JP2024066792A - ワーク処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送システムによりワークを供給するワーク処理装置において、搬送システムが停止しても容易にワークの処理を継続して実施できるワーク処理装置を提供すること。【解決手段】ワーク処理装置１は、ワーク処理装置１に物品を搬送する搬送車１１０と、ワーク処理装置１の上方に設置され、搬送車１１０が走行する搬送路１２０と、を含む搬送システム１００において配置される。ワーク処理装置１は、搬送車１１０が有し物品を収容する収容ユニット１１３が通過する開口１２と、収容ユニット１１３が着座する着座ステージ２０と、着座ステージ２０の下方に、複数の物品を収容するカセットが設置されるカセット設置部３０と、を有することを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、上方に搬送車が走行する搬送路が設置されるワーク処理装置に関する。

ワーク処理装置の上方に搬送路を設け、ワークや、加工工具、加工に使用するドレッサーボード、プリカットボード、ワークと同様の材質のダミーワーク、加工工具で加工し、加工溝の形状を確認するために使用されるカーボン片、ワークピース片などの消耗品、ワーク処理装置の機構を清掃する清掃部品、ワーク処理装置の各ユニットのメンテナンスに使用するメンテナンス部品などの物品を搬送する搬送車によって、ワーク処理装置に物品を供給する搬送システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０２０－１７８１０８号公報

このようなワーク処理装置には、物品が収容される収容ユニットが着座する専用の着座ステージを設置するが、搬送システムが停止してしまうと、ワーク処理装置は稼働できるのにも関わらず、物品の供給が停止することでワークの処理が停止してしまうという問題があった。また、着座ステージを従来のカセット載置台に交換することで、ワーク処理装置内の搬送アームを用いて処理を開始できるが、交換にかかる工数が発生する問題があった。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送システムによりワークを供給するワーク処理装置において、搬送システムが停止しても容易にワークの処理を継続して実施できるワーク処理装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のワーク処理装置は、ワーク処理装置に物品を搬送する搬送車と、ワーク処理装置の上方に設置され、該搬送車が走行する搬送路と、を含む搬送システムにおいて配置されるワーク処理装置であって、該搬送車は、該物品を収容する収容ユニットを有し、該ワーク処理装置は、該収容ユニットが通過する開口と、該収容ユニットが着座する着座ステージと、該着座ステージの下方に、複数の物品を収容するカセットが設置されるカセット設置部と、を有することを特徴とする。

該着座ステージと、該カセット設置部と、を昇降させる昇降ユニットと、該昇降ユニットによって搬送高さに位置付けられた該収容ユニット、または、該カセットに対して該物品を搬出入する搬送アームと、をさらに備えてもよい。

該カセット設置部は、該カセットが設置される設置台と、該設置台を引き出し可能に支持する支持レールと、を有してもよい。

本発明は、着座ステージの下方にカセット設置部を有するため、搬送システムが停止してもカセット設置部にカセットを設置する事で容易にワークの処理を継続して実施できる。

図１は、実施形態に係るワーク処理装置の構成例を示す斜視図である。 図２は、図１のワーク処理装置の要部を示す断面図である。 図３は、図１のワーク処理装置の要部を示す断面図である。 図４は、図１のワーク処理装置の要部を示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態〕
本発明の実施形態に係るワーク処理装置１を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係るワーク処理装置１の構成例を示す斜視図である。図２、図３及び図４は、いずれも、図１のワーク処理装置１の要部を示す断面図である。ワーク処理装置１は、図１、図２、図３及び図４に示すように、筐体１０と、着座ステージ２０と、カセット設置部３０と、昇降ユニット４０と、搬送アーム５０と、処理ユニット６０と、受信機７０と、送信機８０と、制御部９０と、を有する。なお、図面は、適宜、一部の構成要素を省略したり、一部の構成要素を輪郭のみ等で簡易的に示したりしている。

実施形態に係るワーク処理装置１の処理対象であるワーク２００は、図１に示すように、シリコン、サファイア、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）、ガリウムヒ素、ガラスなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハである。ワーク２００は、平坦な表面において、交差（本実施形態では、直交）する複数の分割予定ラインで区画された領域にそれぞれチップ状のデバイスが形成されている。なお、ワーク２００は、本発明ではこれに限定されず、デバイスが形成されていなくてもよい。ワーク２００は、本実施形態では、裏面に粘着テープが貼着され、粘着テープの外縁部に環状フレームが装着されているが、本発明ではこれに限定されず、環状フレームが装着されていなくても、粘着テープが貼着されていなくてもよい。また、ワーク２００以外の加工工具、消耗品、清掃部品、メンテナンス部品などの物品も同様に環状フレームに固定された粘着テープによって保持されていても良いし、専用の治具に保持され、搬送車１１０によって搬送されても良い。

