KR20200079417A - 터치 패널 - Google Patents

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KR20200079417A
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스즈 호시노
하야테 호시노
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 보정값의 입력에 있어서의 오퍼레이터의 망설임을 경감한다.
(해결 수단) 터치 패널 (40) 에서는, 오퍼레이터는, 수직 화살표키 (47) 를 사용하여, 이동 방향을 설정한다. 설정된 이동 방향은, 표시부 (43) 에, 화살표로서 표시된다. 이로써, 오퍼레이터는, 보정에 관한 이동 방향을 시각적으로 설정할 수 있기 때문에, 이동 방향의 설정시에 망설이는 것이 적어진다. 따라서, 이동 방향이 잘못 설정되는 것을 억제하는 것, 및 보정의 설정에 관한 시간을 단축하는 것이 가능해진다.

Description

터치 패널{TOUCH PANEL}
본 발명은 터치 패널에 관한 것이다.
예를 들어, 전자동 연삭 장치에서는, 카세트에 수용된 웨이퍼가, 로봇에 의해 카세트로부터 꺼내어져, 척 테이블에 반송된다. 웨이퍼는, 척 테이블에 유지되어 연삭 지석에 의해 연삭된 후, 반출 기구에 의해 스피너 세정 유닛에 반송된다. 스피너 세정 유닛은, 웨이퍼를 유지하여 고속 회전함으로써, 웨이퍼를 세정한다. 세정 후의 웨이퍼는, 로봇에 의해 카세트에 수납된다 (예를 들어, 특허문헌 1 및 2 참조).
이와 같이, 전자동 연삭 장치에서는, 카세트로부터 웨이퍼를 꺼내거나, 카세트에 웨이퍼를 수납하거나 하는 로봇, 및 척 테이블로부터 스피너 세정 유닛에 웨이퍼를 반출하는 반출 기구에 의해, 웨이퍼가 옮겨진다.
일본 공개특허공보 2018-117014호 일본 공개특허공보 2014-232757호
반출 기구는, 웨이퍼를, 반송 패드에 의해 흡착하여 척 테이블로부터 반출한다. 그리고, 반출 중인 웨이퍼의 하면에 에어가 분사됨으로써, 웨이퍼의 하면으로부터 물방울이 제거된다. 또, 반송 패드에 유지된 웨이퍼의 하면은, 세정 브러시에 의해 세정된다. 이러한 물방울 제거 및 웨이퍼의 하면의 세정시에는, 반송 패드는, 미리 정해진 소정의 높이 위치가 되도록 정지된다.
그러나, 반송 패드의 실제 높이 위치가 소정의 높이 위치에서 벗어나 있으면, 물방울 제거 및 웨이퍼의 하면의 세정을 양호하게 실시할 수 없다. 이러한 경우에, 연삭 장치의 전자동 동작을 정지하고 반송 패드의 높이 위치를 다시 조정하는 것은 비효율적이다. 따라서, 전자동 동작을 정지하지 않고 미세 조정을 실시함으로써, 반송 패드의 높이 위치를 소정의 높이 위치로 설정하는 것이 요망된다.
그래서, 연삭 장치의 입력 화면을 사용하여 보정값을 입력함으로써, 반송 패드의 높이 위치를 이동하는 수법이 제안되어 있다. 이것에 의해, 반송 패드의 높이 위치가, 입력된 보정값에 따라 이동되므로, 물방울 제거 및 웨이퍼의 하면의 세정을 양호하게 실시할 수 있다.
이 수법에서는, 예를 들어, ＋ 값의 보정값을 입력하는 것은, 반송 패드의 높이 위치를 상측 방향으로 이동하는 것을 의미한다. 한편, - 값의 보정값을 입력하는 것은, 반송 패드의 높이 위치를 하측 방향으로 이동하는 것을 의미한다.
그러나, 보정값을 입력하여 반송 패드의 높이 위치를 이동한다는 행위는, 빈번히 실시되지는 않는다. 이 때문에, 오퍼레이터가, 예를 들어, 반송 패드의 높이 위치를 상측 방향으로 이동시키고자 할 때, ＋ 값 혹은 - 값의 어느 쪽을 보정값으로서 입력하면 좋은지 망설이는 경우가 있다. 이 경우, 오퍼레이터는, 예를 들어, ＋ 값 혹은 - 값의 어느 쪽의 보정값을 입력하면 좋은지를 명확히 하기 위해, 장치 매뉴얼을 확인하게 된다. 그러나, 이것은 확인에 시간을 빼앗기기 때문에, 작업 효율을 나쁘게 한다.
따라서, 본 발명의 목적은, 보정값의 입력에 있어서의 오퍼레이터의 망설임을 경감하는 것이다.
본 발명에 의하면, 가공 장치에 구비되고, 제 1 위치와 제 2 위치 사이의 이동 경로 상에 위치하는 이동 기구의 이동 방향과 이동량을 입력하기 위한 터치 패널로서, 그 이동량을 입력하기 위한 숫자키와, 그 이동 방향을, 그 이동 경로 상을 그 제 1 위치를 향하는 제 1 방향과, 그 이동 경로 상을 그 제 2 위치를 향하는 제 2 방향의 어느 쪽으로 설정하기 위한 화살표키를 구비한 터치 패널이 제공된다.
바람직하게는, 그 이동 경로는, 상하로 연장되는 경로, 전후로 연장되는 경로, 좌우로 연장되는 경로 및 선회 경로의 어느 것이다.
바람직하게는, 그 화살표키에는, 그 이동 경로에 있어서의 그 제 1 방향을 나타내는 제 1 화살표와, 그 제 2 방향을 나타내는 제 2 화살표가 표시되어 있다.
본 터치 패널에서는, 오퍼레이터는, 화살표키를 사용하여, 이동 방향을 설정할 수 있다. 이로써, 오퍼레이터는, 이동 방향을 시각적으로 설정할 수 있기 때문에, 이동 방향의 설정시에 망설이는 것이 적어진다. 따라서, 이동 방향이 잘못 설정되는 것을 억제하는 것, 및 설정에 관한 시간을 단축하는 것이 가능해진다.
