JPS60140633U - 廃ガス処理装置 - Google Patents
廃ガス処理装置Info
- Publication number
- JPS60140633U JPS60140633U JP2944984U JP2944984U JPS60140633U JP S60140633 U JPS60140633 U JP S60140633U JP 2944984 U JP2944984 U JP 2944984U JP 2944984 U JP2944984 U JP 2944984U JP S60140633 U JPS60140633 U JP S60140633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- treatment
- waste gas
- treatment equipment
- gas treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の廃ガス処理装置の概略構成図、第2図は
本考案の一実施例を示す概略構成図である。 1・・・廃ガス、14・・・第1処理塔、15・・・第
2処理塔、18・・・液槽、19・・・処理液、19′
・・・要処理排水、19″・・・廃液、20・・・処理
液(NaOH液)。
本考案の一実施例を示す概略構成図である。 1・・・廃ガス、14・・・第1処理塔、15・・・第
2処理塔、18・・・液槽、19・・・処理液、19′
・・・要処理排水、19″・・・廃液、20・・・処理
液(NaOH液)。
Claims (1)
- 液処理により非液状物が生成される成分を持つ廃ガスを
工場の要処理排水を含む低濃度処理液で処理する第1処
理塔と、該第1処理塔からの未処理ガスを高濃度処理液
で処理する第2処理塔と、該第2処理塔の処理液の廃液
を前記要処理排水に加えた前記第1処理塔の処理液を収
納する液槽とを具備したことを特徴とする廃ガス処理装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2944984U JPS60140633U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 廃ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2944984U JPS60140633U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 廃ガス処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60140633U true JPS60140633U (ja) | 1985-09-18 |
JPH0222022Y2 JPH0222022Y2 (ja) | 1990-06-13 |
Family
ID=30528264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2944984U Granted JPS60140633U (ja) | 1984-02-29 | 1984-02-29 | 廃ガス処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60140633U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11156139A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Toshiba Corp | 外気処理装置及び外気清浄化システム |
KR20140081689A (ko) * | 2012-12-21 | 2014-07-01 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기액 분리 장치 및 연마 장치 |
JP2014140786A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-08-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | クロロシラン類の廃ガス処理システムおよび廃ガス処理方法 |
-
1984
- 1984-02-29 JP JP2944984U patent/JPS60140633U/ja active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11156139A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Toshiba Corp | 外気処理装置及び外気清浄化システム |
KR20140081689A (ko) * | 2012-12-21 | 2014-07-01 | 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 기액 분리 장치 및 연마 장치 |
JP2014121682A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Ebara Corp | 気液分離装置及び研磨装置 |
US9616360B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-04-11 | Ebara Corporation | Gas-liquid separator and polishing apparatus |
JP2014140786A (ja) * | 2013-01-22 | 2014-08-07 | Shin Etsu Chem Co Ltd | クロロシラン類の廃ガス処理システムおよび廃ガス処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0222022Y2 (ja) | 1990-06-13 |
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