JP2009277925A - クリーニング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送ユニット(35)の吸引部(36)によりウェーハ(20)の裏面(22)が吸引されるときに、ウェーハの表面(21)に貼付けられた保護フィルム(3)を洗浄する第一洗浄手段(50)と、ウェーハを吸引していないときの搬送ユニットの吸引部を洗浄する第二洗浄手段(60)と、第一洗浄手段を第二洗浄手段に対して相対的に昇降させる昇降手段(46)とを具備するクリーニング装置(40)が提供される。第一洗浄手段の第一洗浄部材(55)はスポンジまたはブラシであり、第二洗浄手段の第二洗浄部材(65)は砥石であるのが好ましい。
【選択図】図3
Description
裏面研削時に生ずるスラッジ等は通常は保護フィルムの中心部分まで到達しないので、ウェーハの縁部付近のみを洗浄できれば十分である。すなわち2番目の発明においては、第一洗浄部材を小型にすることができ、従って、クリーニング装置全体を軽量化できる。
すなわち3番目の発明においては、比較的簡易な構成により、第一洗浄部材を形成し、保護フィルムに付着したスラッジ等を容易に洗浄できる。
すなわち4番目の発明においては、第一洗浄手段による保護フィルムの洗浄の効果を高めることができる。
すなわち5番目の発明においては、第一洗浄手段による洗浄後に気体を供給して、保護フィルムを乾燥させられる。
すなわち6番目の発明においては、第二洗浄部材がウェーハに対して周回し、第二洗浄部材自体が回転しているので搬送ユニットの吸引部を均等に洗浄することができる。また、ウェーハの中心回りに第一洗浄部材が回転可能で第二洗浄部材が周回可能であるので、クリーニング装置をさらに小型化できる。
すなわち7番目の発明においては、比較的簡易な構成により、第二洗浄部材を形成し、吸引部に付着したスラッジ等を研磨により除去することができる。
図1(a)は本発明に係るクリーニング装置を備えたウェーハ処理装置の略平面図である。ウェーハ処理装置10には、複数の回路パターンが形成された表面21が保護フィルム3により保護されている複数のウェーハ20がカセット11aから供給されるものとする。
20 ウェーハ
21 表面
22 裏面
35 搬送ユニット
36 吸引部
39 スピンナー洗浄機
40 クリーニング装置
41 ハウジング
42 開口部
43 中間プレート
43a 排出孔
44 シャフト
44a 内部通路
44b 接続口
45 モータ
46 エアシリンダ(昇降手段)
47a、47b スライダ
48a、48b ロッド
49 排出管
50 第一洗浄ユニット
51 スリーブ
52 アーム
55 第一洗浄部材
56 配管
60 第二洗浄ユニット
61 中央スリーブ
62 太陽歯車
63 遊星歯車
64 ターンテーブル
65 第二洗浄部材
66 スリーブ
67 ロッド
68 周囲カバー
71 液体供給ノズル(液体供給手段)
75 気体供給管(気体供給手段)
76 閉鎖部
Claims (7)
- 搬送ユニットの吸引部によりウェーハの裏面が吸引されるときに、前記ウェーハの表面に貼付けられた保護フィルムを洗浄する第一洗浄手段と、
前記ウェーハを吸引していないときに前記搬送ユニットの前記吸引部を洗浄する第二洗浄手段と、
前記第一洗浄手段を前記第二洗浄手段に対して相対的に昇降させる昇降手段とを具備するクリーニング装置。 - 前記第一洗浄手段は、前記ウェーハの直径の両端部に対応した二つの第一洗浄部材を含んでおり、これら第一洗浄部材は前記ウェーハの中心回りに回転可能に配置される、請求項1に記載のクリーニング装置。
- 前記第一洗浄部材がスポンジまたはブラシである請求項2に記載のクリーニング装置。
- さらに、前記第一洗浄手段による洗浄時に、液体を前記ウェーハに供給する液体供給手段を具備する請求項1から3のいずれかに記載のクリーニング装置。
- さらに、前記液体供給手段により液体を供給した後で、気体を前記ウェーハに供給する気体供給手段を具備する請求項4に記載のクリーニング装置。
- 前記第二洗浄手段は、前記ウェーハの半径に概ね等しい長さの二つの第二洗浄部材を含んでおり、これら第二洗浄部材は該第二洗浄部材の中心回りに回転可能でかつ前記ウェーハの中心周りに周回可能に配置される請求項1から5のいずれか一項に記載のクリーニング装置。
- 前記第二洗浄部材は砥石である請求項6に記載のクリーニング装置。
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