TWI732954B - 搬送裝置、及搬送方法 - Google Patents

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Abstract

[目的] 將載置在保管架的物品的姿勢或位置，以適當的時序迅速且精度優地進行檢測。 　　[課題] 搬送裝置(1)，係在可載置物品(2)的複數個移載目的端之間進行移動，且針對移載目的端來移載物品(2)的搬送裝置，具備：檢測部(14)，該檢測部(14)係在將物品(2)移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測該物品(2)的姿勢或移載目的端的物品(2)的位置；和判定部(40)，該判定部(40)係根據檢測部(14)的檢測結果來判定移載目的端的物品(2)的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。

Description

搬送裝置、及搬送方法
[0001] 本發明是有關搬送裝置、及搬送方法。
[0002] 在半導體製造工廠等的製造工廠，進行將半導體晶圓的搬送容器(FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod))或光罩搬送用的光罩Pod(標準機械介面晶圓盒；Standard Mechanical Interface Pod)等的物品暫時保管在儲料器等的自動倉庫。自動倉庫具備：堆高式起重機類的搬送裝置，利用該搬送裝置將物品移載至保管架或入出庫埠等。又，提案一種在自動倉庫中，為了確認移載到保管架的物品，利用設置在搬送裝置的視頻攝影機來取得物品的影像(映像)，確認各保管架中存在物品而應用在庫存管理等(例如：參照專利文獻1等)。 [先前技術文獻] [專利文獻] 　　[0003] 　　[專利文獻1]特開平2-95605號公報
[發明欲解決之課題] 　　[0004] 應用在自動倉庫的搬送裝置，雖是控制將物品載置在保管架的既定位置，但卻有因某種原因偏離正常位置而載置物品的情形發生。這種情形下，搬送裝置後續接收該物品時並無法適當地保持物品，有著引起物品掉落等的可能性。又，搬送裝置無法適當地保持物品時，會偵測出異常而使搬送裝置停止。搬送裝置停止時，作業者進入到自動倉庫內來確認狀況，需要作業空間的設置等，對作業者而言，為負擔很大的作業。再者，經作業者的確認中，會使自動倉庫的操作停止，因而成為製造工廠等之生產效率下降的主因。 　　[0005] 本發明有鑑於以上實情，其目的在於提供一種能以適當的時序迅速且精度優地檢測出載置在保管架的物品的姿勢或位置的搬送裝置及搬送方法。 [用以解決課題之手段] 　　[0006] 有關本發明之搬送裝置，係在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，且針對移載目的端來移載物品的搬送裝置，其具備：檢測部，該檢測部係在搬送裝置將物品移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測該物品的姿勢或移載目的端的物品的位置；和判定部，該判定部係根據檢測部的檢測結果來判定移載目的端的物品的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。 　　[0007] 又，判定部，亦可在搬送裝置將物品移載至移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前進行判定。又，判定部，亦可每當搬送裝置將物品載置到移載目的端即進行判定。又，具備移載裝置，該移載裝置可在將物品保持在前端側的狀態下，相對於移載目的端從待機位置開始伸縮，且在相對於移載目的端而伸長的狀態下，將物品載置到移載目的端，檢測部，亦可在搬送裝置將物品載置到移載目的端之後，在移載裝置從伸長的狀態返回到待機位置的期間進行檢測。又，亦可為移載裝置，係設置在可昇降的昇降台，檢測部，係設置在昇降台。又，亦可為檢測部，係取得移載目的端及載置在該移載目的端的物品的影像，根據影像檢測出物品的姿勢或移載目的端的位置。又，亦可具備照明部，該照明部是經由檢測部進行檢測之際，用來照明移載目的端及載置在該移載目的端的物品。又，檢測部，亦可根據拍攝到的設置在移載目的端的指標部和物品的特徵部分的影像來檢測物品的姿勢或移載目的端的位置。又，亦可具備控制部，該控制部是當判定部判定出移載目的端的物品的姿勢或位置不在適當範圍內時，即進行既定的處理。 　　[0008] 有關本發明的搬送方法，係在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，針對移載目的端來移載物品的搬送方法，其包含：物品被載置到移載目的端之後，檢測該物品的姿勢或移載目的端的物品的位置；和根據檢測出的結果來判定移載目的端的物品的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。 [發明效果] 　　[0009] 根據有關本發明的搬送裝置及搬送方法，就能夠將載置在保管架的物品的姿勢或位置，以適當的時序迅速且精度優的進行檢測。 　　[0010] 又，藉由判定部，在搬送裝置將物品移載到移載目的端之後，在向著其他移載目的端開始移動之前進行判定的搬送裝置中，搬送裝置能夠快速地向著其他移載目的端開始移動。又，藉由判定部，每當搬送裝置將物品載置到移載目的端即進行判定的搬送裝置中，每當物品載置到移載目的端就進行判定，故能確實地判定已移載的物品。又，具備移載裝置，該移載裝置可在將物品保持在前端側的狀態下，相對於移載目的端從待機位置開始伸縮，在相對於移載目的端而伸長的狀態下，將物品載置到移載目的端，藉由檢測部，在搬送裝置將物品載置到移載目的端之後，移載裝置從伸長的狀態返回到待機位置的期間進行檢測的搬送裝置中，因移載裝置是在進行移載動作的期間進行檢測，故能減低檢測所致的搬送時間的損失。又，在該搬送裝置中，因具備上述的移載裝置，故而能將移載裝置的尺寸小型化。又，在移置裝置，是設置在可昇降的昇降台，檢測部，是設置在昇降台的搬送裝置中，因移載裝置及檢測部兩者是設置在昇降台上，故而檢測部，能不從移載時的位置移動偏離地迅速進行檢測。又，在檢測部，取得移載目的端及載置在該移載目的端的物品的影像，根據影像來檢測物品的姿勢或移載目的端的位置的搬送裝置中，一旦比較經由感測器的判定，影像中即包含了諸多關於物品的姿勢或位置的資訊，故而能精度優地進行判定。又，在該搬送裝置中，因檢測部是根據影像來進行測檢，故而對於大小或形狀不同的物品皆適用。又，在具備照明部，該照明部在經由檢測部進行檢測之際，用來照明移載目的端及載置在該移載目的端的物品的搬送裝置中，因確實地照明移載目的端及載置在移載目的端的物品，故而能經由檢測部精度優地進行檢測。又，在根據檢測部拍攝到設置在移載目的端的指標部和物品的特徵部分的影像來檢測物品的姿勢或移載目的端的位置的搬送裝置中，因根據指標部與特徵部分來進行檢測，故而能藉由檢測部進行精度優的檢測。又，在當判定部判定移載目的端的物品的姿勢或位置不在適當範圍內時，即進行既定處理的搬送裝置中，能對被異常載置的物品進行適當的處理。
[0012] 以下針對實施形態邊參照圖面邊說明。在以下各圖中，使用該XYZ座標系統來說明圖中的方向。在該XYZ座標系統中，垂直方向為Z方向，水平方向為X方向、Y方向。又，有關X方向、Y方向及Z方向之各個方向，適當地將箭頭的前側稱為+側(例如：+X側)，將其相反側稱為-側(例如：-X側)。 　　[0013] [第1實施形態] 　　第1圖至第3圖係概念性表示有關第1實施形態的搬送裝置所應用的自動倉庫之其中一例的圖。第1圖是由-Y側觀看的前視圖。第2圖是由+Z側觀看的俯視圖。第3圖是由-X側觀看的俯視圖。本實施形態的搬送裝置1，係應用在自動倉庫S(Stocker)的堆高式起重機。自動倉庫S，係例如：設置在半導體工廠等，用來保管收容半導體晶圓的FOUP，或是收容光罩等的加工用構件的光罩收納盒等的物品2。 　　[0014] 搬送裝置1，係在可載置物品2的複數個移載目的端之間進行移動，對著移載目的端來移載物品2。圖中的X方向，係為搬送裝置1的移動方向，Y方向，係為搬送裝置1交接物品2的方向。再者，在本實施形態中，搬送裝置1雖是以堆高式起重機做說明，但搬送裝置1也可以不是堆高式起重機。又，此例中，物品2雖是以FOUP做說明，但物品2亦可為FOUP以外的。例如：物品2，可為在設置有自動倉庫S的設備所處理的各種物品。又，搬送裝置1及自動倉庫S也能應用於半導體領域以外的設備。 　　