JP7161415B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
図1に示す加工装置1は、加工手段3を用いてチャックテーブル5の上に保持された被加工物Wを加工する加工装置である。加工手段3は、例えば、粗研削手段30と、仕上げ研削手段31と研磨手段32とから構成され、上記の加工手段3は、被加工物Wの研削加工に用いる粗研削砥石304bや仕上げ研削加工に用いる仕上げ研削砥石314bや研磨加工に用いる研磨パッド324等の加工具を有する。加工装置1には制御手段17が備えられており、被加工物Wの搬送や研削加工や研磨加工等を行う際に各種の装置機構を制御する。
上記の気液分離手段70に備える入口702の上辺、すなわち第1辺700a、斜辺700b及び第3辺700cには、下方向に延びる庇703が備えられている。庇703は、天板700に対して垂直な-Z方向に配設されていてもよいし、-Z方向よりも若干チャックテーブル5の中心に向く方向に傾斜していてもよい。また、湾曲していてもよい。図4に示した例の庇703は、-X側、すなわちノズル72に近い側は、Z方向の長さが短く、+X側、すなわちノズル72から遠い側は、Z方向の長さが長く形成されている。このように、庇703は、ノズル72に近い側のZ方向の長さが短く、開口部分がZ軸方向に長く形成されることにより、ノズル72との衝突を回避し、ノズル72の可動域を広くとることができる。一方、庇703のうち、ノズル72から遠い側のZ方向の長さを長く形成することにより、より多くのミストを収容することができる。
また、ノズル72に近い側のZ方向の長さが短い庇703の下を通ってノズル72を気液分離手段70内に収納させ、チャックテーブル5への被加工物Wの搬送の邪魔にならないようにしている。
容することができる容積が広い大容量エリア704となっている。
(搬入工程)
上記の構成の加工装置1を用いて被加工物Wの加工を行う際の、加工装置1の動作について説明する。まず、図1に示したターンテーブル6が所定の角度だけ回転することで、被加工物Wが載置されていないチャックテーブル5が公転させられ、ローディングアーム154aの近傍まで移動し、図2における搬入出エリア16aに位置付けられる。
チャックテーブル5の保持面50aで被加工物Wを吸引保持した後、ターンテーブル6を+Z側からみて時計回りに所定の角度だけ回転させることで、チャックテーブル5を公転させ、チャックテーブル5に保持された被加工物Wを粗研削手段30の下方に移動させて粗研削エリア16bに位置付ける。このとき、粗研削手段30と被加工物Wとは、図2に示すような、粗研削砥石304bを被加工物Wに向かって下降させて粗研削砥石304bと被加工物Wとが当接した際に、粗研削砥石304bの下面の円の外周縁が被加工物Wの回転中心を通るような位置に合わせられる。
その後、同様に+Z側からみて時計回りにターンテーブル6を所定の角度だけ回転させることでチャックテーブル5を公転させ、チャックテーブル5に保持された被加工物Wを仕上げ研削手段31の下方に移動させて仕上げ研削エリア16cに位置付ける。図2に示すように、仕上げ研削砥石314bと被加工物Wとが当接した際に、仕上げ研削砥石314bの下面の円の外周縁が被加工物Wの回転中心を通るように位置合わせする。そして、上記の粗研削工程と同様に、仕上げ研削送り手段21を用いて、回転する仕上げ研削砥石314bを同じく回転する被加工物Wに向かって下降させて仕上げ研削砥石314bを被加工物Wに当接させる。
さらに、ターンテーブル6を+Z側からみて時計回りに所定の角度だけ回転させることで、チャックテーブル5を公転させ、チャックテーブル5に保持された被加工物Wを研磨手段32の下方に移動させて研磨エリア16dに位置付ける。研磨手段32の研磨パッド324に対する被加工物Wの位置合わせは、例えば、図2に示すように、研磨パッド324が被加工物Wの上面Wa全面に当接するように行われる。
上記の研磨工程の終了後、搬入出エリア16aにおいて、ノズル72から二流体Mを噴射させて被加工物Wを洗浄する。なお、該洗浄工程には、加工後の被加工物Wを加工領域Bから搬出入領域Aへと搬送する際に、アンローディングアーム154bの搬送パッドが汚れるのを防ぐ目的等がある。
