JP5795977B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
これにより、気液導入管の有効断面積を維持して、気液導入管に沿って流れる気液2相流に対する抵抗が増加してしまうことを防止することができる。
図2は、本発明の実施形態の気液分離器を示す縦断正面図である。図2に示すように、気液分離器10は、上方に開口した有底筒状の分離器本体12と、研磨テーブル30(図4参照)で発生してドレンレシーバ14で回収された気液2相流を分離器本体12内に導入する気液導入管16とを有している。気液導入管16は、ドレンレシーバ14の底部に接続されて鉛直方向に延びる連結管18の下部に連結されて下方に延び、その下端は分離器本体12の下部に達している。分離器本体12の底部には、ドレン管20に連通する液体排出口12aが設けられ、分離器本体12の側部の気液導入管16の下端より上方位置には、排気管22に連通する排気口12bが設けられている。
12 分離器本体
12a 液体排出口
12b 排気口
14 ドレンレシーバ
16 気液導入管
18 連結管
20 ドレン管
22 排気管
24,40 螺旋整流板(案内機構)
30 研磨テーブル
30a 研磨面
32 トップリング
34 処理液供給ノズル
36 アトマイザ
42 傾斜整流板(案内機構)
Claims (4)
- 表面に研磨面を有する研磨テーブルと、
基板を保持して前記研磨テーブルの研磨面に押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルの研磨面に処理液を供給する処理液供給ノズルと、
前記研磨テーブルの周囲に配置され該研磨テーブルから除去される気液2相流を回収するドレンレシーバと、
前記ドレンレシーバに回収された気液2相流を気体と液体に分離して排出する気液分離器を備え、
前記気液分離器は、
有底筒状の分離器本体と、
前記分離器本体の上部から下方に延びて該分離器本体の内部に達し、前記分離器本体の内部に気液2相流を導入する筒状の気液導入管と、
前記気液導入管の内部に配置され該気液導入管の内部を流れる気液2相流に旋回運動を起こさせる案内機構とを備え、
前記分離器本体の底部にドレン管に連通する液体排出口が、前記分離器本体の側部の前記気液導入管の下端より上方位置に排気管に連通する排気口がそれぞれ設けられていることを特徴とする研磨装置。 - 前記案内機構は、外側端面が前記気液導入管の内周面に固定され、上端面と下端面が少なくとも180°捻れている螺旋整流板からなることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記案内機構は、前記気液導入管内の内周面に円弧部を固定され、180°回転させつつ気液導入管の高さ方向に沿った所定間隔毎に交互に配置され、回転方向及び気液導入管の軸心方向に沿って、水平面に対して共に下方に傾斜する複数の半円状の傾斜整流板からなることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記排気口に連通する排気管は、水平面に対して所定の角度をもって上向きに配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の研磨装置。
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