[0015] 自動倉庫S係具備：搬送裝置1、框體3、保管架4(移載目的端)、攝像部5、及儲料器控制部6。有關搬送裝置1，容後說明。框體3係具有：可相對於外部而隔離的內部空間。框體3係具備：在框體3的外部與內部空間交接物品2的入出庫埠(圖未表示)。 　　[0016] 保管架4，係配置在框體3的內部。保管架4，係設有複數個，被配置在相對於搬送裝置1的移動方向(X方向)的交叉方向(Y方向)的兩側(+Y側及-Y側)。各保管架4，係具有：排列在垂直方向(Z方向)的複數個架子4a及排列在水平方向(X方向)的複數個縱向板4b。各架子4a，是可載置物品2。各架子4a，是可載置複數個物品2。 　　[0017] 攝像部5是配置在框體3的內部。攝像部5是應用在監視框體3的內部。攝像部5是設置在框體3的上部的+X側及-X側。各攝像部5，是拍攝搬送裝置1及保管架4而取得影像。各攝像部5，係例如：以影像或動畫作為數位資料所取得的數位攝影機(數位視訊攝影機)。各攝像部5，係利用有線或無線可通訊地連接在資料匯流排38。各攝像部5，係將所拍攝到的影像的資料輸出到資料匯流排38。從各攝像部5輸出的影像資料，係記錄在記錄部36。再者，自動倉庫S是否具備攝像部5是任意的。 　　[0018] 儲料器控制部6，係用來控制及管理包含搬送裝置1的自動倉庫S的各部。儲料器控制部6，係例如：用來控制搬送裝置1之各部的動作、管理保管架4的物品2的保管履歷等等。儲料器控制部6，係配置在框體3的外部。儲料器控制部6，係藉由電腦裝置所構成，該電腦裝置具備：CPU、主記憶體、硬碟等的記憶裝置、有線或無線的通訊裝置、鍵盤或滑鼠等的輸入裝置、以及顯示器等的顯示裝置。該電腦裝置，係讀出被記憶在記憶裝置的各種程式，根據該程式來執實行處理。儲料器控制部6，係與自動倉庫S的各部利用有線或無線可通訊地連接。又，儲料器控制部6，係與管理裝置16的控制部37利用有線或無線可通訊地連接。再者，儲料器控制部6，亦可配置在框體3的內部或外部的任一邊。 　　[0019] 搬送裝置1是配置在框體3的內部。搬送裝置1係沿著軌道19而移行，來移載物品2。搬送裝置1係具備：移行體10、柱11、昇降台12、移載裝置13、檢測部14、照明部15、管理裝置16。 　　[0020] 移行體10係沿著軌道19移行。軌道19係設置在框體3內的上部及下部。上部及下部的軌道19，係分別設置在+Y側及-Y側的保管架4之間(圖未表示)。上部及下部的軌道19，係分別配置在與X方向平行的方向。移行體10係在大致上與軌道19平行的方向移行(在第1圖中X方向)。移行體10係具有：例如電動馬達等的移行驅動部、減速機、驅動輪、編碼器等等。驅動輪，係配置成連接在軌道19，經由減速機而連接在電動馬達(移行驅動部)的輸出軸。電動馬達的輸出軸的旋轉是經由減速機而傳動到驅動輪，移行體10即利用驅動輪的旋轉來移行。編碼器，係檢測出電動馬達的輸出軸的轉數等，將該檢測結果輸出到儲料器控制部6。該儲料器控制部6，係根據編碼器的檢測結果來控制電動馬達的旋轉，進行移行體10的速度或停止位置的控制。再者，移行體10的停止位置的設定，亦可藉由沿著軌道19而來識別預先設置的指標板等而進行。又，移行驅動部(電動馬達)亦可使用旋轉型的馬達或線性馬達。 　　[0021] 在上部的移行體10及下部的移行體10之間，係安裝著垂直地延長的柱11。柱11，係與上部的移行體10及下部的移行體10成為一體來移動。 　　[0022] 昇降台12，係沿著柱11昇降。昇降台12係具備：底座12a、支柱部12b、頂板12c。底座12a係配置在昇降台12的下部。底座12a係用來支撐昇降台12的各部。支柱部12b係配置在底座12a的+X側。支柱部12b係從底座12a朝垂直上方延伸。支柱部12b係在其+X側，經由連接部(圖未表示)連接到柱11。昇降台12，係利用柱11朝垂直方向引導。頂板12c係配置在昇降台12的上部。在底座12a與頂板12c之間，係形成有可配置物品2的空間。頂板12c係從下方被支柱部12b支撐。頂板12c係用於支撐檢測部14等的物體以及防止物品2的掉落。 　　[0023] 昇降台12，係利用鋼索等的懸吊構件，從上方懸吊。搬送裝置1係具備：用來驅動懸吊構件的昇降驅動部(圖未表示)。該昇降驅動部係進行懸吊構件的送出或捲取。昇降台12只要昇降驅動部捲取懸吊構件，就會被柱11引導而上昇。又，昇降台12只要昇降驅動部送出懸吊構件，就會被柱11引導而下降。再者，昇降台12的構成，並不限於第1圖等的舉例，為任意的。例如，昇降台12亦可不具備頂板12ｃ。 　　[0024] 移載裝置13係設置在昇降台12。第4圖是由-X側觀看昇降台及移動裝置的側視圖。移載裝置13係具備：支臂部20、保持部21、旋轉驅動部22。第5圖是表示支臂部的俯視圖。支臂部20係經由關節20c而連接著支臂20a、20b的構造。支臂部20係利用關節20c折彎支臂20a、20b，且可朝向包括Y方向的水平方向伸縮。支臂部20係使其基端側連接在旋轉驅動部22。 　　[0025] 在支臂部20的前端側，係可旋轉地連接著保持部21。保持部21，係可將物品2保持在其上面。保持部21係具有：用於物品2之定位的複數根（例如三根）的插銷23（例如動力銷）。在物品2的底面，係放射狀地形成有定位用的複數個溝部(圖未表示)。在保持部21保持著物品2之際，保持部21的複數根插銷23，係分別插入到物品2的底面的溝部，保持部21，就會使物品2定位在其上面。保持部21係在物品2被定位的狀態下，用來支撐物品2。旋轉驅動部22係配置在昇降台12，使支臂部20及保持部21朝向與垂直方向平行的軸周繞行旋轉。 　　[0026] 如第4圖所示，保持部21係以支臂部20呈收縮的狀態被配置在昇降台12上。此狀態的支臂部20及保持部21的位置稱為待機位置P1。在移載裝置13將物品2移載到保管架4之際，保持部21係以保持物品2的狀態被配置在待機位置P1。而且，移載裝置13，係進行支臂部20從待機位置P1朝向+Y側或-Y側伸長。支臂部20的伸長方向，係利用旋轉驅動部22的旋轉，朝著+Y側或-Y側變更。移載裝置13，係在將物品2交到移載目的端之際，使支臂部20以對著移載目的端定位的狀態而伸長，將保持部21上的物品2配置到移載目的端的上方。而且，藉由使昇降台12下降，將物品2從保持部21交往移載目的端。如此一來，移載裝置13，係以對著+Y側或-Y側的移載目的端而伸長的狀態將物品2載置到移載目的端。又，保持部21，係在已保持的物品2被移載之後，支臂部20進行收縮並配置到待機位置P1。 　　[0027] 又，在移載裝置13從保管架4等的移載目的端收取物品2之際，保持部21係以未保持物品2的狀態被配置在待機位置P1。而且，保持部21，係使支臂部20對著配置在移載目的端的物品2而伸長，被配置在物品2的底面的下方。而且，移載裝置13係藉由使昇降台12上昇，讓保持部21撈起物品2。而且，移載裝置13，係在物品2被保持在保持部21上的狀態下使支臂部20收縮，讓支臂部20及保持部21移動到待機位置P1，將物品2保持在昇降台12之上。如上所述，移載裝置13，係可在將物品2保持在前端側(保持部21)的狀態下，對著移載目的端從待機位置P1開始伸縮，且在對著移載目的端而伸長的狀態下，將物品2載置到移載目的端。此情形下，移載裝置13的尺寸得以小型化。 　　[0028] 再者，第1圖等所示的移載裝置13，係為其中一例，亦可為其他構成。例如：移載裝置13亦可為以把持著設置在物品2的上部的邊緣2c(參看第8圖)來保持物品2，或是以夾住物品2的側面來保持物品2。又，移載裝置13並不限於使用上述的支臂部20，例如：亦可使用多關節的機器人手臂等。 　　[0029] 其次，針對檢測部14做說明。檢測部14，係如第1圖所示，被設置在昇降台12。檢測部14，係用來檢測移載目的端及被載置在移載目的端的物品2的姿勢或位置。檢測部14，係照相機、錄影機等的攝像裝置、可測定距離、位置或位移等的感測器等。此例中，檢測部14是以攝像裝置做說明。檢測部14，係為例如：以影像或動畫作為數位資料而取得的數位攝影機(數位視訊攝影機)。檢測部14亦可具備：自動對焦機構、變焦機構、閃光燈等。 　　[0030] 檢測部14，係如第2圖所示，具備：複數個檢測部14a至14d。檢測部14a、14b，係分別設置在頂板12c的+Y側的+X側及-X側。檢測部14a、14b，係分別向著+Y側而設置，用來檢測+Y側。檢測部14c、14d，係設置在頂板12c的-Y側的+X側及-X側。檢測部14c、14d，係分別向著-Y側而設置，用來檢測-Y側。 　　[0031] 第6圖是由-Y側觀看昇降台及檢測部的前視圖。檢測部14c、14d，係分別經由支撐構件25，而設置在頂板12c。