JP2001274118A - 凹凸加工装置 - Google Patents

凹凸加工装置

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JP2001274118A
JP2001274118A JP2000088897A JP2000088897A JP2001274118A JP 2001274118 A JP2001274118 A JP 2001274118A JP 2000088897 A JP2000088897 A JP 2000088897A JP 2000088897 A JP2000088897 A JP 2000088897A JP 2001274118 A JP2001274118 A JP 2001274118A
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processing apparatus
unit
suction
unevenness
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JP2000088897A
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Munejiro Umagami
宗二郎 馬上
Soichiro Akita
壮一郎 秋田
Naoki Omiya
直樹 大宮
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Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
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    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
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  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
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  • Jigs For Machine Tools (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 生産性の良い手段によって太陽電池の光電変
換効率を向上させる。 【解決手段】 加工前の被加工物を収容するストック手
段と、該被加工物を保持するチャック手段と、該チャッ
ク手段に保持された被加工物に凹凸を形成する加工手段
と、加工後の被加工物を収容する格納手段と、被加工物
を搬送する搬送手段とから少なくとも構成され、被加工
物の表面に凹凸を形成することができる凹凸加工装置を
提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物の表面に
凹凸を形成する凹凸加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】太陽エネルギーを電気エネルギーに変換
する太陽電池は、電気機器に広く利用されている。そし
て、太陽電池には、光電変換効率が比較的良い単結晶シ
リコンで形成された単結晶太陽電池と、比較的安価な多
結晶シリコンで形成された多結晶太陽電池とがあり、必
要に応じて適宜選択され使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、単結晶
太陽電池の光電変換効率は比較的高いとはいえそれでも
１３％であり、多結晶太陽電池においては１２％と低
い。
【０００４】従って、単結晶太陽電池、多結晶太陽電池
のいずれの場合においても、生産性の良い手段によって
光電変換効率を向上させることに解決すべき課題を有し
ている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、被加工物の表面に凹凸を
形成するための加工装置であって、加工前の被加工物を
