JP2014165434A

JP2014165434A - 加工装置

Info

Publication number: JP2014165434A
Application number: JP2013037060A
Authority: JP
Inventors: Kazutaka Kuwana; 一孝桑名
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2013-02-27
Filing date: 2013-02-27
Publication date: 2014-09-08
Anticipated expiration: 2033-02-27
Also published as: JP6126869B2

Abstract

【課題】確実にカセットに対する板状ワークのを搬出入を行うことを目的とする。
【解決手段】カセット１を載置するカセットステージ２０を備えるカセットワゴン２は、３つの上下調整軸２３から構成されカセットステージ２０の傾きを調整するカセット傾き調整機構２２を備え、装置本体３には、カセットステージ２０の高さを認識する高さ認識部３２と、カセットステージ２０の傾きを認識する傾き認識部３３とを備えているため、異なるカセットワゴンを装置本体３に連結する場合や同じカセットワゴンを高さの異なる複数の加工装置で共有する場合においても、カセット傾き調整機構２２によってカセットステージの傾きを調整するとともに、搬送手段５ａの昇降機構５４によってロボットハンド５１の高さをカセットステージ２０に載置されるカセット１の高さに合わせることができ、確実にカセット１から板状ワークの搬出入を行うことができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、カセットが載置されたカセットワゴンを装置本体に連結して使用する加工装置に関する。

半導体デバイスなどの板状ワークを加工する切削装置や研削装置などの加工装置においては、カセットステージに載置されたカセットの内部から板状ワークを取り出し、板状ワークの加工を完了した後、再度、加工後の板状ワークをカセットに収容している。

近年、板状ワークの直径がφ３００からφ４５０と大径化しており、板状ワークの重さが増している。また、ＴＳＶ（ＴｈｒｏｕｇｈＳｉｌｉｃｏｎＶｉａ）などの積層ウエーハにおいては、その厚みが増すため、従来に比べて積層ウエーハが収容されたカセットの重量は重くなる。この結果、重量の重くなったカセットを作業者がカセットステージに運搬することが困難となっている。

このような問題を解消するため、下記の特許文献１に示すカセットワゴンが提案されている。このカセットワゴンは、下部に移動手段としてキャスターが取り付けられ移動自在なワゴン本体と、ワゴン本体上に載置されるカセットと、により構成されているため、装置本体に対するカセットワゴンの離脱と連結とが容易に可能となっており、作業車の負担を軽減させている。

特開２０１２−０５１０９３号公報

しかし、装置本体にカセットワゴンを連結するとき、使用するカセットワゴン毎に傾きが異なっているため、カセットワゴンに載置されたカセットにも傾きが発生する。そのため、上記のようなカセットワゴンでは傾きの調整ができないため、傾きが発生したカセットワゴンに載置されたカセットに対する板状ワークの搬出入ができないという不具合が生じている。

また、複数台設置される加工装置において同じカセットワゴンを共有させる場合、設置される加工装置はそれぞれに高さ差があるため、高さの異なる加工装置にカセットワゴンを連結した際にカセットの高さが加工装置の高さと合わず、カセットに対する板状ワークの搬出入ができないという問題もある。

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、カセットワゴンに傾きがあったり、カセットワゴンを連結して使用する加工装置に高さ差があったりしたとしても、確実にカセットに対して板状ワークを搬出入できるようにすることに発明の解決すべき課題がある。