檢測部14c、14d，係分別利用支撐構件25，以既定的角度朝向斜下方而設置，從斜上方進行攝像。藉此，檢測部14c、14d，係能夠拍攝被載置在保管架4的物品2的昇降台12側(在第6圖為-Y側)及保管架4的昇降台12側。因而，檢測部14，係能確實地拍攝被載置在保管架4的物品2的昇降台12側、及保管架4的昇降台12側。又，檢測部14從斜上方拍攝時，因將檢測部14配置在昇降台12的上方，故而能抑制因設置檢測部14之增加水平方向的尺寸。又，檢測部14c、14d，係分別向著被載置在移載目的端的物品2的+X側、-X側而設置，以物品2的+X側、-X側之部分為中心進行拍攝地來調整X方向的方向。 　　[0032] 再者，檢測部14c、14d，係皆不限於上述的姿勢，例如：如後續以第11圖所做說明的，亦可向著水平方向而設置。又，檢測部14c、14d，亦可為分別能將姿勢利用驅動裝置進行可動的構成。此構成的情形下，檢測部14c、14d，係使驅動裝置的驅動藉由來自儲料器控制部6或管理裝置16的動作指令被控制，就可控制其姿勢。 　　[0033] 照明部15，係如第2圖所示，具備複數個照明部15a至15d。照明部15a、15b，係分別被設置在頂板12c之+Y側的+X側及-X側。照明部15a、15b，係分別朝向頂板12c的+Y側而設置，來照明+Y側。照明部15c、15d，係分別被設置在頂板12c之-Y側的+X側及-X側。照明部15c、15d，係朝向頂板12c的-Y側而設置，來照明-Y側。 　　[0034] 如第6圖所示，照明部15c、15d，係分別被配置在檢測部14、14d的近傍。照明部15c、15d，係分別在檢測部14c、14d的下方，並且設置在-Y側(移載目的端側)。照明部15c、15d，係在利用檢測部14c、14d的檢測之際，用來照明移載目的端及被載置在該移載目的端的物品2。照明部15b，係使用LED等的發光元件。照明部15c、15d，係分別向著檢測部14c、14d所檢測的方向(第6圖中-Y側)而設置。照明部15b，係配置成相對於被載置在移載目的端的物品2而從既定的角度來照明。 　　[0035] 照明部15c、15d，係與儲料器控制部6(參看第1圖)可通訊地連接。照明部15c、15d，其照明的開/關(ON/OFF)的時序或照明光的強度等是藉由儲料器控制部6被控制。再者，雖於第6圖表示-Y側的檢測部14c、14d及照明部15c、15d，但+Y側的檢測部14a、14b及照明部15a、15b(參看第2圖)，亦可為與-Y側的檢測部14c、14d及照明部15c、15d相同的構成。如上所述，在利用檢測部14的檢測之際，具備用來照明移載目的端及被載置在該移載目的端的物品2的照明部15的情形下，因照明部15能確實地照明移載目的端及被載置在該移載目的端的物品2，故而檢測部14能精度優地檢測出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。又，搬送裝置1是否具備照明部15a至15d是任意的。 　　[0036] 其次，針對利用檢測部14a至14d取得物品2的影像做說明。檢測部14a至14d(參看第2圖)，係分別至少取得被載置在保管架4的物品2的昇降台12側(在第7圖中-Y側)及保管架4的昇降台12側的影像。檢測部14a至14d，係分別根據拍攝指標部27與物品2的特徵部分28的影像來檢測物品2的姿勢或移載目的端的位置。 　　[0037] 第7圖是放大保管架之一部分的俯視圖。架子4a，係在每一個物品2的載置部分，設有插銷30a至30c、缺口部32、及指標部27。複數根(例如三根)的插銷30a至30c，係例如為動力銷，應用在物品2的定位。複數根插銷30a至30c，係分別設置在架子4a的既定位置。插銷30a，係在架子4a中，被設置在昇降台12側(-Y側)的+X側的既定位置。插銷30b，係在架子4a中，被設置在昇降台12側(-Y側)的-X側的既定位置。插銷30c，係在架子4a中，於遠離昇降台12之側(+Y側)，被設置在X方向的中央部分的既定位置。 　　[0038] 缺口部32，係移載裝置13的保持部21為可朝垂直方向通過 (參看第5圖)。缺口部32，係形成當保持部21插入時保留間隙，就是由上方觀看的形狀，會比保持部21還大。物品2利用移載裝置13被移載到保管架4之際，保持部21會從缺口部32的上方朝下方移動，使其進行物品2的移載動作。物品2，係設置在架子4a的複數個插銷30a至30c分別被插入到物品2的底面的定位用的溝部，就會被定位在架子4a。物品2，係以定位的狀態被載置在架子4a。 　　[0039] 指標部27係具有：複數個指標部27a、27b。指標部27a、27b，係分別形成可利用檢測部14拍攝。例如：指標部27a、27b，係分別為已上色的圓形記號。指標部27a、27b，係分別設定成當拍攝時可識別的顏色。指標部27a、27b，係分別相對於複數個插銷30a至30c中之昇降台12側(-Y側)的兩個插銷30a、30b，而設置在既定的角度及既定的距離。又，指標部27a，係配置成指標部27a與插銷30a所連起的直線相對於Y方向呈既定的角度(在此例中，與 Y方向平行)。又，指標部27b和插銷30b的位置關係，係與指標部27a和插銷30a的位置關係相同。 　　[0040] 物品2通常是以既定的尺寸形成。物品2的昇降台12側的端部2P，通常由上方觀看時，會形成與X方向平行的直線狀。端部2P，被設定在特徵部分28。物品2，被正常載置在位置P1的情形下，指標部27a和端部2P的距離La、及指標部27b和端部2P的距離Lb，是呈相同的既定之值。另一方面，物品2，相對於正常的位置P1而被載置在偏離水平方向(在第7圖中XY平面方向)的位置P2的情形下，指標部27a和端部2P的距離Lc以及指標部27b和端部2P的距離Ld，就會成為互不相同的值。此情形下，可根據距離Lc及距離Ld，定量地檢測出物品2的水平方向的偏移。又，當端部2P朝垂直方向偏移時，可根據相對於端部2P的水平面(在第7圖中XY平面)的傾斜之值，定量地檢測出物品2的垂直方向(Z方向)的偏移。 　　[0041] 再者，指標部27的大小、形狀、顏色、數量及位置中的至少之一，並不限於第7圖所示的舉例，可任意設定。例如：指標部27，亦可為配置在既定位置的直線。又，指標部27的數量，並非都是兩個，例如：可為一個或三個以上。又，搬送裝置1是否具備指標部27是任意的，例如：亦可不具備指標部27。又，特徵部分28，並不限於第7圖所示的端部2P，可任意設定。例如：特徵部分28，亦可為後續第8圖所說明的段差2d。又，特徵部分28，亦可並非是一個。例如：特徵部分28亦可為複數個。 　　[0042] 第8圖是表示由-Y方向觀看物品的側視圖。第8圖的物品2，其底緣2b是以透明的材料所形成。物品2，係有使用以透明的材料所形成的構件的情形。此物品2，係具有：可將半導體晶圓收容到內部的本體部2a、設置在本體部2a之下部的底緣2b、及設置在本體部2a之上部的邊緣2c。底緣2b的+X側的端部2Q及-X側的端部2Q，係分別形成R角形狀。又，底緣2b，係於+X側及-X側之部分的既定位置，形成有朝向與Y方向平行的方向突出的段差2d、2e。段差2d、2e，係分別如第8圖的放大圖所示，是以與位在底緣2b之+X側及-X側的XZ平面平行的面Sa；和位在與面Sa之間的XZ平面平行的面Sb；和與形成在面Sa和面Sb之間的YZ平面平行的段差面Sc所形成。 　　[0043] 如上所述，物品2(例如底緣2b)以透明的材料所形成的情形下，拍攝相當於物品2之邊緣的本體部2a或底緣2b之X側及Z側的各端部等的特徵部分28(例如第7圖所示的端部2P)是很困難的。例如：此種情形下，藉由利用照明部15的照明光之照射的角度等，能鮮明地拍攝段差2d、2e。又，上述的物品2的邊緣為R角形狀等之帶有圓形所形成的情形下(例如第8圖所示的端部2Q) 拍攝也是很困難的。如此這般，物品2以透明的材料所形成的情形下，或是邊緣以R角形狀形成的情形下，利用檢測部14來拍攝邊緣等的特徵部分28是很困難的，故而可將物品2之邊緣以外的上述之段差2d、2e作為特徵部分28。 　　[0044] 第9圖是表示物品、檢測部及照明部的位置關係的俯視圖。本實施形態中，設置在+X側的檢測部14c，係用來拍攝段差2d以及包括+X側的指標部27a(參看第7圖)的物品2的+X側。照明部15c的移載目的端側(+Y側)中，+X側之端的位置為位置Pa、-X側之端的位置為位置Pb、位置Pa與位置Pb的中央為位置Pc。又，該些位置Pa至Pc相對於段差面Sc所呈的角分別為θ1、θ2、θ3。