TWI694043B - 物品搬送設備 - Google Patents

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衣川知孝
森川靖志
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日商大福股份有限公司
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Abstract

提供一種易於將支撐機構修正為適當之姿勢的物品搬送設備。其具備檢測被支撐於升降體之物品中的第1基準面相對於水平面的角度的角度感測器、捲繞機構、使捲繞機構驅動之第2驅動部、及控制裝置，捲繞機構是構成為選擇性地進行對象索狀體之捲取及送出，控制裝置是根據角度感測器之檢測資訊將第2驅動部控制成將第1基準面相對於水平面的角度調節為設定角度。

Description

物品搬送設備
發明領域 本發明是有關於一種使支撐物品之升降體相對於基部升降的物品搬送設備。
發明背景 日本專利特開2013-110370號公報中記載有一種物品搬送設備，其具備有基部、支撐物品之升降體、懸吊升降體之複數條索狀體、及選擇性地進行索狀體的捲取及送出以使升降體相對於基部升降的驅動部。在如此之物品搬送設備中，會因長期劣化等而於複數條索狀體上形成伸長，又，由於複數條索狀體之伸長量在複數條索狀體的每一條上會不同，因此會有以複數條索狀體懸吊之升降體及支撐於該升降體之物品傾斜的情況。於是，在此物品搬送設備中，會將高度調節機構固定於升降體之上部，並將索狀體連接於高度調節機構。亦即，在此物品搬送設備中，是透過該高度調節機構將索狀體連接於升降體。作業人員會利用角度感測器檢測升降體的角度，而於升降體相對於設定角度傾斜時，由作業人員操作高度調節機構來調整升降體的傾斜度。
角度之調整，是藉由根據以角度感測器所檢測出之角度，使作業人員將相對於複數條索狀體之高度調節機構操作成使藉由升降體中的索狀體所支撐的部分之高度成為相同高度。因此，會有依據作業人員之熟練度等，要將升降體之角度調整至適當的角度的作業需要較長的時間之情況。
發明概要 有鑑於上述背景，所要求的是可輕易地將升降體之角度調整為適當角度的物品搬送設備。
作為1個樣態，一種物品搬送設備具備有基部、支撐物品之升降體、連接於前述升降體並懸吊前述升降體之複數條索狀體、及選擇性地進行前述索狀體之捲取及送出並使前述升降體相對於前述基部升降的第1驅動部， 在該物品搬送設備中，更具備： 角度感測器，檢測支撐於前述升降體之前述物品中的第1基準面相對於水平面的角度或前述升降體中的第2基準面相對於水平面的角度； 高度調節機構； 第2驅動部，驅動前述高度調節機構；及 控制裝置， 將複數條前述索狀體之中的1條前述索狀體除外之前述索狀體作為對象索狀體， 前述高度調節機構是由選擇性地進行前述對象索狀體之捲取及送出的捲繞機構、或者變更前述對象索狀體與前述升降體或前述基部之在上下方向上的相對位置關係的位置變更機構所構成， 前述控制裝置是依據前述角度感測器之檢測資訊將控制前述第2驅動部的調節控制執行成：將前述第1基準面相對於水平面的角度或前述第2基準面相對於水平面的角度調節為設定角度。
根據此特徵構成，可以例如藉由在物品之第1基準面上設置角度感測器，而用角度感測器檢測出第1基準面相對於水平面的角度。又，可以例如藉由在物品之第2基準面上設置角度感測器，而用角度感測器檢測出第2基準面相對於水平面的角度。 而且，在利用角度感測器檢測第1基準面相對於水平面的角度的情況下，當以捲繞機構構成高度調節機構時，是使控制裝置執行調節控制，藉此以藉由第2驅動部之驅動而操作捲繞機構並選擇性地進行對象索狀體之捲取及送出。藉此，可以將第1基準面之相對於水平面的角度調節為設定角度，並可以將升降體之姿勢修正成抑制支撐於該升降體之物品的傾斜。 又，在藉由角度感測器檢測出第1基準面之相對於水平面的角度的情況下，當以位置變更機構構成高度調節機構時，是使控制裝置執行調節控制，藉此以藉由第2驅動部之驅動操作位置變更機構，而變更對象索狀體與升降體或基部之在上下方向上的相對位置關係，並藉此將第1基準面相對於水平面的角度調整為設定角度。因此，可將升降體之姿勢修正成抑制支撐於該升降體之物品的傾斜。 同樣地，在藉由角度感測器檢測出第2基準面相對於水平面的角度的情況下，當以捲繞機構構成高度調節機構時，由於是藉由使控制裝置執行調節控制而將第2基準面之相對於水平面的角度調整為設定角度，因此可以修正升降體的姿勢。又，在藉由角度感測器檢測出第2基準面相對於水平面的角度的情況下，當以位置變更機構構成高度調節機構時，由於是藉由使控制裝置執行調節控制而將第2基準面之相對於水平的角度調整為設定角度，因此可以修正升降體的姿勢。 如此，由於藉由使控制裝置執行調整控制，可將第1基準面或第2基準面之相對於水平面的角度調整為設定角度，並修正升降體的姿勢，因此可在不倚賴作業人員之熟練度的情形下完成，因而變得容易將升降體修正為適當的姿勢。
用以實施發明之形態 以下，根據圖式來說明關於本發明之物品搬送設備之實施形態。如圖1及圖2所示，在物品搬送設備設置有：在天花板附近沿著行走路徑行走並搬送作為搬送物之容器Wa的物品搬送車1、對收容於容器Wa之基板進行處理的處理裝置2、及以相鄰於該處理裝置2的狀態設置於地面上的支撐台3。再者，在本實施形態中，是將收容半導體基板之FOUP(Front Opening Unified Pod)作為容器Wa(搬送物)。又，將沿行走路徑之方向設為行走方向，將相對於該行走方向以平面視之垂直相交的方向稱為寬度方向來加以說明。
如圖3及圖4所示，在容器Wa上具備有：設置於容器Wa之上端部且被支撐於物品搬送車1之支撐機構22的容器凸緣部6a(參照圖4)、位於比容器凸緣部6a更下方並收容複數片的半導體基板的容器本體部5a、及將形成於容器本體部5a的前面之取出放入基板用的基板出入口關閉之裝卸自如的蓋體(未圖示)。物品搬送車1是構成為可以在懸吊支撐容器凸緣部6a的狀態下搬送容器Wa。
接著，針對物品搬送車1進行說明。再者，在說明物品搬送車1時，是設想物品搬送車1行走於水平之直線狀的行走路徑的狀態來加以說明。又，是在從物品搬送車1之後方往前方觀看的狀態下，特定左右方向來說明。如圖2及圖3所示，物品搬送車1具備有：在由天花板懸吊支撐之行走軌道14上沿著該行走軌道14行走之行走部15、及位於左右一對之行走軌道14之下方並支撐容器Wa的本體部16。
