JP6345474B2 - 基板研磨装置 - Google Patents
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Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
2 ロード/アンロード部
3 研磨部
3A 第1研磨ユニット
3B 第2研磨ユニット
3C 第3研磨ユニット
3D 第4研磨ユニット
4 洗浄部
5 制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
8 センサ
9 センサ
10 研磨パッド(研磨面)
11 リフタ
12 スイングトランスポータ
20 フロントロード部
21 走行機構
22 搬送ロボット(ローダー)
30(30A〜30D) 研磨テーブル
31(31A〜31D) トップリング(基板保持部)
32A〜32D 研磨液供給ノズル
33A〜33D ドレッサ
34A〜34D アトマイザ
35 テーブルカバー
36 トップリングカバー(保持部カバー)
37 隙間部
38 排気機構
39 排気用の配管
40 第2の隙間部
41 第2の配管
42 気液分離機構
43 上昇気流発生機構
44 下降気流発生機構
45 遮蔽機構
46 開口部
47 POS室内壁およびメンテナンス扉
TP1 第1搬送位置
TP2 第2搬送位置
TP3 第3搬送位置
TP4 第4搬送位置
TP5 第5搬送位置
TP6 第6搬送位置
TP7 第7搬送位置
180 仮置き台
190 第1洗浄室
191 第2洗浄室
192 第3洗浄室
193 第4洗浄室
W ウェハ(基板)
Claims (8)
- 上面に研磨面を有する研磨テーブルと、
下面に被研磨面を有する基板を保持し、前記基板の被研磨面を前記研磨テーブルの研磨面に押し付けて、前記基板の被研磨面を研磨する基板保持部と、
前記基板保持部の外側を覆う保持部カバーと、
を備え、
前記保持部カバーの下端と前記研磨テーブルの上面との間には、吸気用の隙間部が設けられ、前記保持部カバーの上部には、排気機構に接続される排気用の配管が設けられ、
前記保持部カバーの下端は、前記研磨テーブルの上面と対向しており、
前記排気機構を作動させることにより、前記基板保持部の外側面と前記保持部カバーの内側面との間に、前記隙間部から前記配管に向けて上昇気流が形成されかることを特徴とする基板研磨装置。 - 前記保持部カバーは、前記基板保持部に近接して前記基板保持部の外側を覆うカバー位置と、前記基板保持部から離されて前記基板保持部の外側を覆わない非カバー位置との間で移動可能であり、
前記基板の被研磨面を研磨しているときには、前記保持部カバーが前記使用位置に配置され、前記基板の被研磨面を研磨していないときには、前記保持部カバーが前記不使用位置に配置される、請求項1に記載の基板研磨装置。 - 前記保持部カバーは、前記基板保持部の全周囲を覆うように構成されている、請求項1または請求項2に記載の基板研磨装置。
- 前記保持部カバーは、前記基板保持部の周囲を部分的に覆うように構成されている、請求項1または請求項2に記載の基板研磨装置。
- 前記基板保持部には、前記基板保持部が回転することによって前記基板保持部の外側面と前記保持部カバーの内側面との間に上昇気流を発生させる上昇気流発生機構が設けられている、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の基板研磨装置。
- 前記研磨テーブルの外側を覆うテーブルカバーを備え、
前記研磨テーブルと前記テーブルカバーとの間に、吸気用の第2の隙間部が設けられ、前記テーブルカバーの下部に、排気機構に接続される排気用の第2の配管が設けられ、
前記研磨テーブルには、前記研磨テーブルが回転することによって前記研磨テーブルの外側面と前記テーブルカバーの内側面との間に下降気流を発生させる下降気流発生機構が設けられている、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の基板研磨装置。 - 前記基板保持部の外側を覆う前記保持部カバーの外側、および、前記研磨テーブルの外側を覆う遮蔽機構を備える、請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の基板研磨装置。
- 前記配管には気液分離機構が設けられている、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の基板研磨装置。
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