本発明は、板状ワークを複数収容可能とするカセットと、該カセットを載置する載置面を有するカセットステージを備えるカセットワゴンと、板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを加工する加工手段と、該カセットステージに載置された該カセットに収容される板状ワークを搬出および搬入する搬送手段と、から少なくとも構成される装置本体と、を備え、該装置本体に該カセットワゴンを連結して使用する加工装置において、該カセットワゴンは、移動機構と、該装置本体に着脱可能とする第１の連結部と、該カセットステージの傾きを調整するカセット傾き調整機構とを備え、該カセット傾き調整機構は該カセットステージの中心を囲繞して該カセットステージの下部に配設される少なくとも３つの上下調整軸から構成され、該装置本体は、該第１の連結部に対応して該カセットワゴンを連結させる第２の連結部と、該カセットステージの高さを認識する高さ認識部と、該カセットステージの傾きを認識する傾き認識部と、該カセットステージに載置される該カセットとの間で該搬送手段によって搬送される板状ワークを通過させる開口部と、該開口部を開閉する開閉機構とを備えており、該搬送手段は、板状ワークを保持する保持面を有するロボットハンドと、該ロボットハンドを上下に移動させる昇降機構とを少なくとも備え、該傾き認識部が認識する傾きを基に該カセット傾き調整機構によって該カセットステージの該載置面と該ロボットハンドの該保持面との関係を平行に調整し、該搬送手段は、該高さ認識部が認識する該カセットステージの高さを基に該昇降機構で該ロボットハンドを該カセットに対応した高さに調整し、板状ワークの加工を開始するときは、該開閉機構によって該開口部が閉じられているときに該カセットワゴンの該第１の連結部を該装置本体の該第２の連結部に連結するとともに該開閉機構によって該開口部を開き、該搬送手段が該カセットステージに載置される該カセットに対する板状ワークの搬入および搬出を可能としており、板状ワークの加工が終了したときは、該開閉機構によって該開口部を閉じ該カセットワゴンを該装置本体から離脱可能とするとともに該移動機構によって該カセットワゴンを移動可能とすることを特徴とする。

上記装置本体は、上記カセットステージの高さ基準となる高さ基準値を記憶する記憶部を備え、上記カセット傾き調整機構の前記上下調整軸を用いて、上記高さ認識部が認識する上記カセットステージの高さを該記憶部が記憶する該高さ基準値と一致する高さに調整する。

さらに、上記カセット傾き調整機構は、少なくとも３つの上下調整軸のうち上記ロボットハンドの進入方向に直行して配置する２つの該上下調整軸を上下動しない固定軸としており、残る１つの該上下調整軸によって該ロボットハンドの該進入方向となる前後の傾きを調整可能となっており、上記搬送手段には、該ロボットハンドが該カセットワゴンに載置される該カセットに進入する進入方向に直行する方向となる該ロボットハンドの左右の傾きを調整するロボットハンド傾き調整機構を備え、上記カセットステージの載置面と該ロボットハンドの保持面との関係は、該傾き認識部が認識する傾きを基に該カセットステージの前後の傾きを調整する該カセット傾き調整機構と該ロボットハンドの左右の傾きを調整する該ロボットハンド傾き調整機構とによって平行に調整される。

本発明にかかる加工装置は、装置本体にカセットワゴンを連結して使用する加工装置であり、カセットワゴンは、３つの上下調整軸から構成されカセットステージの傾きを調整するカセット傾き調整機構を備え、装置本体には、カセットステージの高さを認識する高さ認識部と、カセットステージの傾きを認識する傾き認識部とを備えているため、加工装置に備える搬送手段は、高さ認識部が認識するカセットステージの高さに基づいて昇降機構を作動させ、カセットステージに載置されたカセットの高さにロボットハンドの高さを合わせるように調整することができる。また、カセット傾き調整機構は、傾き認識部が認識する傾きに基づいて上下調整軸を昇降させ、カセットステージの載置面と搬送手段のロボットハンドの保持面との関係が平行になるように調整することができる。
したがって、異なるカセットワゴンを装置本体に連結する際や同じカセットワゴンを高さの異なる複数の加工装置で共有する際においても、カセット傾き調整機構によってカセットステージの傾きを調整するとともに、搬送手段がカセットステージに載置されるカセットの高さにロボットハンドの高さを合わせることができるため、確実にカセットに対する板状ワークの搬出入を行うことができる。

上記装置本体には、カセットステージの高さ基準となる高さ基準値を記憶する記憶部を備えているため、上記カセット傾き調整機構は、高さ認識部が認識するカセットステージの高さを記憶部が記憶する高さ基準値と一致する高さに調整することがきる。したがって、装置本体の高さに合わせてカセットステージの高さを調整することが可能となる。

