JP7144315B2

JP7144315B2 - 清掃治具

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Description

本発明は、洗浄装置の内壁を清掃する清掃治具に関する。

従来、被加工物に対して切削加工、研削加工もしくはレーザー加工を行う加工装置が知られている。この種の加工装置では、被加工物に付着した切削屑や研削屑、または、加工に利用した保護膜等を除去する目的で被加工物を洗浄する洗浄装置を備えた構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。洗浄装置は、被加工物を回転自在に保持するスピンナテーブルと、このスピンナテーブルを囲う円筒状のカバー部材とを備えている。洗浄装置は、カバー部材の中で被加工物に洗浄水を供給しつつスピンナテーブルを回転させることにより、洗浄水やコンタミ等の加工屑がカバー部材の外部に飛散しないように被加工物の洗浄を行っている。

特開２０１０－２１３９７号公報

しかしながら、上記した洗浄装置では、洗浄水や加工屑が飛散してカバー部材の内壁に付着する。このため、カバー部材を定期的に清掃しないと、カバー部材に付着した加工屑が被加工物の上に落下する等して被加工物に悪影響を及ぼす可能性がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、カバー部材の内壁を洗浄する清掃治具を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、スピンナテーブルと、該スピンナテーブルを回転可能に支持するモーターと、該スピンナテーブルを囲う円筒状のカバー部材とを備え、該スピンナテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給して該被加工物を洗浄する洗浄装置の該カバー部材の内壁を清掃する清掃治具であって、該スピンナテーブルに保持され、該スピンナテーブルとともに回転するクラッチ板と、該カバー部材の上面よりも直径が大きく、該カバー部材の上面に載置することで固定され、該クラッチ板と対向する面に固定歯車を備える上板と、該クラッチ板から立設し、該上板に回転可能に支持され、該クラッチ板の回転とともに回転する第１のシャフトと、該第１のシャフトに固定され、該第１のシャフトから該カバー部材の内壁に向かって該カバー部材の内壁に接触しない位置まで延在し、該第１のシャフトの回転とともに回転する支持手段と、該支持手段に回転可能に支持される第２のシャフトと、該第２のシャフトの一端に設けられ、該固定歯車と噛み合って自転しながら該支持手段の回転に伴い移動する回転歯車と、該第２のシャフトの他端に設けられ、該カバー部材の内壁に接触し該回転歯車の回転に伴い回転する洗浄手段と、該洗浄手段に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、を備えるものである。

この構成において、該第１のシャフトには第２の回転歯車がさらに設けられ、該洗浄水供給手段は、清掃に要する量の洗浄水が充填された洗浄水供給容器と、該洗浄水供給容器と第１の供給チューブを介して連通する歯車ポンプと、該歯車ポンプから該洗浄手段に洗浄水を供給する第２の供給チューブと、該歯車ポンプに備えられる一方の歯車と連なる第３のシャフトと、該第３のシャフトに設けられて、該第１のシャフトに設けられた該第２の回転歯車と噛み合うことで歯車ポンプを駆動させる第３の回転歯車とを備えてもよい。

本発明によれば、カバー部材の内壁に接触し、スピンナテーブルの回転力を利用して回転する洗浄手段を備えることにより、該洗浄手段を回転駆動させる特別な機構を設けることなくカバー部材の内壁を清掃することができる。

図１は、本実施形態に係る清掃治具が用いられる洗浄装置の構成例を示す斜視図である。図２は、本実施形態に係る清掃治具の側面図である。図３は、清掃治具の平面図である。図４は、清掃治具の洗浄水供給手段を示す部分拡大図である。図５は、清掃治具を用いて洗浄装置のカバー部材の内壁を清掃している状態を示す図である。図６は、別の実施形態に係る清掃治具の側面図である。図７は、歯車ポンプの構成例を示す斜視図である。図８は、変形例に係る清掃治具の側面図である。図９は、洗浄ブラシの構成例を示す斜視図である。図１０は、洗浄ブラシの構成例を示す側断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

