JP7173810B2 - 保持テーブル及び洗浄装置 - Google Patents
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Description
または、従来の保持テーブルは、吸引源が生み出す吸引力で枠体上に多孔質材をバキューム固定する構成となっていた(例えば、特許文献2参照)。
よって保持テーブルにおいては、接着剤の劣化等に起因した保持テーブルの破損を防止するという課題がある。
枠体31には凹部310の外周側の底にねじ穴315が周方向に均等間隔を空けて複数(例えば8つ)形成されている。
なお、係合部302は、保持部30の外周縁全周に段差を備えるように円環状に切り欠いて形成したものであってもよい。
なお、固定クランプ36は、振り子式のものに限定されず、メカニカルクランプであってもよい。
まず、図7に示すように、搬入高さ位置に位置付けられた状態の保持テーブル3の中心と被加工物WSの中心とが略合致するように、被加工物WSが、テープT側を下に向けて保持面30a上に載置される。そして、図8に示すように、吸引源39により生み出される吸引力が保持面30aに伝達されることにより、表面Waが上方に向かって露出した状態でワークWが保持テーブル3によって吸引保持される。なお、保持面30aは例えばテープTで覆われるため、バキュームリークは生じない。
次いで、ワークWを吸引保持する保持テーブル3が、図9に示すように、ケーシング5内における洗浄作業高さ位置まで下降する。
一方、本発明に係る洗浄装置1では、保持テーブル3は、保持部30を枠体31にねじ止めしていることで、保持部30固定用の吸引力を伝達するための吸引路を洗浄装置1に設ける必要がないため、上記スペース確保の問題が発生しない。また、2種類の吸引経路をそれぞれ例えば回転手段4の側面においてシールする必要も無くなる。
30:保持部 30a:保持面 302:係合部
31:枠体 310:凹部 311:吸引路 312:吸引溝 315:ねじ穴
34:段付きねじ 340:円柱部 341:ヘッド部
39:吸引源 390:配管 391:ソレノイドバルブ
W1:ウェーハ WS:被加工物 W:ワーク T:テープ F:環状フレーム
1:洗浄装置
3:保持テーブル 36:固定クランプ 4:回転手段 5:ケーシング
6:洗浄液供給手段 60:ノズルアーム 61:洗浄液ノズル 62:エアブローノズル
Claims (6)
- 被加工物を保持する保持テーブルであって、
該被加工物を保持する保持面を含む多孔質材からなる保持部と、
該保持部を収容する凹部が形成されるとともに一端が該保持部に連通し他端が吸引源に接続された吸引路が形成された枠体と、を備え、
該枠体には該凹部の外周側の底にねじ穴が形成され、該保持部の外周縁に該ねじ穴に対応した係合部が形成され、該保持部は該枠体にねじで固定され、該保持面は該被加工物によって覆われるサイズに設定された、保持テーブル。 - 前記被加工物は、ワークと、ワークの裏面に貼着されたテープと、該テープの外周が貼着された環状フレームと、からなり、ワークは該保持面より小さく、該ねじは、該保持面においてワークが保持された際に該ワークと重ならない位置にある、
請求項1に記載の保持テーブル。 - 前記多孔質材は樹脂からなる、請求項1または2に記載の保持テーブル。
- 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルを回転させる回転手段と、該保持テーブルで保持された該被加工物に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えた洗浄装置であって、
該保持テーブルは、該被加工物を保持する保持面を含む多孔質材からなる保持部と、
該保持部を収容する凹部が形成されるとともに一端が該保持部に連通し他端が吸引源に接続された吸引路が形成された枠体と、を備え、
該枠体には該凹部の外周側の底にねじ穴が形成され、該保持部の外周縁に該ねじ穴に対応した係合部が形成され、該保持部は該枠体にねじで固定され、該保持面は該被加工物によって覆われるサイズに設定された、洗浄装置。 - 前記被加工物は、ワークと、ワークが貼着されたテープと、該テープの外周が貼着された環状フレームと、からなり、ワークは該保持面より小さく、該ねじは、該保持面においてワークが保持された際に該ワークと重ならない位置にある、請求項4に記載の洗浄装置。
- 前記保持部を構成する前記多孔質材は樹脂からなる、請求項4または5に記載の洗浄装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018180032A JP7173810B2 (ja) | 2018-09-26 | 2018-09-26 | 保持テーブル及び洗浄装置 |
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JP2020053508A JP2020053508A (ja) | 2020-04-02 |
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Citations (3)
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---|---|---|---|---|
JP2005177901A (ja) | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Yoshioka Seiko:Kk | チャックテーブル |
JP2015154063A (ja) | 2014-02-19 | 2015-08-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 洗浄装置、剥離システム、洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2017037992A (ja) | 2015-08-11 | 2017-02-16 | 株式会社ディスコ | フレームユニット保持テーブル |
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- 2018-09-26 JP JP2018180032A patent/JP7173810B2/ja active Active
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