KR101450024B1 - 워크피스 스토커를 위한 제거 가능한 구획들 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 응급 반응을 수용하기 위한 구획화 가능한 장비를 구성하기 위한 장치 및 방법을 개시한다. 예시적인 장비는 워크피스를 저장하기 위한 다수의 제거 가능한 구획들을 포함하고, 이에 의해 전력 고장 또는 장비 고장과 같은 응급 상황에서 워크피스는 제조 설비의 유동을 붕괴시키지 아니한 채로 프로세스를 계속하기 위해 장비로부터 제거될 수 있다. 구획화 가능한 장비는 응급 액세스 포트를 포함할 수 있고, 이는 스토커에 저장된 워크피스의 품질, 결함 및 수율에 영향을 미치지 아니한 채로 개별 구획들로의 액세스를 가능하게 하기 위한 운반 가능한 워크피스 제거 장비로의 메이팅 인터페이스를 포함한다.

Description

워크피스 스토커를 위한 제거 가능한 구획들 {REMOVABLE COMPARTMENTS FOR WORKPIECE STOCKER}
이 출원은 2006년 11월 15일 출원된 미국 가특허출원 제 60/859,201호; 2007년 7월 25일 출원된 미국 특허출원 제 11/881,087호; 2007년 7월 25일 출원된 미국 특허출원 제 11/881,086호; "워크피스 스토커를 위한 제거 가능한 구획들"이라는 명칭으로 출원된 출원을 우선권으로 주장하고, 이들 모두는 여기서 참조로 인용된다.
본 발명은 반도체 장비, 특히 제조 설비 프로세싱을 향상시키기 위한 장비 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 스토커는 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이, LCD, 포토리소그래피 레티클 또는 마스크와 같은 워크피스를 일시적으로 저장하기 위해 반도체 설비 내에 설치된다. 반도체 소자, LCD 패널, 및 다른 것들을 제작하는 프로세스에는 수백개의 프로세싱 장비와 수백개의 제작 단계가 있다. 웨이퍼, 평면 패널, 또는 LCD(이후 워크피스)의 유동을 단계마다 도구마다 균일하게 하는 것은 매우 어렵다. 최고의 플래너(planner)에도 불구하고, 도구의 고장(tool down), 응급 로트 일어남(emergeny lot coming through), 계획된 것보다 오래 지속되는 주기적 유지보수와 같은 예기지 못한 시나리오가 항상 존재하고, 따라서 일정한 도구에 대해서 일정한 단계에서 워크피스의 다양한 축적이 있다. 축적된 워크피스는 프로세스를 기다리기 위해 저장 스토커에 저장될 필요가 있을 것이다.
또한, 포토리소그래피 프로세스는 반도체 제작 설비에서 중요한 프로세스이고, 이는 다수의 포토리소그래피 마스크 또는 레티클(이후 레티클)을 수반한다. 따라서, 레티클은 일반적으로 저장 스토커에 저장되고 필요할 때 리소그래피 노출 장비로 회수된다.
워크피스 및 레티클(이후 물품)의 저장은 정화도의 요구에 의해 훨씬 더 복잡하게 된다. 물품(article)에 대한 손상은 입자의 형태로 물리적 손상, 또는 상호작용의 형태로 화학적 손상을 일으킬 수 있다. 0.1 마이크론을 넘는 반도체 소자 프로세싱의 임계 치수의 경우, 0.1 마이크론 크기의 입자 및 반응종은 물품에 액세스하는 것이 금지될 필요가 있다. 일반적으로 저장 구역은 프로세싱 설비보다 더 깨끗할 필요가 있을 것이고, 이에 의해 프로세싱 사이에서 정화(cleaning)를 덜하는 것을 보장한다.
따라서 스토커 저장 구역은 일반적으로 외부 환경으로부터 밀봉되도록 설계되고, 바람직하게는 일정한 세정을 가지며 또한 비활성 가스 유동은 가능한 화학 반응을 금지시킨다. 저장 구역으로의 액세스는 로드락되고, 이에 의해 정화 저장 환경 및 외부 환경 사이의 분리를 보장한다.
이는 전송 기능불량, 또는 로드락 기능불량과 같은 스토커의 고장의 경우에 있어서의 잠재적인 문제점을 생성하고, 스토커 저장은 고립되며, 스토커 저장으로부터 물품을 회수할 방법이 없게 된다. 체인 반응을 통한 이러한 고장은 제조 설비의 큰 부분을 폐쇄할 수 있다.
본 발명은 응급 반응을 수용하기 위해 구획화 가능한 장비를 구성하기 위한 장치 및 방법을 개시한다. 예시적 장비는 워크피스를 저장하기 위한 다수의 제거 가능한 구획을 포함하고, 이에 의해 전력 고장 또는 장비 고장과 같은 응급 상황의 경우에 워크피스는 제조 설비의 유동을 붕괴시킴 없이 프로세싱을 계속하기 위해 장비로부터 제거될 수 있다.
일 실시예에서, 구획화 가능한 장비는 레티클 또는 웨이퍼와 같은 반도체 워크피스를 저장하기 위한 스토커로서 구성된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스토커는 워크피스가 저장되는 다수의 제거 가능한 구획들을 제공한다. 따라서, 고장의 경우에, 워크피스는 적절한 구획들을 제거함이 없이 액세스될 수 있다. 구획들은 다른 워크피스의 품질을 고려하지 아니한 채로 제거를 위해 설계되는 것이 바람직하다.
일 실시예에서, 구획들은 개방되고 제거 가능하다. 예시적인 스토커는 로봇 핸들링 시스템에 의해 액세스 가능한 쉘빙 구성으로 배열된 다수의 개방되고 제거 가능한 구획들을 포함한다. 구획은 방사형 및 회전형 로봇을 둘러싸는 원형 구성으로 배열될 수 있거나, 또는 구획은 선형 xy 로봇을 향하는 선형 xy 구성으로 배열될 수 있다. 개방 구획은 구획의 문을 개방할 필요 없이 스토커 안으로 그리고 밖으로 워크피스를 집거나 또는 위치시키는 것과 같은 작동을 쉽게 한다. 구획의 워크피스의 저장은 장비 고장 동안 개별 구획의 빠른 제거를 가능하게 한다. 워크피스는 또한 구획 내에의 콘테이너에 저장될 수 있다.
일 실시예에서, 구획은 밀봉되고, 바람직하게는 개별적으로 밀봉된다. 밀봉된 구획은 응급 액세스에 의해 남아있는 워크피스를 오염시키지 아니한 채로 응급 제거를 가능하게 한다. 또한, 밀봉된 구획은 구획들 사이의 교차 오염을 금지시키는데 왜냐하면 서로에 대해 밀봉되어 있기 때문이다.
일 실시예에서, 구획들은 작동 동안 개방되고, 따라서 워크피스의 액세스를 쉽게 하고 처리량을 향상시킨다. 일 태양에서, 워크피스가 액세스되지 아니할 때 구획은 밀봉될 수 있다. 내부에 저장된 워크피스를 액세스할 필요가 있을 때 밀봉된 구획은 개방될 수 있다. 또는 제어기는 필요한 워크피스의 트랙을 유지할 수 있고, 따라서 구획이 개방될 필요가 있기 이전에 밀봉된 구획을 개방할 수 있다. 다른 태양에서, 구획은 응급 액세스 작동 동안 밀봉될 수 있다. 구획은 일반적으로 개방되지만, 고장 상태가 탐지될 때 밀봉된다. 구획은 응급 작동을 액세스하기 이전에 자동적으로 또는 수동적으로 구획을 밀봉함에 의해 밀봉될 수 있다. 일 태양에서, 시스템은 개별 구획을 분리시키기 위한 자동 또는 수동 밀봉 기구를 포함한다.