本実施形態に係る清掃治具が用いられる洗浄装置について説明する。図１は、本実施形態に係る清掃治具が用いられる洗浄装置の構成例を示す斜視図である。洗浄装置１００は、被加工物に対して切削加工を行う切削装置や研削加工を行う研削装置（研削研磨装置を含む）に設けられ、切削加工または研削加工後の被加工物を洗浄して被加工物に付着した加工屑を除去している。また、洗浄装置１００は、被加工物に対してレーザー加工（アブレーション加工）を行うレーザー加工装置にも設けられる。レーザー加工を行う場合には、レーザー照射により溶融した被加工物の一部(デブリ)が被加工物に付着する現象が発生する。これを防ぐために加工前に被加工物の表面に水溶性樹脂からなる保護膜を塗布し、加工後の被加工物を洗浄して水溶性樹脂と共にデブリを除去している。

被加工物は、例えば、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板形状の半導体デバイスウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物は、表面に格子状に形成された分割予定ラインを有し、この分割予定ラインで区画された各領域にデバイスが形成されている。また、被加工物には、円板状のウエーハだけでなく、矩形板状に形成されたパッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板などが含まれる。

洗浄装置１００は、図１に示すように、被加工物を保持するスピンナテーブル１０１と、このスピンナテーブル１０１を鉛直軸と平行な軸心回りに回転する電動モーター（モーター）１０２と、スピンナテーブル１０１の周囲に配置される円筒状のカバー部材１０３とを備える。スピンナテーブル１０１は、円板状に形成されて表面（上面）の中央部にポーラスセラミック等から形成された吸着チャック１０１ａを備え、この吸着チャック１０１ａが図示しない吸引手段に連通されている。これにより、スピンナテーブル１０１は、吸着チャック１０１ａに載置された板状の被加工物を吸引することで該被加工物を保持する。

電動モーター１０２は、その駆動軸１０２ａの上端にスピンナテーブル１０１を連結し、このスピンナテーブル１０１を回転自在に支持する。電動モーター１０２の外周面には、複数（本実施の形態では３つ）のエアシリンダ１０４が取り付けられている。電動モーター１０２は、各エアシリンダ１０４から設置面に突き当てられたピストンロッド１０５によって支持されており、ピストンロッド１０５の伸縮によって昇降駆動される。これにより、スピンナテーブル１０１及び電動モーター１０２は、複数のエアシリンダ１０４によって昇降駆動される。

カバー部材１０３の下端には水受部１０６が設けられている。この水受部１０６は、カバー部材１０３の下端から径方向内側に延在する底壁１０６ａと、底壁１０６ａの内縁から立ち上がる立壁１０６ｂとを備えて環状に形成されている。水受部１０６は、被加工物の表面を洗浄する際に該表面に供給される洗浄水（例えば純水）の余剰量を受けるものである。底壁１０６ａには、排液口１０７が設けられ、この排液口１０７にドレンホース１０８が接続されている。

また、洗浄装置１００は、スピンナテーブル１０１上に保持された被加工物に洗浄水を供給する洗浄水ノズル１０９を備えている。この洗浄水ノズル１０９は、ノズル開口がスピンナテーブル１０１の中央上方に位置する作動位置と、スピンナテーブル１０１から外れた退避位置とに移動自在に構成される。洗浄水ノズル１０９は、図示を省略した洗浄水供給源に接続されている。なお、洗浄装置１００をレーザー加工装置に設ける場合、洗浄装置１００は、スピンナテーブル１０１上に保持された被加工物の表面に水溶性の保護膜樹脂（例えば、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）やポリエチレングリコール（ＰＥＧ））を供給する保護膜樹脂供給ノズルを備えてもよい。この保護膜樹脂は、液状樹脂であり、スピンナテーブル１０１の回転に伴う遠心力によって被加工物の表面全域に塗布され、その後、乾燥させることで被加工物の表面に水溶性の保護膜を形成できる。

