TWI650259B - 物品搬送車 - Google Patents

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Abstract

本發明可實現一種物品搬送車，其可防止蓋體從以把持部把持的容器掉落，並且可以抑制裝置的大型化。其設有蓋掉落防止體與連動機構。該蓋掉落防止體可在位於蓋體的外面側而接近蓋體以防止蓋體的掉落的接近位置，與從蓋體分開以容許蓋體的裝卸的分開位置之間切換自如。該連動機構可隨著一對把持部藉由把持驅動部從把持位置切換至把持解除位置，而將蓋掉落防止體從接近位置切換至分開位置，且，隨著一對把持部藉由把持驅動部從把持解除位置切換至把持位置，而將蓋掉落防止體從分開位置切換至接近位置。

Description

物品搬送車 發明領域
本發明是有關於一種在將具有裝卸自如的蓋體之搬送對象的物品的上端部把持住之狀態下，沿著行走軌道行走以搬送該物品的物品搬送車。
發明背景
在國際公開第2009/141976號(專利文獻1)中，揭示有天花板搬送型的物品搬送車。在專利文獻1中，行走軌道架設於天花板上，在該行走軌道的下方(在地上側)並設有物品交接處。物品搬送車是從搬送起點的物品交接處開始將物品搬送至搬送目的地的物品交接處。物品搬送車具有昇降體與一對把持部。在搬送起點的物品交接處接收物品以將物品搬送至搬送目的地的物品交接處的情況中，物品搬送車是如下所示地動作。物品搬送車在對應於物品交接處的行走位置上讓昇降體下降，藉由配備於昇降體的把持部把持住物品的上端部，並在該狀態下原樣地讓昇降體上昇，籍以接收物品。物品搬送車在把持著物品的狀態下，行走至對應於搬送目的地的物品交接處的行走位置為止。 物品搬送車會在該位置讓昇降體下降，並解除把持。
在專利文獻1中，搬送對象的物品上設有將該物品的開口塞住的蓋體。並且，專利文獻1的物品搬送車之一對把持部，是以使物品的側面(對應於由蓋體所封塞的容器開口部)朝向與物品搬送車的行走方向成垂直的方向的姿勢把持物品。又，在物品搬送車上設有於搬送物品時覆蓋在行走方向的該物品之前後之罩蓋部。在前後的罩蓋部上分別設有防止蓋體掉落的蓋掉落防止體。蓋掉落防止體可在位於蓋體正面的防止掉落位置，與從蓋體正面退避的退避位置之間切換自如。在罩蓋部上還設有用以將該蓋掉落防止體的位置在防止掉落位置與退避位置之間切換的驅動部。
在專利文獻1中的蓋掉落防止體是安裝於罩蓋部上。這個罩蓋部是配置於天花板側而不與昇降體一起昇降。因此，在藉由昇降體以讓物品上昇或下降時，在無法讓蓋掉落防止體對蓋體發生作用的情形下，會無法做到防止蓋體從物品掉落。雖然可以考慮將蓋掉落防止體安裝到昇降體上，但是為了切換蓋掉落防止體的位置，必須要有驅動部(例如驅動用馬達)，故會有導致昇降體的大型化或重量增加的可能性。特別是，天花板搬送型的物品搬送車中的昇降體，大多是利用金屬線等來懸吊，當昇降體的重量增加時，就會使施加於金屬線等的負荷變大，因而並不理想。若要在將驅動部原樣配備在物品搬送車的本體側之狀態下，在昇降體上配備蓋掉落防止體的話，就必須既傳達 驅動部的驅動力又容許昇降體的昇降，會導致結構的複雜化。
