JP3631611B2 - 研削システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ウエハ等の薄板状ワークの表面を高精度に研削する研削システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、研削システムは、格納装置、搬入出装置および研削装置等で構成されている。
格納装置は、研削前のウエハと研削後のウエハを格納する格納部、および、格納部から搬入出装置への受け渡し位置や受け取り位置までウエハを出し入れする機構等を備える。搬入出装置は、研削前のウエハを格納装置の受け渡し位置から研削装置の研削位置まで搬入し、研削後のウエハを研削装置の研削位置から格納装置の受け取り位置まで搬出する機構を備える。研削装置は、研削位置で保持されたウエハを研削する。
【0003】
図10に特開平6−15565号公報に開示された従来の研削システム100の平面図を示す。研削システム100は、格納装置101、研削装置102および搬入出装置103を備える。
格納装置101は、研削前のウエハWを格納するカセット101a,101bおよび研削後のウエハWを格納するカセット101c、101dを備える。さらに、カセット101a、101bに格納されたウエハWを、取出手段101e,101f,101g、101hで、受け渡し位置101kに取り出す。また、受け取り位置101lに載置されたウエハWを、収納手段101i,101jでカセット101c,101dに収納する。
搬出入装置103は、受け渡し位置101kのウエハWを吸着部103bにより4枚保持し、ロボットアーム103aの回動により研削装置102のキャリア102bに搬入する。さらに、研削後、キャリア102bに保持されたウエハWを受け取り位置101lに搬出する。
研削装置102は、下定盤102aにキャリア102bを5つ備え、1つのキャリア102bに4枚のウエハWを保持することができる。キャリア102bは、上定盤(図示せず)と下定盤102aとの間で自転しながら公転する。そして、キャリア102bに保持された20枚のウエハWの上下面が、同時に研削される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来の研削システムでは、小径のウエハを対象として複数枚のウエハを同時に研削する装置構成としていた。そのため、従来の研削システムの装置構成によりウエハの大径化に対応すると、キャリア、上下定盤、搬入出装置等の大型化が必要となり、研削システム全体の大型化を招く。それによって、各装置、ひいては研削システム全体の安定性が低下する。さらに、装置の安定性の低下および各駆動装置の大型化等により、研削システムの熱的平衡性も低下する。
【0005】
また、ウエハを数十枚同時に研削可能な研削システムは、ウエハの搬入出時間や研削時間を長時間要するため、必ずしも効率的なシステムではない。さらに、ウエハの反りや変形等により、キャリアに保持された数十枚のウエハには、研削面の高さ位置にバラツキが存在する。そのため、研削の精度等にバラツキが発生する。
【0006】
そこで、本発明の課題は、ワークの大型化に対応し、かつ、装置の安定性および熱的平衡性に優れる研削システムを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成した本発明に係る研削システムは、上部砥石と下部砥石を有し、ワークを上下両面研削する両頭平面研削盤と、前記ワークを保持する移動枠と、前記移動枠内に回転自在に支持された円環状の回転枠と、前記回転枠の下面にはワーク支持板が固設され、前記ワーク支持板の中央部にワークをセットするためのセット孔が形成されているとともに、前記移動枠を前記研削盤の搬入出位置と前記研削盤の加工位置との間を往復搬送させるために砥石の回転軸を挟んで配置された1組のガイドレールと、を有することを特徴とする薄板状のワークを研削する研削システムであって、前記ワークを浮かせるために砥石の回転軸を挟み、かつ前記ガイドレールの内側に配置された1組のワークガイドレールの上面には空気吹出孔を有し、前記1組のワークガイドレールの間隔は、セット孔にセットされたワークの左右両外周付近に空気が吹き当たる距離とし、ワークガイドレールの上面は、前記下部砥石の作用面より僅かに下方に位置して、加工位置にて、ワークガイドレールによる空気の吹き出しを停止すると、ワークは砥石の作用面の上に載置されることを特徴とする。