さらに、カセット傾き調整機構においては、少なくとも３つの上下調整軸のうち、ロボットハンドの進入方向に直行して左右に配置された２つを固定軸として、残りの１つを上下動可能な上下調整軸とすることによりカセットステージの前後の傾きを調整することができる。また、搬送手段には、ロボットハンドの左右の傾きを調整するロボットハンド傾き機構を備えているため、カセットの内部に侵入する侵入方向と直行する方向におけるロボットハンドの左右の傾きを調整することができる。
したがって、カセット傾き調整機構によってカセットステージの前後の傾きを調整するとともに、ロボットハンド傾き調整機構によってロボットハンドの左右の傾きを調整することができるため、カセットステージの載置面とロボットハンドの保持面との関係を平行に調整することができ、確実にカセットから板状ワークの搬出入を行うことができる。

加工装置の構成を示す斜視図である。カセット及びカセットワゴンの内部構造を示す断面図である。カセットが載置されたカセットワゴンを示す断面図である。装置本体の部分的な構成とカセットワゴンの構成とを側面側からみた断面図である。装置本体の連結面とカセットワゴンとの位置関係を示す斜視図である。装置本体にカセットワゴンを連結する状態を示す断面図である。カセットステージの傾きを調整する状態を示す断面図である。装置本体からカセットワゴンを離脱する状態を示す断面図である。カセットワゴンの第二例の構成を示す側面図である。カセットが載置されたカセットワゴンの第二例を示す断面図である。装置本体にカセットワゴンの第二例を連結する状態を示す断面図である。装置本体からカセットワゴンの第二例を離脱する状態を示す断面図である。

１第一の実施形態
図１に示す加工装置４は、被加工物に研削を行う加工装置の一例である。加工装置４は、Ｙ軸方向にのびる装置本体３に複数の板状ワークを収容可能なカセット１が載置されたカセットワゴン２を連結して使用される。

装置本体３のＹ軸方向前部には、研削前の被加工物をカセット１から搬出するとともに研削後の被加工物をカセット１へ搬入する搬送手段５ａが配設されている。搬送手段５ａの可動領域には、被加工物が仮置きされる仮置きテーブル６と、研削後の被加工物に洗浄を行うスピンナー洗浄装置１２とが配設されている。

装置本体３の上面３ａには、Ｙ軸方向に移動可能な移動基台９が配設されている。移動基台９には、被加工物を保持し自転可能な保持テーブル８が配設されている。仮置きテーブル６の近傍には、研削前の被加工物を仮置きテーブル６から保持テーブル８に搬送する第１の搬送手段７ａが配設されており、第１の搬送手段７ａに隣接して研削後の被加工物を保持テーブル８からスピンナー洗浄装置１２に搬送する第２の搬送手段７ｂが配設されている。装置本体３のＹ軸方向後部には、Ｚ軸方向にのびるコラム３ｂが立設されており、コラム３ｂの側方において加工送り手段１１を介して被加工物に研削を行う加工手段１０が配設されている。

図２に示すように、カセット１には、被加工物である板状ワークＷを支持する棚部１００が上下方向に所定間隔を設けて複数形成されている。図２に示すように、カセット１の前部は、開口しており、被加工物の搬出入を行うための開口エリア１０１となっている。カセットワゴン２の下端には、複数のキャスター２１が取り付けられており、キャスター２１が移動機構として機能する。すなわち、キャスター２１が転動することによりカセットワゴン２を水平方向に移動させることができる。

カセットワゴン２は、カセット１を載置する載置面２０ａを有するカセットステージ２０を備え、このカセットステージ２０の下面２０ｂ側においてカセットステージ２０の傾きを調整できるカセット傾き調整機構２２を備えている。カセット傾き調整機構２２は、雄螺子を有する上下調整軸２３を有しており、カセットステージ２０の下面２０ｂに連結されたナット２４に螺合している。これら上下調整軸２３には、モータ２５がそれぞれ接続されており、モータ２５の駆動により、ナット２４が上下方向に昇降し、カセットステージ２０の載置面２０ａの傾きを調整することができる。

