JP5930192B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
また、上側仕切り部の内部から流体を噴出することができるため、上下動作する下側仕切り部に研削屑が付着するのを防止することができる。
A:搬入出領域 B:加工領域
2:ターンテーブル
2a、2b、2c、2d:チャックテーブル 20:保持面
3a:第一の研削手段 3b:第二の研削手段 3c:研磨手段
30:スピンドル 31:支持部
32:研削ホイール 320:粗研削砥石 321:仕上げ研削砥石
33:モータ 34:研磨パッド 35:研削水ノズル
4a:第一のカセット、4b:第二のカセット
4:搬送ロボット
40:保持部 41:アーム部
5:位置合わせ手段 50:テーブル 51:突起
6:洗浄手段
7a:第一の搬送手段 7b:第二の搬送手段
8a:第一の研削送り手段 8b:第二の研削送り手段
80:ボールネジ 81:ガイドレール 82:モータ 83:昇降板
9:研磨送り手段
90:ボールネジ 91:ガイドレール 92:モータ 93:昇降板
94:ボールネジ 95:ガイドレール 96:モータ 97:移動板
10:仕切り手段
11:上側仕切り部
110:上板 111:側板 112:下板 112a:開口部 113:収納室
114:流体供給口
12:下側仕切り部
13:上下動手段 130:シリンダ 131:ピストン
14:センサ 140:第一の認識部 141:第二の認識部
15:カバー
Claims (1)
- 回転可能に配設されるターンテーブルと、該ターンテーブルに複数配設され板状ワークを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状ワークを研削する複数の研削手段と、を備える研削装置において、
該ターンテーブルは、回転によって、該チャックテーブルに対する板状ワークの搬入出が行われる領域である搬入出領域と、該研削手段による該板状ワークの加工が行われる領域である加工領域とに該チャックテーブルを位置づける機能を有し、
該ターンテーブルの上方には該搬入出領域と該加工領域とを仕切る仕切り手段が配設され、
該仕切り手段は、
上板と側板と開口部を有する下板とに囲まれた収納室を内部に有する箱形状に形成され、該収納室に流体を供給する流体供給口を備える上側仕切り部と、
該開口部を通じて上下動可能な下側仕切り部と、該下側仕切り部を上下動作させる上下動手段と、
該下側仕切り部が、その下方を該チャックテーブルが通過するのを許容する最上位位置に位置することを認識する第一の認識部と、
該下側仕切り部が、その下端が該ターンテーブルの上面に接触する最下位位置に位置することを認識する第二の認識部と、
によって構成され、
該流体供給口から供給される流体によって該開口部と該下側仕切り部との隙間から該流体を噴出させつつ、該上下動手段によって該下側仕切り部を上方に移動させて該上側仕切り部の該収納室に収納して、該第一の認識部が該下側仕切り部の最上位位置を認識することによって該ターンテーブルの回転を可能とし、
該上下動手段によって該下側仕切り部を下方に移動させ、該下側仕切り部が最下位位置に位置づけられたことを該第二の認識部が認識すると、該下側仕切り部によって隣り合うチャックテーブルの間が仕切られ、該搬入出領域と該加工領域とを遮断する
研削装置。
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