【0008】
請求項1に記載された発明によれば、本発明に係る研削システムは、研削システムを大型化することなく、ワークの大型化に対応できる。研削システムの各装置をワーク1枚づつ研削するのに対応した構造としたので、各装置ひいては研削システム全体を小型化できる。さらに、砥石の回転軸を挟んで両側にガイドレールを配設し、移動枠によりワークを搬送する構成としたので、全体としてバランスのとれた構造となり、研削盤および研削システム全体の安定性に優れる。しかも、研削システム全体の安定性の向上、および、研削システムの小型化に伴う各駆動手段の小型化により、研削システムの熱的平衡性にも優れる。さらに、ワークガイドレールの作用により、搬送中、ワークをワークガイドレールから浮上した状態で搬送することができるので、ワークの下面にすり傷等が発生しない。
しかも、移動枠でワークを搬送時、ワークガイドレールの空気吹出孔から空気を吹き出すことにより、ワークが浮上した状態で搬送される。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る研削システムの実施の形態を添付の図面を参照して説明する。図1は研削システムの概略平面図、図2は研削システムの搬入出ロボットの説明図で(a)搬入出ロボットの斜視図および(b)搬入出ロボットの平面図、図3はワークの平面図で(a)オリフラ付きのウエハの平面図および(b)ノッチ付きのウエハの平面図、図4は研削システムの洗浄装置の平面図、図5は研削システムの側面図、図6は両頭平面研削盤の下部フレーム部分の正断面図、図7は両頭平面研削盤の上部フレーム部分の側断面図、図8は両頭平面研削盤のワーク保持機構部分の平面図、図9は両頭平面研削盤のワーク保持機構部分の側断面図である。
【0012】
図1を参照して、研削システムSの全体構成について説明する。
研削システムSは、両頭平面研削盤1、格納装置3、オリフラ合わせ装置4、搬入出ロボット6、洗浄装置7、制御装置9および操作盤10等で構成される。
【0013】
両頭平面研削盤1では、ワーク保持機構51の移動枠53(図8参照)がウエハ2を1枚単位で保持し、搬入出位置5aと加工位置5b間で往復搬送する。そして、両頭平面研削盤1は、加工位置5bに設置されたウエハ2を上下両面研削する。
格納装置3は、加工前格納部3aおよび加工後格納部3cにより構成する。加工前格納部3aは、カセット3bを備え、加工前のウエハ2を積載する。また、加工後格納部3cも、カセット3dを備え、加工後のウエハ2を積載する。
オリフラ合わせ装置4は、図3(a)に示すウエハ2のオリフラ2aの角度位置を検出し、オリフラ2aをワーク保持機構51の保持角度に合わせるためにウエハ2を回転する。さらに、ウエハ2の最大厚さまたは最大高さを検出し、制御装置9に送信する。なお、オリフラ合わせ装置4は、図3(b)に示すノッチ2bを検出し、角度を合わせる機構としてもよい。
搬入出ロボット6は、図1に示すように、搬入ロボット6aおよび搬出ロボット6bにより構成する。搬入ロボット6aは、加工前格納部3aから加工前のウエハ2を、オリフラ合わせ装置4を経由して、ワーク保持機構51の搬入出位置5aに搬入する。さらに、搬入出位置5aから加工後のウエハ2を、洗浄装置7の受け渡し位置8を経由して、加工後格納部3cに搬出する。
制御装置9は、操作盤10からの指令やウエハ2の最大厚さ等のデータ等を受取ってから、研削システムS全体を統括制御する。作業者からの指令等は、操作盤10に入力される。
【0014】
図1を参照して、格納装置3を説明する。
格納装置3を構成する加工前格納部3aおよび加工後格納部3cは、同一の構造を有する。格納部3a,3cは、ウエハ2を格納するカセット3b,3dを各々備える。カセット3b,3dは、ウエハ2を鉛直方向に積載し、出し入れ自在である。