実施形態に係るワーク処理装置１は、図１に示すように、実施形態に係るワーク処理装置１に物品を搬送する搬送車１１０と、実施形態に係るワーク処理装置１を含む複数のワーク処理装置の上方に設置され、搬送車１１０が走行する搬送路１２０と、を含む搬送システム１００において配置される。搬送システム１００は、ワーク２００を処理する実施形態に係るワーク処理装置１を含む複数のワーク処理装置のそれぞれに対して、ワーク２００を含む物品を搬送するものであり、実施形態に係るワーク処理装置１を含む複数のワーク処理装置の上方に、複数のワーク処理装置の間に渡って設置される搬送路１２０と、複数のワーク処理装置の間で物品を支持して搬送路１２０を搬送する搬送車１１０と、制御ユニット１３０と、を含んで構成される。搬送システム１００は、本実施形態では複数台（図１に示す例では２台）の搬送車１１０を含むが、本発明ではこれに限定されず、１台でもよく、もちろん３台以上でもよい。

搬送システム１００の搬送対象の物品は、ワーク２００を含む。搬送システム１００の搬送対象の物品は、ワーク２００に限定されず、材質、形状、構造、大きさ等に制限はなく、例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等であってもよく、ワーク２００を加工する加工工具や、ワーク２００の加工に使用する消耗品、清掃部品、メンテナンス部品などであってもよい。ワーク２００を加工する加工工具は、例えば、切削ブレード、研削ホイール等である。ワーク２００の加工に使用する消耗品は、例えば、ドレッサーボード、プリカットボード、ダミーワーク、カーボン片、ワークピース片、粘着テープ等である。また、清掃部品は、加工工具が装着されるスピンドルの先端に固定されたマウントを清掃する清掃用具等である。また、メンテナンス部品は、その他のワーク処理装置１に備えられる任意の機構をメンテナンスするためのメンテナンス用具等である。これらの物品も同様に環状フレームに固定された粘着テープによって保持されていても良いし、専用の治具に保持され、搬送車１１０によって搬送されても良い。

搬送システム１００の搬送車１１０は、自動搬送車（Automated Guided Vehicle、ＡＧＶ）であり、図１及び図２に示すように、車体１１１と、車輪１１２と、収容ユニット１１３と、昇降ユニット１１４と、受信機１１５と、送信機１１６と、制御部１１７と、を有する。車体１１１は、矩形状に形成されており、収容ユニット１１３を収容可能で下方側に開放された凹部が形成されている。

車輪１１２は、車体１１１の互いに平行な一対の側面に、それぞれ複数個（図１及び図２に示す例では２個）、この一対の側面に対して直交する軸心周りに互いに独立して回転自在に設けられている。車輪１１２は、外周面が搬送路１２０の通路部１２１または待機部１２２に接触する。車輪１１２は、それぞれ不図示のモーター等に接続されており、モーター等により軸心周りの回転動作が加えられて、搬送路１２０の通路部１２１上または待機部１２２上を走行する。車輪１１２は、本実施形態では、例えば、傾斜した樽状（筒状）の複数の回転体が外周面に取り付けられたメカナムホイールが使用される。

収容ユニット１１３は、矩形状に形成されており、ワーク２００を含む物品を収容する。収容ユニット１１３は、互いに平行な一対の側面に、ワーク２００を含む物品が通過可能な大きさ及び形状の開口１１９が形成されている。収容ユニット１１３は、開口１１９からワーク２００を含む物品が取り出され、開口１１９からワーク２００を含む物品が収容される。

昇降ユニット１１４は、車体１１１内から収容ユニット１１３にわたって設けられ、収容ユニット１１３と接続されており、収容ユニット１１３を、筐体１０の上方の、車体１１１の凹部に収容された車内位置（図２の二点鎖線参照）と、筐体１０の内部の例えばステージ搬送高さに位置付けられた着座ステージ２０上に着座した着座位置（図２の実線参照）との間を、搬送路１２０の開口１２４及び筐体１０の開口１２を介して昇降移動させる。なお、着座ステージ２０のステージ搬送高さは、着座ステージ２０上に着座した収容ユニット１１３に対して搬送アーム５０により物品を搬出入可能な着座ステージ２０の高さである。

