JP6390925B2 - 部品実装装置 - Google Patents
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Description
前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴の上方の前記実装ヘッドに配置されて、前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴を通る第1撮像光路及び第2撮像光路を、前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴の上方において前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴の貫通穴配列方向と交差する方向でかつ互いに異ならせる方向にそれぞれ反射させる第1反射光学系と、
前記第1撮像光路及び前記第2撮像光路のいずれか一方を、いずれか他方と同じ方向に反射させる第2反射光学系と、
前記保持部材及び前記実装ヘッドの前記第1貫通穴を通りかつ前記第1反射光学系で反射された前記第1撮像光路を利用して、前記保持部材で保持した前記部品の上面の前記第1パターン特徴部と前記基板の前記第1パターン特徴部と、前記保持部材及び前記実装ヘッドの前記第2貫通穴を通りかつ前記第1反射光学系及び前記第2反射光学系で反射された前記第2撮像光路を利用して、前記保持部材で保持した前記部品の上面の前記第2パターン特徴部と前記基板の前記第2パターン特徴部とを同時に撮像する撮像装置を有する撮像ユニットと、
前記部品の前記第1パターン特徴部及び前記第2パターン特徴部の位置に応じて前記撮像ユニットを前記貫通穴配列方向沿いに移動させて位置調整する移動調整装置とを備える、
部品実装装置を提供する。
図1Aは、本発明の第1実施形態における部品実装装置の構成を示す概略断面図である。図1Bは、部品実装装置の実装ヘッド1の反射光学系を露出させた状態での平面図である。図1C及び図1Dはそれぞれ反射光学系における撮像光路の反射状態を説明するための一部拡大された概略縦断面図である。図1Eは実装ヘッド1と撮像ユニット11との関係を示す平面図である。
なお、本発明は前記第1実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
実装ヘッド1の反射光学系から第1撮像装置11aに入る第1撮像光路65と第2撮像装置11bに入る第2撮像光路66とは、第1実施形態のように平行に限られるものではなく、図5に示すように、一定の固定した角度となっていてもよい。
実装ヘッド1の反射光学系から第1撮像装置11aに入る第1撮像光路65と第2撮像装置11bに入る第2撮像光路66とは、第1実施形態のように平行であっても、第1撮像装置11aに対して、図6に示すように、第2撮像装置11bを90度異なる位相に配置するようにしてもよい。この場合、第2撮像光路66から第2撮像装置11bに入る直前に、三角プリズムなどの反射光学系73で90度反射させる必要がある。
また、部品2の第1パターン特徴部3a及び第2パターン特徴部3bの位置は、対角部に限られるものではなく、図7に示すように、一辺の中間部などの任意の部分にそれぞれ配置されていてもよい。
第1撮像光路65は、第1反射光学系61のみで反射されるものに限らず、図8に示すように、第1反射光学系61と第2反射光学系75の底辺に相当する側面75aとで二回反射され、第2撮像光路66も、第1反射光学系61と第2反射光学系74の底辺に相当する側面74aとで二回反射されるようにしてもよい。第2反射光学系75,76は、それぞれ撮像光路を90度反射させる三角形の反射ミラー又はプリズムで構成することができる。
(第7実施形態)
本発明は、第1貫通穴69aと第2貫通穴69bのように2つに分ける貫通穴に限らず、図9Aに示すように貫通穴69cのように1つの貫通穴で兼用するようにしてもよい。このようにすれば、構造がより簡素なものとなる。
また、図9Bに示すように、図9Aの構成において、第1プリズム61の第1反射面61cを実装ヘッド1の中心まで延ばしてもよい。そうすることで、第1撮像光路65Cは、吸着ノズル5で保持した部品2の上面の第1パターン特徴部3a及び基板13の第1パターン特徴部16aが、透明な吸着ノズル5を透過し、実装ヘッド1の1つの貫通穴69cを貫通し、第1反射面61cで90度だけ第1撮像装置11aに向けて反射することになる。よって、第1撮像光路65Cが実装ヘッド1の中心を通る構成にすることができる。なお、第2撮像光路を使用するときは、第1プリズム61の第2反射面61dを使用する。