일 태양에서, 구획화 가능한 장비는 구획을 제거하기 위한 응급 액세스 포트를 포함한다. 응급 액세스 포트는 청정실을 향하는 전방부에서 또는 장비 추적 구역을 향하는 후방부에서 장비의 측부에 위치할 수 있다. 응급 액세스 포트는 다른 워크피스 또는 다른 구획의 오염에 대한 노출 또는 정화도와 같은 품질을 고려하지 아니한 채로(without compromising the quality) 고장의 경우에 개별 구획을 제거하도록 개별 구획으로의 액세스를 작동자가 얻는 것을 가능하게 한다.
일 실시예에서, 응급 액세스 포트는 운반 가능한 워크피스 제거 장비로의 메이팅 인터페이스를 포함한다. 응급 상황 동안, 워크피스 제거 장비는 스토커의 메이팅 인터페이스를 링크하고, 이에 의해 스토커에 저장된 워크피스의 품질, 결함 및 수율을 고려하지 아니한 채로 개별 구획으로의 액세스를 가능하게 한다. 워크피스 제거 장비는 운반 가능한 청정실 구역을 포함할 수 있고, 따라서 구획의 운반을 위해 스토커로의 일체화된 청정실 연장을 형성하는 것을 가능하게 한다. 일 태양에서, 워크피스 제거 장비는 구획에 액세스하기 위한 로봇 핸들링 어셈블리를 포함한다. 다른 태양에서, 워크피스 제거 장비는 구획을 제거하기 위해 작동자가 스토커로 들어가는 것을 가능하게 하기 위한 로드락 인터페이스를 포함한다. 또한, 워크피스 제거 장비는 정화 환경의 밖으로 워크피스를 제거하기 위한 구획을 저장하기 위한 콘테이너 박스를 포함할 수 있다.
스토커 시스템은 모든 구획들에 액세스하기 위한 회전 가능한 캐루셀을 포함할 수 있다. 또한, 시스템은 내부 구획들에 액세스하기 위한 개방 또는 이동 기구를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 시스템은 구획들의 제거를 촉진하기 위한 응급 제거 장비를 포함한다. 구획은 수백 또는 그 정도의 워크피스를 저장할 수 있고, 따라서 무거울 수 있다. 또한, 작은 풋프린트를 위해, 구획들은 다수의 쉘브 높이로 쌓일 수 있고, 따라서 인간의 액세스가 어렵다.
일 실시예에서, 시스템은 구획을 위한 정화도를 유지하기 위한 공기 유동 구성을 포함한다. 공기 유동은 구획의 내부뿐만 아니라 공통 구역을 커버할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 스토커의 예시적 실시예를 도시한다.
도 2는 콘테이너의 수동적 회수를 위한 개방된 문을 가진 예시적 스토커를 도시한다.
도 3은 스토커를 위한 콘테이너의 단면을 도시한다(도 4의 라인 III-III).
도 4는 콘테이너의 다른 도면을 도시한다.
도 5는 로봇 핸들링 어셈블리 유닛의 평면도를 도시한다.
도 6은 로봇 핸들링 유닛의 측면도를 도시한다.
도 7은 본 발명에 따른 스토커의 다른 실시예의 평면도를 도시한다.
도 8은 본 발명에 따른 스토커의 다른 실시예의 평면도를 도시한다.
도 9는 두 로봇 위치를 가진 예시적 스토커의 측면도를 도시한다.
도 10은 정화 가스 유동 구성을 가진 예시적 스토커의 측면도를 도시한다.
도 11은 본 발명을 위한 예시적 컴퓨터 시스템을 도시한다.
도 12는 본 발명을 위한 예시적 컴퓨터 시스템을 도시한다.
마이크로전자소자(microelectronics)의 제조에서 반도체 워크피스의 프로세싱 동안, 상이한 장비가 수백개의 프로세싱 단계를 위해 이용된다. 워크피스의 프로세스 유동은 본질적으로 직렬이고, 대부분의 툴은 한번에 하나씩 워크피스 상에서 작동한다. 제조 프로세스에서의 어떠한 링크의 고장(failure)은 심각하게 프로세스 유동을 붕괴시키고, 이에 의해 제작 생산성의 손실을 초래한다. 본 발명은 이동 장비를 가진 신뢰성을 향상시키기 위한 방법 및 장치에 관한 것이고, 이는 제조 설비를 위한 워크피스의 연속적인 유동을 보장하기 위해 장비에 저장된 워크피스를 위한 응급 액세스를 포함한다.
예시적 실시예에서, 본 발명은 부품 고장의 경우에도 제조 설비 내에서 그리고 장비 내에서 워크피스의 연속적인 유동을 보장하는 방식으로 워크피스의 이동 또는 핸들링을 제공한다. 본 발명은 장비 고장이 프로세스 유동에 영향을 미치는 것을 막기 위해 응급 기구를 개시한다. 일 태양에서, 본 발명은 제조 장비에 대한 관리 방법 및 장치를 개시하고, 이에 의해 특별한 제조 장비의 고장의 경우에 수리를 기다리면서 제조 설비의 작동을 지지할 수 있음을 개시한다.
따라서, 본 발명은 예시적인 실시예에서 응급 반응을 수용하기 위한 구획 가능한 장비를 구성하기 위한 장치 및 방법을 제공한다. 예시적인 장비는 워크피스를 저장하기 위한 다수의 제거 가능한 구획을 포함하고, 이에 의해 전력 고장 또는 장비 고장과 같은 응급 상황에서 워크피스가 제조 설비의 유동을 붕괴하지 않은 채로 연속적인 프로세싱을 위해 장비로부터 제거될 수 있다.
일 실시예에서, 구획 가능한 장비는 레티클 또는 웨이퍼와 같은 반도체 워크피스를 저장하기 위한 스토커를 위해 구성된다. 스토커는 워크피스를 일시적으로 저장하도록 일반적으로 설계되고, 따라서 제조 설비의 유동은 스토커가 일시적으로 이용이 어려운(out of service) 경우 심각하게 영향 받을 것이고, 이에 의해 필요한 워크피스의 액세스를 막는다. 본 발명의 실시예에 따른 스토커는 워크피스가 저장되는 다수의 제거 가능한 구획을 제공한다. 따라서 고장의 경우에 워크피스는 적절한 구획을 제거함에 의해 액세스될 수 있다. 구획은 다른 워크피스의 품질을 고려하지 아니한 채로의 제거를 위해 설계되는 것이 바람직하다.