또, 이동 기구의 이동 경로로는, 예를 들어, 상하로 연장되는 경로, 전후로 연장되는 경로, 좌우로 연장되는 경로, 및 선회 경로를 들 수 있다. 그리고, 화살표키에는, 이동 경로에 있어서의 제 1 방향을 나타내는 제 1 화살표와, 제 2 방향을 나타내는 제 2 화살표가 표시되어 있어도 된다. 이로써, 오퍼레이터는, 보다 망설임 없이, 이동 방향을 설정하는 것이 가능해진다.
도 1 은, 연삭 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 세정 유닛의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 3(a) 는 터치 패널의 표시예를 나타내는 모식도이고, 도 3(b) 는 보정값 입력 화면의 예를 나타내는 모식도이다.
도 4 는, 보정값 입력 화면의 다른 예를 나타내는 모식도이다.
도 5 는, 보정값 입력 화면의 또 다른 예를 나타내는 모식도이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 가공 장치의 일례인 연삭 장치 (1) 는, 피가공물의 일례인 웨이퍼 (W) 에 대하여 반입 처리, 연삭 가공, 세정 처리 및 반출 처리를 포함하는 일련의 작업을 전자동으로 실시하도록 구성되어 있다.
도 1 에 나타내는 웨이퍼 (W) 는, 예를 들어, 원형의 반도체 웨이퍼이며, 도 1 에 있어서는 하방을 향하고 있는 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 은, 복수의 디바이스를 유지하고 있고, 도시되지 않은 보호 테이프가 첩착 (貼着) 됨으로써 보호되어 있다. 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 은, 연삭 가공이 실시되는 피가공면이 된다.
연삭 장치 (1) 는, 대략 사각형의 제 1 장치 베이스 (11), 제 1 장치 베이스 (11) 의 후방 (＋Y 방향측) 에 연결된 제 2 장치 베이스 (12), 상방으로 연장되는 칼럼 (13), 그리고 제 1 장치 베이스 (11) 및 제 2 장치 베이스 (12) 를 덮는 케이스 (14) 를 구비하고 있다.
제 1 장치 베이스 (11) 의 정면측 (-Y 방향측) 에는, 제 1 카세트 재치부 (載置部) (151) 및 제 2 카세트 재치부 (152) 가 형성되어 있다. 제 1 카세트 재치부 (151) 에는, 가공 전의 웨이퍼 (W) 가 수용되는 제 1 카세트 (151a) 가 재치되어 있다. 제 2 카세트 재치부 (152) 에는, 가공 후의 웨이퍼 (W) 가 수용되는 제 2 카세트 (152a) 가 재치되어 있다. 제 1 카세트 (151a) 및 제 2 카세트 (152a) 는, 내부에 복수의 선반을 구비하고 있고, 각 선반에 1 매씩 웨이퍼 (W) 가 수용되어 있다.
제 1 카세트 (151a) 의 개구 (도시 생략) 는, ＋Y 방향측을 향하고 있다. 이 개구의 ＋Y 방향측에는, 로봇 (155) 이 배치 형성되어 있다. 로봇 (155) 은, 가공 후의 웨이퍼 (W) 를 제 2 카세트 (152a) 에 반입한다. 또, 로봇 (155) 은, 제 1 카세트 (151a) 로부터 가공 전의 웨이퍼 (W) 를 반출하여, 임시 재치 영역 (153a) 에 재치한다.
임시 재치 영역 (153a) 은, 로봇 (155) 에 인접하는 위치에 형성되어 있다. 임시 재치 영역 (153a) 에는, 위치 맞춤 수단 (153b) 이 배치 형성되어 있다. 위치 맞춤 수단 (153b) 은, 제 1 카세트 (151a) 로부터 반출되어 임시 재치 영역 (153a) 에 재치된 웨이퍼 (W) 를, 직경 축소되는 위치 맞춤 핀을 사용하여, 소정의 위치에 위치 맞춤 (센터링) 한다.
임시 재치 영역 (153a) 에 인접하는 위치에는, 반입 기구 (31) 가 형성되어 있다. 반입 기구 (31) 는, 제 1 반송 패드 (32) 와, 제 1 반송 패드 (32) 를 지지하는 제 1 반송 아암 (33) 과, 제 1 반송 아암 (33) 을 지지하는 제 1 승강 수단 (34) 을 갖고 있다.
제 1 반송 패드 (32) 는, 포러스재 등으로 이루어지는 유지면을 갖고 있고, 이 유지면에 흡인원이 연결되어 있다 (모두 도시 생략). 제 1 반송 패드 (32) 는, 흡인원으로부터의 흡인력에 의해, 위치 맞춤 수단 (153b) 에 의해 위치 맞춤된 연삭 가공 전의 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다.
제 1 반송 아암 (33) 은, 그 선단에 제 1 반송 패드 (32) 를 유지하고 있고, 타단이 제 1 승강 수단 (34) 에 연결되어 있다. 제 1 반송 아암 (33) 은, 제 1 승강 수단 (34) 을 회전축으로 하여 선회함으로써, 제 1 반송 패드 (32) 를 수평 방향으로 이동시킨다. 제 1 승강 수단 (34) 은, 제 1 반송 패드 (32) 를, 제 1 반송 아암 (33) 과 함께 Z 축 방향을 따라 상하동시킨다.
반입 기구 (31) 는, 제 1 반송 패드 (32), 제 1 반송 아암 (33) 및 제 1 승강 수단 (34) 을 사용하여, 웨이퍼 (W) 를, 반입출 영역 (A) 내에 위치 부여된 척 테이블 (30) 에 반송한다.
