CN111451902A - 加工装置 - Google Patents

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Abstract

提供加工装置，将被加工物的清洗时所用的二流体快速地排出到加工室的外部。在从与保持面(50a)垂直的方向倾斜的喷嘴(72)朝向卡盘工作台(5)所保持的被加工物(W)的上表面(Wa)喷射二流体(M)而对被加工物(W)的上表面(Wa)进行清洗时，利用配设于卡盘工作台(5)与分隔板(161)之间的气液分离单元(70)的顶板(700)及侧板(701)将在被加工物(W)的上表面(Wa)上反射而朝向分隔板(161)的方向的二流体(M)接住并从配设于加工室(16)的底部的排出口(162)排出，从而防止二流体(M)成为喷雾而扩散到加工室(16)的内部的空间，削减二流体(M)的排出所花费的时间。

Description

加工装置
技术领域
本发明涉及对被加工物进行加工的加工装置。
背景技术
如专利文献1所示，对被加工物进行加工的加工装置具有清洗单元，该清洗单元用于在被加工物的加工后朝向被加工物喷射混合有水和空气的二流体而对被加工物进行清洗。
在使用了上述清洗单元的被加工物的清洗中，从借助移动单元从待机位置移动至清洗位置的二流体喷嘴朝向被加工物喷送二流体。从二流体喷嘴喷送的二流体的雾向加工室的内部的空间飞散，随着时间经过而从配设于加工室的排出口等排出到加工室的外部。如专利文献2所示，还存在一种加工装置，其从配设于加工室的供气风扇对加工室的内部进行送风，从而将从二流体喷嘴喷射而飞散到加工室的内部的雾强制性地排出到加工室的外部。
专利文献1：日本特开2011-200785号公报
专利文献2：日本特开2011-243833号公报
在利用二流体对被加工物进行清洗之后，定位于作为卡盘工作台的上方的清洗位置的清洗单元暂时从卡盘工作台的上方退避而移动至待机位置，但在使清洗单元移动至待机位置之前，需要使从二流体喷嘴喷出的二流体的喷雾从排出口等排出而从加工室的内部去除。其他驱动机构则待机直至清洗单元移动至待机位置为止，因此清洗单元向待机位置的移动成为障碍，例如会妨碍向作为下一工序的将清洗后的被加工物从卡盘工作台取下的作业等的进展。因此，存在如下的问题：清洗单元向待机位置的移动导致被加工物的加工作业整体所花费的时间延长，效率较低。
另外，关于通过使用上述那样的排气风扇的送风将从二流体喷嘴喷射而飞散到加工室的内部的雾强制性地排气的清洗单元，需要在加工装置中配设排气风扇及将排气风扇和清洗单元连结的管道等，磨削装置内部的空间被排气风扇及管道等占据，并且磨削装置整体的大小会增大。即，本发明要解决的课题是不借助大规模的排气风扇及管道等而快速地将在被加工物的清洗时从二流体喷嘴喷射而飞散到加工室内部的二流体排出到加工室的外部。
发明内容
本发明提供对被加工物进行加工的加工装置。
本发明是加工装置，其具有：卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；加工单元，其利用加工器具对该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面进行加工；清洗单元，其具有朝向该被加工物的上表面喷射将空气和水混合而得的二流体的喷嘴，通过该喷嘴所喷射的二流体对该被加工物的上表面进行清洗；以及水箱，其围绕该卡盘工作台，将水接住并从排水口排出，其中，该清洗单元具有：气液分离单元，其与该卡盘工作台相邻，将该喷嘴所喷射的该二流体接住并进行气液分离；以及移动单元，其使该喷嘴水平移动至该保持面的上方的区域的内外，该喷嘴的喷射方向从与该保持面垂直的方向倾斜，该二流体从该保持面的中心侧朝向该气液分离单元，该气液分离单元具有：顶板；从该顶板垂下的多个侧板；以及供该二流体进入的入口，从该入口进入的该二流体与该侧板和该顶板接触而气液分离成水和空气，使该空气向大气开放，使该水从该排水口排出。
优选上述气液分离单元具有从该入口的上边向下方向延伸的檐，从该入口进入的该二流体依次与该侧板、该顶板、该檐接触，形成该二流体的旋涡而进行气液分离。