일 실시예에서, 구획은 개방되고 제거 가능하다. 예시적 스토커는 로봇 핸들링 시스템에 의해 액세스 가능한 쉘빙 구성(shelving configuration)에 배열된 다수의 개방되고 제거 가능한 구획을 포함한다. 구획은 방사형 및 회전형 로봇을 둘러싸는 원형 구성으로 배열될 수 있거나, 또는 구획은 선형 xy 로봇을 향하는 선형 xy 구성으로 배열될 수 있다. 이러한 구성에서, 로봇 핸들러는 예를 들어 방사상, 회전 및 수직 이동과 같은 3 자유도(three degrees of freedom)를 갖도록 설계될 수 있고, 따라서 향상된 속도 및 처리량을 가질 수 있다. 3 자유도 로봇은 최소 입자 생성과 함께 잘 확립되고, 따라서 이 구성은 워크피스 저장을 위한 정화도(cleanliness)를 제공할 수 있다. 또한, 스토커 저장 구역은 정지되어 있고(stationary) 이동 가능한 구성요소는 로봇 어셈블리이며, 따라서 저장 스토커의 정화도에 기여한다.
일 실시예에서, 스토커 구성은 쉬운 액세스를 위해 개방 저장 구역에 베어식으로(여기서, 베어(bare)는 아무것도 덮이지 않아 노출된 것을 의미함) 저장된 워크피스를 제공한다. 베어 워크피스의 저장은 빠른 액세스, 공간 절약 및 정화 공기 세정의 쉬움을 제공한다. 이 저장 구역은 다수의 개방 구획을 갖도록 구성될 수 있고, 수직 방향으로 로봇 핸들링 어셈블리를 둘러싸도록 배열된다. 개방 구획들은 구획의 문의 개방에 대한 필요 없이 스토커 안으로 그리고 밖으로 워크피스를 집거나 또는 위치시키는 것과 같은 작동을 쉽게 한다. 구획에서 워크피스의 저장은 장비 고장 동안 개별 구획의 빠른 제거를 가능하게 한다. 또한, 워크피스는 구획 내에서 다수의 콘테이너에 저장될 수 있다.
일 실시예에서, 스토커 구성은 수직 또는 수평 위치에서 매우 치밀한 구성으로 워크피스의 저장을 제공한다. 스토커는 주변 에지 그립퍼 로봇 핸들링 어셈블리를 제공하고, 주변 에지로부터 워크피스로 액세스하여 집는 것을 가능하게 하며 따라서 치밀한 워크피스 저장 구성을 가능하게 한다.
본 발명의 예시적 실시예에 따른 스토커는 반도체 웨이퍼 및 레티클과 같은 오염에 민감한 물품을 저장하도록 설계된다. 설계된 스토커는 공간 절약 저장 및 가요성 핸들링을 위해 특히 구성된다. 특히 스토커는 정화 상태 하에서 작은 저장 공간 상에 다수의 300mm 또는 그 초과의 웨이퍼를 저장하는데 매우 적절하다.
개방 저장은 교차 오염의 위험을 감소시키도록 캐리어 래크 또는 쉘브로 파티션될(partitioned) 수 있다. 구획은 캐리어 래크 또는 쉘브에 제거 가능하게 고정될 수 있고, 저장 콘테이너를 포함할 수 있다. 정지된 캐리어 래크, 저장 콘테이너, 구획 및 물품은 입자들이 움직임으로부터 생성되는 것을 금지시키고, 따라서 마멸, 이동 및 교차 오염 공기 유동에 의해 생성된 입자의 위험을 실질적으로 감소시킨다.
저장 구획 및 저장 콘테이너는 개방되고 박스와 같은 콘테이너로서 형상화되는 것이 바람직하고, 이 경우 로봇 핸들링 유닛은 저장 구획 또는 콘테이너로부터 물품을 집거나 그리고 삽입하는데 최적화되도록 이루어질 수 있다. 바람직한 실시예에서, 구획 또는 콘테이너는 예를 들어 5mm 미만, 바람직하게는 약 2.5mm 또는 그 미만의 피치 거리를 가진 반도체 웨이퍼와 같은 물품의 매우 치밀한 저장을 위해 설계된다. 저장 구획 또는 콘테이너는 로봇 핸들링 유닛을 둘러싸는 셀빙 구성으로, 그리고 바람직하게는 대략 원형으로 배열된다. 또한, 저장 구획 또는 콘테이너는 x-y 배열로 배열될 수 있고, 쉘브(shelve) 개구는 물품을 전달하기 위한 로봇 형태의 기구를 향한다. 정지된 스토커는 각각 다수의 물품을 저장하기 위해 다수의 수직으로 그리고 수평으로 이격된 쉘브를 포함한다. 또한, 쉘브는 물품이 그 안에서 저장되는 다수의 구획 또는 콘테이너를 저장하도록 설계될 수 있다.
이 구성은 공간 절약 배열과 동시에 높은 저장 용량을 제공할 수 있다. 또한, 저장된 물품의 매우 빠른 액세스는 이 구성에서 가능할 수 있다. 저장 콘테이너의 원형 배열의 특히 바람직한 구성은 SCARA 로봇과 같은 3 자유도 로봇에 매우 적합하다. 이 로봇은 회전형으로 그리고 반경 방향으로 중앙 포인트로 수평면에서 이동하는 관절식 아암(articulated arms)을 포함한다. 또한, 로봇은 6축 로봇일 수 있다.
로봇 어셈블리는 자동화, 특히 설비의 제작 및 장비의 제작에 있어서 중요한 구성요소이다. 예를 들면, 반도체 산업에서, 로봇 아암은 반도체 웨이퍼, 평면 패널 디스플레이, LCD, 레티클, 마스크 또는 캐리어 박스를 핸들하는데 이용된다.
반도체 제조 설비에서, 로봇은 일 위치로부터 다른 위치로, 일 장비로부터 다른 장비로 캐리어 박스에 일반적으로 저장된 워크피스를 수송하는데 이용될 수 있다. 프로세스 시스템에서, 로봇은 캐리어 박스로부터 워크피스를 제거하고 이후 로드락으로 로드하는데 이용된다. 다른 로봇은 로드락으로부터 프로세싱 챔버로 그리고 일 프로세싱 챔버로부터 다른 프로세싱 챔버로 워크피스를 이동시키는데 이용될 수 있다. 따라서, 프로세싱 시스템 내에는 다수의 로봇이 있을 수 있고, 각각은 특별한 작업을 위해 설계된다. 프로세싱 시스템은 증착 시스템, 에칭 시스템, 리소그래피 시스템, 도량 시스템, 검사 시스템, 주입 시스템, 처리 시스템 또는 어떠한 워크피스 프로세싱 시스템일 수 있다.
일반적으로, 로봇 핸들링 어셈블리는 진공 시스템 및 대기 시스템에 대해서 상이하다. 필요할 때까지 워크피스를 저장하도록 설계된 스토커는 일반적으로 대기 시스템이고 이 경우 로봇은 캐리어 박스로부터 워크피스를 제거하고 이후 로드락으로 로드하는데 일반적으로 이용된다. 다른 로봇은 로드락으로부터 저장 챔버로 워크피스를 이동시키는데 이용될 수 있고, 이 경우 워크피스는 원래 캐리어 박스 없이 저장된다. 박스 스토커 시스템을 위해, 워크피스는 캐리어 박스와 함께 저장되고 캐리어 박스로부터 이들을 제거할 필요는 없다.