受信機１１５は、制御ユニット１３０と情報通信可能に接続され、制御ユニット１３０から送信された情報を受信し、受信した情報を制御部１１７に出力する。受信機１１５は、本実施形態では、制御ユニット１３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット１３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。受信機１１５が制御ユニット１３０から受信する情報は、本実施形態では、例えば、搬送車１１０の走行や収容ユニット１１３の昇降に関する動作の指令情報や、搬送車１１０の位置や収容ユニット１１３の位置を含む搬送車１１０の搬送状況や搬送履歴の送信を促す要求情報等である。

送信機１１６は、制御ユニット１３０と情報通信可能に接続され、制御部１１７から出力された情報を制御ユニット１３０に送信する。送信機１１６は、本実施形態では、制御ユニット１３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット１３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。送信機１１６が制御ユニット１３０に送信する情報は、本実施形態では、例えば、搬送車１１０の搬送状況や搬送履歴の情報である。なお、搬送車１１０に受信部と送信部とが備えられ、制御部１１７と情報通信可能に接続されても良い。

制御部１１７は、搬送車１１０の各構成要素の動作を制御して、搬送車１１０の走行や収容ユニット１１３の昇降に関する動作を搬送車１１０に実施させるものである。制御部１１７は、車輪１１２に接続された不図示のモーターや、車輪１１２の角度等を制御することで、搬送車１１０の走行を制御する。制御部１１７は、昇降ユニット１１４のモーターを制御することで、収容ユニット１１３の昇降移動を制御する。制御部１１７は、受信機１１５が制御ユニット１３０から受信した情報を取得し、制御ユニット１３０に送信する情報を送信機１１６に出力する。制御部１１７は、受信機１１５が制御ユニット１３０から受信した指令情報に応じた動作を搬送車１１０に実施させる。制御部１１７は、受信機１１５が制御ユニット１３０から受信した要求情報に応じて、搬送車１１０の搬送状況や搬送履歴の情報を送信機１１６から制御ユニット１３０に送信させる。制御部１１７は、制御ユニット１３０からの要求情報を受信していない場合でも、自発的に搬送車１１０の搬送状況や搬送履歴の情報を送信機１１６から制御ユニット１３０に送信させることもできる。

制御部１１７は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御部１１７が含むコンピュータシステムは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有するコンピュータである。制御部１１７の演算処理装置は、制御部１１７の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、搬送車１１０を制御するための制御信号を、制御部１１７の入出力インターフェース装置を介して搬送車１１０の各構成要素に出力する。

搬送システム１００の搬送路１２０は、図１に示すように、通路部１２１と、待機部１２２と、ガイド部１２３とを備える。通路部１２１は、ワーク処理装置１の筐体１０を含む複数のワーク処理装置の筐体の上方に跨って配設されている。待機部１２２は、ワーク処理装置１を含む複数のワーク処理装置ごとに筐体１０の上方に通路部１２１に隣接して１箇所ずつ配設されている。待機部１２２には、筐体１０の開口１２の直上に、搬送車１１０の車体１１１が通過不可能であり、なおかつ、収容ユニット１１３が通過可能な大きさ及び形状の開口１２４が形成されている。

ガイド部１２３は、通路部１２１及び待機部１２２の幅方向の両側端に配設されている。ガイド部１２３は、搬送車１１０の車輪１１２よりも高く形成されており、これにより、搬送車１１０がガイド部１２３を乗り越えて通路部１２１及び待機部１２２から脱落することを防止する。

制御ユニット１３０は、ワーク処理装置１の受信機７０及び送信機８０を含む各ワーク処理装置の受信機及び送信機と情報通信可能に接続されており、搬送車１１０の受信機１１５及び送信機１１６と情報通信可能に接続されている。制御ユニット１３０は、受信機７０を含む各ワーク処理装置の受信機及び各搬送車１１０の受信機１１５に指令情報を送信することで、ワーク処理装置１の制御部９０を含む各ワーク処理装置の制御部及び各搬送車１１０の制御部１１７を介して、ワーク処理装置１を含む各ワーク処理装置及び各搬送車１１０を遠隔で制御して動作させることができる。また、制御ユニット１３０は、送信機８０を含む各ワーク処理装置の送信機及び各搬送車１１０の送信機１１６からワーク処理装置１を含む各ワーク処理装置及び各搬送車１１０の状況や履歴等の情報を受信して把握することができる。このように、制御ユニット１３０は、ワーク処理装置１を含む各ワーク処理装置及び各搬送車１１０を統括的に制御して動作させることができる。