θ1、θ2、θ3分別設定為13°≦θ1、θ2、θ3≦18°，將檢測部14c配置在-Y側的照明部15c的近傍，就能鮮明地拍攝段差2d。再者，雖在第9圖中表示設置在+X側的檢測部14c、照明部15c及段差2d的位置關係，但設置在-X側的檢測部14d、照明部15d及段差2e的位置關係也設定成與第9圖對稱，檢測部15d係用來檢測段差2e。又，為了鮮明地拍攝上述之段差2d、2e的+Y側的檢測部14a、14b及照明部15a、15b的位置(大小)，係分別與-Y側的檢測部14c、14d及照明部15c、15d的位置(大小)相同。又，各檢測部14(14a至14d)(以下簡稱各檢測部14)及各照明部15(15a、15b)(以下簡稱各照明部15)的位置，並不限於第9圖所示的位置，分別可任意設定。例如：雖在第9圖表示設置在+X側的檢測部14c是用來拍攝物品2的+X側的例子，但並不限於此，例如：檢測部14c、14d，亦可分別用來檢測物品2的+X側及-X側。 　　[0045] 該段差2d、2e，係分別利用檢測部14c、14d直線狀地拍攝。例如：物品2朝水平面方向偏移而載置的情形下，相對於第7圖所示的指標部27a、27b的段差2d的位置(或距離)，是與相對於物品2被正常配置的情形不同，根據該不同的量，就能定量地檢測出物品2之水平方向(在第8圖中平行於XY平面的方向)的偏移。又，段差2d，係因利用檢測部14c、14d所拍攝影像為直線狀，故而能根據相對於段差2d、2e之水平面的傾斜之值，定量地檢測出物品2的垂直方向(Z方向)的偏移。因而，此種的段差2d、2e，係能設定成特徵部分28。 　　[0046] 各檢測部14，係在搬送装置1將物品2移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測該物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。此情形下，能精度優且有效率地檢測出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。各檢測部14，係例如：在完成利用移載裝置13往移載目的端移載物品2之後，即來檢測移載後的物品2的姿勢或位置。此情形下，各檢測部14，能更迅速地進行檢測。例如：各檢測部14，係於上述之移載動作中，保持部21從缺口部32的上方移動到下方的最低點並於完成物品2的移載動作之後，即來檢測移載後的物品2的姿勢或位置。例如：各檢測部14，係物品2被載置到移載目的端之後，在移載裝置13從伸長的狀態返回到待機位置P1的期間進行檢測。各檢測部14是物品2載置到移載目的端之後，且在移載裝置13從伸長的狀態返回到待機位置P1的期間進行檢測的情形下，因移載裝置13是在進行移載動作的期間進行檢測，故能減低檢測所致的搬送時間的損失。 　　[0047] 又，各檢測部14除了檢測上述之移載後的物品2的姿勢或位置之外，還能檢測且確認被保持在保持部21的物品2的姿勢或位置。該確認是在移載動作中(來自移載目的端的物品2的移載中、送往移載目的端的物品2的移載中)進行，作為移載動作的確認使用。又，各檢測部14除了上述的檢測之外，還能針對物品2的移載目的端進行確認。該確認係在移載動作的開始前進行，作為物品2是否已存在於移載目的端的確認使用。又，藉由各檢測部14的確認，係可應用於在保管架4的高處發出移載異常之警報的情形下，取代作業者以目視來確認物品2的移載狀態。藉此，例如：在地震等引起災害之際，能迅速地確認被載置在保管架4的物品2的狀態。地震等之災害的情形下，因具有物品2從保管架4偏移而掉落，或是保管架4自身傾倒損壞的可能性，故而雖必須避免經由作業者之目視的確認作業，但藉由進行上述之移載目的端的物品2之有無、姿勢或位置的確認，就能很容易且迅速地來確認被保管在保管架4的物品2。 　　[0048] 如第1圖所示，各檢測部14係個別被連接在資料匯流排38。各檢測部14，係分別將所取得的影像的資料(以下稱「影像資料」)輸出到資料匯流排38。由複數個檢測部14a至14d的各個所輸出的影像資料，係記錄在記錄部36。再者，各檢測部14，係亦可對影像資料執行既定的影像處理，將處理後的影像資料輸出到資料匯流排38。例如：各檢測部14亦可輸出將影像資料做二值化處理或是灰階處理等之影像處理的資料，且亦可輸出將影像資料做可逆壓縮處理或是非可逆壓縮等之壓縮處理的資料。 　　[0049] 如上所述，檢測部14係取得移載目的端及載置在該移載目的端的物品2的影像，並根據影像來檢測物品2的姿勢或移載目的端的位置，故而比較經由感測器的判定時，於影像包含多個有關物品2的姿勢或位置的資訊，故而檢測部14能精度優地來判定物品2的姿勢或位置。又，檢測部14，係如上所述，因根據影像進行檢測，故而搬送装置1對於大小或形狀不同的物品2也能適用。又，檢測部14，在根據拍攝到設置在移載目的端的指標部27和物品2的特徵部分28的影像來檢測物品2的姿勢或移載目的端的位置的情形下，因檢測部14係根據指標部27和特徵部分28來檢測，故而檢測部14能精度優地來檢測物品2的姿勢或移載目的端的位置。 　　[0050] 管理裝置16，係用來處理及管理從攝像部5及各檢測部14所輸出的影像資料。又，管理裝置16，係執行儲料器控制部6的控制等。管理裝置16係配置在框體3的外部。管理裝置16係具備：顯示部34、輸入部35、記錄部36、控制部37、應用在各部之資料傳送的資料匯流排38。顯示部34、輸入部35、記錄部36及控制部37，係分別連接在資料匯流排38，相互地執行資料的收授。管理裝置16係藉由電腦裝置所構成，該電腦裝置具備： CPU、主記憶體、硬碟等的記憶裝置、有線或無線的通信裝置、鍵盤或滑鼠等的輸入裝置以及顯示器等的顯示裝置。該電腦裝置，係讀出記憶在記憶裝置的各種程式，按照該程式來實行處理。再者，儲料器控制部6亦兼具管理裝置16的一部分或全部。管理裝置16亦可配置在框體3的內部或外部的任一邊。 　　[0051] 顯示部34，係例如為液晶顯示器等，用來顯示從控制部37輸出的各種資訊。輸入部35，係例如為鍵盤或滑鼠等的輸入裝置，利用於將各種資訊輸入到管理裝置16。記錄部36，係例如為硬碟等的記憶裝置，用來記錄各種資料。記錄部36，係用來記錄(儲存)來自檢測部14的影像資料等等。 　　[0052] 控制部37，係進行各部的控制及各種資料的處理。控制部37係具備：影像處理部39、判定部40。控制部37，係與儲料器控制部6利用有線或無線可通訊地連接。再者，控制部37，亦可不與儲料器控制部6連接。 　　[0053] 影像處理部39，係進行影像資料的處理。影像處理部39，係讀出被記錄在記錄部36的影像資料來進行影像處理。例如：記憶在記憶裝置的影像處理程式，係於電腦裝置實行上述的影像處理，使電腦裝置作為影像處理部39的功能。影像處理部39，係根據複數個影像資料，而算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。再者，影像處理部39，亦可根據一個影像資料，算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。 　　[0054] 影像處理部39，在算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置之際，先根據藉由各檢測部14所取得的影像資料，來算出表示影像資料的物品2的特徵部分28及指標部27的資料。例如：影像處理部39，係執行影像資料的二值化處理，根據已二值化處理的影像資料來進行邊緣檢測處理。接著，影像處理部39，係藉由將已邊緣檢測處理的影像資料進行圖案比對處理，算出表示特徵部分28及指標部27的資料。圖案比對處理，係從已邊緣檢測處理的影像資料之中，來檢測與預先儲存在管理裝置16的記憶裝置(圖未表示)的特徵部分28及指標部27的圖案的資料類似的部分。圖案比對處理的方法，皆未特別限制，能採用任意的方法。 　　[0055] 接著，影像處理部39，係根據表示經由圖案比對處理所得到的特徵部分28及指標部27的資料，算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。例如：特徵部分28為端部2P(參看第7圖)的情形下，影像處理部39，係用來算出端部2P和指標部27a的距離La(Lc)、以及端部2P和指標部27b的距離Lb(Ld)、以及相對於端部2P之水平面的傾斜。藉此，得以算出相對於物品2的指標部27的相對位置，且算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。