JP6783624B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の洗浄装置は、該回転軸の外周面に該供給管の開口が設けられ、該オイルシールは、該回転軸の外周面の該供給管の開口よりも該開放管寄りの位置に接触してもよい。
2 チャックテーブル
3 回転軸ユニット
4 軸部
5 ベアリング部
6 洗浄流体供給ノズル(ノズル)
7 エア供給ノズル
8 洗浄室チャンバ
81 洗浄室本体
812 底壁(底部)
814 開口
83 カバー部材
833 内側壁(筒状壁)
86 シール部材
861 環状本体部
862 延在部
9 排気ユニット
100 加工装置
110 チャックテーブル
111a 保持面
120 X軸移動手段
130 切削手段
140 Y軸移動手段
150 Z軸移動手段
W ウエーハ(被加工物)
Claims (2)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転可能に支持するベアリング部と軸部とを備える回転軸ユニットと、該チャックテーブルに保持された被加工物に洗浄液を供給するノズルと、該チャックテーブルと該ノズルとを収容し洗浄室を形成する洗浄室チャンバと、該洗浄室チャンバの雰囲気を排出する排気ユニットと、を備える洗浄装置であって、
該洗浄室チャンバは、
該チャックテーブルを裏側から支持する該回転軸ユニットの該軸部の先端が突出する開口を底部に備え、
該洗浄室チャンバに該開口から雰囲気が侵入するのを防ぐシール部材が該開口の周囲に立設する筒状壁に装着され、
該シール部材は、該筒状壁に装着される環状本体部と、該環状本体部から延出する延在部を有し、該延在部の上端が該チャックテーブルの裏側に接触し、
該ベアリング部は、該軸部の回転軸を軸支するベアリングと、該洗浄室チャンバに固定されかつ該ベアリングが内側に固定されたケースと、該ケースを貫通した開放管と、を備え、
該チャックテーブルは、該保持面に負圧を作用させる吸引ユニットを備え、該吸引ユニットが、該軸部の回転軸内に配置されかつ該保持面と連通した供給管と、該ケースに形成された開口であって真空吸引源で気体を吸引する負圧供給口と、を備え、
該ケースの内周面に該負圧供給口と連通する開口が設けられ、
該回転軸の外周面と該ケースの内周面との間の隙間に、該ケースの内周面の該負圧供給口と連通する開口と該開放管の開口との間に接触したオイルシールが設置されていることを特徴とする洗浄装置。 - 該回転軸の外周面に該供給管と連通する開口が設けられ、
該オイルシールは、該回転軸の外周面の該供給管と連通する開口よりも該開放管の開口寄りの位置に接触していることを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
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