척 테이블 (30) 은, 제 2 장치 베이스 (12) 상에 배치 형성된, 평면에서 보아 원형상의 턴테이블 (17) 에 구비되어 있다. 턴테이블 (17) 은, 턴테이블 (17) 을 이분하도록 형성된 구획판 (18) 과, 구획판 (18) 의 양측에 1 개씩 형성된 척 테이블 (30) 을 갖고 있다.
턴테이블 (17) 의 중심에는, 턴테이블 (17) 을 회동 (回動) 시키기 위한 도시되지 않은 회전축이 배치 형성되어 있다. 턴테이블 (17) 은, 회전축을 중심으로 Z 축 방향의 축심 둘레로 회동할 수 있다. 턴테이블 (17) 이 회동함으로써, 2 개의 척 테이블 (30) 이 공전한다. 이로써, 각 척 테이블은, 반입출 영역 (A) 으로부터 연삭 영역 (B) 으로, 연삭 영역 (B) 으로부터 반입출 영역 (A) 으로 각각 이동할 수 있다.
척 테이블 (30) 은, 턴테이블 (17) 상에서, Z 축 방향의 축심 둘레로 회전 (자전) 가능하게 되어 있다. 또, 척 테이블 (30) 은, 웨이퍼 (W) 를 흡착하는 유지면 (300) 을 구비하고 있다. 유지면 (300) 은, 도시되지 않은 흡인원에 연통되어 있고, 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다.
제 2 장치 베이스 (12) 상의 후방 (＋Y 방향측) 에는, 칼럼 (13) 이 세워 설치되어 있다. 칼럼 (13) 의 전면 (前面) 에는, 웨이퍼 (W) 를 연삭하는 연삭 수단 (7), 및 연삭 수단 (7) 을 연삭 이송 방향인 Z 축 방향으로 이동시키는 연삭 이송 수단 (2) 이 형성되어 있다.
연삭 이송 수단 (2) 은, Z 축 방향에 평행한 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (21), 이 Z 축 가이드 레일 (21) 상을 슬라이드하는 Z 축 이동 테이블 (23), Z 축 가이드 레일 (21) 과 평행한 Z 축 볼 나사 (20), Z 축 서보 모터 (22), 및 Z 축 이동 테이블 (23) 의 전면 (표면) 에 장착된 홀더 (24) 를 구비하고 있다. 홀더 (24) 는, 연삭 수단 (7) 을 유지하고 있다.
Z 축 이동 테이블 (23) 은, Z 축 가이드 레일 (21) 에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 도시되지 않은 너트부가, Z 축 이동 테이블 (23) 의 후면측 (이면측) 에 고정되어 있다. 이 너트부에는, Z 축 볼 나사 (20) 가 나사 결합되어 있다. Z 축 서보 모터 (22) 는, Z 축 볼 나사 (20) 의 일단부에 연결되어 있다.
연삭 이송 수단 (2) 에서는, Z 축 서보 모터 (22) 가 Z 축 볼 나사 (20) 를 회전시킴으로써, Z 축 이동 테이블 (23) 이, Z 축 가이드 레일 (21) 을 따라, Z 축 방향으로 이동한다. 이로써, Z 축 이동 테이블 (23) 에 장착된 홀더 (24), 및 홀더 (24) 에 유지된 연삭 수단 (7) 도, Z 축 이동 테이블 (23) 과 함께 Z 축 방향으로 이동한다.
연삭 수단 (7) 은, 홀더 (24) 에 고정된 스핀들 하우징 (71), 스핀들 하우징 (71) 에 회전 가능하게 유지된 스핀들 (70), 스핀들 (70) 의 하단에 장착된 휠 마운트 (73), 및 휠 마운트 (73) 에 지지된 연삭 휠 (74) 을 구비하고 있다.
스핀들 하우징 (71) 은, Z 축 방향으로 연장되도록 홀더 (24) 에 유지되어 있다. 스핀들 (70) 은, 척 테이블 (30) 의 유지면 (300) 과 직교하도록 Z 축 방향으로 연장되고, 스핀들 하우징 (71) 에 회전 가능하게 지지되어 있다.
스핀들 (70) 의 상단측에는, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다. 이 회전 구동원에 의해, 스핀들 (70) 은, Z 축 방향으로 연장되는 회전 축심의 둘레로 회전한다.
휠 마운트 (73) 는, 원반상으로 형성되어 있고, 스핀들 (70) 의 하단 (선단) 에 고정되어 있다. 휠 마운트 (73) 는, 연삭 휠 (74) 을 지지한다. 연삭 휠 (74) 은, 휠 마운트 (73) 와 대략 동 직경을 갖도록 형성되어 있다. 연삭 휠 (74) 은, 스테인리스 등의 금속 재료로 형성된 원환상의 휠 기대 (환상 기대) (740) 를 포함한다. 휠 기대 (740) 의 하면에는, 전체 둘레에 걸쳐, 환상으로 배치된 복수의 연삭 지석 (741) 이 고정되어 있다. 연삭 지석 (741) 은, 척 테이블 (30) 에 유지된 웨이퍼 (W) 를 연삭한다.
연삭 후의 웨이퍼 (W) 는, 반출 기구 (36) 에 의해 반출된다. 반출 기구 (36) 는, 반입 기구 (31) 의 옆에 형성되어 있다. 반출 기구 (36) 는, 제 2 반송 패드 (37) 와, 제 2 반송 패드 (37) 를 지지하는 제 2 반송 아암 (38) 과, 제 2 반송 아암 (38) 을 지지하는 제 2 승강 수단 (39) 을 갖고 있다.
제 2 반송 패드 (37) 는, 포러스재 등으로 이루어지는 유지면을 갖고 있고, 이 유지면에 흡인원이 연결되어 있다 (모두 도시 생략). 제 2 반송 패드 (37) 는, 흡인원으로부터의 흡인력에 의해, 척 테이블 (30) 에 재치되어 있는 연삭 가공 후의 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다.