又，特徵部分28為段差2d、2e(參看第8圖)的情形下，影像處理部39，係用來算出相對於指標部27a、27b(參看第7圖)之段差2d、2e的位置(或距離)、相對於段差2d之水平面的傾斜。例如：影像處理部39，係針對經由+X側之檢測部14a、14c的影像資料，進行上述的邊緣檢測處理及圖案比對處理，算出相對於+X側的指標部27a及+X側的段差2d之水平面的傾斜。又，影像處理部39，係針對經由-X側之檢測部14b、14d的影像資料，進行上述的蝕刻處理及圖案比對處理，算出相對於-X側的指標部27b及-X側的段差2e之水平面的傾斜。藉此，得以算出相對於物品2的指標部27的相對位置，且算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。如此這般，將兩個段差2d、2e或指標部27a、27b，利用所對應的兩個檢測部14a、14b(或檢測部14c、14d)取得影像的情形下，能更正確地進行上述的處理。再者，影像處理部39，例如：沒有指標部27的情形下，僅利用特徵部分28也可算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。 　　[0056] 其次，針對第1圖所示的判定部40做說明。判定部40，係根據檢測部14的檢測結果來判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。例如：記憶在記憶裝置的判定程式，係於電腦裝置實行處理，使電腦裝置作為判定部40的功能。判定部40係根據利用影像處理部39所算出的物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置的結果，算出相對於正常被載置到移載目的端的狀態的物品2(例如：第7圖所示的位置P1)的偏移量(以下簡稱「偏移量」)。判定部40，係藉由比較已算出的偏移量和預先設定的臨限值，來判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。 　　[0057] 判定部40，係在偏移量未達臨限值的情形下，判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是在適當範圍內。判定部40，係在偏移量達到臨限值以上的情形下，判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是在適當範圍外。再者，在偏移量達臨限值以上的情形下，判定部40，亦可將移載目的端的物品2的姿勢或位置，配合偏移量以複數個位準進行判定。例如：此情形下，判定部40，亦可配合偏移量，如偏移量大、偏移量中、偏移量小等情形做判定。 　　[0058] 判定部40，係在搬送裝置1將物品2移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前進行判定。如此這般，判定部40是在搬送裝置1向著其他移載目的端開始移動之前進行判定的情形下，搬送裝置1就能夠快速地向著其他移載目的端開始移動。又，判定部40，係每當搬送裝置1將物品2載置到移載目的端就進行判定。判定部40，是每當搬送裝置1將物品2載置到移載目的端就進行判定的情形下，能確實地判定已移載的物品。再者，搬送裝置1亦可控制成直到經由判定部40的判定結束為止，使移動向著其他移載目的端而待機。例如：搬送裝置1，亦可將表示經由判定部40之判定結束的指示的信號傳送到儲料器控制部6，儲料器控制部6在接收到該信號之後，使搬送裝置1向著其他移載目的端開始移動。再者，判定部40進行判定的時序，並不限於上述的時序，是任意的。 　　[0059] 並且，控制部37，係判定部40判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是在適當範圍外的情形下，即進行既定的處理。例如：控制部37亦可控制成對顯示部34或儲料器控制部6的顯示裝置(圖未表示)進行警告的顯示。又，判定部40判定是在上述的適當範圍外的情形下，控制部37亦可控制成驅動發出警報的警示燈等的報知裝置來進行報知。又，此情形下，控制部37，係可在受儲料器控制部6管理的物品2的管理資訊中附加顯示物品的移載異常的資訊，進而，儲料器控制部6，係可控制成搬送裝置1不會對附加有顯示移載異常之資訊的場所的物品2進行移載。藉此，就能防止搬送裝置1，經由移載異常被載置的物品2所產生的異常停止。如此這般，因當判定部40判定是在上述的適當範圍外時，即進行既定的處理，故而能針對異常被載置的物品2而進行適當的處理。再者，控制部37係當判定是在上述的適當範圍外時，亦可不進行既定的處理。 　　[0060] 其次，根據搬送裝置1的動作，針對有關實施形態的搬送方法做說明。第10圖是表示搬送裝置1的動作之其中一例的流程圖。 　　[0061] 本搬送方法，係為在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，針對移載目的端來移載物品的搬送方法。本搬送方法，首先於步驟S1中，來判定物品2是否移載到移載目的端。例如，搬送裝置1，係於物品2的搬送前或搬送中，藉由儲料器控制部6，來判定物品2是否移載到移載目的端。 　　[0062] 儲料器控制部6是在判定物品2未移載到移載目的端的情形下(步驟S1的NO)，返回到步驟S1，再度進行判定物品2是否移載到移載目的端。又，儲料器控制部6是在判定物品2移載到移載目的端的情形下(步驟S1的YES)，於步驟S2中，進行物品2的移載動作(載置動作)。送往移載目的端的物品2的移載動作(載置動作)，係如上所述。再者，於步驟S1判定物品2移載到移載目的端，亦可在利用儲料器控制部6指示搬送物品2之際進行，或者亦可在搬送裝置1到達可將物品2移載到目的之移載目的端的既定位置之際進行。 　　[0063] 接著，於步驟S3中，判定物品2的移載是否完成。例如：儲料器控制部6係判定利用上述的搬送裝置1的物品2的移載動作完成了嗎。例如：儲料器控制部6，係用來判定上述的保持部21是否下降到最低點。儲料器控制部6，在判定移載動作未完成的情形下(步驟S3的NO)，返回到步驟S2，繼續移載動作，或是重新進行移載動作。儲料器控制部6，是控制成在判定移載動作完成的情形下(步驟S3的YES)，亦即，在判定物品2被載置到移載目的端的情形下，在步驟S4中，檢測部14係在搬送裝置1將物品2移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測該物品2的姿勢或移載目的端的物品的位置。例如：如上所述，利用各檢測部14(14a至14d)，來檢測物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。各檢測部14(14a至14d)，係在物品2載置到移載目的端之後，來檢測該物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。各檢測部14(14a至14d)，係例如：在物品2利用移載裝置13往移載目的端的移載完成之後，亦即在步驟S3判定YES的時間點，來檢測已移載的物品2的姿勢或位置。例如：各檢測部14(14a至14d)，係取得該時間點的物品2及移載目的端的影像。例如：各檢測部14(14a至14d)，係於上述的移載動作中，保持部21從缺口部32的上方朝下方移動，在物品2的移載動作完成之後，來檢測已移載的物品2的姿勢或位置。各檢測部14(14a至14d)，係分別藉由拍攝已預先設定的攝像範圍來拍攝物品2，藉此檢測已移載的物品2的姿勢或位置。例如：設置在+X側的檢測部14a、14c是用來拍攝包括+X側的段差2d及+X側的指標部27a的物品2的+X側進行檢測，例如：設置在-X側的檢測部14b、14d是用來拍攝包括-X側的段差2e及-X側的指標部27b的物品2的-X側進行檢測。 　　[0064] 接著，於步驟S5中，根據各檢測部14(14a至14d)已檢測的結果來判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。例如：如上所述，藉由判定部40，根據檢測部14已檢測的結果來判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。判定部40，係在搬送裝置1向著其他移載目的端開始移動之前進行判定。例如：判定部40係在物品2被載置到移載目的端之後，在移載裝置從伸長的狀態返回到待機位置的期間進行判定。又，判定部40是每當搬送裝置1將物品2載置到移載目的端即進行判定。 　　[0065] 判定部40判定物品2的姿勢或位置是在適當範圍內的情形下 (步驟S5的YES)，在步驟S7中，搬送裝置1會向著其他移載目的端開始移動。