로봇 기구는 정지된 스토커 안으로 그리고 밖으로 콘테이너 또는 물품을 이동시키는 관절식 아암 조인트를 포함할 수 있다. 또한, 로봇 아암 어셈블리는 스토커의 쉘브에 도달하도록 설계된 가요성 다중-링크 기구를 포함한다. 아암 어셈블리는 스토커의 배열된 공간에 도달하도록 독립적인 방사형 그리고 회전형 이동을 가질 수 있다.
본 발명의 스토커는 로봇 핸들링 소자 주위로 대략 거의 원형의 캐비넷을 형성하는 저장 구획 또는 콘테이너를 제공할 수 있다. 로봇 어셈블리는 정지되어 있는 것이 바람직하고, 관절식 아암 조인트는 물품을 전달하기 위해 정지된 스토커의 내측부에 도달한다.
로봇 핸들링 유닛은 수직 저장 구획 또는 콘테이너에 액세스하도록 수직 이동을 포함한다. 또한, 스토커는 구획 또는 콘테이너 안으로 또는 이로부터 물품을 전달하기 위한 제 2 핸들링 유닛을 포함할 수 있다. 스토커는 물품 콘테이너의 후방부를 액세스하기 위한 후면 문을 포함할 수 있다. 후면 문은 시스템 고장과 같은 응급 상황에서 물품에 액세스하는 것을 가능하게 한다. 스토커는 콘테이너를 향해 연속적인 정화 가스 유동을 만들고 바람직하게 효과적으로 아래 방향으로 오염물질을 날려버리기 위한 블로우어(blower)를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 본 발명은 저장된 워크피스의 응급 회수를 위한 응급 시스템을 개시한다. 응급 시스템은 응급 액세스를 포함하고, 이에 의해 일반적인 고장이 있을 때에도 물품의 회수를 가능하게 한다. 응급 액세스는 바람직하게 전방부의 응급 문일 수 있거나 또는 일반적인 작동에서 로봇 핸들링에 의해 이용된 액세스와 같은 일반적인 사용이 아닌 장비 액세스일 수 있다. 응급 액세스는 작동자에 의해 또는 외부 핸들링 장비에 의해 핸들될 수 있다. 외부 핸들링 장비는 일반적인 고장에도 독립적으로 작동할 수 있는 것이 바람직하다.
응급 시스템은 로봇형 액세스로 설계되는 것이 일반적이고, 따라서 최소 여유 부피로 매우 치밀할 수 있다. 또한, 응급 시스템은 작동자 액세스를 위해 설계될 수 있고, 로드락 입장을 위한 인터페이스를 포함한다.
응급 시스템은 장비를 프로세스하기 위해 응급 전달을 위해 설계되고, 따라서 오염 염려(contamination concerns)를 위해 설계되어야 한다. 따라서 일반적으로 응급 시스템은 수송의 문제와 관련하여 IO 로더와 같이 처리된다. 예를 들면, 출력 버퍼에 저장된 물품은 IO 로더에 저장된 물품의 경우에서와 같이 청정실 환경에서 핸들되거나 또는 수성될 수 있는 형태로 저장되는 것이 바람직하다. 따라서 물품은 캐리어 박스에 저장되는 것이 바람직하고, 이에 의해 필요한 툴로의 전달 동안 물품에 대한 어떠한 오염 또는 손상이 없게 된다. 캐리어 박스는 OHT 핸들링을 위해 또는 작동자 핸들링을 위해 설계될 수 있다.
워크피스 또는 레티클 스토커와 같은 저장 시스템은 일반적으로 로봇형 핸들링 시스템에 의해 소통되는 IO 로더 섹션을 구비한 저장 구역을 포함한다. 저장 구역은 외부 환경보다 더 정화된 것이 바람직하고, 따라서 저장 시스템은 IO 로더로 저장 구역을 링크하는 로드락을 포함하는 것이 바람직하다. 저장 구역은 베어 형태로(예를 들어 오직 물품이 저장됨), 전달 형태로(예를 들어 캐리어 박스 내부에서) 또는 저장 형태로 물품을 저장할 수 있다. 저장 형태는 일반적으로 베어 형태 및 전달 형태 사이에 있고, 이에 의해 베어 형태보다 뛰어난 범위 및 보호를 제공하지만 전달 형태 만큼은 아니다.
또한, 저장 형태는 환경 파괴의 경우에 저장 구역에서 물품에 대한 응급 보호를 제공할 수 있다. 예를 들어 정화 공기 유동의 실패의 경우에, 저장 구역에 베어 형태로(in bare form) 저장된 물품은 모두 오염될 수 있다. 저장 형태는 오염을 막을 수 있다. 저장 형태는 전달 형태보다 훨씬 간단할 수 있는데, 왜냐하면 저장 형태는 수송을 위해 설계되지 않기 때문이다. 저장 형태의 저장은 전달 형태의 저장보다 훨씬 더 가격 효율적이다.
예시적인 스토커(10)는 도 1에서 도시된다. 스토커(10)는 다수의 물품 구획(또는 콘테이너)를 지지하기 위한 캐리어 래크(16) 및 로봇 핸들링 유닛(14)을 포함한 하우징(12)을 포함한다. 하우징(12)은 정화 환경을 위한 완전한 인클로져(enclosure)를 형성하기 위해 로봇 핸들링 유닛(14), 캐리어 래크(16) 및 구획(18)을 둘러싼다. 하우징의 상부에는 블로우어 및 필터(미도시)가 제공될 수 있고, 이에 의해 상부로부터 바닥부로 정화 가스의 유동을 하우징(12) 내에서 만든다. 각각의 구획(18)은 다수의 오염 민감 물품을 저장하도록 설계된다. 바람직한 실시예에서, 물품은 반도체 웨이퍼이고, 이는 구획(18)에서 수직으로 저장될 수 있다. 예시적인 실시예에서, 각각의 구획은 300mm의 웨이퍼를 100개 지지할 수 있다. 저장된 웨이퍼 사이의 거리는 2.5mm 만큼 작을 수 있다. 로봇 핸들링 유닛(14)은 방사형, 회전형 및 수직형 로봇일 수 있거나, 또는 하우징(12)의 코너에 위치한 6축 로봇일 수 있다. 구획(18)을 가진 캐리어 래크(16)는 로봇 핸들링 유닛(14)을 둘러싸는 C-형태를 형성한다. 또한, 스토커(10)는 웨이퍼(20)를 정렬하기 위한 예비정렬장치(28)를 포함할 수 있다. 웨이퍼(20)는 FOUP(32)에 연결된 문(30)에 의해 예비정렬장치(28) 안으로 그리고 밖으로 이동할 수 있다.
예시적 스토커(10)는 구획(또는 콘테이너)(18)에 액세스하기 위한 응급 액세스 포트(22)를 포함한다. 응급 액세스 포트(22)는 스토커(10)의 후방부에 위치하고, 스토커의 정화 환경으로의 인터페이스를 제공한다. 인터페이스는 휴대형 워크피스 제거 환경(11)으로 메이트될(mated) 수 있고, 이는 남아 있는 워크피스의 품질을 고려하지 아니한 채로 스토커 밖으로 개별 구획 또는 콘테이너(18)의 전달을 가능하게 하기 위한 로드락으로서 작용할 수 있다.