収容するストック手段と、被加工物を保持するチャック
手段と、チャック手段に保持された被加工物に凹凸を形
成する加工手段と、加工後の被加工物を収容する格納手
段と、被加工物を搬送する搬送手段とから少なくとも構
成される凹凸加工装置を提供する。
【０００６】そしてこの凹凸加工装置は、加工手段が、
複数の凹凸が形成された研削砥石と、研削砥石を支持し
回転駆動すると共に割り出し送り可能なメカスピンドル
と、被加工物と研削砥石に冷却液を供給する冷却液供給
ノズルとから少なくとも構成されること、冷却液供給ノ
ズルに隣接する位置に、ウォーターカーテンを形成する
ウォーターカーテン用ノズルが配設されること、チャッ
ク手段には、被加工物の位置合わせを遂行する位置合わ
せ部と、位置合わせされた被加工物を吸引保持する吸着
部とを少なくとも備え、被加工物を吸引保持して切削送
り方向に移動可能であること、ストック手段が、被加工
物を重ねて収容する載置部と載置部に載置された被加工
物の側部を支持する支柱部とから構成される収容部と、
収容部に収容されている被加工物を押し上げる押し上げ
部とから少なくとも構成されること、ストック手段に
は、収容部に収容された被加工物の側部にエアーを噴出
するエアー噴出ノズルが配設されること、格納手段が、
加工後の被加工物を収容するカセットが載置されるカセ
ットラックと、カセットラックに載置されたカセット内
に被加工物を収容する被加工物収容部とから構成され、
被加工物収容部は、被加工物が載置されて所定のカセッ
トの所要位置に位置付けられる昇降テーブルと、被加工
物をカセットの所要位置に挿入する挿入舌と、被加工物
の位置合わせを遂行する位置合わせ部とから構成される
こと、搬送手段には、被加工物を保持して移動可能な被
加工物保持部と、被加工物保持部の移動をガイドするガ
イドレールとを少なくとも備え、ガイドレールは、被加
工物保持部がストック手段とチャック手段と格納手段と
に位置付けられるよう配設され、被加工物保持部は、被
加工物を吸引保持する吸着パッドと、吸着パッドを支持
する支持部と、支持部を上下動させる上下動部と、ガイ
ドレールに沿って移動する駆動部とから構成されるこ
と、吸着パッドはベルヌーイチャックであり、１つの支
持部に２個配設されており、支持部は、上下動部に対し
て回転可能に配設されること、吸着パッドには、被加工
物の有無を検出するセンサーが配設されること、加工手
段と格納手段との間の領域には、チャック手段を構成す
る吸着部または該吸着部に保持された被加工物の表面を
洗浄する洗浄手段が配設されること、洗浄手段が、回転
可能な円筒ブラシと、円筒ブラシを両側から挟むように
して配設された一対の洗浄液供給ノズルとから構成され
ること、加工手段と格納手段との間の領域には、下方に
向けてエアーを噴出して吸着部または該吸着部に保持さ
れた被加工物の表面をエアーブローする上面エアーブロ
ー用ノズルが配設されること、チャック手段と格納手段
との間の領域には、搬送手段を構成する吸着パッドに保
持された被加工物の裏面をエアーブローする下面エアー
ブロー用ノズルが配設されること、被加工物は太陽電池
であることを付加的な要件とする。
【０００７】このように構成される凹凸加工装置ストッ
ク手段に収容された太陽電池を取り出して加工領域に搬
送し、加工手段を用いて被加工物の表面に自動的に凹凸
を形成することができる。また、被加工物が太陽電池の
場合は、表面の凹凸加工によって太陽電池の光電変換効
率を向上させることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の一例とし
て、被加工物の表面に凹凸を形成する装置である図１に
示す凹凸加工装置１０について説明する。この凹凸加工
装置１０を用いて、例えば図２に示すような細かな凹凸
が表面に交互に形成された太陽電池１００ａを形成する
ことによって光の吸収率を高めることができ、これによ
って光電変換効率を高めることができる。なお、太陽電
池１００ａは、例えば１０ｃｍ角、厚さ１ｍｍのシリコ
ンウェーハである。
【０００９】図１の凹凸加工装置１０は、加工前の被加
工物を収容するストック手段２０と、被加工物を搬送す