又，同樣的問題在例如，使物品搬送車行走在舖設於地面上的行走軌道的地上行走型的形態下也可能發生。例如，在地上行走型的物品搬送車上配備有作為移動操作部的水平多關節機械手臂(SCARA arm)時，該水平多關節機械手臂會讓物品在與物品搬送車分開的物品交接處，和物品搬送車之間移動。在此，為了在物品於物品交接處與物品搬送車之間的移動期間也防止蓋體的掉落，是在例如設置於水平多關節機械手臂前端的支撐部上配備驅動用馬達。其結果為，與天花板搬送型的物品搬送車的情形相同，會有導致支撐部的大型化或重量的增加、施加於水平多關節機械手臂上的負荷變大的可能性。又，若在物品搬送車的本體側配備驅動用馬達的話，在必須做到既要將驅動用馬達的驅動力傳達至配備於支撐部的蓋掉落防止體又要容許支撐部的移動的情形下，會導致結構的複雜化。
發明概要
有鑑於上述情形，下列的物品搬送車的實現受到期待：在不導致裝置的大型化或結構的複雜化的情形下，在配備有蓋體的物品之從搬送起點持續到搬送目的地為止的期間均可以防止蓋體掉落的物品搬送車。
將有關於本發明之物品搬送車如以下地構成，以 作為1個適宜的態樣。
一種物品搬送車，是以可將形成在側面的開口開閉自如的蓋體裝卸自如地配備的容器所構成的物品作為搬送對象，並包括以下之構成：沿著行走軌道行走的行走體；連結在前述行走體以把持搬送對象的物品的上端部的一對把持部；用以驅動前述一對把持部的把持驅動部；及可將前述一對把持部及前述把持驅動部在交接用位置及行走用位置之間進行位置切換的移動操作部，在此，前述交接用位置是離開前述行走體的位置，前述行走用位置是接近前述行走體的位置，前述行走體是在使前述一對把持部位於前述行走用位置的狀態下行走，前述把持驅動部是構成為：可在前述交接用位置上，將前述一對把持部切換到互相接近以把持前述容器的上端部的把持位置，與互相分開的把持解除位置，該物品搬送車還包括：用以防止前述蓋體的掉落的蓋掉落防止體；及用以切換前述蓋掉落防止體的位置的連動機構，前述蓋掉落防止體可在接近位置與分開位置切換自如，該接近位置是在前述蓋體的外面側接近前述蓋體以防止前述蓋體掉落的位置，該分開位置是從前述蓋體分開以 容許前述蓋體的裝卸的位置，前述連動機構，隨著前述一對把持部藉由前述把持驅動部從前述把持位置切換至前述把持解除位置，以將前述蓋掉落防止體從前述接近位置切換至前述分開位置，並且，隨著前述一對把持部藉由前述把持驅動部從前述把持解除位置切換至前述把持位置，以將前述蓋掉落防止體從前述分開位置切換至前述接近位置。
蓋掉落防止體，是藉由連動機構在一對把持部從把持解除位置切換至把持位置中進行連動，而從分開位置被切換至接近位置。因此，無需另外設置用於驅動蓋掉落防止體的驅動部，即可讓蓋掉落防止體在接近位置與分開位置之間切換。又，因為蓋掉落防止體是在把持部的動作中連動而動作，所以可在將把持部切換至把持位置的時間點上，完成蓋掉落防止體往接近位置的切換。因此，可以確實地防止從物品交接處取出容器之時的蓋體從容器掉落的情形。如上所述，在專利文獻1等的物品搬送車上，雖然在把持了容器的上端的把持部到達行走用位置後，可以防止蓋體的掉落，但是在把持部從交接用位置移動到行走用位置的期間，並無法防止蓋體的掉落。然而，根據本構成，可以做到：在不導致裝置的大型化或結構的複雜化的情形下，在容器之從搬送起點持續到搬送目的地為止的期間，防止蓋體的掉落。
作為其中1個態樣，較理想的是，物品搬送車還包括可相對於前述行走體上昇移動及下降移動自如的昇降 體，且在前述昇降體上設有前述一對把持部、前述把持驅動部、前述連動機構及前述蓋掉落防止體。
在設有可相對於行走體上昇移動及下降移動自如的昇降體之天花板搬送車中，會有想將昇降體的重量盡量輕量化的要求。如上所述，只要將蓋掉落防止體之接近位置與分開位置之間的切換構成為可在一對把持部的把持作動中連動即可，所以除了把持驅動部以外，無需另外設置用於將蓋掉落防止體切換到接近位置與分開位置的驅動部，可以抑制昇降體的重量的增加。