図３に示すように、上下調整軸２３はカセットステージ２０の中心Ｏを囲繞して少なくとも３つ配設されている。カセット傾き調整機構２２では、これら３つの上下調整軸２３をそれぞれ個別に回転させることが可能となっている。例えば、カセットステージ２０の前側（開口エリア１０１側）の左右にそれぞれ配設された上下調整軸２３によってカセットステージ２０の左右の傾きを調整することができる。また、カセットステージ２０の後側に配設された１つの上下調整軸２３によってカセットステージ２０の前後の傾きを調整することができる。

図４に示すように、カセットワゴン２の前部には、装置本体３にカセットワゴン２を着脱可能にする凸状の第１の連結部２６ａと第１の連結部２６ｂとを備えている。一方、カセットワゴン２の後部には、作業者がカセットワゴン２をハンドリングするためのハンドル２７が形成されている。

装置本体３は、カセットワゴン２の前部と対面する面が連結面３０となっている。連結面３０には、第１の連結部２６ａに対応してカセットワゴン２を連結させる凹状の第２の連結部３１ａを備え、第１の連結部２６ｂに対応してカセットワゴン２を連結させる凹状の第２の連結部３１ｂを備えている。

搬送手段５ａは、板状ワークを保持する保持面５２を有するロボットハンド５１と、ロボットハンド５１を所望の位置に移動させるアーム部５３と、ロボットハンド５１を上下に移動させる昇降機構５４とを少なくとも備えている。

装置本体３には、カセットステージ２０の高さを認識する高さ認識部３２を備えている。高さ認識部３２は、光センサを有しており、上方からカセットステージ２０の高さを認識することができる。また、装置本体３には、カセットステージ２０の傾きを認識する傾き認識部３３を備えている。傾き認識部３３は、高さ認識部３２と同様に光センサを有しており、光軸がカセットステージ２０の載置面２０ａと平行となるように配置されている。そして、装置本体３にカセットワゴン２が連結された状態でカセットステージ２０の傾きを認識することができる。

装置本体３には、カセットステージ２０に載置されるカセット１との間で搬送手段５ａによって搬送される板状ワークを通過させる開口部３５と、開口部３５を開閉する開閉機構３４とを備えている。開閉機構３４は、上下方向に移動可能な開閉扉３４ａを有している。

装置本体３には、カセット傾き調整機構２２及び搬送手段５ａの駆動源となる電源部４０と、カセット傾き調整機構２２及び搬送手段５ａを制御する制御部４１と、カセットステージ２０の高さ基準となる高さ基準値を記憶する記憶部４２とを備えている。装置本体３にカセットワゴン２が連結された状態で開閉扉３４ａが開くことにより、電源部４０の電力がモータ２５と昇降機構５４とに通電されるように構成されている。

制御部４１は、高さ認識部３２が認識するカセットステージ２０の高さに基づいてロボットハンド５１の高さが所定の高さとなるように昇降機構５４を制御することができる。また、制御部４１は、傾き認識部３３が認識する傾きに基づいてカセットステージ２０の載置面２０ａとロボットハンド５１の保持面５２との関係が平行になるように、カセット傾き調整機構２２を制御することができる。さらに、制御部４１は、カセットステージ２０の高さをあらかじめ記憶部４２が記憶したカセットステージ２０の高さ基準となる高さ基準値と一致する高さにロボットハンド５１の高さを調整するようにカセット傾き調整機構２２を制御することが可能となっている。

以下では、装置本体３にカセットワゴン２を連結してから装置本体３からカセットワゴン２を離脱させるまでの一連の動作について説明する。なお、図２に示した板状ワークＷは、被加工物の一例であって特に限定されるものではない。まず、研削前の板状ワークＷが複数収容されたカセット１をカセットワゴン２のカセットステージ２０の載置面２０ａに載置する。