응급 액세스 포트(22)는 메이팅 인터페이스를 포함할 수 있고, 이에 의해 인클로져(11)는 스토커(10)로 링크될 수 있으며, 이로써 스토커 및 외부 환경 사이에서 정화 인터페이스를 제공한다. 응급 상황 동안, 운반 가능한 미니-환경(mini-environment)은 응급 액세스 포트(22)의 인터페이스를 통해 스토커에 링크될 수 있고, 이에 의해 스토커의 워크피스 또는 구획에 액세스를 가능하게 하거나 또는 스토커로부터 가져오기 위한 다른 적절한 콘테이너(18')로 워크피스 또는 구획을 두게 된다.
일 태양에서, 운반 가능한 인클로져(11)는 청정실 공기 세정 또는 배출을 하도록 장착된 스토커의 내부에 로드락을 제공한다. 작동자는 운반 가능한 인클로져(11)로 들어갈 수 있고 응급 액세스 포트(22)를 개방하기 이전에 인클로져(11)의 약간의 세정 및 배출 사이클을 통해 정화된다. 인클로져(11)는 이제 스토커로 청정실 확장이 되고, 이에 의해 작동자가 남아있는 워크피스를 오염시키지 아니한 채로 스토커의 개별적인 워크피스에 액세스하는 것을 가능하게 한다. 작동자는 워크피스 및 구획에 액세스하기 위한 툴 및 캐리어 박스를 운반할 수 있다. 워크피스 또는 구획은 스토커로부터 제거될 수 있고 스토커 및 인클로져 밖으로 운반되도록 청정실 캐리어 박스에 놓일 수 있다. 구획(18)이 다수의 워크피스(예를 들어 50 내지 100)를 저장한 채로, 캐리어 박스의 구획을 제거하고 저장하는 것은 개별적인 워크피스에 액세스하는 것보다 훨씬 빠르다. 캐리어 박스는 밀봉되고, 따라서 스토커로부터 외부 환경으로 이동될 수 있으며 프로세싱을 위한 설비로 귀환될 수 있다. 다른 장비는 정화 환경에서 캐리어 박스로부터 도착지(destination)로 워크피스를 전달하는데 이용될 수 있다.
다른 태양에서, 작동자는 운반 가능한 인클로져 외부에 남아 있고 인클로져의 적절한 장비를 작동하며 이에 의해 적절한 캐리어 박스에 이들을 둠으로써 워크피스 및 구획을 함께 수집한다. 장비는 로봇 핸들링 어셈블리 또는 글로브 박스(glove box)일 수 있다. 수직 치수로 액세스하기 위해, 수직 리프트가 인클로져의 외부 또는 내부에 통합될 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 개방 구획 스토커는 워크피스로의 응급 액세스를 위한 운반 가능한 정화 환경을 가진 메이팅 인터페이스 및/또는 응급 액세스 포트를 포함한다. 개방 구획 내에 워크피스를 저장하는 것은 빠른 액세스를 가능하게 하고, 응급 액세스는 장비 고장 동안 구획 또는 워크피스로의 액세스를 가능하게 한다.
도 3 및 4는 구획(18)의 예시적 실시예를 도시하고, 이는 후방벽(38), 바닥벽(40) 그리고 두 개의 측면 패널(42, 44)을 포함한다. 후방벽(38) 및 바닥부 벽(40)은 웨이퍼(20)를 가로질러 비스듬하게 정화 공기 유동을 방출하기 위한 개구를 제공하는 것이 바람직하다. 개별적인 웨이퍼(20) 사이에서 공기 유동(48)은 통과하고 외부 물질 및 존재하는 입자가 콘테이너(18)로부터 아래 방향으로 비스듬하게 제거되는 것을 보장한다.
구획(18) 내에 스플릿(split; 50, 52, 54, 56)을 가진 4개의 빗 같은 구성요소가 배열된다. 스플릿(50-56)은 하부 및 후방부에 의해 웨이퍼를 지지하도록 배열되고 이에 의해 로봇 핸들링 유닛(14)으로 웨이퍼의 제거를 가능하게 한다.
상부 코너 구역에는 리테이너(retainer; 60)를 삽입하기 위한 리세스(58)가 존재한다. 리테이너(60)는 콘테이너(18)의 이동 동안 웨이퍼를 그 위치에 지지하도록 설계된다. 각각의 구획(18)은 리테이너(60)에 연결된 핸들(미도시)을 가질 수 있고, 이에 의해 콘테이너(18)의 회수는 리테이너(60)가 리세스(58)에 삽입된 경우에만 가능하다.
도 5 및 6은 본 발명에 따른 예시적 로봇 핸들링 유닛을 도시한다. 통합된 그립 아암(14)은 제 1 그립퍼 아암(24) 및 제 2 그립퍼 아암(26)을 갖는다. 제 1 그립퍼 아암(24)은 그립 아암으로서 설계되고, 이 경우 웨이퍼(20a)는 수직 위치로 에지에서 붙잡힐 수 있다. 그립 아암(24)은 예시적인 C-형태로 외부 주변에서 웨이퍼(20a)를 둘러싼다. 두 그립 부재(64, 66)는 그립 아암(24)의 자유 단부에 배열된다. 그립 아암(24)은 180°보다 큰 원형의 아크 "알파(alpha)"를 따라서 웨이퍼(20a)를 둘러싼다. 그립 부재(64, 66)는 중력에 의해 본질적으로 단독으로 그리고 단단한 웨징(wedging) 없이 웨이퍼(20a)를 지지할 수 있다. 캐리어 박스(18)에서 웨이퍼(20a)를 집고 위치시키기 위해, 그립 부재(64, 66)는 개방될 수 있다. 이러한 도면에서, 오직 그립 부재(66)만이 이동 가능하다.
제 2 그립퍼 아암(76)은 단부에서 그립 부재(68, 70)를 가진 Y-형태 아암을 포함한다. 그립퍼 아암(26)은 그립퍼 아암(24)과 상이한 평면(72)에서 웨이퍼를 지지한다. 웨이퍼(20b)는 평면(72)에서 그립 부재(68, 70)에 의해 지지된다. 그립퍼 아암(26)은 자유 단부를 갖고, 따라서 웨이퍼를 집거나 또는 위치시키기 위해 FOUP로 들어갈 수 있다.
그립퍼(24, 26)는 통합된 그립 아암(14)의 L-형태의 아암 세그먼트(74)의 자유 단부에 배열된다. 아암 세그먼트(74)는 아암 세그먼트(74)의 다리와 동축적으로 놓인 축(76) 주위로 선회될(swiveling) 수 있고, 여기에 그립퍼(24)가 위치한다. 이러한 배열은 축(76) 주위로 90° 회전을 취하는 것을 가능하게 하고, 이에 의해 캐리어 박스(18)로부터의 수직 위치로부터 벗어난 수평 위치로 웨이퍼(20a)를 가져온다. 이후 통합된 그립 아암은 웨이퍼를 수평 스테이션으로 전달할 수 있다. 이후 통합된 그립 아암은 그립퍼를 스위치하고, 그립퍼(26)는 웨이퍼를 집어서 FOUP로 전달할 수 있다. FOUP로부터의 웨이퍼는 역방향 작동에 의해 캐리어 박스(18)로 가져오게 될 수 있다. 따라서, 통합된 그립 아암은 그립퍼(24, 26)를 가진 저장 구역으로 FOUP로부터 웨이퍼의 이동을 제공할 수 있다.