加工前格納部3aに格納されたウエハ2は、搬入ロボット6aによって、直接吸着されて、取り出される。他方、受け渡し位置8に載置されたウエハ2は、搬出ロボット6bによって、直接吸着されて、加工後格納部3cに格納される。
【0015】
図2、図5を参照して、搬入出ロボット6について説明する。
なお、搬入ロボット6aおよび搬出ロボット6bは、同一構造である。
搬入出ロボット6は、ロボット本体11、上部円筒体11a、第一アーム12、第二アーム13およびフィンガー14で構成する。
搬入出ロボット6は、ロボット本体11の下部に設置されたロボット制御装置81によって制御される。
【0016】
ロボット本体11の上部は、円柱形状で、上部円筒体11aに覆われている。上部円筒体11aは、ロボット本体11と同軸で、上下方向に移動自在である。上部円筒体11aの上面には、第一アーム12の一端が軸着されている。第一アーム12は、軸着された位置を中心に水平面内で旋回自在である。他方、第一アーム12の他端には、第二アーム13の一端が軸着されている。第二アーム13は、軸着された位置を中心に水平面内で旋回自在である。さらに、第二アーム13の他端には、フィンガー14が軸着されている。フィンガー14は、軸着された位置を中心に水平面内で旋回自在である。
上記構成により、搬入出ロボット6のフィンガー14は、水平面内で340°旋回可能で、かつ、上下方向にも移動可能である。
【0017】
フィンガー14は、略U字で、対称軸15を中心として左右対称形状である。フィンガー14の先端部14b,14bの下面には、吸着パッド14a,14aを装備する。吸着パッド14a,14aは、真空ライン80に接続し、ウエハ2を真空吸着する。なお、真空ライン80は、ロボット本体11に内蔵される真空ポンプ(図示せず)に接続される。
上記構成により、搬入出ロボット6は、ウエハ2を1枚ずつ吸着し、搬入出する。
【0018】
図4を参照して、洗浄装置7について説明する。
洗浄装置7は、受け渡し位置8に搬出されたウエハ2を洗浄し、再び、ウエハ2を受け渡し位置8に載置する。
【0019】
洗浄装置7は、保持具71によって、ウエハ2を保持する。保持具71は、ウエハ2の外周を包みこむ5面を備え、この5面でウエハ2の外周を保持する。また、保持具71は、移動装置72に、水平面内の洗浄方向(図4参照)に往復移動自在で取り付けられる。
【0020】
保持具71に保持されたウエハ2を上下両面から洗浄するために、散水ブラシ73,73を配設する。なお、散水ブラシ73,73は、上下一対で、水平かつ平行に、洗浄方向に対して直角方向に配設する。
さらに、散水ブラシ73,73は、モータ73bに各々接続され、回転駆動される。
上記構成により、ウエハ2は、保持具71に保持される。保持具71は、ウエハ2を保持した状態で、洗浄方向に往復移動する。移動中、上側の散水ブラシ73と下側の散水ブラシ73の間を通過することにより、ウエハ2は、洗浄される。
なお、洗浄装置7には、散水ブラシ73,73に洗浄水を供給する給水装置(図示せず)が備えられる。
【0021】
図5,図6,図7,図8および図9を参照して、両頭平面研削盤1について説明する。
両頭平面研削盤1は、下部フレーム31、中間フレーム32、上部フレーム33およびワーク保持機構51を備える。
下部フレーム31には、下部砥石回転昇降機構34等が装備される。中間フレーム32内では、砥石36,37によってウエハ2の両面が研削される。上部フレーム33には、上部砥石回転昇降機構35等が装備される。ワーク保持機構51は、ウエハ2を保持した状態で、搬入出位置5aと加工位置5b間を往復移動し、ウエハ2を搬送する。
【0022】
図6に示すように、下部砥石回転昇降機構34は、回転軸39を加工用モータ38によって回転駆動する。回転軸39は、流体ラジアル軸受98,98によって回転自在に支持される。軸支筒42は、下部フレーム31に固設したガイド40(図7参照)を介して水平方向に移動可能な砥石台41に取り付けられる。また、軸支筒42は、ガイド40内に流体ラジアル軸受40a,40aによって上下移動自在に支持される。そして、モータ94が回転することによって、ギア95およびボールねじ96を介して、ナット部97が上下に移動する。しかも、ナット部97は軸支筒42に固着しているので、ナット部97の上下移動に伴って、軸支筒42は、上下に移動する。さらに、回転軸39の上端には、砥石台43を固設する。砥石台43には、砥石36を装着する。