る搬送手段３０と、被加工物を保持するチャック手段４
０と、チャック手段４０に保持された被加工物に凹凸を
形成する加工手段５０と、加工後の被加工物を収容する
格納手段６０とから概ね構成される。以下では、被加工
物が太陽電池であり、太陽電池の表面に凹凸を形成する
場合について、図１を参照すると共に、適宜他の図面も
参照して説明する。
【００１０】図３（Ａ）に示すように、ストック手段２
０は、加工前の太陽電池１００が収容されており、加工
される太陽電池１００が重ねて載置される載置部２１及
び載置部２１に載置された太陽電池１００を側部側から
支持する支柱部２２からなる収容部２３と、収容部２３
に収容されている被加工物を押し上げる昇降可能な押し
上げ部２４とを備えている。またこれに対応して、載置
部２１の中央部には、押し上げ部２４を上下動させるた
めの貫通孔２１ａが形成されている。
【００１１】載置部２１は、ガイド部材２５にガイドさ
れてスライド可能であり、ガイド部材２５から取り外す
ことも可能である。従って、オペレータは、適宜の場所
で太陽電池を収容することができる。
【００１２】図３（Ｂ）のように載置部２１に太陽電池
１００が重ねて載置されると、支柱部２２によって安定
的に支持され、図３（Ｃ）のように押し上げ部２４が上
昇することにより太陽電池１００も上昇し、適宜の高さ
に位置付けられる。
【００１３】そして、図１に示す搬送手段３０によって
最も上にある太陽電池１００がピックアップされてチャ
ック手段４０まで搬送される。なお、図１に示したよう
に、ストック手段２０において太陽電池に対して側部か
らエアーを吹き付けるエアー噴出ノズル２６を設け、ピ
ックアップしようとする太陽電池に対して側部からエア
ーを吹き付けるようにすれば、ピックアップを円滑に行
うことができる。
【００１４】また、図４に示すように、載置部２１に支
柱部２２を立設するための位置決め孔２２ａを放射状に
設けておけば、被加工物の大きさに対応させて支柱を立
設することにより複数種類の被加工物を支持することが
できる。
【００１５】搬送手段３０は、図１に示したように、ス
トック手段２０の上方からチャック手段４０の上方まで
架設されたガイドレール３１と、被加工物を保持すると
共にガイドレール３１にガイドされてＸ軸方向に所要範
囲移動可能な被加工物保持部３２とから構成されてお
り、被加工物保持部３２は、図５において拡大して示す
ように、被加工物を吸着する吸着パッド３３と、吸着パ
ッド３３を支持する支持部３４と、支持部３４を上下動
させる上下動部３５と、ガイドレール３１に沿ってＸ軸
方向に駆動する駆動部３６とから構成される。
【００１６】ここで、吸着パッド３３は、薄く、凹凸が
形成された被加工物を吸着するものであるため、ベルヌ
ーイチャックを用いるのが望ましい。図５の例において
は吸着パッド３３を２つ備えているが、少なくとも１つ
備えていればよい。２つ備えている場合は、例えば、加
工前の太陽電池と加工後の太陽電池とを同時に搬送する
ことができるため、生産性を向上させることができる。
この場合、支持部３４は、上下動部３５に対して回転可
能に配設されていることが好ましい。
【００１７】また、吸着パッド３３には、図５に示した
ように、被加工物の有無を検出するセンサー３７を配設
すれば、吸着されているかどうかを確認することができ
るため、吸着パッド３３に太陽電池１００が吸着されな
い状態で被加工物保持部３２が移動してしまう等の誤動
作を防止することができる。
【００１８】図１を参照して説明を続けると、ストック
手段２０の収容部２３に収容された太陽電池１００をピ
ックアップする際は、駆動部３６の駆動により被加工物
保持部３２をストック手段２０の直上に位置付け、上下
動部３５を下降させ、複数枚積み重ねて収容された太陽
電池１００のうち最も上にある太陽電池を吸着パッド３
３によって吸着し、上下動部３５を上昇させてから、被
加工物保持部３２を＋Ｘ方向に移動させ、チャック手段
４０の直上まで搬送する。そして、その位置において上
下動部３５を下降させ、吸着パッド３３による吸着を解
除することによって、太陽電池１００がチャック手段４
０に保持される。