스토커(10)는 저장된 웨이퍼로의 랜덤 액세스를 제공할 수 있고, 따라서 분류기에 대한 필요를 제거할 수 있다. 특히, 로봇 핸들링 유닛(14)은 임의의 콘테이너(18)로부터 FOUP(32)로 웨이퍼(20)를 선택할 수 있다. 따라서 스토커(10)는 FOUP 전방 단부 로더(loader)와 통합될 수 있다. 웨이퍼의 수직 저장 및 연관된 고밀도 저장 배열에 의해, 스토커는 작은 풋프린트로 높은 저장 용량을 얻을 수 있다. 개방되고 분리되며 박스 형태의 구획의 개별적인 웨이퍼의 저장은 상이한 웨이퍼(20) 사이의 교차 오염이 개방 저장 구성에도 불구하고 어렵다는 것을 보장한다.
도 7 및 8은 본 발명의 스토커(80)의 예시적 실시예를 도시하고, 이는 원형으로 로봇 핸들링 유닛(82)을 둘러싸는 다수의 구획(81)을 포함한다. 핸들링 유닛(82)은 관절식 아암(84)을 가진 SCARA 로봇으로 도시되고, 이는 시각 레벨(view level)에 평행한 수평면에서 방사상으로 이동할 수 있다. 관절식 아암(84)은 콘테이너(81)의 원형 배열을 형성하고 중앙 포인트(86) 주위로 선회한다. 따라서, 관절식 아암(84)은 중앙 포인트(86)에 대해 방사상으로 그리고 회전적으로 수평면 내에서 이동을 제공할 수 있다. 관절식 아암(84)은 콘테이너(81) 안으로 그리고 밖으로 반경 방향으로 물품(20)을 집어서 위치시키도록 배열된다.
도 8은 예를 들어 대응하는 도 9로부터 커팅면 VIII-VIII과 같은 커팅면을 따르는 예시적 스토커(80) 상의 평면도이다. 이 평면에서, 일정한 콘테이너(81)는 원형 배열로부터 빠진다. 이러한 공간에 제 2 핸들링 유닛(92) 및 예비정렬장치(94)가 제공될 수 있다.
로봇 핸들링 유닛(82)은 구획(81)으로부터 예비정렬장치(94)로 웨이퍼를 전달하도록 설계된다. 또한, 로봇 핸들링 유닛(82)은 웨이퍼를 회전시킬 수 있고, 이에 의해 구획(81)의 수직 저장된 웨이퍼를 예비정렬장치(94) 상의 수평 저장된 웨이퍼 위치로 가져간다. 제 2 핸들링 유닛(92)은 예비정렬장치(94)로부터 FOUP(32)로 웨이퍼를 전달하는데 이용될 수 있다. 로드락 스테이션(96)은 하우징(12)으로의 밀폐 연결을 갖는 것이 바람직하고, 이에 의해 웨이퍼(20)는 오염이 없는 FOUP(32) 안으로 전달될 수 있다.
또한, 제 2 핸들링 유닛(92)은 관절식 아암을 가진 로봇일 수 있고, 예비정렬장치 및 FOUP 사이에서 웨이퍼를 이동시키도록 중앙 포인트로 방사상으로 이동 가능하다. 로드락 입력/출력 스테이션(96)은 두 개의 FOUP(32)를 포함할 수 있다. 이러한 구성은 분류기의 기능성을 제공할 수 있고, 이에 의해 두 FOUP(32) 사이에서 웨이퍼를 재위치시키고 분류하는 수단을 제공한다.
도 9 및 10은 수직 방향으로 구획(81)의 예시적 배열을 도시한다. 핸들링 유닛(82)은 수직 방향으로(시각 레벨에 대해서 수직으로) 두 안내 레일(88)을 따라서 이동함에 의해 구획(81)의 상이한 수직 레벨을 얻을 수 있다. 이 예시적 스토커에서의 구획(81)은 정화 가스를 유동시키기 위한 연결부(90)를 포함한다. 연결부(90)는 구획(81)의 후방부에 배열되고, 이에 의해 정화 가스는 후바부로부터 전방부로 구획(81)을 플러쉬한다. 또한, 각각의 연결부(90)는 선택적으로 개방 또는 폐쇄를 위한 밸브(91)를 포함할 수 있다. 따라서, 개별적으로 정화 가스로 구획을 플러쉬하는 것이 가능하다.
도 9는 핸들링 유닛(82) 주위로 원형으로 그리고 서로 위 아래로 배열된 구획(81)을 도시한다. 도 9에서, 웨이퍼(20)는 구획(102)에 수평 위치로 저장된다. 웨이퍼의 수평 저장으로, 핸들링 유닛(82)은 구획 안으로 그리고 밖으로 이동할 때 웨이퍼(20)를 회전시킬 필요가 없다. 로봇 핸들링 유닛(82)은 두 수직 위치, (82)로 표시된 상부 위치 및 (82')로 표시된 바닥부 위치로 도시된다.
또한, 도 9는 정화 가스, 바람직하게는 여과된 정화 공기를 하우징(12)의 내부로 공급하기 위한 블로우어 및 필터 유닛(104)을 도시한다. 블로우어 및 필터 유닛(104)은 대기 공기를 수용하고, 이는 정화되고 건조되며 이후 하우징의 내부로 이후에 유동된다. 도 10에서, 정화된 공기는 개별 구획(102)의 후방부에서의 연결부(90) 위로 유동된다. 따라서 구획(102)의 후방부로부터 개방된 상부로 그리고 이후 아래 방향으로(106) 공기 유동 및 정화 가스는 유동한다. 상기에서 설명된 것처럼, 이 유동은 수직 저장을 위한 노즐 효과를 제공하고, 따라서 정화 효율을 강화시킨다. 또한, 좋은 유동은 이 도면에서 도시된 것처럼 수평 저장으로 이루어질 수 있다. 대안적으로, 유동은 내부로부터 외부로 유동할 수 있다.
스토커는 수직 방향으로(위로 그리고 아래로) 및 회전 방향으로 이동 가능한 로봇 핸들러가 제공되는 정지된 스토커이다. 이 스토커에는 로드락 스테이션 및 정지된 스토커 사이에서 물품을 전달하기 위해 내부로 위치하고 물품을 저장하기 위한 다수의 쉘브가 제공된다.
또한, 로봇 어셈블리는 워크피스 위치 센서, 위치 오차의 이미지 감지, RF 전기장 감지, 자기 공명 감지, 레이저 스캐닝, 광 탐지기 배열로의 감지, 모터 작동 감지, 아암 위치 감지 또는 작동 및 서비스와 관련된 센서와 같은 다수의 센서를 포함한다. 또한, 센서는 로봇 어셈블리의 상태 및 위치를 제공하고, 따라서 어셈블리의 남아있는 작동 부품의 최적 이용을 가능하게 할 뿐만 아니라 어셈블리의 비작동 부품을 서비스하기 위해 작동자에게 경계를 발한다.