作為其中1個態樣，較理想的是，將物品搬送車構成為：使前述蓋掉落防止體在前述接近位置上，使前述蓋掉落防止體的至少一部分接近以前述蓋體封閉著前述容器的開口時的前述蓋體的上端部。
蓋掉落下防止體是配備在位於容器上方的昇降體上。因此，當以位於封閉著容器的開口之狀態的蓋體的上端側的方式來配備蓋掉落防止體時，就可以將蓋掉落防止體的安裝到昇降體的位置，與蓋掉落防止體抑制蓋體的掉落之作用位置之間的距離設定得比較短。亦即，只要根據該構成，就可以抑制蓋掉落防止體的大型化。並且，在蓋體從容器開口脫開時，可藉由蓋體的上端部與位於接近位置的蓋掉落防止體的一部分抵接，以抑制容器之蓋體的上端部分朝容器外側移動，可以抑制蓋體從容器掉落的事態。
作為其中1個態樣，較理想的是，將前述一對把 持部構成為：在前述容器的蓋體相對於前述行走體的行走方向以俯視來看位於垂直的方向的一邊側的狀態下，把持前述容器的上端部，前述蓋掉落防止體以俯視來看，是以在與前述行走體的行走方向為垂直的方向上薄的板狀體所構成，且，構成為可沿著前述行走體的行走方向在前述接近位置與前述分開位置切換自如。再者，所謂的「俯視」是指從沿著鉛直方向的方向所看到的狀態。
蓋掉落防止體是用來防止以俯視來看，朝向相對於行走體的行走方向為垂直的方向(橫向)的一邊側的蓋體的掉落而設置。當該蓋掉落防止體以在橫向上薄的板狀體所構成，且，構成為可以沿著行走體的行走方向切換到接近位置與分開位置時，就可以將蓋掉落防止體的橫向的大小變小。因此，讓昇降體在交接用位置與行走用位置之間昇降時，可以抑制掉落防止體所佔空間大小變大的情形。因此，在物品搬送車的附近設置處理裝置等其它設備的情況中，因與蓋掉落防止體的干涉而造成的設置上的限制就會變少，而可提升其他設備的設置自由度。
作為其中1個態樣，較理想的是，將物品搬送車構成為前述一對把持部可藉由滑動移動在前述把持位置與前述把持解除位置之間進行位置切換，並將前述蓋掉落防止體構成為以繞水平軸心的方式轉動以將姿勢切換到前述接近位置與前述分開位置，前述連動機構是以可將前述一對把持部的至少一邊的滑動移動轉換成前述蓋掉落防止體的轉動移動的連桿機構所構成。
亦即，藉由使用可將把持部的滑動移動轉換成板狀體的轉動移動的連桿機構，可以伴隨著把持部的滑動移動，使蓋掉落防止體以繞水平軸心的方式轉動，以將姿勢切換到接近位置與分開位置。只要依據上述的構成，就可以使用簡易的機構將蓋掉落防止體的位置切換到接近位置與分開位置。
1‧‧‧天花板搬送車
2‧‧‧行走軌道
11‧‧‧行走體
12‧‧‧本體部
12C‧‧‧罩蓋部
12S‧‧‧支撐板
19a‧‧‧金屬線
19d‧‧‧昇降用絞盤
19m‧‧‧昇降用馬達
30‧‧‧昇降體
30m‧‧‧驅動用馬達
50m‧‧‧驅動馬達
31、41、51‧‧‧把持部
31a‧‧‧水平部
31b‧‧‧螺合部
31h‧‧‧把持塊
31k‧‧‧移動塊
31p‧‧‧卡合銷
31s‧‧‧連接部
32、42、52‧‧‧蓋掉落防止體
32h‧‧‧長孔
32j‧‧‧水平軸心
32s‧‧‧軸支撐體
32t‧‧‧連桿卡合部
33‧‧‧螺旋軸
41S‧‧‧支撐體
51h‧‧‧水平部
51j‧‧‧軸
B‧‧‧容器
Bf‧‧‧凸緣部
Bh‧‧‧容器本體
Bt‧‧‧蓋體
G、G1、G2、G3‧‧‧齒輪
K‧‧‧把持部驅動機構
L‧‧‧齒條
M‧‧‧昇降驅動部
R‧‧‧連動機構
W‧‧‧行走車輪
Y1、Y2‧‧‧箭頭
圖1是實施形態的天花板搬送車的側面圖。