【００１９】チャック手段４０は、蛇腹部４３の伸縮を
伴ってＸ軸方向（切削送り方向）に移動可能であり、被
加工物の位置合わせを遂行する位置合わせ部４１と、位
置合わせされた被加工物を吸引保持する吸着部４２とか
ら構成される。
【００２０】位置合わせ部４１は、四方から被加工物を
押す位置合わせ片４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄによ
り構成され、吸着部４２に被加工物が載置された際にこ
れら４つの位置合わせ片が互いに近づく方向に移動する
ことにより、被加工物が一定の位置に位置付けられる。
従って、加工の精度を高めることができる。
【００２１】また、吸着部４２は、例えば下方に備えた
吸引源（図示せず）から供給される吸引力によって被加
工物を吸引保持するもので、例えばポーラス部材等によ
って構成される。なお、吸着部４２は、被加工物の大き
さ、形状に対応させて交換可能に構成することが好まし
い。
【００２２】加工手段５０は、図６（Ａ）に示すよう
に、複数の凹凸が形成された研削砥石５１と、研削砥石
５１が装着される高剛性のメカスピンドル５２と、研削
箇所に冷却液を供給する冷却液供給ノズル５３とから概
ね構成される。
【００２３】研削砥石５１は、メカスピンドル５２を構
成する砥石装着軸５４に装着され、更に、図６（Ｂ）に
示すようにハブ５５によって支持されると共に、砥石装
着軸５４の先端に形成された雄ネジ部５４ａに螺合した
ナット５６によって締め付けられて強固に固定される。
【００２４】研削砥石５１は、図７に示す研削砥石５１
ａのように、例えば厚さ１０ｍｍ、直径５０ｍｍの円筒
状のボビンの表面に０．２ｍｍピッチで山部と谷部とが
交互に現れるよう凹凸を形成し、その表面にダイヤモン
ド砥粒を電着した構成のものであってもよいし、図８に
示す研削砥石５１ｂのように、例えば厚さ０．２ｍｍの
複数の切削ブレード５７をスペーサ５８を介して連結さ
せた構成のものであってもよい。
【００２５】更に、図９に示すように、砥石装着軸５４
ｂを長く形成しておけば、研削砥石５１ｃのような凹凸
が形成されている部分が長い研削砥石も装着することが
できる。また、図７に示した研削砥石５１ａのように長
さが短いタイプのものであっても、長さの長い砥石装着
軸５４ｂに複数装着することができる。
【００２６】チャック手段４０に保持された太陽電池１
００の表面に凹凸を形成するときは、チャック手段４０
が＋Ｘ方向に移動すると共に加工手段５０が下降して、
図１０（Ａ）に示すように高速回転する研削砥石５１が
太陽電池１００の表面に切り込むことによって、研削砥
石５１の形状が転写され、表面に凹凸が形成される。こ
のとき、研削砥石５１と太陽電池１００との接触箇所に
は、冷却液供給ノズル５３から冷却液が供給される。従
って、加工品質を向上させることができる。
【００２７】加工手段５０を適宜Ｙ軸方向に割り出し送
りしながらこのような研削を行うことにより、図１０
（Ｂ）に示すように、表面に凹凸が形成された太陽電池
１００ａとなる。
【００２８】また、図１に示したように、冷却液供給ノ
ズル５３に隣接する位置には、ウォーターカーテンを形
成するウォーターカーテン用ノズル５９が配設されてお
り、研削が終了し、チャック手段４０が−Ｘ方向に移動
する際に太陽電池１００ａの表面から研削により発生し
た研削屑（コンタミ）が排除される。
【００２９】このようにして太陽電池１００の表面に凹
凸が形成されると、次にチャック手段４０が−Ｘ方向に
移動し、洗浄手段８０によって加工後の太陽電池１００
の表面が洗浄される。この洗浄手段８０は、図１に示し
たように、加工手段５０と格納手段６０との間の領域に
配設されており、回転軸を中心として回転可能な円筒ブ
ラシ８１と、円筒ブラシ８１を両側から挟むようにして
２つの洗浄液供給ノズル８２とから構成されている。
【００３０】洗浄時は、洗浄液供給ノズル８２から洗浄
液を供給すると共に、円筒ブラシ８１が加工後の太陽電
池１００の表面に回転しながら接触することによってコ
ンタミが除去される。従って、太陽電池１００の品質を
向上させることができる。また、洗浄手段８０は、太陽
電池１００がチャック手段に保持されていない状態で