なお、図9Cに示すように、図9Aの構成において、図9Bとは異なる例として、第2反射面61fを実装ヘッド1の中心まで延ばしてもよい。そうすることで、第2撮像光路66Cは、吸着ノズル5で保持した部品2の上面の第1パターン特徴部3a及び基板13の第1パターン特徴部16aが、透明な吸着ノズル5を透過し、実装ヘッド1の1つの貫通穴69cを貫通し、第2反射面61fで90度反射したのち、第1反射側面62aと第2反射側面62bとでそれぞれ90度に反射して第2撮像装置11bに向かうことになる。よって、第2撮像光路66Cが実装ヘッド1の中心を通る構成にすることができる。なお、第1撮像光路を使用するときは、第1プリズム61の第1反射面61eを使用する。
この第7実施形態によれば、第1実施形態のように2つの貫通穴69a,69bを使用する2つの視野での撮像に限らず、1つの貫通穴69cを使用する1つの視野で撮像することも可能になり、図9Aに示すように微小な半導体素子にも適用可能となる。
1a ヘッド本体部
2 部品
2a 上面
2b 下面
3a 第1パターン特徴部
3b 第2パターン特徴部
5 吸着ノズル
6 ヒーター
11 撮像ユニット
11a 第1撮像装置
11b 第2撮像装置
11c 撮像ステージ
11e 1つの撮像装置
11f 1つの認識エリア
11g−A,11g−B 認識すべきエリア
12 ステージ
13 基板
14 連結部材
40 ヘッド昇降駆動機構
41 真空ポンプ
42 画像処理装置
50 位置算出部
51 制御装置
52 ヘッド移動機構
61 第1反射光学系
61a 第1反射面
61b 第2反射面
62 第2反射光学系
62a 第1反射側面
62b 第2反射側面
63a 第3反射光学系
63b 第4反射光学系
64 三角プリズム
65 第1撮像光路
66 第2撮像光路
67 ヒーターブロック
68 冷却ブロック
69a 第1貫通穴
69b 第2貫通穴
70 移動調整装置
71 プリズムブロック
72 第3撮像光路
73 反射光学系
74 第2反射光学系
74a 側面
75 第2反射光学系
75a 側面
80 貫通穴配列方向
90 大小部品のパターン特徴部間の差に対応する寸法(移動量)
Claims (5)
- 位置合わせ用の第1パターン特徴部及び第2パターン特徴部を有する部品を保持して、位置合わせ用の第1パターン特徴部及び第2パターン特徴部を有する基板に実装可能でかつ光学的に透過撮像可能な保持部材を下端に有するとともに、前記保持部材に至る第1貫通穴及び第2貫通穴を有する実装ヘッドと、
前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴の上方の前記実装ヘッドに配置されて、前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴を通る第1撮像光路及び第2撮像光路を、前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴の上方において前記第1貫通穴及び前記第2貫通穴の貫通穴配列方向と交差する方向でかつ互いに異ならせる方向にそれぞれ反射させる第1反射光学系と、
前記第1撮像光路及び前記第2撮像光路のいずれか一方を、いずれか他方と同じ方向に反射させる第2反射光学系と、
前記保持部材及び前記実装ヘッドの前記第1貫通穴を通りかつ前記第1反射光学系で反射された前記第1撮像光路を利用して、前記保持部材で保持した前記部品の上面の前記第1パターン特徴部と前記基板の前記第1パターン特徴部と、前記保持部材及び前記実装ヘッドの前記第2貫通穴を通りかつ前記第1反射光学系及び前記第2反射光学系で反射された前記第2撮像光路を利用して、前記保持部材で保持した前記部品の上面の前記第2パターン特徴部と前記基板の前記第2パターン特徴部とを同時に撮像する撮像装置を有する撮像ユニットと、
前記部品の前記第1パターン特徴部及び前記第2パターン特徴部の位置に応じて前記撮像ユニットを前記貫通穴配列方向沿いに移動させて位置調整する移動調整装置とを備える、
部品実装装置。 - 前記第1撮像光路が前記第1反射光学系で反射される方向と、前記第2撮像光路が前記第1反射光学系で反射される方向とは、前記貫通穴配列方向と交差する方向でかつ互いに180度異なる方向であるとともに、前記第2撮像光路は前記第2反射光学系で90度ずつ2回反射されて、前記第1撮像光路と平行な光路となり、前記撮像ユニットに入る、
請求項1に記載の部品実装装置。 - 前記撮像ユニットは、前記第1撮像光路に備えられた第1撮像装置と、前記第2撮像光路に備えられた第2撮像装置とを備えて、前記第1撮像装置による前記第1撮像光路での撮像と前記第2撮像装置による前記第2撮像光路での撮像は同時に行われる、
請求項1又は2に記載の部品実装装置。 - 前記撮像ユニットは、前記第1撮像光路及び前記第2撮像光路に備えられた撮像装置を備えて、前記第1撮像光路での撮像と前記第2撮像光路での撮像とを前記撮像装置で同時に行う、
請求項1又は2に記載の部品実装装置。 - 前記第1貫通穴と前記第2貫通穴とは1つの貫通穴で兼用される、
請求項1又は2に記載の部品実装装置。
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