优选上述气液分离单元在远离该入口的位置具有容积大的区域，从该入口进入的该二流体在该大的区域中使流速降低而进行气液分离。
优选上述清洗单元能够对该卡盘工作台的该保持面进行清洗。
在本发明中，能够在气液分离单元中将进行二流体清洗时所喷出的二流体接住并收纳，从而能够防止雾飞散到装置内。因此，无需配设对二流体的雾进行吸引的吸引单元，因此能够抑制加工装置整体的大小。另外，进行气液分离而将捕捉了污染的水从排水口排出，因此能够防止装置内部被污染。
附图说明
图1是示出加工装置整体的立体图。
图2是示出从加工装置的上方观察的加工室的剖视图。
图3是进行被加工物的清洗时的、从加工装置的右侧方观察的搬入搬出区域的剖视图。
图4是示出气液分离单元的一例的立体图。
标号说明
1：加工装置；10：第1装置基座；11：第2装置基座；12：第1柱；13：第2柱；14：第3柱；150：第1盒载置部；150a：第1盒；151：第2盒载置部；151a：第2盒；152：暂放区域；153：对位单元；154a：装载臂；154b：卸载臂；155：机器人；156：旋转清洗单元；16：加工室；160：水箱；161：分隔板；162：排出口；16a：搬入搬出区域；16b：粗磨削区域；16c：精磨削区域；16d：研磨区域；17：控制单元；20：粗磨削进给单元；200：滚珠丝杠；201：导轨；202：电动机；203：升降板；204：支托；205：旋转轴；30：粗磨削单元；300：旋转轴；301：壳体；302：电动机；303：安装座；304a：磨轮基台；304b：粗磨削磨具；21：精磨削进给单元；31：精磨削单元；314b：精磨削磨具；24：Y轴方向移动单元；240：滚珠丝杠；241：导轨；242：电动机；243：可动板；25：研磨进给单元；250：滚珠丝杠；251：导轨；252：电动机；253：升降板；254：支托；32：研磨单元；320：旋转轴；321：壳体；322：电动机；323：安装座；324：研磨垫；5：卡盘工作台；50：吸引部；50a：保持面；51：框体；52：旋转单元；53：吸引单元；55：旋转轴；6：旋转工作台；7：清洗单元；70：气液分离单元；700：顶板；700a：第1边；700b：斜边；700c：第2边；700d：第3边；700e：第4边；701：侧板；701a：第1侧板；701b：第2侧板；701c：第3侧板；702：入口；703：檐；704：大容量区域；71：移动单元；710：主轴；711：臂；712：电动机；713：壳体；714：调节单元；715：旋转轴；72：喷嘴；720：喷射口；8：空气源；9：水源；A：搬出搬入区域；B：加工区域；M：二流体；Ma：二流体的旋涡；W：被加工物；Wa：被加工物的上表面。
具体实施方式
1加工装置的结构
图1所示的加工装置1是使用加工单元3对卡盘工作台5上所保持的被加工物W进行加工的加工装置。加工单元3例如包含粗磨削单元30、精磨削单元31以及研磨单元32，上述加工单元3具有用于被加工物W的磨削加工的粗磨削磨具304b、用于精磨削加工的精磨削磨具314b、以及用于研磨加工的研磨垫324等的加工器具。加工装置1具有控制单元17，在进行被加工物W的搬送、磨削加工以及研磨加工等时对各种装置机构进行控制。
加工装置1构成为在第1装置基座10的后方(+Y方向侧)连结有第2装置基座11。第1装置基座10上成为进行被加工物W的搬出搬入等的搬出搬入区域A。第2装置基座11上成为通过粗磨削单元30、精磨削单元31或研磨单元32对卡盘工作台5所保持的被加工物W进行加工的加工区域B。
图1所示的被加工物W例如是由硅母材等构成的圆形板状的半导体被加工物，被加工物W的上表面Wa成为实施磨削加工、研磨加工的被加工面。
在第1装置基座10的正面侧(-Y方向侧)设置有第1盒载置部150和第2盒载置部151，在第1盒载置部150载置收纳有加工前的被加工物W的第1盒150a，在第2盒载置部151载置收纳有加工后的被加工物W的第2盒151a。