は、チャック手段４０の洗浄を行うこともできる。
【００３１】更に、洗浄後は、加工手段５０と格納手段
６０との間の領域、例えば図１に示したように洗浄手段
８０に隣接する位置に配設された上面エアーブロー用ノ
ズル８５により上方から噴出される高圧エアーによっ
て、加工後の太陽電池１００の表面に付着した洗浄液が
除去される。
【００３２】こうして洗浄された加工後の太陽電池１０
０は、搬送手段３０を構成する吸着パッド３３に吸着さ
れ、被加工物保持部３２がガイドレール３１に沿って−
Ｘ方向に移動して格納手段６０の直上まで搬送され、こ
こで、上下動部３５が下降して吸着を解除することによ
って格納手段６０に位置付けられる。
【００３３】なお、搬送の途中で、図１に示した加工手
段５０と格納手段６０との間の領域に配設された下面エ
アーブロー用ノズル８６により下方から噴出される高圧
エアーによって、加工後の被加工物１００ａの裏面に付
着したコンタミ及び洗浄液が除去される。
【００３４】格納手段６０は、図１に示したように、凹
凸加工装置１０の前面側に設けたカセットラック６１
と、被加工物収容部６２とから構成され、加工後の被加
工物は、被加工物収容部６２に収容されてから装置内部
を移動してカセットラック６１に載置されたカセット６
３に格納される構成となっている。
【００３５】カセットラック６１には、例えば引き出し
可能なトレー６４を備え、トレー６４を引き出した状態
でカセット６３の出し入れを容易に行うことができる。
【００３６】被加工物収容部６２は、図１１（Ａ）に示
すように、被加工物が載置される昇降テーブル６５と、
昇降テーブル６５に形成された凹部においてＹ軸方向に
スライド可能に配設された挿入舌６６と、昇降テーブル
６５を上下方向（Ｚ軸方向）に駆動する駆動源６７と、
昇降テーブル６５を摺動自在に支持するガイドレール６
８と、昇降テーブル６５に配設された複数の位置合わせ
部６９とから構成される。
【００３７】位置合わせ部６９は、図１１（Ａ）におけ
る矢印の方向に移動することによって昇降テーブル６５
に載置された被加工物を一定の位置に位置付けるもの
で、図示の例においては４つ設けられ、Ｘ軸方向に向か
い合う一対の位置合わせ部６９が互いに近づく方向に移
動することによって被加工物のＸ軸方向の位置合わせを
行う。
【００３８】一方、挿入舌６６には、載置された被加工
物を吸引する吸引孔７０及び被加工物をカセット６３に
収納する際に加工後の被加工物のＹ軸方向の位置合わせ
を行う突起７１を備えている。
【００３９】なお、例えば図１２に示す昇降テーブル６
５ａのように、複数の位置合わせ部７２、７３、７４を
それぞれ昇降テーブル６５に設ければ、大きさの異なる
被加工物に対応して当該被加工物の位置合わせを行うこ
とができる。
【００４０】加工後の太陽電池１００が昇降テーブル６
５に載置されると、図１１（Ｂ）に示すように、昇降テ
ーブル６５を昇降させることによって収納しようとする
カセットが置かれたカセットラックの所定の高さに太陽
電池１００を位置付け、吸引孔７０における吸引力を解
除すると共に、挿入舌６６を＋Ｙ方向に移動させて被加
工物を＋Ｙ方向に移動させることによって所望のカセッ
ト６３の所要位置に太陽電池１００ａを自動的に収納す
ることができる。
【００４１】以上のような作業を、ストック手段２０に
収容されたすべての太陽電池１００について行うと、図
１０（Ｂ）に示した表面に凹凸が形成されて光電変換効
率が向上した太陽電池１００ａがすべてカセットラック
６１に載置されたカセット６３に収納される。
【００４２】なお、本実施の形態においては、搬送手段
３０を構成する被加工物保持部３２に２つの吸着パッド
を備えているため、加工前の太陽電池と加工後の太陽電
池とをそれぞれの吸着パッドにおいて吸着することによ
り、両者を同時に搬送して生産性を向上させることがで
きる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る凹凸
加工装置によれば、ストック手段に収容された太陽電池
を取り出して加工領域に搬送し、加工手段を用いて太陽
電池の表面に自動的に凹凸を形成することができるた