如圖3所示，行走部15是由排列於行走方向之前方行走部15F與後方行走部15R所構成。前方行走部15F位於比後方行走部15R更前方。而且，前方行走部15F及後方行走部15R的每一個是繞縱軸心旋轉自如地連結於本體部16之基部21。
在前方行走部15F上，被電動式之驅動馬達18旋轉驅動的左右一對行走輪19是裝備成於以左右一對行走軌道14各自的上表面所形成之行走面上行走。又，在前方行走部15F上，是將以繞著沿車體上下寬度方向之軸心(繞上下軸心)的方式自由旋轉之左右一對的導引輪20裝備成於左右一對之行走軌道14中的內側面轉動。再者，關於左右一對之導引輪20，是以排列於行走方向之狀態在前方行走部15F上裝備有2組。於後方行走部15R上，與前方行走部15F同樣地，裝備有1組之左右一對的行走輪19與2組之左右一對的導引輪20。
物品搬送車1是構成為藉由前方行走部15F之導引輪20及後方行走部15R之導引輪20被左右一對之行走軌道14所導引，而限制寬度方向上之位置，並且藉由旋轉驅動前方行走部15F之行走輪19及後方行走部15R之行走輪19，而沿行走路徑行走。又，物品搬送車1是藉由前方行走部15F及後方行走部15R相對於本體部16以繞著沿上下方向之軸心的方式搖動，而形成為即使行走路徑為圓弧狀也可以沿著行走路徑行走。
如圖3所示，在本體部16具備有：連結於行走部15之基部21、支撐物品W之作為升降體的支撐機構22、使支撐機構22相對於行走部15升降移動之升降操作機構23、使支撐機構22相對於行走部15繞縱軸心旋轉之旋轉操作機構24、及覆蓋上升至上升設定位置(圖1等所示之位置)之以支撐機構22所支撐的容器Wa之上方側及行走方向兩側的罩體25。
旋轉操作機構24是以旋轉用馬達28之驅動而使旋轉體27繞縱軸心旋轉，藉此構成為使以旋轉體27支撐之支撐機構22繞縱軸心旋轉。
在升降操作機構23具備有：使前端部連接於支撐機構22並懸吊支撐機構22的複數條皮帶30、捲繞皮帶30之捲繞體31、及使捲繞體31旋轉之升降用馬達32。升降操作機構23是構成為藉由升降用馬達32使捲繞體31朝正向或逆向旋轉，而構成為藉由對複數條皮帶30選擇性地進行捲取及放出操作，而使支撐機構22升降移動。再者，捲繞體31與升降用馬達32相當於支撐在基部21並且將皮帶30捲取送出操作來使支撐機構22相對於基部21升降的第1驅動部。當將升降用馬達32設置於各個捲繞體31時，是將其等構成1個第1驅動部。又，複數條皮帶30相當於連接於支撐機構22並懸吊支撐機構22的複數條索狀體。
如圖4所示，支撐機構22是構成為藉由把持用馬達34之驅動而使一對把持爪35互相接近或遠離。支撐機構22是藉由使一對把持爪35接近，而切換成使一對把持爪35支撐容器Wa之容器凸緣部6a的支撐狀態，並藉由使把持爪35互相遠離移動，而切換成解除藉由一對把持爪35形成的對容器Wa之容器凸緣部6a的支撐的支撐解除狀態。像這樣，將支撐機構22構成為可藉由把持用馬達34之驅動而在支撐狀態與支撐解除狀態間切換自如。
如圖3、圖4及圖8所示，在升降操作機構23具備有第1皮帶30a、第2皮帶30b、及第3皮帶30c之3條皮帶30而作為複數條皮帶30。在支撐機構22上固定有捲繞機構37，3條皮帶30是藉由連接於捲繞機構37而透過該捲繞機構37連接於支撐機構22。再者，複數條皮帶30相當於複數條索狀體，第1皮帶30a相當於第1索狀體，第2皮帶30b相當於第2索狀體，第3皮帶30c相當於第3索狀體。
如圖5所示，捲繞機構37具備有捲繞皮帶30之捲繞部38、相對旋轉自如地被支撐於捲繞部38並且被固定於支撐機構22的固定部39、用於由作業人員或參照圖8而以後述之操作機構11使捲繞部38旋轉的操作部40、及用以保持操作部40之固定具41。如圖6所示，捲繞機構37具備有連接皮帶30之第1地點371、及連結於支撐機構22之第2地點372，且捲繞部38具有第1地點371，固定部39具有第2地點372。
操作部40是形成為圓筒形狀，且在操作部40內插入有捲繞部38之軸部38a。如圖5及圖6所示，在操作部40之外周面及固定部39之內周面形成有花鍵齒(spline tooth)。捲繞部38之軸部38a與操作部40是連結成繞軸心地一體地旋轉並且在軸心方向上相對移動。而且，藉由使操作部40沿軸心方向移動，而變得可使操作部40移動至使其嵌合於固定部39的位置(參照圖5)與由固定部39朝軸方向脫離的位置(省略圖示)。
如上述，在操作部40之外周面及固定部39之內周面形成有花鍵齒，並在使操作部40嵌合於固定部39的狀態下，限制操作部40之繞軸心的旋轉。而且，在使操作部40嵌合於固定部39的狀態下，為了防止操作部40在軸方向上移動，而形成為可以藉由固定具41將操作部40固定於固定部39。
另一方面，可以在使操作部40從固定部39在軸方向上脫離的狀態下，使操作部40以繞軸心的形式旋轉。伴隨著作業人員或以後述之操作機構11使操作部40旋轉來使捲繞部38朝正向或逆向旋轉。藉由此旋轉，可選擇性地進行皮帶30之捲取及送出。藉由選擇性地進行皮帶30之捲取及送出，可以調節支撐機構22中的連接有該皮帶30之部分的高度。可以藉由對3條皮帶30之中的至少2條皮帶30進行如此之操作，而修整支撐機構22及被支撐機構22所支撐之物品W的傾斜。
如圖8所示，在物品搬送設備上除了具備了基部21與複數條皮帶30之物品搬送車1之外，還具備有角度感測器8、作為使捲繞機構37驅動之第2驅動部的操作機構11、及控制裝置9，該角度感測器8是檢測被支撐機構22所支撐之物品W中的第1基準面P1相對於水平面的角度。操作機構11及控制裝置9是設置於調整裝置Wb。當修整支撐於支撐機構22之物品W的傾斜時，是如圖7所示地以支撐機構22支撐調整裝置Wb，並且如圖8所示地將操作機構11連接於捲繞機構37的操作部40。
第1基準面P1是調整裝置Wb中的設置有角度感測器8的設置面。又，將成為固定捲繞機構37之面的支撐機構22的上表面設為第2基準面P2。在支撐機構22及調整裝置Wb並未產生因長期劣化等所造成的變形之情形下，第1基準面P1與第2基準面P2會成為平行。又，在行走部15為水平之姿勢且支撐機構22藉由3條皮帶30等適當地被支撐之情形下，第1基準面P1及第2基準面P2會成為平行。操作機構11具備有卡合於捲繞機構37之操作部40(參照圖5)的卡合部、及使卡合部旋轉驅動的馬達。操作機構11會為了選擇性地進行皮帶30之捲取及送出，而藉由馬達之驅動使卡合部旋轉並進行操作部40之操作，以使捲繞部38旋轉。