上記構成により、下部砥石回転昇降機構34は、加工用モータ38によって回転軸39を回転駆動し、砥石36を回転させる。
【0023】
図7に示すように、上部砥石回転昇降機構35は、軸支筒47を、ガイド44内に流体ラジアル軸受44a,44aを介して、回転軸48方向に昇降自在に支持する。また、砥石37の送り手段の駆動源として昇降用モータ45を、両頭平面研削盤1の最上部に配設する。昇降用モータ45の回動により、ボールねじ46、ナット部91を介して軸支筒47を昇降する。
【0024】
上部砥石回転昇降機構35は、回転軸48を加工用モータ50によって回転駆動する。回転軸48は、軸支筒47内に、ラジアル軸受部63,63およびスラスト軸受部64,64を介して、回転自在に支持される。そして、回転軸48の下端には、砥石台49を固設する。さらに、砥石台49には、砥石37を装着する。
上記構成により、上部砥石回転昇降機構35は、加工用モータ50によって回転軸48を回転駆動し、砥石37を回転させる。
【0025】
回転軸48の下端部には、スラスト支持のためフランジ部65を一体成形する。また、軸支筒47の内部には、軸受メタル63a,63aを固定する。軸受メタル63a,63aの内周面には、回転軸48の外周を支承する静圧のラジアル軸受部63,63を形成する。また、回転軸48のフランジ部65を支持するために、軸支筒47の下端部には、フランジ部65を上下から挟む軸受メタル64a,64bを固定する。そして、軸受メタル64a,64b間には、フランジ部65の上下両面を支承するスラスト軸受部64,64を形成する。
ラジアル軸受部63,63およびスラスト軸受部64,64には圧力流体が供給され、スラスト軸受部64,64の上下面に供給される流体の圧力の差を変化させることによって、回転軸48が、軸方向に微小上下動することを可能とする。
こうして、回転軸48は、砥石37の軸線回りに回転自在に、かつ軸線方向に微小上下動自在に軸支されている。
なお、両頭平面研削盤1は、圧力流体を供給する流体供給装置(図示せず)を備える。
【0026】
ガイド44と軸支筒47との間には、軸支筒47を回り止めするために、回り止め機構82,82を配設する。
軸支筒47の上端には、取付板83を固設する。さらに、取付板83の両側上面には、一対のガイド筒84,84を立設する。ガイド44の外面には、一対の有底筒状のガイドロッド85,85を、支持板86,86を介して各々取り付ける。ガイドロッド85,85は、ガイド筒84,84内に静圧ラジアル軸受87,87を介して、上下方向へ摺動自在に嵌合される。
【0027】
回り止め機構82には、軸支筒47の移動時のバランスを保つために、バランス機構88を装備する。
ガイド筒84,84の上端には、シリンダ89,89を各々取り付ける。シリンダ89,89の頂部には、圧力エアを供給するために、エア供給口90,90を各々形成する。そして、エア供給口90,90からシリンダ89,89内に圧力エアを供給することによって、ガイド筒84,84に浮上力を付与し、軸支筒47およびその関連部材の重量を支承する。これによって、昇降用モータ45により軸支筒47が上下方向へ移動される際に、ボールねじ46とナット部91との係合部に加わる荷重が軽減され、軸支筒47の移動バランスが保たれる。
【0028】
さらに、回り止め機構82には、軸支筒47を上下方向へ微調節移動するために、微調節送り機構92を装備する。
ガイド筒84,84には、複数のエア供給口93を各々形成する。そして、昇降用モータ45により軸支筒47を移動し、砥石37をウエハ2に対応する位置まで送り移動した後、選択したエア供給口93からガイドロッド85,85の外周面に向けて圧力エアを吹き付ける。これによって、ガイドロッド85,85がガイド筒84,84内でボールねじ46の軸線周りに押圧され、軸支筒47に微小回動が許容される。そして、その回動に伴って、ボールねじ46およびナット部91を介して、軸支筒47が軸線方向に微調節移動される。