圖2是表示昇降體及配備於該昇降體的蓋掉落防止體的主要部位的概要側面圖。
圖3是表示昇降體及配備在該昇降體的蓋掉落防止體的主要部位的概要正面圖。
圖4是表示昇降體及配備在該昇降體的蓋掉落防止體的主要部位的概要側面圖。
圖5是表示把持部驅動結構及蓋掉落防止體連動機構的主要部位之立體圖。
圖6是表示把持部驅動機構及蓋掉落防止體連動機構的主要部位之立體圖。
圖7是表示把持部驅動機構及蓋掉落防止體連動機構的其他形態的側面圖。
圖8是表示把持部驅動機構及蓋掉落防止體連動機構的其他形態的側面圖。
圖9是表示把持部驅動機構及蓋掉落防止體連動機構的其他形態的側面圖。
圖10是表示把持部驅動機構及蓋掉落防止體連動機構的其他形態的側面圖。
用以實施發明之形態
針對本發明的物品搬送車，將以沿著設在天花板側的行走軌道2行走的天花板搬送車為例，來說明其實施形態。如圖1所示，天花板搬送車1包括有可在懸吊於天花板的行走軌道2上行走自如的行走體11，及藉由連結軸連結在行走體11的本體部12。行走體11包括有在行走軌道2上轉動的複數個行走車輪W。
天花板搬送車1的搬送對象之物品是配備有可將形成在側面的開口開閉自如的蓋體Bt的FOUP(Front Open Unified Pod)等的半導體容器(以下，稱為容器B)，其中該蓋體Bt可裝卸自如。天花板搬送車1是構成為：可在作為複數個處理裝置的各自的交接處而設定的複數個交接用載置台(物品交接處)之間搬送容器B。交接用載置台是設置在從行走軌道2的下方分開的位置上。再者，處理裝置是構成為用來對半導體基板製造過程中的半製品等進行預定的處理(圖形曝光或蝕刻等)，且以俯視來看是設置在行走體11的行走路徑的側邊。因此，天花板搬送車1，是讓容器B將其開口側(亦即蓋體Bt的所在側)的側面朝向以俯視來看與行走體11的行走方向為垂直的方向，來把持容器B並進行搬送。再者，所謂的「俯視」是指沿著鉛直方向的方向所看到的狀態。
本體部12在行走體11的行走方向，於前後配備有罩蓋部12C，且如圖1所示，側面視下是形成朝向下方開口的倒U字形。再者，所謂的「側面視」是指俯視下沿著相對於行走體的行走方向為垂直的方向(橫向)的方向所看到的狀態。本體部12以水平姿勢的支撐板12S區分為上下，且在支撐板12S的上方側支撐有昇降驅動部M(移動操作部)。昇降驅動部M包括有昇降用馬達19m及昇降用絞盤19d。在昇降用絞盤19d上連接著金屬線19a的一端，且昇降用絞盤19d是藉由昇降用馬達19m而被旋轉驅動以捲取或放出金屬線19a。在支撐板12S上設有供金屬線19a穿過的孔部(圖示省略)，由昇降用絞盤19d捲取或放出的金屬線19a的端部是在支持板12S的下方連接到昇降體30。昇降體30是藉由金屬線19a而被懸吊著。藉由利用昇降用馬達19m的正轉驅動使金屬線19a被昇降用絞盤19d所捲取，可使昇降體30上昇，藉由利用逆轉驅動使金屬線19a從昇降用絞盤19d被放出，可使昇降體30下降。
如圖2所示，昇降體30包括有一對把持部31及把持部驅動機構K。一對把持部31是用來把持配備在容器B的上端的凸緣部Bf，把持部驅動機構K是用於讓一對把持部31接近移動或分開移動。把持部驅動機構K包括有藉由驅動用馬達30m而旋轉驅動的螺旋軸33。螺旋軸33是構成為在長度方向中央部使螺旋的進行方向逆轉。