일 실시예에서, 구획은 밀봉되고 바람직하게는 개별적으로 밀봉된다. 밀봉된 구획은 응급 액세스에 의해 남아 있는 워크피스를 오염시키지 아니한 채로 응급 제거를 가능하게 한다. 또한, 밀봉된 구획은 구획들이 서로에 대해 밀봉되어 있기 때문에 구획들 사이의 교차 오염을 막는다. 밀봉된 구획으로, 고장의 경우에, 스토커는 구획을 제거하도록 개방될 수 있다. 밀봉된 구획은 쉬운 수송을 위해 제거 가능한 것이 바람직하다.
구획 문은 모든 워크피스 액세스를 위해 개방되고 폐쇄될 필요가 있기 때문에, 밀봉된 구획은 정상 작동 동안 액세스를 지연시킬 수 있다. 따라서 일 실시예에서, 구획은 정상 작동 동안 개방되도록 설계되고, 따라서 워크피스로의 액세스를 쉽게 하고 향상된 처리량을 제공한다.
일 태양에서, 구획은 워크피스가 액세스되지 않을 때 밀봉될 수 있다. 워크피스가 구획에 도달할 때 또는 워크피스를 집기 위해 또는 저장하기 위해 로봇 핸들러가 구획에 도달할 때 밀봉된 구획은 개방될 수 있다. 뛰어난 처리량을 위해, 제어기는 작동의 트랙, 워크피스의 이동 및 구획의 요구를 유지할 수 있고, 따라서 구획이 개방될 필요가 있기 이전에 밀봉된 구획을 개방할 수 있다. 구획은 시간 이전에(ahead of time) 개방될 수 있고 또는 필요한 시간 약간 이전에 개방될 수 있다.
다른 태양에서, 구획은 응급 작동 동안 밀봉될 수 있다. 구획은 정상 작동 상태 하에서 개방되고 고장 상태가 탐지될 때 폐쇄 또는 밀봉된다. 또한, 구획의 응급 제거를 액세스하기 이전에 구획은 밀봉될 수 있다. 시스템은 개별 구획을 분리시키기 위한 자동 또는 수동 밀봉 기구를 포함할 수 있다. 이후 시스템은 고장 상태를 탐지할 때 자동으로 밀봉 기구를 개시할 수 있다. 스토커 저장 구역에 액세스하기 이전에 작동자는 구획의 밀봉 또는 폐쇄를 개시할 수 있다.
스토커 시스템은 모든 구획에 액세스하기 위한 회전 가능한 캐루셀(carousel)을 포함할 수 있다. 또한, 시스템은 내부 구획에 액세스하기 위한 개방 또는 이동 기구를 포함할 수 있다. 시스템은 구획의 제거를 촉진하기 위해 응급 제거 장비를 포함할 수 있다. 구획은 수백 또는 그 정도의 워크피스를 저장할 수 있고, 따라서 무거울 수 있다. 추가적으로, 작은 풋프린트에 대해서, 구획은 다수의 쉘브의 높이로 쌓일 수 있고, 따라서 이는 인간의 액세스가 어렵다.
또한, 본 발명은 예를 들어 적절한 프로그램된 컴퓨터, 다양한 프로그래밍 언어로 작성된 소프트웨어 프로그램과 같은 기계 또는 컴퓨터로 판독 가능한 형식으로 구체화될 수 있다. 소프트웨어 프로그램은 본 발명의 다양한 기능적 작동을 수행하도록 작성될 것이다. 또한, 본 발명의 기계 또는 컴퓨터 판독 가능한 형식은 디스켓, 하드 디스크, CD, DVD, 비휘발성 전자 메모리, 또는 이와 유사한 것과 같은 다양한 프로그램 저장 소자에서 구체화될 수 있다. 소프트웨어 프로그램은 예를 들어 프로세스와 같은 다양한 소자에서 작동될 수 있다.
도 11을 참고하면, 본 발명의 다양한 태양을 수행하기 위한 예시적인 환경(300)은 프로세싱 유닛(331), 시스템 메모리(332), 및 시스템 버스(330)를 포함한 컴퓨터(301)를 포함한다. 프로세싱 유닛(331)은 단일 마이크로프로세서, 이중 마이크로프로세서 또는 다른 다중프로세서 아키텍쳐(architectures) 중 하나일 수 있다. 시스템 버스(330)는 버스 구조 또는 아키텍쳐의 어떠한 유형일 수 있고, 이는 12-비트 버스, 산업 표준 아키텍쳐(ISA), 마이크로-채널 아키텍쳐(MSA), 확장된 ISA(EISA), 인텔리젼트 드라이브 일렉트로닉스(Intelligent Drive Electronics; IDE), VESA 로컬 버스(VLB), 주변 구성요소 상호연결(Peripheral Component Interconnect; PCI), 유니버셜 직렬 버스(USB), 어드밴스드 그래픽 포트(AGP), 퍼스널 컴퓨터 메모리 카드 인터네셔널 어소시에이션 버스(Personal Computer Memory Card International Association bus; PCMCIA), 또는 작은 컴퓨터 시스템 인터페이스(SCST)와 같은 것이다.
시스템 메모리(332)는 휘발성 메모리(333) 및 비휘발성 메모리(334)를 포함할 수 있다. 비휘발성 메모리(334)는 리드 온리 메모리(ROM), 프로그램화 가능한 ROM(PROM), 전기적으로 프로그램화 가능한 ROM(EPROM), 전기적으로 지울 수 있는 ROM(EEPROM), 또는 플래쉬 메모리를 포함할 수 있다. 휘발성 메모리(333)는 랜덤 액세스 메모리(RAM), 동기 RAM(SRAM), 다이나믹 RAM(DRAM), 동기 DRAM(SDRAM), 더블 데이터 레이트(rate) SDRAM(DDR SDRAM), 향상된 SDRAM(ESDRAM), 싱크링크(synchlink) DRAM(SLDRAM), 또는 직접 램버스 RAM(DRRAM)을 포함할 수 있다.
또한, 컴퓨터(301)는 저장 미디어(336)를 포함하고, 이는 제거 가능한/제거 불가능한, 휘발성/비휘발성 디스크 저장, 자기 디스크 드라이브, 플로피 디스크 드라이브, 테이프 드라이브, Jaz 드라이브, Zip 드라이브, LS-100 드라이브, 플래쉬 메모리 카드, 메모리 스틱, 광학 디스크 드라이브로서 콤팩트 디스크 ROM 소자(CD-ROM), CD 레코더블 드라이브(CD-R Drive), CD 재작성 가능한 드라이브(CD-RW Drive), 또는 디지털 다목적 디스크 ROM 드라이브(DVD-ROM)과 같은 것이다. 제거 가능한 또는 제거 불가능한 인터페이스(335)는 연결을 촉진시키도록 이용될 수 있다.
또한, 컴퓨터 시스템(301)은 시스템 메모리(332) 또는 디스크 저장(336) 중 하나에 저장되는 프로그램 데이터(314), 프로그램 모듈(313), 시스템 어플리케이션(312), 작동 시스템(311)과 같은 환경(300)에서 작동하는 소프트웨어를 포함할 수 있다. 다양한 작동 시스템 또는 작동 시스템의 조합이 이용될 수 있다.