【0029】
図6,図8および図9に示すように、ワーク保持機構51は、支持台52を下部フレーム31上に固設する。そして、一対のガイドレール54,54を、支持台52の上に平行に敷設する。さらに、移動枠53を、水平方向に移動自在に、ガイドレール54,54に架設する。また、支持台52上には、移動用モータ55を固設する。移動用モータ55には、ボールねじ56を装着する。ボールねじ56は、移動枠53に固定されたナット56bにねじ込まれている。
上記構成により、移動用モータ55の回動により、移動枠53が、ガイドレール54,54上を搬送方向(図8参照)に往復移動する。
【0030】
移動枠53の構造について説明する。
移動枠53は、ウエハ2を保持し、さらに、ウエハ2を回転させるための構造を持つ。また、保持されたウエハ2を砥石36および砥石37により上下両面から研削するために、移動枠53には、円環状の回転枠57が嵌め込まれる回転枠支持孔53bが形成されている。
移動枠53内に、円環状の回転枠57を、3つのガイドローラ58,58,58により回転自在に支持する。回転枠57の下部の外周には、ギア59を形成する。さらに、回転枠57の下面には、ワーク支持板60を固設する。また、ワーク支持板60には、中央部にウエハ2をセットするためのセット孔60aを形成する。なお、セット孔60aには、ウエハ2のオリフラ2aに係合するためのセット孔オリフラ部60bを形成する。
【0031】
移動枠53上面には、回転用モータ61を固設する。回転用モータ61のモータ軸には、回転枠57のギア59に噛合するギア62を設ける。そして、研削加工時には、回転用モータ61の回転により、ギア62が回転し、さらに、噛合するギア59が回転し、回転枠57が回転する。
なお、砥石37の作用面37aの直径は、ウエハ2の半径より僅かに大きく、作用面37aの内側にウエハ2の中心点および外周部を含む径とする(図8参照)。
【0032】
図9に示すように、移動枠53は、ガイドレール54に係合するために、断面形状が凹状のガイドレール係合部53a,53aを備える。また、ガイドレール54,54は、ガイドレール係合部53a,53aに係合するために、断面形状が凸状の突起部54a,54aを備える。
上記構成により、移動枠53は、ガイドレール54,54に係合した状態で、搬入出位置5aと加工位置5b間で往復移動する。
【0033】
ワークガイドレール66,66について説明する。ワークガイドレール66,66は、ウエハ2が移動枠53で搬送されるとき、搬送を補助する。
ワークガイドレール66,66は、支持台52上に、ガイドレール54,54の内側に、平行に敷設される。ワークガイドレール66,66の上面には、多数の空気吹出孔66aを等間隔で並設する。空気吹出孔66aは、空気供給装置(図示せず)に接続され、上方に向かって空気を吹き上げる。なお、ワークガイドレール66,66の敷設される間隔は、セット孔60aにセットされたウエハ2の左右両外周付近に空気が吹き当たる距離とする。また、空気吹出孔66aを並設する間隔は、ウエハ2の外周に2つ以上空気吹出孔66aの空気が吹き当たる距離とする。
上記構成により、移動枠53がガイドレール54,54に沿って移動すると、ウエハ2は、ワークガイドレール66,66上を浮上し、ワークガイドレール66,66の上面に接触せずに移動する。
なお、ワークガイドレール66,66の上面は、砥石36の作用面36aより僅かに下方に位置する。そのため、加工位置5bにおいて、ワークガイドレール66,66による空気の吹き出しを停止すると、ウエハ2は、砥石36の作用面36aの上に載置される(図9参照)。
【0034】
研削システムSの作用について説明する。
まず、操作盤10で、研削システムSを起動し、運転を開始する。
【0035】
運転開始後、加工前格納部3aに積載されたウエハ2を搬入ロボット6aで取り出す。