図５に示すように、カセットワゴン２にカセット１を載置した後、作業者はハンドル２７を掴んで、カセットワゴン２をＹ軸方向に移動させる。そして、カセットワゴン２を開閉扉３４ａによって開口部３５が閉じている装置本体３の連結面３０にむけて移動させる。図６に示すように、カセットワゴン２が装置本体３の連結面３０に当接すると、第１の連結部２６ａが第２の連結部３１ａに連結され、第１の連結部２６ｂが第２の連結部３１ｂに連結される。その後、開閉機構３４が開閉扉３４ａを上昇させ、開口部３５を開ける。これにより、カセット傾き調整機構２２のモータ２５と搬送手段５ａとに電源部４０の電力が通電される。

ここで、図４に示した傾き認識部３３は、カセットステージ２０の載置面２０ａが前後左右（Ｘ−Ｙ平面）のいずれの方向に傾いているかを光センサによって認識する。カセットステージ２０が例えば、右方に傾いている場合には、傾き認識部３３がこれを認識する。制御部４１は、この認識した情報に基づき、カセットステージ２０の傾きを調整するようにカセット傾き調整機構２２を制御する。具体的には、図７に示すように、カセット傾き調整機構２２は、モータ２５を駆動することにより右側のナット２４を昇降させてカセットステージ２０の載置面２０ａの傾きを調整することにより、カセットステージ２０の載置面２０ａと、図６に示したロボットハンド５１の保持面５２との関係が平行となるように調整する。

次に、図６に示す高さ認識部３２は、カセットステージ２０の載置面２０ａにむけて光を投光し、カセットステージ２０の高さを光センサによって認識する。制御部４１は、高さ認識部３２が認識したカセットステージ２０の高さに基づいて昇降機構５４を制御する。そして、制御部４１による制御の下、搬送手段５ａは、ロボットハンド５１の高さを、載置面２０ａを基準としてカセット１の各棚部１００（図２参照）の高さに合うように調整する。

上記では、搬送手段５ａによってカセットステージ２０に載置されたカセット１の高さにロボットハンド５１の高さを合わせているが、カセット傾き調整機構２２でカセット１の高さを調整することも可能となっている。具体的には、図６に示す高さ認識部３２が認識したカセットステージ２０の高さを記憶部４２にあらかじめ記憶されたカセットステージの高さ基準値と一致する高さとなるように、カセット傾き調整機構２２によってカセットステージ２０の高さを調整することによりカセット１の高さを調整する。

カセット１の所定の棚部１００の高さにロボットハンド５１の高さを合わせた後、搬送手段５ａは、ロボットハンド５１の保持面５２と傾き調整されたカセットステージ２０の載置面２０ａとの平行度を維持しながら、ロボットハンド５１を開口エリア１０１からカセット１の内部に侵入させる。ロボットハンド５１が板状ワークを保持したら、ロボットハンド５１をカセット１の外部に退避させ、図１に示した仮置きテーブル６に板状ワークを搬送する。第１の搬送手段７ａによって板状ワークを保持テーブル８に搬送した後、加工手段１０によって板状ワークを所定の厚みに加工する。

板状ワークの加工終了後は、図１に示した洗浄手段１２において板状ワークを洗浄する。そして、ロボットハンド５１は、洗浄後の板状ワークを保持し、カセット１の所定の棚部１００の高さにロボットハンド５１の高さ位置を合わせた状態で板状ワークをカセット１に搬入する。板状ワークをカセット１に搬入する際には、板状ワークをカセット１から搬出するときと同様に、カセットステージ２０の載置面２０ａとロボットハンド５１の保持面５２とが平行となっているため、板状ワークの搬入を円滑に行うことができる。こうしてすべての板状ワークが加工されカセット１に収容されると、図８に示すように、開閉機構３４は、開閉扉３４ａを下降させ、開口部３５を閉じる。これにより、搬送手段５ａの昇降機構５４とカセット傾き調整機構２２とに通電されている電源部４０の電力が切断される。その後、作業者は、ハンドル２７を手前側に引っ張り装置本体３からカセットワゴン２を離脱させる。