上記した洗浄装置１００は、スピンナテーブル１０１上に保持された被加工物に洗浄水を供給しつつ、このスピンナテーブル１０１を回転させることで被加工物の洗浄を行っている。スピンナテーブル１０１の周囲には、カバー部材１０３が配置されているため、洗浄水や被加工物に付着した加工屑などがカバー部材１０３の外部に飛散することを防止している。一方で、カバー部材１０３の内壁１０３ａには、飛散した洗浄水や加工屑が付着するため、カバー部材１０３の内壁１０３ａを定期的に清掃する必要がある。次に、洗浄装置１００のカバー部材１０３の内壁１０３ａを清掃する清掃治具について説明する。

図２は、本実施形態に係る清掃治具の側面図である。図３は、清掃治具の平面図である。なお、図３では、清掃治具の上板を想像線で示している。清掃治具１０は、図２及び図３に示すように、円板状に形成されたクラッチ板１１を備える。このクラッチ板１１は、洗浄装置１００のスピンナテーブル１０１（図１）と同等の大きさに形成され、洗浄装置１００を清掃する際にスピンナテーブル１０１上に吸引保持されて、該スピンナテーブル１０１とともに回転する。なお、クラッチ板１１の大きさは、必ずしもスピンナテーブル１０１と同等でなくてもよく、スピンナテーブル１０１で吸引可能であれば適宜調整可能である。

クラッチ板１１の上面１１ａの中心には、鉛直方向に延びる第１のシャフト１２が立設されてクラッチ板１１とともに回転する。この第１のシャフト１２の上部には、ベアリング（軸受）１３を介して上板１４が第１のシャフト１２に対して相対的に回転可能に支持されている。

上板１４は、洗浄装置１００のカバー部材１０３（図１）の外径よりも直径が大きな円板状に形成される。この上板１４の中心にベアリング１３が設けられ、該ベアリング１３に第１のシャフト１２が支持される。上板１４は、清掃治具１０を洗浄装置１００に取り付けた際に、カバー部材１０３の上端面に載置されて固定される。上板１４は、クラッチ板１１と対向する下面１４ａに取り付けられた固定歯車１５を備える。この固定歯車１５は、円環状部材の内周面にギア１５ａが形成された内歯歯車である。固定歯車１５は、第１のシャフト１２と同心円上に配置されてカバー部材１０３の内径よりも小さな外径を有する。

また、第１のシャフト１２には、クラッチ板１１と上板１４との間に固定され、第１のシャフト１２を中心とした径方向に延在する支持アーム（支持部材）１６が設けられている。この支持アーム１６は、第１のシャフト１２からカバー部材１０３の内壁１０３ａ（図１）に向かってそれぞれ延在し、支持アーム１６の各先端１６ａは、カバー部材１０３の内壁１０３ａに接触しないようになっている。支持アーム１６は、第１のシャフト１２とともに回転する。

支持アーム１６の先端１６ａの近くには、それぞれベアリング（軸受）１７を介して回転自在に支持される第２のシャフト１８が設けられる。これら第２のシャフト１８は、それぞれ第１のシャフト１２と略平行に鉛直方向に延びている。第２のシャフト１８の上端（一端）１８ａは、支持アーム１６の上側に位置し、この上端１８ａには回転歯車１９が嵌合されている。この回転歯車１９は、円板状部材の外周面にギア１９ａが形成された外歯歯車であり、上記した固定歯車１５と噛み合っている。このため、回転歯車１９（第２のシャフト１８）は、支持アーム１６（第１のシャフト１２）の回転に伴い、自転しながら固定歯車１５に沿って回転移動する。