在第1盒150a的后方(+Y方向侧)设置有未图示的开口，在该开口的后方配设有机器人155，该机器人155将加工前的被加工物W从第1盒150a中搬出，并且将加工后的被加工物W搬入至第2盒151a中。在与机器人155相邻的位置设置有暂放区域152，在暂放区域152配设有对位单元153。对位单元153具有多个对位销，能够通过对位销将从第1盒150a搬出并载置于暂放区域152的被加工物W对位(定心)于规定的位置。
在与对位单元153相邻的位置配置有在对被加工物W进行保持的状态下进行旋转的装载臂154a。装载臂154a能够对在对位单元153中进行了对位的被加工物W进行保持并搬送至配设于加工区域B内的任意的卡盘工作台5上。在装载臂154a的旁边设置有在对加工后的被加工物W进行保持的状态下进行旋转的卸载臂154b，在卸载臂154b的附近配置有对通过卸载臂154b搬送的加工后的被加工物W进行清洗的单片式的旋转清洗单元156。利用旋转清洗单元156进行了清洗的被加工物W通过机器人155搬入至第2盒151a中。
在第2装置基座11上的前方的-X侧竖立设置有第1柱12，在第1柱12的侧面上配设有粗磨削进给单元20。粗磨削进给单元20具有：滚珠丝杠200，其具有铅垂方向(Z轴方向)的轴心；一对导轨201，它们与滚珠丝杠200平行地配设；电动机202，其与滚珠丝杠200连结，使滚珠丝杠200转动；升降板203，其内部的螺母与滚珠丝杠200螺合，升降板203的侧部与导轨201滑动接触；以及支托204，其与升降板203连结，对粗磨削单元30进行保持。构成为当电动机202使滚珠丝杠200转动时，与此相伴，升降板203被导轨201引导而在Z轴方向上往复移动，支承于与升降板203连结的支托204的粗磨削单元30在Z轴方向上往复移动。
粗磨削单元30具有：旋转轴300，其轴向为铅垂方向(Z轴方向)；壳体301，其将旋转轴300支承为能够旋转；电动机302，其使旋转轴300旋转驱动；圆形状的安装座303，其与旋转轴300的下端连接；以及磨削磨轮304，其以能够装卸的方式与安装座303的下表面连接。并且，磨削磨轮304具有磨轮基台304a；以及大致长方体形状的多个粗磨削磨具304b，它们呈环状配设于磨轮基台304a的底面上。粗磨削磨具304b例如是磨具所含的磨粒比较大的磨具。
另外，在第2装置基座11上的后方的-X侧竖立设置有第2柱13，在第2柱13的前表面上配设有精磨削进给单元21。精磨削进给单元21与粗磨削进给单元20同样地构成，能够将精磨削单元31在Z轴方向上进行磨削进给。精磨削单元31具有磨具所含的磨粒比上述粗磨削磨具304b小的精磨削磨具314b，其他结构与粗磨削单元30相同。因此，对于精磨削进给单元21和精磨削单元31标记相同的标号并省略了说明。
在第2装置基座11上的后方的+X侧与上述第2柱13并列地竖立设置有第3柱14，在第3柱14的前表面上配设有Y轴方向移动单元24。Y轴方向移动单元24具有：滚珠丝杠240，其具有Y轴方向的轴心；一对导轨241，它们与滚珠丝杠240平行地配设；电动机242，其使滚珠丝杠240转动；以及可动板243，其内部的螺母与滚珠丝杠240螺合，可动板243的侧部与导轨241滑动接触。并且，当电动机242使滚珠丝杠240转动时，与此相伴，可动板243被导轨241引导而在Y轴方向上移动，配设于可动板243上的研磨单元32随着可动板243的移动而在Y轴方向上移动。
在可动板243的前表面上配设有使研磨单元32在相对于卡盘工作台5接近或远离的Z轴方向上升降的研磨进给单元25。研磨进给单元25包含：滚珠丝杠250，其具有铅垂方向的轴心；一对导轨251，它们与滚珠丝杠250平行地配设；电动机252，其与滚珠丝杠250连结，使滚珠丝杠250转动；升降板253，其内部的螺母与滚珠丝杠250螺合，升降板253的侧部与导轨251滑动接触；以及支托254，其与升降板253连结，对研磨单元32进行保持，当电动机252使滚珠丝杠250转动时，升降板253被导轨251引导而在Z轴方向上移动，支承于支托254的研磨单元32也在Z轴方向上移动。