如圖2至圖6所示，一對把持部31各自包括有把持塊31h、移動塊31k及連接部31s。把持塊31h包括有與容器B 的凸緣部Bf卡合的水平部31a，移動塊31k分別配置於一對把持部31的上端部，且藉由螺合部31b與螺旋軸33螺合。連接部31s用以連接把持塊31h與移動塊31k。如上所述，螺旋軸33是構成為在長度方向中央部使螺旋的進行方向逆轉。一對移動塊31k是分別在螺旋行進方向的不同部分上與螺旋軸33螺合。
當藉由驅動用馬達30m的驅動而讓螺旋軸33往其中一個旋轉方向旋轉時，一對移動塊31k可移動成相互接近。因為把持塊31h是透過連接部31s與移動塊31k連接，所以隨著一對移動塊31k的接近，把持塊31h也會相互接近。一對把持部31可藉由以驅動用馬達30m的驅動而形成接近狀態的形式，以在與安裝在容器B的容器本體Bh的上端的凸緣部Bf形成卡合的狀態下把持容器B。又，當使螺旋軸33往另一個轉方向旋轉時，一對移動塊31k會移動成相互分開。隨著一對移動塊31k的分開，把持塊31h也會相互分開。一對把持部31可藉由以驅動用馬達30m的驅動而形成分開狀態的形式，以解除與凸緣部Bf的卡合而將容器B從把持狀態解除。
在此，在一對把持部31上，將使各自的把持塊31h的水平部31a接近到預先規定的接近距離為止的位置稱為「把持位置」。在「把持位置」上，水平部31a與容器B的凸緣部Bf於俯視下相重複。再者，所謂的「於俯視下相重複」，包含至少其中一部分重複的狀態。又，將在一對把持部31上，使各自的把持塊31h的水平部31a分開到預先規定的分 開距離為止的位置稱為「把持解除位置」。在「把持解除位置」上，水平部31a與容器B的凸緣部Bf在俯視下不會重複。亦即，把持部31可藉由滑動移動在把持位置與把持解除位置之間進行位置切換。又，由於一對把持部31可藉由驅動用馬達30m而滑動移動，因此驅動用馬達30m相當於把持驅動部。再者，一對把持部31與凸緣部Bf是構成為在俯視下以所規定的位置關係卡合，以使一對把持部31可以穩定把持容器B。
天花板搬送車1可藉由昇降驅動部M的作動，讓昇降體30下降至對應於交接用載置台的位置(讓昇降體30位於交接用位置)。接著，天花板搬送車1可藉由讓驅動用馬達30m作動，讓一對把持部31互相接近，以把持已載置於交接用載置台上的容器B的凸緣部Bf。之後，天花板搬送車1可藉由昇降驅動部M的作動，讓昇降體30上昇至行走用位置。在本實施形態中，所謂的行走用位置，是指使以把持部31所把持的容器B與罩蓋部12C在水平方向觀看下形成重複的位置。並且，天花板搬送車1是在昇降體30位於行走用位置的狀態下讓行走體11行走，藉此使容器B移動至對應於不同的交接用載置台的行走位置。
如上所述，包括有一對把持部31及驅動用馬達30m的昇降體30是藉由金屬線19a而被懸吊著，且金屬線19a是連接於昇降用絞盤19d上。昇降用絞盤19d是與昇降用馬達19m一起構成昇降驅動部M，昇降驅動部M是被本體部12的支撐板12S所支撐。本體部12是藉由連結軸連結到行走體11。然後，籍由行走體11與本體部12以構成天花板搬送車1。在此，驅動用馬達30m是用來驅動一對把持部31的把持驅動部，昇降驅動部M是用來昇降移動昇降體30的移動操作部。
因此，在天花板搬送車1上包括有，與行走體11連結以把持搬送對象的容器B的上端部的凸緣部Bf的一對把持部31、驅動一對把持部31的把持驅動部(驅動用馬達30m)，及讓一對把持部31與把持驅動部(驅動用馬達30m)在交接用位置與行走用位置之間進行位置切換的移動操作部(昇降驅動部M)。在此，「交接用位置」是作為設置在離開了行走體11(及/或行走軌道2)的位置之對應於交接用載置台的位置而被設定，「行走用位置」則是作為接近行走體11(及/或行走軌道2)的位置而被設定。再者，如上所述，在本實施形態中，處理裝置在俯視下是設置在行走體11的行走路徑的側邊。因此，把持部31是構成為，在以俯視來看使容器B的蓋體Bt位於相對於行走體11的行走方向為垂直的方向的一邊側的狀態下，與容器B的上端部之凸緣部Bf卡合，以把持容器B。