接著，針對調整裝置Wb進行說明。如圖8所示，在調整裝置Wb具備有：設置於調整裝置Wb之上端部並藉由物品搬送車1之支撐機構22所支撐(以把持爪35把持)的調整裝置凸緣部(未圖示)、及位於比調整裝置凸緣部更下方且支撐檢測用之裝置的調整裝置本體部5b。在調整裝置Wb之調整裝置本體部5b具備有角度感測器8、控制裝置9、及電池10作為檢查用裝置。
調整裝置Wb是構成為與收容有可收容之片數之基板的容器Wa的重量成為相同重量。又，調整裝置凸緣部是形成與容器凸緣部6a同樣的形狀，而成為可以藉由支撐機構22支撐(可以藉由把持爪35把持)。亦即，支撐機構22所支撐之物品W中有調整裝置Wb及容器Wa。
角度感測器8是設置成檢測調整裝置Wb中的第1基準面P1相對於水平面的角度，詳細地說，角度感測器8是如圖9所示，檢測出第1基準面P1中的第1檢測方向A1及第2檢測方向A2相對於水平面的角度。如此，作為角度感測器8而可使用的是檢測第1檢測方向A1與第2檢測方向A2之2個方向的角度之2軸檢測用的角度感測器8。在相對於第1基準面P1正交的方向(鉛直方向、角度感測器8之上下方向)上觀看，第2檢測方向A2是成為相對於第1檢測方向A1正交的方向。
在將連接有第1皮帶30a之捲繞機構37設為第1捲繞機構37a，將連接有第2皮帶30b之捲繞機構37設為第2捲繞機構37b，並將連接有第3皮帶30c之捲繞機構37設為第3捲繞機構37c，而藉由支撐機構22支撐調整裝置Wb並修正該調整裝置Wb之角度時，可將操作機構11連接於第2捲繞機構37b及第3捲繞機構37c(參照圖8、圖9)。3條皮帶30之中，使已將1條皮帶30(第1皮帶30a)除外的索狀體(第2皮帶30b及第3皮帶30c)成為被捲繞機構37調節之對象索狀體。
以下，將連接於第2捲繞機構37b之操作機構11稱為第2操作機構11b，連接於第3捲繞機構37c之操作機構11稱為第3操作機構11c來加以說明。再者，第2操作機構11b相當於驅動第2高度調節機構的第2調節驅動部，第3操作機構11c相當於驅動第3高度調節機構的第3調節驅動部。又，如圖9所示，將在鉛直方向上觀看，相對於第1皮帶30a存在第2皮帶30b之方向設為第1存在方向B1，並將相對於第1皮帶30a存在第3皮帶30c之方向設為第2存在方向B2來說明。
角度感測器8是以使角度感測器8之上下方向相對於第1基準面P1正交的狀態來配置。又，角度感測器8是在使第1基準面P1與第2基準面P2成為水平的狀態下，如圖9所示，配置成在相對於第1基準面P1垂直交叉的方向(鉛直方向，角度感測器8之上下方向)上觀看，使第1檢測方向A1成為第1存在方向B1，使第2檢測方向A2成為與第1檢測方向A1正交的方向。角度感測器8是形成為檢測第1角度與第2角度，該第1角度是第1基準面P1中的第1檢測方向A1(相當於第1存在方向B1及第1方向)中的第1基準面P1相對於水平面的角度，第2角度是在第2檢測方向A2(相當於與第1存在方向B1正交的方向及第2方向)中的第1基準面P1相對於水平面的角度。
控制裝置9是為了將第1基準面P1相對於水平面的角度調節為設定角度，而根據角度感測器8之檢測資訊執行控制操作機構11的調節控制。在調節控制中，根據藉由角度感測器8所檢測出之第1角度來控制第2調節驅動部後，根據藉由角度感測器8所檢測出的第1角度及第2角度來控制第3調節驅動部。順帶一提，設定角度是將相對於水平面的角度設成為0°。
再者，在執行調節控制之前，預先將對應於以角度感測器8所檢測之第1角度的第2操作機構11b之驅動量(第2皮帶30b之捲取量及送出量)、及對應於以角度感測器8所檢測之第2角度的第3操作機構11c之驅動量(第3皮帶30c之捲取及送出量)作為調整資訊而儲存於控制裝置9。
在調節控制中，首先，是根據藉由角度感測器8所檢測出之第1角度及儲存於控制裝置9之調整資訊來將第2操作機構11b控制成使第1基準面P1中的第1檢測方向A1相對於水平面的角度成為設定角度。藉由該第2操作機構11b之控制，支撐機構22會繞沿著第1基準面P1中的第2存在方向B2的線段搖動，且第1角度會成為設定角度。
其次，在調節控制中，根據藉由角度感測器8所檢測出之第2角度及儲存於控制裝置9之調整資訊，來將第3操作機構11c控制成使第1基準面P1中的第2檢測方向A2相對於水平面的角度成為設定角度。藉由此第3操作機構11c之控制，支撐機構22會繞沿著第1基準面P1中的第1存在方向B1的線段搖動，且第2角度會成為設定角度。如此，可以藉由使控制裝置9執行調節控制，而將第1基準面P1相對於水平面的角度調節為設定角度，並修正被支撐機構22支撐之物品W的角度。
[其他的實施形態] 以下，針對其他的實施形態進行說明。再者，於以下所說明之各實施形態的構成，不限於以各自單獨的方式應用之構成，只要不產生矛盾，亦可與其他之實施形態的構成組合來應用。
(1)在上述內容中，雖然是以對索狀體進行捲取及送出操作的捲繞機構來構成高度調節機構，但亦可藉由變更對象索狀體與支撐機構或基部在上下方向上之相對位置關係的位置變更機構來構成。
此時，較理想的是，將位置變更機構46構成為例如圖10~圖12所示的形式。亦即，位置變更機構46具備連接於皮帶30之第1構件47、連接於支撐機構22之第2構件48、在上下方向上位於第1構件47與第2構件48之間的第3構件49、及使第3構件49沿順著水平方向之移動方向移動的操作構件50。第3構件49是構成為藉由操作機構11之驅動而沿順著水平方向之移動方向移動。又，第3構件49具備有面向下方之第1面49a、及面向上方之第2面49b。第1面49a是形成為隨著越朝移動方向之其中一側(圖11中的右側)越位於上方的傾斜面，第2面49b是形成為隨著越朝移動方向之其中一側越位於下方的傾斜面。因此，第3構件49是形成為隨著越朝移動方向之其中一側而使第1面49a與第2面49b在上下方向上的間隔變得越窄之形狀。
第1構件47具備可滑動地抵接於第1面49a之第3面47a，此第3面47a是形成為隨著越朝移動方向之其中一側越位於上方的傾斜面。 第2構件48具備可滑動地抵接於第2面49b之第4面48a，此第4面48a是形成為隨著越朝移動方向之其中一側越位於下方的傾斜面。再者，可以藉由朝上方突出之曲面來構成第3面47a，亦可藉由朝下方突出之曲面來構成第4面48a。
