KR102265023B1 - 물품 반송차 - Google Patents

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Abstract

파지부에 의해 파지하는 용기로부터의 커버체의 낙하를 방지할 수 있으면서도, 장치의 대형화의 억제가 가능한 물품 반송차를 실현한다. 커버체(Bt)의 외면측에 있어서 커버체(Bt)에 근접하여 커버체(Bt)의 낙하를 방지하는 근접 위치와, 커버체(Bt)로부터 이격되어 커버체(Bt)의 착탈을 허용하는 이격 위치로 전환 가능한 커버 낙하 방지체(32)와, 한 쌍의 파지부(31)가 파지 구동부(30m)에 의해 파지 위치로부터 파지 해제 위치로 전환됨에 따라, 커버 낙하 방지체(32)를 근접 위치로부터 이격 위치로 전환하고, 또한 한 쌍의 파지부(31)가 파지 구동부(30m)에 의해 파지 해제 위치로부터 파지 위치로 전환됨에 따라, 커버 낙하 방지체(32)를 이격 위치로부터 근접 위치로 전환하는 연동 기구(R)가 설치되어 있다.

Description

물품 반송차{Article Transport Vehicle}
본 발명은, 착탈 가능한 커버체를 가진 반송(搬送) 대상인 물품의 상단부를 파지한 상태로 주행 레일을 따라 주행하여 상기 물품을 반송하는 물품 반송차에 관한 것이다.
국제 공개 제2009/141976호(특허 문헌 1)에는, 천정 반송형(搬送型)의 물품 반송차가 개시되어 있다. 특허 문헌 1에 있어서는, 주행 레일이 천정에 가설(架設)되고, 그 주행 레일의 아래쪽에(지상 측에), 물품 수수(授受) 개소(箇所)가 설치되어 있다. 물품 반송차는, 반송원(搬送元)의 물품 수수 개소로부터, 반송처(搬送處)의 물품 수수 개소까지 물품을 반송한다. 물품 반송차는, 승강체와 한 쌍의 파지부(把持部)를 가지고 있다. 반송원의 물품 수수 개소에서 물품을 수취하여 반송처의 물품 수수 개소까지 물품을 반송하는 경우, 물품 반송차는 다음과 같이 동작한다. 물품 반송차는, 물품 수수 개소에 대응하는 주행 위치에서 승강체를 하강시키고, 승강체에 구비된 파지부에 의해 물품의 상단부를 파지하고, 그대로 승강체를 상승시킴으로써, 물품을 수취한다. 물품 반송차는, 물품을 파지한 채, 반송처의 물품 수수 개소에 대응하는 주행 위치까지 주행한다. 물품 반송차는, 그 위치에서, 승강체를 하강시키고, 파지(把持)를 해제한다.
특허 문헌 1에서는, 반송 대상의 물품에, 상기 물품의 개구를 막는 커버체가 구비되어 있다. 그리고, 특허 문헌 1의 물품 반송차의 한 쌍의 파지부는, 물품의 측면(커버체에 의해 폐쇄된 용기의 개구부에 대응)이, 물품 반송차의 주행 방향과 직교하는 방향을 향하는 자세로 물품을 파지한다. 또한, 물품 반송차에는, 물품을 반송할 때 주행 방향에서의 상기 물품의 전후를 덮는 커버부가 설치되어 있다. 전후 각각의 커버부에는, 커버체의 낙하를 방지하는 커버 낙하 방지체가 설치되어 있다. 커버 낙하 방지체는, 커버체의 정면에 위치하는 낙하 방지 위치와, 커버체의 정면으로부터 퇴피한 퇴피 위치로 전환 가능하다. 커버부에는, 상기 커버 낙하 방지체의 위치를 낙하 방지 위치와 퇴피 위치와의 사이에서 전환하는 구동부 도 설치되어 있다.
특허 문헌 1에서의 커버 낙하 방지체는, 커버부에 장착되어 있다. 이 커버부는, 천정측에 배치되어 있어, 승강체와 함께 승강하지 않는다. 그러므로, 승강체에 의해 물품을 상승 또는 하강시키고 있을 때는, 커버체에 커버 낙하 방지체를 작용하게 할 수 없으므로, 물품으로부터 커버체가 낙하하는 것을 방지할 수는 없다. 커버 낙하 방지체를 승강체에 장착하는 것도 생각할 수 있지만, 커버 낙하 방지체의 위치를 전환하기 위해 구동부(예를 들면, 구동용 모터)가 필요하므로, 승강체의 대형화나 중량의 증대를 초래할 가능성이 있다. 특히, 천정 반송형의 물품 반송차에서의 승강체는, 와이어 등으로 현수(懸垂)되는 경우가 많고, 승강체의 중량이 무거워지는 와이어 등에 걸리는 부하가 커져, 바람직하지는 않다. 구동부를 물품 반송차의 본체 측에 구비한 채, 승강체에 커버 낙하 방지체를 구비하는 것으로 하면, 구동부의 구동력을 전달하면서 승강체의 승강을 허용하지 않으면 안되므로, 구성의 복잡화를 초래한다.