一方、第２のシャフト１８の下端（他端）１８ｂは、支持アーム１６の下側に位置し、この下端１８ｂには洗浄ブラシ（洗浄手段）２０が嵌合されている。洗浄ブラシ２０は、例えば、カバー部材１０３よりも柔らかい弾性部材（樹脂材）で形成され、第２のシャフト１８とともに回転する。洗浄ブラシ２０は、外縁部２０ａが上板１４よりも径方向に突出する大きさに形成される。このため、清掃治具１０を洗浄装置１００に取り付けた際に、洗浄ブラシ２０は弾性変形して外縁部２０ａがカバー部材１０３の内壁１０３ａに接触する。この接触した状態で洗浄ブラシ２０を回転させることでカバー部材１０３の内壁１０３ａが清掃される。また、洗浄ブラシ２０は、カバー部材１０３よりも柔らかい弾性部材（樹脂材）で形成されることにより、内壁１０３ａが傷つくことを防止できる。なお、洗浄手段は、洗浄ブラシに限るものではなく、カバー部材１０３よりも柔らかく、弾性変形するものであればスポンジを用いることもできる。図２から図６及び図８において、洗浄ブラシ２０（洗浄手段）は、方形または円形の外形線で表現しているが、実際には図９及び図１０に示すように、第２のシャフト１８が嵌合する芯材９０と、この芯材９０から径方向に放射状に延在するナイロンや樹脂からなるブラシ繊維９１とで形成されていてもよい。

また、清掃治具１０は、洗浄ブラシ２０に洗浄水（例えば純水）を供給する洗浄水供給手段３０を備える。図４は、清掃治具の洗浄水供給手段を示す部分拡大図である。洗浄水供給手段３０は、図４に示すように、第１のシャフト１２の上端に設けられた給水口３１と、第１のシャフト１２内に形成されて給水口３１に連通する第１供給路３２と、第１供給路３２に連通して支持アーム１６内に形成される第２供給路３３とを備える。この給水口３１は、例えば、ロータリジョイント（不図示）を介して、第１のシャフト１２の上端に接続され、第１のシャフト１２の回転に追従しないようになっている。

第２供給路３３の終端３３ａは、支持アーム１６の第１のシャフト１２側に露出している。この終端３３ａには、給水チューブ３４の一端３４ａが接続され、他端３４ｂは、支持アーム１６の第２のシャフト１８側に設けられた第３供給路３５の接続口３５ａに接続される。この第３供給路３５は、支持アーム１６内をベアリング１７の周囲に沿って先端１６ａ側に延び、洗浄ブラシ２０の上方に開口する供給口３５ｂを備えている。

また、給水口３１には、給水管３６を介して給水源３７に接続される。この給水源３７は、例えば、洗浄装置１００の洗浄水ノズル１０９に洗浄水を供給する洗浄水供給源（不図示）を用いることができ、洗浄水を所定の圧力で送水するポンプ（不図示）を備えている。本実施形態では、給水源３７から送られた洗浄水は、給水管３６、給水口３１、第１供給路３２、第２供給路３３、給水チューブ３４、第３供給路３５を通じ、この第３供給路３５の供給口３５ｂから洗浄水３８が洗浄ブラシ２０に供給される。洗浄水供給手段は、洗浄ブラシ２０に洗浄水を供給できる構成であれば適宜変更が可能である。例えば供給口が図９及び図１０に示す芯材９０の内部に形成されていてもよい。また図１に示す洗浄水ノズル１０９が洗浄ブラシ２０に洗浄水を供給する用途としてもカバー部材１０３の内部に複数設置されており、これが洗浄ブラシ２０に洗浄水を供給してもよい。

次に、清掃治具１０の動作について説明する。図５は、清掃治具を用いて洗浄装置のカバー部材の内壁を清掃している状態を示す図である。本実施形態では、図５に示すように、清掃治具１０は、エアシリンダ１０４によってスピンナテーブル１０１を降下させた位置で洗浄装置１００に取り付けられる。清掃治具１０を洗浄装置１００に取り付けると、スピンナテーブル１０１上にクラッチ板１１が載置され、このクラッチ板１１はスピンナテーブル１０１に吸引保持される。また、清掃治具１０の上板１４は、カバー部材１０３の上端面に載置されて固定される。この場合、上板１４とカバー部材１０３の上端面との間に摩擦係数の高いシート（例えばゴムシート）を介在させたり、上板１４をカバー部材１０３に固定具（例えば粘着テープ）で固定してもよい。また、洗浄ブラシ２０は弾性変形して、外縁部２０ａがカバー部材１０３の内壁１０３ａに接触する。