２第二の実施形態
図９及び図１０に示すカセットワゴン６１は、被加工物を複数収容できるカセット６０を載置する載置面７０ａを有するカセットステージ７０を備えている。カセットワゴン６１の下端には、複数のキャスター７１が取り付けられており、キャスター７１が移動機構として機能する。なお、カセット６０は、上記したカセット１と同様の構成となっている。

図９及び図１０に示すように、カセットワゴン６１は、カセットステージ７０の下面７０ｂ側においてカセットステージ７０の傾きを調整可能なカセット傾き調整機構７２を備えている。カセット傾き調整機構７２は、カセットステージ７０の中心Ｏを囲繞してカセットステージ７０の後側に配設された上下動可能な１つの上下調整軸７３と、カセットステージ７０の前側に配設された上下動しない２つの固定軸７５とから構成されている。

上下調整軸７３は、カセットステージ７０の下面７０ｂに連結されたナット７４に螺合している。上下調整軸７３には、モータ７６が接続されており、モータ７６が駆動することにより上下調整軸７３のみを上下に昇降させ、図１１に示すロボットハンド５１の侵入方向となるカセットステージ７０の前後における傾きを調整することができる。

図１１に示すように、搬送手段５ｂは、ロボットハンド５１の左右の傾きを調整するロボットハンド傾き機構５５を備えている。ロボットハンド傾き調整機構５５は、ロボットハンド５１を、その進退方向を回転軸として回転させることにより、カセット６０の内部に進入する進入方向と直行する水平方向におけるロボットハンド５１の左右の傾きを調整することができる。なお、搬送手段５ｂは、ロボットハンド傾き機構５５を備えた点以外は、第一の実施形態で示した搬送手段５ａと構成が同様である。

次に、装置本体３にカセットワゴン６１を連結及び離脱させる一連の動作について説明
する。なお、装置本体３の構成は、第一の実施形態におけるものと同様である。また、装置本体３にカセット６０が載置されたカセットワゴン６１を連結して図１に示した加工装置４として使用することができる。

図１１に示すように、カセット６０が載置されたカセットワゴン６１をＹ軸方向に移動させ、装置本体３の連結面３０に当接させる。これにより、第１の連結部７７ａが第２の連結部３１ａに連結され、第１の連結部７７ｂが第２の連結部３１ｂに連結される。その後、開閉機構３４は開閉扉３４ａを上昇させ、開口部３５を開ける。このとき、搬送手段５ｂとカセット傾き調整機構７２のモータ７６とに電源部４０の電力が通電される。

傾き認識部３３は、カセットステージ７０の載置面７０ａが前後左右のいずれの方向に傾いているか光センサによって認識する。制御部４１は、この認識した情報に基づき、カセットステージ７０の前後の傾きを調整するようにカセット傾き調整機構７２を制御する。具体的には、電源部４０からりモータ７６に対して給電を行い、モータ７６が上下調整軸７３を回転させてナット７４を昇降させる。このとき、固定軸７５は動かないため、ナット７４の上下移動のみによってカセットステージ７０の前後方向の傾きを調整する。

次に、ロボットハンド傾き調整機構５５によって、カセットステージ２０の左右の傾きに合わせてロボットハンド５１の左右の傾きを調整する。このようにして、カセットステージ７０の載置面７０ａとロボットハンド５１の保持面５２との関係が平行となるように調整する。

高さ認識部３２によりカセットステージ７０の高さを認識した後、制御部４１は高さ認識部３２が認識したカセットステージ７０の高さに基づいて昇降機構５４を制御し、ロボットハンド５１の高さをカセット６０の所定の棚部１００（図２参照）の高さに合わせる。その後、搬送手段５ｂは、ロボットハンド５１をカセット６０の内部に進入させ、板状ワークをロボットハンド５１に保持させる。そして、搬送手段５ｂは、ロボットハンド５１をカセット６０の外部に退避させ、図１に示した仮置きテーブル６に板状ワークを搬送する。第１の搬送手段７ａによって板状ワークを保持テーブル８に搬送した後、加工手段１０によって板状ワークを所定の厚みに加工する。

