JP5964740B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
これにより、気液分離槽の底部に溜まった液体に向けて、純水をより均一かつ漏れなく噴霧することができる。
これにより、排気管に沿って流れる気体にミストが含まれていても、この気体に含まれているミストを排気ボックスに設置したミストトラップで捕捉して、排気ダンパから排気される気体にミストが含まれないようにすることができる。
本発明の好ましい一態様において、前記複数のスプレーノズルは、中央スプレーノズルと、前記中央スプレーノズルの側方に位置する一対の側部スプレーノズルである。
本発明の好ましい一態様において、前記中央スプレーノズルは、その噴出口が鉛直下方を向くように鉛直方向に配置され、前記側部スプレーノズルは、その噴出口が鉛直線に対して傾斜した方向を向くように傾斜して配置されている。
図2は、本発明の実施形態の気液分離装置を示す縦断正面図である。図2に示すように、気液分離装置10は、上方に開口した有底筒状の気液分離槽12と、研磨テーブル50(図5参照)等で発生してドレンレシーバ14で回収された気液2相流を気液分離槽12内に導入する気液導入管16とを有している。気液導入管16は、ドレンレシーバ14の底部に接続されて鉛直方向に延びる連結管18の下部に連結されて下方に延び、その下端は、気液分離槽12の下部に達している。気液分離槽12の底部には、ドレン管20に連通する液体排出口12aが設けられ、気液分離槽12の側部の気液導入管16の下端より上方位置には、排気管22に連通する排気口12bが設けられている。
12 気液分離槽
12a 液体排出口
12b 排気口
14 ドレンレシーバ
16 気液導入管
18 連結管
20 ドレン管
22 排気管
24 ノズルユニット
26 支持ブロック
32 純水供給管
34,36 スプレーノズル
40 排気ボックス
44 ミストトラップ
46 トラップ板
48 塞板
50 研磨テーブル
50a 研磨面
52 トップリング
54 処理液供給ノズル
56 アトマイザ
Claims (6)
- 表面に研磨面を有する研磨テーブルと、
基板を保持して前記研磨テーブルの研磨面に押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルの研磨面に処理液を供給する処理液供給ノズルと、
前記研磨テーブルの周囲に配置され該研磨テーブルから除去される気液2相流を回収するドレンレシーバと、
前記ドレンレシーバに回収された気液2相流を気体と液体に分離して排出する気液分離装置を有し、
前記気液分離装置は、
有底筒状の気液分離槽と、
前記気液分離槽の上部から下方に延びて該気液分離槽の内部に達し、前記気液分離槽の内部に発泡性液体を含む気液2相流を導入する筒状の気液導入管と、
前記気液分離槽の底部に溜まった液体に向けて純水を噴霧するスプレーノズルと、
前記気液分離槽の底部に設けられた液体排出口に連通するドレン管と、
前記気液分離槽の側部の前記気液導入管の下端より上方位置に設けられた排気口に連通する排気管とを有することを特徴とする研磨装置。 - 前記スプレーノズルは、円錐ノズルからなり、複数備えられていることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記排気管は、気体に含まれるミストを捕獲するミストトラップを入口側に設置した排気ボックスに連通し、該排気ボックスの下流に排気ダンパを設置したことを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
- 前記ミストトラップは、気体の流れが衝突するように配置されたトラップ板と、前記トラップ板で捕獲され下方に落下して前記排気ボックスの底部に溜まった流体の下流への流れ堰き止める塞板とを有することを特徴とする請求項3に記載の研磨装置。
- 前記複数のスプレーノズルは、中央スプレーノズルと、前記中央スプレーノズルの側方に位置する一対の側部スプレーノズルであることを特徴とする請求項2に記載の研磨装置。
- 前記中央スプレーノズルは、その噴出口が鉛直下方を向くように鉛直方向に配置され、
前記側部スプレーノズルは、その噴出口が鉛直線に対して傾斜した方向を向くように傾斜して配置されていることを特徴とする請求項5に記載の研磨装置。
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