制御ユニット１３０は、本実施形態では、制御部１１７と同様のコンピュータシステムを含む。制御ユニット１３０の演算処理装置は、制御ユニット１３０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、搬送システム１００を制御するための制御信号を、制御ユニット１３０の入出力インターフェース装置を介して搬送システム１００の各構成要素に出力する。

ワーク処理装置１の筐体１０は、図１～図４に示すように、筐体１０を除くワーク処理装置１の各構成要素を収容する。筐体１０の上方の天井１１には、物品（ワーク２００）を収容する収容ユニット１１３が、天井１１に直交する方向に沿って通過可能な大きさ及び形状の開口１２が形成されている。なお、天井１１に直交する方向は、本実施形態では、鉛直方向に平行でかつＸＹ平面に直交するＺ軸方向である。また、筐体１０のいずれかの側面１３には、複数の物品（ワーク２００）を収容するカセット２１０が、側面１３に直交する方向に沿って、通過可能な大きさ及び形状の開口１４が形成されている。なお、側面１３に直交する方向は、本実施形態では、水平方向に平行なＹ軸方向である。開口１４には、開口１４を開放する開放状態と開口１４を閉鎖する閉鎖状態とを切り替える扉１５が設けられている。

着座ステージ２０は、図１～図４に示すように、筐体１０の内部に、開口１２の直下に、搬送アーム５０に隣接する位置に設けられている。着座ステージ２０は、収容ユニット１１３を昇降移動する昇降ユニット１１４によって搬送路１２０の開口１２４及び筐体１０の開口１２を通過して下降した収容ユニット１１３が着座する。着座ステージ２０は、上面で、着座した収容ユニット１１３を上方に向けて支持する。着座ステージ２０は、昇降ユニット４０によりＺ軸方向に沿って移動自在に設けられている。着座ステージ２０上には、不図示のセンサが設けられており、着座ステージ２０上に収容ユニット１１３が着座しているか否かを検出し、検出した情報を制御部９０に出力する。

カセット設置部３０は、図１～図４に示すように、着座ステージ２０の下方に配設されており、複数の物品を収容するカセット２１０（図３及び図４参照）が設置される。カセット設置部３０は、本実施形態では、着座ステージ２０と一体に固定されており、着座ステージ２０と一体的に、昇降ユニット４０によりＺ軸方向に沿って移動自在に設けられている。カセット設置部３０は、図２、図３及び図４に示すように、筐体３１と、カセット２１０が設置される設置台３２と、設置台３２を引き出し可能に支持する支持レール３３とを有する。

筐体３１は、カセット２１０を収容可能な大きさ及び形状を有する。筐体３１の上面３４の上側には、着座ステージ２０が配設されている。筐体３１の底面３５の上側には、支持レール３３を介して設置台３２が設けられている。筐体３１の底面３５の下側には、昇降ユニット４０が接続されている。筐体３１は、いずれかの側面３６が筐体１０の側面１３と対向し、別の側面３７が搬送アーム５０と対向する位置に設置されている。筐体３１の側面３６，３７には、カセット２１０が、それぞれ側面３６，３７に直交する方向に沿って、通過可能な大きさ及び形状の開口３８，３９が形成されている。なお、側面３６，３７に直交する方向は、本実施形態では、いずれも、水平方向に平行なＹ軸方向である。

設置台３２は、上面にカセット２１０を設置及び支持可能、なおかつ、側面３６に直交する方向に開口３８を通過可能な大きさ及び形状を有する。設置台３２は、支持レール３３を介して、筐体３１内の底面３５上と筐体３１外との間を、開口３８を通って側面３６に直交する方向に移動可能に、すなわち引き出し可能に設けられている。支持レール３３は、筐体３１の底面３５上に配設され、設置台３２を筐体３１内の底面３５上と筐体３１外との間で、開口３８を通って側面３６に直交する方向に移動可能に支持する。カセット設置部３０内には、不図示のセンサが設けられており、カセット設置部３０内の設置台３２上にカセット２１０が設置しているか否かを検出し、検出した情報を制御部９０に出力する。