在昇降體30上還設有防止蓋體Bt從容器B掉落的蓋掉落防止體32。該蓋掉落防止體32是在蓋體Bt的外面側，而可於接近蓋體Bt的接近位置與從蓋體Bt分開了的分開位置之間將其姿勢切換自如。亦即，蓋掉落防止體32是構成為，在近接位置可防止蓋體的掉落，在分開位置可容許蓋體的裝卸。蓋掉落防止體32的姿勢的切換是藉由設置 於昇降體30的連動機構R來進行。
詳情將於之後敘述，該連動機構R，是隨著使一對把持部31(一對移動塊31k)於藉由驅動用馬達30m所進行的移動中，以繞水平軸心32j的方式轉動，而切換蓋掉落防止體32的姿勢。具體來說，連動機構R，是隨著一對把持部31(一對移動塊31k)從把持位置切換至把持解除位置，以將蓋掉落防止體32從接近位置切換至分開位置。又，連動機構R，是隨著一對把持部31(一對移動塊31k)從把持解除位置切換至把持位置，以將蓋掉落防止體32從分開位置切換至接近位置。再者，切換蓋掉落防止體32之姿勢是藉由讓蓋掉落防止體32沿著行走體11的行走方向移動(轉動)來實現。以下，關於蓋掉落防止體32，將依據圖2至6，說明其構成及作用。
蓋掉落防止體32，如圖3所示，是以在與行走體11的行走方向為垂直的方向(橫向)上薄的板狀體所構成。再者，一對蓋掉落防止體32，在沿著與行走體11的行走方向為垂直的方向之方向來觀看(側面視)下，是左右對稱地被構成。因此，以下的說明，雖然僅針對一對蓋掉落防止體32中的其中一方來說明，但關於另一方也是相同的。
如圖3所示，蓋掉落防止體32是由細長且薄的板狀體所形成。蓋掉落防止體32的長度方向的端部，以俯視來看是固定在沿著與行走體11的行走方向為垂直的方向的水平軸心32j的一端側。水平軸心32j是被軸支撐體32s支撐成旋轉自如，該軸支撐體32s是以在支撐板12S的下表面突 出的狀態被設置。又，如圖2及圖4等所示，在水平軸心32j的另一端側，將由長孔32h所形成的連桿卡合部32t固定成使蓋落下防止體32的長度方向與長孔32h的長度方向形成預定的角度。
又，在一對把持部31上，如圖2與圖4等所示，設有卡合銷31p。卡合銷31p，以俯視來看是以往與螺旋軸33的長度方向(沿著把持部31的移動方向的方向)為垂直的方向突出的形態被設置。此卡合銷31p是沿著長孔32h的長度方向移動自如地與長孔32h卡合。
如圖5所示，隨著把持部31從把持解除位置移動至把持位置，卡合銷31p會在長孔32h內部滑動，並且讓連桿卡合部32t轉動。隨著此連桿卡合部32t的轉動，蓋掉落防止體32可從分開位置移動至接近位置。同樣地，如圖6所示，隨著把持部31從把持位置移動至把持解除位置，卡合銷31p會在長孔32h內部滑動，並且讓連桿卡合部32t轉動。隨著此連桿卡合部32t的轉動，蓋掉落防止體32可從接近位置移動至分開位置。
像這樣，在本實施形態中，由卡合銷31p與長孔32h所形成的連桿卡合部32t構成的連桿機構相當於連動機構R。亦即，藉由連動機構R，如圖5的箭頭Y1與圖6的箭頭Y2所示，可將把持部31的滑動移動轉換成蓋掉落防止體32的板狀體的轉動移動。圖2及圖3是舉蓋掉落防止體32在蓋體Bt的外面側接近蓋體Bt而在防止蓋體Bt掉落的接近位置之狀態作例示說明。又，圖4是舉蓋掉落防止體32從蓋體Bt 分開而在容許蓋體Bt裝卸的分開位置之狀態作例示說明。亦即，蓋掉落防止體32是構成為可在接近位置與分開位置切換自如。又，如圖2及圖3等所示，蓋掉落防止體32是構成為，在接近位置上，使蓋掉落防止體32的至少一部分，接近於以蓋體Bt封閉著容器B的開口時的蓋體Bt的上端部。