또한, 동일한 문제는, 예를 들면, 물품 반송차가 바닥면 상에 부설(敷設)된 주행 레일을 주행하는 지상 주행형( 走行型 )의 형태라도 일어날 수 있다. 예를 들면, 지상 주행형의 물품 반송차에, 이동 조작부로서의 스카라 암(scara arm)이 구비되어 있는 경우, 상기 스카라 암이, 물품 반송차로부터 이격된 물품 수수 개소와, 물품 반송차와의 사이에서 물품을 이동시킨다. 여기서, 물품이 물품 수수 개소와 물품 반송차와의 사이에서 이동하는 동안에도 커버체의 낙하를 방지하기 위해서는, 예를 들면, 스카라 암의 선단에 설치된 지지부에 구동용 모터를 구비하게 된다. 그 결과, 천정 반송형의 물품 반송차의 경우와 마찬가지로, 지지부의 대형화나 중량의 증대를 초래하고, 스카라 암에 걸리는 부하가 커질 가능성이 있다. 또한, 구동용 모터를 물품 반송차의 본체 측에 구비하는 것으로 하면, 지지부에 구비한 커버 낙하 방지체에 구동용 모터의 구동력을 전달하면서 지지부의 이동을 허용하지 않으면 안되므로, 구성의 복잡화를 초래한다.
국제 공개 제2009/141976호
상기 문제점을 해결하기 위해, 장치의 대형화나 구성의 복잡화를 초래하지 않고, 커버체를 포함하는 물품의 반송원으로부터 반송처까지의 사이에 걸쳐 커버체의 낙하를 방지할 수 있는 물품 반송차의 실현이 요구된다.
본 발명에 관한 물품 반송차는, 일 바람직한 태양으로서, 다음과 같이 구성된다.
측면에 형성된 개구를 개폐 가능한 커버체를 착탈 가능하게 구비한 용기에 의해 구성된 물품을 반송 대상으로 하는 물품 반송차는,
주행 레일을 따라 주행하는 주행체;
상기 주행체에 연결되고, 반송 대상인 물품의 상단부를 파지하는 한 쌍의 파지부;
상기 한 쌍의 파지부를 구동하는 파지 구동부; 및
상기 한 쌍의 파지부 및 상기 파지 구동부를 수수용 위치와 주행용 위치와의 사이에서 위치 전환하는 이동 조작부;
를 포함하고,
상기 수수용(授受用) 위치는, 상기 주행체로부터 이격된 위치이며,
상기 주행용 위치는, 상기 주행체에 근접하는 위치이며,
상기 주행체는, 상기 한 쌍의 파지부가 상기 주행용 위치에 위치하는 상태로 주행하고,
상기 파지 구동부는, 상기 수수용 위치에 있어서, 상기 한 쌍의 파지부를, 서로 접근하여 상기 용기의 상단부를 파지하는 파지 위치와, 서로 이격된 파지 해제 위치로 전환할 수 있도록 구성되며,
상기 물품 반송차는, 또한
상기 커버체의 낙하를 방지하는 커버 낙하 방지체; 및
상기 커버 낙하 방지체의 위치를 전환하는 연동 기구;를 포함하고,
상기 커버 낙하 방지체는, 상기 커버체의 외면측에 있어서 상기 커버체에 근접하여 상기 커버체의 낙하를 방지하는 근접 위치와, 상기 커버체로부터 이격되어 상기 커버체의 착탈을 허용하는 이격 위치로 전환 가능하며,
상기 연동 기구는, 상기 한 쌍의 파지부가 상기 파지 구동부에 의해 상기 파지 위치로부터 상기 파지 해제 위치로 전환됨에 따라, 상기 커버 낙하 방지체를 상기 근접 위치로부터 상기 이격 위치로 전환하고, 또한 상기 한 쌍의 파지부가 상기 파지 구동부에 의해 상기 파지 해제 위치로부터 상기 파지 위치로 전환됨에 따라, 상기 커버 낙하 방지체를 상기 이격 위치로부터 상기 근접 위치로 전환한다.
커버 낙하 방지체는, 연동 기구에 의해, 한 쌍의 파지부가 파지 해제 위치로부터 파지 위치로 전환되는 데 연동하여, 이격 위치로부터 근접 위치로 전환된다. 그러므로, 커버 낙하 방지체를 구동시키기 위한 구동부를 별도 구비하지 않고, 커버 낙하 방지체를 근접 위치와 이격 위치와의 사이에서 전환할 수 있다. 또한, 커버 낙하 방지체는, 파지부의 움직임에 연동하여 움직이기 때문에, 파지부가 파지 위치로 전환된 시점에서, 커버 낙하 방지체의 근접 위치로의 전환이 완료된다. 따라서, 물품 수수 개소로부터 용기를 인출할 때의 용기로부터의 커버체의 낙하를 확실하게 방지할 수 있다. 전술한 바와 같이, 특허 문헌 1 등의 물품 반송차에서는, 용기의 상단을 파지한 파지부가 주행용 위치에 도달한 후에는 커버체의 낙하를 방지할 수 있지만, 파지부가 수수용 위치로부터 주행용 위치까지 이동하는 동안은, 커버체의 낙하를 방지할 수 없다. 그러나, 본 구성에 의하면, 장치의 대형화나 구성의 복잡화를 초래하지 않고, 용기의 반송원으로부터 반송처까지의 사이에 걸쳐 커버체의 낙하를 방지할 수 있다.
일 태양으로서, 물품 반송차는, 또한 상기 주행체에 대하여 상승 이동 및 하강 이동 가능한 승강체를 포함하고, 상기 승강체에, 상기 파지부, 상기 파지 구동부, 상기 연동 기구, 및 상기 커버 낙하 방지체가, 설치되어 있는 것이 바람직하다.