藉由如上述地構成位置變更機構46，以藉由操作機構11之驅動來旋轉操作操作構件50，而使螺合於該操作構件50之第3構件49沿著移動方向移動，並藉由該第3構件49之移動而使第1構件47與第2構件48在上下方向上接近遠離地移動。藉此，可將第1構件47中的連接有皮帶30的第1地點43、與2構件48中的連接於支撐機構22的第2地點44在上下方向上的相對位置關係變更，並將皮帶30與支撐機構22在上下方向上的相對位置關係變更。 再者，限制構件51(參照圖10)是在第2構件48上固定成位於第1構件47之橫側邊之構件，且為限制第1構件47相對於第2構件48在水平方向上移動之構件。
(2)上述內容中，雖然例示了將調整裝置之重量設成與收容了可收容的片數之基板的容器相同重量的形態，但是亦可將調整裝置之重量設成為與一片基板也未收容之容器的重量相同的重量、或者將調整裝置之重量設成為與收容了可收容的片數之一半的基板之容器的重量相同的重量等，來將調整裝置之重量設成為與容器之重量相同的重量時之容器的狀態適當變更。再者，作為調整裝置之重量，亦可包含操作機構之重量。
(3)上述中，雖然例示了藉由有線方式來進行在控制裝置與操作機構之間的資訊之傳送接收的形態，但具備通訊裝置，並藉由無線方式來進行在控制裝置與操作機構之間的資訊之傳送接收亦可。
(4)在上述中，作為角度感測器，雖然例示了使用檢測第1方向的角度與第2方向的角度之2軸檢測用的角度感測器之形態，但將僅檢測一個方向之角度的1軸檢測用的角度感測器設置為第1方向檢測用與第2方向檢測用等，使角度感測器之種類及個數適當變更亦可。又，在上述中，雖然例示了藉由角度感測器來檢測第1方向之角度與第2方向之角度的形態，但亦可作成為藉由角度感測器檢測與這些角度之其中一方或雙方不同的角度。
(5)在上述中，雖然作為複數條索狀體而例示了具有3條索狀體的形態，但作為複數條索狀體，可以具有2條索狀體，亦可具有4條以上之索狀體。
(6)在上述中，雖然例示了將第1驅動部之捲繞體連結於索狀體之上端部，且將該捲繞體連結於基部並且將索狀體之下端部連結於升降體的形態，但亦可作成為將索狀體之下端部連結於第1驅動部之捲繞體，且將該捲繞體連結於升降體並且將索狀體之上端部連結於基部。又，在上述中，雖然例示了高度調節機構設置於索狀體與升降體之間的形態，但亦可將高度調節機構設置於索狀體與基部之間。再者，在將捲繞體連結於基部且將作為高度調節機構之捲繞機構設置於索狀體與基部之間的情形下、或在使捲繞體連結於升降體且將作為高度調節機構之捲繞機構設置於索狀體與升降體之間的情形下，亦可將捲繞體兼用為捲繞部，並將升降用馬達兼用為第2驅動部。
(7)在上述中，雖然例示了調整裝置具備角度感測器，並在以升降體支撐該治具的狀態下藉由角度感測器檢測第1基準面相對於水平面的角度之形態，但亦可將角度感測器設置在支撐機構之上表面(第2基準面)上，並藉由該角度感測器檢測第2基準面相對於水平面的角度。此時，控制裝置是在調節控制中，根據角度感測器之檢測資訊來將操作機構控制成將第2基準面相對於水平面的角度調節為設定角度。
(8)在上述中，例示了將第2調節驅動部之驅動量及第3調節驅動部之驅動量作為調整資訊而儲存於控制裝置，且控制裝置在調整控制中，會根據角度感測器之檢測資訊及調整資訊的驅動量來控制第2調節驅動部及第3調節驅動部的形態。然而，調節控制中的第2調節驅動部及第3調節驅動部的控制亦可適當變更。亦即，亦可例如，將第1存在方向中的相對於第1索狀體的第2索狀體之間隔距離的資訊與第1存在方向之角度資訊、以及第2存在方向中的相對於第1索狀體的第3索狀體之間隔距離的資訊與第2存在方向之角度資訊，作為位置資訊而儲存於控制裝置，且控制裝置在調節控制中，會根據角度感測器之檢測資訊及位置資訊，藉由運算來求得第2調節驅動部之驅動量及第3調節驅動部之驅動量，並根據該驅動量來控制第2調節驅動部及第3調節驅動部。
(9)在上述中，雖然是將索狀體做成皮帶，但亦可將索狀體做成金屬線等之其他的索狀體。在上述中，雖然是將升降體構成為懸吊支撐物品，但亦可將升降體構成為以將物品載置於升降體上等之其他的形態來支撐物品。
[實施形態之概要] 以下，簡單地說明在上述所說明之物品搬送設備的概要。
作為1個樣態，一種物品搬送設備具備有基部、支撐物品之升降體、連接於前述升降體並懸吊前述升降體之複數條索狀體、及選擇性地進行前述索狀體之捲取及送出並使前述升降體相對於前述基部升降的第1驅動部，在該物品搬送設備中，更具備： 角度感測器，檢測支撐於前述升降體之前述物品中的第1基準面相對於水平面的角度或前述升降體中的第2基準面相對於水平面的角度； 高度調節機構； 第2驅動部，驅動前述高度調節機構；及 控制裝置， 將複數條前述索狀體之中的1條前述索狀體除外之前述索狀體作為對象索狀體，前述高度調節機構是由選擇性地進行前述對象索狀體之捲取及送出的捲繞機構、或者變更前述對象索狀體與前述升降體或前述基部之在上下方向上的相對位置關係的位置變更機構所構成， 前述控制裝置是依據前述角度感測器之檢測資訊將控制前述第2驅動部的調節控制執行成：將前述第1基準面相對於水平面的角度或前述第2基準面相對於水平面的角度調節為設定角度。
根據該特徵構成，可以藉由例如在物品之第1基準面上設置角度感測器，而以角度感測器檢測第1基準面相對於水平面的角度。又，可以藉由例如在物品之第2基準面上設置角度感測器，而以角度感測器檢測第2基準面相對於水平面的角度。 而且，在以角度感測器檢測第1基準面相對於水平面的角度的情況下，當以捲繞機構構成高度調節機構時，是使控制裝置執行調節控制，藉此可藉由第2驅動部之驅動而操作捲繞機構以選擇性地進行對象索狀體之捲取及送出。藉此，可以將第1基準面相對於水平面的角度調節為設定角度，並可以將升降體之姿勢修正成可抑制支撐於該升降體之物品的傾斜。 又，在藉由角度感測器檢測第1基準面相對於水平面的角度的情況下，當以位置變更機構構成高度調節機構時，是使控制裝置執行調節控制，藉此藉由第2驅動部之驅動而操作位置變更機構，而變更對象索狀體與升降體或基部之在上下方向上的相對位置關係，並藉此將第1基準面相對於水平面的角度調整為設定角度。因此，可將升降體之姿勢修正成可抑制支撐於該升降體之物品的傾斜。 同樣地，在藉由角度感測器檢測第2基準面相對於水平面的角度的情況下，當以捲繞機構構成高度調節機構時，是使控制裝置執行調節控制，藉此將第2基準面相對於水平面的角度調整為設定角度，因此可以修正升降體的姿勢。又，因為在藉由角度感測器檢測第2基準面相對於水平面的角度的情況下，當以位置變更機構構成高度調節機構時，是使控制裝置執行調節控制，以藉此將第2基準面相對於水平面的角度調整為設定角度，因此可以修正升降體的姿勢。 如此，由於藉由使控制裝置執行調整控制，可將第1基準面或第2基準面相對於水平面的角度調整為設定角度，並修正升降體的姿勢，因此可在不倚賴作業人員之熟練度的情形下完成，而變得容易將升降體修正為適當的姿勢。