제 2 반송 아암 (38) 은, 그 선단에 제 2 반송 패드 (37) 를 유지하고 있고, 타단이 제 2 승강 수단 (39) 에 연결되어 있다. 제 2 반송 아암 (38) 은, 제 2 승강 수단 (39) 을 회전축으로 하여 선회함으로써, 제 2 반송 패드 (37) 를 수평 방향으로 이동시킨다. 제 2 승강 수단 (39) 은, 제 2 반송 패드 (37) 를, 제 2 반송 아암 (38) 과 함께 Z 축 방향을 따라 상하동시킨다.
반출 기구 (36) 는, 제 2 반송 패드 (37), 제 2 반송 아암 (38) 및 제 2 승강 수단 (39) 을 사용하여, 웨이퍼 (W) 를 척 테이블 (30) 로부터 반출하여, 매엽식의 스피너 세정 유닛 (26) 의 스피너 테이블 (27) 에 반송한다.
스피너 세정 유닛 (26) 은, 반출 기구 (36) 와 근접하는 위치에 형성되어 있다. 스피너 세정 유닛 (26) 은, 웨이퍼 (W) 를 유지하는 스피너 테이블 (27), 및 스피너 테이블 (27) 을 향하여 세정수 및 건조 에어를 분사하는 각종 노즐 (도시 생략) 을 구비하고 있다.
스피너 세정 유닛 (26) 에서는, 웨이퍼 (W) 를 유지한 스피너 테이블 (27) 이, 제 1 장치 베이스 (11) 내에 강하된다. 그리고, 제 1 장치 베이스 (11) 내에서, 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 을 향하여 세정수가 분사되어, 이면 (Wb) 이 스피너 세정된다. 그 후, 웨이퍼 (W) 에 건조 에어가 분사되어, 웨이퍼 (W) 가 건조된다. 스피너 세정 유닛 (26) 에 의해 세정된 웨이퍼 (W) 는, 로봇 (155) 에 의해, 제 2 카세트 (152a) 에 반입된다.
제 2 장치 베이스 (12) 상에 있어서의 스피너 세정 유닛 (26) 의 근방에는, 세정 유닛 (8) 이 형성되어 있다. 세정 유닛 (8) 은, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면 (웨이퍼 (W) 를 유지하는 면) 을 세정하는 것이다. 즉, 연삭 장치 (1) 에서는, 제 2 반송 패드 (37) 에 의해, 척 테이블 (30) 로부터 스피너 세정 유닛 (26) 에 웨이퍼 (W) 가 전달된 후, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면이, 세정 유닛 (8) 에 의해 세정된다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 세정 유닛 (8) 은, 원반상의 지지 플레이트 (80) 와, 지지 플레이트 (80) 의 바닥면측에 로터리 조인트 (81) 를 개재하여 배치 형성된 회전축 (82) 과, 회전축 (82) 을 회전 구동하는 모터 (83) 와, 지지 플레이트 (80) 상에 배치 형성된 세정 브러시 (84) 를 구비하고 있다.
Z 축 방향으로 연장되는 회전축 (82) 의 일단은, 로터리 조인트 (81) 를 개재하여 지지 플레이트 (80) 의 중심에 결합되어 있고, 타단은 모터 (83) 에 연결되어 있다. 로터리 조인트 (81) 는, 회전축 (82) 을 회전 가능하게 지지한다. 모터 (83) 가 회전축 (82) 을 회전시킴으로써, 지지 플레이트 (80) 가 회전한다.
세정 브러시 (84) 는, 2 개의 브러시 (85) 및 스톤 (86) 을 구비하고 있다.
브러시 (85) 는, 브러시 세정에 사용된다. 브러시 세정은, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면을 구성하는 포러스 부재의 내부로 들어간 연삭 부스러기를 긁어내어 배출하기 위해 실시된다. 또, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면이 유지한 웨이퍼 (W) 의 하면을 세정한다. 또, 웨이퍼 (W) 의 하면에 첩착된 보호 테이프의 표면을 세정한다. 브러시 (85) 는, 예를 들어, 탄력성을 구비하는 섬유 혹은 수지선을 직모상으로 형성하여 밀집시킨 것이고, 그 모끝은 ＋Z 방향을 향하고 있다. 2 개의 브러시 (85) 는, 회전축 (82) 을 중심으로, 방사상으로 연장되어 있다.
또한, 세정 브러시 (84) 에는, 도시되지 않은 세정수 공급원으로부터 세정수가 공급된다.
스톤 (86) 은, 스톤 세정에 사용된다. 스톤 세정은, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면에 부착된 연삭 부스러기를 깍아내어 제거하기 위해 실시된다. 스톤 (86) 은, 예를 들어, 직방체상으로 형성된 레진 본드 지석, 세라믹스재이다. 스톤 (86) 은, 지지 플레이트 (80) 상에 있어서의 2 개의 브러시 (85) 사이에, 각 브러시 (85) 와 직교하도록 형성되어 있다.
세정 유닛 (8) 에서는, 스톤 (86) 및 2 개의 브러시 (85) 를 포함하는 세정 브러시 (84) 는, 반출 기구 (36) 의 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면에 접촉한 상태로, 회전축 (82) 에 의한 지지 플레이트 (80) 의 회전에 수반하여, 수평면 내에서 회전한다. 이 때, 제 2 반송 패드 (37) 는, 제 2 반송 아암 (38) 에 의해, Y 축 방향을 따라 요동된다.
또, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 케이스 (14) 의 측면에는, 터치 패널 (40) 이 설치되어 있다. 터치 패널 (40) 에는, 연삭 장치 (1) 에 관한 가공 조건 등의 각종 정보가 표시된다. 또, 터치 패널 (40) 은, 가공 조건 등의 각종 정보를 입력하기 위해서도 사용된다. 이와 같이, 터치 패널 (40) 은, 정보를 입력하기 위한 입력 수단으로서 기능함과 함께, 입력된 정보를 표시하기 위한 표시 수단으로서도 기능한다.