研磨单元32例如包含：主轴320，其轴向为Z轴方向；壳体321，其将主轴320支承为能够旋转；电动机322，其使主轴320旋转驱动；圆形板状的安装座323，其固定于主轴320的下端；以及圆形的研磨垫324，其以能够装卸的方式安装于安装座323的下表面上。研磨垫324例如由毛毡等无纺布构成，在中央部分形成有供浆料(包含游离磨粒的研磨液)通液的未图示的贯通孔。研磨垫324的直径成为与安装座323的直径同程度的大小，并且成为比卡盘工作台5的直径大的直径。
如图1所示，在第2装置基座11上配设有旋转工作台6，在旋转工作台6的上表面上例如沿周向隔开等间隔而配设有四个卡盘工作台5。在旋转工作台6的中心配设有用于使旋转工作台6自转的未图示的旋转轴，能够使旋转工作台6以旋转轴为中心而绕Z轴方向的轴心自转。在进行加工时，旋转工作台6进行自转，从而使四个卡盘工作台5公转，能够将卡盘工作台5依次定位于粗磨削单元30的下方、精磨削单元31的下方、研磨单元32的下方。
上述四个卡盘工作台5分别具有吸引部50和围绕吸引部50的框体51。载置于吸引部50的保持面50a上的被加工物W通过配设于卡盘工作台5的下方的吸引单元53所产生的吸引力而利用保持面50a进行吸引保持。另外，卡盘工作台5能够通过配设于其下方的旋转单元52绕旋转轴55旋转。
如图2所示，四个卡盘工作台5被水箱160围绕，分别收纳于由水箱160和分隔板161围绕的空间即加工室16a～16d。加工室16a～16d分别是进行被加工物W的搬入搬出的搬入搬出区域16a、进行粗磨削的粗磨削区域16b、进行精磨削的精磨削区域16c、以及进行研磨的研磨区域16d。加工室16a～16d分别具有排水口162，在加工中产生的包含加工屑的废液等从排水口162流出到加工室16a～16d的外部。
如图3所示，在加工室16的搬入搬出区域16a配设有清洗单元7。清洗单元7具有：喷嘴72，其朝向被加工物W喷射二流体M；移动单元71，其使喷嘴72移动；以及气液分离单元70，其对所喷射的二流体M进行气液分离。移动单元71具有：电动机712；主轴710，其通过电动机712进行旋转驱动；以及壳体713，其围绕主轴710的外周，将臂711支承为能够旋转，臂711的一端与壳体713连接，另一端经由能够调整喷嘴72的高度及相对于保持面50a的倾斜角度的调节单元714而与喷嘴72连接。当通过电动机712进行驱动而使主轴710绕Z轴方向的旋转轴715旋转时，与此相伴，与壳体713连结的臂711进行旋转，从而能够使与臂711的另一端连接的喷嘴72移动至卡盘工作台5的上方的区域的内外。另外，通过调节单元714改变喷嘴72的高度及喷嘴72相对于保持面50a的倾斜角度，从而能够调整喷嘴72的喷射方向。
在喷嘴72上连接有空气源8和水源9，能够从喷嘴72喷射混合有从空气源8提供的空气和从水源9提供的水的二流体M。
如图1和图2所示，气液分离单元70配设于搬入搬出区域16a与研磨区域16d的边界的附近的搬入搬出区域16a侧。另外，气液分离单元70也可以配设于搬入搬出区域16a与粗磨削区域16b的边界的附近的搬入搬出区域16a侧。如图4所示，气液分离单元70具有：顶板700；从顶板700垂下的多个侧板701；以及用于接受所飞散的雾的入口702。如图2所示，顶板700形成为保持着被加工物W的卡盘工作台5被定位于搬入搬出区域16a时从+Z侧观察不与卡盘工作台5重叠的形状，并且形成为能够有效地将被加工物W的清洗时从喷嘴72喷射且飞散的二流体M导入至气液分离单元70而进行气液分离的形状，如图1和图2所示，本实施方式中的顶板700朝向旋转工作台6的旋转中心在X轴方向上形成为长条状。顶板700形成为大致长方形的一部分(位于卡盘工作台5的上方的部分)被切除而得的形状，该切除的部分具有：与X轴方向平行的第1边700a；以及一端与第1边700a的+X方向侧的端部连接且相对于X轴方向具有角度的斜边700b。除此以外，顶板700具有：与斜边700b的另一端连接且与X轴方向平行的一条第2边700c；以及与Y轴方向平行的对置的第3边700d和第4边700e。但是，顶板700的形状不限于此。例如也可以代替第1边700a和斜边700b而具有按照沿着卡盘工作台5的周缘的方式形成为圆弧状的部分。