주행체에 대하여 상승 이동 및 하강 이동 가능한 승강체가 설치된 천정 반송차에 있어서는, 승강체의 중량을 최대한 경량화하고자 하는 요청이 있다. 전술한 바와 같이, 커버 낙하 방지체의 근접 위치와 이격 위치와의 사이의 전환을, 한 쌍의 파지부의 파지 작동에 연동하도록 구성하면, 파지 구동부 이외에, 커버 낙하 방지체를 근접 위치와 이격 위치로 전환하기 위한 구동부를 별도 구비할 필요가 없어, 승강체의 중량의 증대를 억제할 수 있다.
일 태양으로서, 물품 반송차는, 상기 커버 낙하 방지체가, 상기 근접 위치에 있어서, 상기 커버 낙하 방지체 중 적어도 일부가, 상기 용기의 개구를 상기 커버체에 의해 폐색하고 있는 경우에서의 상기 커버체의 상단부에 근접하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
커버 낙하 방지체는 용기의 위쪽에 위치하는 승강체에 구비되어 있다. 따라서, 용기의 개구를 폐색하고 있는 상태의 커버체의 상단측에 위치하도록, 커버 낙하 방지체가 구비되어 있으므로, 커버 낙하 방지체의 승강체로의 장착 위치와 커버 낙하 방지체가 커버체의 낙하를 억제하는 작용 위치와의 사이의 거리를 비교적 짧게 할 수 있다. 즉, 이 구성에 의하면, 커버 낙하 방지체의 대형화를 억제할 수 있다. 그리고, 커버체가 용기의 개구로부터 벗어나 있는 경우에는, 커버체의 상단부와 근접 위치에 위치하는 커버 낙하 방지체의 일부가 맞닿음으로써, 용기의 커버체의 상단 부분의 용기 외측으로의 이동을 억제하여, 커버체가 용기로부터 낙하하는 사태를 억제할 수 있다.
일 태양으로서, 상기 파지부는, 상기 용기의 커버체가 상기 주행체의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향의 한쪽에 위치하는 상태에서 상기 용기의 상단부를 파지하도록 구성되며, 상기 커버 낙하 방지체는, 평면에서 볼 때 상기 주행체의 주행 방향과 직교하는 방향으로 얇은 판형체에 의해 구성되며, 또한 상기 주행체의 주행 방향을 따라 상기 근접 위치와 상기 이격 위치로 전환 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 「평면에서 볼 때」란, 연직(沿直) 방향을 따른 방향으로부터 본 상태를 말한다.
커버 낙하 방지체는, 주행체의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향(가로 방향)의 한쪽을 향하는 커버체의 낙하를 방지하기 위해 설치된다. 이 커버 낙하 방지체가, 가로 방향으로 얇은 판형체에 의해 구성되며, 또한 주행체의 주행 방향을 따라 근접 위치와 이격 위치로 전환되도록 구성되어 있으면, 커버 낙하 방지체의 가로 방향의 크기를 작게 할 수 있다. 따라서, 승강체를 수수용 위치와 주행용 위치와의 사이에서 승강시켰을 때, 낙하 방지체가 차지하는 공간의 크기가 커지는 것이 억제된다. 그러므로, 물품 반송차의 근방에 처리 장치 등의 다른 설비를 설치하는 경우에 있어서, 커버 낙하 방지체와의 간섭에 의한 설치상의 제약이 적어, 다른 설비의 설치의 자유도가 향상된다.
일 태양으로서, 물품 반송차는, 상기 파지부가, 슬라이딩 이동에 의해 상기 파지 위치와 상기 파지 해제 위치로 위치 전환되도록 구성되며, 상기 커버 낙하 방지체는, 수평 축심 ( 軸芯 ) 주위로 회동하여 상기 근접 위치와 상기 이격 위치로 자세를 전환할 수 있도록 구성되며, 상기 연동 기구는, 상기 파지부의 슬라이딩 이동을 상기 커버 낙하 방지체의 회동(回動) 이동으로 변환하는 링크 기구에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 파지부의 슬라이딩 이동을 판형체의 회동 이동으로 변환하는 링크 기구(機構)를 사용함으로써, 파지부의 슬라이딩 이동에 따라, 커버 낙하 방지체가 수평 축심 주위로 회동하여 근접 위치와 이격 위치로 자세가 전환된다. 상기한 구성에 의하면, 간단한 기구를 사용하여 커버 낙하 방지체의 위치를 근접 위치와 이격 위치로 전환할 수 있다.
도 1은 실시형태에 관한 천정 반송차의 측면도
도 2는 승강체 및 거기에 구비된 커버 낙하 방지체를 나타낸 주요부 개략 측면도
도 3은 승강체 및 거기에 구비된 커버 낙하 방지체를 나타낸 주요부 개략 정면도
도 4는 승강체 및 거기에 구비된 커버 낙하 방지체를 나타낸 주요부 개략 측면도
도 5는 파지부 구동 기구 및 커버 낙하 방지체 연동 기구의 주요부를 나타낸 사시도
도 6은 파지부 구동 기구 및 커버 낙하 방지체 연동 기구의 주요부를 나타낸 사시도
도 7은 파지부 구동 기구 및 커버 낙하 방지체 연동 기구의 다른 형태를 나타낸 측면도
도 8은 파지부 구동 기구 및 커버 낙하 방지체 연동 기구의 다른 형태를 나타낸 측면도
도 9는 파지부 구동 기구 및 커버 낙하 방지체 연동 기구의 다른 형태를 나타낸 측면도
도 10은 파지부 구동 기구 및 커버 낙하 방지체 연동 기구의 다른 형태를 나타낸 측면도
본 발명의 물품 반송차에 대하여, 천정측에 설치된 주행 레일(2)을 따라 주행하는 천정 반송차를 예로 들어, 그 실시형태를 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 천정으로부터 현수된 주행 레일(2) 상을 주행 가능한 주행체(11)와, 주행체(11)에 연결축에 의해 연결된 본체부(12)를 포함하고 있다. 주행체(11)는, 주행 레일(2) 상을 전동(轉動)하는 복수의 주행 차륜(W)을 포함하고 있다.