カセット設置部３０は、図２及び図３に示すように、筐体３１の内部にガス供給路５８を介してガス供給源５９が接続されている。ワーク処理装置１は、ガス供給路５８を連通させてガス供給源５９からガスをカセット設置部３０の筐体３１内に供給して、筐体３１内の気圧を筐体３１外の気圧よりも大きくすることで、開口１４及び開口３８からの筐体３１内及び筐体１０内への異物の侵入を防ぐことができる。ガス供給源５９から供給するガスは、本実施形態では、例えば、窒素などの不活性ガスである。

昇降ユニット４０は、着座ステージ２０とカセット設置部３０とをＺ軸方向に沿って昇降移動させる。昇降ユニット４０は、本実施形態では、図１～図４に示すように、カセット設置部３０の筐体３１の底面３５の下側に設けられている。昇降ユニット４０は、図２に示すように、着座ステージ２０をステージ搬送高さに位置付けることができる。また、昇降ユニット４０は、図３に示すように、カセット設置部３０を、カセット設置部３０に対してカセット２１０を設置及び取り出し可能な高さであるカセット設置高さに位置付けることができる。また、昇降ユニット４０は、図４に示すように、カセット設置部３０を、カセット設置部３０に設置されたカセット２１０に対して搬送アーム５０により物品を搬出入可能な高さであるカセット搬送高さに位置付けることができる。昇降ユニット４０は、着座ステージ２０及びカセット設置部３０の高さ（位置）を検出し、検出した高さ（位置）を制御部９０に出力する。

ここで、カセット設置部３０のカセット設置高さ、本実施形態では、例えば、筐体３１の側面３６に形成された開口３８が筐体１０の側面１３に形成された開口１４と側面３６に直交する方向に対向するときのカセット設置部３０の高さである。また、カセット設置部３０のカセット搬送高さは、本実施形態では、例えば、筐体３１の側面３７に形成された開口３９が搬送アーム５０と側面３７に直交する方向に対向するときのカセット設置部３０の高さである。

昇降ユニット４０は、本実施形態では、例えば、モーターと、ボールねじと、ガイドと、を有する公知のボールねじ機構である。昇降ユニット４０は、Ｚ軸の軸心回りに回転自在に設けられたボールねじと、ボールねじを軸心回りに回転させるモーターと、着座ステージ２０及びカセット設置部３０をＺ軸方向に移動自在に支持するガイドと、を有して構成されている。昇降ユニット４０は、制御部９０により昇降動作が制御される。

搬送アーム５０は、図１～図４に示すように、着座ステージ２０に隣接する位置であり、カセット設置部３０の筐体３１に対して側面３７と対向する位置に設置される。搬送アーム５０は、ステージ搬送高さに位置付けられた着座ステージ２０に着座した収容ユニット１１３、及び、カセット搬送高さに位置付けられたカセット設置部３０に設置されたカセット２１０に対して、収容された物品（ワーク２００）を搬出して処理ユニット６０の周囲の所定の位置に載置し、また、処理ユニット６０の周囲の所定の位置に載置した物品（ワーク２００）を搬入する。

搬送アーム５０は、本実施形態では、例えば、着座ステージ２０に隣接する位置であり、カセット設置部３０の筐体３１に対して側面３７と対向する位置に設置され、互いに平行な状態を維持しながら接近または離隔できる一対のレールと、一対のレールの間に、着座ステージ２０及びカセット設置部３０と処理ユニット６０との間を移動可能に設けられ、物品（ワーク２００）を把持して搬送するロボットピックとにより構成される。

また、搬送アーム５０は、図１～図４に示すように、搬送アーム５０の上方に、搬送アーム移動ユニット５５が設けられている。搬送アーム移動ユニット５５は、搬送アーム５０をＺ軸方向に回転可能に支持し、回転駆動により搬送アーム５０の向きを変更する。また、搬送アーム移動ユニット５５は、搬送アーム５０を、水平方向に平行なＹ軸方向に沿って移動可能に支持し、Ｚ軸方向に沿って移動可能に支持する。搬送アーム移動ユニット５５は、搬送アーム５０を、駆動により搬送アーム５０をＹ軸方向及びＺ軸方向に沿って移動させる。搬送アーム移動ユニット５５は、搬送アーム５０の位置及び向きを検出し、検出した位置及び向きを制御部９０に出力する。