在此，較理想的是，作為前述物品，有調整裝置與搬送物，且前述角度感測器及前述控制裝置是設置於前述調整裝置，前述角度感測器是檢測前述調整裝置中的前述第1基準面相對於水平面的角度。
根據此構成，由於可藉由角度感測器檢測第1基準面相對於水平面的角度，因此藉由控制裝置執行調節控制，可將第1基準面相對於水平面的角度調整為設定角度。亦即，並非藉由角度感測器檢測升降體之傾斜，而是藉由角度檢測器檢測支撐於升降體之調整裝置本身的傾斜，藉此可以修正支撐於升降體之調整裝置本身的姿勢。像這樣，藉由修正支撐於升降體之調整裝置本身的姿勢，即使在升降體產生變形的情況下，也可以用適當的姿勢支撐調整裝置，而可以在藉由升降體支撐搬送物時抑制該搬送物的傾斜。
又，較理想的是，前述調整裝置與前述搬送物為相同重量。
根據此構成，由於可以用與將搬送物支撐於升降體之狀態相同的狀態或相近的狀態來測量升降體之角度，因此可以適當地抑制藉由升降體支撐搬送物時之搬送物的傾斜。
又，較理想的是，前述捲繞機構具備捲繞了前述對象索狀體之捲繞部，且前述第2驅動部為了對前述對象索狀體選擇性地進行捲取及送出，而使前述捲繞部旋轉。
根據此構成，可以藉由第2驅動部使捲繞體選擇性地朝正逆旋轉，而選擇性地進行對象索狀體之捲取及送出。而且，由於捲繞機構是對對象索狀體進行捲取及送出的構成，因此即使是在對象索狀體之捲取及送出的長度變長的情形下，也可以容易地將捲繞機構於上下方向上構成為小型。
又，較理想的是，前述位置變更機構具備連接於前述索狀體之第1構件、連接於前述升降體或前述基部之第2構件、及在上下方向上位於前述第1構件與前述第2構件之間的第3構件，前述第3構件是藉由前述第2驅動部之驅動而沿順著水平方向之移動方向移動，並且具備面向下方之第1面、與面向上方之第2面，且形成為隨著越往前述移動方向之其中一側使前述第1面與前述第2面在上下方向上的間隔變得越小之形狀，前述第1構件具備面向上方且可滑動地與前述第1面抵接之第3面，前述第2構件具備面向下方且可滑動地與前述第2面抵接之第4面，前述第2驅動部是使前述第3構件沿著前述移動方向移動。
根據該構成，藉由以第2驅動部使第3構件朝移動方向之其中一側移動，以使第1構件相對於第2構件相對地朝下方移動，對象索狀體會相對於升降體或基部而朝下方移動。又，藉由以第2驅動部使第3構件朝與移動方向之其中一側的相反側移動，使第1構件相對於第2構件相對地朝上方移動，對象索狀體會相對於升降體或基部而朝上方移動。 如此，可以藉由以第2驅動部使第3構件在移動方向上移動，而變更對象索狀體與升降體或基部在上下方向上之相對位置關係。而且，藉由對第1構件、第2構件及第3構件使用相較於索狀體難以因長期變化使上下方向之大小變化的材質，相較於對索狀體進行捲取放出操作來調節的情況，會變得容易適當地修正升降體的角度。
又，較理想的是，複數條前述索狀體至少包含第1索狀體、第2索狀體、及第3索狀體，前述第2索狀體及第3索狀體為前述對象索狀體，將驅動連接有前述第2索狀體之前述高度調節機構的前述第2驅動部設為第2調節驅動部，並將驅動連接有前述第3索狀體之前述高度調節機構的前述第2驅動部設為第3調節驅動部，將在鉛直方向上觀看，相對於第1索狀體存在前述第2索狀體之方向設為第1方向，並將在鉛直方向上觀看，相對於前述第1方向正交之方向設為第2方向，前述角度感測器是檢測前述第1方向中的前述第1基準面或前述第2基準面相對於水平面的角度之第1角度、及前述第2方向中的前述第1基準面或前述第2基準面相對於水平面的角度之第2角度，前述調節控制是根據藉由前述角度感測器所檢測出之前述第1角度來控制前述第2調節驅動部後，根據藉由前述角度感測器所檢測出之前述第1角度及前述第2角度來控制前述第3調節驅動部。
根據此構成，可在調節控制中，根據藉由角度感測器所檢測出之第1角度而將第2調節驅動部控制成使該第1角度成為設定角度。藉此，可以例如，將藉由升降體中的第1索狀體所支撐的高度與藉由升降體中的第2索狀體所支撐的高度形成為相同的高度。 而且，根據藉由角度感測器所檢測出之第2角度，以將第3調節驅動部控制成使該第2角度成為設定角度。此時，由於升降體是以繞著面向相對於第1索狀體第2索狀體存在之方向的水平的線段的方式搖動，因此可以在不使第1角度變化的情形下，將例如藉由升降體中的第3索狀體所支撐的高度與藉由升降體中的第1索狀體或第2索狀體所支撐的高度形成相同的高度。 如此，由於可以藉由僅根據第1角度來控制第2調節驅動部，而消除第1方向中的傾斜，且可以藉由僅根據第2角度來控制第3調節驅動部，而消除第2方向中的傾斜，因此可以用簡單的控制來修正第1基準面或第2基準面的第1方向和第2方向雙方之與水平面的傾斜。
1‧‧‧物品搬送車2‧‧‧處理裝置3‧‧‧支撐台5a‧‧‧容器本體部5b‧‧‧調整裝置本體部6a‧‧‧容器凸緣部8‧‧‧角度感測器9‧‧‧控制裝置10‧‧‧電池11‧‧‧操作機構(第2驅動部)11b‧‧‧第2操作機構(第2調節驅動部)11c‧‧‧第3操作機構(第3調節驅動部)14‧‧‧行走軌道15‧‧‧行走部15F‧‧‧前方行走部15R‧‧‧後方行走部16‧‧‧本體部18‧‧‧驅動馬達19‧‧‧行走輪20‧‧‧導引輪21‧‧‧基部22‧‧‧支撐機構(升降體)23‧‧‧升降操作機構24‧‧‧旋轉操作機構25‧‧‧罩體27‧‧‧旋轉體28‧‧‧旋轉用馬達30‧‧‧皮帶(索狀體)30a‧‧‧第1皮帶(第1索狀體)30b‧‧‧第2皮帶(第2索狀體、對象索狀體)30c‧‧‧第3皮帶(第3索狀體、對象索狀體)31‧‧‧捲繞體(第1驅動部)32‧‧‧升降用馬達(第1驅動部)34‧‧‧把持用馬達35‧‧‧把持爪37‧‧‧捲繞機構(高度調節機構)37a‧‧‧第1捲繞機構37b‧‧‧第2捲繞機構37c‧‧‧第3捲繞機構38‧‧‧捲繞部38a‧‧‧軸部39‧‧‧固定部40‧‧‧操作部41‧‧‧固定具46‧‧‧位置變更機構(高度調節機構)47‧‧‧第1構件47a‧‧‧第3面48‧‧‧第2構件48a‧‧‧第4面49‧‧‧第3構件49a‧‧‧第1面49b‧‧‧第2面50‧‧‧操作構件371‧‧‧第1地點372‧‧‧第2地點A1‧‧‧第1檢測方向(第1方向)A2‧‧‧第2檢測方向(第2方向)B1‧‧‧第1存在方向(第1方向)B2‧‧‧第2存在方向P1‧‧‧第1基準面P2‧‧‧第2基準面W‧‧‧物品Wa‧‧‧容器(搬送物)Wb‧‧‧調整裝置