천정 반송차(1)에 의한 반송 대상의 물품은, 측면에 형성된 개구를 개폐 가능한 커버체(Bt)를 착탈 가능하게 구비한 FOUP(Front Open Unified Pod) 등의 반도체 용기[이후, 용기(B)라고 함]이다. 천정 반송차(1)는, 복수의 처리 장치의 각각에 대한 수수 개소로서 설정되는 복수의 수수용 탑재대(물품 수수 개소)의 사이에서, 용기(B)를 반송하도록 구성되어 있다. 수수용 탑재대는, 주행 레일(2)의 아래쪽으로 이격된 위치에 설치되어 있다. 그리고, 처리 장치는, 반도체 기판의 제조 도중에서의 반제품 등에 대하여 소정의 처리(패턴 노광이나 에칭 등)를 행하도록 구성되어 있고, 평면에서 볼 때 주행체(11)의 주행 경로의 측방에 설치되어 있다. 그러므로, 천정 반송차(1)는, 용기(B)를, 그 개구측[즉 커버체(Bt)의 존재측]의 측면을 평면에서 볼 때 주행체(11)의 주행 방향과 직교하는 방향을 향해, 용기(B)를 파지하고 반송한다. 그리고, 「평면에서 볼 때」란, 연직 방향을 따른 방향으로부터 본 상태를 말한다.
본체부(12)는, 주행체(11)의 주행 방향에 있어서 전후에 커버부(12C)를 구비하고 있고, 도 1에 나타낸 바와 같이, 측면에서 볼 때 아래쪽으로 개구된 역 U자형으로 형성되어 있다. 그리고, 「측면에서 볼 때」란, 주행체의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향(가로 방향)을 따른 방향으로부터 본 상태를 말한다. 본체부(12)는 수평 자세의 지지판(12S)에 의해 상하로 구획되어 있고, 지지판(12S)의 상방 측으로 승강 구동부(M)(이동 조작부)가 지지되어 있다. 승강 구동부(M)는, 승강용 모터(19m)와 승강용 드럼(19d)을 구비하고 있다. 승강용 드럼(19d)에는, 와이어(19a)의 일단이 접속되어 있고, 승강용 드럼(19d)은, 승강용 모터(19m)에 의해 회전 구동되어 와이어(19a)를 권취, 또는 송출한다. 지지판(12S)에는, 와이어(19a)가 통과하는 구멍부(도시하지 않음)가 형성되어 있고, 승강용 드럼(19d)에 의해 권취 또는 송출되는 와이어(19a)의 단부(端部)는 지지판(12S)의 아래쪽에서 승강체(30)에 접속되어 있다. 승강체(30)는, 와이어(19a)에 의해 현수되어 있다. 승강용 모터(19m)의 정회전 구동에 의해 와이어(19a)가 승강용 드럼(19d)에 권취됨으로써 승강체(30)를 상승시켜, 역회전 구동에 의해 와이어(19a)가 승강용 드럼(19d)으로부터 송출됨으로써, 승강체(30)를 하강시킬 수 있다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 승강체(30)는, 한 쌍의 파지부(31)와, 파지부 구동 기구(K)를 구비하고 있다. 한 쌍의 파지부(31)는, 용기(B)의 상단에 구비하고 있는 플랜지부(Bf)를 파지하는 것이며, 파지부 구동 기구(K)는, 한 쌍의 파지부(31)를 접근 이동 또는 이격 이동시킨다. 파지부 구동 기구(K)는, 구동용 모터(30m)에 의해 회동 구동되는 나사축(33)을 구비하고 있다. 나사축(33)은, 길이 방향 중앙부에 의해 나선(螺旋)의 진행 방향이 역회전하도록 구성되어 있다.
도 2~도 6에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지부(31)의 각각은, 파지 블록(31h)과, 이동 블록(31k)과, 접속부(31s)를 구비하고 있다. 파지 블록(31h)은, 용기(B)의 플랜지부(Bf)와 걸어맞추어지는 수평부(31a)를 구비하고 있고, 이동 블록(31k)은, 한 쌍의 파지부(31)의 상단부에 각각 배치되어 있고, 나사축(33)과 나사결합부(31a)에 의해 나사결합된다. 접속부(31s)는, 파지 블록(31h)과 이동 블록(31k)을 접속한다. 전술한 바와 같이, 나사축(33)은, 길이 방향 중앙부에 의해 나선의 진행 방향이 역회전하도록 구성되어 있다. 한 쌍의 이동 블록(31k)은, 각각, 나선의 진행 방향이 상이한 부분에서, 나사축(33)과 나사결합되어 있다.