여기서, 제 2 반송 패드 (37) 에 의해 척 테이블 (30) 로부터 스피너 테이블 (27) 에 웨이퍼 (W) 를 반송하고, 그 후, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면을 세정할 때까지의 반출 기구 (36) 에 있어서의 동작은, 예를 들어 이하와 같다.
(1) 제 2 승강 수단 (39) 을 회전축으로 하여 제 2 반송 아암 (38) 을 선회시킴으로써, 제 2 반송 패드 (37) 를, 척 테이블 (30) 의 상방에 위치 부여한다.
(2) 제 2 승강 수단 (39) 에 의해 제 2 반송 패드 (37) 를 하강시킴으로써, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면을, 척 테이블 (30) 에 유지된 웨이퍼 (W) 의 이면 (Wb) 에 접촉시킨다.
(3) 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면이, 흡인원에 연통되어 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다.
(4) 척 테이블 (30) 의 유지면을 에어원에 연통시켜, 척 테이블 (30) 의 유지면으로부터 웨이퍼 (W) 가 이간된다.
(5) 제 2 승강 수단 (39) 이, 웨이퍼 (W) 를 유지한 제 2 반송 패드 (37) 를 상승시킨다.
(6) 제 2 반송 아암 (38) 을 선회시킴으로써, 웨이퍼 (W) 를 유지한 제 2 반송 패드 (37) 를, 척 테이블 (30) 의 상방으로부터, 스피너 세정 유닛 (26) 에 있어서의 스피너 테이블 (27) 상을 향하여 수평 이동시킨다.
(7) 스피너 테이블 (27) 상으로 제 2 반송 패드 (37) 가 수평 이동할 때까지, 제 2 반송 패드 (37) 를 세정 유닛 (8) 의 상방에서 정지시키고, 제 2 승강 수단 (39) 이 제 2 반송 패드 (37) 를 하강시켜 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면이 유지하는 웨이퍼 (W) 의 하면을 브러시 (85) 에 접촉시키고 브러시 (85) 를 회전시켜 웨이퍼 (W) 의 하면을 세정한다.
웨이퍼 (W) 의 하면을 세정 후, 제 2 승강 수단 (39) 이 제 2 반송 패드 (37) 를 상승시키고, 스피너 테이블 (27) 상으로 제 2 반송 패드 (37) 를 수평 이동시킨다.
스피너 테이블 (27) 상으로 제 2 반송 패드 (37) 가 수평 이동할 때까지의 반송 경로와 교차하는 방향으로 연장되는 에어 노즐 (9) 의 에어 분출구로부터, 웨이퍼 (W) 의 하면 (표면 (Wa)) 에 에어를 분사하여, 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 의 물방울을 제거한다.
(8) 제 2 승강 수단 (39) 이, 웨이퍼 (W) 를 유지한 제 2 반송 패드 (37) 를 하강시키고, 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 을, 스피너 세정 유닛 (26) 의 스피너 테이블 (27) 에 접촉시킨다.
(9) 스피너 테이블 (27) 이, 웨이퍼 (W) 를 유지한다. 그 후, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면을 에어원에 연통시켜, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면으로부터 웨이퍼 (W) 가 이간된다.
(10) 제 2 승강 수단 (39) 이 제 2 반송 패드 (37) 를 상승시킴과 함께, 제 2 반송 아암 (38) 이 선회하여, 세정 유닛 (8) 의 상방으로 제 2 반송 패드 (37) 를 이동시킨다.
(11) 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면이, 세정 유닛 (8) 의 세정 브러시 (84) (스톤 (86) 및 브러시 (85)) 에 접촉하도록, 제 2 승강 수단 (39) 이, 제 2 반송 패드 (37) 를 하강시킨다.
상기 동작에서는, 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 의 물방울을 제거할 때, 에어 분출구와 웨이퍼 (W) 의 표면 (Wa) 이 지나치게 떨어져 있으면, 물방울을 제거하기 어려워진다. 또, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면을 세정 유닛 (8) 에 의해 세정할 때, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면과 세정 브러시 (84) (브러시 (85) 및 스톤 (86)) 의 간격이 지나치게 떨어져 있으면, 유지면에 대한 세정 브러시 (84) 의 접촉력이 부족하고, 또, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면과 세정 브러시 (84) 의 간격이 지나치게 가까우면, 브러시 (85) 가 구부러져, 브러시 (85) 의 모끝이 유지면에 접촉하지 않기 때문에, 유지면의 세정이 불충분해지는 경우가 있다.
이러한 경우에, 연삭 장치 (1) 에서는, 오퍼레이터가, 터치 패널 (40) 의 제어 화면을 사용하여, 반출 기구 (36) 의 제 2 반송 패드 (37) 및 제 2 반송 아암 (38) 의 위치를 미세 조정하는 것이 가능하다. 또한, 반출 기구 (36) 의 제 2 반송 패드 (37) 및 제 2 반송 아암 (38) 은, 이동 기구의 일례에 상당한다.
터치 패널 (40) 의 제어 화면에서는, 도 3(a) 에 나타내는 바와 같이, 아암 관련 설정 영역 (AR) 에, 반출 기구 (36) 가 척 테이블 (30) 상의 웨이퍼 (W) 를 스피너 세정 유닛 (26) 에 반출할 때의, 제 2 반송 아암 (38) 의 현재 위치 등을 나타내는 수치가 [1] ∼ [8] 에 나타나 있다.
예를 들어, [1] 에는, 소정의 대기 위치에 있는 제 2 반송 아암 (38) 이, 선회하여 척 테이블 (30) 상의 웨이퍼 (W) 를 유지할 (수취할) 때까지 대기해야 하는 시간이 나타나 있다. [2] 에는, 웨이퍼 (W) 를 수취한 제 2 반송 아암 (38) 이, 선회하여 스피너 테이블 (27) 에 웨이퍼 (W) 를 재치할 (전달할) 때까지 대기해야 하는 시간이 나타나 있다.