以上，如已說明的，天花板搬送車1在包括用以防止蓋體Bt的掉落的蓋掉落防止體32，及用以切換此蓋掉落防止體32的位置的連動機構R而構成之點上具有特徵。並且，此連動機構R，是隨著一對把持部31藉由驅動用馬達30m從把持位置切換至把持解除位置，而將蓋掉落防止體32從接近位置切換至分開位置，且，隨著一對把持部31藉由驅動用馬達30m從把持解除位置切換至把持位置，而將蓋掉落防止體從分開位置切換至接近位置。
[其它實施形態]
(1)在上述說明中，是將本發明的物品搬送車以搬送容器的天花板搬送車所構成之例來表示，但是並不受限於此，以例如具備行走體與移動體的物品搬送車來構成亦可，該行走體是行走在設置於地面上的軌道，該移動體包括有於前端設有一對把持部及把持驅動部且將基端部連結到行走體的水平多關節機械手臂。此時，可藉由水平多關節機械手臂及驅動其之驅動馬達，以進行在交接用位置及行走用位置之間的一對把持部的位置切換。因此，此時，水平多關節機械手臂及驅動其之驅動馬達相當於移動操作部。
(2)在上述說明中，作為搬送對象的物品，是以半導體基板搬送用的容器(FOUP)為例示說明。然而，搬送對象之物品並非僅限定於FOUP的物品，只要是側面設有開口，且具備可將該開口部開閉之蓋體的容器皆可，不論其用途為何。
(3)在上述說明中，雖然以卡合銷31p與形成有長孔32h的連桿卡合部32t所形成的連桿機構所構成的連動機構R之例來表示，但是連動機構R並非僅限定於這樣的構成的機構。例如，如圖7及圖8所示，藉由齒輪G和與此齒輪G相嚙合的齒條L來構成連動機構R之形態亦可。在本例中，齒輪G是被支撐體41S支撐成在螺旋軸33的長度方向上維持與把持部31的相對位置。蓋掉落防止體42被連接成與該齒輪G一體轉動。齒條L是設置成可在支撐板12S的上表面與齒輪G相嚙合。藉由這樣地構成，隨著沿螺旋軸33的長度方向的把持部41的移動而在轉動的齒輪G上形成連動，可將蓋掉落防止體42切換到分開位置(參照圖7)與接近位置(參照圖8)。
又，如圖9及圖10所示，藉由第1齒輪G1、第2齒輪G2及第3齒輪G3以構成連動機構R之形態亦可。在本例中，是將把持部51構成為以繞軸51j的方式轉動自如。軸51j以俯視來看，是沿著與行走體11的行走方向為垂直的方向的軸。藉此，把持部51是構成為藉由驅動馬達50m以自由切換到使水平部51h成為朝向下方的姿勢的把持解除位置(參照圖9)，和使水平部51h成為沿著水平方向的姿勢的把持位 置(參照圖10)。連動機構R是包括與軸51j一體轉動的第1齒輪G1、與蓋掉落防止體52一體轉動的第3齒輪G3，及與第1齒輪G1與第3齒輪G3雙方相嚙合的第2齒輪G2而構成。隨著藉由驅動馬達50m將水平部51h移動操作至把持解除位置，以將蓋掉落防止體52切換至分開位置(參照圖9)。又，隨著藉由驅動馬達50m將水平部51h移動操作至把持位置，以將蓋掉落防止體52切換至接近位置(參照圖10)。
(4)在上述說明中，作為搬送起點與搬送目的地的物品交接處，是以半導體處理裝置中的交接用載置台為例示說明。然而，並非受限於這樣的構成的物品交接處，例如以保管設備的出入庫口或暫放部等作為搬送起點或搬送目的地的物品交接處亦可。

Claims (7)