구동용 모터(30m)의 구동에 의해 나사축(33)을 한쪽의 회전 방향으로 회전시키면, 한 쌍의 이동 블록(31k)은 서로 접근하도록 이동한다. 파지 블록(31h)은, 접속부(31s)를 통하여 이동 블록(31k)과 접속되어 있으므로, 한 쌍의 이동 블록(31k)의 접근에 따라 파지 블록(31h)도 서로 접근한다. 한 쌍의 파지부(31)는, 구동용 모터(30m)의 구동에 의해 접근 상태로 되는 것에 의해, 용기(B)에서의 용기 본체(Bh)의 상단에 장착되어 있는 플랜지부(Bf)와 걸어맞추어지는 형태로 용기(B)를 파지한다. 또한, 나사축(33)을 다른 쪽의 회전 방향으로 회전시키면, 한 쌍의 이동 블록(31k)은 서로 이격되도록 이동한다. 한 쌍의 이동 블록(31k)의 이격에 따라 파지 블록(31h)도 서로 이격된다. 한 쌍의 파지부(31)는, 구동용 모터(30m)의 구동에 의해 이격 상태로 되는 것에 의해, 플랜지부(Bf)와의 걸어맞춤을 해제하여 용기(B)를 파지 상태로부터 해방한다.
여기서, 한 쌍의 파지부(31)에 있어서, 각각의 파지 블록(31h)의 수평부(31a)가, 미리 규정된 접근 거리까지 접근한 위치를 「파지 위치」라고 한다. 「파지 위치」에 있어서는, 수평부(31a)와 용기(B)의 플랜지부(Bf)는, 평면에서 볼 때 중복된다. 그리고, 「평면에서 볼 때 중복되는」이란, 적어도 일부가 중복되는 상태를 포함한다. 또한, 한 쌍의 파지부(31)에 있어서, 각각의 파지 블록(31h)의 수평부(31a)가 미리 규정된 이격 거리까지 이격된 위치를 「파지 해제 위치」라고 한다. 「파지 해제 위치」에 있어서는, 수평부(31a)와 용기(B)의 플랜지부(Bf)는, 평면에서 볼 때 중복되지 않는다. 즉, 파지부(31)는, 슬라이딩 이동에 의해 파지 위치와 파지 해제 위치로 위치 전환 가능하다. 또한, 한 쌍의 파지부(31)는, 구동용 모터(30m)에 의해 슬라이딩 이동하기 때문에, 구동용 모터(30m)는, 파지 구동부에 상당한다. 그리고, 한 쌍의 파지부(31)와 플랜지부(Bf)는, 한 쌍의 파지부(31)가 용기(B)를 안정적으로 파지 가능하도록, 평면에서 볼 때 규정된 위치 관계에 의해 걸어맞추어지도록 구성되어 있다.
천정 반송차(1)는, 승강 구동부(M)의 작동에 의해, 승강체(30)를 수수용 탑재대에 대응하는 위치까지 하강시킨다[승강체(30)를 수수용 위치에 위치시킨다]. 다음에, 천정 반송차(1)는, 구동용 모터(30m)를 작동시킴으로써, 한 쌍의 파지부(31)를 서로 근접시켜, 수수용 탑재대에 탑재된 용기(B)의 플랜지부(Bf)를 파지한다. 그 후, 천정 반송차(1)는, 승강 구동부(M)의 작동에 의해, 승강체(30)를, 주행용 위치까지 상승시킨다. 본 실시형태에 있어서, 주행용 위치란, 파지부(31)에 의해 파지한 용기(B)와 커버부(12C)가 수평 방향에서 볼 때 중복되는 위치이다. 그리고, 천정 반송차(1)는, 승강체(30)가 주행용 위치에 위치하는 상태로 주행체(11)를 주행시킴으로써, 용기(B)를 상이한 수수용 탑재대에 대응하는 주행 위치까지 이동시킨다.
전술한 바와 같이, 한 쌍의 파지부(31)와 구동용 모터(30m)를 구비하는 승강체(30)는, 와이어(19a)에 의해 현수되어 있고, 와이어(19a)는 승강용 드럼(19d)에 접속되어 있다. 승강용 드럼(19d)은, 승강용 모터(19m)와 함께 승강 구동부(M)를 구성하고, 승강 구동부(M)는, 본체부(12)의 지지판(12S)에 지지되어 있다. 본체부(12)는, 연결축에 의해, 주행체(11)에 연결되어 있다. 그리고, 주행체(11)와 본체부(12)에 의해 천정 반송차(1)가 구성되어 있다. 여기서, 구동용 모터(30m)는, 한 쌍의 파지부(31)를 구동하는 파지 구동부이며, 승강 구동부(M)는, 승강체(30)를 승강 이동하는 이동 조작부이다.
따라서, 천정 반송차(1)에는, 주행체(11)에 연결되어, 반송 대상의 용기(B)의 상단부에 있는 플랜지부(Bf)를 파지하는 한 쌍의 파지부(31)와, 한 쌍의 파지부(31)를 구동하는 파지 구동부[구동용 모터(30m)]와 한 쌍의 파지부(31)] 및 파지 구동부[구동용 모터(30m)]를 수수용 위치와 주행용 위치와의 사이에서 위치 전환하는 이동 조작부[승강 구동부(M)]가 구비되어 있다. 여기서, 「수수용 위치」는, 주행체(11)[및/또는 주행 레일(2)]로부터 이격된 위치에 설치된 수수용 탑재대에 대응하는 위치로서 설정되고, 「주행용 위치」는 주행체(11)[및/또는 주행 레일(2)]에 근접하는 위치로서 설정되어 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는 처리 장치가 평면에서 볼 때 주행체(11)의 주행 경로의 측방에 설치되어 있다. 따라서, 파지부(31)는, 용기(B)의 커버체(Bt)가 주행체(11)의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향의 한쪽에 위치하는 상태에서 용기(B)의 상단부의 플랜지부(Bf)와 걸어맞추어져, 용기(B)를 파지하도록 구성되어 있다.