圖1是支撐有搬送物之物品搬送車的側面圖。 圖2是支撐有搬送物之物品搬送車的側面圖。 圖3是將罩體之一部分切除之物品搬送車的側面圖。 圖4是將罩體之一部分切除之物品搬送車的正面圖。 圖5是捲繞機構之縱剖面側面圖。 圖6是捲繞機構之縱剖面正面圖。 圖7是支撐有調整裝置之物品搬送車的側面圖。 圖8是捲繞機構及調整裝置之側面圖。 圖9是支撐機構之平面圖。 圖10是位置變更機構之分解立體圖。 圖11是位置變更機構之側面圖。 圖12是位置變更機構之側面圖。
5b‧‧‧調整裝置本體部
8‧‧‧角度感測器
9‧‧‧控制裝置
10‧‧‧電池
11‧‧‧操作機構(第2驅動部)
11b‧‧‧第2操作機構(第2調節驅動部)
11c‧‧‧第3操作機構(第3調節驅動部)
22‧‧‧支撐機構(升降體)
30‧‧‧皮帶(索狀體)
30a‧‧‧第1皮帶(第1索狀體)
30b‧‧‧第2皮帶(第2索狀體、對象索狀體)
30c‧‧‧第3皮帶(第3索狀體、對象索狀體)
35‧‧‧把持爪
37‧‧‧捲繞機構(高度調節機構)
37a‧‧‧第1捲繞機構
37b‧‧‧第2捲繞機構
37c‧‧‧第3捲繞機構
P1‧‧‧第1基準面
P2‧‧‧第2基準面
Wb‧‧‧調整裝置

Claims (9)

  1. 一種物品搬送設備，具備有基部、支撐物品之升降體、連接於前述升降體並懸吊前述升降體之複數條索狀體、及選擇性地進行前述索狀體之捲取及送出並使前述升降體相對於前述基部升降的第1驅動部，該物品搬送設備之特徵在於：更具備：角度感測器，檢測支撐於前述升降體之前述物品中的第1基準面相對於水平面的角度、或前述升降體中的第2基準面相對於水平面的角度；高度調節機構；第2驅動部，驅動前述高度調節機構；及控制裝置，將複數條前述索狀體之中的1條前述索狀體除外之前述索狀體作為對象索狀體，前述高度調節機構是由選擇性地進行前述對象索狀體之捲取及送出的捲繞機構、或者變更前述對象索狀體與前述升降體或前述基部之在上下方向上的相對位置關係的位置變更機構所構成，前述控制裝置是依據前述角度感測器之檢測資訊將控制前述第2驅動部的調節控制執行成：將前述第1基準面相對於水平面的角度或前述第2基準面相對於水平面的角度調節為設定角度，作為前述物品，有調整裝置與搬送物， 前述角度感測器及前述控制裝置是設置於前述調整裝置，前述角度感測器會檢測前述調整裝置中的前述第1基準面相對於水平面的角度，前述第2驅動部設置於前述調整裝置，在修正支撐於前述升降體的前述物品的傾斜之情況下，以前述升降體來支撐前述調整裝置，並且將前述第2驅動部連接於前述高度調節機構。
  2. 如請求項1之物品搬送設備，其中，前述調整裝置與前述搬送物為相同的重量。
  3. 如請求項1之物品搬送設備，其中，前述捲繞機構具備捲繞了前述對象索狀體之捲繞部，且前述第2驅動部為了對前述對象索狀體選擇性地進行捲取及送出，而使前述捲繞部旋轉。
  4. 如請求項2之物品搬送設備，其中，前述捲繞機構具備捲繞了前述對象索狀體之捲繞部，且前述第2驅動部為了對前述對象索狀體選擇性地進行捲取及送出，而使前述捲繞部旋轉。
  5. 如請求項1之物品搬送設備，其中，前述位置變更機構具備連接於前述索狀體之第1構件、連接於前述升降體或前述基部之第2構件、及在上下方向上位於前述第1構件與前述第2構件之間的第3構件，前述第3構件是藉由前述第2驅動部之驅動而沿順著水平方向之移動方向移動，並且具備面向下方之第1面、 與面向上方之第2面，且形成為隨著越往前述移動方向之其中一側前述第1面與前述第2面在上下方向上的間隔變得越小之形狀，前述第1構件具備面向上方且可滑動地與前述第1面抵接之第3面，前述第2構件具備面向下方且可滑動地與前述第2面抵接之第4面，前述第2驅動部會使前述第3構件沿著前述移動方向移動。
  6. 如請求項2之物品搬送設備，其中，前述位置變更機構具備連接於前述索狀體之第1構件、連接於前述升降體或前述基部之第2構件、及在上下方向上位於前述第1構件與前述第2構件之間的第3構件，前述第3構件是藉由前述第2驅動部之驅動而沿順著水平方向之移動方向移動，並且具備面向下方之第1面、與面向上方之第2面，且形成為隨著越往前述移動方向之其中一側前述第1面與前述第2面在上下方向上的間隔變得越小之形狀，前述第1構件具備面向上方且可滑動地與前述第1面抵接之第3面，前述第2構件具備面向下方且可滑動地與前述第2面抵接之第4面，前述第2驅動部會使前述第3構件沿著前述移動方向移動。
  7. 一種物品搬送設備，具備有基部、支撐物品之升降體、連接於前述升降體並懸吊前述升降體之複數條索狀體、及選擇性地進行前述索狀體之捲取及送出並使前述升降體相對於前述基部升降的第1驅動部，該物品搬送設備之特徵在於：更具備：角度感測器，檢測支撐於前述升降體之前述物品中的第1基準面相對於水平面的角度、或前述升降體中的第2基準面相對於水平面的角度；高度調節機構；第2驅動部，驅動前述高度調節機構；及控制裝置，將複數條前述索狀體之中的1條前述索狀體除外之前述索狀體作為對象索狀體，前述高度調節機構是由選擇性地進行前述對象索狀體之捲取及送出的捲繞機構、或者變更前述對象索狀體與前述升降體或前述基部之在上下方向上的相對位置關係的位置變更機構所構成，前述控制裝置是依據前述角度感測器之檢測資訊將控制前述第2驅動部的調節控制執行成：將前述第1基準面相對於水平面的角度或前述第2基準面相對於水平面的角度調節為設定角度，前述位置變更機構具備連接於前述索狀體之第1構件、連接於前述升降體或前述基部之第2構件、及在上下 方向上位於前述第1構件與前述第2構件之間的第3構件，前述第3構件是藉由前述第2驅動部之驅動而沿順著水平方向之移動方向移動，並且具備面向下方之第1面、與面向上方之第2面，且形成為隨著越往前述移動方向之其中一側前述第1面與前述第2面在上下方向上的間隔變得越小之形狀，前述第1構件具備面向上方且可滑動地與前述第1面抵接之第3面，前述第2構件具備面向下方且可滑動地與前述第2面抵接之第4面，前述第2驅動部會使前述第3構件沿著前述移動方向移動。