清掃治具１０が洗浄装置１００に取り付けられた状態で、給水源３７から洗浄水供給手段３０を通じて、洗浄ブラシ２０に洗浄水３８を供給しつつ、スピンナテーブル１０１を所定方向に回転させる。スピンナテーブル１０１が回転すると、クラッチ板１１、第１のシャフト１２及び支持アーム１６がスピンナテーブル１０１とともに回転する。一方、支持アーム１６には、下端１８ｂに洗浄ブラシ２０が連結された第２のシャフト１８が回転自在に設けられ、この第２のシャフト１８の上端１８ａには外歯歯車からなる回転歯車１９が設けられている。この回転歯車１９は、上板１４に設けられた内歯歯車からなる固定歯車１５と噛み合うため、支持アーム１６が回転することにより、洗浄ブラシ２０（第２のシャフト１８）は、上記した所定の回転方向と反対方向に自転しながら固定歯車１５に沿って回転移動する。これにより、洗浄ブラシ２０か自転（回転）することでカバー部材１０３の内壁１０３ａに付着した洗浄水や加工屑を除去し、この内壁１０３ａを清掃することができる。さらに、本実施形態では、清掃治具１０は、スピンナテーブル１０１の回転力を利用するため、洗浄ブラシ２０を回転駆動させる特別な機構を設ける必要がなく、清掃治具１０の構成の簡素化を実現できる。洗浄に要した洗浄水及び除去された加工屑は、水受部１０６に溜められ、ドレンホース１０８（図１）を通じて排出される。

次に、別の実施形態について説明する。図６は、別の実施形態に係る清掃治具の側面図である。図７は、歯車ポンプの構成例を示す斜視図である。上記した実施形態では、所定の圧力で送水できる給水源３７から洗浄水を供給する構成としたが、この種の給水源３７を常に利用できる環境にあるとは限らず、例えば、バケツやタンクに貯留された洗浄水を利用する場合も想定される。このため、この別の実施形態に係る清掃治具５０の洗浄水供給手段６０は、スピンナテーブル１０１の回転力を利用して、バケツやタンクに貯留された洗浄水を汲み上げる歯車ポンプを備えた構成としている。上記した実施形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。また、洗浄水供給手段６０における給水口３１から下流側は図４に記載した構成と同一のものとする。

清掃治具５０は、図６に示すように、第１のシャフト１２に嵌合される第２の回転歯車２１を備える。この第２の回転歯車２１は、円板状部材の外周面にギア２１ａが形成された外歯歯車であり、上板１４と支持アーム１６との間に設けられている。この第２の回転歯車２１は、第１のシャフト１２とともに回転する。

また、洗浄水供給手段６０は、バケツやタンクなどの洗浄水供給容器６１と、この洗浄水供給容器６１内に投入された第１の供給チューブ６２と、この第１の供給チューブ６２に接続される歯車ポンプ６３と、この歯車ポンプ６３と給水口３１とを繋ぐ第２の供給チューブ６４とを備える。洗浄水供給容器６１には、清掃に要する量の洗浄水が貯留（充填）されている。

歯車ポンプ６３は、図７に示すように、ケーシング７０と、このケーシング７０内に収容された駆動ギア（一方の歯車）７１と、駆動ギア７１と噛み合う従動ギア７２とを備えている。歯車ポンプ６３は、駆動ギア７１及び従動ギア７２が回転することにより、ケーシング７０と駆動ギア７１及び従動ギア７２との隙間を通じて洗浄水を移送することで該洗浄水を洗浄水供給容器６１から汲み上げる。

洗浄水供給手段６０は、駆動ギア７１に連結される第３のシャフト６５と、この第３のシャフト６５に嵌合する第３の回転歯車６６とを備える。この第３の回転歯車６６は、円板状部材の外周面にギア６６ａが形成された外歯歯車であり、第２の回転歯車２１と噛み合っている。また、第３のシャフト６５は、第１のシャフト１２と略平行に鉛直方向に延びており、ベアリング（軸受）２２を介して、上板１４に回転自在に支持さている。