搬送アーム移動ユニット５５は、本実施形態では、例えば、モーターと、ボールねじと、ガイドと、を有する公知のボールねじ機構と、伸縮シリンダ機構と、回転機構とを組み合わせたものである。搬送アーム移動ユニット５５は、Ｙ軸の軸心回りに回転自在に設けられたボールねじと、ボールねじを軸心回りに回転させるモーターと、搬送アーム５０をＹ軸方向に移動自在に支持するガイドと、搬送アーム５０をＺ軸方向に移動自在に支持し、Ｚ軸方向に沿って移動させる伸縮シリンダと、搬送アーム５０をＺ軸回りに回転自在に支持し、Ｚ軸回りに回転させる回転機構と、を有して構成されている。搬送アーム移動ユニット５５は、制御部９０により搬送アーム５０の移動動作及び回転動作が制御される。

処理ユニット６０は、ワーク２００を処理する。処理ユニット６０は、本実施形態では、例えば、ワーク２００に対して収容処理及び保管処理する収容保管ユニット、ワーク２００に対して加工処理する加工ユニット、ワーク２００に対して洗浄処理する洗浄ユニット、ワーク２００に対して検査処理する検査ユニット、ワーク２００に対して撮像処理する撮像ユニット等である。

処理ユニット６０は、収容保管ユニットである場合、搬送システム１００の搬送対象の種々の物品、すなわち、ワーク２００、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板等、切削ブレードや研削ホイール等のワーク２００を加工する加工工具、ドレッサーボードやプリカットボード、粘着テープ等のワーク２００の加工に使用する消耗品を収容して保管する。ワーク処理装置１は、処理ユニット６０が収容保管ユニットである場合、処理ユニット６０内で搬送システム１００の搬送対象の種々の物品を収容及び保管し、筐体１０の上方の天井１１の開口１２を通じて搬送車１１０に搬出及び搬入するいわゆるストッカーである。

処理ユニット６０は、加工ユニットである場合、例えば、切削ブレードが回転可能に装着されるスピンドルを備え、切削ブレードでワーク２００を切削加工処理する切削加工ユニットや、研削砥石が配置された研削ホイールが回転可能に装着されるスピンドルを備え、研削砥石でワーク２００を研削加工処理する研削加工ユニット、ワーク２００にレーザービームを照射するレーザービーム照射器を備え、レーザービームでワーク２００をレーザー加工処理するレーザー加工ユニット、ワーク２００に粘着テープ等の保護部材を貼着して保護部材設置加工処理をする貼着加工ユニット、ワーク２００に紫外線を照射する紫外線照射器を備え、ワーク２００を紫外線照射加工処理する紫外線加工ユニット、等である。ワーク処理装置１は、処理ユニット６０が加工ユニットである場合、ワーク２００に対して加工処理する加工装置である。

処理ユニット６０は、洗浄ユニットである場合、ワーク２００に洗浄液や洗浄用のガス等を供給するノズルを備え、ワーク２００を洗浄処理する。ワーク処理装置１は、処理ユニット６０が洗浄ユニットである場合、ワーク２００に対して洗浄処理する洗浄装置である。

処理ユニット６０は、検査ユニットである場合、ワーク２００に検査用のレーザービームを照射するレーザービーム照射器や、ワーク２００に検査用の紫外線を照射する紫外線照射器、ワーク２００の検査用画像を撮像する撮像器と、照射や撮像の結果に基づいてワーク２００の検査判定をする検査判定部とを備え、ワーク２００を検査処理する。ワーク処理装置１は、処理ユニット６０が検査ユニットである場合、ワーク２００に対して検査処理する検査装置である。

処理ユニット６０は、撮像ユニットである場合、ワーク２００を撮像する撮像器と、ワーク２００を移動させて撮像器に対するワーク２００の位置や向きを変更及び調整するワーク移動器とを備え、ワーク２００を撮像処理する。ワーク処理装置１は、処理ユニット６０が撮像ユニットである場合、ワーク２００に対して撮像処理する撮像装置である。

処理ユニット６０は、ワーク２００を加工する加工工具や、ワーク２００の加工に使用する消耗品等といったワーク２００以外の物品を交換する交換処理を実施する。ワーク処理装置１は、処理ユニット６０が交換処理を実施する場合、新規な加工工具や消耗品等が開口１２より搬入され、処理ユニット６０の使用済みの加工工具や消耗品等を新規な加工工具や消耗品等に交換し、処理ユニット６０から取り外された加工工具や消耗品等が開口１２より搬出される。