  8. 如請求項1至7中任一項之物品搬送設備，其中，複數條前述索狀體至少包含第1索狀體、第2索狀體、及第3索狀體，前述第2索狀體及前述第3索狀體為前述對象索狀體，將驅動連接有前述第2索狀體之前述高度調節機構的前述第2驅動部作為第2調節驅動部，並將驅動連接有前述第3索狀體之前述高度調節機構的前述第2驅動部作為第3調節驅動部，將在鉛直方向上觀看，前述第2索狀體相對於第1索狀體存在之方向設為第1方向，並將在鉛直方向上觀看，相對於前述第1方向正交之方向設為第2方向，前述角度感測器是檢測前述第1方向中的前述第1基 準面或前述第2基準面相對於水平面的角度之第1角度、及前述第2方向中的前述第1基準面或前述第2基準面相對於水平面的角度之第2角度，前述調節控制是根據藉由前述角度感測器所檢測出的前述第1角度控制前述第2調節驅動部後，根據藉由前述角度感測器所檢測出之前述第1角度及前述第2角度來控制前述第3調節驅動部。
  9. 一種物品搬送設備，具備有基部、支撐物品之升降體、連接於前述升降體並懸吊前述升降體之複數條索狀體、及選擇性地進行前述索狀體之捲取及送出並使前述升降體相對於前述基部升降的第1驅動部，該物品搬送設備之特徵在於：更具備：角度感測器，檢測支撐於前述升降體之前述物品中的第1基準面相對於水平面的角度、或前述升降體中的第2基準面相對於水平面的角度；高度調節機構；第2驅動部，驅動前述高度調節機構；及控制裝置，將複數條前述索狀體之中的1條前述索狀體除外之前述索狀體作為對象索狀體，前述高度調節機構是由選擇性地進行前述對象索狀體之捲取及送出的捲繞機構、或者變更前述對象索狀體與前述升降體或前述基部之在上下方向上的相對位置關係的位 置變更機構所構成，前述控制裝置是依據前述角度感測器之檢測資訊將控制前述第2驅動部的調節控制執行成：將前述第1基準面相對於水平面的角度或前述第2基準面相對於水平面的角度調節為設定角度，複數條前述索狀體至少包含第1索狀體、第2索狀體、及第3索狀體，前述第2索狀體及前述第3索狀體為前述對象索狀體，將驅動連接有前述第2索狀體之前述高度調節機構的前述第2驅動部作為第2調節驅動部，並將驅動連接有前述第3索狀體之前述高度調節機構的前述第2驅動部作為第3調節驅動部，將在鉛直方向上觀看，前述第2索狀體相對於第1索狀體存在之方向設為第1方向，並將在鉛直方向上觀看，相對於前述第1方向正交之方向設為第2方向，前述角度感測器是檢測前述第1方向中的前述第1基準面或前述第2基準面相對於水平面的角度之第1角度、及前述第2方向中的前述第1基準面或前述第2基準面相對於水平面的角度之第2角度，前述調節控制是根據藉由前述角度感測器所檢測出的前述第1角度控制前述第2調節驅動部後，根據藉由前述角度感測器所檢測出之前述第1角度及前述第2角度來控制前述第3調節驅動部。
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106164934A (zh) 2014-02-10 2016-11-23 谷歌公司 智能相机用户界面
NO20160118A1 (en) 2016-01-26 2017-07-27 Autostore Tech As Remotely operated vehicle
CN110944930B (zh) * 2017-06-02 2022-05-13 杜克集团有限公司 具有枢转提升驱动装置的托盘机器人
US20200180918A1 (en) * 2017-06-02 2020-06-11 Dücker Group GmbH Pallet robot with grab
JP6910597B2 (ja) * 2017-09-01 2021-07-28 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車でのティーチング方法
JP6844715B2 (ja) * 2017-11-02 2021-03-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム及び天井搬送車システムでの物品の一時保管方法
JP7234258B2 (ja) 2018-01-09 2023-03-07 アウトストア・テクノロジー・エーエス 遠隔操作車両のための変位機構
NO346347B1 (en) 2018-04-25 2022-06-20 Autostore Tech As Container handling vehicle comprising first and second section and assembly of motors in second section, and system
NO344970B1 (en) * 2018-04-25 2020-08-03 Autostore Tech As Container-handling vehicle comprising a lifting device and method of raising or lowering a storage container relative a container-handling vehicle having a lifting device
NO346364B1 (en) 2018-04-25 2022-06-27 Autostore Tech As Container handling vehicle with first and second sections and battery in second section, and system.
EP3784605A1 (en) * 2018-04-25 2021-03-03 Autostore Technology As Container-handling vehicle
US11377298B2 (en) 2018-04-25 2022-07-05 Autostore Technology AS Container handling vehicle with first and second sections and lifting device motor in second section
KR102571930B1 (ko) * 2018-05-28 2023-08-29 세메스 주식회사 수평도 조절 유닛 및 이를 갖는 비히클
JP6969512B2 (ja) * 2018-07-05 2021-11-24 株式会社ダイフク 物品搬送装置
KR102580660B1 (ko) * 2018-10-05 2023-09-21 세메스 주식회사 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법