本実施形態では、スピンナテーブル１０１が回転すると、クラッチ板１１、第１のシャフト１２及び第２の回転歯車２１がスピンナテーブル１０１とともに回転する。これにより、第２の回転歯車２１と噛み合う第３の回転歯車６６及び第３のシャフト６５が回転するため、第３のシャフト６５に連結される駆動ギア７１及び従動ギア７２が回転する。従って、スピンナテーブル１０１の回転力を利用して、洗浄水供給容器６１に貯留された洗浄水を汲み上げて、カバー部材１０３の内壁１０３ａを清掃することができる。

以上、本実施形態によれば、スピンナテーブル１０１と、スピンナテーブル１０１を回転可能に支持する電動モーター１０２と、スピンナテーブル１０１を囲う円筒状のカバー部材１０３とを備え、スピンナテーブル１０１に保持された被加工物に洗浄水を供給して被加工物を洗浄する洗浄装置１００のカバー部材１０３の内壁１０３ａを清掃する清掃治具１０であって、スピンナテーブル１０１に保持され、スピンナテーブル１０１とともに回転するクラッチ板１１と、カバー部材１０３の上面よりも直径が大きく、カバー部材１０３の上端面に載置することで固定され、クラッチ板１１と対向する下面１４ａに固定歯車１５を備える上板１４と、クラッチ板１１から立設し、上板１４に回転可能に支持され、クラッチ板１１の回転とともに回転する第１のシャフト１２と、第１のシャフト１２に固定され、第１のシャフト１２からカバー部材１０３の内壁１０３ａに向かってカバー部材１０３の内壁１０３ａに接触しない位置まで延在し、第１のシャフト１２の回転とともに回転する支持アーム１６と、支持アーム１６に回転可能に支持される第２のシャフト１８と、第２のシャフト１８の上端１８ａに設けられ、固定歯車１５と噛み合って自転しながら支持アーム１６の回転に伴い移動する回転歯車１９と、第２のシャフト１８の下端１８ｂに設けられ、カバー部材１０３の内壁１０３ａに接触し回転歯車１９の回転に伴い回転する洗浄ブラシ２０と、洗浄ブラシ２０に洗浄水を供給する洗浄水供給手段３０（６０）とを備えるため、洗浄ブラシ２０を回転駆動させる特別な機構を設けることなくカバー部材１０３の内壁１０３ａを清掃することができる。

また、本実施形態によれば、第１のシャフト１２には第２の回転歯車２１がさらに設けられ、洗浄水供給手段６０は、清掃に要する量の洗浄水が充填された洗浄水供給容器６１と、洗浄水供給容器６１と第１の供給チューブ６２を介して連通する歯車ポンプ６３と、歯車ポンプ６３から給水口３１に洗浄水を供給する第２の供給チューブ６４と、歯車ポンプ６３に備えられる駆動ギア７１と連なる第３のシャフト６５と、第３のシャフト６５に設けられて、第１のシャフト１２に設けられた第２の回転歯車２１と噛み合うことで歯車ポンプ６３を駆動させる第３の回転歯車６６とを備えるため、スピンナテーブル１０１の回転力を利用して、洗浄水供給容器６１に貯留された洗浄水を汲み上げて、カバー部材１０３の内壁１０３ａを清掃することができる。

次に、変形例に係る清掃装置について説明する。図８は、変形例に係る清掃治具の側面図である。上記した実施形態に係る清掃治具１０と同一の構成については同一の符号を付して説明を省略する。変形例に係る清掃治具８０は、図８に示すように、上板１４の下面１４ａに設けられた固定歯車８５の構成が異なる。変形例では、固定歯車８５は、円板状部材の外周面にギア８５ａが形成された外歯歯車であり、上記した回転歯車１９と噛み合っている。この変形例では、スピンナテーブル１０１の回転に伴い、クラッチ板１１、第１のシャフト１２及び支持アーム１６がスピンナテーブル１０１とともに所定方向に回転する。一方、支持アーム１６には、下端１８ｂに洗浄ブラシ２０が連結された第２のシャフト１８が回転自在に設けられ、この第２のシャフト１８の上端１８ａには外歯歯車からなる回転歯車１９が設けられている。この回転歯車１９は、上板１４に設けられた外歯歯車からなる固定歯車８５と噛み合うため、支持アーム１６が回転することにより、洗浄ブラシ２０（第２のシャフト１８）は、上記した所定の回転方向と同一方向に自転しながら固定歯車８５に沿って回転移動する。この変形例によっても、スピンナテーブル１０１の回転力を利用することにより、洗浄ブラシ２０を回転駆動させる特別な機構を設けることなくカバー部材１０３の内壁１０３ａを清掃することができる。