승강체(30)에는, 또한 용기(B)로부터 커버체(Bt)가 낙하하는 것을 방지하는 커버 낙하 방지체(32)가 설치되어 있다. 이 커버 낙하 방지체(32)는, 커버체(Bt)의 외면측에 있어서 커버체(Bt)에 근접한 근접 위치와, 커버체(Bt)로부터 이격된 이격 위치로, 그 자세를 전환 가능하다. 즉, 커버 낙하 방지체(32)는, 근접 위치에 있어서 커버체의 낙하를 방지하고, 이격 위치에 있어서 커버체의 착탈을 허용하도록 구성되어 있다. 커버 낙하 방지체(32)의 자세의 전환은, 승강체(30)에 설치된 연동 기구(R)에 의해 행해진다.
자세한 것은 후술하지만, 이 연동 기구(R)는, 한 쌍의 파지부(31)[한 쌍의 이동 블록(31k)]이, 구동용 모터(30m)에 의해 이동함에 따라, 수평 축심(32j) 주위로 회동하고, 커버 낙하 방지체(32)의 자세를 전환한다. 구체적으로는, 연동 기구(R)는, 한 쌍의 파지부(31)[한 쌍의 이동 블록(31k)]이 파지 위치로부터 파지 해제 위치로 전환됨에 따라, 커버 낙하 방지체(32)를 근접 위치로부터 이격 위치로 전환한다. 또한, 연동 기구(R)는, 한 쌍의 파지부(31)[한 쌍의 이동 블록(31k)]이 파지 해제 위치로부터 파지 위치로 전환됨에 따라, 커버 낙하 방지체(32)를 이격 위치로부터 근접 위치로 전환한다. 그리고, 커버 낙하 방지체(32)의 자세를 전환은, 커버 낙하 방지체(32)를, 주행체(11)의 주행 방향을 따라 이동시키는(회동시키는) 것에 의해 실현된다. 이하, 커버 낙하 방지체(32)에 대하여, 도 2 내지 도 6에 기초하여 그 구성 및 작용을 설명한다.
커버 낙하 방지체(32)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행체(11)의 주행 방향과 직교하는 방향(가로 방향)으로 얇은 판형체에 의해 구성되어 있다. 그리고, 한 쌍의 커버 낙하 방지체(32)는, 주행체(11)의 주행 방향과 직교하는 방향을 따른 방향에서 볼 때(측면에서 볼 때) 좌우 대칭으로 구성되어 있다. 따라서, 이하의 설명은, 한 쌍의 커버 낙하 방지체(32) 중 한쪽만에 대하여 설명하지만, 다른 쪽에 대해서도 마찬가지이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 커버 낙하 방지체(32)는 가늘고 길고 또한 얇은 판형체에 형성되어 있다. 커버 낙하 방지체(32)의 길이 방향의 단부는, 평면에서 볼 때 주행체(11)의 주행 방향과 직교하는 방향을 따른 수평 축심(32j)의 일단측에 고정되어 있다. 수평 축심(32j)은, 지지판(12S)의 하면으로 돌출된 상태로 설치되어 있는 축지지 지체(32s)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 도 2 및 도 4 등에 나타낸 바와 같이, 수평 축심(32j)의 타단측에는, 긴 구멍(32h)이 형성된 링크 걸어맞춤부(32t)가, 커버 낙하 방지체(32)의 길이 방향과 긴 구멍(32h)의 길이 방향이 소정 각도를 형성하도록 고정되어 있다.
또한, 한 쌍의 파지부(31)에는, 도 2 및 도 4 등에 나타낸 바와 같이, 걸어맞춤핀(31p)이 설치되어 있다. 걸어맞춤핀(31p)은, 평면에서 볼 때 나사축(33)의 길이 방향[파지부(31)의 이동 방향을 따른 방향]과 직교하는 방향으로 돌출하는 형태로 설치되어 있다. 이 걸어맞춤핀(31p)은, 긴 구멍(32h)의 길이 방향을 따라 유동 가능하게 긴 구멍(32h)과 걸어맞추어져 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 파지부(31)가 파지 해제 위치로부터 파지 위치로 이동함에 따라, 걸어맞춤핀(31p)이 긴 구멍(32h) 내부를 슬라이딩하면서 링크 걸어맞춤부(32t)를 회동시킨다. 이 링크 걸어맞춤부(32t)의 회동에 따라, 커버 낙하 방지체(32)가 이격 위치로부터 근접 위치로 이동한다. 마찬가지로, 도 6에 나타낸 바와 같이, 파지부(31)가 파지 위치로부터 파지 해제 위치로 이동함에 따라, 걸어맞춤핀(31p)이 긴 구멍(32h) 내부를 슬라이딩하면서 링크 걸어맞춤부(32t)를 회동시킨다. 이 링크 걸어맞춤부(32t)의 회동에 따라 커버 낙하 방지체(32)가 근접 위치로부터 이격 위치로 이동한다.