例如：搬送裝置1，係藉由儲料器控制部6的控制，向著其他移載目的端開始移動，返回到步驟S1，判定是否將物品2移載到移載目的端。又，判定部40判定物品2的姿勢或位置不在適當範圍內的情形下(步驟S5的NO)，在步驟S6中，實行既定的處理。例如：控制部37亦可控制成顯示部34或儲料器控制部6的顯示裝置(圖未表示)進行警告的顯示，或者驅動發出警報的警示燈等等的報知裝置來進行報知，亦或控制成可在受儲料器控制部6管理的管理資訊中附加顯示物品2之移載異常的資訊。此情形下，儲料器控制部6，亦可控制成搬送裝置1不會移載顯示移載異常的物品2。如此一來，就能在因維修等停止自動倉庫S或搬送裝置1的時機，來確認顯示移載異常的物品2的移載狀態，故能抑制生產性降低。再者，是否進行步驟S6是很任意的。 　　[0066] 如以上說明，本實施形態的搬送裝置1及搬送方法，係能以適當的時序迅速且精度優地檢測出載置在保管架4的物品2的姿勢或位置。本實施形態的搬送裝置1及搬送方法，係在上述之步驟S1至S7連續的一連串動作中，進行經由檢測部14的檢測及經由判定部40的判定，將物品2載置到移載目的端，在此情形下，能夠確認該物品2是否正確的載置在移載目的端。 　　[0067] [第2實施形態] 　　第11圖是概念性表示有關第2實施形態的搬送裝置1A的圖。第11圖是由-Y側觀看搬送裝置1A的前視圖。第12圖是由-X側觀看第11圖的搬送裝置1A的側視圖。第2實施形態的搬送裝置1，係檢測部14A及照明部15A的構成是與第1實施形態的搬送裝置1不相同。有關其他的構成係與第1實施形態相同，附上相同的標號而將其說明做適當省略或簡化。以下，與第1實施形態不同的點為中心做說明。 　　[0068] 第2實施形態的搬送裝置1A，係與第1實施形態相同地應用於自動倉庫SA。自動倉庫SA係具備：搬送裝置1A、框體3、保管架4(移載目的端)、攝像部5、及儲料器控制部6。自動倉庫SA，係取代第1實施形態的搬送裝置1，除了具有搬送裝置1A之點以外，其餘與第1實施形態的自動倉庫S相同，故有關搬送裝置1A以外的構成，係將其說明做適當省略或簡化。 　　[0069] 第11圖的搬送裝置1A係具備：移行體10(參看第1圖)、柱11、昇降台12、移載裝置13、檢測部14A、照明部15A、及管理裝置16(參看第1圖)。搬送裝置1A，係取代第1實施形態的檢測部14及照明部15，除了具備檢測部14A及照明部15A的點以外，其餘與第1實施形態的搬送裝置1相同。有關與搬送裝置1相同的構成，係將其說明做適當省略或簡化。 　　[0070] 檢測部14A，係如第12圖所示，具備檢測部14b、14d、14e、14f。檢測部14b、14d，係分別配置在頂板12c的+Y側及-Y側。檢測部14b、14d，係分別向著+Y側、-Y側而配置，用來檢測+Y側、-Y側。檢測部14b、14d，係分別向著水平方向(與XY平面平行的方向)而配置，沿水平方向拍攝。檢測部14d，係如第11圖所示，被配置在頂板12c之X方向的中央部分。檢測部14b，係與檢測部14b相同地被配置在頂板12c之X方向的中央部分(圖未表示)。檢測部14b、14d，係分別用來檢測包括第12圖以箭頭所示的本體部2a的上端部2R的物品2的上部。上端部2R，係與X方向平行的方向。上端部2R，作為特徵部分28而設定。檢測部14b、14d是向著水平方向被配置，上端部2R是與X方向平行的方向，故而檢測部14b、14d，能以上端部2R作為特徵部分來進行精度優的檢測。檢測部14b、14d，除上述以外的點，係與第1實施形態的檢測部14b、14d相同，故而省略其說明。 　　[0071] 檢測部14e、14f，係分別配置在支柱部12b的+Y側及-Y側。檢測部14e、14f，係分別向著+Y側、-Y側而配置，用來檢測+Y側、-Y側。檢測部14e、14f，係分別向著水平方向(與XY平面平行的方向)而配置，沿水平方向拍攝。檢測部14e、14f，係分別用來檢測包括第12圖以箭頭所示的物品2的本體部2a的下端部2S的物品2的下部。下端部2S，係與X方向平行的方向。下端部2S，作特徵部分28而設定。檢測部14e、14f是向著水平方向而配置，上端部2R是與X方向平行的方向，故而檢測部14e、14f能以上端部2R作為特徵部分來進行精度優的檢測。檢測部14e、14f，除上述以外的點，係與第1實施形態的檢測部14b、14d相同，故而省略其說明。 　　[0072] 照明部15A，係如第12圖所示，具備照明部15e、15f。照明部15e、15f，係分別配置在支柱部12b的+Y側及-Y側。照明部15e、15f，係分別向著+Y側、-Y側而配置，用來檢測+Y側、-Y側。照明部15e、15f，係分別在經由各檢測部14(14b、14d、14e、14f)(以下簡稱「各檢測部14A」)的檢測之際，來照明移載目的端及載置在該移載目的端的物品2。照明部15e、15f，除上述以外的點，係與第1實施形態的照明部15b、15d相同，故而省略其說明。 　　[0073] 其次，針對經由各檢測部14A取得物品2的影像做說明。各檢測部14A，係分別至少取得載置在保管架4的物品2的昇降台12側(在第12圖中+Y側)及保管架4的昇降台12側的影像。各檢測部14A，係分別根據拍攝到指標部27和物品2的特徵部分28(上端部2R及下端部2S)的影像，來檢測物品2的姿勢或移載目的端的位置。 　　[0074] 特徵部分28的上端部2R及下端部2S，係分別利用各檢測部14A直線狀地拍攝。上端部2R及下端部2S，係物品2朝垂直方向偏移而載置的情形下，與相對於物品2正常被配置的情形不同，上端部2R及下端部2S是相對於水平面而傾斜檢測的。根據該不同的量就能定量地檢測出物品2之垂直方向的偏移。 　　[0075] 又，下端部2S，係因利用檢測部14e、14f所拍攝的影像為直線狀，故而能使用下端部2S及指標部27，與使用第1實施形態的端部2P及指標部27的方法相同地來檢測物品2的姿勢或移載目的端的位置。物品2被載置在第7圖所示的正常的位置P1的情形下，指標部27a與下端部2S的距離以及指標部27b與下端部2S的距離，係為相同的既定之值。另一方面，物品2相對於第7圖所示的正常的位置P1而被載置在偏離水平方向(在第7圖中XY平面方向)的位置P2的情形下，指標部27a與下端部2S的距離以及指標部27b與下端部2S的距離，就會成為互不相同的值。此情形下，可根據指標部27a與下端部2S的距離及指標部27b與下端部2S的距離，定量地檢測出物品2之水平方向的偏移。 　　[0076] 各檢測部14A，係在前述搬送裝置將物品移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測該物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。各檢測部14A，係例如：在完成利用移載裝置13往移載目的端移載物品2之後，即檢測已移載的物品2的姿勢或位置。 　　[0077] 其次，針對影像處理部39及判定部40做說明。影像處理部39，係根據利用各檢測部14A取得的影像資料，與第1實施形態相同地算出表示影像資料的物品2的特徵部分28的上端部2R和下端部2S、以及指標部27的資料。例如：影像處理部39，係執行影像資料的二值化處理，根據已二值化處理的影像資料來進行邊緣檢測處理。接著，影像處理部39，係藉由將已邊緣檢測處理的影像資料進行圖案比對處理，算出表示特徵部分28及指標部27的資料。 　　[0078] 例如：影像處理部39，係利用相對於上端部2R及下端部2S的水平面之傾斜，定量地檢測出物品2之垂直方向的偏移。藉此，算出物品2的姿勢。又，影像處理部39，係根據指標部27a和下端部2S的距離以及指標部27b和下端部2S的距離，定量地檢測出物品2之水平方向的偏移。藉此，算出相對於物品2的指標部27的相對位置，且算出物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置。 　　[0079] 判定部40，係與第1實施形態相同地，根據利用影像處理部39算出的物品2的姿勢或移載目的端的物品2的位置的結果，算出相對於正常被載置在移載目的端之狀態的物品2(例如：第7圖所示的位置P1)的偏移量。判定部40，係藉由比較已算出的偏移量和預先設定的臨限值，來判定移載目的端的物品2的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內。 　　[0080] 再者，搬送裝置1A的動作，除上述之點以外其餘與第1實施形態相同。