なお、この変形例に係る清掃治具８０に上記した別の実施形態に係る歯車ポンプ６３を備えた構成とすることもできる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上記した実施形態及び変形例では、各回転歯車をシャフトに嵌合する構成について説明したが、これに限るものではなく、回転歯車をシャフトと一体に形成したり、回転歯車とシャフトとを溶接などの固定手段によって固定することにより、回転歯車がシャフトに設けられていればよい。

１０、５０、８０清掃治具
１１クラッチ板
１２第１のシャフト
１４上板
１４ａ下面（クラッチ板に対向する面）
１５固定歯車
１５ａギア
１６支持アーム（支持部材）
１６ａ先端
１８第２のシャフト
１８ａ上端（一端）
１８ｂ下端（他端）
１９回転歯車
１９ａギア
２０洗浄ブラシ（洗浄手段）
２０ａ外縁部
２１第２の回転歯車
２１ａギア
３０、６０洗浄水供給手段
３１給水口
３２第１供給路
３３第２供給路
３４給水チューブ
３５第３供給路
３５ｂ供給口
３７給水源
６１洗浄水供給容器
６２第１の供給チューブ
６３歯車ポンプ
６４第２の供給チューブ
６５第３のシャフト
６６第３の回転歯車
６６ａギア
７０ケーシング
７１駆動ギア（一方の歯車）
７２従動ギア
８５固定歯車
８５ａギア
１００洗浄装置
１０１スピンナテーブル
１０２電動モーター（モーター）
１０３カバー部材
１０３ａ内壁

Claims

スピンナテーブルと、該スピンナテーブルを回転可能に支持するモーターと、該スピンナテーブルを囲う円筒状のカバー部材とを備え、該スピンナテーブルに保持された被加工物に洗浄水を供給して該被加工物を洗浄する洗浄装置の該カバー部材の内壁を清掃する清掃治具であって、
該スピンナテーブルに保持され、該スピンナテーブルとともに回転するクラッチ板と、
該カバー部材の上面よりも直径が大きく、該カバー部材の上面に載置することで固定され、該クラッチ板と対向する面に固定歯車を備える上板と、
該クラッチ板から立設し、該上板に回転可能に支持され、該クラッチ板の回転とともに回転する第１のシャフトと、
該第１のシャフトに固定され、該第１のシャフトから該カバー部材の内壁に向かって該カバー部材の内壁に接触しない位置まで延在し、該第１のシャフトの回転とともに回転する支持手段と、
該支持手段に回転可能に支持される第２のシャフトと、
該第２のシャフトの一端に設けられ、該固定歯車と噛み合って自転しながら該支持手段の回転に伴い移動する回転歯車と、
該第２のシャフトの他端に設けられ、該カバー部材の内壁に接触し該回転歯車の回転に伴い回転する洗浄手段と、
該洗浄手段に洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、
を備えることを特徴とする清掃治具。
該第１のシャフトには第２の回転歯車がさらに設けられ、
該洗浄水供給手段は、清掃に要する量の洗浄水が充填された洗浄水供給容器と、
該洗浄水供給容器と第１の供給チューブを介して連通する歯車ポンプと、
該歯車ポンプから該洗浄手段に洗浄水を供給する第２の供給チューブと、
該歯車ポンプに備えられる一方の歯車と連なる第３のシャフトと、
該第３のシャフトに設けられて、該第１のシャフトに設けられた該第２の回転歯車と噛み合うことで歯車ポンプを駆動させる第３の回転歯車と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の清掃治具。