JPS58144834U - 回転乾燥機 - Google Patents
回転乾燥機Info
- Publication number
- JPS58144834U JPS58144834U JP1982042248U JP4224882U JPS58144834U JP S58144834 U JPS58144834 U JP S58144834U JP 1982042248 U JP1982042248 U JP 1982042248U JP 4224882 U JP4224882 U JP 4224882U JP S58144834 U JPS58144834 U JP S58144834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupling
- processing tank
- support
- rotary dryer
- rotating drum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の回転乾燥機の外観斜視図、第２図は上記
乾燥機における回転ドラム内の構造を示す斜視図、第３
図は上記乾燥機における駆動部の構造を示す断面図、第
４図はこの考案の一実施例に係る断面図である。 ２２・・・回転ドラム、２３・・・カップリング、２４
・・・凸部、２５・・・凹部、２６・・・処理槽、２６
ａ・・・底部、２８・・・開孔部、２９・・・垂直片、
３０・・・駆動モータ、３２・・・第１のＶリング、３
３・・・第２の■リング、３４・・・ストッパ。 □□□□□□□
乾燥機における回転ドラム内の構造を示す斜視図、第３
図は上記乾燥機における駆動部の構造を示す断面図、第
４図はこの考案の一実施例に係る断面図である。 ２２・・・回転ドラム、２３・・・カップリング、２４
・・・凸部、２５・・・凹部、２６・・・処理槽、２６
ａ・・・底部、２８・・・開孔部、２９・・・垂直片、
３０・・・駆動モータ、３２・・・第１のＶリング、３
３・・・第２の■リング、３４・・・ストッパ。 □□□□□□□
Claims (1)
- 複数の半導体ウェハを回転により乾燥させる回転乾燥機
において、処理槽と、内部に半導体ウェハを保持し、前
記処理槽内に設置される回転ドラムと、底部に凸部を有
すると共にこの凸部の外周部に環状の凹部を有し、上端
部において前記回転ドラムに固定されるカップリングと
、このカップリングの凸部が嵌合さ扛る開孔部を有する
と共にこの開孔部の周縁部に環状の垂直片を有し、前記
カップリングを支持するように前記処理槽の底部゛に設
けられたカップリング支持部と、このカップリング支持
部の下部に設けられ、前記回転ドラム及び前記カップリ
ングを回転駆動させる駆動手段と、前記カップリング支
持部の垂直片の外周部に嵌め込まれ、この垂直片と前記
カップリングとの間を密閉する第１の■リングと、前記
カップリングの外周部に嵌め込まれ、前記カップリング
と前記処理槽の底面部との間を密閉する第２のＶ ＩＪ
ソング、この第２の■リングの上方向へ移動を防止する
ように前記カップリングに固定されるストッパとを具備
したことを特徴とする回転乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982042248U JPS58144834U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 回転乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982042248U JPS58144834U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 回転乾燥機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58144834U true JPS58144834U (ja) | 1983-09-29 |
| JPS6221002Y2 JPS6221002Y2 (ja) | 1987-05-28 |
Family
ID=30053386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982042248U Granted JPS58144834U (ja) | 1982-03-25 | 1982-03-25 | 回転乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58144834U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180046376A (ko) * | 2016-10-27 | 2018-05-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 세정 장치 |
-
1982
- 1982-03-25 JP JP1982042248U patent/JPS58144834U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180046376A (ko) * | 2016-10-27 | 2018-05-08 | 가부시기가이샤 디스코 | 세정 장치 |
| JP2018073930A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | 株式会社ディスコ | 洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6221002Y2 (ja) | 1987-05-28 |
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