侧板701包含：第1侧板701a，其形成于+Y方向侧即形成于卡盘工作台5的公转方向的上游侧；第2侧板701b，其形成于+X方向侧即形成于作为卡盘工作台5的公转轨道的外周侧的距离卡盘工作台5的自转中心最远侧；以及第3侧板701c，其按照从第2侧板701b弯折而沿着卡盘工作台5的公转轨道的外周的方式形成于+X方向与-Y方向之间的方向侧，第1侧板701a例如固定于分隔板161的侧面上，第2侧板701b和第3侧板701c例如它们的下部固定于第1装置基座10上。即，侧板701配设于雾所飞散的方向上，具有接住所飞散的雾的作用。另一方面，在气液分离单元70中的-Y侧即靠近从喷嘴72喷射二流体M的位置侧以及-X侧即卡盘工作台5的公转方向的下游侧未设置侧板，由此，形成接受雾的入口702。另外，也可以不具有第1侧板701a，在该情况下，分隔板161起到与第1侧板701a同样的作用。
在上述气液分离单元70所具有的入口702的上边、即第1边700a、斜边700b和第3边700c具有向下方向延伸的檐703。檐703可以配设于与顶板700垂直的-Z方向上，也可以向比-Z方向略微朝向卡盘工作台5的中心的方向倾斜。另外，也可以弯曲。图4所示的例子的檐703形成为-X侧即靠近喷嘴72的侧的Z方向的长度较短，+X侧即远离喷嘴72的侧的Z方向的长度较长。这样，檐703形成为靠近喷嘴72的侧的Z方向的长度较短而开口部分在Z轴方向上较长，从而能够避免与喷嘴72的碰撞，扩大喷嘴72的可动区域。另一方面，使檐703中的远离喷嘴72的侧的Z方向的长度形成得较长，从而能够收纳更多的雾。
另外，使喷嘴72在靠近喷嘴72的侧的Z方向的长度较短的檐703下通过而使该喷嘴72收纳于气液分离单元70内，不妨碍被加工物W向卡盘工作台5的搬送。
另外，如上所述，顶板700形成为将大致长方形的一部分切除而得的形状，因此顶板700中的未切除的部分的下方成为能够收纳更多的雾的容积较大的大容量区域704。
2加工装置的动作
(搬入工序)
对使用上述结构的加工装置1进行被加工物W的加工时的、加工装置1的动作进行说明。首先，图1所示的旋转工作台6按照规定的角度进行旋转，从而未载置被加工物W的卡盘工作台5进行公转而移动至装载臂154a的附近，定位于图2中的搬入搬出区域16a。
然后，机器人155从第1盒150a中拉出一张被加工物W并使被加工物W移动至暂放区域152。接着，利用装载臂154a对通过对位单元153的多个对位销进行了对位的被加工物W进行把持而使其移动至定位于搬入搬出区域16a的卡盘工作台5的上方。并且，按照卡盘工作台5的中心与被加工物W的中心一致的方式在使被加工物W的上表面Wa朝向上方的状态下将被加工物W载置于保持面50a上。载置于卡盘工作台5的保持面50a上的被加工物W通过吸引单元53所发挥的吸引力而利用保持面50a进行吸引保持。
(粗磨削工序)
在利用卡盘工作台5的保持面50a对被加工物W进行吸引保持之后，使旋转工作台6从+Z侧观察顺时针地旋转规定的角度，从而使卡盘工作台5公转，使卡盘工作台5所保持的被加工物W移动至粗磨削单元30的下方而定位于粗磨削区域16b。此时，粗磨削单元30和被加工物W对齐在图2所示的位置，即在使粗磨削磨具304b朝向被加工物W下降而使粗磨削磨具304b和被加工物W抵接时，粗磨削磨具304b的下表面的圆的外周缘通过被加工物W的旋转中心的位置。
在完成上述粗磨削单元30和被加工物W的对位之后，通过电动机302对旋转轴300进行驱动，使旋转轴300绕Z轴方向的轴心旋转。随着旋转轴300的旋转，与旋转轴300的下方连接的安装座303进行旋转，与安装座303连结的磨轮基台304a和粘固于磨轮基台304a的粗磨削磨具304b绕Z轴方向的轴心旋转。
另外，通过旋转单元52使卡盘工作台5绕Z轴方向的旋转轴55旋转，由此被加工物W也绕旋转轴55旋转。在该状态下，通过粗磨削进给单元20的电动机202使滚珠丝杠200旋转驱动，使与滚珠丝杠200滑动接触的升降板203沿着导轨201下降，从而支承于升降板203的支托204以及支托204所保持的旋转轴300下降，粗磨削磨具304b与被加工物W的整个面抵接。
