項1之位置檢測裝置，其中前述控制部依前述每個基板之重量，在不同之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部拍攝前述邊緣。
4. 如請求項1之位置檢測裝置，其中前述控制部在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定前述拍攝部是否位於對應於前述基板之位置，按判定結果，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向上之方向。
5. 如請求項1之位置檢測裝置，其中前述控制部反覆進行前述再試處理至檢測出前述邊緣為止。
6. 如請求項4之位置檢測裝置，其中成為前述拍攝部之拍攝之對象的邊緣為在前述搬送方向之前端側的邊緣，前述控制部於判定前述拍攝部位於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部向前述基板被搬送之方向移動，或使前述基板向前述基板被搬送之方向的反向移動。
7. 如請求項6之位置檢測位置，其中前述控制部於判定前述拍攝部不位於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部向前述基板被搬送之方向之反向移動，或使前述基板向前述基板被搬送之方向移動。
8. 如請求項4之位置檢測裝置，其中成為前述拍攝部之拍攝之對象的邊緣為前述搬送方向之後端側之邊緣，前述控制部於判定前述拍攝部位於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部向前述基板被搬送之方向之反向移動，或使前述基板向前述基板被搬送之方向移動。
9. 如請求項8之位置檢測裝置，其中前述控制部於判定前述拍攝部不位於對應於前述基板之位置時，使前述拍攝部向前述基板被搬送之方向移動，或使前述基板向前述基板被搬送之方向之反向移動。
10. 如請求項1之位置檢測裝置，其中前述控制部於前述再試處理失敗時，輸出以手動使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化而用以將前述拍攝部之位置與前述邊緣之位置對位的指導畫面之顯示信號。
11. 如請求項1之位置檢測裝置，其更包含有記憶前述基板之停止目標位置之記憶部，前述控制部可切換第1模式及第2模式，該第1模式是以前述拍攝部拍攝前述邊緣，依據前述邊緣之位置，檢測前述基板之停止位置，該第2模式是不執行以前述拍攝部拍攝前述邊緣並依據前述邊緣之位置來檢測前述基板之停止位置的處理，而將記憶於前述記憶部之前述基板之停止目標位置作為前述基板之停止位置。
12. 如請求項11之位置檢測裝置，其中前述控制部在前述第1模式中，判定依據前述邊緣之位置檢測之各基板之停止位置的偏差是否在預定閾值以下，當前述偏差在前述 預定閾值以下時，將前述第1模式切換為第2模式。
13. 如請求項11之位置檢測裝置，其中前述控制部依據在前述第1模式中所檢測出之前述基板之停止位置，補正在前述第2模式使用且記憶於前述記憶部之前述基板的停止目標位置。
14. 一種位置檢測方法，將基板沿著搬送方向搬送，使所搬送之前述基板停止，以拍攝部拍攝已停止之前述基板在搬送方向的邊緣，依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置，在最初預測為前述基板之邊緣停止之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部，嘗試前述邊緣之拍攝，判定在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像是否為包含前述邊緣之圖像，當前述圖像非包含前述邊緣之圖像時，以前述移動機構使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化，並執行再試處理，該再試處理為再次以前述拍攝部嘗試前述邊緣之拍攝之處理，其中，該位置檢測方法之特徵在於：在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向上之方向。
15. 一種程式產品，藉由電腦，載入程式，並使位置檢測裝 置執行下列程式命令：將基板沿著搬送方向搬送；使所搬送之前述基板停止；以拍攝部拍攝已停止之前述基板在搬送方向之邊緣；依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置，檢測前述基板之停止位置；在最初預測為前述基板之邊緣停止之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部，嘗試前述邊緣之拍攝；判定在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像是否為包含前述邊緣之圖像，當前述圖像非包含前述邊緣之圖像時，以前述移動機構使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化，並執行再試處理，該再試處理為再次以前述拍攝部嘗試前述邊緣之拍攝之處理；其中，該程式產品之特徵在於：在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向上之方向。
16. 一種基板的製造方法，將基板沿著搬送方向搬送，使所搬送之前述基板停止，以拍攝部拍攝已停止之前述基板在搬送方向之邊緣，依據在所拍攝之圖像內之前述基板之邊緣的位置， 檢測前述基板之停止位置，對存在於所檢測出之停止位置之前述基板，執行製造基板所必要之處理，在最初預測為前述基板之邊緣停止之邊緣停止預測位置，以前述拍攝部，嘗試前述邊緣之拍攝，判定在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像是否為包含前述邊緣之圖像，當前述圖像非包含前述邊緣之圖像時，以前述移動機構使前述拍攝部及前述基板在前述搬送方向之相對位置變化，並執行再試處理，該再試處理為再次以前述拍攝部嘗試前述邊緣之拍攝之處理，其中，該基板的製造方法之特徵在於：在前述再試處理中，依據在前述邊緣停止預測位置以前述拍攝部所拍攝之圖像，判定應使前述拍攝部或前述基板移動之在前述搬送方向上之方向。