藉此，檢測出已移載的物品2的姿勢或位置，判定該些是否位在適當範圍內。 　　[0081] 如以上說明，本實施形態的搬送裝置1A，係能以適當的時序迅速且精度優地檢測出被載置在保管架4的物品2的姿勢或位置。 　　[0082] 再者，本發明的技術範圍，並不限於上述之實施形態等所說明的形態。上述之實施形態等所說明的要件之一個以上得以省略。又，上述之實施形態等所說明的要件，可適當組合。又，在法令所容許的限制中，援用日本發明專利之特願2016-198633及本說明書之實施形態等所引用的所有文獻之揭示作為本文記載的一部分。 　　[0083] 又，檢測部14的構成，並不限於第2圖等所示的構成，亦可為其他構成。例如：檢測部14a至14d中的至少一個，可向著水平方向而設置。又，檢測部14，係在昇降台12的+Y側及-Y側的各側並不限於具備兩個，檢測部14，係在昇降台12的+Y側及-Y側亦可為至少一個。例如：檢測部14a、14c及檢測部14b、14d中的任一個，沒有亦可。 　　[0084] 又，檢測部14A的構成，並不限於第12圖等所示的構成，亦可為其他構成。例如：檢測部14b、14d、14e、14f中的至少一個，係向著上方而設置 (亦可從斜上方拍攝)，或者亦可向著下方而設置 (亦可從斜下方拍攝)。又，檢測部14A，係在昇降台12的+Y側及-Y側的各側並不限於具備兩個，檢測部14，係在昇降台12的+Y側及-Y側亦可為至少一個。例如：檢測部14b、14d及檢測部14e、14f中的任一個，沒有亦可。 　　[0085] 又，照明部15的構成，並不限於第2圖等所示的構成，亦可為其他構成。例如：照明部15(15至15d)，並不限於各一個，亦可為兩個以上。又，照明部15a的數量及照明部15b的數量，亦可為互不相同。又，照明部15的位置，並不限於第2圖等所示的位置，亦可為其他構成。例如：照明部15的位置，亦可為第12圖所示的照明部15e、照明部15f的位置。 　　[0086] 又，照明部15A的構成，並不限於第12圖等所示的構成，亦可為其他構成。例如：照明部15A，亦可如第6圖等所示，配置在頂板2c，向著斜下方而設置。 　　[0087] 又，在上述的實施形態中第1圖等所示的搬送裝置1、1A，係為其中一例，亦可為其他構成。例如：搬送裝置1、1A的柱11的數量可為一個，例如兩個亦可。 　　[0088] 又，在上述的實施形態中第1圖等所示的自動倉庫S、SA，係為其中一例，亦可為其他構成。例如：自動倉庫S，係框體3及攝像裝置5中的至少一個，沒有亦可。 　　[0089] 又，在上述的實施形態中第1圖等所示的管理裝置16，係為其中一例，亦可為其他構成。例如：管理裝置16，係顯示部34及輸入部35中的至少一個，沒有亦可。
[0090]1、1A‧‧‧搬送裝置2‧‧‧物品4‧‧‧保管架(移載目的端)12‧‧‧昇降台13‧‧‧移載裝置14、14a至14f‧‧‧檢測部15、15a至15f‧‧‧照明部27、27a、27b‧‧‧指標部28‧‧‧特徵部分37‧‧‧控制部39‧‧‧影像處理部40‧‧‧判定部S、SA‧‧‧自動倉庫
[0011] 　　[第1圖]概念性表示有關第1實施形態的搬送裝置所應用的自動倉庫之其中一例的前視圖。 　　[第2圖]表示第1圖的自動倉庫的俯視圖。 　　[第3圖]表示第1圖的自動倉庫的側視圖。 　　[第4圖]表示昇降台及移載裝置的側視圖。 　　[第5圖]表示支臂部的俯視圖。 　　[第6圖]表示昇降台及檢測部的前視圖。 　　[第7圖]表示保管架之一部分的俯視圖。 　　[第8圖]表示物品的側視圖。 　　[第9圖]表示物品、檢測部及照明部的位置關係的俯視圖。 　　[第10圖]表示搬送裝置的動作之其中一例的流程圖。 　　[第11圖]表示有關第2實施形態的搬送裝置的前視圖。 　　[第12圖]表示第11圖的搬送裝置的側視圖。
1‧‧‧搬送裝置
2‧‧‧物品
3‧‧‧框體
4‧‧‧保管架(移載目的端)
4a‧‧‧架子
4b‧‧‧縱向板
5‧‧‧攝像部
6‧‧‧儲料器控制部
10‧‧‧移行體
11‧‧‧柱
12‧‧‧昇降台
12a‧‧‧底座
12b‧‧‧支柱部
12c‧‧‧頂板
13‧‧‧移載裝置
14、14c、14d‧‧‧檢測部
15、15c、15d‧‧‧照明部
16‧‧‧管理裝置
19‧‧‧軌道
34‧‧‧顯示部
35‧‧‧輸入部
36‧‧‧記錄部
37‧‧‧控制部
38‧‧‧資料匯流排
39‧‧‧影像處理部
40‧‧‧判定部
S‧‧‧自動倉庫

Claims (10)

  1. 一種搬送裝置，係在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，且針對前述移載目的端來移載物品的搬送裝置，其特徵為，具備：檢測部，該檢測部係在前述搬送裝置將物品移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測前述移載目的端的物品的姿勢或位置；判定部，該判定部係根據前述檢測部的檢測結果來判定前述移載目的端的物品姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內；和移載裝置，該移載裝置在將物品保持在前端側的狀態下，相對於前述移載目的端可從待機位置開始伸縮，且在相對於前述移載目的端而伸長的狀態下，將物品載置到前述移載目的端，前述檢測部，係在前述搬送裝置將物品載置到前述移載目的端之後，在前述移載裝置從伸長的狀態返回到前述待機位置的期間進行前述檢測。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的搬送裝置，其中，前述判定部，係在前述搬送裝置將物品移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前進行前述判定。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項記載的搬送裝置，其中，前述判定部，係每當前述搬送裝置將物品載置到前述移載目的端即進行判定。
  4. 如申請專利範圍第1項記載的搬送裝置，其中，前述移載裝置，係設置在可昇降的昇降台，前述檢測部，係設置在前述昇降台。
  5. 一種搬送裝置，係在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，且針對前述移載目的端來移載物品的搬送裝置，其特徵為，具備：檢測部，該檢測部係在前述搬送裝置將物品移載到移載目的端之後，並在向著其他移載目的端開始移動之前，來檢測前述移載目的端的物品的姿勢或位置；和判定部，該判定部係根據前述檢測部的檢測結果來判定前述移載目的端的物品姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內，前述檢測部，係取得前述移載目的端及載置在該移載目的端的物品的影像，根據前述影像檢測出前述移載目的端的物品的姿勢或位置。
  6. 如申請專利範圍第1項或第5項記載的搬送裝置，其中，具備照明部，該照明部是經由前述檢測部進行檢測之 際，用來照明前述移載目的端及載置在該移載目的端的物品。
  7. 如申請專利範圍第1項或第5項記載的搬送裝置，其中，前述檢測部，係根據拍攝到的設置在前述移載目的端的指標部和物品的特徵部分的前述影像來檢測前述移載目的端的物品的姿勢或位置。
  8. 如申請專利範圍第1項或第5項記載的搬送裝置，其中，當前述判定部判定出前述移載目的端的物品的姿勢或位置不在適當範圍內時，即進行既定的處理。
  9. 一種搬送方法，係在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，針對前述移載目的端來移載物品的搬送方法，其特徵為，包含：物品被載置到前述移載目的端之後，檢測前述移載目的端的物品的姿勢或位置；根據前述檢測出的結果來判定前述移載目的端的物品的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內；和在將物品保持在前端側的狀態下，使移載裝置相對於前述移載目的端伸長的狀態下，將物品載置到前述移載目的端， 在將前述物品載置到前述移載目的端之後，在前述移載裝置從伸長的狀態返回到前述待機位置的期間進行前述檢測。