이와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 걸어맞춤핀(31p)과 긴 구멍(32h)이 형성된 링크 걸어맞춤부(32t)로 이루어지는 링크 기구가 연동 기구(R)에 상당한다. 즉, 연동 기구(R)에 의해, 도 5의 화살표 Y1 및 도 6의 화살표 Y2로 나타낸 바와 같이, 파지부(31)의 슬라이딩 이동이 커버 낙하 방지체(32)의 판형체의 회동 이동으로 변환된다. 도 2 및 도 3은, 커버 낙하 방지체(32)가, 커버체(Bt)의 외면측에 있어서 커버체(Bt)에 근접하여 커버체(Bt)의 낙하를 방지하는 근접 위치에 있는 상태를 예시하고 있다. 또한, 도 4는, 커버 낙하 방지체(32)가, 커버체(Bt)로부터 이격되어 커버체(Bt)의 착탈을 허용하는 이격 위치에 있는 상태를 예시하고 있다. 즉, 커버 낙하 방지체(32)는, 근접 위치와, 이격 위치로 전환 가능하게 구성되어 있다. 또한, 도 2 및 도 3등에 나타낸 바와 같이, 커버 낙하 방지체(32)는, 근접 위치에 있어서, 커버 낙하 방지체(32) 중 적어도 일부가, 용기(B)의 개구를 커버체(Bt)에 의해 폐색하고 있는 경우에서의 커버체(Bt)의 상단부에 근접하도록 구성되어 있다.
이상, 설명한 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 커버체(Bt)의 낙하를 방지하는 커버 낙하 방지체(32)와, 이 커버 낙하 방지체(32)의 위치를 전환하는 연동 기구(R)를 구비하여 구성되어 있는 점에 특징을 가진다. 그리고, 이 연동 기구(R)는, 한 쌍의 파지부(31)가 구동용 모터(30m)에 의해 파지 위치로부터 파지 해제 위치로 전환됨에 따라, 커버 낙하 방지체(32)를 근접 위치로부터 이격 위치로 전환하고, 또한 한 쌍의 파지부(31)가 구동용 모터(30m)에 의해 파지 해제 위치로부터 파지 위치로 전환됨에 따라, 커버 낙하 방지체를 이격 위치로부터 근접 위치로 전환한다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 설명에서는, 본 발명의 물품 반송차를, 용기를 반송하는 천정 반송차에 의해 구성한 예를 나타냈으나, 이에 한정되지 않고, 예를 들면, 바닥면에 설치한 레일 상을 주행하는 주행체와, 한 쌍의 파지부 및 파지 구동부를 선단에 구비하고, 기단부(基端部)가 주행체에 연결되는 스카라 암을 포함하는 이동체를 구비하는 물품 반송차에 의해 구성해도 된다. 이 경우, 스카라 암 및 그것을 구동하는 구동 모터에 의해, 수수용 위치와 주행용 위치와의 사이에서의, 한 쌍의 파지부의 위치 전환을 행한다. 따라서, 이 경우에는, 스카라 암 및 그것을 구동하는 구동 모터가 이동 조작부에 상당한다.
(2) 상기 설명에서는, 반송 대상의 물품으로서, 반도체 기판 반송용 용기(FOUP)를 예시했다. 그러나, 반송 대상의 물품은, FOUP로 한정되는 것이 아니고, 측면에 개구가 형성되고, 그 개구부를 개폐하는 커버체를 구비하는 용기이면, 그 용도는 상관없다.
(3) 상기 설명에서는, 연동 기구(R)를, 걸어맞춤핀(31p)과 긴 구멍(32h)이 형성된 링크 걸어맞춤부(32t)로 이루어지는 링크 기구에 의해 구성하는 예를 나타냈으나, 연동 기구(R)는 이와 같은 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 기어(G)와, 이 기어(G)와 맞물리는 랙(rack)(L)에 의해 연동 기구(R)가 구성되는 형태라도 된다. 본 예에서는, 기어(G)는, 나사축(33)의 길이 방향으로 파지부(31)와의 상대 위치를 유지하도록 지지체(41S)에 의해 유지되어 있다. 커버 낙하 방지체(42)는, 그 기어(G)와 일체로 회동하도록 접속된다. 랙(L)은, 지지판(12S)의 상면에, 기어(G)와 맞물리도록 설치된다. 이와 같이 구성함으로써, 나사축(33)의 길이 방향을 따른 파지부(41)의 이동에 따라, 회동하는 기어(G)에 연동하여, 커버 낙하 방지체(42)가 이격 위치(도 7 참조)와 접근 위치(도 8 참조)로 전환된다.
또한, 도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 제1 기어(G1), 제2 기어(G2), 및 제3 기어(G3)에 의해 연동 기구(R)가 구성되는 형태라도 된다. 본 예에서는, 파지부(51)가, 축(51j) 주위에서 회동 가능하게 구성된다. 축(51j)은, 평면에서 볼 때 주행체(11)의 주행 방향에 직교하는 방향을 따른 축이다. 이로써, 파지부(51)는, 구동 모터(50m)에 의해 수평부(51h)가 아래쪽을 향하는 자세로 되는 파지 해제 위치(도 9 참조)와, 수평부(51h)가 수평 방향을 따른 자세로 되는 파지 위치(도 10 참조)로 전환 가능하게 구성된다. 연동 기구(R)는, 축(51j)과 일체로 회동하는 제1 기어(G1)와, 커버 낙하 방지체(52)와 일체로 회동하는 제3 기어(G3)와, 제1 기어(G1)와 제3 기어(G3)와의 양쪽에 맞물리는 제2 기어(G2)를 구비하여 구성된다. 구동 모터(50m)에 의해 수평부(51h)가 파지 해제 위치로 이동 조작됨에 따라, 커버 낙하 방지체(52)가 이격 위치(도 9 참조)로 전환된다. 또한, 구동 모터(50m)에 의해 수평부(51h)가 파지 위치로 이동 조작됨에 따라, 커버 낙하 방지체(52)가 접근 위치(도 10 참조)로 전환된다.
(4) 상기 설명에서는, 반송원 및 반송처의 물품 수수 개소로서, 반도체의 처리 장치에 있어서의 수수용 탑재대를 예시했다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 보관 설비의 입출고구(入出庫口)나 임시 탑재부 등을 반송원 또는 반송처의 물품 수수 개소로 해도 된다.