在粗磨削磨具304b与被加工物W抵接之后，进一步使粗磨削磨具304b按照规定的速度向-Z方向下降规定的距离，从而将被加工物W的上表面Wa粗磨削规定的厚度。在粗磨削结束之后，通过粗磨削进给单元20使粗磨削磨具304b向上方上升，远离被加工物W的上表面Wa。
(精磨削工序)
之后，同样地使旋转工作台6从+Z侧观察顺时针地旋转规定的角度，从而使卡盘工作台5公转，使卡盘工作台5所保持的被加工物W移动至精磨削单元31的下方而定位于精磨削区域16c。如图2所示，在精磨削磨具314b与被加工物W抵接时，对位成精磨削磨具314b的下表面的圆的外周缘通过被加工物W的旋转中心。并且，与上述粗磨削工序同样地，使用精磨削进给单元21使旋转的精磨削磨具314b朝向同样旋转的被加工物W下降而使精磨削磨具314b与被加工物W抵接。
在精磨削磨具314b与被加工物W抵接之后，进一步使精磨削磨具314b按照规定的速度向-Z方向下降规定的距离，对被加工物W的上表面Wa进行精磨削。另外，精磨削工序例如可以分成如下的工序：切削工序，使精磨削磨具314b相对于利用粗磨削工序磨削至即将到达规定的厚度为止的被加工物W向-Z方向下降而精加工成期望的厚度；以及清磨工序，在磨削至规定的厚度之后不使精磨削磨具314b向-Z方向下降而保持与被加工物W的上表面Wa上抵接的状态维持其高度位置，调整正面状态；等等。
精磨削结束之后，通过精磨削进给单元21使精磨削磨具314b上升，远离被加工物W的上表面Wa。
(研磨工序)
另外，使旋转工作台6从+Z侧观察顺时针地旋转规定的角度，从而使卡盘工作台5公转，使卡盘工作台5所保持的被加工物W移动至研磨单元32的下方而定位于研磨区域16d。被加工物W相对于研磨单元32的研磨垫324的对位例如如图2所示那样按照研磨垫324与被加工物W的整个上表面Wa抵接的方式进行。
通过电动机322进行驱动而使主轴320旋转，与此相伴研磨垫324进行旋转，研磨单元32通过研磨进给单元25向-Z方向进给，旋转的研磨垫324与被加工物W的上表面Wa抵接。另外，旋转单元52使卡盘工作台5按照规定的旋转速度旋转，与此相伴保持面50a上所保持的被加工物W也进行旋转，因此研磨垫324与被加工物W的整个上表面Wa抵接。
当进行研磨加工时，有时在被加工物W的上表面Wa上形成条纹花样，当在上表面Wa上形成条纹花样时，有时使被加工物W的抗弯强度降低。因此，在研磨加工中，Y轴方向移动单元24使研磨单元32在Y轴方向上往复移动而使研磨垫324在被加工物W的上表面Wa上沿Y轴方向滑动，从而防止在被加工物W的上表面Wa上形成条纹花样。
(清洗工序)
上述研磨工序结束之后，在搬入搬出区域16a中，从喷嘴72喷射二流体M而对被加工物W进行清洗。另外，在该清洗工序中，在将加工后的被加工物W从加工区域B搬送至搬出搬入区域A时，包含防止卸载臂154b的搬送垫被污染等目的。
在清洗时，首先使旋转工作台6从+Z侧观察顺时针地旋转规定的角度，从而使卡盘工作台5公转而再次定位于搬入搬出区域16a。并且，通过移动单元71所具有的电动机712的驱动力而使主轴710旋转，从而使臂711旋转移动。由此，使喷嘴72水平移动而定位于保持面50a的上方的区域内。另外，通过调节单元714调节喷嘴72的高度及倾斜角度，倾斜成使喷嘴72的喷射方向成为图3所示那样的、与垂直于保持面50a垂直的方向(-Z方向)相比朝向配置有气液分离单元70的方向(+Y方向)的方向。
接着，分别从空气源8和水源9对喷嘴72提供空气和水。优选所提供的空气的压力为0.25Mpa左右、所提供的水的水量为0.8L/min左右。空气和水在喷嘴72中混合而形成二流体M，将所形成的二流体M从喷嘴72朝向被加工物W的上表面Wa喷射，从而对被加工物W的上表面Wa进行清洗。从喷嘴72喷射的二流体M从保持面50a的中心朝向气液分离单元70，从气液分离单元70的入口702进入至气液分离单元70的内部的空间，与侧板701及顶板700接触而被气液分离成水和空气。然后，空气从入口702的上部向该搬入搬出区域16a的大气中开放，从未图示的加工装置的排气口排出到加工室的外部，另一方面，水从排水口162排出到加工室16的外部。