め、効率良く加工を行うことができると共に、太陽電池
の光電変換効率を向上させることができる。具体的に
は、表面に凹凸を形成することにより、光電変換効率が
５％も向上することが確認された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る凹凸加工装置の実施の形態の一例
を示す斜視図である。
【図２】表面に凹凸が形成された太陽電池を示す正面図
である。
【図３】凹凸加工装置を構成するストック手段を示す斜
視図である。
【図４】同ストック手段を構成する載置部の構成の一例
を示す平面図である。
【図５】凹凸加工装置を構成する搬送手段の被加工物保
持部を示す斜視図である。
【図６】凹凸加工装置を構成する加工手段を示す斜視図
である。
【図７】同加工手段を構成する研削砥石の一例を示す正
面図である。
【図８】同研削砥石の第二の例を示す正面図である。
【図９】凹凸加工装置を構成する加工手段の第二の例を
示す斜視図である。
【図１０】（Ａ）は、加工手段を用いて太陽電池の表面
に凹凸を形成する様子を示す斜視図であり、（Ｂ）は、
表面に凹凸が形成された太陽電池を示す斜視図である。
【図１１】凹凸加工装置を構成する格納手段を示す斜視
図である。
【図１２】同格納手段を構成する昇降テーブルの第二の
例を示す平面図である。
【符号の説明】 １０…凹凸加工装置 ２０…ストック手段 ２１…載置部 ２１ａ…貫通孔 ２２…支柱部 ２２ａ…位置決め孔 ２３…収容部 ２４…押し上げ部 ２５…ガイド部 ２６…エアー噴出ノズル ３０…搬送手段 ３１…ガイドレール ３２…被加工物保持部 ３３…吸着パッド ３４…支持部 ３５…上下動部 ３６…駆動部 ３７…センサー ４０…チャック手段 ４１…位置合わせ部 ４１ａ、４１ｂ、４１ｃ、４１ｄ…位置合わせ片 ４２…吸着部 ４３…蛇腹部 ５０…加工手段 ５１、５１ａ、５１ｂ…研削砥石 ５２…メカスピンドル ５３…冷却液供給ノズル ５４…砥石装着軸 ５４ａ…雄ネジ部 ５５…ハブ ５６…ナット ５７…切削ブレード ５８…スペーサ ５９…ウォーターカーテン用ノズル ６０…格納手段 ６１…カセットラック ６２…被加工物収容部 ６３…カセット ６４…トレー ６５…昇降テーブル ６６…挿入舌 ６７…駆動源 ６８…ガイドレール ６９…位置合わせ部 ７０…吸引孔 ７１…突起 ７２、７３、７４…位置合わせ部 ８０…洗浄手段 ８１…円筒ブラシ ８２…洗浄液供給ノズル ８５…上面エアーブロー用ノズル ８６…下面エアーブロー用ノズル １００…太陽電池
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｂ 55/04 Ｂ２４Ｂ 55/04 Ｚ ５Ｆ０５１ 55/06 55/06 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｌ Ｃ 31/04 31/04 Ｆ Ｈ (72)発明者 大宮 直樹 東京都大田区東糀谷２−14−３ 株式会社 ディスコ内 Ｆターム(参考） 3C016 AA01 CE05 DA01 3C033 BB03 DD06 HH11 HH27 HH30 MM03 3C047 FF09 FF19 GG02 HH19 3C049 AA03 AA09 AB04 CA01 CA05 CB03 5F031 CA04 FA01 FA12 GA24 GA36 JA22 MA23 5F051 AA02 AA03 BA16 CB30 HA07

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被加工物の表面に凹凸を形成するための
    加工装置であって、加工前の被加工物を収容するストッ
    ク手段と、該被加工物を保持するチャック手段と、該チ
    ャック手段に保持された被加工物に凹凸を形成する加工
    手段と、加工後の被加工物を収容する格納手段と、被加
    工物を搬送する搬送手段とから少なくとも構成される凹
    凸加工装置。
  2. 【請求項２】 加工手段は、複数の凹凸が形成された研
    削砥石と、該研削砥石を支持し回転駆動すると共に割り
    出し送り可能なメカスピンドルと、被加工物と該研削砥