[3] 및 [4] 에는, 각각, 척 테이블 (30) 상의 웨이퍼 (W) 를 유지할 때의, 제 2 반송 아암 (38) 의 높이 및 선회 각도의 보정값이 나타나 있다. [8] 에는, 반출 기구 (36) 가 웨이퍼 (W) 를 수취했을 때에, 세정수를 내보내는지의 여부가 나타나 있다.
또, 패드 세정 설정 영역 (PR) 에는, 세정 유닛 (8) 상에 제 2 반송 패드 (37) 가 배치되어 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면이 세정될 때의, 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치 등을 나타내는 수치가 [10] ∼ [15] 에 나타나 있다.
[10] ∼ [12] 및 [15] 에는, 각각, 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면에 대한 세정 유닛 (8) 에 의한 세정 시간, 세정 브러시 (84) 의 회전수 및 회전 방향, 그리고 세정 간격이 나타나 있다. 또, [13] 에는, 세정시에 있어서의 제 2 반송 패드 (37) 의 Y 축 방향을 따른 요동의 속도가 나타난다. [14] 에는, 세정 브러시 (84) 에 대한 제 2 반송 패드 (37) 의 유지면의 높이 (Z 축 방향을 따른 위치) 에 관한 보정값이 나타나 있다.
본 실시형태에서는, 오퍼레이터가, 제 2 반송 패드 (37) (그 유지면) 의 높이를 보정하는 것을 바라는 경우, 터치 패널 (40) 에 있어서의 [14] 를 포함하는 부분이, 보정값 설정 에어리어로서 기능한다. 즉, 이 경우, 오퍼레이터는, 터치 패널 (40) 에 있어서의 [14] 의 표시 위치를 터치한다. 이로써, 터치 패널 (40) 에, 도 3(b) 에 나타내는 바와 같은 보정값 입력 화면 (41) 이 표시된다.
즉, 제 2 반송 패드 (37) 는, 세정 유닛 (8) 상에서, 제 2 반송 아암 (38) 및 제 2 승강 수단 (39) 에 의해, Z 축 방향을 따라, 그 가장 높은 위치인 제 1 위치와, 가장 낮은 위치인 제 2 위치 사이의 이동 경로 (상하로 연장되는 경로) 를 이동하도록 구성되어 있다. 제 1 위치 및 제 2 위치는, 세정 유닛 (8) 의 세정 브러시 (84) 의 높이, 및 제 2 반송 아암 (38) 및 제 2 승강 수단 (39) 의 가동 범위 등에 따라 결정된다.
그리고, 도 3(b) 에 나타내는 보정값 입력 화면 (41) 은, 표시부 (43) 및 입력키군 (45) 을 포함하고 있다. 또한, 입력키군 (45) 은, 제 2 반송 패드 (37) 의 이동 경로 상에 있어서의 이동량 (수치) 을 입력하기 위한 숫자키, 및 이동 방향을 전환하기 위한 수직 화살표키 (47) 가 나타나 있다. 수직 화살표키 (47) 에는, 이동 방향의 종류를 시각적으로 나타내는 마크 (화살표) 인 「↑ (상측 방향 화살표)」 및 「↓ (하측 방향 화살표)」가 표시되어 있다.
「↑」는, 상측 방향, 즉, 이동 경로에 있어서의 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치로부터, 제 1 위치 (가장 높은 위치) 를 향하는 방향을 나타내고 있다. 한편, 「↓」는, 하측 방향, 즉, 이동 경로에 있어서의 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치로부터, 제 2 위치 (가장 낮은 위치) 를 향하는 방향을 나타내고 있다.
오퍼레이터는, 수직 화살표키 (47) 를 누름으로써, 제 2 반송 패드 (37) 의 이동 방향을, 상측 방향 및 하측 방향의 어느 것으로 설정할 수 있다. 설정된 이동 방향은, 표시부 (43) 에 표시된다. 또한, 상측 방향 및 하측 방향은, 각각, 제 1 방향 및 제 2 방향의 일례이다. 「↑」 및 「↓」는, 각각, 제 1 화살표 및 제 2 화살표의 일례이다.
또, 오퍼레이터는, 숫자키를 사용하여 이동량을 입력한다. 입력된 이동량은, 동일하게 표시부 (43) 에 표시된다. 또한, 이 이동 방향 및 이동량은, 패드 세정 설정 영역 (PR) 의 [14] 에 표시된다. 본 실시형태에서는, [14] 에서는, 예를 들어, 상측 방향이 플러스로 표시되고, 하측 방향이 마이너스로 표시된다. 예를 들어, 도 3(b) 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터가, 제 2 반송 패드 (37) 를 하측 방향으로 185 ㎜ 만큼 이동시키기 위해 「↓ 185」라고 입력하면, 패드 세정 설정 영역 (PR) 의 [14] 에는 「-185」로 표시된다.
오퍼레이터는, 입력한 이동 방향 및 이동량이 적절하다고 판단한 경우, 보존 버튼 (S) 을 누른다. 이에 따라, 제 2 반송 패드 (37) 의 높이 위치가, 입력된 이동 방향 및 이동량에 따라 이동한다.
한편, 오퍼레이터는, 입력한 이동 방향 및 이동량이 부적절하다고 판단한 경우, 캔슬 버튼 (C) 을 누른다. 이로써, [14] 에 표시되어 있던 수치 등이 소멸하고, 오퍼레이터는, 보정을 하지 않거나, 혹은 보정에 관한 이동 방향 및 이동량의 설정을 다시 한다.