11; 주행체
30; 승강체
30m, 50m 파지 구동부
31, 41, 51; 파지부
31p, 32t; 링크 기구
32, 42, 52; 커버 낙하 방지체
B; 용기
Bt; 커버체
R; 연동 기구
M; 이동 조작부

Claims (7)

  1. 측면에 형성된 개구를 개폐 가능한 커버체를 착탈 가능하게 구비한 용기에 의해 구성된 물품을 반송(搬送) 대상으로 하는 물품 반송차로서,
    주행 레일을 따라 주행하는 주행체;
    상기 주행체에 연결되고, 반송 대상인 물품의 상단부를 파지(把持)하는 한 쌍의 파지부;
    상기 한 쌍의 파지부를 구동하는 파지 구동부; 및
    상기 한 쌍의 파지부 및 상기 파지 구동부를 수수용(授受用) 위치와 주행용 위치 사이에서 위치 전환하는 이동 조작부;
    를 포함하고,
    상기 수수용 위치는, 상기 주행체로부터 이격된 위치이며,
    상기 주행용 위치는, 상기 주행체에 근접하는 위치이며,
    상기 주행체는, 상기 한 쌍의 파지부가 상기 주행용 위치에 위치하는 상태로 주행하고,
    상기 파지 구동부는, 상기 수수용 위치에 있어서, 상기 한 쌍의 파지부를, 서로 접근하여 상기 용기의 상단부를 파지하는 파지 위치와, 서로 이격된 파지 해제 위치로 전환할 수 있도록 구성되며,
    상기 물품 반송차는,
    상기 커버체의 낙하를 방지하는 커버 낙하 방지체; 및
    상기 커버 낙하 방지체의 위치를 전환하는 연동 기구;를 더 포함하고,
    상기 커버 낙하 방지체는, 상기 커버체의 외면측에 있어서 상기 커버체에 근접하여 상기 커버체의 낙하를 방지하는 근접 위치와, 상기 커버체로부터 이격되어 상기 커버체의 착탈을 허용하는 이격 위치로 전환 가능하며,
    상기 연동 기구는, 상기 한 쌍의 파지부가 상기 파지 구동부에 의해 상기 파지 위치로부터 상기 파지 해제 위치로 전환됨에 따라, 상기 커버 낙하 방지체를 상기 근접 위치로부터 상기 이격 위치로 전환하고, 또한 상기 한 쌍의 파지부가 상기 파지 구동부에 의해 상기 파지 해제 위치로부터 상기 파지 위치로 전환됨에 따라, 상기 커버 낙하 방지체를 상기 이격 위치로부터 상기 근접 위치로 전환하는,
    물품 반송차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 주행체에 대하여 상승 이동 및 하강 이동 가능한 승강체를 더 포함하고,
    상기 승강체에, 상기 파지부, 상기 파지 구동부, 상기 연동 기구, 및 상기 커버 낙하 방지체가 설치되어 있는, 물품 반송차.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 커버 낙하 방지체는, 상기 근접 위치에 있어서, 상기 커버 낙하 방지체 중 적어도 일부가 상기 용기의 개구를 상기 커버체에 의해 폐색(閉塞)하고 있는 경우에서의 상기 커버체의 상단부에 근접하도록 구성되어 있는, 물품 반송차.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 파지부는, 상기 용기의 커버체가 상기 주행체의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향의 한쪽에 위치하는 상태에서 상기 용기의 상단부를 파지하도록 구성되며,
    상기 커버 낙하 방지체는, 평면에서 볼 때 상기 주행체의 주행 방향과 직교하는 방향으로 얇은 판형체에 의해 구성되며, 또한 상기 주행체의 주행 방향을 따라 상기 근접 위치와 상기 이격 위치로 전환 가능하게 구성되어 있는, 물품 반송차.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 파지부는, 상기 용기의 커버체가 상기 주행체의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향의 한쪽에 위치하는 상태에서 상기 용기의 상단부를 파지하도록 구성되며,
    상기 커버 낙하 방지체는, 평면에서 볼 때 상기 주행체의 주행 방향과 직교하는 방향으로 얇은 판형체에 의해 구성되며, 또한 상기 주행체의 주행 방향을 따라 상기 근접 위치와 상기 이격 위치로 전환 가능하게 구성되어 있는, 물품 반송차.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 파지부는, 상기 용기의 커버체가 상기 주행체의 주행 방향에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향의 한쪽에 위치하는 상태에서 상기 용기의 상단부를 파지하도록 구성되며,
    상기 커버 낙하 방지체는, 평면에서 볼 때 상기 주행체의 주행 방향과 직교하는 방향으로 얇은 판형체에 의해 구성되며, 또한 상기 주행체의 주행 방향을 따라 상기 근접 위치와 상기 이격 위치로 전환 가능하게 구성되어 있는, 물품 반송차.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 파지부가, 슬라이딩 이동에 의해 상기 파지 위치와 상기 파지 해제 위치로 위치 전환되도록 구성되며,
    상기 커버 낙하 방지체는, 수평 축심(軸芯) 주위로 회동(回動)하여 상기 근접 위치와 상기 이격 위치로 자세를 전환할 수 있도록 구성되며,
    상기 연동 기구는, 상기 파지부의 슬라이딩 이동을 상기 커버 낙하 방지체의 회동 이동으로 변환하는 링크 기구에 의해 구성되어 있는, 물품 반송차.
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