板状ワークの加工終了後は、図１に示した洗浄手段１２において板状ワークを洗浄する。そして、ロボットハンド５１は、洗浄後の板状ワークを保持してカセット６０に搬送する。板状ワークをカセット６０に搬入する際には、板状ワークをカセット６０から搬出するときと同様に、ロボットハンド傾き調整機構５５によって、カセットステージ２０の左右の傾きに合わせてロボットハンド５１の左右の傾きを調整する。こうしてすべての板状ワークが加工されカセット６０に収容されると、図１２に示すように、開閉機構３４は、開閉扉３４ａを下降させ、開口部３５を閉じる。これにより、搬送手段５ｂの昇降機構５４とカセット傾き調整機構７２とに通電されている電源部４０の電力が切断される。その後、作業者は、ハンドル７８を手前側に引っ張り装置本体３からカセットワゴン６１を離脱させる。

以上のように、第一の実施形態に示したカセットワゴン２は、３つの上下調整軸２３から構成されカセットステージ２０の傾きを調整するカセット傾き調整機構２２を備え、装置本体３には、カセットステージ２０の高さを認識する高さ認識部３２と、カセットステージ２０の傾きを認識する傾き認識部３３とを備えているため、加工装置４に備える搬送手段５ａは、高さ認識部３２が認識するカセットステージ２０の高さに基づいて昇降機構５４を作動させ、カセットステージ２０に載置されたカセット１の高さにロボットハンド５１の高さを合わせるように調整することができる。また、カセット傾き調整機構２２は、傾き認識部３３が認識する傾きに基づいて上下調整軸２３を昇降させ、カセットステージ２０の載置面２０ａと搬送手段５ａのロボットハンド５１の保持面５２との関係が平行になるように調整することができる。
したがって、異なるカセットワゴンを装置本体３に連結する際や同じカセットワゴンを高さの異なる複数の加工装置で共有する際においても、カセット傾き調整機構２２によってカセットステージの傾きを調整するとともに、搬送手段５ａがカセットステージに載置されるカセット１の高さにロボットハンド５１の高さを合わせることができるため、確実にカセット１に対する板状ワークの搬出入を行うことができる。

上記装置本体３には、カセットステージ２０の高さ基準となる高さ基準値を記憶する記憶部４２を備えているため、上記カセット傾き調整機構２２は、高さ認識部３２が認識するカセットステージ２０の高さを記憶部４２が記憶する高さ基準値と一致する高さに調整することがきる。したがって、装置本体３の高さに合わせてカセットステージ２０の高さを調整することが可能となる。

第二の実施形態に示したカセット傾き調整機構７２においては、少なくとも３つの上下調整軸のうち、ロボットハンド５１の進入方向に直行して左右に配置された２つを固定軸７５として、残りの１つを上下動可能な上下調整軸７３とすることによりカセットステージ７０の前後の傾きを調整することができる。また、搬送手段５ｂには、ロボットハンド５１の左右の傾きを調整するロボットハンド傾き機構５５を備えているため、カセット６０の内部に進入する進入方向と直行する方向におけるロボットハンド５１の左右の傾きを調整することができる。
したがって、カセット傾き調整機構７２によってカセットステージ７０の前後の傾きを調整するとともに、ロボットハンド傾き調整機構５５によってロボットハンド５１の左右の傾きを調整することができるため、カセットステージ７０の載置面７０ａとロボットハンド５１の保持面５２との関係を平行に調整することができ、確実にカセット６０に対する板状ワークの搬出入を行うことができる。

