JP6529844B2 - 気液分離器及び研磨装置 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記槽の前記空間内には、下方を向いたスプレーノズルが配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記導管の流入口を覆うストレーナをさらに備えたことを特徴とする。
2 液体貯留領域
3 気体流路
5 堰
10 槽
11 空間
12 斜板
15 ドレンチューブ(導管)
18 導入管
20 排気口
21 邪魔板
25 排液ダクト
30 排液口
33 ストレーナ
35 スプレーノズル
50 研磨ユニット
51 研磨パッド
51a 研磨面
53 研磨テーブル
55 研磨ヘッド
57 研磨液ノズル
58 アトマイザー
60 樋
Claims (5)
- 気液混合物を気体と液体とに分離するための気液分離器であって、
気液混合物が導入される液受けパンと、
前記液受けパンの底部から上方に延び、前記液受けパンの内部を液体貯留領域と気体流路とに仕切る堰と、
前記気体流路に連通する空間が内部に形成された槽と、
前記液受けパンの底部に接続された流入口を有する導管とを備え、
前記導管の流出口は、前記槽の底面よりも低い位置にあることを特徴とする気液分離器。 - 前記槽の底部には、排液ダクトが接続されており、前記導管は前記排液ダクト内を延びていることを特徴とする請求項1に記載の気液分離器。
- 前記槽の前記空間内には、下方を向いたスプレーノズルが配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の気液分離器。
- 前記導管の流入口を覆うストレーナをさらに備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の気液分離器。
- ウェーハを研磨する研磨ユニットと、
前記研磨ユニットから排出される気液混合物を気体と液体とに分離するための気液分離器とを備え、
前記気液分離器は、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の気液分離器であることを特徴とする研磨装置。
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