受信機７０は、搬送システム１００の制御ユニット１３０と情報通信可能に接続され、制御ユニット１３０から送信された情報を受信し、受信した情報を制御部９０に出力する。受信機７０は、本実施形態では、制御ユニット１３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット１３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。受信機７０が制御ユニット１３０から受信する情報は、本実施形態では、例えば、ワーク処理装置１の処理に関する動作の指令情報や、ワーク処理装置１内のワーク２００の状況や履歴を含むワーク処理装置１の処理状況や処理履歴の送信を促す要求情報等である。

送信機８０は、制御ユニット１３０と情報通信可能に接続され、制御部９０から出力された情報を制御ユニット１３０に送信する。送信機８０は、本実施形態では、制御ユニット１３０と無線で情報通信可能に接続されているが、本発明ではこれに限定されず、制御ユニット１３０と有線で情報通信可能に接続されてもよい。送信機８０が制御ユニット１３０に送信する情報は、本実施形態では、例えば、ワーク処理装置１の処理状況や処理履歴等である。

制御部９０は、ワーク処理装置１の各構成要素の動作を制御して、物品（ワーク２００）に対する各種処理動作をワーク処理装置１に実施させるものである。制御部９０は、扉１５の開閉を制御して、開口１４を開放する開放状態と開口１４を閉鎖する閉鎖状態との切り替えを制御する。制御部９０は、着座ステージ２０上に設けられたセンサを制御して、着座ステージ２０上に収容ユニット１１３が着座しているか否かの情報等を取得する。制御部９０は、カセット設置部３０内に設けられたセンサを制御して、カセット設置部３０内の設置台３２上にカセット２１０が設置しているか否かの情報等を取得する。制御部９０は、昇降ユニット４０を制御して、昇降ユニット４０による着座ステージ２０及びカセット設置部３０の昇降移動を制御するとともに、昇降ユニット４０より、着座ステージ２０及びカセット設置部３０の高さ（位置）の情報等を取得する。制御部９０は、搬送アーム５０及び搬送アーム移動ユニット５５を制御して、搬送アーム５０による物品（ワーク２００）の搬出入を制御するとともに、搬送アーム５０により搬出入した物品（ワーク２００）の搬送状況や搬送履歴、物品（ワーク２００）の位置の情報等を取得する。制御部９０は、ガス供給路５８を制御して、ガス供給路５８を介したガス供給源５９からのガスの供給及び供給停止の動作を制御する。制御部９０は、処理ユニット６０を制御して、処理ユニット６０による物品（ワーク２００）の処理を制御するとともに、処理ユニット６０より物品（ワーク２００）の処理状況や処理履歴、物品（ワーク２００）の位置、チェック条件やチェック結果の情報等を取得する。

制御部９０は、受信機７０が制御ユニット１３０から受信した情報を取得し、制御ユニット１３０に送信する情報を送信機８０に出力する。制御部９０は、受信機７０が制御ユニット１３０から受信した指令情報に応じた動作をワーク処理装置１に実施させる。制御部９０は、受信機７０が制御ユニット１３０から受信した要求情報に応じて、ワーク処理装置１の処理状況や処理履歴の情報を送信機８０から制御ユニット１３０に送信させる。制御部９０は、制御ユニット１３０からの要求情報を受信していない場合でも、自発的にワーク処理装置１の処理状況や処理履歴の情報を送信機８０から制御ユニット１３０に送信させることもできる。

制御部９０は、本実施形態では、制御部１１７及び制御ユニット１３０と同様のコンピュータシステムを含む。制御部９０の演算処理装置は、制御部９０の記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、ワーク処理装置１を制御するための制御信号を、制御部９０の入出力インターフェース装置を介してワーク処理装置１の各構成要素に出力する。

以上のような構成を有する実施形態に係るワーク処理装置１の動作処理の一例を説明する。ワーク処理装置１は、搬送システム１００が稼働している場合、図２に示すように、昇降ユニット４０により着座ステージ２０をステージ設置高さに位置付け、搬送システム１００の搬送車１１０より、昇降ユニット１１４によって搬送路１２０の開口１２４及び筐体１０の開口１２を通過して下降する収容ユニット１１３が着座ステージ２０上に着座することにより、物品（ワーク２００）が搬入される。そして、ワーク処理装置１は、搬入された物品（ワーク２００）を収容ユニット１１３から搬送アーム５０により搬送して、処理ユニット６０により処理し、搬送アーム５０により再び着座ステージ２０上に着座している収容ユニット１１３に収容して昇降ユニット１１４によって搬送路１２０の開口１２４及び筐体１０の開口１２を通過して上昇することにより、処理後の物品（ワーク２００）が搬出される。