然后，当要从搬入搬出区域16a的内部的空间去除二流体M时，通过移动单元71使喷嘴72移动至卡盘工作台5的保持面50a的上方的区域以外，接着通过图1所示的卸载臂154b将被加工物W从加工区域B载置于搬出搬入区域A的旋转清洗单元156的载置位置。并且，被加工物W通过旋转清洗单元156进行进一步清洗，通过机器人155进行把持而收纳于第2盒151a中。
另外，具有从气液分离单元70的第1边700a、斜边700b以及第3边700c向下方向延伸的檐703，因此如图3所示，从入口702进入到气液分离单元70的内部的空间的二流体M依次与侧板701、顶板700、檐703接触而形成二流体M的旋涡Ma，由此能够更快速地进行气液分离。檐703从顶板700向下方突出，并且其下方开口，因此气液分离单元70能够从入口702接受二流体，并且能够在内部形成旋涡Ma。
另外，入口702还发挥将气液分离单元70的内部的空气排出到搬入搬出区域16a的作用。即，从入口702的下侧进入二流体，从入口702的上侧将空气排出到搬入搬出区域。
另外，在从气液分离单元70的入口702向分隔板161的方向(+Y方向)远离的位置具有容积较大的大容量区域704，因此从入口702进入到气液分离单元70的内部的空间的二流体M在大容量区域704中使流速下降，能够更可靠地对二流体M进行气液分离。
另外，加工装置1所具有的清洗单元7不仅能够对被加工物W的上表面Wa进行清洗，而且也能够对卡盘工作台5的保持面50a进行清洗，在卡盘工作台5的清洗时，气液分离单元70也能够与上述同样地进行飞散的二流体的气液分离。
如上所述，在加工装置1中设置气液分离单元70，从而能够防止与被加工物W和卡盘工作台5的保持面50a接触而被反射的二流体M飞散到加工室16的内部，能够将二流体M快速地排出到加工室16的外部。由此，能够削减加工整体所花费的时间。
另外，通过使用气液分离单元70将二流体M排出到加工室16的外部，无需将大型的排气风扇及管道等组装至加工装置1，其结果是，能够将加工装置1维持为紧凑的状态，能够抑制加工装置1所占据的体积增大。

Claims (4)

1.一种加工装置，其具有：
卡盘工作台，其具有对被加工物进行保持的保持面；
加工单元，其利用加工器具对该卡盘工作台所保持的被加工物的上表面进行加工；
清洗单元，其具有朝向该被加工物的上表面喷射将空气和水混合而得的二流体的喷嘴，通过该喷嘴所喷射的二流体对该被加工物的上表面进行清洗；以及
水箱，其围绕该卡盘工作台，将水接住并从排水口排出，
其中，
该清洗单元具有：
气液分离单元，其与该卡盘工作台相邻，将该喷嘴所喷射的该二流体接住并进行气液分离；以及
移动单元，其使该喷嘴水平移动至该保持面的上方的区域的内外，
该喷嘴的喷射方向从与该保持面垂直的方向倾斜，
该二流体从该保持面的中心侧朝向该气液分离单元，
该气液分离单元具有：顶板；从该顶板垂下的多个侧板；以及供该二流体进入的入口，
从该入口进入的该二流体与该侧板和该顶板接触而气液分离成水和空气，使该空气向大气开放，使该水从该排水口排出。
2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该气液分离单元具有从该入口的上边向下方向延伸的檐，
从该入口进入的该二流体依次与该侧板、该顶板、该檐接触，形成该二流体的旋涡而进行气液分离。
3.根据权利要求1或2所述的加工装置，其中，
该气液分离单元在远离该入口的位置具有容积大的区域，从该入口进入的该二流体在该大的区域中使流速降低而进行气液分离。
4.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
该清洗单元对该卡盘工作台的该保持面进行清洗。
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