また、入口702は、気液分離手段70の内部の空気を搬入出エリア16aに排気する役目も成している。つまり、入口702の下側から二流体を進入させ入口702の上側から空気を搬入出エリアに排気させている。
12:第1のコラム 13:第2のコラム 14:第3のコラム
150:第1のカセット載置部 150a:第1のカセット
151:第2のカセット載置部 151a:第2のカセット
152:仮置き領域 153:位置合わせ手段
154a:ローディングアーム 154b:アンローディングアーム
155:ロボット 156:スピンナー洗浄手段
16:加工室 160:ウォーターケース 161:仕切り板 162:排出口
16a:搬入出エリア 16b:粗研削エリア 16c:仕上げ研削エリア
16d:研磨エリア 17:制御手段
20:粗研削送り手段 200:ボールネジ 201:ガイドレール
202:モータ 203:昇降板 204:ホルダ 205:回転軸
30:粗研削手段 300:回転軸 301:ハウジング 302:モータ
303:マウント 304a:ホイール基台 304b:粗研削砥石
21:仕上げ研削送り手段 31:仕上げ研削手段 314b:仕上げ研削砥石
24:Y軸方向移動手段 240:ボールネジ 241:ガイドレール
242:モータ 243:可動板
25:研磨送り手段 250:ボールネジ 251:ガイドレール 252:モータ
253:昇降板 254:ホルダ
32:研磨手段 320:回転軸 321:ハウジング 322:モータ
323:マウント 324:研磨パッド
5:チャックテーブル 50:吸引部 50a:保持面 51:枠体
52:回転手段 53:吸引手段 55:回転軸
6:ターンテーブル
7:洗浄手段 70:気液分離手段
700:天板 700a:第1辺 700b:斜辺
700c:第2辺 700d:第3辺 700e:第4辺
701:側板 701a:第1側板 701b:第2側板 701c:第3側板
702:入口 703:庇 704:大容量エリア
71:移動手段 710:スピンドル 711:アーム 712:モータ
713:ハウジング 714:調節手段 715:回転軸
72:ノズル 720:噴射口
8:エア源 9:水源
A:搬出入領域 B:加工領域 M:二流体 Ma:二流体の渦
W:被加工物 Wa:被加工物の上面
Claims (4)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物の上面を加工具で加工する加工手段と、
エアと水とを混合した二流体を該被加工物の上面に向かって噴射させるノズルを有し、該ノズルが噴射する二流体によって該被加工物の上面を洗浄する洗浄手段と、
該チャックテーブルを囲繞し水を受け止めて排水口から排水するウォーターケースと、を備える加工装置であって、
該洗浄手段は、
該チャックテーブルに隣接し該ノズルが噴射した該二流体を受け止め気液分離する気液分離手段と、
該ノズルを該保持面の上方の領域の内外に水平移動させる移動手段と、を備え、
該ノズルの噴射方向は、該保持面に対する垂直方向から斜めに傾けられ、
該二流体は、該保持面の中心側から該気液分離手段に向かい、
該気液分離手段は、天板と、該天板から垂下する複数の側板と、該二流体が進入する入口と、を備え、
該入口から入った該二流体を該側板と該天板とに当てて、水とエアとに気液分離し、該エアは大気開放させ、該水は該排水口から排水させる加工装置。 - 該気液分離手段は、該入口の上辺から下方向に延びる庇を備え、
該入口から入った該二流体が該側板、該天板、該庇の順に当たり、該二流体の渦を形成させ気液分離する請求項1記載の加工装置。 - 該気液分離手段は、該入口から遠ざかったところに容積が広いエリアを備え、該入口から入った該二流体が該広いエリアで流速を落とし気液分離させる請求項1または請求項2のいずれかに記載の加工装置。
- 該洗浄手段は、該チャックテーブルの該保持面を洗浄する請求項1記載の加工装置。
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