ワーク処理装置１は、搬送システム１００が停止している場合、搬送車１１０からではなく、図３に示すように、昇降ユニット４０によりカセット設置部３０をカセット設置高さに位置付け、扉１５を開いて開口１４を開放する開放状態とし、設置台３２が支持レール３３に沿って開口３８及び開口１４を通って側面３６の外側に引き出され、引き出された設置台３２上にカセット２１０が設置され、その後にカセット２１０が設置された設置台３２が開口１４及び開口３８を通ってカセット設置部３０の筐体３１内に押し込められることにより、物品（ワーク２００）が搬入される。そして、ワーク処理装置１は、図４に示すように、昇降ユニット４０によりカセット２１０が設置されたカセット設置部３０をカセット搬送高さに位置付け、搬入された物品（ワーク２００）をカセット設置部３０に設置されたカセット２１０から搬送アーム５０により搬送して、処理ユニット６０により処理し、搬送アーム５０により再びカセット設置部３０に設置されたカセット２１０に収容する。そして、ワーク処理装置１は、昇降ユニット４０によりカセット設置部３０をカセット設置高さに位置付け、扉１５を開いて開口１４を開放する開放状態とし、設置台３２が支持レール３３に沿って開口３８及び開口１４を通って側面３６の外側に引き出され、引き出された設置台３２上からカセット２１０が取り出されることにより、処理後の物品（ワーク２００）が搬出される。

以上のような構成を有する実施形態に係るワーク処理装置１は、着座ステージ２０の下方にカセット設置部３０を有するため、搬送システム１００が停止してもカセット設置部３０にカセット２１０を設置する事で容易にワーク２００の処理を継続して実施できるという作用効果を奏する。

また、実施形態に係るワーク処理装置１は、着座ステージ２０とカセット設置部３０とを昇降させる昇降ユニット４０と、昇降ユニット４０によって搬送高さに位置付けられた収容ユニット１１３またはカセット２１０に対して物品を搬出入する搬送アーム５０と、をさらに備えるので、昇降ユニット４０で収容ユニット１１３またはカセット２１０を適切な高さに位置付ける事で、搬送システム１００が稼働している場合と搬送システム１００が停止している場合とで、全く同様の、搬送アーム５０による搬送及び処理ユニット６０による処理を実施できる。

また、実施形態に係るワーク処理装置１は、カセット設置部３０が、カセット２１０が設置される設置台３２と、設置台３２を引き出し可能に支持する支持レール３３と、を有するので、支持レール３３に沿って設置台３２を引き出したり押し込んだりすることで、設置台３２上にカセット２１０を容易に設置及び取り出しできる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１ ワーク処理装置
１２ 開口
２０ 着座ステージ
３０ カセット設置部
３２ 設置台
３３ 支持レール
４０ 昇降ユニット
５０ 搬送アーム
１００ 搬送システム
１１０ 搬送車
１１３ 収容ユニット
１２０ 搬送路
２００ ワーク
２１０ カセット

Claims (3)

1. ワーク処理装置に物品を搬送する搬送車と、
   ワーク処理装置の上方に設置され、該搬送車が走行する搬送路と、
   を含む搬送システムにおいて配置されるワーク処理装置であって、
   該搬送車は、該物品を収容する収容ユニットを有し、
   該ワーク処理装置は、
   該収容ユニットが通過する開口と、
   該収容ユニットが着座する着座ステージと、
   該着座ステージの下方に、複数の物品を収容するカセットが設置されるカセット設置部と、
   を有することを特徴とするワーク処理装置。
2. 該着座ステージと、該カセット設置部と、を昇降させる昇降ユニットと、
   該昇降ユニットによって搬送高さに位置付けられた該収容ユニット、または、該カセットに対して該物品を搬出入する搬送アームと、
   をさらに備える事を特徴とする請求項１に記載のワーク処理装置。
3. 該カセット設置部は、
   該カセットが設置される設置台と、
   該設置台を引き出し可能に支持する支持レールと、
   を有する事を特徴とする請求項１に記載のワーク処理装置。

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