JP7192682B2 (ja) * 2019-07-03 2022-12-20 株式会社ダイフク 検査システム
JP7306360B2 (ja) * 2020-10-12 2023-07-11 株式会社ダイフク 物品昇降装置および物品昇降装置を備えた物品搬送車
JP7268667B2 (ja) * 2020-11-04 2023-05-08 株式会社ダイフク 搬送車
JP7342841B2 (ja) * 2020-11-06 2023-09-12 株式会社ダイフク 搬送車
TWI749915B (zh) * 2020-11-30 2021-12-11 寅翊智造股份有限公司 自動化處理機之升降裝置
CN117486047A (zh) * 2023-11-08 2024-02-02 江苏广立吊索具有限公司 一种具有运输维稳功能的智能防爆吊具

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62258388A (ja) * 1986-04-30 1987-11-10 Shin Etsu Chem Co Ltd エピタキシャル成長用有機金属化合物の精製方法
JPH0586975U (ja) * 1992-05-08 1993-11-22 株式会社小松製作所 ワイヤロープ長さ調整器
JP2010024026A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備における学習装置
CN202098976U (zh) * 2011-05-10 2012-01-04 中交第二航务工程局有限公司 构件吊索长度及空中横向姿态自由调整装置
CN103253594A (zh) * 2013-05-07 2013-08-21 徐工集团工程机械股份有限公司 履带起重机多卷扬钢丝绳长度调整方法及装置
TWM494196U (zh) * 2014-08-29 2015-01-21 Wei-Hsuan Liao 可升降之攝影棚

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4883184A (en) * 1986-05-23 1989-11-28 Albus James S Cable arrangement and lifting platform for stabilized load lifting
JPS63258388A (ja) * 1987-04-15 1988-10-25 元田電子工業株式会社 天井走行クレ−ン
JPH0586975A (ja) * 1991-09-20 1993-04-06 Mazda Motor Corp エンジンのケース構造
JPH0620309U (ja) * 1992-03-02 1994-03-15 村田機械株式会社 重量物搬送車
JP4174659B2 (ja) * 2002-08-29 2008-11-05 株式会社安川電機 クレーンの振れ角検出方法およびクレーンの振れ角検出システム
US20050079041A1 (en) * 2003-10-13 2005-04-14 International Business Machines Corporation Hoisting device for use with overhead traveling carriage system
KR101206312B1 (ko) * 2005-06-28 2012-11-29 에이비비 에이비 크레인용 화물 제어 장치
US8374420B2 (en) * 2008-07-23 2013-02-12 Daifuku Co., Ltd. Learning device and learning method for article transport facility
US8631651B2 (en) * 2009-01-21 2014-01-21 Manitowoc Crane Companies, Llc Hydraulic system thermal contraction compensation apparatus and method
JP2011029550A (ja) * 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
JP5636849B2 (ja) * 2010-09-30 2014-12-10 村田機械株式会社 移載システム
JP5527619B2 (ja) 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク 天井設置型の物品搬送設備
CN202953737U (zh) * 2012-10-23 2013-05-29 福建天起起重机械有限公司 双小车起重机
JP6206088B2 (ja) * 2013-10-28 2017-10-04 村田機械株式会社 教示システム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62258388A (ja) * 1986-04-30 1987-11-10 Shin Etsu Chem Co Ltd エピタキシャル成長用有機金属化合物の精製方法
JPH0586975U (ja) * 1992-05-08 1993-11-22 株式会社小松製作所 ワイヤロープ長さ調整器
JP2010024026A (ja) * 2008-07-23 2010-02-04 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備における学習装置
CN202098976U (zh) * 2011-05-10 2012-01-04 中交第二航务工程局有限公司 构件吊索长度及空中横向姿态自由调整装置
CN103253594A (zh) * 2013-05-07 2013-08-21 徐工集团工程机械股份有限公司 履带起重机多卷扬钢丝绳长度调整方法及装置
TWM494196U (zh) * 2014-08-29 2015-01-21 Wei-Hsuan Liao 可升降之攝影棚

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