    石に冷却液を供給する冷却液供給ノズルとから少なくと
    も構成される請求項１に記載の凹凸加工装置。
  3. 【請求項３】 冷却液供給ノズルに隣接する位置に、ウ
    ォーターカーテンを形成するウォーターカーテン用ノズ
    ルが配設される請求項２に記載の凹凸加工装置。
  4. 【請求項４】 チャック手段には、被加工物の位置合わ
    せを遂行する位置合わせ部と、位置合わせされた被加工
    物を吸引保持する吸着部とを少なくとも備え、該被加工
    物を吸引保持して切削送り方向に移動可能である請求項
    １乃至３に記載の凹凸加工装置。
  5. 【請求項５】 ストック手段は、被加工物を重ねて収容
    する載置部と該載置部に載置された被加工物の側部を支
    持する支柱部とから構成される収容部と、該収容部に収
    容されている被加工物を押し上げる押し上げ部とから少
    なくとも構成される請求項１乃至４に記載の凹凸加工装
    置。
  6. 【請求項６】 ストック手段には、収容部に収容された
    被加工物の側部にエアーを噴出するエアー噴出ノズルが
    配設される請求項５に記載の凹凸加工装置。
  7. 【請求項７】 格納手段は、加工後の被加工物を収容す
    るカセットが載置されるカセットラックと、該カセット
    ラックに載置されたカセット内に被加工物を収容する被
    加工物収容部とから構成され、 該被加工物収容部は、被加工物が載置されて所定のカセ
    ットの所要位置に位置付けられる昇降テーブルと、該被
    加工物を該カセットの所要位置に挿入する挿入舌と、被
    加工物の位置合わせを遂行する位置合わせ部とから構成
    される請求項１乃至６に記載の凹凸加工装置。
  8. 【請求項８】 搬送手段には、被加工物を保持して移動
    可能な被加工物保持部と、該被加工物保持部の移動をガ
    イドするガイドレールとを少なくとも備え、 該ガイドレールは、該被加工物保持部がストック手段と
    チャック手段と格納手段とに位置付けられるよう配設さ
    れ、 該被加工物保持部は、被加工物を吸引保持する吸着パッ
    ドと、該吸着パッドを支持する支持部と、該支持部を上
    下動させる上下動部と、該ガイドレールに沿って移動す
    る駆動部とから構成される請求項１乃至７に記載の凹凸
    加工装置。
  9. 【請求項９】 吸着パッドはベルヌーイチャックであ
    り、１つの支持部に２個配設されており、 該支持部は、上下動部に対して回転可能に配設される請
    求項８に記載の凹凸加工装置。
  10. 【請求項１０】 吸着パッドには、被加工物の有無を検
    出するセンサーが配設される請求項８または９に記載の
    凹凸加工装置。
  11. 【請求項１１】 加工手段と格納手段との間の領域に
    は、チャック手段を構成する吸着部または該吸着部に保
    持された被加工物の表面を洗浄する洗浄手段が配設され
    る請求項１乃至１０に記載の凹凸加工装置。
  12. 【請求項１２】 洗浄手段は、回転可能な円筒ブラシ
    と、該円筒ブラシを両側から挟むようにして配設された
    一対の洗浄液供給ノズルとから構成される請求項１１に
    記載の凹凸加工装置。
  13. 【請求項１３】 加工手段と格納手段との間の領域に
    は、下方に向けてエアーを噴出して吸着部または該吸着
    部に保持された被加工物の表面をエアーブローする上面
    エアーブロー用ノズルが配設される請求項１乃至１２に
    記載の凹凸加工装置。
  14. 【請求項１４】 チャック手段と格納手段との間の領域
    には、搬送手段を構成する吸着パッドに保持された被加
    工物の裏面をエアーブローする下面エアーブロー用ノズ
    ルが配設される請求項１乃至１３に記載の凹凸加工装
    置。
  15. 【請求項１５】 被加工物は太陽電池である請求項１乃
    至１４に記載の凹凸加工装置。
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