搬入ロボット6aの第一アーム12を旋回させ、フィンガー14をカセット3bに格納されているウエハ2に向かせる。そして、フィンガー14の対称軸15がウエハ2の中心とロボット本体11の中心を結んだ線に重なる位置で、第一アーム12を停止させる。
なお、必要に応じて、第二アーム13を第一アーム12に対して旋回させ、また、フィンガー14を第二アーム13に対して旋回させる。
【0036】
フィンガー14がウエハ2に向かってウエハ2の中心とロボット本体11の中心を結んだ線上を前進するように、第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を旋回させる。フィンガー14の吸着パッド14a,14aを結んだ線上にカセット3bに格納されている一番上のウエハ2の中心が位置したときに(図2(b)参照)、第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14の旋回を停止する。
【0037】
フィンガー14の水平方向の位置が決定した後、搬入ロボット6aの上部円筒体11aを下降させる。それに伴って、フィンガー14も下降し、吸着パッド14a,14aがウエハ2の上面に接触する位置で、上部円筒体11aの下降を停止する。そして、吸着パッド14a、14aにより、ウエハ2を真空吸着する。なお、搬入出ロボット6は、ウエハ吸着センサ(図示せず)を装備し、ウエハ2の吸着後、ウエハ吸着センサから吸着確認信号が出される。
【0038】
ウエハ2の吸着確認後、上部円筒体11aを所定距離上昇させる。そして、フィンガー14をカセット3bから後退させるために、第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を旋回させる。フィンガー14が所定距離後退した後、第一アーム等の旋回を停止する。
【0039】
次に、フィンガー14で吸着したウエハ2をオリフラ合わせ装置4に載置し、オリフラ2aを位置合わせし、さらに、ウエハ2の最大高さまたは最大厚さを検出する。
フィンガー14の対称軸15とオリフラ合わせ装置4の中心軸(図示せず)を一致させるために、搬入ロボット6aの第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を旋回させる。中心軸に一致した後、オリフラ合わせ装置4の回転盤22の載置位置までウエハ2を前進させるために、搬入ロボット6aの第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を旋回させる。さらに、ウエハ2が回転盤22の載置位置に位置合わせした後、上部円筒体11aを下降させる。そして、ウエハ2が回転盤22に接触する位置まで下降した後、回転盤22にウエハ2を載置するために、吸着パッド14a,14aによる吸着を停止する。
ウエハ2をオリフラ合わせ装置4に載置した後、搬入ロボット6aの上部円筒体11a、第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を駆動し、所定の位置までフィンガー14を後退させる。
【0040】
回転盤22に載置されたウエハ2は、オリフラ合わせ装置4によってオリフラ2aの角度位置が検出される。その角度位置に基づいて、ウエハ2の両頭平面研削盤1の搬入出位置5aで、ワーク支持板60のセット孔オリフラ部60bに位置合わせ可能とするために、ウエハ2を回転盤22により回転する。
さらに、オリフラ合わせ装置4により、ウエハ2の最大厚さまたは最大高さを検出し、制御装置9に送信する。
【0041】
オリフラ合わせ装置4での処理が終了後、上記と同様に、搬入ロボット6aの上部円筒体11a、第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を駆動し、回転盤22に載置されたウエハ2上にフィンガー14を移動させる。そして、ウエハ2を吸着パッド14a,14aで真空吸着する。