１：カセット１００：棚部１０１：開口エリア２：カセットワゴン３：装置本体３ａ：上面３ｂ：コラム４：加工装置５ａ，５ｂ：搬送手段６：仮置きテーブル
７ａ：第１の搬送手段７ｂ：第２の搬送手段８：保持テーブル９：移動基台
１０：加工手段１１：加工送り手段１２：洗浄手段
２０：カセットステージ：２０ａ：載置面２０ｂ：下面
２１：キャスター２２：カセット傾き調整機構２３：上下調整軸２４：ナット
２５：モータ２６ａ，２６ｂ：第１の連結部２７：ハンドル
３０：連結面３１ａ，３１ｂ：第２の連結部３２：高さ認識部３３：傾き認識部
３４：開閉機構３４ａ：開閉扉３５：開口部
４０：電源部４１：制御部４２：記憶部
５１：ロボットハンド５２：保持面５３：アーム部５４：昇降機構
５５：ロボットハンド傾き調整機構
６０：カセット６１：カセットワゴン
７０：カセットステージ：７０ａ：載置面７０ｂ：下面
７１：キャスター７２：カセット傾き調整機構７３：上下調整軸７４：ナット
７５：固定軸７６：モータ７７ａ，７７ｂ：第１の連結部７８：ハンドル
Ｗ：板状ワーク

Claims

板状ワークを複数収容可能とするカセットと、該カセットを載置する載置面を有するカセットステージを備えるカセットワゴンと、
板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された板状ワークを加工する加工手段と、該カセットステージに載置された該カセットに収容される板状ワークを搬出および搬入する搬送手段と、から少なくとも構成される装置本体と、を備え、該装置本体に該カセットワゴンを連結して使用する加工装置において、
該カセットワゴンは、移動機構と、該装置本体に着脱可能とする第１の連結部と、該カセットステージの傾きを調整するカセット傾き調整機構とを備え、該カセット傾き調整機構は該カセットステージの中心を囲繞して該カセットステージの下部に配設される少なくとも３つの上下調整軸から構成され、
該装置本体は、該第１の連結部に対応して該カセットワゴンを連結させる第２の連結部と、該カセットステージの高さを認識する高さ認識部と、該カセットステージの傾きを認識する傾き認識部と、該カセットステージに載置される該カセットとの間で該搬送手段によって搬送される板状ワークを通過させる開口部と、該開口部を開閉する開閉機構とを備えており、
該搬送手段は、板状ワークを保持する保持面を有するロボットハンドと、該ロボットハンドを上下に移動させる昇降機構とを少なくとも備え、
該傾き認識部が認識する傾きを基に該カセット傾き調整機構によって該カセットステージの該載置面と該ロボットハンドの該保持面との関係を平行に調整し、
該搬送手段は、該高さ認識部が認識する該カセットステージの高さを基に該昇降機構で該ロボットハンドを該カセットに対応した高さに調整し、
板状ワークの加工を開始するときは、該開閉機構によって該開口部が閉じられているときに該カセットワゴンの該第１の連結部を該装置本体の該第２の連結部に連結するとともに該開閉機構によって該開口部を開き、該搬送手段が該カセットステージに載置される該カセットに対する板状ワークの搬入および搬出を可能としており、
板状ワークの加工が終了したときは、該開閉機構によって該開口部を閉じ該カセットワゴンを該装置本体から離脱可能とするとともに該移動機構によって該カセットワゴンを移動可能とすることを特徴とする加工装置。
前記装置本体は、前記カセットステージの高さ基準となる高さ基準値を記憶する記憶部を備え、前記カセット傾き調整機構の前記上下調整軸を用いて、前記高さ認識部が認識する前記カセットステージの高さを該記憶部が記憶する該高さ基準値と一致する高さに調整する請求項１記載の加工装置。
前記カセット傾き調整機構は、少なくとも３つの上下調整軸のうち前記ロボットハンドの進入方向に直行して配置する２つの該上下調整軸を上下動しない固定軸としており、残る１つの該上下調整軸によって該ロボットハンドの該進入向となる前後の傾きを調整可能となっており、
前記搬送手段には、該ロボットハンドが該カセットワゴンに載置される該カセットに進入する進入方向に直行する方向となる該ロボットハンドの左右の傾きを調整するロボットハンド傾き調整機構を備え、
前記カセットステージの載置面と該ロボットハンドの保持面との関係は、該傾き認識部が認識する傾きを基に該カセットステージの前後の傾きを調整する該カセット傾き調整機構と該ロボットハンドの左右の傾きを調整する該ロボットハンド傾き調整機構とによって平行に調整される請求項１記載の加工装置。