  10. 一種搬送方法，係在可載置物品的複數個移載目的端之間進行移動，針對前述移載目的端來移載物品的搬送方法，其特徵為，包含：物品被載置到前述移載目的端之後，檢測前述移載目的端的物品的姿勢或位置；根據前述檢測出的結果來判定前述移載目的端的物品的姿勢或位置是否位在預先設定的適當範圍內；和取得前述移載目的端及載置在該移載目的端的物品的影像，根據前述影像檢測出前述移載目的端的物品的姿勢或位置。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10821871B2 (en) * 2017-11-08 2020-11-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Method for transferring container
JP6784277B2 (ja) 2018-06-11 2020-11-11 村田機械株式会社 ストッカ及び搬送車システム
JP7095474B2 (ja) * 2018-08-07 2022-07-05 村田機械株式会社 搬送装置
JP7330746B2 (ja) * 2019-04-26 2023-08-22 川崎重工業株式会社 配達サービス用収容体
WO2020230463A1 (ja) * 2019-05-14 2020-11-19 村田機械株式会社 ストッカシステム
US11738953B2 (en) * 2019-10-31 2023-08-29 United States Postal Service Transport system monitoring device
JP7421925B2 (ja) * 2019-12-23 2024-01-25 日鉄ソリューションズ株式会社 情報処理装置、情報処理方法、及びプログラム
CN113296392B (zh) * 2021-05-26 2023-10-24 百特利德(大连)科技有限公司 大型堆料机地震预警控制方法及系统
TWI791332B (zh) * 2021-11-23 2023-02-01 財團法人工業技術研究院 搬運機控制方法、搬運機控制系統及控制主機

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008214075A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Daifuku Co Ltd 物品搬送装置
TW201012735A (en) * 2008-06-04 2010-04-01 Ihi Corp Stacker crane
TW201311529A (zh) * 2011-09-06 2013-03-16 Daifuku Kk 物品搬運設備

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0295605A (ja) 1988-10-03 1990-04-06 Daifuku Co Ltd 自動倉庫および自動倉庫の在庫管理方法
JP3355951B2 (ja) 1996-08-26 2002-12-09 株式会社大林組 収納棚の収納物落下防止装置
JP4461203B2 (ja) 1999-09-21 2010-05-12 ムラテックオートメーション株式会社 ストッカ用ロボットの教示方法、ストッカ用ロボットの教示装置及び記録媒体
JP2005089059A (ja) * 2003-09-16 2005-04-07 Toyota Industries Corp 物品移載装置
JP4262064B2 (ja) * 2003-11-28 2009-05-13 株式会社ダイヘン 搬送ロボット
JP4577568B2 (ja) * 2005-09-09 2010-11-10 株式会社ダイフク 物品収納設備における物品搬送装置
WO2007051070A2 (en) * 2005-10-27 2007-05-03 Asyst Technologies, Inc. Horizontal array stocker
JP2007230739A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Asyst Shinko Inc ストッカ
JP4842227B2 (ja) 2006-09-13 2011-12-21 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置における地震被害拡散低減システム
JP4670808B2 (ja) * 2006-12-22 2011-04-13 ムラテックオートメーション株式会社 コンテナの搬送システム及び測定用コンテナ
JP4378653B2 (ja) 2007-01-12 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP5088468B2 (ja) * 2007-03-09 2012-12-05 村田機械株式会社 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
TWI441719B (zh) 2007-06-05 2014-06-21 Nidec Sankyo Corp Industrial robotic arm
DE102007063553A1 (de) * 2007-12-21 2009-07-16 Viastore Systems Gmbh Regalbediengerät und Verfahren zum Betreiben eines Regalbediengerätes
JP5256810B2 (ja) * 2008-03-24 2013-08-07 村田機械株式会社 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
US8718815B2 (en) * 2009-01-23 2014-05-06 Murata Machinery, Ltd. Automated warehouse system
JP5463758B2 (ja) * 2009-06-26 2014-04-09 村田機械株式会社 保管庫
JP4924680B2 (ja) 2009-09-09 2012-04-25 村田機械株式会社 移載装置
KR101520352B1 (ko) * 2011-03-29 2015-05-14 무라다기카이가부시끼가이샤 자동 창고
JP5673806B2 (ja) * 2011-05-02 2015-02-18 村田機械株式会社 自動倉庫
JP5857638B2 (ja) 2011-11-07 2016-02-10 株式会社ダイフク 物品投入設備および物品投入設備における集品容器からの物品のはみ出し検出方法
TWI447059B (zh) * 2012-01-10 2014-08-01 Inotera Memories Inc 晶圓倉儲系統
JP5664570B2 (ja) 2012-02-09 2015-02-04 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
JP5842276B2 (ja) * 2012-02-28 2016-01-13 株式会社ダイフク 物品移載装置
JP6531642B2 (ja) * 2015-12-24 2019-06-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US10643876B2 (en) * 2016-06-28 2020-05-05 Murata Machinery, Ltd. Substrate carrier and substrate carrier stack

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008214075A (ja) * 2007-03-07 2008-09-18 Daifuku Co Ltd 物品搬送装置
TW201012735A (en) * 2008-06-04 2010-04-01 Ihi Corp Stacker crane
TW201311529A (zh) * 2011-09-06 2013-03-16 Daifuku Kk 物品搬運設備

Also Published As

Publication number Publication date
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US20190248581A1 (en) 2019-08-15

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