吸着後、フィンガー14の対称軸15の延長線が搬入出位置5aにあるワーク支持板60のセット孔60aの中心線と一致するように、搬入ロボット6aの第一アーム12、第二アーム13またはフィンガー14を旋回する。中心線に一致後、ウエハ2の中心がセット孔60aの中心と一致する位置まで、フィンガー14を前進させる。このとき、オリフラ合わせ装置4の作用により、ウエハ2のオリフラ2aとセット孔60aのセット孔オリフラ部60bの角度位置は一致している。ウエハ2とセット孔60aの中心が一致後、搬入ロボット6aの上部円筒体11aを下降させ、ワークガイドレール66,66の上面に接触する直前までウエハ2を下降させる。下降後、吸着パッド14a,14aによる真空吸着を停止し、ウエハ2をワーク支持板60にセットする。その後、フィンガー14を上昇させ、さらに、所定距離後退させる。なお、搬入ロボット6aは、加工前格納部3aに格納された次のウエハ2の搬入作業に移る。
なお、ワークの形状としてオリフラ2aが加工されている場合について説明したが、ノッチ2bが加工されている場合も同様である。
【0042】
搬入出位置5a上のワーク支持板60のセット孔60aに支持されたウエハ2は、移動枠53の水平移動に伴って、搬入出位置5aから加工位置5bに移動する。なお、移動枠53は、移動用モータ55およびボールねじ56を駆動源としてガイドレール54,54に沿って移動する。移動枠53の移動中、ワークガイドレール66,66の空気吹出孔66aから吹き出る空気によって、ウエハ2はワークガイドレール66,66上を浮上する。そのため、ウエハ2の移動は、スムーズとなり、かつウエハ2の下面にすり傷等が発生しない。
【0043】
ウエハ2が加工位置5bに搬送された後、空気吹出孔66aの空気の吹き出しが停止される。これによって、ウエハ2は、砥石36の作用面36a上に直接載置される。
載置後、砥石37が、早送りで下降し、早送りから加工送りに切り替わる高さ位置で停止する。停止後、モータ61が回転駆動し、ギア62を介してギア59に回転が伝達され、回転枠57が回転する。それに伴って、ワーク支持板60のセット孔60aに支持されたウエハ2が回転する。
ウエハ2の回転が開始すると、砥石36および砥石37が回転を開始する。このとき、砥石37は、加工送りを開始する。加工送りでは、荒研削送りによってウエハ2を所定厚さ研削し、仕上研削送りによってウエハ2を仕上げ研削する。なお、早送り、荒研削送りおよび仕上研削送りは、昇降用モータ45の回転をボールねじ46により上下移動に変換し、軸支筒47を移動させることにより行なう。また、仕上研削送りは、スラスト軸受部64,64のフランジ部65の上下両面に供給される圧力流体の圧力差を制御することにより行なうこともできる。
【0044】
研削終了後、回転枠57、砥石36、および砥石37の回転を停止させる。そして、昇降用モータ45を逆回転させ、ボールねじ46および軸支筒47により砥石37を上昇させる。
砥石37が上昇後、移動枠53を加工位置5bから搬入出位置5aに移動させる。それに伴って、ウエハ2が、搬入出位置5aに移動する。移動中、上記と同様に、ワークガイドレール66,66の空気吹出孔66aから空気を吹き出す。
【0045】
搬入出位置5aにあるワーク支持板60のセット孔60aに支持されたウエハ2は、搬出ロボット6bによって搬出される。搬出ロボット6bも、上記搬入ロボット6aと同様の作用でウエハ2を吸着し、搬出する。
ウエハ2は、搬出ロボット6bによって、搬入出位置5aから洗浄装置7の受け渡し位置8まで搬出される。そして、ウエハ2は、洗浄装置7の保持具71で保持される。保持具71は、移動装置72によって水平移動する。移動中、保持具71は上下に配設された散水ブラシ73,73の間を通過するので、ウエハ2は洗浄される。移動装置72による移動は、保持具71が受け渡し位置8から水平方向に移動し、散水ブラシ73,73を通過後停止し、受け渡し位置8まで戻る往復移動である。なお、往復回数は、適宜決定する。
【0046】
洗浄されたウエハ2は、搬出ロボット6bによって、受け渡し位置8から加工後格納部3cのカセット3dに積載され、格納される。
【0047】
なお、ウエハ2が搬出ロボット6bによって搬入出位置5aから搬出された直後、次に研削されるウエハ2が、搬入ロボット6aによって搬入出位置5aに搬入され、研削される。