입력 소자(322)는 명령 또는 데이터를 입력하는데 이용될 수 있고, 마우스, 트랙볼, 스틸러스(stylus), 터치 패드, 키보드, 마이크로폰, 조이스틱, 게임 패드, 위성 접시(satellite dish), 스캐너, TV 튜너(tuner) 카드, 사운드 카드, 디지털 카메라, 디지털 비디오 카메라, 웹 카메라, 및 이와 유사한 것을 포함할 수 있으며, 이는 인터페이스 포트(338)를 통해 연결된다. 인터페이스 포트(338)는 직렬 포트, 병렬 포트, 게임 포트, 유니버셜 직렬 버스(USB), 및 1394 버스를 포함할 수 있다. 또한, 인터페이스 포트(338)는 출력 소자(321)를 수용할 수 있다. 예를 들면, USB 포트는 컴퓨터로 입력을 제공하는데 그리고 출력 소자(321)로 컴퓨터(301)로부터 정보의 출력을 제공하는데 이용될 수 있다. 비디오 또는 사운드 카드와 같은 출력 어댑터(339)가 모니터, 스피커, 및 프린터와 같은 일정한 출력 소자에 연결되도록 제공된다.
컴퓨터는 원격 컴퓨터(324)를 가진 채로 네트워크화된 환경에서 작동할 수 있다. 메모리 저장 소자(325)를 가진 것으로 도시된 원격 컴퓨터(324)는 퍼스널 컴퓨터, 서버, 라우터, 네트워크 PC, 워크스테이션, 마이크로프로세서 베이스 어플라이언스(microprocessor based appliance), 피어 소자(peer device) 또는 다른 공통 네트워크 노드 및 이와 유사한 것일 수 있고, 일반적으로 컴퓨터(301)에 대해서 설명된 요소들의 다수 또는 모두를 포함한다. 원격 컴퓨터(324)는 네트워크 인터페이스(323) 및 통신 연결부(337)를 통해 컴퓨터(301)에 연결될 수 있다. 네트워크 인터페이스(323)는 로컬-구역 네트워크(LAN) 및 넓은 구역 네트워크(WAN)와 같은 통신 네트워크일 수 있다. LAN 기술은 파이버 분포된 데이터 인터페이스(Fiber Distributed Data Interface; FDDI), 구리 분포된 데이터 인터페이스(CDDI), 이더넷/IEEE 1202.3, 토큰 링(Token Ring)/IEEE 1202.5 및 이와 유사한 것과 같은 통신 네트워크일 수 있다. WAN 기술은 포인트-대-포인트 링크(point-to-point links), 일체화된 서비스 디지털 네트워크(Integrated Services Digital Networks; ISDN) 및 그 위의 변경과 같은 회로 스위칭 네트워크, 패킷 스위칭 네트워크, 및 디지털 서브스크리버 라인(Digital Subscriber Lines; DSL)을 포함하나 이에 제한되는 것은 아니다.
도 12는 본 발명이 상호작용할 수 있는 샘플 컴퓨팅 환경(40)의 개략적인 블록도이다. 시스템(440)은 다수의 클라이언트 시스템(441)을 포함한다. 또한, 시스템(440)은 다수의 서버(443)를 포함한다. 서버(443)는 본 발명을 이용하는데 이용될 수 있다. 시스템(440)은 통신 네크워크(445)를 포함하여 클라이언트(441) 및 서버(443) 사이의 통신을 촉진시킨다. 클라이언트 시스템(441)에 연결된 클라이언트 데이터 저장(442)은 국부적으로 정보를 저장할 수 있다. 유사하게, 서버(443)는 서버 데이터 저장(444)을 포함할 수 있다.
본 발명은 다양한 개조 및 대안적인 형태로 가능하고, 그 구체적인 내용은 도면에서 예에 의해 도시되며 상세하게 설명될 것이다. 그러나 설명된 특별한 실시예에 대해 본 발명을 제한하는 것으로 이해해서는 안된다. 반대로, 첨부된 청구항에 의해 형성된 본 발명의 사상 및 범위 내에 모든 개조, 동등물, 및 대안물이 포함되는 것이다.

Claims (8)

  1. 워크피스 스토커로서,
    다수의 워크피스들을 저장하기 위한 챔버로서, 상기 챔버는 베어(bare) 워크피스들을 저장하도록 구성되고, 상기 챔버는 다수의 구획들로 구획화되며, 상기 다수의 구획들은 구획들 사이에서 교차 오염 공기 유동(cross contamination air flow)을 감소시키도록 구성되고, 각각의 구획은 정화 가스를 수용하기 위해 구획의 후방부에서 개별적인 연결부를 포함하며, 상기 개별적인 연결부는 상기 정화 가스를 상이한 구획들에 수용하기 위한 별개의 도관들을 포함하는, 챔버;
    상기 챔버와 IO 스테이션 사이에서 상기 워크피스들을 전달하기 위한 로봇 기구; 및
    상기 챔버로 정화 가스를 유동시키기 위한 정화 가스 유닛으로서, 상기 정화 가스는 후방부로부터 상기 로봇 기구를 향해 각각의 개별적인 구획의 연결부로 유동하도록 구성되는, 정화 가스 유닛을 포함하는,
    워크피스 스토커.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크피스들은 상기 구획들 내에 수직 방향으로 저장되는,
    워크피스 스토커.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 구획들은 상하로 그리고 상기 로봇 기구의 주위에 원형으로 배열되는,
    워크피스 스토커.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크피스들은 상기 구획들 내에 수직 방향으로 저장되고,
    상기 구획들은 상하로 그리고 상기 로봇 기구의 주위에 원형으로 배열되며,
    상기 워크피스들은 상기 정화 가스를 위한 노즐 효과를 제공하도록 구성되는,
    워크피스 스토커.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크피스 스토커는 응급 액세스 포트를 더 포함하되,
    상기 응급 액세스 포트는 운반 가능한 워크피스 제거 장비와 연결하기 위한 메이팅 인터페이스(mating interface)를 포함하고,
    상기 응급 액세스 포트는 상기 워크피스 스토커의 작동 중에는 닫혀 있도록 구성되며,
    상기 응급 액세스 포트는 상기 운반 가능한 워크피스 제거 장비와 메이트된 후에는 개방되어 있도록 구성되는,
    워크피스 스토커.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크피스 스토커는 예비정렬장치 스테이션(prealigner station)을 더 포함하되,
    상기 예비정렬장치 스테이션은 상기 로봇 기구가 상기 IO 스테이션에 수평 방향으로 저장된 워크피스를 상기 구획들에 수직 방향으로 저장된 워크피스로 전환하는 것을 가능케 하도록 구성되는,
    워크피스 스토커.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇 기구는 상기 구획들에 수직 방향으로 저장된 워크피스를 핸들링하기 위한 제 1 그립퍼 아암을 포함하고,
    상기 제 1 그립퍼 아암은 주변 에지에서 상기 워크피스들을 집도록 구성된 C-형태의 아암을 포함하며,
    상기 로봇 기구는 상기 IO 스테이션에 수평 방향으로 저장된 워크피스를 핸들링하기 위한 제 2 그립퍼 아암을 포함하고,
    상기 제 2 그립퍼 아암은 워크피스들의 표면에서 상기 워크피스들을 지지하도록 구성된 아암을 포함하는,
    워크피스 스토커.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 개별적인 연결부는 가스를 개별적인 구획들로 선택적으로 유동시키기 위한 밸브를 각각 포함하는,
    워크피스 스토커.
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