또, 오퍼레이터는, 제 2 반송 패드 (37) 에 있어서의 수평 방향에서의 위치를 보정하는 것을 바라는 경우도 있다. 상기와 같이, 제 2 반송 패드 (37) 는, XY 평면 내에서, 척 테이블 (30) 상의 위치 (제 1 위치) 와 스피너 테이블 (27) 상의 위치 (제 2 위치) 사이의 이동 경로 (선회 경로) 를 선회 이동하도록 구성되어 있다. 그리고, 제 2 반송 패드 (37) 에 있어서의 선회 경로 상에서의 위치는, 제 2 반송 패드 (37) 를 그 선단에 유지하는 제 2 반송 아암 (38) 의 선회 각도에 따라 결정된다.
따라서, 이 경우, 터치 패널 (40) 에 있어서의 도 3(a) 에 나타낸 [4] 를 표시하는 부분이, 보정값 설정 에어리어로서 기능한다. 이 [4] 에는, 제 2 반송 패드 (37) 를 선단에 유지하는 제 2 반송 아암 (38) 에 있어서의, 제 2 승강 수단 (39) 을 선회축으로 하는 선회 각도의 보정값이 표시된다.
오퍼레이터가, 터치 패널 (40) 에 있어서의 [4] 의 표시 위치를 터치하면, 터치 패널 (40) 에, 도 4 에 나타내는 바와 같은 보정값 입력 화면 (41) 이 표시된다. 이 보정값 입력 화면 (41) 의 입력키군 (45) 은, 도 3(b) 에 나타낸 입력키군 (45) 의 구성에 있어서, 수직 화살표키 (47) 대신에, 회전 화살표키 (48) 를 포함하고 있다. 회전 화살표키 (48) 에는, 이동 방향의 종류를 시각적으로 나타내는 화살표인 좌회전 화살표 (48a) 및 우회전 화살표 (48b) 가 표시되어 있다.
좌회전 화살표 (48a) 는, 반시계 방향, 즉, 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치로부터 스피너 테이블 (27) 상의 위치인 제 2 위치를 향하는 방향을 나타내고 있다. 한편, 우회전 화살표 (48b) 는, 시계 방향, 즉, 이동 경로에 있어서의 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치로부터, 척 테이블 (30) 상의 제 1 위치를 향하는 방향을 나타내고 있다.
오퍼레이터는, 회전 화살표키 (48) 를 누름으로써, 제 2 반송 패드 (37) 의 이동 방향을, 시계 방향 및 반시계 방향의 어느 것으로 설정할 수 있다. 설정된 이동 방향은, 표시부 (43) 에 표시된다. 또한, 시계 방향 및 반시계 방향은, 각각, 제 1 방향 및 제 2 방향의 일례이다. 우회전 화살표 (48b) 및 좌회전 화살표 (48a) 는, 각각, 제 1 화살표 및 제 2 화살표의 일례이다.
또, 오퍼레이터는, 숫자키를 사용하여 이동량을 입력한다. 입력된 이동량은, 동일하게 표시부 (43) 에 표시된다. 또한, 이 이동 방향 및 이동량은, 아암 관련 설정 영역 (AR) 의 [4] 에 표시된다. 본 실시형태에서는, [4] 에서는, 예를 들어, 시계 방향이 플러스로 표시되고, 반시계 방향이 마이너스로 표시된다. 예를 들어, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터가, 제 2 반송 패드 (37) 를 반시계 방향으로 15°만큼 선회 이동하도록 입력을 실시하면, 아암 관련 설정 영역 (AR) 의 [4] 에는 「-15」로 표시된다.
또한, 도 1 에 나타낸 반출 기구 (36) 에서는, 제 2 반송 아암 (38) 에 의해, 제 2 반송 패드 (37) 를 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이것 대신에, 제 2 반송 패드 (37) 는, 제 2 반송 아암 (38) 에 의해, XY 평면 내에서, 척 테이블 (30) 상의 위치 (제 1 위치) 와 스피너 테이블 (27) 상의 위치 (제 2 위치) 사이의 이동 경로를, X 축 방향 및 Y 축 방향을 따라 직선적으로 이동하도록 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 제 2 반송 아암 (38) 의 선단은, 제 2 반송 패드 (37) 를 유지한 상태로, X 축 방향 및 Y 축 방향을 따라 직선적으로 이동한다.
이하에, 제 2 반송 패드 (37) 에 있어서의 X 축 방향을 따른 이동 경로 (좌우로 연장되는 경로) 에서의 위치를 보정하는 경우에 대해 설명한다. 이 경우에는, 도 3(a) 의 [4] 에는, 예를 들어, 제 2 반송 패드 (37) 를 유지하고 있는 제 2 반송 아암 (38) 의 선단의 위치에 있어서의, X 축 방향에서의 위치의 보정값 (예를 들어, 단위는 ㎜) 이 표시된다. 그리고, 오퍼레이터가, 제 2 반송 패드 (37) 의 X 축 방향에 있어서의 위치를 보정하는 것을 바라는 경우, 예를 들어, 터치 패널 (40) 에 있어서의 [4] 를 표시하는 부분이, 보정값 설정 에어리어로서 기능한다. 오퍼레이터가 [4] 의 표시 위치를 터치함으로써, 터치 패널 (40) 에, 도 5 에 나타내는 바와 같은 보정값 입력 화면 (41) 이 표시된다.
도 5 에 나타내는 보정값 입력 화면 (41) 의 입력키군 (45) 은, 도 3(b) 에 나타낸 입력키군 (45) 의 구성에 있어서, 수직 화살표키 (47) 대신에, 수평 화살표키 (49) 를 포함하고 있다. 수평 화살표키 (49) 는, 이동 방향의 종류를 시각적으로 나타내는 화살표인 「→ (우측 방향 화살표)」 및 「← (좌측 방향 화살표)」가 표시되어 있다.
「→」는, 우측 방향, 즉, 이동 경로에 있어서의 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치로부터, X 축을 따라 척 테이블 (30) 에 가까워지는 방향 (＋X 축 방향) 을 나타내고 있다. 한편, 「←」는, 좌측 방향, 즉, 이동 경로에 있어서의 제 2 반송 패드 (37) 의 현재 위치로부터, X 축을 따라 스피너 테이블 (27) 에 가까워지는 방향 (-X 축 방향) 을 나타내고 있다.