【0048】
本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は上記の実施形態により何ら限定されるものでない。
例えば、縦型の両頭平面研削盤としたが、縦型の単頭平面研削盤または横型の研削盤としてもよい。
また、搬入出ロボットを搬入ロボットと搬出ロボットで構成したが、1つの搬入出ロボットで搬入および搬出する構成としてもよい。
【0049】
【発明の効果】
上記のように、本発明に係る研削システムは、研削システムを大型化することなく、ワークの大型化に対応できる。研削システムの各装置をワーク1枚づつ研削するのに対応した構造としたので、各装置ひいては研削システム全体を小型化できる。さらに、砥石の回転軸を挟んで両側にガイドレールを配設し、移動枠によりワークを搬送する構成としたので、全体としてバランスのとれた構造となり、研削盤および研削システム全体の安定性に優れる。しかも、研削システム全体の安定性の向上、および、研削システムの小型化に伴う各駆動手段の小型化により、研削システムの熱的平衡性にも優れる。また、ワークガイドレールの作用により、搬送中、ワークをワークガイドレールから浮上した状態で搬送することができるので、ワークの下面にすり傷等が発生しない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る研削システムの概略平面図である。
【図2】本発明に係る研削システムの搬入出ロボットの説明図である。
(a)搬入出ロボットの斜視図である。
(b)搬入出ロボットの平面図である。
【図3】本発明に係るワークの平面図である。
(a)オリフラ付きのウエハの平面図である。
(b)ノッチ付きのウエハの平面図である。
【図4】本発明に係る研削システムの洗浄装置の平面図である。
【図5】本発明に係る研削システムの側面図である。
【図6】本発明に係る研削システムの両頭平面研削盤の下部フレーム部分の正断面図である。
【図7】本発明に係る研削システムの両頭平面研削盤の上部フレーム部分の側断面図である。
【図8】本発明に係る研削システムの両頭平面研削盤のワーク保持機構部分の平面図である。
【図9】本発明に係る研削システムの両頭平面研削盤のワーク保持機構部分の側断面図である。
【図10】従来の研削システムの1例を示す平面図である。
【符号の説明】
S・・・研削システム
1・・・両頭平面研削盤
2・・・ウエハ
3・・・格納装置
4・・・オリフラ合わせ装置
6・・・搬入出ロボット
7・・・洗浄装置
9・・・制御装置
10・・・操作盤
34・・・下部砥石回転昇降機構
35・・・上部砥石回転昇降機構
36,37・・・砥石
51・・・ワーク保持機構
53・・・移動枠
54・・・ガイドレール
57・・・回転枠
60・・・ワーク支持板
66・・・ワークガイドレール
Claims (1)
- 上部砥石と下部砥石を有し、ワークを上下両面研削する両頭平面研削盤と、前記ワークを保持する移動枠と、前記移動枠内に回転自在に支持された円環状の回転枠と、前記回転枠の下面にはワーク支持板が固設され、前記ワーク支持板の中央部にワークをセットするためのセット孔が形成されているとともに、前記移動枠を前記研削盤の搬入出位置と前記
研削盤の加工位置との間を往復搬送させるために砥石の回転軸を挟んで配置された1組のガイドレールと、を有することを特徴とする薄板状のワークを研削する研削システムであって、
前記ワークを浮かせるために砥石の回転軸を挟み、かつ前記ガイドレールの内側に配置された1組のワークガイドレールの上面には空気吹出孔を有し、
前記1組のワークガイドレールの間隔は、セット孔にセットされたワークの左右両外周付近に空気が吹き当たる距離とし、
ワークガイドレールの上面は、前記下部砥石の作用面より僅かに下方に位置して、加工位置にて、ワークガイドレールによる空気の吹き出しを停止すると、ワークは砥石の作用面の上に載置されることを特徴とする研削システム。
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