  1. 一種物品搬送車，是以可將形成在側面的開口開閉自如的蓋體裝卸自如地配備的容器所構成的物品作為搬送對象，並包括以下的構成：沿著行走軌道行走的行走體；連結在前述行走體以把持搬送對象的物品的上端部的一對把持部；用以驅動前述一對把持部的把持驅動部；以及可將前述一對把持部與前述把持驅動部在交接用位置與行走用位置之間進行位置切換的移動操作部，在此，前述交接用位置是離開前述行走體的位置，前述行走用位置是接近前述行走體的位置，前述行走體是在使前述一對把持部位於前述行走用位置的狀態下行走，前述把持驅動部是構成為：可於前述交接用位置中，將前述一對把持部切換到互相接近以把持前述容器的上端部的把持位置，與互相分開的把持解除位置，且該物品搬送車具備以下特徵：具有用以防止前述蓋體的掉落之蓋掉落防止體與用以切換前述蓋掉落防止體的位置之連動機構，前述蓋掉落防止體可在接近位置與分開位置切換自如，該接近位置是在前述蓋體的外面側接近前述蓋體 以防止前述蓋體掉落的位置，該分開位置是從前述蓋體分開以容許前述蓋體的裝卸的位置，前述連動機構，隨著前述一對把持部藉由前述把持驅動部從前述把持位置切換至前述把持解除位置，前述蓋掉落防止體從前述接近位置切換至前述分開位置，並且，隨著前述一對把持部藉由前述把持驅動部從前述把持解除位置切換至前述把持位置，前述蓋掉落防止體從前述分開位置切換至前述接近位置。
  2. 如請求項1之物品搬送車，其還具備有：可相對於前述行走體上昇移動與下降移動自如的昇降體，且在前述昇降體上設有前述一對把持部、前述把持驅動部、前述連動機構及前述蓋掉落防止體。
  3. 如請求項2之物品搬送車，其中，前述蓋掉落防止體是構成為可在前述接近位置上，使前述蓋掉落防止體的至少一部分接近以前述蓋體封閉前述容器的開口時的前述蓋體的上端部。
  4. 如請求項1之物品搬送車，其中，前述一對把持部是構成為在使前述容器的蓋體位於以俯視來看相對於前述行走體的行走方向為垂直方向的一邊側的狀態下，把持前述容器的上端部，且前述蓋掉落防止體是在以俯視來看與前述行走體的行走方向為垂直的方向上以薄的板狀體所構成，且，構成為可以沿著前述行走體的行走方向在前述接近 位置與前述分開位置切換自如。
  5. 如請求項2之物品搬送車，其中，前述一對把持部是構成為在使前述容器的蓋體位於以俯視來看相對於前述行走體的行走方向為垂直方向的一邊側的狀態下，把持前述容器的上端部，且前述蓋掉落防止體是在以俯視來看與前述行走體的行走方向為垂直的方向上以薄的板狀體所構成，且，構成為可以沿著前述行走體的行走方向在前述接近位置與前述分開位置切換自如。
  6. 如請求項3之物品搬送車，其中，前述一對把持部是構成為在使前述容器的蓋體位於以俯視來看相對於前述行走體的行走方向為垂直方向的一邊側的狀態下，把持前述容器的上端部，且前述蓋掉落防止體是在以俯視來看與前述行走體的行走方向為垂直的方向上以薄的板狀體所構成，且，構成為可以沿著前述行走體的行走方向在前述接近位置與前述分開位置切換自如。
  7. 如請求項1至6的任一項之物品搬送車，其中，前述一對把持部是構成為可藉由滑動移動在前述把持位置與前述把持解除位置之間進行位置切換，前述蓋掉落防止體是構成為以繞水平軸心的方式旋動以將姿勢切換到前述接近位置與前述分開位置，前述連動機構是以可將前述一對把持部的至少一邊的滑動移動轉換成前述蓋掉落防止體的旋動移動的 連桿機構所構成。
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