오퍼레이터는, 수직 화살표키 (47) 를 누름으로써, 제 2 반송 패드 (37) 의 이동 방향을, ＋X 축 방향 및 -X 축 방향의 어느 것으로 설정할 수 있다. 설정된 이동 방향은, 표시부 (43) 에 표시된다. 또한, ＋X 축 방향 및 -X 축 방향은, 각각, 제 1 방향 및 제 2 방향의 일례이다. 「→」 및 「←」는, 각각, 제 1 화살표 및 제 2 화살표의 일례이다.
또, 오퍼레이터는, 숫자키를 사용하여 이동량을 입력한다. 입력된 이동량은, 동일하게 표시부 (43) 에 표시된다. 또한, 이 제 2 반송 패드 (37) 의 이동 방향 및 이동량은, 제 2 반송 아암 (38) 의 선단의 이동 방향 및 이동량으로서, 아암 관련 설정 영역 (AR) 의 [4] 에 표시된다. [4] 에서는, 예를 들어, ＋X 축 방향이 플러스로 표시되고, -X 축 방향이 마이너스로 표시된다. 예를 들어, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 오퍼레이터가, 제 2 반송 패드 (37) 를 -X 축 방향으로 185 ㎜ 만큼 이동시키기 위해 「← 185」라고 입력하면, 아암 관련 설정 영역 (AR) 의 [4] 에는 「-185」로 표시된다.
또한, 제 2 반송 패드 (37) (제 2 반송 아암 (38) 의 선단) 에 있어서의 Y 방향을 따른 이동 경로 (전후로 연장되는 경로) 에서의 위치를 보정하는 경우도, 도 5 를 사용하여 나타낸 경우와 동일하게, 보정에 관한 이동 방향 및 이동량이 설정된다.
이상과 같이, 연삭 장치 (1) 에서는, 제 2 반송 패드 (37) 가, 제 1 위치 (가장 높은 위치, 혹은 척 테이블 (30) 상의 위치) 로부터 제 2 위치 (가장 낮은 위치, 혹은 스피너 테이블 (27) 상의 위치) 사이의 이동 경로에 위치된다. 그리고, 오퍼레이터는, 터치 패널 (40) 을 사용하여, 제 2 반송 패드 (37) 의 이동 경로 상에서의 위치를 보정한다. 이 때, 오퍼레이터는, 도 3(b), 도 4 및 도 5 에 나타낸 바와 같이, 위치의 보정에 관한 이동 방향 및 이동량을, 보정값 입력 화면 (41) 을 사용하여 입력한다. 이동 방향은, 이동 경로 상을 제 1 위치를 향하는 제 1 방향과, 이동 경로 상을 제 2 위치를 향하는 제 2 방향의 어느 쪽이다.
그리고, 특히, 터치 패널 (40) 에서는, 오퍼레이터는, 화살표키 (47 ∼ 49) 를 사용하여, 이동 방향을 설정할 수 있다. 그리고, 오퍼레이터에 의해 설정된 이동 방향이, 표시부 (43) 에 화살표로서 표시된다.
이로써, 오퍼레이터는, 보정에 관한 이동 방향을 시각적으로 설정할 수 있기 때문에, 이동 방향의 설정시에 망설이는 것이 적어진다. 따라서, 이동 방향이 잘못 설정되는 것을 억제하는 것, 및 보정의 설정에 관한 시간을 단축하는 것이 가능해진다.
또, 이동 기구의 이동 경로로는, 예를 들어, 상하로 연장되는 경로, 전후로 연장되는 경로, 좌우로 연장되는 경로, 및 선회 경로를 들 수 있다.
그리고, 화살표키 (47 ∼ 49) 에는, 이동 경로에 있어서의 제 1 방향을 나타내는 제 1 화살표와, 제 2 방향을 나타내는 제 2 화살표가 표시되어 있다. 즉, 화살표키 (47 ∼ 49) 에는, 이동 방향의 종류를 시각적으로 나타내는 화살표가 표시되어 있다. 따라서, 오퍼레이터는, 보다 망설임 없이, 이동 방향을 설정하는 것이 가능해진다.
1 : 연삭 장치
30 : 척 테이블
27 : 스피너 테이블
8 : 세정 유닛
84 : 세정 브러시
36 : 반출 기구
37 : 제 2 반송 패드
38 : 제 2 반송 아암
39 : 제 2 승강 수단
40 : 터치 패널
AR : 아암 관련 설정 영역
PR : 패드 세정 설정 영역
S : 보존 버튼
C : 캔슬 버튼
41 : 보정값 입력 화면
43 : 표시부
45 : 입력키군
47 : 수직 화살표키
48 : 회전 화살표키
49 : 수평 화살표키
W : 웨이퍼
Wa : 표면
Wb : 이면

Claims (3)

  1. 가공 장치에 구비되고, 제 1 위치와 제 2 위치 사이의 이동 경로 상에 위치하는 이동 기구의 이동 방향과 이동량을 입력하기 위한 터치 패널로서,
    그 이동량을 입력하기 위한 숫자키와,
    그 이동 방향을, 그 이동 경로 상을 그 제 1 위치를 향하는 제 1 방향과, 그 이동 경로 상을 그 제 2 위치를 향하는 제 2 방향의 어느 쪽으로 설정하기 위한 화살표키를 구비한, 터치 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 이동 경로는, 상하로 연장되는 경로, 전후로 연장되는 경로, 좌우로 연장되는 경로 및 선회 경로의 어느 것인, 터치 패널.
  3. 제 2 항에 있어서,
    그 화살표키에는, 그 이동 경로에 있어서의 그 제 1 방향을 나타내는 제 1 화살표와, 그 제 2 방향을 나타내는 제 2 화살표가 표시되어 있는, 터치 패널.
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