JP2015037147A - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
したがって、混合流体の噴霧に含まれウェーハの上面に落下してきた付着物を第二液体で洗い流すことができ、ウェーハの上面に付着物が再度付着するおそれを低減することができる。
図3に示すように、ウェーハWを仮置き部8に載置し、保持ベース3においてウェーハWを仮置きする。次いで、昇降手段52が飛散防止カバー50を上昇させ、クランプアーム100の作用部104から押下げ部51を離間させる。これにより、バネ部103の付勢力によってクランプアーム100が軸部102を支点に回転し、図4に示すように、クランプアーム100の溝部100aでウェーハWのエッジをクランプして保持する。
保持ステップを実施した後、モータ5が回転軸4を回転させ、保持手段2とともにウェーハWを所定の回転速度で回転させる。次いで、図4に示す混合流体噴射手段30によって、第一液体と気体とを混合させた2流体をウェーハWの上面Waに対して噴射する。
したがって、混合流体300の噴霧に含まれウェーハWの上面Waに落下してきた付着物を第二液体43で洗い流すことができ、ウェーハWの上面Waに付着物が再度付着するおそれを低減することができる。
6:電源プラグ 60:電源 7:エンコーダプラグ 70:エンコーダ 8:仮置き部
10:エッジクランプ 100:クランプアーム 100a:溝部 101:ベース部
102:軸部 103:バネ部 104:作用部
20:ケース 21:外周板 22:内周板 23:底板 24:スペース
30:混合流体噴射手段 300:混合流体 31:ノズル 32:旋回部
33:仕切り部 34:第一の流路 340:バルブ 35:第二の流路
350:バルブ 36:第三の流路 37:噴射口 38:第一液体供給源
39:エアー供給源
40:第二液体供給手段 41:ノズル 42:供給口 43:第二液体
50:飛散防止カバー 51:押下げ部 52:昇降手段 52a:シリンダ
52b:ロッド 53:昇降台 54:昇降部
W:ウェーハ Wa:上面
Claims (2)
- ウェーハを洗浄する洗浄装置であって、
ウェーハを回転可能に保持する保持手段と、
該保持手段で保持されるとともに回転するウェーハの上面に対し第一液体と気体との混合流体を噴射する混合流体噴射手段と、
該保持手段において保持され該混合流体噴射手段から該混合流体が噴射されるウェーハの上面に対し第二液体を供給する液体供給手段と、を備える洗浄装置。 - ウェーハを洗浄する洗浄方法であって、
前記保持手段でウェーハを保持する保持ステップと、
該保持手段を回転させつつウェーハの上面に対し第一液体と気体との混合流体を噴射する際にウェーハの上面に第二液体を供給して少なくともウェーハの上面を覆う第二液体層を形成する洗浄ステップと、を備え、
該洗浄ステップでは、該混合流体の噴射によって発生する噴霧がウェーハへ付着することを該第二液体層で防止する洗浄方法。
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